JP3267601B2

JP3267601B2 - 調節器を具備する直流電流折出槽

Info

Publication number: JP3267601B2
Application number: JP2000291962A
Authority: JP
Inventors: ミカエル・ボック; ヴィットルト・クラウクズキー; クラウス・プレンツェル; ルードルフ・オピッツ
Priority date: 1996-04-01
Filing date: 2000-09-21
Publication date: 2002-03-18
Anticipated expiration: 2017-04-01
Also published as: WO1997037061A1; CN1188518A; EP0913500A3; TW344763B; JPH10506684A; EP0913500A2; EP0799910A1; KR19990022196A; EP0799910B1; JP2001152382A; US5976329A; KR100297459B1; EP0913500B1; CN1094156C; JP3135128B2; DE59604685D1; ATE190676T1

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に金属層を
直流電流折出する為の装置に関するものであり、同装置
は、電解質容器とアノード材が充填され、又アノード容
器に面する基板表面上に折出されるアノード材に由来す
る金属イオンの為の実質的に平らな出口面を有するアノ
ード容器とを具備し、上記基板がカソードとして機能
し、同基板の表面が垂直線に対して傾斜しており、又同
基板表面に面するアノード容器の出口面に対して実質的
に平行且つ離れて設置され、又基板表面に直交する被駆
動軸に結合する基板保持体をも具備し、同被駆動軸が容
器のカバー上の駆動手段で支持され、又同カバーがアノ
ード容器の反対側の容器側上に据付られたピボット手段
のピボット軸周で回転可能に据付られている如くにして
成るものである。

【０００２】

【従来の技術】この種装置は、例えば、圧縮工具乃至
型、殊にニッケル製品の電気鋳造製法に用いられる。こ
れ等圧縮工具類は圧縮成形或は射出成形によるコンパク
トディスク（ＣＤ），レーザーディスク（登録商標）及
びその他の情報媒体ディスクの如きディスク類の製造に
用いられる。上記の型類は所謂硝子原盤の如きオリジナ
ル型とその複製製品を含むものであり、圧縮工具の製造
に用いられる中間型である。型類はそれ等の表面に浮彫
状に情報を保持する。同表面構造は電気鋳造的複製手段
によって圧縮工具へ転移される。同圧縮工具を射出成形
乃至圧縮成形に用いた場合、表面構造に含まれる情報は
プラスチック材の表面に書込まれる。

【０００３】コンパクトディスクを含む光学ディスクの
場合、浮彫構造はプラスチック体表面上に供給された情
報を読取れるようにレーザービーム光を変調する。

【０００４】圧縮工具乃至型の製造の為に、金属層、通
常ニッケル層、が電気伝導薄層を有する絶縁基板、例え
ば硝子製の、或は金属基板、例えばニッケル製の、の何
れかの基板上に折出され、何れの場合も基板表面は読取
られるべき情報を含む浮彫状構造を有する。最小情報ユ
ニット、所謂ピット、はミクロメーター領域の空間波長
を有し、又隣接情報トッラク間隔は同様にミクロメータ
ー領域にある。基板表面は数千ミリオン（10⁹）個の情
報ユニットと金属層に転移されるべきミクロメーター領
域の対応する精密構造とを含むので、金属折出工程は非
常に高度の規準を満さねばならぬ。例えば、折出金属層
は極小グレイン寸法で無張力のものでなければならぬ。
更に折出金属層の厚さは比較的に大きくなければなら
ぬ。例えば、コンパクトディスクの製造の為の金属折出
で製造された圧縮工具は２９５μｍ±５μｍの厚さを要
する。更に又、折出工程は高速で行なわれる必要があ
る。加えて、直流電流折出の装置は寸法的に小さく、操
作的に単純でなければならぬ。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】基板表面上に電気鋳造
金属層を形成する場合の重要要件は、層の厚さが均一で
なければならぬことである。全基板表面を通じて、厚さ
は狭い限界内に於てのみ変化すべきである。これ等条件
が実現されない場合、この金属層技術により製造される
光学ディスクは劣質のものとなる。

【０００６】上記の様な装置はＥＰ−Ａ−Ｏ０５８６
４９により知られる。アノード材で充填されたアノード
容器は垂直線に対して傾かされる。その出口面は基板面
に対して本質的に平行であり、基板は軸で駆動さる基板
保持体によって支持される。公知手段で基板上に折出さ
れた金属層は基板表面を通じた層厚さに於て可成りの変
動を示す。

【０００７】本発明の目的は、比較的大きな表面積の基
板全体を通じて層厚さの変化が減少された金属層を直流
電流折出するための装置を提供することにある。

【０００８】この目的は基板表面に面するアノード容器
出口面に対して基板表面が調節可能とすることによって
公知装置で達成される。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、アノードと、
カソードとして機能する基板表面との間の空間における
電流分布の不均一が、厚さの変動の基本的原因であると
の概念に基く。電流線がアノード容器と基板表面との間
で、平行線の形で可及的に均一で均質となるのが好まし
い。実際的に出口面と基板表面との間の線に沿った電気
抵抗が一定でないため、電流線分布の均一性は同様に減
じられ、又金属層は基板表面上で異なる厚さで生長す
る。例えば、相互間隔を変更したり、相対的に面傾斜を
変更したりする等によって、アノード容器の出口面の位
置に対する基板位置を変更することによって、出口面と
基板表面との間の線に沿った抵抗にたいして影響を与
え、そして電流分布に影響を与えることができる。この
様にして基板表面上の電流分布は均質化され又同様に金
属層生長を均一厚さとする結果をもたらす。

【００１０】両表面、即ち基板表面と出口面、の変更と
調節とを相対的に同時的に行うことは、理論上は可能で
ある。然し現実では基板表面或いは出口面の何れかを安
定位置に保持し、対応する他の表面の位置を変更するこ
とが有利である。基板表面を調節可能表面として用いる
のが好ましく、それはこの表面が操業時に電解質を保持
する容器に異物が入るのを防ぐカバーに基板支持体を介
して結合されているからである。このカバーの位置は外
側から調節可能であり、或はカバーに接する基板保持体
の位置は外側から容易に調節される。

【００１１】本発明の好ましい態様は、カバーの旋回軸
の軸が駆動軸の中心軸に対する平行面に位置し、又基板
支持体のクランプ板を横切る如くにされ、同カバーが閉
められた状態で、基板表面とアノード容器の出口表面と
の間隔を減少するためにアノード容器に向かって可動で
ある如くすることを特徴とする。

【００１２】実際の場合、基板表面とアノード容器出口
表面間隔が減少されると、金属イオンの折出速度が増加
する。これは、基板表面と出口表面を結ぶ直線に沿った
電気抵抗が減少するからである。その結果、アノードと
カソード間の電位は不変に保たれるが、電流及び単位時
間あたりに移動する金属イオン数が増加される。基板と
アノード容器間隔が減少されると、非均質電流線分布
は、折出層厚さの不均一性を増加する効果を持つ。電流
線分布の均質化のために、アノード容器と基板との間に
開口部を有する絶縁シールドが設置される。本シルード
は基板に近く設置されるので、カバーを開く旋回操作中
に、基板を保持しているクランプ板と同シールドとの衝
突を防ぐように注意しなければならない。上記態様の特
徴は、一方において、基板とアノード容器出口面との間
隔を小さくし、他方において、カバーを開く場合に、基
板と出口面との間隔を拡大するように、カバーがアノー
ド容器から引き離される方向に引くことが出来る。カバ
ーを旋回する場合、クランプ板の縁はそれ自身から十分
な距離でシールドを通過する。基板表面上の層の均質厚
を達成するために重要な本発明の他の様式はアノード容
器に関係する。上記の如く、金属イオンの為の出口面が
基板表面に対して平行平面であるのが一般的に望まし
い。

【００１３】アノード容器は、折出される物質を含み、
又同物質は小物質片の形状で、例えば、ニッケル片であ
る。直流電流折出槽の操業中、アノード容器内側の高充
填水準を維持するためにアノード容器は物質片で再充填
される。これは、アノード容器材質たるチタン材を電解
質へ溶解させることなく、然も不動態化を保つことを確
実にするために必要である。従来のアノード容器は只の
短期間の使用中に変形することが知られており、例えば
最初は立方形のアノード容器が操業中に膨れ上がった形
となり、或いはその外面が波打ったりする。これは、折
出操作中に腐蝕されるアノード材の高密度化によるもの
であろう。特にアノード容器前面が変形し、又同前面に
出口面を含む場合は、出口面と基板面との間の電流線分
布が変化し、折出金属層の全面にわたって層厚変化をも
たらす。

【００１４】本発明の一態様によれば、この問題の解決
のためにチタン製スペーサー手段がアノード容器の後方
壁と前方壁との間に設置される。

【００１５】このスペーサー手段は出口面をアノード容
器の後方壁に対する相対的定間隔を維持することを確実
にする。同出口面と基板表面との平行面設置は、操業間
のアノード材の高密度化が行われた場合においてさえも
維持される。

【００１６】好ましくはスペーサー手段は複数のチタン
性ネジから成り又ネジが夫々前方壁と後方壁とを結合
し、又チタン製のスペーサースリ−ブ通って延びる。好
ましくは、ネジ頭部が前方に設置され、又対応するネジ
切穴が後方壁に設置される。この型のスペーサー手段は
簡単な構造を有し、実現容易である。操業中に膨れた
り、波打ったりする傾向の出口面を含む前方壁の範囲内
で、同ネジ及びスペーサースリーブの数は、他の範囲の
場合に比してより多くされる。

【００１７】本発明の他の態様は、アノード容器への電
力供給に関するものである。高速折出を達成するため
に、可成りのアンペアー、９０アンペアーの如き、電流
がアノード容器に供給されなばならぬ。その為、確実な
接触が確保されねばならぬ。更に、電流供給要素によっ
て入り込む電解質中の電流線分布に対する影響が最小と
されるように、アノード導体及び同アノード導体及びア
ノード容器間の接触を形成する接触手段とが電解質容器
内に設置される。

【００１８】ＥＰ−Ａ−Ｏ０５８６４９には、既に記
載したが、電解質容器の下方範囲にアノード導体を設置
し又アノード導体と電気的結合を形成する為の接触手段
としてのターミナルを設けることが知られている。接触
抵抗の減少のために、しばしばネジ結合手段による接触
圧が発生される。かかるネジ結合は電解質堆積の為に、
ナット或いはネジが正しくない位置に止まって、ネジを
痛め或いは使用に合わない如くになる懸念がある。接触
手段とアノード導体との間の結合は、強電流が流れると
接触点でオーバーヒートが起こる程度に接触圧低下を来
たすこととなり、直流電流折出槽は、プラスチック溶融
のために、接触点の近傍で破壊されることさえある。か
くの如く、基板上に金属層を直流電流折出するための装
置であって、アノード容器への電流供給が安全且つ信頼
でき、又アノード容器を複雑な操作なしに容易に据付け
られる如き装置を提供する課題が生じる。

【００１９】本発明によれば、接触手段は、アノード導
体に取付し或いは取りはずされ得又アノード導体とスプ
リング圧接触状にできるクリップ結合器（multiple con
tactstrip）として設計される。同クリップ結合器は、
上記の如き不利益をもたらすルーズな接触点がないよう
にするに必要な接触圧を提供する。同クリップ結合器は
アノード容器へ容易に付けることができる。これは時間
の消費を必要とする組立段階を必要とせずに、アノード
容器を素早く交換することを可能とする。クリップ結合
器の弾力的な圧力の故に、接触点は、クリップ結合器が
導体に付けられる度にクリップ結合器のスプリング圧に
よって清浄化される。このことは、接触点に於ける電解
質の堆積形成を防止し、低接触抵抗が確実となる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適実施の形態を
添付図面に基づいて詳述する。

【００２１】図１は、音楽用コンパクトディスク製造を
略示する。製造工程中で使用される型は、本発明による
装置中の直流電流折出によって形成された金属層を有す
る。本金属層の品質は、最終製品、例えば、コンパクト
ディスク上に記録された音楽信号の再生品質のために必
要である。

【００２２】製造段階は、大略、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの４グ
ループに分けられる。グループＡは硝子マスター（原
盤）の製造ステップで、Ｂは圧縮工具の製造ステップ
で、Ｃは成形の、Ｄは仕上げのステップである。

【００２３】硝子マスター製造の出発点は、マスター磁
気テープ創製（ステップ１０）であり、ここに於て音楽
情報は、非常な高精度で磁気テープ上にデジタルに記録
される。硝子マスターの製造の為に（製造ステップグル
ープＡ）、ホトレジスト薄膜が研磨硝子盤上に形成され
る（ステップ１２及び１４）。

【００２４】次ステップ（ステップ１６）に於て、同ホ
トレジストはマスター磁気テープ上のテジタル情報によ
って変調されたホーカスされたレーザービームで露光さ
れる。

【００２５】次の現像ステップ（ステップ１８）に於
て、ホトレジスト膜の露光部分は除去される、硝子盤上
に浮彫様のホトレジスト構造が残る。この構造は、マス
ター磁気テープから取込んだ、デジタル情報をピット形
で、含んでいる。

【００２６】次のステップ（ステップ２０）に於て、同
浮彫様構造は、薄い電気伝導層、例えばニッケル層、で
被覆される。中間製品としてコンパクトディスクの為の
硝子マスターが得られる。

【００２７】次の製造ステップグループ、グループＢ
は、圧縮工具の製造に係る。次ステップ２２において、
金属型、所謂ファーザー、が、本発明による直流電流装
置中で、厚ニッケル層、例えば５００μｍ厚の層、を硝
子マスターの電気伝導薄層上に、直流電流折出工程で析
出させることによって製造される。同ファーザーは、硝
子マスターに対し相補的な浮彫構造を有する。同ファー
ザーは、コンパクトディスクの製造の為の工具として、
直接的に使用することができよう。然し、通常同ファー
ザーは、マザーと呼ばれ、ニッケルから構成される型を
その他の電気鋳造工程で創製するのに用いられる。

【００２８】続けて、圧縮工具が、更にその他の直流電
流折出工程で、同マザーよりネガティブコピーとして形
成される（ステップ２６）。同ステップにおいて製造さ
れた型はサン (son)或はスタンパーと呼ばれ、量産の為
の圧縮工具として用いられる。異なるプラント中でのコ
ンパクトディスク製造の為に用いられる多数のマザー或
はサンが製造される。

【００２９】続く成形（製造ステップグループＣ）は、
射出成形工程或は圧縮成型工程から成り、この間に圧縮
工具の浮彫構造は、プラスチック物質へ転移される（ス
テップ２８）。マスター磁気テープ上に、最初に含まれ
ていたデジタル情報（ステップ１０）は、今や、浮彫構
造或は所謂ピット構造としてディスク状のプラスチック
材に含まれ、ここにおいて１ピットは情報の最小単位で
あり、又プラスチック物質表面上の凹部（recess）形状
を有する。

【００３０】後続の仕上（製造ステップグループＤ）
は、スパッター工程によりアルミニウム反射薄層で同プ
ラスチック物質表面を被覆することから成る。同反射層
によって、スキャニングレーザービームは情報読取りに
際して変調され、又最初の音楽情報は同レーザービーム
から再生される。最後の製造ステップ３２において、同
コンパクトディスクは傷或いは腐蝕から反射層を保護す
る透明保護層で被覆される。

【００３１】この例に於ては、音楽コンパクトディスク
（audio ＣＤ）の製造ステップの記述が行われた。デー
タコンパクトディスク、レーザービジョンディスク及び
その他のピット構造の情報を伴う光学ディスクは、同様
乃至類似方法で製造される。

【００３２】コンパクトディスクの反射層上の浮彫状ピ
ット構造は、極度に小寸法で、例えばピット巾は約０．
５μｍ、深さは約０．１μｍ、又長さは１から３μｍの
間で変化し、隣接トラック間距離は約１．６μｍであ
る。これらの構造の小ささの観点から、各種の型の製造
のための各種の直流電流ステップが非常に厳しい基準、
殊に全面にわたっての金属層厚の均一性に関して、厳し
い基準に合致すべきことが理解される。コンパクトディ
スクの製造のための射出成形工程との関係で、厚さの大
きな変化は、型からディスクを離す際に問題を起こし、
又その後に保護層を形成するのに困難をもたらす。更
に、厚さの大きな変化は、高速でのコンパクトディスク
の回転の際、光学的スキャニングセンサーがコンパクト
ディスク上に起こる高さの変化を十分に補償できず、そ
のために情報欠落をもたらす。

【００３３】図２は、直流電流折出槽４２を含む直流電
流装置（４０）の図である。この直流電流折出槽中で、
ファーザー、マザー、スタンパー（サン）の如き多種の
型が、金属ニッケルの直流電流折出によって形成され
る。直流電流装置４０の基礎部に、電解質の清浄化或い
は濾過のための清浄化ユニット４４がある。頭部４６
は、直流電流工程を制御する為の電流制御及び電力ユニ
ットを含む。必要な高直流電流生産のための整流器は、
コンピュータで制御される。これらの電解質と接触して
いる構成要素は、ポリプロピレンプラスチック或はチタ
ンで製造される。クリンルーム濾過器４８は、直流電流
折出槽４２上に設置される。図２に示される如く、直流
電流折出槽４２は、垂直線に対して基本的に傾斜した２
個の外側壁を有する容器５０を具備する。他の外側壁
（示されていない）は垂直方向である。駆動手段５４は
容器５０のカバー５２上に設置される。駆動手段は、よ
り詳しく後に記される。脱着可能カバー板５１は、カバ
ー５２に近接して設けられ又、分離ギャップ５３によっ
てそれから離される。容器５０内に、チタン製アノード
容器５６があり、カバー板５１が開かれた際に操作員が
アクセス出来る。

【００３４】図３は、本発明による直流電流折出槽４２
の概略図を示す。アノード容器５６は、小片状（ペレッ
ト或いはフラットとも呼ばれる）ニッケル材を充填さ
れ、且つ電解質５８で満たされ又その外側壁６０，６２
は垂直線に対して４５度で傾斜する容器５０に設置され
る。同アノード容器５６は、容器５０の外側壁６２に対
して平行に設置される。その頂部側に、円形断面を有す
るアノード導体と電気的に結合しているクリップ結合器
６６を支持する。同クリップ結合器６６は、運転員によ
ってアノード容器６０が容器５０から取離せるようにア
ノード導体６８から容易に脱着され得る。

【００３５】カバー５２は、直流電流装置４０の基礎
と、或は容器５０のエッジ部とピボット手段７０によっ
て結合される。故に、カバー５２は、容器５０の内部に
近づくために、矢印７２の方向に引上げられる。調節手
段７４は、カバー５２上に据付けられる。同調節手段７
４は、Ｌ字状板７６と同Ｌ字状板にネジ手段で結合され
た調節板７８とを具備する。同調節板７８は、モーター
８２から成る駆動手段５４を支持する。

【００３６】同モーター８２は、トランスミッションギ
アを介して駆動軸８４を駆動する。クランプ板８６は、
駆動軸８４の端に据付られる。ニッケルが折出される基
板８７は、同クランプ板８６にクランプされる。調節手
段７４のネジ調節によって、クランプ板８６と基板８７
とは、基板の反対側に位置してニッケルイオンのための
アノード容器の平面出口面８９に平行に配置され、或は
基板８７とアノード容器５６との間隔が正確に調節され
る。

【００３７】容器５０の外側壁６０に堅く結合され、又
濾過要素８５を有する隔壁８８は、クランプ板８６とア
ノード容器５６との間に設置される。同濾過要素８５
は、隔壁８８に対して反対側に位置する誘導シールド９
０の隙間に、アノード材の小粒或いはマッドが入るのを
防止する。同誘導シールド９０は、その挿入に役立つハ
ンドル部９０ａを具備する。誘導シールド９０とクラン
プ板８６に締付けられた基板８７との間の空間に、精製
された電解質５８を注入するノズル９２が、誘導シール
ド９０の下方に設置される。同電解質は、概略図示され
た供給管９４を通して供給される。図面を明快にするべ
く、電解質のために必要な排出手段５８は図３中に示さ
れない。

【００３８】図４は、カバー５２上に据付られた駆動手
段５４の上部の断面図である。同上部は、ネジ切りされ
た穴９８と結合されるネジ手段９６によって調節板７８
に固定される。調節板７８上の結合メンバーの配置をよ
り良き理解のために、同調節板７８の上面図を示す図５
が参照される。同Ｌ字状板７６は、調節板７８に対向し
て設置され又それから距離ａだけ隔てられている。同調
節板７８は調節ネジ１００（只１個のみが図４中に示さ
れている）の手段によりＬ字状板７６上に付けられる。
調節ネジ１００は、ネジ切りされた穴１０１へ導かれ
る。対応する調節ネジ１００を回転することにより、対
応するＬ字状板７６に対する調整板７８の角位置及び距
離が変化され、それによって基板８７に面するアノード
容器出口面８９に対応する基板８７表面位置が調節され
る。駆動手段５４を伴う調節板８７は、穴１０５に延び
又ネジ切りされた穴１０７と結合するネジ１０３の手段
によりＬ字状板７６に固定される。図面をより理解する
ために、貫通穴１０５は図５中にのみ示され、他方ネジ
切りされた穴１０７は図６中にのみ示される。

【００３９】同Ｌ字状板７６は、ネジ１０４の手段によ
ってカバー５２上に据付られたソーリッドなステンレス
鋼板１０２上に溶接或いはネジ手段によって固定され
る。同ステンレス鋼板１０２は、ピボット手段７０に近
接して曲げられ又ネジ１０４の手段でカバー５２上に固
定される。駆動ユニット５５は、カバー５２及び同カバ
ー５２上に据付られたステンレス鋼板１０２の長円形開
口部１１６（図６参照）へ部分的に突入する。電解質５
８から駆動手段５４を保護するために、保護カバー１０
６で囲む。絶縁層１０８を有する軸８４は、シーリング
メンバー１１０の手段によって電解質の浸入に対して密
封される。電解質５８の水準１１４より下まで、その一
端が延びている保護管１１２は、軸８４の回転期の飛散
に対する保護材として提供される。

【００４０】図５は駆動ユニット５５を据付けるための
ネジ切りされた穴９８を伴う調節板７８の上面図であ
る。Ｌ字状板７６に対応する調節板７８の角位置及び距
離は、ネジ切りされた穴１０１へ導かれる４個のネジ１
００の手段によって調節される。ネジ切りされた穴１０
１に平行且つ小距離に設置された調節板７８中の貫通穴
１０５は、駆動ユニット５４とＬ字状板７６とを堅く結
合する４個のネジ１０３を受け入れるようになってい
る。２個の凹部１０９，１０９は、重量の減少のために
設けられている。

【００４１】図６は、ステンレス鋼板１０２及びＬ字状
板７６を伴い、然し駆動手段５４及びピッボト手段７０
をはずした状態のカバー５２の上面図である。同カバー
５２は、ネジ１０４の手段でステンレス鋼板１０２と結
合される。Ｌ字状板７６の貫通穴１０７は、調節板７８
をＬ字状板７６と結合するために供される。同図は、駆
動手段５４が部分的に突入する（図４参照）長円形開口
部１１６を明解に示す。ネジ切りされた穴１１８は、ス
テンレス鋼板１０２の上端に設けられているネジ切りさ
れた穴１１８はフランジ（示されていない）を据付ける
為に設けられている。カバー５２の開閉の為に同フラン
ジに駆動力が作用する。Ｌ字状板７６中の凹部１１１
は、重量減少のために設けられる。

【００４２】図７，８は、付属するピボット手段７０を
伴うステンレス鋼板１０２を示す。同ピボット手段７０
は、只一部分のみが図示される。ステンレス鋼板１０２
上のＬ字状板７６は、図を明解にするために省略されて
いる。本例において、同ステンレス鋼板１０２は、ネジ
手段でＬ字状板７６を取付するためのネジ切りされた穴
１０５を有する。図８は、図７の構造の側面図である。
中心線Ｍ１に対して対称的なピボット手段７０は、ステ
ンレス鋼板１０２に溶接された２個の延長片１２０を具
備する。上部ピボットベアリング１２２は、各延長片１
２０のステンレス鋼板１０２から離れた端部に形成され
る。スペーサーメンバー１２６は、上部ピボットベアリ
ング１２２中に軸回転する様に設置され又２個の延長片
１２０間の全巾にわたって広がっている。同スペーサー
メンバー１２６は、ヒンジ１３４を軸回転するように支
持する下部ピボットベアリング１２８を具備する。ヒン
ジ１３４は、ネジ１３５により基礎板１６０上で溝状凹
部１６１中に固定される。同ヒンジ１３４は長い穴１３
７を有し、これによって上下矢印ｐ１に沿って調節可能
である。同基礎板１６０は、容器５０のエッジ上或いは
直流電流装置のフレームへ同板を据付るためにネジが挿
入され得る長い穴１６３をも具備する。同基礎板１６０
は、かくして上下矢印ｐ２方向で調節可能である。図９
は、延ばされた穴１６３を有する基礎板１６０の側面及
び上面を示す。溝１６１は、ヒンジ１３４を据付けるた
めのネジ切りされた穴１６１ａを有する。

【００４３】図１０は、カバー５２を開けた或いは閉め
た時の異なる操業段階Ａ，Ｂ，Ｃにおける、ピボット手
段７０の具体的態様を示す。同ピボット手段７０は、ピ
ボット軸１２４を有する上部ピボットベアリング１２２
によってスペーサーメンバー１２６と結合された延長片
１２０によってステンレス鋼板１０２と結合される。下
部ピボット軸１３０を有する下部ピボットベアリング１
２８の手段によって、スペーサメンバー１２６は、ヒン
ジ１３４内に設置されたピボットレバー１３２と結合さ
れる。同ヒンジ１３４は、ピボット軸１３８を有するピ
ボットベアリング１３６から成り、又基礎板１６０と堅
く結合され、又これは図中に示唆されるのみであり又こ
れは容器５０のエッジ全体に形成されるのが好ましい。
同ピボットレバー１３２は、小鋭角ｗ１（垂直線に対し
反時計方向の）（ステージＢ参照）を採る下方停止面１
４２を有する。更に、同ピボットレバー１３２は、小鋭
角Ｗ２（垂直線に対し時計方向の）を採る上方傾斜停止
面１４４を有する。スペーサメンバー１２６は、停止面
１４２，１４４に面し、対応する連続平面停止面１４
６，１４８を有する。

【００４４】ピボット手段７０の操作は、Ａ，Ｂ，Ｃの
操作段階と対比しつつ以下に説明される。図上部の矢印
Ｇは重力方向、即ち、垂直線を指す。操作段階Ａで上が
った状態において（本例中で、採られるインクルーデッ
ドアングルＷ３は約５０度である）停止面１４６は、下
方停止面１４２で止まる。スペーサーメンバー１２６の
中心線１２７は、垂直線に対して角Ｗ１を採って軽く傾
斜され、停止面１４６は、カバー５２の重さによって停
止面１４２に押付けられる。

【００４５】操作段階Ｂ（閉カバー）において、カバー
５２は、矢印Ｇ方向へピボット軸１２４周を軸回転さ
れ、この間に停止面１４６及び１４２は互いに接触を保
持する。その結果として、小間隔或いは間隔ｂが、ピボ
ットレバー１３２の前方エッジと曲げステンレス鋼板１
０２との間に形成される。

【００４６】操作段階Ｃにおいてカバー５２は、矢印１
５０方向へ停止面１４８が上方停止面１４４と接触状態
となるまで動かされる。同停止面１４４が角Ｗ２で傾斜
されるので、ピボットベアリング１２４は、右側へ動
き、そこで距離ｂは増加する。高さ適応の達成のため
に、同ピボットレバー１３２は、ピボット軸１３８周を
時計方向に小角Ｗ４だけ回転する。図７による設置のお
かげで、クランプ板８６に締め付けられた基板８７と基
板に面するアノード容器出口面８９との間隔は減少さ
れ、これにより折出工程が加速される。ニッケル層は、
この様にして高全電流で且つ一定電圧で形成される。

【００４７】カバー５２を開ける為に、カバー５２を矢
印１５０（操作段階Ｂ参照）と反対方向に動かし、又そ
して上げられる（操作段階Ａ）。アノード容器５６に面
するクランプ板８６の表面と誘導シールド９０（図３参
照）との間隔は、矢印１５０と反対方向の移動によって
増大され、これによってクランプ板８６は、カバー５２
が開けられている際に、クランプ板８６或いは誘導シー
ルド９０を傷なう危険なしに、シールド９０を安全に通
過できる。

【００４８】図１１は、ピボット手段７０の異なる操作
段階Ａ，Ｂ，Ｃに於ける他の具体的態様を示す。同類メ
ンバーは同類番号で示される。スペーサーメンバー１２
６は、下方停止面１５２と操作段階Ａ及びＢに於けるヒ
ンジの傾斜停止面１５７に向かって止められた背後停止
板１５６とを具備する。スペーサメンバー１２６の下方
停止面１５２は、操作段階Ｃにおいて基礎板１２６上の
平停止面１５８と接触するようになる。操作段階Ａにお
いて、カバー５２は上げられ、また、背後停止面１５６
は停止面１５７と接触するようになる。

【００４９】操作段階Ｂにおいて、カバー５２は下げら
れた位置にあり、この間停止面１５６及び１５７は相互
接触が保たれる。結果として、基礎板１６０と曲げステ
ンレス鋼板１０２との間隔は距離ｂとなる。操作段階Ｃ
において、カバー５２は、矢印１５６方向に、停止面１
５２と１５８とが共働するように動かされる。従って、
距離ｂが増大する。

【００５０】操作段階Ｃにおいて殊に良く理解される如
く、同ピボット軸１２４は、スペーサーメンバー１２６
の中心線１６２上に位置しない。その結果として、カバ
ー５２を動かす間、延長片１２０は円軌道に沿って僅か
に上げられ、これによって容器５０に関するカバー５２
のスベリ抵抗は減少される。

【００５１】図１２は、アノード容器５６の上方部の断
面図を示す。これは、基本的に立方体で、厚さ４ｍｍで
連続密閉のチタン製背後壁１７０を具備する。この比較
的厚い後方壁１７０により、アノード容器５６は機械
的強度を有するようになる。上方領域、操作員が到達で
きる領域、において、アノード容器５６は、ニッケル片
で容易に充填できる様に開口される。この目的のために
前方壁１７２も、同様チタン製で２ｍｍの厚さを有し、
領域１７４で曲げられる。Ｕ字型クリップ結合器１７６
は、前方壁１７２の曲げ部の底側と溶接される。クリッ
プ結合器１７６は、その脚部１７８，１８０で、断面が
円形のアノード導体１８２を抱止める。同脚部１７８、
１８０は、凹状で且つじょうご形をした開口部をその端
部に有し、アノード導体１８２上でクリップ結合器１７
６を滑らせるのに有用である。アノード導体上でクリッ
プ結合器を滑らせる過程で、アノード導体１８２上に形
成されうる電解質の堆積は消える。アノード導体１８２
上及び脚部１７８，１８０上の接点１８４，１８６は、
こすってきれいにされる。その他の接点１８８は、クリ
ップ結合器１７６の基部で形成される。クリップ結合器
１７６とアノード導体１８２との間のこの種の電気的結
合は、低接触抵抗及びアノード容器５６取扱の容易さを
確実にする。ハンドルバー１９０は、アノード容器５６
開口領域の側壁１９２、１９４（同様に図１３参照）に
据付られる。同ハンドルバー１９０は、電解質容器５０
へアノード容器５６を出し入れする為に、操作者によっ
て握捕される。

【００５２】更に、図１２は、前方壁１７２と背後壁１
７０との間のネジ１９６を示す。同ネジ１９６の平頭部
１９８は、前方壁１７２の前方表面と同面とする。ネジ
１９６の中央部は、端部が夫々前方壁１７２及び背後壁
１７０に止められているスペーサースリーブ１９７まで
延びている。上記端部間の長さは、従って前方壁１７２
と背後壁１７０との間の距離を規定する。ニッケル片
を、スペーサースリーブ１９７のまわりに容易に配置す
ることができる。ネジ１９６のネジ切りされた部分２０
０は、強い後背壁１７０内のネジ切りされた穴２０２と
結合する。同ネジ１９６は、後背壁１７０に対する前
方壁１７２の距離と水平とを調節できる手段であるスペ
ーサー手段２０８の一部である。

【００５３】この様にして、前方壁１７２の膨らみ或い
は波打が補償される。

【００５４】図１３は、アノード容器５６の上面を示
す。

【００５５】クリップ結合器１７６は、アノード容器５
６の全巾にわたって延び、又かくして電力供給のための
大電気的接触面が形成される。前方壁１７２及び側壁１
９２，１９４は、符号２０４で図示された周辺にクリッ
プ結合器１７６の上方エッジまで穴加工（perforation
）を有する。かくして、前方壁１７２の表面は、アノ
ード容器５６からニッケルイオンを出すための出口面８
９を形成する。アノード容器５６は、丸くなった下方部
２０６を具備する。ネジ１９６とスペーサースリーブ１
９７の配置は、出口面８９の平面性と強背後壁１７０か
らの距離とを保持する為のスペーサー手段２０８を形成
する。

【００５６】

【発明の効果】本発明によれば、チタン製スペーサー手
段がアノード容器の後方壁と前方壁との間に設置され
る。このスペーサー手段は、簡単な構造を有し、実現容
易であり、操業中に膨れたり、波打ったりする傾向の出
口面を含む前方壁をアノード容器の後方壁に対する相対
的定間隔を維持することを確実にする。同出口面と基板
表面との平行面設置は、操業間のアノード材の高密度化
が行われた場合においてさえも維持されることが可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の重要応用分野である、金属折出によっ
て製造されるコンパクトディスク製造のための型及び圧
縮工具における装置の概略図である。

【図２】直流電流折出槽を含む直流電流装置の図であ
る。

【図３】ピボット回転し且つ可動のカバーを具備する直
流電流折出槽の概略図である。

【図４】図４は、カバー及び駆動軸上に設置された調節
手段の部分断面図である。

【図５】図５は、駆動ユニットと駆動ユニットにより駆
動される軸とを調節するための調節板の上面図である。

【図６】図６は、駆動ユニットを取除いた状態のカバー
の上面図である。

【図７】図７は、ピボット手段を有するステンレス鋼板
の上面図である。

【図８】図８は、図７に示される構造の側面図である。

【図９】図９は、ピボット手段の可動ベース板の上面図
である。

【図１０】図１０は、カバーを開き或いは閉じた場合の
ピボット手段の各種の異なる操作状態を示す。

【図１１】図１１は、その他の異なる操作状態に於ける
ピボット手段の他の一つの具体的態様を示す。

【図１２】図１２は、クリップ結合器及びアノード導体
を具備するアノード容器の断面図である

【図１３】図１３は、スペーサ手段として設けられたチ
タン製ネジを有するアノード容器の前面図である。

【符号の説明】

５０容器５６アノード容器５８電解質８７基板８９出口面１７０背後壁１７２前方壁２０８チタン製スペーサーメンバー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者ヴィットルト・クラウクズキードイツＤ−33334 ギューテルスローアウフ・デム・レック 122 (72)発明者クラウス・プレンツェルドイツＤ−33334 ギューテルスローヒルゼヴェーク 17 (72)発明者ルードルフ・オピッツドイツＤ−33332 ギューテルスローエヴェルスゲルトヴェーク 114 (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C25D 1/00 C25D 17/12 G11B 7/26

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上に金属層を直流電流折出する装置
であって、上記装置が、垂直線に対して傾斜する少なく
とも１個の壁を有し電解質（５８）を保持する容器（５
０）と、アノード材で充填されるチタン製のアノード容
器（５６）とを具備し、上記のアノード容器（５６）
が、該アノード容器（５６）に面する基板表面上に折出
されるイオンのための出口面（８９）を具備し、上記の
基板（８７）がカソードとして機能し、上記アノード容
器（５６）が、その背後壁（１７０）が上記容器（５
０）の上記壁に対して少なくとも平行であるか或いは同
壁と接触している如くに設置される如くした装置におい
て、チタン製スペーサー手段（２０８）が、予め決定さ
れた上記背後壁（１７０）と前方壁（１７２）との間隔
を維持するために上記アノード容器（５６）の上記背後
壁（１７０）と上記前方壁（１７２）との間に設置され
ることを特徴とする装置。
【請求項２】上記スペーサー手段（２０８）が、上記
前方壁（１７２）と上記背後壁（１７０）とを相互結合
し又上記前方壁（１７２）と上記背後壁（１７０）との
間に設置されたチタン製スペーサースリーブ（１９７）
に延びる複数のチタン製ネジ（１９６）を具備し、同ネ
ジ頭（１９８）が、上記前方壁（１７２）上に設置され
又上記背後壁（１７０）上にこれらに対応するネジ切り
された穴（２０２）が設置される請求項１記載の装置。
【請求項３】連続して閉じられた上記背後壁（１７
０）が３〜５ｍｍの厚みを有する請求項１又は２記載の
装置。
【請求項４】上記前方壁（１７２）がパーホレーショ
ン加工穴を有し又１〜３ｍｍの厚みを有する請求項１〜
３いずれかに記載の装置。
【請求項５】基板上に金属層を直流電流折出するため
の装置であって、電解質（５８）を保持するための容器
（５０）と、アノード容器（５６）に面する基板面上に
折出される金属イオンのための出口面（８９）として基
本的に平らな前方壁（１７２）を有し更にアノード材で
充填される上記アノード容器（５６）とを具備し、上記
の基板（８７）がカソードとして機能し、上記アノード
容器（５６）にアノード電流を供給するためのアノード
導体（１８２）と又該アノード導体（１８２）と電気的
結合を形成するために上記アノード容器（５６）上に設
けられた接触手段を具備する装置において、該接触手段
が、上記アノード導体（１８２）上にスリップ係合し又
それより脱着され得又上記アノード導体（１８２）とバ
ネ付勢接触する様に適合させられたクリップ結合器（１
７６）として設計される如くして成る装置。
【請求項６】上記アノード導体（１８２）と上記クリ
ップ結合器（１７６）とが、上記アノード容器（５６）
の全巾にわたって延びている如くして成る請求項５記載
の装置。
【請求項７】上記アノード導体（１８２）が断面にお
いて基本的に円である如くして成る請求項５又は６記載
の装置。
【請求項８】上記クリップ結合器（１７６）が、接触
を形成する為に上記アノード導体（１８２）をその脚部
（１７８，１８０）が抱え込む弾力性のあるＵ字形のブ
ラケットを具備する如くして成る請求項５〜７いずれか
に記載の装置。
【請求項９】上記Ｕ字形ブラケット（１７６）の基部
が上記アノード導体（１８２）上に止まる如くして成る
請求項８記載の装置。
【請求項１０】上記クリップ結合器（１７６）が、電
解質（５８）を保持するための上記容器（５０）の開口
部近傍の上記アノード容器前方壁（１７２）上に設置さ
れる如くして成る請求項５〜９いずれかに記載の装置。
【請求項１１】上記アノード容器の巾方向に延びるハ
ンドルバー（１９０）が該アノード容器（５６）の開口
部領域に設置されて成る請求項１〜１０いずれかに記載
の装置。