JP3264843B2 - マスタリング製造方法と製造装置 - Google Patents
マスタリング製造方法と製造装置Info
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Description
密度記録原盤を作るマスタリング工程において、ディス
ク基板の洗浄から導電化処理までの一連の作業を自動的
に行うマスタリング製造方法と製造装置に関するもので
ある。
程は、一般にマスタリング工程と呼ばれており、ディス
ク基板の洗浄・レジスト塗布・ベーキング・レーザによ
る信号などの記録・現像・メッキ・スパッタ等の導電化
処理工程が含まれている。
空気中のごみやほこり等が付着すると、それが最終ディ
スクの状態で信号のドロップアウトやエラーの原因とな
り、ディスクの性能を著しく低下させる。
リーン度の高いクリーンルーム内で作業が行われてお
り、また、生産性の向上のためにロボットにより自動化
されている。
は、図4に示すように構成されている。1はマガジン供
給部、2は洗浄装置、3はレジスト塗布装置、4aはプ
リベーク用のベーキング装置、4bはポストベーク用の
ベーキング装置、5はレーザーカッティング装置、6は
現像導電化処理装置、7は完成品収納部、8a,8bは
1軸制御のディスク基板搬送ロボットである。
従って横並び状に配置されており、この各処理部の上部
には図4に仮想線で示すように、ディスク基板搬送ロボ
ット8a,8bの搬送方向と平行な搬送経路部材9が形
成されている。この搬送経路部材9にはディスク基板搬
送ロボット8a,8bによって各処理部の前部に到着し
たディスク基板を掴んで搬入し、処理の終わったディス
ク基板を掴んでディスク基板搬送ロボット8a,8bの
上に搬出する搬入搬出装置10が取り付けられている。
基板が供給され、ディスク基板搬送ロボット8aによっ
てマガジン供給部1から取り出されて洗浄装置2の前部
に搬送されたディスク基板は、搬送経路部材9を移動自
在で図5に示すように洗浄装置2の上部で待機中の搬入
搬出装置10によって把持されて洗浄装置2に搬入され
る。
1を吸着して回転させるターンテーブルユニット12
と、矢印A方向に出退自在の洗浄液供給ノズル13と、
チャンバー14とで構成されている。
って移動自在の第1の可動部材15と、第1の可動部材
15に取り付けられてディスク基板搬送ロボット8a,
8bに対して接近離間方向〔矢印B方向〕と矢印C方向
に昇降駆動される第2の可動部材16と、第2の可動部
材16に取り付けられた保持部材17と、保持部材17
の両端に設けた保持治具18とで構成されている。
浄装置2の前部に到着したディスク基板11は、保持治
具18がディスク基板11の外縁部を把持してディスク
基板搬送ロボット8aから持ち上げられて、ターンテー
ブルユニット12にセットされる。洗浄処理の完了した
ディスク基板11は搬入時と逆の手順でディスク基板搬
送ロボット8aの上に戻される。
同様に、搬入搬出装置10がディスク基板搬送ロボット
8a,8bからのディスク基板11の搬入と搬出を行っ
ている。
では、ディスク基板11の供給・取り出し・搬送の各動
作は、全て各処理部の上部において搬入搬出装置10を
介して実施されているため、ディスク基板11の上面に
ごみやほこりが付着する要因となり、ディスク基板11
の上面に形成される記録原盤の品質が低下すると云う問
題を有している。
で移動するため、各処理部が邪魔になって、作業者によ
る第1,第2の可動部材15,16、保持部材17、保
持治具18のメンテナンス作業が困難である。
のディスク基板搬送ロボット8a,8bを有することに
なり、大型化する。また、作業者がディスク基板の供給
・取り出し作業を行うマガジン供給部1と完成品収納部
7とが離れた位置となるため、作業性および生産性が悪
いと云う問題を有している。
ることができ、処理中のディスク基板の表面にごみやほ
こり等が付着しない様にしてディスク基板の品質を確保
することができるマスタリング製造方法と製造装置を提
供することを目的とする。
防いで長期間にわたって高品質の高密度記録原盤を製造
できるマスタリング製造製造装置を提供することを目的
とする。
ク基板の供給・取り出し作業の容易性を実現できるマス
タリング製造装置を提供することを目的とする。
造装置は、各処理部の側方に何れの処理部に対してもデ
ィスク基板の下面を吸着保持してディスク基板を搬入搬
出できる単一の搬送ロボットを設けたことを特徴とす
る。
単一の搬送ロボットによって前記の各処理部に対してデ
ィスク基板の下面を保持しながら搬入搬出するととも
に、レジスト形成後のディスク基板のプリベークと現像
後のポストベークとは前記の搬送ロボットによって同一
のベーキング処理部に搬入してディスク基板のプリベー
クとポストベークを実施することを特徴とする。
置のコンパクト化と、処理中のディスク基板の品質を確
保と、生産性の向上と作業者による作業の容易性などを
実現でき、各処理部の部品の劣化や錆の発生を防いで長
期間にわたって高品質の高密度記録原盤を製造できる。
造装置は、ディスク基板を洗浄し、レジストをディスク
基板の表面に形成し、形成されたレジスト層に記録し、
現像し、導電化処理する各処理部を設け、前記各処理部
の側方に何れの処理部に対してもディスク基板の下面を
吸着保持してディスク基板を搬入搬出できる単一の搬送
ロボットを設けたことを特徴とする。
ットの共用化が可能となり、構成ががシンプルかつコン
パクトになる。また、搬送ロボットを各処理部の側方に
配設したため、メンテナンス性が良く、各処理部の上部
で移動する搬送装置を設置しなくても済み、高品質な原
盤の作製が可能である。
は、ディスク基板を洗浄し、レジストをディスク基板の
表面に形成し、形成されたレジスト層に記録し、現像
し、導電化処理する各処理部を設け、前記の各処理部の
側方に何れの処理部に対してもディスク基板の下面を吸
着保持してディスク基板を搬入搬出できる単一の搬送ロ
ボットを設け、前記の処理部のうちの必要な処理部の上
部に清浄空気を発生する清浄空気発生部を設けたことを
特徴とする。
ットの共用化が可能となり、そのため製造システムがシ
ンプルかつコンパクトになり、生産性が向上するととも
に、必要な処理部ではディスク基板の上面にいつも清浄
空気が流れており、そのためディスク基板の上面に高品
質かつ高密度な記録原盤を形成することができる。
は、請求項1、請求項2において、各処理部を横並び状
に配設し、搬送ロボットを横並び状に配設した各処理部
の前部または後部に平行直線状に配置したことを特徴と
する。
ると、請求項1、請求項2において、マスタリングによ
る高密度記録原盤の作製順序に無関係に各処理部を横並
び状に配設し、搬送ロボットを横並び状に配設した各処
理部の前部または後部に平行直線状に配置したことを特
徴とする。
ると、請求項1、請求項2において、搬送ロボットを、
各処理部の間を移動する搬送部材と、基端部が前記の搬
送部材の端部に取り付けられてこの基端部を中心に回動
自在のアームとで構成し、アームの先端に設けた気体吸
着穴から気体を吸い込んでディスク基板を吸着してディ
スク基板を水平状に保持しながら各処理部へ供給・取り
出し・搬送するよう構成したことを特徴とする。
ると、ディスク基板を洗浄し、レジストをディスク基板
の表面に形成し、形成されたレジスト層に記録し、現像
し、導電化処理する各処理部を経て高密度記録原盤を作
成するに際し、単一の搬送ロボットによって前記の各処
理部に対してディスク基板の下面を保持しながら搬入搬
出するとともに、レジスト形成後のディスク基板のプリ
ベークと現像後のポストベークとは前記の搬送ロボット
によって同一のベーキング処理部に搬入してディスク基
板のプリベークとポストベークを実施することを特徴と
する。
同一のベーキング処理部に搬入してディスク基板のプリ
ベークとポストベークを実施するので、ベーキング処理
部を単一にできる。
ると、請求項1、請求項2において、マスタリングによ
る高密度記録原盤の作製順序に無関係に薬品や水を使用
する処理部と光学部品や精密機構を有する処理部とを分
離して横並び状に配設し、搬送ロボットを横並び状に配
設した各処理部の前部または後部に平行直線状に配置し
たことを特徴とする。
る酸化などの劣化または湿気による錆を防ぐことがで
き、長期間にわたって高品質の高密度記録原盤を製造で
きる。請求項8記載のマスタリング製造装置は、請求項
1、請求項2において、マスタリングによる高密度記録
原盤の作製順序に無関係に薬品や水を使用する処理部と
光学部品や精密機構を有する処理部とを分離し、かつデ
ィスク基板の収納されたマガジン供給部と完成品収納部
とを近接して横並び状に配設し、搬送ロボットを横並び
状に配設した各処理部の前部または後部に平行直線状に
配置したことを特徴とする。
品収納部が離れていないため、作業者によるディスク基
板の供給・取り出し作業が容易となり作業性、生産性の
向上を実現できる。
造装置を図1〜図3に示す具体的な実施の形態に基づい
て説明する。なお、従来例を示す図4,図5と同様の作
用をなすものには同一の符号を付けて説明する。
カバー19の内部には、ディスク基板を洗浄し、レジス
トをディスク基板の表面に形成し、形成されたレジスト
層に記録し、現像し、導電化処理すると云う高密度記録
原盤の作成順序とは無関係に、ここでは薬品や水を使用
する処理部と光学部品や精密機構を有する処理部とに分
離して横並び状に配設されている。
するマガジン供給部1と、完成したディスク基板を複数
個収納する完成品収納部7と、ディスク基板を洗浄する
洗浄装置2と、導電化処理する現像導電化処理装置6
と、ディスク基板を加熱するベーキング装置4と、ディ
スク基板の表面にレジストを塗布するレジスト塗布装置
3と、レジスト塗布されたディスク基板に信号を記録す
るためのレーザーカッティング装置5とが順に横並び状
に平面配置されている。
は、単一のディスク基板搬送ロボット20が配置されて
いる。このディスク基板搬送ロボット20は図1と図3
に示すように構成されている。
ット20は、各処理部が配設されている位置に平行に配
設された搬送経路部材21と、搬送経路部材21に沿っ
て移動可能な搬送部材22と、基端部が搬送部材22の
端部に取り付けられてこの基端部を中心に回動自在のア
ーム23とで構成し、アーム23の先端に設けた薄板状
のヘッド部分に形成された気体吸着穴24から気体を吸
い込んでディスク基板11を吸着し、ディスク基板11
を水平状に保持しながら適当な位置で昇降してディスク
基板11を各処理部へ供給し、取り出し、前記の作成順
序の次の処理部へ搬送するように構成されている。
にしたがってディスク基板搬送ロボット20を下記のよ
うに運転する。 ディスク基板搬送ロボット20が作動し、マガジン
供給部1からディスク基板11を1個取り出し、洗浄装
置2へ供給する。
は、ターンテーブルユニット12に載置され、図示して
いない洗浄供給ノズルから洗浄液を供給されながら表面
を清浄な状態に洗浄される。洗浄装置2での処理が終了
すると、ディスク基板搬送ロボット20が洗浄装置2か
らディスク基板11を取り出してレジスト塗布装置3に
搬入する。
ク基板11の表面には図示されていないノズルからレジ
ストが均一に塗布される。レジスト塗布装置3での処理
が終了すると、ディスク基板搬送ロボット20がレジス
ト塗布装置3からディスク基板11を取り出してベーキ
ング装置4に搬入する。
設定された温度にディスク基板11がプリベークされ、
ディスク基板11の上面にむらなく均一なレジスト膜
(レジスト層)が形成される。ベーキング装置4での処
理が終了すると、ディスク基板搬送ロボット20がベー
キング装置4からディスク基板11を取り出してレーザ
ーカッティング装置5に搬入する。
御装置3の指令で設定された信号をディスク基板11の
レジスト膜(レジスト層)に高密度に記録する。レーザ
ーカッティング装置5での処理が終了すると、ディスク
基板搬送ロボット20がレーザーカッティング装置5か
らディスク基板11を取り出して現像導電化処理装置6
に搬入する。
号を記録されたディスク基板11の上面の現像と、無電
解メッキによる導電化処理を行う。現像導電化処理装置
6での処理が終了すると、ディスク基板搬送ロボット2
0が現像導電化処理装置6からディスク基板11を取り
出してベーキング装置4に搬入する。
設定された温度にディスク基板11がポストベークされ
る。ポストベークを終了するとディスク基板搬送ロボッ
ト20がベーキング装置4からディスク基板11を取り
出して完成品収納部7に搬入する。完成品収納部7は複
数個の導電化処理されたディスク基板11を、図示して
いない一個づつの専用カートリッジに収納することがで
きる。
送ロボット8a,8bと搬入搬出装置10とが必要であ
ったものが、単一のディスク基板搬送ロボット20だけ
で各処理部へのディスク基板11の搬入搬出を実施でき
るので、従来に比べて装置をコンパクトにできる。
20で済むとともに、ディスク基板搬送ロボット20は
各処理部の側方に配置されているため、メンテナンス性
が良く、従来のように各処理部の上方位置を移動してデ
ィスク基板11を搬入搬出する搬入搬出装置10が設け
られていないため、このような搬入搬出装置10から発
生するごみやほこりが要因でディスク基板11に異物が
付着することがなくなり、記録原盤の品質の向上を期待
できる。
うに各処理部の上方位置に、清浄空気発生部26を設
け、カバー19の内部に清浄空気を供給するように構成
したので、各処理部は清浄空気の環境下でそれぞれの処
理を実行するため、記録原盤の品質の向上を期待でき
る。各処理部では吸い込んだ清浄空気はカバー19の内
部に再放出するようなことはせずにカバー19の外部に
排気するように構成されている。
盤の作製順序によらずに、薬品や水を使用する処理部で
ある洗浄装置2,現像導電化処理装置6,レジスト塗布
装置3から、光学部品や精密機構を有する処理部として
のレーザーカッティング装置5を離して横並び状に配設
したため、部品の薬液雰囲気による酸化などの劣化また
は湿気による錆を防ぐことができ、長期間にわたって高
品質の高密度記録原盤を製造できる。
ディスク基板11を吸着保持しているので、ディスク基
板11の端面に、ディスク基板を保持するための保持治
具などが接することがないため、ディスク基板11の端
面に付着したレジストがベーキング後に固まって固形物
になり、それが保持治具に接触して欠け落ち、ディスク
基板11の上面に再付着し、ディフェクトになるような
事態を回避することもできるという優れた効果がある。
ロボット20を各処理部の搬入搬出が実施される側の前
部に平行直線状に配置したが、各処理部の後部に平行直
線状に配置してもよい。
配置したが、各処理部を上下方向に配置して構成するこ
ともできる。
装置は、ディスク基板を洗浄し、レジストをディスク基
板の表面に形成し、形成されたレジスト層に記録し、現
像し、導電化処理する各処理部を設け、前記各処理部の
側方に何れの処理部に対してもディスク基板を搬入搬出
できる単一の搬送ロボットを設けたため、ディスク基板
搬送ロボットの共用化が可能となり、構成ががシンプル
かつコンパクトになる。また、搬送ロボットを各処理部
の側方に配設したため、メンテナンス性が良く、各処理
部の上部で移動する搬送装置を設置しなくても済み、高
品質な原盤の作製が可能である。
の上部に清浄空気を発生する清浄空気発生部を設けた場
合には、必要な処理部ではディスク基板の上面にいつも
清浄空気が流れており、そのためディスク基板の上面に
高品質かつ高密度な記録原盤を形成することができる。
し、搬送ロボットを横並び状に配設した各処理部の前部
または後部に平行直線状に配置することによって実現で
きる。また、各処理部を高密度記録原盤の作製順序に無
関係に横並び状に配設し、搬送ロボットを横並び状に配
設した各処理部の前部または後部に平行直線状に配置す
ることによっても実現できる。
動する搬送部材と、基端部が前記の搬送部材の端部に取
り付けられてこの基端部を中心に回動自在のアームとで
構成し、アームの先端に設けた気体吸着穴から気体を吸
い込んでディスク基板を吸着してディスク基板を水平状
に保持しながら各処理部へ供給・取り出し・搬送するよ
う構成した場合には、搬送ロボットはディスク基板を吸
着保持しているので、ディスク基板の端面に、ディスク
基板を保持するための保持治具などが接することがない
ため、ディスク基板の端面に付着したレジストがベーキ
ング後に固まって固形物になり、それが保持治具に接触
して欠け落ち、ディスク基板の上面に再付着し、ディフ
ェクトになるような事態を回避することもできるという
優れた効果がある。
序によらずに、薬品や水を使用する処理部と光学部品や
精密機構を有する処理部とに分離して横並び状に配設
し、搬送ロボットを横並び状に配設した各処理部の前部
または後部に平行直線状に配置したため、部品の薬液雰
囲気による酸化などの劣化または湿気による錆を防ぐこ
とができ、長期間にわたって高品質の高密度記録原盤を
製造できる。
序によらずに、薬品や水を使用する処理部と光学部品や
精密機構を有する処理部とに分離し、かつガラス基板の
収納されたマガジン供給部と完成品収納部とを近接して
横並び状に配設し、搬送ロボットを横並び状に配設した
各処理部の前部または後部に平行直線状に配置したた
め、作業者によるディスク基板の供給・取り出し作業が
容易となり作業性、生産性の向上に寄与することができ
る。
ディスク基板を洗浄し、レジストをディスク基板の表面
に形成し、形成されたレジスト層に記録し、現像し、導
電化処理する各処理部を経て高密度記録原盤を作成する
に際し、単一の搬送ロボットによって前記の各処理部に
対してディスク基板を搬入搬出するとともに、レジスト
塗布後のディスク基板のプリベークと現像後のポストベ
ークレジスト塗布後と現像後には前記の搬送ロボットに
よって同一のベーキング処理部に搬入してディスク基板
のプリベークとポストベークを実施するので、搬送ロボ
ットによって同一のベーキング処理部に搬入してディス
ク基板のプリベークとポストベークを実施するので、ベ
ーキング処理部を単一にできる。
透視斜視図
ボットの側面断面図
平面図
Claims (8)
- 【請求項1】ディスク基板を洗浄し、レジストをディス
ク基板の表面に形成し、形成されたレジスト層に記録
し、現像し、導電化処理する各処理部を設け、 前記各処理部の側方に何れの処理部に対してもディスク
基板の下面を吸着保持してディスク基板を搬入搬出でき
る単一の搬送ロボットを設けたマスタリング製造装置。 - 【請求項2】ディスク基板を洗浄し、レジストをディス
ク基板の表面に形成し、形成されたレジスト層に記録
し、現像し、導電化処理する各処理部を設け、 前記の各処理部の側方に何れの処理部に対してもディス
ク基板の下面を吸着保持してディスク基板を搬入搬出で
きる単一の搬送ロボットを設け、 前記の処理部のうちの必要な処理部の上部に清浄空気を
発生する清浄空気発生部を設けたマスタリング製造装
置。 - 【請求項3】各処理部を横並び状に配設し、搬送ロボッ
トを横並び状に配設した各処理部の前部または後部に平
行直線状に配置した請求項1または請求項2記載のマス
タリング製造装置。 - 【請求項4】マスタリングによる高密度記録原盤の作製
順序に無関係に各処理部を横並び状に配設し、搬送ロボ
ットを横並び状に配設した各処理部の前部または後部に
平行直線状に配置した請求項1または請求項2記載のマ
スタリング製造装置。 - 【請求項5】搬送ロボットを、各処理部の間を移動する
搬送部材と、基端部が前記の搬送部材の端部に取り付け
られてこの基端部を中心に回動自在のアームとで構成
し、 アームの先端に設けた気体吸着穴から気体を吸い込んで
ディスク基板を吸着してディスク基板を水平状に保持し
ながら各処理部へ供給・取り出し・搬送するよう構成し
た請求項1または請求項2記載のマスタリング製造装
置。 - 【請求項6】ディスク基板を洗浄し、レジストをディス
ク基板の表面に形成し、形成されたレジスト層に記録
し、現像し、導電化処理する各処理部を経て高密度記録
原盤を作成するに際し、単一の搬送ロボットによって前
記の各処理部に対してディスク基板の下面を保持しなが
ら搬入搬出するとともに、レジスト形成後のディスク基
板のプリベークと現像後のポストベークとは前記の搬送
ロボットによって同一のベーキング処理部に搬入してデ
ィスク基板のプリベークとポストベークを実施するマス
タリング製造方法。 - 【請求項7】マスタリングによる高密度記録原盤の作製
順序に無関係に薬品や水を使用する処理部と光学部品や
精密機構を有する処理部とを分離して横並び状に配設
し、搬送ロボットを横並び状に配設した各処理部の前部
または後部に平行直線状に配置した請求項1または請求
項2記載のマスタリング製造装置。 - 【請求項8】マスタリングによる高密度記録原盤の作製
順序に無関係に薬品や水を使用する処理部と光学部品や
精密機構を有する処理部とを分離し、かつディスク基板
の収納されたマガジン供給部と完成品収納部とを近接し
て横並び状に配設し、搬送ロボットを横並び状に配設し
た各処理部の前部または後部に平行直線状に配置した請
求項1または請求項2記載のマスタリング製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31151296A JP3264843B2 (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | マスタリング製造方法と製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31151296A JP3264843B2 (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | マスタリング製造方法と製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10154358A JPH10154358A (ja) | 1998-06-09 |
JP3264843B2 true JP3264843B2 (ja) | 2002-03-11 |
Family
ID=18018134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31151296A Expired - Fee Related JP3264843B2 (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | マスタリング製造方法と製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3264843B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
JP2009117019A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-28 | Fujifilm Corp | ヒートモード型記録材料層の洗浄方法、凹凸製品の製造方法、発光素子の製造方法および光学素子の製造方法 |
-
1996
- 1996-11-22 JP JP31151296A patent/JP3264843B2/ja not_active Expired - Fee Related
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