JP3279728B2 - 透明ガスバリアフィルム - Google Patents
透明ガスバリアフィルムInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、耐透湿性、酸素バリア
性、透明性に優れた食品、医薬品、電子部品等の気密性
を要求される包装材料、または、ガス遮断材料として優
れた特性を持つフィルムに関するものである。
性、透明性に優れた食品、医薬品、電子部品等の気密性
を要求される包装材料、または、ガス遮断材料として優
れた特性を持つフィルムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ガスバリア性のすぐれたフィルムとして
は、プラスチックフィルム上にアルミニウムを積層した
もの、塩化ビニリデンやエチレンビニールアルコール共
重合体をコーティングしたものが知られている。また、
無機薄膜を利用したものとしては、酸化硅素、酸化アル
ミニウム薄膜等を積層したものや酸化硅素、酸化カルシ
ウム薄膜等を積層したもの等が知られている。
は、プラスチックフィルム上にアルミニウムを積層した
もの、塩化ビニリデンやエチレンビニールアルコール共
重合体をコーティングしたものが知られている。また、
無機薄膜を利用したものとしては、酸化硅素、酸化アル
ミニウム薄膜等を積層したものや酸化硅素、酸化カルシ
ウム薄膜等を積層したもの等が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のガス
バリア性フィルムは、次のような課題を有していた。ア
ルミニウム積層品は、経済性、ガスバリア性の優れたも
のではあるが、不透明なため、包装時の内容物が見えな
い。塩化ビニリデンやエチレンビニ−ルアルコ−ル共重
合体をコーティングしたものは、水蒸気、酸素等のガス
バリア性が十分でなく、特に高温処理においてその低下
が著しい。また、塩化ビニリデン系については、焼却時
の塩素ガスの発生等があり、地球環境への影響も懸念さ
れている。一方、内容物が見えるガスバリアフィルムと
して、特公昭５１−４８５１１号に、合成樹脂体表面に
ＳｉxＯy（例えばＳｉＯ2 ）を蒸着したガスバリアフィ
ルムが提案されているが、ガスバリア性の良好なＳｉＯ
x 系（ｘ＝１．３〜１．８）は、やや褐色を有してお
り、透明ガスバリアフィルムとしては、不十分なもので
ある。
バリア性フィルムは、次のような課題を有していた。ア
ルミニウム積層品は、経済性、ガスバリア性の優れたも
のではあるが、不透明なため、包装時の内容物が見えな
い。塩化ビニリデンやエチレンビニ−ルアルコ−ル共重
合体をコーティングしたものは、水蒸気、酸素等のガス
バリア性が十分でなく、特に高温処理においてその低下
が著しい。また、塩化ビニリデン系については、焼却時
の塩素ガスの発生等があり、地球環境への影響も懸念さ
れている。一方、内容物が見えるガスバリアフィルムと
して、特公昭５１−４８５１１号に、合成樹脂体表面に
ＳｉxＯy（例えばＳｉＯ2 ）を蒸着したガスバリアフィ
ルムが提案されているが、ガスバリア性の良好なＳｉＯ
x 系（ｘ＝１．３〜１．８）は、やや褐色を有してお
り、透明ガスバリアフィルムとしては、不十分なもので
ある。
【０００４】酸化アルミニウムを主体とした（特開昭６
２−１０１４２８）に見られるようなものもあるが、酸
素バリア性が不十分である。又、特開昭６１−２９７１
３４号公報には、ＰＥＴ、ＯＰＰフィルム上にＣａＯと
ＳｉＯ2 とを真空蒸着した耐透湿性、透明性フィルムが
開示されている。しかしながらこのフィルムは耐透湿性
が不十分であり、酸素バリア性については述べられてい
ない。このように、充分な酸素バリア性と水蒸気バリア
性を有する透明ガスバリアフィルムはないのが現状であ
る。
２−１０１４２８）に見られるようなものもあるが、酸
素バリア性が不十分である。又、特開昭６１−２９７１
３４号公報には、ＰＥＴ、ＯＰＰフィルム上にＣａＯと
ＳｉＯ2 とを真空蒸着した耐透湿性、透明性フィルムが
開示されている。しかしながらこのフィルムは耐透湿性
が不十分であり、酸素バリア性については述べられてい
ない。このように、充分な酸素バリア性と水蒸気バリア
性を有する透明ガスバリアフィルムはないのが現状であ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、耐透湿性、酸
素バリア性に優れた酸化カルシウムと酸化硅素の２つの
成分からなるガスバリアフィルムを提供せんとするもの
である。すなわち、本発明は、プラスチックフィルム上
に、酸化カルシウムと酸化硅素の２つの成分からなる薄
膜が形成されたガスバリアフィルムにおいて、該薄膜内
での酸化カルシウムの比率が３重量％以上、８０重量％
以下であって、該薄膜の比重が下記式を満足することを
特徴とするガスバリアフィルム。 Ｄ＝０．０１Ａ＋ｂ但し、Ｄ：薄膜の比重、Ａ：薄膜中
の酸化カルシウムの重量％ｂ：酸化珪素のみからなる薄
膜の比重１．６≦ｂ≦２．６５
素バリア性に優れた酸化カルシウムと酸化硅素の２つの
成分からなるガスバリアフィルムを提供せんとするもの
である。すなわち、本発明は、プラスチックフィルム上
に、酸化カルシウムと酸化硅素の２つの成分からなる薄
膜が形成されたガスバリアフィルムにおいて、該薄膜内
での酸化カルシウムの比率が３重量％以上、８０重量％
以下であって、該薄膜の比重が下記式を満足することを
特徴とするガスバリアフィルム。 Ｄ＝０．０１Ａ＋ｂ但し、Ｄ：薄膜の比重、Ａ：薄膜中
の酸化カルシウムの重量％ｂ：酸化珪素のみからなる薄
膜の比重１．６≦ｂ≦２．６５
【０００６】本発明でいうプラスチックフィルムとは、
有機高分子を溶融押出しをして、必要に応じ、長手方
向、および、または、幅方向に延伸、冷却、熱固定を施
したフィルムであり、有機高分子としては、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタート、ポリ
エチレン−２、６−ナフタレート、ナイロン６、ナイロ
ン４、ナイロン６６、ナイロン１２、ポリ塩化ビニー
ル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニールアルコール、全
芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポ
リエーテルイミド、ポリスルフォン、ポリッフェニレン
スルフィド、ポリフェニレンオキサイドなどがあげられ
る。また、これらの（有機重合体）有機高分子は他の有
機重合体を少量共重合をしたり、ブレンドしたりしても
よい。
有機高分子を溶融押出しをして、必要に応じ、長手方
向、および、または、幅方向に延伸、冷却、熱固定を施
したフィルムであり、有機高分子としては、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタート、ポリ
エチレン−２、６−ナフタレート、ナイロン６、ナイロ
ン４、ナイロン６６、ナイロン１２、ポリ塩化ビニー
ル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニールアルコール、全
芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポ
リエーテルイミド、ポリスルフォン、ポリッフェニレン
スルフィド、ポリフェニレンオキサイドなどがあげられ
る。また、これらの（有機重合体）有機高分子は他の有
機重合体を少量共重合をしたり、ブレンドしたりしても
よい。
【０００７】さらにこの有機高分子には、公知の添加
剤、例えば、紫外線吸収剤、帯電防止剤、可塑剤、滑
剤、着色剤などが添加されていてもよく、その透明度は
特に限定するものではないが、透明ガスバリアフィルム
として使用する場合には、５０％以上の透過率をもつも
のが好ましい。本発明のプラスチックフィルムは、本発
明の目的を損なわない限りにおいて、薄膜層を積層する
に先行して、該フィルムをコロナ放電処理、グロー放電
処理、その他の表面粗面化処理を施してもよく、また、
公知のアンカーコート処理、印刷、装飾が施されていて
もよい。本発明のプラスチックフィルムは、その厚さと
して５〜５００μｍの範囲が好ましく、さらに好ましく
は８〜３００μｍの範囲である。
剤、例えば、紫外線吸収剤、帯電防止剤、可塑剤、滑
剤、着色剤などが添加されていてもよく、その透明度は
特に限定するものではないが、透明ガスバリアフィルム
として使用する場合には、５０％以上の透過率をもつも
のが好ましい。本発明のプラスチックフィルムは、本発
明の目的を損なわない限りにおいて、薄膜層を積層する
に先行して、該フィルムをコロナ放電処理、グロー放電
処理、その他の表面粗面化処理を施してもよく、また、
公知のアンカーコート処理、印刷、装飾が施されていて
もよい。本発明のプラスチックフィルムは、その厚さと
して５〜５００μｍの範囲が好ましく、さらに好ましく
は８〜３００μｍの範囲である。
【０００８】酸化カルシウム・酸化硅素薄膜は，酸化硅
素，酸化カルシウムの混合物、あるいは化合物等とから
成り立っていると考えられる。ここでいう酸化硅素と
は、Ｓｉ，ＳｉＯ，ＳｉＯ2等から成り立っていると考
えられ、これらの比率は作成条件で異なる。酸化カルシ
ウムとは，Ｃａ，ＣａＯ等から成り立っていると考えら
れ．これらの比率も作成条件で異なる。本発明における
該薄膜の酸化硅素，酸化カルシウムの比率としては、該
薄膜内での酸化カルシウムの比率が３重量％以上、８０
重量％以下であって、該薄膜の比重が下記式を満足する
ことを特徴とするガスバリアフィルム。 Ｄ＝０．０１Ａ＋ｂ 但し、Ｄ：薄膜の比重、Ａ：薄膜中の酸化カルシウムの
重量％ ｂ：酸化珪素のみからなる薄膜の比重 １．６≦ｂ≦２．６５ である。また、この成分中に、特性が損なわれない範囲
で微量（全成分に対して高々３Ｗｔ％まで）の他成分を
含んでもよい。該薄膜の厚さとしては、特にこれを限定
するものではないが、耐透湿性、ガスバリア性の点から
は、５０〜８０００Åが好ましく、更に好ましくは、８
０〜５０００Åである。
素，酸化カルシウムの混合物、あるいは化合物等とから
成り立っていると考えられる。ここでいう酸化硅素と
は、Ｓｉ，ＳｉＯ，ＳｉＯ2等から成り立っていると考
えられ、これらの比率は作成条件で異なる。酸化カルシ
ウムとは，Ｃａ，ＣａＯ等から成り立っていると考えら
れ．これらの比率も作成条件で異なる。本発明における
該薄膜の酸化硅素，酸化カルシウムの比率としては、該
薄膜内での酸化カルシウムの比率が３重量％以上、８０
重量％以下であって、該薄膜の比重が下記式を満足する
ことを特徴とするガスバリアフィルム。 Ｄ＝０．０１Ａ＋ｂ 但し、Ｄ：薄膜の比重、Ａ：薄膜中の酸化カルシウムの
重量％ ｂ：酸化珪素のみからなる薄膜の比重 １．６≦ｂ≦２．６５ である。また、この成分中に、特性が損なわれない範囲
で微量（全成分に対して高々３Ｗｔ％まで）の他成分を
含んでもよい。該薄膜の厚さとしては、特にこれを限定
するものではないが、耐透湿性、ガスバリア性の点から
は、５０〜８０００Åが好ましく、更に好ましくは、８
０〜５０００Åである。
【０００９】かかる酸化カルシウム・酸化硅素系薄膜の
作成には、真空蒸着法，スパッタ−法イオンプレ−テイ
ング法などのＰＶＤ法（物理蒸着法）、あるいは、ＣＶ
Ｄ法（化学蒸着法）が適宜用いられる。例えば、真空蒸
着法においては、蒸着源材料としてＳｉＯ2とＣａＯや
ＳｉＯ2とＣａの混合物等が用いられ、また、加熱方式
としては、抵抗加熱、高周波誘導加熱、電子ビ−ム加熱
等を用いることができる。また、反応性ガスとして、酸
素、窒素、水蒸気等を導入したり、オゾン添加、イオン
アシスト等の手段を用いた反応性蒸着を用いてもよい。
また、基板にバイアス等を加えたり、基板温度を上昇、
あるいは、冷却したり等、本発明の目的を損なわない限
りに於て、作成条件を変更してもよい。スパッタ−法や
ＣＶＤ法等のほかの作成法でも同様である。本発明品
は、そのままで使用されてもよいが、他の有機高分子の
フィルム、または薄層をラミネートまたはコーティング
して使用してもよい。本発明でいう比重とは、ある温度
で、ある体積を占める物質の質量と、それと同体積の標
準物質の質量（４℃における水）との比をいう。比重の
測定は、通常物体の質量と体積を測り、同体積の４℃の
水の質量との比を求めればよいが、本発明の薄膜の測定
では、体積の測定が困難である。そこで、まず基板から
薄膜をはがす、あるいは、基板のみを溶解することによ
り、薄膜のみからなる単独膜の状態としたのちに、（Ｊ
ＩＳ Ｋ７１１２）にあるような比重測定法を用いるこ
とが望ましい。例えば、浮沈法では、試料を比重既知の
溶液の中に浸せきさせ、その浮沈状態から薄膜の比重を
測定することができる。この溶液としては、四塩化炭素
とブロモホルム、または、ヨウ化メチレンなどの混合液
を用いることができる。また、連続的な密度勾配をもつ
溶液中に単独膜を浸積させる密度勾配管法によっても比
重の値を測定できる。
作成には、真空蒸着法，スパッタ−法イオンプレ−テイ
ング法などのＰＶＤ法（物理蒸着法）、あるいは、ＣＶ
Ｄ法（化学蒸着法）が適宜用いられる。例えば、真空蒸
着法においては、蒸着源材料としてＳｉＯ2とＣａＯや
ＳｉＯ2とＣａの混合物等が用いられ、また、加熱方式
としては、抵抗加熱、高周波誘導加熱、電子ビ−ム加熱
等を用いることができる。また、反応性ガスとして、酸
素、窒素、水蒸気等を導入したり、オゾン添加、イオン
アシスト等の手段を用いた反応性蒸着を用いてもよい。
また、基板にバイアス等を加えたり、基板温度を上昇、
あるいは、冷却したり等、本発明の目的を損なわない限
りに於て、作成条件を変更してもよい。スパッタ−法や
ＣＶＤ法等のほかの作成法でも同様である。本発明品
は、そのままで使用されてもよいが、他の有機高分子の
フィルム、または薄層をラミネートまたはコーティング
して使用してもよい。本発明でいう比重とは、ある温度
で、ある体積を占める物質の質量と、それと同体積の標
準物質の質量（４℃における水）との比をいう。比重の
測定は、通常物体の質量と体積を測り、同体積の４℃の
水の質量との比を求めればよいが、本発明の薄膜の測定
では、体積の測定が困難である。そこで、まず基板から
薄膜をはがす、あるいは、基板のみを溶解することによ
り、薄膜のみからなる単独膜の状態としたのちに、（Ｊ
ＩＳ Ｋ７１１２）にあるような比重測定法を用いるこ
とが望ましい。例えば、浮沈法では、試料を比重既知の
溶液の中に浸せきさせ、その浮沈状態から薄膜の比重を
測定することができる。この溶液としては、四塩化炭素
とブロモホルム、または、ヨウ化メチレンなどの混合液
を用いることができる。また、連続的な密度勾配をもつ
溶液中に単独膜を浸積させる密度勾配管法によっても比
重の値を測定できる。
【００１０】このようにして得られた該薄膜の組成で，
該薄膜内での酸化カルシウムの比率が３重量％以上、８
０重量％以下であって、該薄膜の比重が下記式を満足す
ることを特徴とするガスバリアフィルム。 Ｄ＝０．０１Ａ＋ｂ 但し、Ｄ：薄膜の比重、Ａ：薄膜中の酸化カルシウムの
重量％ ｂ：酸化珪素のみからなる薄膜の比重 １．６≦ｂ≦２．６５ 好ましくは， １．７≦ｂ≦２．６５ である。ｂの値が１．６よりも小さい領域のときは、酸
化硅素、酸化カルシウム系 薄膜の構造が粗雑となり、
充分な耐透湿性、酸素バリア性が得られない、又、ｂの
値が２．６５よりも大きい領域のものを作製すること
は、実用上困難である。
該薄膜内での酸化カルシウムの比率が３重量％以上、８
０重量％以下であって、該薄膜の比重が下記式を満足す
ることを特徴とするガスバリアフィルム。 Ｄ＝０．０１Ａ＋ｂ 但し、Ｄ：薄膜の比重、Ａ：薄膜中の酸化カルシウムの
重量％ ｂ：酸化珪素のみからなる薄膜の比重 １．６≦ｂ≦２．６５ 好ましくは， １．７≦ｂ≦２．６５ である。ｂの値が１．６よりも小さい領域のときは、酸
化硅素、酸化カルシウム系 薄膜の構造が粗雑となり、
充分な耐透湿性、酸素バリア性が得られない、又、ｂの
値が２．６５よりも大きい領域のものを作製すること
は、実用上困難である。
【００１１】次に実施例をあげて本発明を説明する。 （実施例１）蒸着源として、３〜５ｍｍ程度の大きさの
粒子状のＳｉＯ2（純度９９．９％）とＣａＯ（純度９
９．９％）を用い、電子ビ−ム蒸着法で、１２μｍ厚の
ＰＥＴフィルム（東洋紡績（株）：Ｅ５１００）上に酸
化カルシウム・酸化硅素薄膜の形成を行った。蒸着材料
は、混合せずに、ハ−ス内をカ−ボン板で２つに仕切
り、加熱源として一台の電子銃（以下ＥＢ銃）を用い、
ＳｉＯ2とＣａＯのそれぞれを時分割で加熱した。その
時のＥＢ銃のエミッション電流は１．０〜３．０Ａと
し、ＳｉＯ2とＣａＯへの加熱比を変化させ、フィルム
送り速度は５０〜２００ｍ／ｍｉｎと変化させ、酸素ガ
スの供給量は、０〜２００ｃｃＭと変化させ、チルロ−
ルにはバイアス電圧（−２００Ｖ）を印加し、その冷却
温度は、−１０度一定とした。（これらの成膜条件を表
１に示す。）
粒子状のＳｉＯ2（純度９９．９％）とＣａＯ（純度９
９．９％）を用い、電子ビ−ム蒸着法で、１２μｍ厚の
ＰＥＴフィルム（東洋紡績（株）：Ｅ５１００）上に酸
化カルシウム・酸化硅素薄膜の形成を行った。蒸着材料
は、混合せずに、ハ−ス内をカ−ボン板で２つに仕切
り、加熱源として一台の電子銃（以下ＥＢ銃）を用い、
ＳｉＯ2とＣａＯのそれぞれを時分割で加熱した。その
時のＥＢ銃のエミッション電流は１．０〜３．０Ａと
し、ＳｉＯ2とＣａＯへの加熱比を変化させ、フィルム
送り速度は５０〜２００ｍ／ｍｉｎと変化させ、酸素ガ
スの供給量は、０〜２００ｃｃＭと変化させ、チルロ−
ルにはバイアス電圧（−２００Ｖ）を印加し、その冷却
温度は、−１０度一定とした。（これらの成膜条件を表
１に示す。）
【００１２】このフィルムに対して、水蒸気バリア性、
酸素バリア性を測定した。
酸素バリア性を測定した。
【００１３】・酸素透過率の測定方法 作成したガスバリアフィルムの酸素透過率を酸素透過率
測定装置（モダンコントロールズ社製 ＯＸ−ＴＲＡＮ
１００）を用いて測定した。 ・水蒸気透過率の測定方法 作成したガスバリアフィルムの透湿度を４０℃９０％Ｒ
ＨにおいてＪＩＳ Ｚ０２０８の試験法により測定を行
った。
測定装置（モダンコントロールズ社製 ＯＸ−ＴＲＡＮ
１００）を用いて測定した。 ・水蒸気透過率の測定方法 作成したガスバリアフィルムの透湿度を４０℃９０％Ｒ
ＨにおいてＪＩＳ Ｚ０２０８の試験法により測定を行
った。
【００１４】（比較例１）実施例１と同様にＥＢ蒸着で
酸化カルシウム・酸化硅素系透明ガスバリア薄膜の作成
を行なった。この時の成膜条件としては加熱比を変えて
酸化カルシウムの含有量を３重量％以下または、８０重
量％以上としたものおよびバイアス印加を行わず真空圧
を変えた以外は実施例１と同様とした。得られたサンプ
ルに対して水蒸気バリア性、酸素バリア性を測った。
（表２） その結果、水蒸気バリア性が５ｇ／ｃｍ2・ｄａｙ以上
で酸素バリア性が５．０ｃｃ以上となりガスバリアフィ
ルムとしては不十分なものとなった。
酸化カルシウム・酸化硅素系透明ガスバリア薄膜の作成
を行なった。この時の成膜条件としては加熱比を変えて
酸化カルシウムの含有量を３重量％以下または、８０重
量％以上としたものおよびバイアス印加を行わず真空圧
を変えた以外は実施例１と同様とした。得られたサンプ
ルに対して水蒸気バリア性、酸素バリア性を測った。
（表２） その結果、水蒸気バリア性が５ｇ／ｃｍ2・ｄａｙ以上
で酸素バリア性が５．０ｃｃ以上となりガスバリアフィ
ルムとしては不十分なものとなった。
【００１５】
【発明の効果】プラスチックフィルム上に特定の比重の
酸化硅素、酸化カルシウム系薄膜が形成されたガスバリ
アフィルムは耐透湿性、酵素バリア性にすぐれ包装用や
その他工業用途にも適していることがわかる。
酸化硅素、酸化カルシウム系薄膜が形成されたガスバリ
アフィルムは耐透湿性、酵素バリア性にすぐれ包装用や
その他工業用途にも適していることがわかる。
【００１６】
【表１】
【００１７】
【表２】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大谷 寿幸 滋賀県大津市堅田二丁目１番１号 東洋 紡績株式会社 総合研究所内 (72)発明者 山田 陽三 滋賀県大津市堅田二丁目１番１号 東洋 紡績株式会社 総合研究所内 審査官 平井 裕彰 (56)参考文献 特開 昭61−83029（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−297134（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−51332（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−176069（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B32B 1/00 - 35/00
Claims (2)
- 【請求項１】 プラスチックフィルム上に酸化カルシウ
ムと酸化珪素の２つの成分からなる薄膜が形成されたガ
スバリアフィルムにおいて、該薄膜内での酸化カルシウ
ムの比率が３重量％以上、８０重量％以下であって、該
薄膜の比重（Ｄ）が下記式を満足することを特徴とする
透明ガスバリアフィルム。 Ｄ＝０．０１Ａ＋ｂ 但し、Ｄ：薄膜の比重、Ａ：薄膜中の酸化カルシウムの
重量％ １．６≦ｂ≦２．６５ - 【請求項２】 請求項１の透明ガスバリアフィルムを用
いたことを特徴とする包装用材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13182293A JP3279728B2 (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 透明ガスバリアフィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13182293A JP3279728B2 (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 透明ガスバリアフィルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06340021A JPH06340021A (ja) | 1994-12-13 |
| JP3279728B2 true JP3279728B2 (ja) | 2002-04-30 |
Family
ID=15066916
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13182293A Expired - Lifetime JP3279728B2 (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 透明ガスバリアフィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3279728B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102628158A (zh) * | 2011-02-02 | 2012-08-08 | 三菱综合材料株式会社 | 薄膜的制法及共蒸镀用蒸镀材、薄膜、薄膜片及层叠片 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013063642A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-04-11 | Toyobo Co Ltd | ガスバリア性積層フィルム |
-
1993
- 1993-06-02 JP JP13182293A patent/JP3279728B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102628158A (zh) * | 2011-02-02 | 2012-08-08 | 三菱综合材料株式会社 | 薄膜的制法及共蒸镀用蒸镀材、薄膜、薄膜片及层叠片 |
| JP2012158820A (ja) * | 2011-02-02 | 2012-08-23 | Mitsubishi Materials Corp | 薄膜の製造方法及び薄膜形成用の共蒸着用蒸着材、該方法により得られる薄膜、該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シート |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06340021A (ja) | 1994-12-13 |
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