JP3271962B2 - 伝熱管製造用の複合ロール及び伝熱管製造用の複合ロールの製造方法 - Google Patents
伝熱管製造用の複合ロール及び伝熱管製造用の複合ロールの製造方法Info
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Description
溝が形成された伝熱管を製造するために用いられる帯状
金属板を製造するための複合ロール及びこの複合ロール
の製造方法に関する。
ている伝熱管には、伝熱性能を確保するために、その内
面に多数の溝が形成されたものが用いられている。近
年、機器の高性能化、小型化が求められていることか
ら、この内面溝付の伝熱管についての改良が試みられて
おり、その手法として、伝熱管内面の溝について、単一
形状の溝を多数形成させたものから、断面形状、リード
角、寸法の少なくとも何れかが異なる溝を複数種類形成
させた溝付伝熱管の適用が検討されている。
て、特開平4−158193号公報に記載された技術が
ある。この方法は、断面形状、軸方向に対するリード
角、寸法の少なくともいずれの要素が異なる凸部を有す
るロールを3個以上同軸上に組合わせたロールを用い、
平滑な帯状金属板をこの組合わせロールと平滑なロール
とで挟むことにより帯状金属板表面に溝を形成した後、
この帯状金属板を加工面が内側となるように巻回して管
状に形成し、突き合わせ部を溶接して溝付伝熱管を製造
するものである。
以上のロールを取り外し可能となるように締付けること
で固定した状態で使用されるものである。この技術によ
れば、帯状金属板に複数種類の溝を一度に形成すること
ができることから、伝熱管の生産効率が良好となると共
に、高性能の伝熱管を製造することができる。
合せロールにより帯状金属板を繰り返し加工した場合、
加工初期においては良好な品質の溝付の帯状金属板を製
造することができるが、加工回数の増加に伴い、溝形状
の不良が生じることがある。特に、異なるロールが接し
ている界面付近の溝により加工された面には、加工不足
による溝の断絶や溝の変形が生じることがある。即ち、
従来の方法で使用されている複合ロールは耐久性に乏し
く交換頻度が高いことから、大量生産に適さず製品コス
トの上昇が懸念されるものである。
あり、帯状金属板に複数種類の溝を形成する複合ロール
について、耐久性に優れ、長期間安定的な加工が可能な
複合ロールを提供することを目的とする。また、この耐
久性が良好な複合ロールを確実に製造する方法を提供す
ることを目的とする。
せロールについて使用過程におけるロール表面の状態に
ついて検討を行なったところ、従来のロールにおいて
は、繰り返し使用により各ロールの接触部の極めて微少
の間隙に被加工材が侵入すると共に、侵入した被加工材
がロールと帯状金属板との接触により間隙を押し広げよ
うとするため接触部近傍の溝が変形又は欠損するという
現象が生じていることが判明した。そして、本発明者は
この検討結果から、複合ロールの耐久性を向上させるた
めには、接合面に間隙が全く存在しないとすることが必
要であるとの考察に至り本発明を想到した。
状、回転方向に対するリード角、寸法の少なくともいず
れかが異なる凸部を有する溝付ロールを2以上、同軸上
に連結して備え、帯状金属板に押圧することで前記帯状
金属板の表面に複数種類の溝を形成する伝熱管製造用の
複合ロールにおいて、前記2以上の溝付ロールは、相互
に面接触した状態で一体的に接合していることを特徴と
する伝熱管製造用の複合ロールとするものである。
は、溶接やろう付けといった化学的又は材料学的な接合
方法になされた接合状態を指すものであり、連結された
材料同士が隙間という不連続面を有することなく物理的
に一体化された状態となることをいう。従来の組合せロ
ールでなされている締め付け、つまり物理的な接合手法
で一体化された状態と区別されるものである。
侵入する間隙がなく物理的に一体化されていることか
ら、使用時に溝変形が生じることはない。したがって、
この複合ロールは耐久性に優れ、長期間かつ連続的な帯
状金属板の加工ができる。
いては、上記の様に、ろう付けにより形成されたものも
適用できるが、ろう付けによる接合はロールの材質を考
慮して適当なろう材を選択しても接合強度が低いものと
なる。そこで、請求項2記載のように、2以上の溝付ロ
ールの接合は、拡散接合によるものであるのが好まし
い。拡散接合とは、接触面間の原子拡散により材料を接
合させたものであるが、この拡散接合は、ろう付けのよ
うに中間材であるろう材が使用されていないことから材
料組織的に均一な接合部となる上に、接合強度もろう付
けで接合されたものより良好である。また、溶接のよう
に非接合材料が溶融されることなく接合されていること
から、接合前の溝付ロールの凸部を変形させることなく
各溝付ロールを一体化することができる。
押圧するロールを構成する材質としては、請求項3のよ
うに、硬度がロックウェルA硬さ基準で81〜90であ
る炭化タングステン基超硬合金を適用するのが好まし
い。一般的な工具鋼も適用できるが、超硬合金は硬質で
ありロールの耐久性を保持することができるからであ
る。ここで、炭化タングステン基超硬合金とは、炭化タ
ングステン(WC)粉末を鉄、コバルト、ニッケルをバ
インダーとして焼結結合してなる合金をいい、炭化タン
グステンに加えて、炭化チタン(TiC)、炭化タンタ
ル(TaC)、炭化モリブデン(Mo2C)、炭化バナ
ジウム(VC)といった炭化物を添加したものもこの炭
化タングステン基超硬合金に含まれるものである。ま
た、この超硬合金の硬度についてロックウェルA硬さ基
準で81〜90の範囲の超硬合金を適用するのが好まし
いとする理由は、硬度81未満の超硬合金は耐摩耗性が
不十分であり、一方、硬度90を超える超硬合金は、耐
摩耗性は十分あるものの靭性が低下するためロールとし
たときに凸部が欠損し易くなるからである。
は、コバルトをバインダーとして炭化タングステンを焼
結させたものが一般的であるが、請求項4のように、耐
食性を考慮してニッケルをバインダーとした炭化タング
ステン−ニッケル系超硬合金を適用するのが好ましい。
帯状金属板を加工する際には、ロールと被加工物との固
着の防止及び加工効率の向上を目的として潤滑液、加工
液をロールと被加工材との間に流すことがあるが、この
加工液は腐食性があるからである。尚、炭化タングステ
ン−ニッケル系超硬合金を適用する場合も、上記と同様
の理由により、硬度がロックウェルA硬さ基準で81〜
90であるものを適用するのが好ましい。
いて説明する。既に述べたように、本発明においては、
拡散接合により2以上の溝付ロールを接合、一体化する
ものである。そして、そのための方法としては、請求項
5記載のように、断面形状、回転方向に対するリード
角、寸法、の少なくともいずれかが異なる凸部を有する
溝付ロールを2以上同軸上で連結した後、連結された溝
付ロールを加熱しつつ加圧して接合することとする。
うに、加熱温度を溝付ロールの構成材料である超硬合金
のバインダーの融点以下とし、加圧力を1.0〜5.0
MPaとし、非酸化雰囲気下で2〜7時間加圧保持する
ことにより溝付ロールを接合するのが好ましい。このよ
うに加熱温度を制限するのは、溝付ロールの構成材料で
ある超硬合金のバインダーの融点以上とした場合、超硬
合金に部分的な軟化又は溶融が生じるため、接合過程で
溝付ロールに変形が生じ良好な精度の複合ロールを製造
することができないからである。また、加熱保持時間を
2〜7時間とするのは、このように長時間加圧保持する
ことにより比較的低温でも確実に接合することができる
ようにするためである。尚、接合を非酸化雰囲気下で行
なうのは、溝付ロールの接触面の酸化を防止し接合を促
進させるためである。
は、請求項7記載のように、溝付ロールの連結前に、接
合面を研磨加工するのが好ましい。実際の加工面には原
子拡散を阻害する酸化皮膜が存在することから、これを
取り除く必要があるためである。また、接合面を平坦に
することにより、実際の接触面積を増加させ接合をよリ
速やかに行うことができるからである。そして、接合面
を研磨加工する場合の接合面の平坦度は5μm以下とす
るのが好ましい。
図面と共に説明する。
複合ロール1の外観を概略図示したものである。図1に
おいて、複合ロール1は向きのみ異なる4種類の溝(深
さ0.26mm、溝ピッチ0.41mm)を有する溝付
ロール2〜5をそれぞれ1ずつ、同軸上に接合してなる
ものである。これらの溝付ロールは、後述する工程によ
り拡散接合で接合されており一体化されている。また、
溝付ロールは炭化タングステン超硬合金(WC−22%
Co、WC平均粒度2.5μm:硬度HRA84.5)
製である。
ル2〜5を、ダイヤモンド砥石を用いた研削、研磨加工
により所望の凸部を形成加工した後、更にそれぞれの接
合面を研磨して面粗度を調整し、これらを同軸上に重ね
て拡散接合工程に供した。
を用いて行なった。この図2において、拡散接合装置1
0は、チャンバー11と加圧ロッド12と加圧受台13
とヒータ14とからなる。そして、接合工程において
は、加圧受台13に溝付ロール2〜5を載置し、位置合
わせを行った後、チャンバー11内を脱気して非酸化雰
囲気とし、ヒーター14により室内を所定温度まで加熱
した後加圧ロッド12で溝付ロール2〜5を加圧しその
状態で所定時間加圧保持するようにしている。この際の
接合条件は次の通りである。
たときの接合境界の拡大写真を図3に示す。図3より、
上記手法により接合した溝付ロールの接合面にはわずか
に境界線と認められる箇所があるものの、境界線は殆ど
消失している。特に、バインダー相については、2つの
部材間でほとんど一体化しており、これら溝付ロールが
物理的にほぼ一体化しているのがわかる。
(幅33.0mm、厚さ0.3mm)の片面に対して溝
の加工を行なった。その結果、20トンの銅板を加工す
るまでロールの変形が生じないことが確認された。
ルの構成材料を変更し、炭化タングステン−Mo2C−
ニッケル超硬合金(WC−1.6%MoC−20%Ni
合金、WC平均粒度2.5μm:硬度HRA82.5)
からなる溝付ロールを接合して複合ロールを製造し、そ
の耐久性を確認した。ここでの接合条件は第1実施形態
と同様である。
施形態と同様の銅板に対して溝の加工を行なったとこ
ろ、40トンの銅板を加工するまでロールの変形が生じ
ないことが確認された。これは第1実施形態の複合ロー
ルより2倍の重量の銅板を加工できるものであるが。こ
の差はニッケルをバインダーとして使用したことによ
り、複合ロールの耐食性が向上したことによるものと考
えられる。
複合ロールの耐久性を確認するために、従来の溝付ロー
ルを締付固定して製造された複合ロールを用いて帯状金
属板の加工を行った。
実施形態と同様の材質からなり、溝の形状、寸法、ピッ
チの溝付ロールを連結しボルトにて締付固定したもので
ある。この際、各溝付ロールの接合面には目視では殆ど
隙間は見られなかった。
態と同様の銅板に対して溝の加工を行なったところ、2
トンの銅板を加工した段階で銅板の溝に変形が見られる
ことが確認された。即ち、この比較例の複合ロールの耐
久性は、本実施形態に係る複合ロールの10分の1程度
であることが確認された。
ロールによれば、帯状金属板に複数種類の溝を効率的に
加工することができる。特に本発明の複合ロールは耐久
性に優れ、長期間安定的に良好な品質の製品加工が可能
であるから、複合ロールの交換頻度を低減することがで
き、製品コストの低減に貢献することができる。
置の概略図。
拡大写真。
Claims (8)
- 【請求項1】 断面形状、回転方向に対するリード角、
寸法の少なくともいずれかが異なる凸部を有する溝付ロ
ールを2以上、同軸上に連結して備え、帯状金属板に押
圧することで前記帯状金属板の表面に複数種類の溝を形
成する伝熱管製造用の複合ロールにおいて、 前記2以上の溝付ロールは、相互に面接触した状態で一
体的に接合されていることを特徴とする伝熱管製造用の
複合ロール。 - 【請求項2】 2以上の溝付ロールの接合は、拡散接合
によるものである請求項1記載の伝熱管製造用の複合ロ
ール。 - 【請求項3】 少なくとも1の溝付ロールを構成する材
料が、炭化タングステン基超硬合金であり、その硬度が
ロックウェルA硬さ基準で81〜90である請求項1又
は2記載の伝熱管製造用の複合ロール。 - 【請求項4】 少なくとも1の溝付ロールを構成する材
料が、炭化タングステン−ニッケル系超硬合金であり、
その硬度がロックウェルA硬さ基準で81〜90である
請求項1又は2記載の伝熱管製造用の複合ロール。 - 【請求項5】 超硬合金からなり、断面形状、回転方向
に対するリード角、寸法の少なくともいずれかが異なる
凸部を有する溝付ロールを2以上同軸上で連結した後、
連結された溝付ロールを加熱しつつ加圧して接合する伝
熱管製造用の複合ロールの製造方法。 - 【請求項6】 加熱温度を溝付ロールの構成材料である
超硬合金のバインダーの融点以下とし、加圧力を1.0
〜5.0MPaとし、非酸化雰囲気下で2〜7時間加圧
保持することにより溝付ロールを接合する請求項5記載
の伝熱管製造用の複合ロールの製造方法。 - 【請求項7】 溝付ロールの連結前に、接合面を研磨加
工する工程を含む請求項5又は請求項6記載の伝熱管製
造用の複合ロールの製造方法。 - 【請求項8】 接合面の平坦度を5μm以下として接合
する請求項7記載の伝熱管製造用の複合ロールの製造方
法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000136599A JP3271962B2 (ja) | 2000-05-10 | 2000-05-10 | 伝熱管製造用の複合ロール及び伝熱管製造用の複合ロールの製造方法 |
EP01110689A EP1155755A3 (en) | 2000-05-10 | 2001-05-02 | Composite roll for manufacturing heat transfer tubes and method of manufacturing composite roll for manufacturing heat transfer tubes |
US09/848,593 US6565498B2 (en) | 2000-05-10 | 2001-05-03 | Composite roll for manufacturing heat transfer tubes |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000136599A JP3271962B2 (ja) | 2000-05-10 | 2000-05-10 | 伝熱管製造用の複合ロール及び伝熱管製造用の複合ロールの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001321805A JP2001321805A (ja) | 2001-11-20 |
JP3271962B2 true JP3271962B2 (ja) | 2002-04-08 |
Family
ID=18644520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000136599A Expired - Fee Related JP3271962B2 (ja) | 2000-05-10 | 2000-05-10 | 伝熱管製造用の複合ロール及び伝熱管製造用の複合ロールの製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6565498B2 (ja) |
EP (1) | EP1155755A3 (ja) |
JP (1) | JP3271962B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003340698A (ja) | 2002-05-30 | 2003-12-02 | Hoya Corp | レンズ加工装置及びレンズ加工方法 |
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EP2644299B2 (en) * | 2012-03-29 | 2022-01-26 | Seco Tools Ab | Cemented carbide body and method for manufacturing the cemented carbide body |
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-
2000
- 2000-05-10 JP JP2000136599A patent/JP3271962B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-05-02 EP EP01110689A patent/EP1155755A3/en not_active Withdrawn
- 2001-05-03 US US09/848,593 patent/US6565498B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1155755A3 (en) | 2002-07-17 |
EP1155755A2 (en) | 2001-11-21 |
US6565498B2 (en) | 2003-05-20 |
JP2001321805A (ja) | 2001-11-20 |
US20010042588A1 (en) | 2001-11-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3271962 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080125 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 9 |
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