JP3255757B2 - 放射照度測定器 - Google Patents
放射照度測定器Info
- Publication number
- JP3255757B2 JP3255757B2 JP10486493A JP10486493A JP3255757B2 JP 3255757 B2 JP3255757 B2 JP 3255757B2 JP 10486493 A JP10486493 A JP 10486493A JP 10486493 A JP10486493 A JP 10486493A JP 3255757 B2 JP3255757 B2 JP 3255757B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- convex mirror
- diffuser
- opening
- reflection
- irradiance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002070 germicidal effect Effects 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000002189 fluorescence spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/58—Photometry, e.g. photographic exposure meter using luminescence generated by light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/429—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to measurement of ultraviolet light
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、照度や放射照度を測定
するための放射照度測定器に関するものである。
するための放射照度測定器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】照度や、放射照度の測定では、測定に使
用する受光器の受光面への光の入射角θに対して、その
出力が余弦則（ｃｏｓθ）を満足する必要がある。特に
実際の放射照度測定では、複数の放射源からの合成され
た放射照度を測定する場合が多く、したがって様々な角
度から入射する放射の合成された放射照度を一つの受光
面で捕らえるため、測定後の補正ができない。このた
め、たとえば可視波長域の照度を測定する照度計では、
斜め入射光補正用に乳白ガラスやアクリル拡散板などの
白色拡散透過板（半球状または円形平板状）が入射窓に
取り付けてある。
用する受光器の受光面への光の入射角θに対して、その
出力が余弦則（ｃｏｓθ）を満足する必要がある。特に
実際の放射照度測定では、複数の放射源からの合成され
た放射照度を測定する場合が多く、したがって様々な角
度から入射する放射の合成された放射照度を一つの受光
面で捕らえるため、測定後の補正ができない。このた
め、たとえば可視波長域の照度を測定する照度計では、
斜め入射光補正用に乳白ガラスやアクリル拡散板などの
白色拡散透過板（半球状または円形平板状）が入射窓に
取り付けてある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、紫外波長域で
使用される殺菌線放射照度計などでは、紫外波長域で優
れた拡散特性を持つ拡散透過材料がないため、斜め入射
特性が余弦則から大きくはずれるものが多かった。また
反射拡散板を使用した場合、受光部が放射の入射側に位
置するため、反射拡散板に受光部自身の影を落とすた
め、斜め入射特性が余弦則から大きくはずれるものが多
かった。
使用される殺菌線放射照度計などでは、紫外波長域で優
れた拡散特性を持つ拡散透過材料がないため、斜め入射
特性が余弦則から大きくはずれるものが多かった。また
反射拡散板を使用した場合、受光部が放射の入射側に位
置するため、反射拡散板に受光部自身の影を落とすた
め、斜め入射特性が余弦則から大きくはずれるものが多
かった。
【０００４】本発明は上記問題を解決するもので、紫外
波長域での放射照度を精度よく測定できる、斜め入射光
特性が余弦則に合致した放射照度測定器を提供すること
を目的とするものである。
波長域での放射照度を精度よく測定できる、斜め入射光
特性が余弦則に合致した放射照度測定器を提供すること
を目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明の放射照度測定器は、紫外波長域で十分な拡
散特性を持ち、中央に開口を持つ反射拡散板に放射を入
射させ、その拡散反射成分のうち、前記反射拡散板開口
部の前面に配置した凸面鏡の焦点に向かう放射束を、前
記凸面鏡によって前記反射拡散板開口部に導き、その裏
面に配置した受光部で検出するようにしたものである。
めに本発明の放射照度測定器は、紫外波長域で十分な拡
散特性を持ち、中央に開口を持つ反射拡散板に放射を入
射させ、その拡散反射成分のうち、前記反射拡散板開口
部の前面に配置した凸面鏡の焦点に向かう放射束を、前
記凸面鏡によって前記反射拡散板開口部に導き、その裏
面に配置した受光部で検出するようにしたものである。
【０００６】
【０００７】
【作用】上記構成により、中央に開口を持つ反射拡散板
と凸面鏡を用いたものでは、前記凸面鏡の焦点からはず
れた光軸で前記凸面鏡に入射した拡散放射束は、再び前
記反射拡散板に入射して前記凸面鏡に影の影響を小さく
でき、斜め入射光特性が余弦則に合致した紫外放射照度
測定器を実現でき、紫外波長域で、放射照度を精度よく
測定できる。
と凸面鏡を用いたものでは、前記凸面鏡の焦点からはず
れた光軸で前記凸面鏡に入射した拡散放射束は、再び前
記反射拡散板に入射して前記凸面鏡に影の影響を小さく
でき、斜め入射光特性が余弦則に合致した紫外放射照度
測定器を実現でき、紫外波長域で、放射照度を精度よく
測定できる。
【０００８】
【０００９】
【実施例】以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。本発明の一実施例を波長１８５ｎｍの紫外線水銀
輝線を測定する紫外線放射照度測定器について説明す
る。図１は本発明の一実施例の放射照度測定器の構成図
を示す。測定しようとする放射源１からの紫外線放射２
を蛍光発光板３で受光し、その蛍光発光４を発生させ
る。蛍光板３の側面に、測定放射である１８５ｎｍ成分
を除去し、蛍光発光成分の一部である３００ｎｍから３
５０ｎｍの発光成分のみを透過する帯域フィルタ５を装
着した光検出器であるＧａＰホトダイオード６を配置
し、蛍光発光成分４を検出し、前置増幅器７を通して指
示計器８で紫外線放射２の放射照度を指示する。
する。本発明の一実施例を波長１８５ｎｍの紫外線水銀
輝線を測定する紫外線放射照度測定器について説明す
る。図１は本発明の一実施例の放射照度測定器の構成図
を示す。測定しようとする放射源１からの紫外線放射２
を蛍光発光板３で受光し、その蛍光発光４を発生させ
る。蛍光板３の側面に、測定放射である１８５ｎｍ成分
を除去し、蛍光発光成分の一部である３００ｎｍから３
５０ｎｍの発光成分のみを透過する帯域フィルタ５を装
着した光検出器であるＧａＰホトダイオード６を配置
し、蛍光発光成分４を検出し、前置増幅器７を通して指
示計器８で紫外線放射２の放射照度を指示する。
【００１０】図２に殺菌灯を光源としたときの入力放射
スペクトルとそれによる蛍光スペクトルを示す。蛍光発
光板３は波長２２０ｎｍ以上の放射を透過し、それ以下
の波長の放射を吸収するオゾンレス石英ガラスを使用す
る。オゾンレスガラスは、内部に含まれる不純物の一部
が波長２２０ｎｍ以下の放射に対して蛍光発光を示す。
蛍光発光は励起される不純物ひとつひとつが光源とし
て、波長２２０ｎｍ以上の放射を発散するため、その発
光の配光は紫外放射２の入射角に対して、完全拡散特性
を示す。したがって、これによって検出器の斜め入射光
特性を余弦則に合致させることができる。これを３００
ｎｍから３５０ｎｍの発光成分のみを透過する帯域フィ
ルタ５を装着した光検出器であるＧａＰホトダイオード
６で検出する。なお、ＧａＰホトダイオード６は波長５
５０ｎｍ以下しか感度がないため、帯域フィルタ５の副
透過帯は５５０ｎｍまで許容できるので、帯域フィルタ
の設計が容易である。
スペクトルとそれによる蛍光スペクトルを示す。蛍光発
光板３は波長２２０ｎｍ以上の放射を透過し、それ以下
の波長の放射を吸収するオゾンレス石英ガラスを使用す
る。オゾンレスガラスは、内部に含まれる不純物の一部
が波長２２０ｎｍ以下の放射に対して蛍光発光を示す。
蛍光発光は励起される不純物ひとつひとつが光源とし
て、波長２２０ｎｍ以上の放射を発散するため、その発
光の配光は紫外放射２の入射角に対して、完全拡散特性
を示す。したがって、これによって検出器の斜め入射光
特性を余弦則に合致させることができる。これを３００
ｎｍから３５０ｎｍの発光成分のみを透過する帯域フィ
ルタ５を装着した光検出器であるＧａＰホトダイオード
６で検出する。なお、ＧａＰホトダイオード６は波長５
５０ｎｍ以下しか感度がないため、帯域フィルタ５の副
透過帯は５５０ｎｍまで許容できるので、帯域フィルタ
の設計が容易である。
【００１１】また、図１の構成において、蛍光板３の側
面と、帯域フィルタ５を装着した光検出器であるＧａＰ
ホトダイオード６とを光ファイバ（図示せず）で結合
し、受光部を小形軽量化し、かつ光検出器６と前置増幅
器７、指示計器８を一体に実装することにより、雑音に
強くかつ受光部と表示部を分離したフレキシブルな測定
を実現した放射照度の測定器を提供できる。
面と、帯域フィルタ５を装着した光検出器であるＧａＰ
ホトダイオード６とを光ファイバ（図示せず）で結合
し、受光部を小形軽量化し、かつ光検出器６と前置増幅
器７、指示計器８を一体に実装することにより、雑音に
強くかつ受光部と表示部を分離したフレキシブルな測定
を実現した放射照度の測定器を提供できる。
【００１２】次に本発明の他の実施例を先の実施例と同
様に波長１８５ｎｍの紫外線水銀輝線を測定する紫外線
放射照度測定器について図面に基づいて説明する。図３
は本発明の他の実施例の放射照度測定器の構成図を示
す。この測定器は、中央に円形の開口１０を持つ円形の
硫酸バリュウム反射拡散板１１と、開口１０の中心を通
り、かつ反射拡散板１１の拡散面に垂直な光軸上に、そ
の光路が垂直に入射するように配置した凸面鏡１２と、
前記開口１０の中心を通る光軸上で開口裏面で光路を９
０°曲げるように配置された平面鏡１３と、反射拡散板
１１に対して凸面鏡１２とは反対側に配置され平面鏡１
３からの光が入射されて波長１８５ｎｍのみを透過する
干渉フィルタ１４を装着した光検出器であるＧａＰホト
ダイオード１５とを備えている。
様に波長１８５ｎｍの紫外線水銀輝線を測定する紫外線
放射照度測定器について図面に基づいて説明する。図３
は本発明の他の実施例の放射照度測定器の構成図を示
す。この測定器は、中央に円形の開口１０を持つ円形の
硫酸バリュウム反射拡散板１１と、開口１０の中心を通
り、かつ反射拡散板１１の拡散面に垂直な光軸上に、そ
の光路が垂直に入射するように配置した凸面鏡１２と、
前記開口１０の中心を通る光軸上で開口裏面で光路を９
０°曲げるように配置された平面鏡１３と、反射拡散板
１１に対して凸面鏡１２とは反対側に配置され平面鏡１
３からの光が入射されて波長１８５ｎｍのみを透過する
干渉フィルタ１４を装着した光検出器であるＧａＰホト
ダイオード１５とを備えている。
【００１３】このとき反射拡散板１１と凸面鏡１２の焦
点までの距離は、凸面鏡１２の焦点距離より大きく、反
射拡散板１１端部と拡散板開口１０の中心と凸面鏡１２
の焦点とのなす直角三角形と、前記凸面鏡１２端部とこ
の凸面鏡１２端部を含む面が開口１０中心を通る光軸に
交わる点と凸面鏡１２の焦点とのなす直角三角形が、相
似かまたはそれに近い関係にあり、かつ拡散板開口部１
０の直径と凸面鏡１２の外径がほぼ等しい構造を持ち、
反射拡散板１１に入射した紫外放射の拡散反射成分を凸
面鏡１２によって平行光とし、拡散板開口部１０を通し
てこの拡散板開口部１０とほぼ同一径の平面鏡１３で光
路を９０°を曲げ、干渉フィルタ１４を通してＧａＰホ
トダイオード１５に導く。
点までの距離は、凸面鏡１２の焦点距離より大きく、反
射拡散板１１端部と拡散板開口１０の中心と凸面鏡１２
の焦点とのなす直角三角形と、前記凸面鏡１２端部とこ
の凸面鏡１２端部を含む面が開口１０中心を通る光軸に
交わる点と凸面鏡１２の焦点とのなす直角三角形が、相
似かまたはそれに近い関係にあり、かつ拡散板開口部１
０の直径と凸面鏡１２の外径がほぼ等しい構造を持ち、
反射拡散板１１に入射した紫外放射の拡散反射成分を凸
面鏡１２によって平行光とし、拡散板開口部１０を通し
てこの拡散板開口部１０とほぼ同一径の平面鏡１３で光
路を９０°を曲げ、干渉フィルタ１４を通してＧａＰホ
トダイオード１５に導く。
【００１４】ＧａＰホトダイオード１５の光電出力は、
図１の実施例と同様に前置増幅器７を通して指示計器８
に導かれ、紫外線放射２の放射照度を指示する。拡散板
開口部１０とほぼ同一径の平面鏡１３で光路を９０°を
曲げることにより、凸面鏡１２からの放射以外の直接放
射源１から拡散板開口部１０に入射する放射が光検出器
であるＧａＰホトダイオード１５に入射することを回避
できる。なお、ＧａＰホトダイオード１５は波長５５０
ｎｍ以下しか感度がないため、干渉フィルタ１４の副透
過帯は５５０ｎｍまで許容できるので、干渉フィルタ１
４の設計は容易である。
図１の実施例と同様に前置増幅器７を通して指示計器８
に導かれ、紫外線放射２の放射照度を指示する。拡散板
開口部１０とほぼ同一径の平面鏡１３で光路を９０°を
曲げることにより、凸面鏡１２からの放射以外の直接放
射源１から拡散板開口部１０に入射する放射が光検出器
であるＧａＰホトダイオード１５に入射することを回避
できる。なお、ＧａＰホトダイオード１５は波長５５０
ｎｍ以下しか感度がないため、干渉フィルタ１４の副透
過帯は５５０ｎｍまで許容できるので、干渉フィルタ１
４の設計は容易である。
【００１５】
【発明の効果】上記のように発明によれば、紫外波長域
で放射照度を精度よく測定でき、斜め入射光特性が余弦
則に合致した放射照度測定器を実現することができる。
で放射照度を精度よく測定でき、斜め入射光特性が余弦
則に合致した放射照度測定器を実現することができる。
【図１】本発明の一実施例の紫外線放射照度測定器の構
成図
成図
【図２】同実施例の紫外線放射照度測定器において、殺
菌灯を光源としたときの入力放射スペクトルとそれによ
る蛍光スペクトルを示す図
菌灯を光源としたときの入力放射スペクトルとそれによ
る蛍光スペクトルを示す図
【図３】本発明の他の実施例の紫外線放射照度測定器の
構成図
構成図
１ 放射源 ２ 紫外線放射 ３ 蛍光発光板 ４ 蛍光発光 ５ 帯域フィルタ ６ ＧａＰホトダイオード ７ 前置増幅器 ８ 指示計器 １０ 開口 １１ 硫酸バリュウム反射拡散板 １２ 凸面鏡 １３ 平面鏡 １４ 干渉フィルタ １５ ＧａＰホトダイオード
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−140826（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−188303（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−47921（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−48423（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01J 1/02 G01J 1/42 G01J 1/58
Claims (1)
- 【請求項１】 ある励起波長帯域で拡散特性を持ち、中
央に円形の開口を持つ円形またはそれに近い形状の反射
拡散板と、前記開口の中心を通り、かつ前記反射拡散板
の拡散面に垂直な光軸上に、その光路が垂直に入射する
ように配置した凸面鏡と、前記反射拡散板に対して前記
凸面鏡とは反対側に配置した光検出器とを備え、前記反
射拡散板と前記凸面鏡の焦点までの距離は、前記凸面鏡
の焦点距離より大きく、かつ、前記反射拡散板端部から
任意に選んだ点と前記拡散板開口の中心と前記凸面鏡の
焦点とのなす直角三角形と、前記凸面鏡の焦点と前記凸
面鏡端部を含む平面が前記光軸に交わる点と前記凸面鏡
端部から任意に選んだ点とのなす直角三角形とが、相似
かまたはそれに近い関係にあり、かつ、前記拡散板開口
部の直径と、前記凸面鏡の外径がほぼ等しい寸法を持
ち、前記反射拡散板に入射した光の拡散反射成分を前記
凸面鏡によって、前記反射拡散板の開口部を通して前記
光検出器に導くように構成した放射照度測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10486493A JP3255757B2 (ja) | 1993-05-06 | 1993-05-06 | 放射照度測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10486493A JP3255757B2 (ja) | 1993-05-06 | 1993-05-06 | 放射照度測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06317463A JPH06317463A (ja) | 1994-11-15 |
| JP3255757B2 true JP3255757B2 (ja) | 2002-02-12 |
Family
ID=14392113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10486493A Expired - Fee Related JP3255757B2 (ja) | 1993-05-06 | 1993-05-06 | 放射照度測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3255757B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6335529B1 (en) | 1998-08-20 | 2002-01-01 | Omron Corporation | Ultraviolet detector |
| CN116147764B (zh) * | 2023-04-20 | 2023-07-07 | 中国计量科学研究院 | 辐射照度标定、灵敏度测试装置及方法 |
-
1993
- 1993-05-06 JP JP10486493A patent/JP3255757B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06317463A (ja) | 1994-11-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4022534A (en) | Reflectometer optical system | |
| US7283222B1 (en) | Optical measuring device | |
| TW200846638A (en) | A high-speed optical sensing device abling to sense luminous intensity and chromaticity and an optical measuring system with the high-speed optical sensing device | |
| JP3463135B2 (ja) | 紫外線検出器 | |
| JP2002181698A (ja) | 分光反射率測定装置および分光反射率測定方法 | |
| US5021668A (en) | Electro-optical middle ultra-violet sensors | |
| GB2329707A (en) | Infra-red absorption measurement | |
| JP3255757B2 (ja) | 放射照度測定器 | |
| JP3114410B2 (ja) | イメージセンサの試験方法 | |
| JPH03262931A (ja) | 光電子増倍管の感度校正用光源装置 | |
| CN2215720Y (zh) | 一种粉尘浓度测定计 | |
| KR20180064724A (ko) | 가스 센서 | |
| JPS59204726A (ja) | 炎検知器 | |
| JPS6127683B2 (ja) | ||
| JP2005500539A5 (ja) | ||
| JP3336888B2 (ja) | 金属板の色調測定方法および装置 | |
| RU2470262C1 (ru) | Способ и устройство для имитации фоновой засветки без искажения спектра фонового излучения | |
| US20230392924A1 (en) | Condenser unit for providing directed lighting of an object to be measured positioned in a measured object position, imaging device and method for recording a silhouette contour of at least one object to be measured in a measuring field using an imaging device and use of an attenuation element | |
| US4968139A (en) | Illuminating system for the visual inspection of objects | |
| JPS62174607A (ja) | 計測機光学系 | |
| JPS60235027A (ja) | 狭波長帯域投受光装置 | |
| JPH0455725A (ja) | 余弦法則に従う放射照度計 | |
| JPH07146174A (ja) | 測光装置 | |
| JPH069339Y2 (ja) | 携帯用光測定装置 | |
| JPH05231931A (ja) | 照度測定用受光器および放射輝度計 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |