JP3275463B2 - 動画ファイリング検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は半導体ウエハ等を検査
するための動画ファイリング検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５は従来の検査方法を説明するための
図である。

【０００３】従来、半導体ウエハ等を検査するために複
数の検査装置１０１〜１０７を使用していた。各検査装
置１０１〜１０７は、半導体ウエハ１０９ａ〜１０９ｆ
を保持する回転且つ揺動可能なステージ１０１ａ〜１０
７ｆと、ステージ１０１ａ〜１０７ｆ上の半導体ウエハ
１０９ａ〜１０９ｆに光を照射する光源１０１ｂ〜１０
７ｂと、半導体ウエハ１０９ａ〜１０９ｆの光学像を入
力するカメラ１０１ｃ〜１０７ｃと、半導体ウエハ１０
９ａ〜１０９ｆからの反射光をカメラ１０１ｃ〜１０７
ｃの撮像面に結像する結像レンズ１０１ｄ〜１０７ｄと
で構成されている。カメラ１０１ｃ〜１０７ｃで得た半
導体ウエハ１０９ａ〜１０９ｆの画像は図示しない複数
の表示装置にそれぞれ表示され、作業者が各表示装置上
の画像を見ながら半導体ウエハ１０９ａ〜１０９ｆを検
査する。１枚の半導体ウエハの検査時間は１〜１０秒で
ある。

【０００４】しかし、この方法には検査装置の数と同数
の作業者を要するという問題がある。また、ステージ１
０１ａ〜１０７ｆの近傍のバッファ部（図示せず）上の
半導体ウエハとステージ１０１ａ〜１０７ｆ上の半導体
ウエハ１０９ａ〜１０９ｆとを交換する被検物交換時間
（２〜７秒）の間は検査を行うことができず、効率が悪
いという問題があった。

【０００５】図６は従来の動画ファイリング検査装置を
説明するための全体構成図である。

【０００６】この動画ファイリング検査装置は、複数の
検査装置１０１〜１０３と、検査装置１０１〜１０３の
カメラ１０１ｃ〜１０３ｃからの画像データを蓄積する
複数のビデオディスクレコーダ１０７ａ〜１０７ｃと、
ビデオディスクレコーダ１０７ａ〜１０７ｃからのビデ
オ信号に基づいて半導体ウエハ１０９ａ〜１０９ｃの画
像を表示する１個の表示装置１０５と、ビデオディスク
レコーダ１０７ａ〜１０７ｃの出力を選択して表示装置
１０５に送出するビデオスイッチ１０６とを備えてい
る。

【０００７】各検査装置１０１〜１０３のカメラ１０１
ｃ〜１０３ｃで得た画像データは各ビデオディスクレコ
ーダ１０７ａ〜１０７ｃに蓄積され、ビデオディスクレ
コーダ１０７ａ〜１０７ｃの出力はビデオスイッチ１０
６により選択されて表示装置１０５に送出され、表示装
置１０５に半導体ウエハ１０９ａ〜１０９ｃの画像が表
示される。作業者は表示装置１０５に連続的に表示され
る画像（各検査装置１０１〜１０３で得た半導体ウエハ
１０９ａ〜１０９ｃの画像）を見ながら検査を行う。

【０００８】すなわちこの動画ファイリング検査装置で
は、予め各検査装置１０１〜１０３で得た画像データを
ビデオディスクレコーダ１０７ａ〜１０７ｃに蓄積して
おき、１個の表示装置１０５に半導体ウエハ１０９ａ〜
１０９ｃの画像を連続的に表示させるようにしたので、
作業者一人で効率良く検査を行うことができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところが、図６の動画
ファイリング検査装置には、検査装置１０１〜１０３の
数だけビデオディスクレコーダ１０７ａ〜１０７ｃを用
いるため、コストが高くなるという問題があった。

【００１０】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は製作コストを抑えつつ検査効率を
向上させることができる動画ファイリング検査装置を提
供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１に記載の発明の動画ファイリング検査装置
は、被検物を撮像し、画像データを出力する撮像部と、
前記被検物に光を照射する照明部と、複数の被検物を順
次交換する交換部とを有する複数の検査手段と、前記画
像データを順次切り換える切り換え手段と、前記切り換
え手段で切り換えられた前記画像データを表示する単一
の画像表示手段と、前記複数の検査手段を制御し、前記
被検物の交換及び撮像を順次時系列的に行うようにする
制御手段と、前記切り換え手段に接続され、前記制御手
段により前記複数の検査手段の内のｎ個の検査手段にお
ける撮像が同時に行われたとき、同時に行われたｎ−１
個の前記検査手段からの前記画像データを蓄積するｎ−
１個の動画蓄積手段とを備え、前記制御手段は、前記切
り換え手段を制御し、前記検査手段から前記画像データ
が得られなくなったとき、前記動画蓄積手段に蓄積され
た前記画像データを前記画像表示手段に出力するように
制御する表示制御部とを備えている。

【００１２】また、請求項２に記載の発明の動画ファイ
リング検査装置は、前記制御手段は、前記切り換え手段
を制御し、前記検査手段が前記被検物を交換していると
きに、前記動画蓄積手段に蓄積された前記画像データを
前記画像表示手段に出力する。

【００１３】

【作用】複数の検査手段の内のｎ個の検査手段の検査が
同時に行われたとき、制御手段によりｎ−１個の検査手
段の撮像手段の出力画像データを動画蓄積手段に蓄積す
るようにしたので、検査手段の数だけ動画蓄積手段を用
いることなく効率的な検査が可能になる。

【００１４】

【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。

【００１５】図１はこの発明の一実施例に係る動画ファ
イリング検査装置を示す全体構成図である。

【００１６】この動画ファイリング検査装置は、複数の
検査装置１〜４と、検査装置１〜４のカメラ１ｃ〜４ｃ
からのビデオ信号に基づいて例えば半導体ウエハや液晶
用ガラス基板等の被検物９ａ〜９ｄの画像を表示する１
個の表示装置５と、検査装置１〜４で得た画像データを
蓄積する１個の動画蓄積手段としてのビデオディスクレ
コーダ７と、検査装置１〜４の出力を選択してビデオデ
ィスクレコーダ７に送出するビデオスイッチ８と、検査
装置１〜４の出力及びビデオディスクレコーダ７の出力
を選択して表示装置５に送出するビデオスイッチ６と、
これらの各装置を制御するコントロールユニット１０と
で構成されている。前記動画蓄積手段としてはビデオデ
ィスクレコーダ７の他にビデオディスクレコーダ等があ
る。

【００１７】前記検査装置１は、図２に示すように、被
検物９ａを保持する回転且つ揺動可能なステージ１ａ
と、ステージ１ａ上の被検物９ａに光を照射する光源１
ｂと、被検物９ａの光学像を入力するカメラ１ｃと、被
検物９ａからの反射光をカメラ１ｃの撮像面に結像する
結像レンズ１ｄとで構成されている。検査装置２〜４も
同じ構成である。

【００１８】前記ビデオスイッチ６，８には検査装置１
〜４からの画像データが同時に入力され、ビデオスイッ
チ８は制御装置１０からの制御信号に基づいていずれか
の検査装置の出力画像データを選択してビデオディスク
レコーダ７に送り、その画像データはビデオディスクレ
コーダ７に蓄積される。ビデオディスクレコーダ７に蓄
積された特定の検査装置の画像データはビデオスイッチ
６に入力され、ビデオスイッチ６は制御装置１０からの
制御信号に基づいていずれかの検査装置の画像データを
選択して表示装置５に送出し、表示装置５に被検物画像
を表示させる。

【００１９】次に、この実施例の動画ファイリング検査
装置の動作を図３及び４に基づいて説明する。図３はこ
の実施例の動画ファイリング検査装置の動作フローチャ
ート、図４はこの実施例の動画ファイリング検査装置の
タイミングチャートである。

【００２０】動画ファイリング検査装置を作動させる
と、コントロールユニット１０からの制御信号により検
査装置１〜４が所定のタイミングで順次作動を開始す
る。すなわち、まず検査装置４がスタートし、次に検査
装置１がスタートし、その後検査装置３がスタートし、
最後に検査装置３がスタートする。

【００２１】ステージ１ａ〜４ａは回転且つ揺動し、光
源１ｂ〜４ｂの光はステージ１ａ〜４ａ上の被検物９ａ
〜９ｄに照射される。結像レンズ１ｄ〜４ｄによって被
検物９ａ〜９ｄの光学像が結像され、その光学像はカメ
ラ１ｃ〜４ｃに入力される。カメラ１ｃ〜４ｃの出力は
ビデオスイッチ６，８にそれぞれ送出される。

【００２２】各検査装置１〜４では、図３に示すよう
に、まず被検物ロード工程（１０秒）が行われ、次に被
検物検査工程が行われ、その後被検物アンロード工程
（１０秒）が行われ、以後各工程が繰り返される。ここ
で被検物ロードとは、１０枚の被検物を収容しておく図
示しないカセットから被検物９ａ〜９ｄをステージ１ａ
〜４ａの近傍のバッファ部（図示せず）に搬送すること
である。被検物アンロードとは、バッファ部から１０枚
目の被検物９ａ〜９ｄをカセットに戻すことを指す。

【００２３】また、前記被検物検査工程では被検物９ａ
〜９ｄの検査（２秒）と被検物９ａ〜９ｄの交換（４
秒）とが交互に繰り返される。ここで被検物９ａ〜９ｄ
の交換とは、バッファ部上の被検物とステージ１ａ〜４
ａ上の被検物９ａ〜９ｄとを交換する動作をいう。

【００２４】図４に示すように、検査装置４では被検物
ロード工程が終了すると、被検物検査工程に移る。被検
物検査工程ではカメラ４ｃで得た画像データがビデオス
イッチ６を介して表示装置５に送出され、表示装置５は
カメラ４ｃで得た被検物９ｄの画像を表示する。作業者
は表示装置５の画面を見て被検物９ｄの良否を判断す
る。

【００２５】検査後、被検物９ｄの交換が行われる。こ
のとき他の検査装置１〜３はいずれも未だ被検物ロード
時間が経過していないので、表示装置５には何も表示さ
れない。被検物交換後２個目の被検物９ｄの画像が表示
装置５に表示され、検査が行われる。検査装置４の２回
目の検査が終了すると、検査装置１が被検物検査工程に
入り、検査を開始する。そして検査装置１で得た被検物
９ａの画像は検査装置４の被検物交換時間中に表示装置
５に表示される。検査装置１の検査が終了したとき、検
査装置４は未だ被検物交換時間が経過していないので、
表示装置５には何も表示されない。

【００２６】その後、検査装置４が３回目の検査を開始
し、その検査時間が経過すると、検査装置１の２回目の
検査が開始される。その検査時間の経過後、検査装置４
の被検物交換時間中に、表示装置５に検査装置１で得た
被検物画像が表示される。検査装置１の２回目の検査が
終了したとき、検査装置２が被検物検査工程に入り、検
査を開始するので、表示装置５はカメラ２ｃで得た被検
物９ｂの画像を表示する。

【００２７】その後、検査装置４、検査装置１、検査装
置２の順で表示装置５に被検物画像が連続的に表示され
続けるが、検査装置２の３回目の検査が終了したとき、
検査装置３が被検物検査工程に入り、検査が開始され、
検査装置３の検査と検査装置４の検査とが重なる。この
とき制御装置１０からの制御信号に基づいてビデオスイ
ッチ８が検査装置４の出力を選択し、検査装置４で得た
画像データはビデオディスクレコーダ７に蓄積され、検
査装置３で得た画像データを優先的に表示装置５に表示
する。

【００２８】以後、検査装置３と検査装置４との検査時
間が重なり合う度に、検査装置４で得た画像データがビ
デオディスクレコーダに蓄積され、表示装置５には検査
装置３、検査装置１、検査装置２の順で被検物画像が表
示され続ける。

【００２９】そして、蓄積された画像データは検査装置
４が被検物アンロード工程に入った後、検査装置１〜３
がいずれも被検物交換のときか、被検物ロード工程のと
きか又は被検物アンロード工程のときに、表示装置５に
順次表示される。

【００３０】以上のように検査装置１の被検物交換時間
に検査装置２，３の検査を行なうことができ、また検査
装置１〜３のいずれかが被検物ロード中、被検物アンロ
ード中、又はいずれもが被検物交換中に検査装置４の検
査を行うことができる。したがって、この実施例の動画
ファイリング検査装置によれば、ビデオディスクレコー
ダ７が１個で足り、コストを高くすることなく被検物を
効率良く検査することができる。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したようにこの発明の動画ファ
イリング検査装置によれば、動画蓄積手段を検査装置の
数だけ必要としないので、コストを高くすることなく被
検物を効率良く検査することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの発明の一実施例に係る動画ファイリ
ング検査装置を示す全体構成図である。

【図２】図２は図１の動画ファイリング検査装置の検査
装置の構成図である。

【図３】図３は図１の動画ファイリング検査装置の動作
フローチャートである。

【図４】図４は図１の動画ファイリング検査装置のタイ
ミングチャートである。

【図５】図５は従来の検査方法を説明するための図であ
る。

【図６】図６は従来の動画ファイリング検査装置を説明
するための全体構成図である。

【符号の説明】

１〜４ 検査装置 １ｃ〜４ｃ カメラ ７ ビデオディスクレコーダ ９ａ〜９ｄ 被検物 １０ コントロールユニット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958 G06T 1/00 - 9/40

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検物を撮像し、画像データを出力する
   撮像部と、前記被検物に光を照射する照明部と、複数の
   被検物を順次交換する交換部とを有する複数の検査手段
   と、 前記画像データを順次切り換える切り換え手段と、 前記切り換え手段で切り換えられた前記画像データを表
   示する単一の画像表示手段と、 前記複数の検査手段を制御し、前記被検物の交換及び撮
   像を順次時系列的に行うようにする制御手段と、 前記切り換え手段に接続され、前記制御手段により前記
   複数の検査手段の内のｎ個の検査手段における撮像が同
   時に行われた時、同時に行われたｎ−１個の前記検査手
   段からの前記画像データを蓄積するｎ−１個の動画蓄積
   手段と、を備え、 前記制御手段は、前記切り換え手段を制御し、前記検査
   手段から前記画像データが得られなくなったとき、前記
   動画蓄積手段に蓄積された前記画像データを前記画像表
   示手段に出力するように制御する表示制御部を備えてい
   ることを特徴とする動画ファイリング検査装置。
2. 【請求項２】 前記制御手段は、前記切り換え手段を制
   御し、前記検査手段が前記被検物を交換している時に、
   前記動画蓄積手段に蓄積された前記画像データを前記画
   像表示手段に出力することを特徴とする請求項１に記載
   の動画ファイリング検査装置。