JP3270423B2 - 赤外吸収ガラス及びその作製方法 - Google Patents
赤外吸収ガラス及びその作製方法Info
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- C03C2201/06—Doped silica-based glasses
- C03C2201/30—Doped silica-based glasses containing metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2201/00—Glass compositions
- C03C2201/06—Doped silica-based glasses
- C03C2201/30—Doped silica-based glasses containing metals
- C03C2201/40—Doped silica-based glasses containing metals containing transition metals other than rare earth metals, e.g. Zr, Nb, Ta or Zn
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2201/00—Glass compositions
- C03C2201/06—Doped silica-based glasses
- C03C2201/30—Doped silica-based glasses containing metals
- C03C2201/50—Doped silica-based glasses containing metals containing alkali metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2203/00—Production processes
- C03C2203/20—Wet processes, e.g. sol-gel process
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S501/00—Compositions: ceramic
- Y10S501/90—Optical glass, e.g. silent on refractive index and/or ABBE number
- Y10S501/905—Ultraviolet transmitting or absorbing
Description
用いられる赤外吸収ガラスおよびその作製方法に関す
る。
電子撮像素子には、比視感度を補正するために近赤外域
をカットする赤外吸収フィルターが用いられている。ま
た、医用内視鏡の場合、YAGレーザー(1060nm
付近)や半導体レーザー(800〜900)nmのレー
ザー光を電子撮像素子に導かないように、赤外吸収フィ
ルタが用いられている。YAGレーザの強度が大きい場
合などでは、赤外吸収フィルター上にシリカやチタニア
などの低屈折率層と高屈折率層を数層から数十層交互に
重ねる干渉膜を設けて、YAGレーザの大部分を干渉さ
せてカットし、さらに残存した成分を赤外吸収ガラスに
よってカットするという方法も採られている。
性として、前記レーザーなど700nm以上の赤外の波
長域を効果的にカットすると同時に、380〜700n
mの可視光領域で適当な分光分布を有する必要がある。
具体的に分光透過率の値の一例を示すと、固体レーザー
で使用される波長付近である800nmで5%以下、Y
AGレーザーで使用される波長付近である1100nm
で5%以下で、かつ、画像の色再現に大きく係わる赤の
波長である700nm付近で約8%以下、明るさに係わ
る500nm付近で60%以上、色再現と明るさに係わ
る380nm付近で40%以上の分光透過率が望まれ、
特に好ましくは380nm付近で60%以上の分光透過
率が望まれる。
型フィルターが必要となってきている。フィルターの厚
さは、単位厚さあたりの赤外吸収能力に応じて決まるた
め、単位厚さあたりの赤外吸収能力の高いガラスが求め
られている。単位厚さあたりの赤外吸収能力は、赤外光
を吸収する成分の濃度によって決まるので、その成分を
高濃度に含有したガラスを得ることで、薄型フィルター
を実現することが可能である。具体的には、赤外域の吸
収を行う成分として、2価の銅イオンがもっとも適して
いるため、CuOを多く含有するガラスが求められてい
る。しかし、銅の含量が多くなるにつれ、400nm付
近の透過率が低くなる場合があり、その結果、光量が低
下し暗くなる不具合とCCD感度の低い短波長領域の光
量が低下することで、短波長のS/N比が悪くなり、情
報量が減るために色再現性が悪くなるという不具合があ
るという2つの課題があった。
る方法として、一般には原料を高温で溶かす溶融法が用
いられている。しかし、溶融法を用いてシリカガラスに
銅をドープする場合は、1500℃前後の高温で溶融す
る必要があるが、高温になればなるほど還元雰囲気とな
るので、銅イオンは2価から還元雰囲気で安定な1価に
変化し分光特性が変化することとなる。その結果、赤外
吸収能力および可視光の透過率が低下してしまうこと、
銅がシリカガラス中で容易に凝集し、結晶化しやすいの
で銅濃度を高くすることがほとんど不可能であるなど、
所望のガラスを製造することは極めて困難であった。
タには、リン酸塩ガラスに銅をドープしたものが多く用
いられている。しかしながら、リン酸塩ガラスは化学的
耐久性が低いという問題点があり、特開昭62−128
943号公報、特開平4−214043号公報に記載さ
れるように、ガラス組成には、アルミニウムやフッ素な
どをドープしてリン酸塩ガラスの耐久性向上を図ってい
るが、特に内視鏡などのようにオートクレーブや酸、ア
ルカリ洗剤での洗浄などに耐える高い耐久性が要求され
る場合、必ずしも十分ではなかった。また、赤外吸収ガ
ラスを赤外カットフィルターとして、製品に組み込む際
には、0.1mm〜2mm程度の両平面ガラスとして研
磨することが多い。素材の磨耗度は、ガラスを加工、研
磨する際の加工性を示す指標の一つとして考えられ、数
値が200より大きくなるとガラスが柔らかく、加工性
が悪く、加工が不可能となったり、あるいは加工が可能
であっても加工に手数を要するという問題があった。こ
の、磨耗度の観点からみるとリン酸塩ガラス、フルオロ
リン酸ガラスは概して磨耗度が大きく、中には磨耗度が
400にも達するものもあり、磨耗度50〜200程度
である通常の光学ガラスに比べて加工性が劣り、傷がつ
きやすいことや、肉厚の調整が難しいなどの問題点があ
った。
ラス上にYAGレーザー光のカットなどのための干渉膜
を成膜した場合、膜成分のシリカ系の物質の熱膨張率が
10-7〜10-6オーダであるのに対して、リン酸塩ガラ
ス、フルオロリン酸ガラスでは10-5オーダと一桁大き
いので、両者の熱膨張の差による応力が発生したり、ガ
ラス中のリン酸成分が多いと空気中の湿気を吸収して膜
が剥がれてしまうという問題点があった。
の問題点に鑑みてなされたもので、従来のリン酸系赤外
吸収フィルタと同等以上の赤外吸収能力を持ち、可視光
の高透過率およびリン酸塩系赤外吸収フィルターにはな
い優れた化学的耐久性と加工性をもった赤外吸収シリカ
ガラスおよび作製方法の提供を課題とする。
スにおいて、SiO2 が70〜98モル%、CuOが1
〜12モル%、CuO以外の網目修飾酸化物が1〜18
モル%を含む赤外吸収ガラスである。赤外吸収ガラスに
おいて、SiO2 が78〜94モル%、CuOが3〜8
モル%、CuO以外の網目修飾酸化物が3〜14モル%
を含む赤外吸収ガラスである。
モル比で1.0以上である前記の赤外吸収ガラスであ
る。網目修飾酸化物がLi、Na、K、Rb、Csから
選ばれた少なくとも1種の金属の酸化物を含む前記の赤
外吸収ガラスである。
て、2価の銅化合物および、網目修飾酸化物の金属種の
化合物をウェットゲル中に導入した後、2価の銅化合物
および網目修飾酸化物の金属種の化合物に対する溶解度
が小さい浸漬液に該ウェットゲルを浸漬して、該ウェッ
トゲル中に2価の銅化合物および網目修飾酸化物の金属
種の化合物を析出させた後に乾燥、焼成することによる
赤外吸収ガラスの製造方法である。この方法は、特に請
求項1ないし4に記載したガラスの製造に適している。
面ガラス板にした際に、700nmで8%以下、かつ、
1100nmで5%以下、500nmで70%以上の透
過率を示す赤外吸収シリカガラスである。380nmで
の吸収率が60%以上の前記の赤外吸収シリカガラスで
ある。磨耗度が200以下の前記の赤外吸収ガラスであ
る。熱膨張係数が9×10-6以下の前記の赤外吸収ガラ
スである。
に吸収を持ち、赤外カット能力を持つ2価の酸化銅をド
ーパントとし、シリカを骨格とし、かつ、ガラス化を補
助する網目修飾酸化物とを、ガラス化に適した組成とす
ることで、優れた赤外吸収能力と、可視光の高透過率お
よび化学的耐久性・加工性とを同時に満たすものを提供
したものである。
は、フルオロリン酸塩ガラスやリン酸塩骨格に比べ化学
的に安定な四面体構造を持つシリカをガラス骨格とした
ケイ酸塩ガラスであることから、これらのガラスに対し
て十分高い化学的耐久性を示す。しかも、ケイ酸塩ガラ
スであるので、熱膨張係数が10-6オーダーと小さく、
シリカ、チタニアなどの干渉膜に使われる材質との熱膨
張係数に近いので、干渉膜を成膜しても膜が剥がれるな
どの不具合が生じにくい。耐性や熱膨張特性は、ガラス
骨格であるSiO2 成分が少なくなるにつれて悪化す
る。本発明で示したSiO2 が70〜98モル%、Cu
Oが1〜12モル%、CuO以外の網目修飾酸化物1〜
18モル%を含むものの場合には、良好な特性を保つこ
とができる。
度とその電子状態に依存するが、CuOが1モル%より
小さいと単位厚さあたりの赤外吸収能力が少なくなるた
め、試料厚さが厚くなってしまい、CuOが12モル%
より大きいとCuの一部が結晶化してしまうことが多
く、歩留まりよく均一なガラスを得ることができなかっ
たり、全体的に可視光の透過率が低下したガラスとなっ
てしまう。
ラス化領域を広げる効果、所望の分光透過率を得る効
果、という2つの効果のために用いられる。網目修飾酸
化物には、Li、Na、K、Rb、Csなどのアルカリ
金属、Be、Mg、Ca、Ba、Srなどのアルカリ土
類金属などの電気陰性度の値の小さく、原子半径の大き
な金属種、すなわち、シリカ骨格を切断しやすく、ガラ
ス化しやすいものが用いられる。
の高透過率および化学的耐久性とを同時に満たす赤外吸
収シリカガラスを、歩留まり良く製造することができる
工業的に有用なガラス組成としては、SiO2が78〜
94モル%、CuOが3〜8モル%、CuO以外の網目
修飾酸化物3〜14モル%を含むものが好ましい。すな
わち、網目修飾酸化物の量が多くなるほど、銅が凝集し
にくくなって結晶化または400nm付近での透過率の
低下を防ぐ効果があり、銅イオンを多く含有させること
ができるので、明るく、かつ、単位厚さあたりの赤外吸
収能力の高い赤外吸収ガラスが得られる。
ガラスは、リン酸系ガラスやフルオロリン酸系ガラスに
比べて化学的耐久性は十分高いが、銅や網目修飾酸化物
の量が多くなるほどシリカ骨格が切れてしまい、化学的
耐久性は低くなる傾向にある。そこで、所望の赤外吸収
能力と、可視光の高透過率および化学的耐久性とを同時
に満たす赤外吸収シリカガラスには、適当な銅と網目修
飾酸化物を含む組成が重要となるが、SiO2 が78〜
94モル%、CuOが3〜8モル%、CuO以外の網目
修飾酸化物3〜14モル%を含むものによってこれを同
時に満たすことができる。
では実現できない赤外吸収能力を備えるにはガラス中の
CuO濃度は3モル%以上必要であること、8モル%を
超えると徐々に結晶化が起こりやすくなり3〜8モル%
での歩留まりがほぼ100%であることに対して、Cu
O濃度が12%では歩留まりが60%程度と少しずつ悪
化することから、単位厚さあたりの赤外吸収能力の高い
赤外吸収ガラスを特に安定して製造することができる範
囲を示したものである。
の中で、特に網目修飾酸化物のCuOに対する酸化物モ
ル比を1.0以上、特に好ましくは1.3以上とするこ
とで、400nm付近の透過率が高く保つことができ
る。その作用は以下のように推測される。
こととなるが、網目修飾酸化物の金属種の電気陰性度に
応じて酸素の電子状態が負に帯電するように変化し、C
u2+ に配位しやすくなる。したがって、Cu2+との相互
作用を持ちやすくなるため、銅の含有量が多くなって
も、銅イオンは2価の吸収特性を保つことができるので
ある。具体的には、CuOに対する酸化物モル比が1.
0未満であると、結合を切断されて負の電荷を持った酸
素原子の数が銅イオンに対して少なく、銅イオンの一部
が2価ではなく、一価のイオンまたは一価のイオンのク
ラスタのような状態となり、一価の銅イオンの吸収波長
である360nm〜430nmに変位するので、結果と
して、青領域の透過率が低くなり緑ガラスとなってしま
う。一方、網目修飾酸化物のCuOに対する酸化物モル
比が1.0以上であると、負の電荷を持った酸素原子の
数が増え、400nm付近の透過率を高くすることがで
きる。400nm付近の透過率は、特にCu濃度が3モ
ル%より多くなるほど低下する度合いが大きいが、網目
修飾酸化物のCuOに対する酸化物モル比が1.0に比
べ1.3の方が高いと言うように、大きいほど高くなる
傾向にあるが、その度合いは3以上ではあまり顕著でな
くなることと、酸化物モル比が大きくなればなるほど網
目修飾酸化物が増えて化学的耐久性が悪くなる方向にな
ることから、透過率と耐久性との兼ね合いをとることが
必要であり、特に好ましい比率は1.3〜3である。こ
のような網目修飾成分としては、アルカリ金属やアルカ
リ土類金属などが挙げられる。
修飾酸化物の金属種としては、アルカリ金属であるL
i、Na、K、Rb、Csを挙げることができる。アル
カリ金属はガラス化範囲を拡げる能力と、銅を2価の状
態に保持して所望の分光透過率を得る効果が高いので好
ましい。アルカリ金属は他の元素に比べ前述した電気陰
性度の値が小さく、かつ、原子半径の大きさが大きいと
いう特徴を持つため、シリカ骨格を切断しやすく、銅イ
オンと切断された酸素の相互作用を持ちやすくし、銅の
吸収波長が移動しにくくなるからと考えられる。アルカ
リ金属のなかでもNa、Kは、扱いやすく入手も容易で
あるので工業的には最も利用しやすい。一方、CCDを
使用した撮像素子に用いる赤外カットフィルター以外に
も、ブルーに着色したシアンフィルターとして使用する
場合にも、このような色の変化を調整して使用すること
が可能である。
金属、アルカリ土類金属以外に、分光特性や耐久性にお
いて、本発明の効果に大きな影響を与えない程度であれ
ば、Al、Zr、Nb,La等の他の元素を含んでもよ
い。
は、低温合成が可能ないわゆるゾルゲル法を用いること
ができる。ゾルゲル法は金属アルコキシドや金属塩から
得られるゾルをゲル化させてウェットゲルとし、これを
乾燥、焼成することにより脱水重縮合を起こしてガラス
を作製する方法である。ゾルゲル法では、熱処理温度が
組成に依存するものの、ほぼガラス転移点付近の650
〜750℃という溶融法に比べ500℃以上低い温度で
ガラスを作ることができる。したがって、銅イオンが赤
外吸収ガラスに好適な2価として安定に存在することが
できる低温域で熱処理が行われるので、前記赤外吸収ガ
ラスの製造に適している。
の一例を挙げて説明する。 (1)ゾル調製 オルトケイ酸テトラメチル、オルトケイ酸テトラエチル
などのシリコンアルコキシドにエタノールなどのアルコ
ール、水、塩酸、酢酸などを加え、加水分解重縮合を促
進し、ゾルを調製する。
を分注し、蓋をして恒温槽などで静置してウェットゲル
を作製する。
銅、硝酸カリウムなどの無機塩、水酸化銅、水酸化ナト
リウム等を水や酸などの溶液に溶かし、ドープ溶液を作
製する。この溶液に、ウェットゲルを浸漬する。この
時、金属塩が溶解して金属イオンとなった銅やカリウム
がウェットゲルの細孔へ拡散してゆき、やがて均一にウ
ェットゲル中に銅およびアルカリ金属を導入することが
できる。ドープ溶液として用いる金属塩は、次の工程で
説明する金属塩微結晶を析出させる工程を安定して行う
ために、有機酸塩が扱いやすい。金属塩には、酢酸塩の
他、クエン酸、リンゴ酸などの有機酸塩が特に良いが、
硝酸塩、塩酸塩などの無機塩を用いてもよい。
を含んだウェットゲルを浸漬する。該浸漬液がウェット
ゲル中に拡散してゆくにつれ、溶解度が下がり金属塩の
微結晶としてゲルの細孔中に析出する。この後、必要に
応じ、金属塩の溶解度の低い浸漬液にウェットゲルを何
回か浸漬する。この場合には、浸漬する毎に浸漬液の組
成等を変えたものを用いても良い。このようにして、ウ
ェットゲル中から、水などの金属塩の溶解度が高い溶剤
を取り除く。浸漬液は数分から数日間とゲルの大きさや
ゲル中に残っている溶剤の種類や量等に応じて決めれば
よい。
たウェットゲルからアセトン等の金属塩の溶解度の低い
液を取り除くため、乾燥を行う。乾燥は室温から200
℃程度までの間の温度で行うことが好ましい。例えば5
0℃の恒温槽の温度を徐々に上げても良いし、50℃の
恒温槽から150℃の恒温槽へ移動させても良い。時間
はゲルの大きさなどによるが、数日間行うことが好まし
い。また、オートクレーブ等を利用した超臨界状態の雰
囲気下において行う方法を用いてもよい。
し、ドライゲル中の細孔を無孔化する。加熱処理温度
は、ガラス組成等に応じて任意に定めることができる。
その後室温まで降温させて、SiO2 、K2O 、CuO
からなる円柱状の赤外吸収シリカガラスが得られる。ま
た、加熱処理時間は、ガラス組成に応じて定めることが
でき、一般には、温度が低い場合には長時間、高い場合
には短時間で良い。
スの組成が変化しないように注意することが必要であ
る。例えば、酸素の少ない雰囲気では、CuOが容易に
還元されて2価の銅イオンが減少して吸収帯が変化し所
望の透過率特性を持ったガラスが得られなくなる。した
がって、酸素が十分ある雰囲気で熱処理を行うことが必
要である。また、加熱によるガラスの無孔化の際には、
含まれている水がガラス中に残ると泡の原因になるの
で、無孔化する際には、ヘリウム雰囲気において熱処理
することが好ましい。以上のようなゾルゲル法によって
製造することにより、溶融法では実現できなかった低温
でのガラス化が可能となり、その結果、銅成分を、約8
00nmに吸収のある2価としてガラス中に存在させる
ことができるので、赤外吸収効果の大きな赤外吸収フィ
ルタを得ることができる。より具体的には、厚さ1.6
mmから0.1mmの両平面ガラス板にした際に、波長
700nmの光に対して8%以下、波長1100nmに
対して5%以下、500nmに対して70%以上の分光
透過率を有する赤外吸収ガラスからなるフィルタが得ら
れる。さらに380nmに対する吸収率が60%以上で
ある赤外吸収ガラスが得られるので、短波長の透過率が
良いフィルタが得られる。さらに摩耗度が200以下で
ある赤外吸収ガラスが得られるので、耐久性の良いフィ
ルタが得られる。さらに熱膨張係数が9×10-6以下で
ある赤外吸収ガラスが得られるので、干渉膜等を被覆し
ても剥離等の問題を生じにくいフィルタが得られる。
g、および1規定の酢酸38gを加えて加水分解しゾル
を調製した。内径10mmの円筒型ポリプロピレン製容
器に調製したゾルを4ml注入し密栓した後、50℃に
7日間保持してウェットゲルを作製した。酢酸銅19
g、酢酸カリウム20gを純水500gに溶解し、ドー
プ液とした。この溶液に得られたウェットゲルを24時
間浸漬させてウェットゲル中に銅化合物およびアルカリ
金属化合物を均一に導入した。次にドープ液に浸漬した
ウェットゲルを取り出し、アセトン10mlでゲルを洗
浄した。次いで、別の容器に入れたアセトン10ml中
に、該ウェットゲルを24時間浸漬させた。このアセト
ン洗浄とアセトン浸漬の操作を3回繰り返し、ウェット
ゲル中に銅化合物およびアルカリ金属化合物の微結晶を
析出させた。
間静置後、150℃の恒温槽に移して24時間静置し、
ドライゲルを作製した。得られたドライゲルを酸素雰囲
気で700℃まで加熱した後、ヘリウム雰囲気で10時
間700℃に保持し、その後室温まで降温させてSiO
2 、K2O 、CuOからなる円柱状の赤外吸収シリカガ
ラスを作製した。得られた円柱状の赤外吸収シリカガラ
スを切断し、両面を平行に鏡面研磨して試料を作製し
た。主な作製条件と組成を表1に示した。なお、ガラス
の組成はエネルギ分散型X線分光分析装置(EDX)
(LINK社製 QX2000)により組成分析を行っ
た。
した点を除き実施例1と同様にして、実施例2〜6のガ
ラスを作製した。
モル比を示す。
製作所製U−4000)によって分光透過率を測定し、
その透過率変化を図1および図2に示す。図1には、実
施例1、2、3、6の分光透過率を示す。実施例1、
2、3、6は、ガラス中の銅濃度が大きくなると厚みが
薄い試料でも、ほぼ同じ分光曲線を示している。これら
の代表的な波長における分光透過率は固体レーザで使用
される波長である700nm付近で約5%、YAGレー
ザーで使用される波長付近である1100nmで約1%
であった。また、画像の色再現に大きく係わる赤の波長
である700nm付近で約5%、明るさに係わる500
nmで約90%、色再現と明るさに係わる380nm付
近で約70%の透過率を示した。図2には、実施例1、
4、5の分光透過率を示す。ガラス中のカリウム濃度
と、銅濃度を比較すると、380nm付近の透過率が実
施例1で約70%なのに対して実施例4で約60%、実
施例5で約85%となった。
射防止膜を形成し、CCDの赤外吸収フィルターとして
用いたところ、すべてのガラスで良好な画像を得ること
ができ、特に実施例1および5のガラスで作製したフィ
ルターでは暗い被写体を撮影した際にも、他に比べて特
に良好な画像が得られた。これは図2に示したように3
80nm付近における透過率が高く、青の波長域の情報
を充分に取り込めたことが原因と考えられる。また、こ
のガラスの熱膨張係数を測定したことろ、6×10-7〜
5×10-6のものであり、シリカとチタニアを交互に3
0層積層して干渉膜を作製し、温度65℃湿度90%R
Hの恒温槽に10日間放置したが、膜の剥がれなどの問
題は生じなかった。また、フィルターでは厚みによって
透過特性が異なるものとすることができるので、要求さ
れる赤外カット能力に応じて各試料の厚みを変化させる
ことで可視光の透過率を変化させることも可能である。
および1規定の酢酸38gを加えて加水分解しゾルを調
製した。内径10mmの円筒型ポリプロピレン製容器に
調製したゾルを4ml注入し、密栓した後、50℃に7
日間保持してウェットゲルを作製した。一方、水酸化銅
22g、硝酸カリウム26gを水500gに乳酸32g
を溶解した溶液に溶解しドープ液とした。この溶液に得
られたウェットゲルを24時間浸漬させて、ウェットゲ
ル中に銅およびアルカリ金属化合物を均一に導入した。
次に、ドープ液に浸漬したウェットゲルを取り出し、ア
セトン10mlでゲルを洗浄した。次いで、別の容器に
入れたアセトン10ml中に、該ウェットゲルを浸漬
し、24時間浸漬させた。このアセトン洗浄とアセトン
浸漬の操作を3回繰り返し、ウェットゲル中に銅化合物
およびアルカリ金属化合物の微結晶を析出させた。
間静置後、150℃の恒温槽に移して24時間静置し、
ドライゲルを作製した。得られたドライゲルを酸素雰囲
気で表2に示した焼成温度まで昇温し、その温度に保持
した状態でヘリウム雰囲気で80時間保持し、その後室
温まで降温してSiO2 、K2 O、CuOからなる円柱
状の赤外吸収シリカガラスを作製した。得られた円柱状
の赤外吸収シリカガラスを切断し、両面を平行に鏡面研
磨して試料を作製した。得られた試料を実施例1と同様
にEDXによって組成分析をするとともに、分光透過率
を測定した。
2に示す各濃度になるように調製したドープ液に24時
間浸漬させて、ウェットゲル中に銅化合物および硝酸カ
リウム塩を均一に導入した。次に、ドープ液に浸漬した
ウェットゲルを取り出し、アセトン10mlでゲルを洗
浄した。次いで、別の容器に入れたアセトン10ml中
に、該ウェットゲルを浸漬し、24時間浸漬させた。こ
のアセトン洗浄とアセトン浸漬の操作を3回繰り返し、
ウェットゲル中に金属塩の微結晶を析出させた。
間静置後、150℃の恒温槽に移して24時間静置し、
ドライゲルを作製した。得られたドライゲルを酸素雰囲
気で表2に示した焼成温度まで昇温し、その温度に保持
した状態でヘリウム雰囲気で80時間保持し、その後室
温まで降温させてSiO2 、K2O、CuOからなる円
柱状の赤外吸収シリカガラスを作製した。得られた円柱
状の赤外吸収シリカガラスを切断し、両面を平行に鏡面
研磨して試料を作製した。表2には、実施例7〜9での
主な作製条件と組成、試料の厚さを示した。また、これ
らの試料について分光透過率を測定した。
す。実施例8と9では、分光曲線は実施例1と類似して
いた。実施例7では、380nm付近の透過率が約60
%と若干低くなっていた。これらの実施例で作製したガ
ラス平板に反射防止膜を形成し、CCDの赤外吸収フィ
ルタとして用いたところ、全てのガラスで良好な画像を
得ることができ、特に実施例8、9のガラスでは暗い被
写体を撮影した際にも特に良好な画像が得られた。これ
は図3に示したように、380nm付近における透過率
が高く、青の波長域の光を取り込みやすいことが原因と
考えられる。
モル比を示す。
に示す各濃度になるように調製したドープ液に24時間
浸漬させて、ウェットゲル中に銅化合物および酢酸塩を
均一に導入した。次に、ドープ液に浸漬したウェットゲ
ルを取り出し、アセトン10mlでゲルを洗浄した。次
いで、別の容器に入れたアセトン10ml中に、該ウェ
ットゲルを浸漬し、24時間浸漬させた。このアセトン
洗浄とアセトン浸漬の操作を3回繰り返し、ウェットゲ
ル中に金属塩の微結晶を析出させた。
間静置後、150℃の恒温槽に移して24時間静置し、
ドライゲルを作製した。得られたドライゲルを酸素雰囲
気で表3に示した焼成温度まで昇温し、その温度に保持
した状態でヘリウム雰囲気で10時間保持し、その後室
温まで降温させてSiO2 、K2O、 CuOからなる円
柱状の赤外吸収シリカガラスを作製した。得られた円柱
状の赤外吸収シリカガラスを切断し、両面を平行に鏡面
研磨して試料を作製した。
製条件と組成、試料の厚さを示した。また、これらの試
料について、分光透過率を測定した。図4には、実施例
10〜14の分光透過率を示す。分光曲線はほぼ似た形
状であったが、網目修飾酸化物の種類によって若干変化
していた。実施例10、11、14、12、13の順で
赤の領域での透過率が低くなっていた。これらの実施例
で作製したガラス平板に反射防止膜を形成し、CCDの
赤外吸収フィルターとして用いたところ、すべてのガラ
スで良好な画像を得ることができた。
物又はアルカリ金属酸化物のモル比を示す。
方法で表4に示す条件で行った。比較例1ではガラスの
内部に0.1mm程度の結晶が成長してしまい、均質な
ガラスを得ることができなかった。比較例2では均一な
ガラス体が得られた。比較例3は、実施例1と同一の組
成比となるように、溶融法により各原料の酸化物を15
00℃で溶融して作製した。比較例4は、バリウム、ア
ルミニウムなどを含んだ市販のフルオロリン酸塩系赤外
ガラスをとりあげた。これらの各ガラスを平面研磨して
試料を作製した。
物のモル比を示す。
例1〜4の分光透過率を示す。比較例1はガラス中の銅
の組成比が多過ぎるため、一部結晶化が起こり失透傾向
となってむらが生じたうえ、可視光の透過率が低下して
しまった。比較例2は、ガラス中の銅の組成比0.5モ
ル%と少ないため、赤外吸収能力が低下してしまった。
比較例3は、1500℃という高温で溶融したため、銅
は一部が1価として存在し、可視光の透過率が低下し、
2価の銅が減るため、赤外吸収能力も低下した。比較例
4は、可視光の透過率と近赤外(800〜900nm)
の吸収能力には優れているが、1060nm付近のYA
Gレーザーを吸収するには、能力不足であった。
反射防止コートを施しCCDの赤外吸収フィルタとして
用いたところ、比較例4では良好な画像が得られたが、
比較例2、3では全体に非常に赤みの強い画像になって
しまった。これは、700nm以上の波長での光がカッ
トできなかったからと思われる。
で得られたガラスと参照用の摩耗度の分かっている光学
ガラスである、オハラ社製S−LAH58;摩耗度6
0、S−BAL7;摩耗度95、S−TIH53;摩耗
度165をそれぞれ150枚ずつ、直径3mm、厚さ3
mmの円柱状に加工した。
貼り、#1500の砥石を使い、1.5Kg/cm2 の
加工圧力で切削研磨した際の1分間当たりの摩耗量を測
定し、参照用ガラスの摩耗量と摩耗度の値を直線グラフ
にし、試料の摩耗量から試料の摩耗度を概算した。この
結果、本発明で得られたガラスの摩耗度は、実施例1で
60程度であり、比較例4のフルオロリン酸ガラスの摩
耗度は、400程度であったことから、本実施例のガラ
スが加工性の良いガラスであることがわかった。
個ずつを恒温槽中において、温度65℃、湿度90%R
Hで22時間保持した後に、温度25℃、湿度50%R
Hで2時間保持する工程を1サイクルとして、3サイク
ル繰り返して行った。この試料について、倍率100倍
の顕微鏡で表面を観察した。この結果、実施例に記載し
た試料では全て変化が見られなかったが、比較例4のフ
ルオロリン酸ガラスの表面に0.01〜0.05mmの
微小な白点が50個観察された。このように、本実施例
により作製されたガラスでは、優れた赤外吸収能力と、
優れた加工性と耐性を有している。
も有している。 [1]厚さ1.6mmから0.1mmの両平面ガラス板
にした際に、700nmの光に対して8%以下、波長1
100nmに対して5%以下、500nmに対して70
%以上の透過率を示す赤外吸収シリカガラス。 [2]上記[1]において、さらに380nmに対する
吸収率が60%以上である赤外吸収シリカガラス。 [3]上記[1]または[2]において、磨耗度が20
0以下である赤外吸収ガラス。 [4]上記[1]または[3]のいずれかにおいて、さ
らに熱膨張係数が9×10-6以下である赤外吸収ガラ
ス。 [5]上記[5]において、SiO2 が70〜98モル
%、CuOが1〜12モル%、CuO以外の網目修飾酸
化物が1〜18モル%を含む赤外吸収ガラス。 [6]上記[5]において、SiO2 が78〜94モル
%、CuOが3〜8%、CuO以外の網目修飾酸化物3
〜14モル%を含む赤外吸収ガラス。 [7]上記[5]または[6]において、網目修飾酸化
物がCuOに対して酸化物モル比で1.0以上である赤
外吸収ガラス。 [8]上記[5]ないし[7]のいずれかにおいて、網
目修飾酸化物がLi、Na、K、Rb、Csのいずれか
の金属の酸化物を含む赤外吸収ガラス。
いて、銅化合物を導入したので、2価の銅酸化物が安定
して存在しているので、赤外吸収能力が優れるととも
に、可視光の高透過率および化学的耐久性、および加工
性とを同時に満たす赤外吸収ガラスが得られた。
説明する図である。
する図である。
図である。
する図である。
図である。
Claims (10)
- 【請求項1】 赤外吸収ガラスにおいて、SiO2 が7
0〜98モル%、CuOが1〜12モル%、CuO以外
の網目修飾酸化物が1〜18モル%を含むものであり、
CuOを銅の2価の酸化物として含有することを特徴と
する赤外吸収ガラス。 - 【請求項2】 赤外吸収ガラスにおいて、SiO2 が7
8〜94モル%、CuOが3〜8モル%、CuO以外の
網目修飾酸化物が3〜14モル%を含むものであり、C
uOを銅の2価の酸化物として含有することを特徴とす
る赤外吸収ガラス。 - 【請求項3】 網目修飾酸化物がCuOに対して酸化物
のモル比で1.0以上であることを特徴とする請求項1
または2に記載の赤外吸収ガラス。 - 【請求項4】 網目修飾酸化物がLi、Na、K、R
b、Csから選ばれた少なくとも1種の金属の酸化物を
含むことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項
に記載の赤外吸収ガラス。 - 【請求項5】 赤外吸収ガラスの製造方法において、2
価の銅化合物および、網目修飾酸化物の金属種の化合物
をウェットゲル中に導入した後、2価の銅化合物および
網目修飾酸化物の金属種の化合物に対する溶解度が小さ
い浸漬液に該ウェットゲルを浸漬して、該ウェットゲル
中に2価の銅化合物および網目修飾酸化物の金属種の化
合物を析出させた後に乾燥、焼成することによって請求
項1ないし4のいずれかに記載の赤外吸収ガラスを製造
することを特徴とする赤外吸収ガラスの作製方法。 - 【請求項6】 厚さ1.6mm〜0.1mmの両平面ガ
ラス板にした際に、700nmで8%以下、かつ、11
00nmで5%以下、500nmで70%以上の透過率
を示すことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1
項に記載の赤外吸収ガラス。 - 【請求項7】 380nmでの吸収率が60%以上であ
ることを特徴とする請求項6記載の赤外吸収ガラス。 - 【請求項8】 摩耗度が200以下であることを特徴と
する請求項6または7記載の赤外吸収ガラス。 - 【請求項9】 熱膨張係数が9×10-6以下であること
を特徴とする請求項6ないし8のいずれか1項に記載の
赤外吸収ガラス。 - 【請求項10】 網目修飾酸化物がCuOに対して酸化
物のモル比で1.3以上であることを特徴とする請求項
1または2記載の赤外吸収ガラス。
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