JP3249177B2 - Bonding apparatus, bonding method, and liquid crystal panel manufacturing method - Google Patents
Bonding apparatus, bonding method, and liquid crystal panel manufacturing methodInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、液晶ガラス
基板にTAB部品である液晶駆動用ICを異方性導電膜
を介して実装するボンディング装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bonding apparatus for mounting a liquid crystal driving IC as a TAB component on a liquid crystal glass substrate via an anisotropic conductive film.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶パネルの製造工程では、図5に示す
ように、液晶ガラス基板1(以下「ガラス基板」とい
う)の周囲に液晶駆動用IC2(以下「IC」とい
う。)が実装される。一般に、液晶駆動用ICはTAB
(Tape Automated Bonnding )部品であり、実装は、こ
のIC2のフィルムキャリアから突出したリ−ドと、上
記液晶ガラス基板1の配線パタ−ンとを接続するもので
ある。2. Description of the Related Art In a manufacturing process of a liquid crystal panel, as shown in FIG. 5, a liquid crystal driving IC 2 (hereinafter, referred to as "IC") is mounted around a liquid crystal glass substrate 1 (hereinafter, referred to as "glass substrate"). . Generally, the liquid crystal drive IC is TAB
(Tape Automated Bonding) A component is mounted to connect the lead protruding from the film carrier of the IC 2 to the wiring pattern of the liquid crystal glass substrate 1.
【0003】この接続方法としては、異方性導電膜(異
方性導電接着剤)を用いてボンディングする方法が広く
採用されている。異方性導電膜は、その特性により熱硬
化型と熱可塑型に大別されるが、いずれも、この異方性
導電膜を介して上記IC2のリ−ドと上記ガラス基板1
の配線パタ−ンとを位置決めし仮止めした後、図6に示
すように、圧着ブロック3を用いて上記リ−ドを上記配
線パタ−ンに加圧し加熱することで両者を接合するもの
である。As this connection method, a bonding method using an anisotropic conductive film (anisotropic conductive adhesive) has been widely adopted. The anisotropic conductive film is roughly classified into a thermosetting type and a thermoplastic type according to its characteristics. In both cases, the lead of the IC 2 and the glass substrate 1 are interposed via the anisotropic conductive film.
After the wiring pattern is positioned and temporarily fixed, as shown in FIG. 6, the lead is pressed against the wiring pattern using a crimping block 3 and heated to join the two. is there.
【0004】従来、上記圧着ブロック3は、コンスタン
トヒ−ト方式(常時加熱方式)と、パルスヒ−ト方式
(瞬間加熱方式)のいずれかの方式のものが採用されて
いる。この圧着ブロック3は、エアシリンダ4により上
下駆動され、上記IC2を所定のボンディング圧力Pで
上記ガラス基板1に押圧することで、このIC2をガラ
ス基板1にボンディングするようになっている。Conventionally, the crimping block 3 employs either a constant heat method (constant heating method) or a pulse heat method (instantaneous heating method). The crimping block 3 is driven up and down by an air cylinder 4 to press the IC 2 against the glass substrate 1 at a predetermined bonding pressure P, thereby bonding the IC 2 to the glass substrate 1.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のボン
ディング装置には、以下に説明するような欠点があっ
た。The conventional bonding apparatus has the following disadvantages.
【0006】すなわち、第1に、ガラス基板1に異方性
導電膜を介してIC2を圧着する場合に、圧着ブロック
3による加熱によって上記IC2のキャリアテ−プが膨
脹し、あらかじめ位置合わせしたガラス基板1の配線パ
タ−ンとIC2のリ−ドとの間に位置ずれが生じてしま
うこと、第2に、圧着ブロック3の押圧面の平行度や平
坦度等の精度を維持することが困難であることである。That is, first, when the IC 2 is pressed on the glass substrate 1 via the anisotropic conductive film, the carrier tape of the IC 2 expands due to the heating by the pressing block 3, and the pre-aligned glass is formed. Second, it is difficult to maintain the accuracy such as the parallelism and flatness of the pressing surface of the pressure bonding block 3 because a positional shift occurs between the wiring pattern of the substrate 1 and the lead of the IC 2. It is to be.
【0007】上記圧着ブロック3の加熱方式としてパル
スヒ−ト方式を採用した場合には、加圧完了後に通電加
熱を開始することでフィルムキャリアの伸びを抑制する
ことが可能である。しかし、パルスヒ−ト方式ではその
性質上、均一な温度分布、強度、精度が得られる圧着ブ
ロック3の押圧面の長さ(大きさ)に限界がある。この
ため、比較的大きなTAB部品である液晶駆動用IC2
のボンディングには不向きである。また、このパルスヒ
−ト方式の圧着ブロック3の寿命は短いので維持費がか
かるという欠点を持つ。一方、コンスタントヒ−ト方式
を採用した場合、パルスヒ−ト方式に比べて剛性があ
り、寿命も長い。When a pulse heat method is used as the heating method of the pressure bonding block 3, the elongation of the film carrier can be suppressed by starting the energization heating after the completion of the pressurization. However, in the pulse heat method, there is a limit to the length (size) of the pressing surface of the pressure bonding block 3 from which a uniform temperature distribution, strength, and accuracy can be obtained due to its properties. For this reason, the liquid crystal driving IC 2 which is a relatively large TAB component is used.
Is not suitable for bonding. Further, the pulse heat type crimping block 3 has a shortcoming in that the life thereof is short, so that a maintenance cost is required. On the other hand, when the constant heat method is employed, the rigidity is higher and the life is longer as compared with the pulse heat method.
【0008】しかし、図6に示すように、ヒ−タを内装
した一つの圧着ブロック3と、これを上下駆動する一つ
のエアシリンダ4とを具備する装置では、加圧完了前の
フィルムキャリアの伸びを抑制するには圧着ブロック3
の下降スピ−ドを早く設定するしか方策はない。しか
し、上記圧着ブロック3の下降スピ−ドを早く設定する
と、この圧着ブロック3が上記IC2に当接する際の衝
撃が大きく、上記IC2やガラス基板1を破損させる恐
れがある。However, as shown in FIG. 6, in an apparatus having one crimping block 3 containing a heater and one air cylinder 4 for driving the crimping block up and down, the film carrier before pressurization is completed is not used. Crimp block 3 to control elongation
The only way to do this is to set the falling speed faster. However, if the descending speed of the crimping block 3 is set earlier, the impact when the crimping block 3 comes into contact with the IC 2 is large, and the IC 2 and the glass substrate 1 may be damaged.
【0009】一方、上記エアシリンダ4としてボンディ
ング圧力以上の圧力を発生させる高圧のシリンダを用い
た場合には、上記リ−ドを初期状態から力強く押圧さえ
ることはできるが、ボンディング圧力Pよりも高圧であ
るため上記IC2やガラス基板1を破損させる問題点が
ある。On the other hand, when a high-pressure cylinder that generates a pressure higher than the bonding pressure is used as the air cylinder 4, the lead can be pressed strongly from the initial state, but the pressure is higher than the bonding pressure P. Therefore, there is a problem that the IC 2 and the glass substrate 1 are damaged.
【0010】また、図6のように、一辺が比較的短い液
晶パネルを製造する場合は、一つの圧着ブロック3を用
いて一括的にボンディングをしても良いが、大型のIC
2…を具備する比較的大きな液晶パネルを製造する場合
には、上記パルスヒ−ト型と同様に精度上の問題があ
る。When a liquid crystal panel having a relatively short side is manufactured as shown in FIG. 6, bonding may be carried out collectively by using one crimping block 3.
In the case of manufacturing a relatively large liquid crystal panel provided with 2 ..., there is a problem in accuracy as in the above-described pulse heat type.
【0011】したがって、多数個のIC2をボンディン
グする場合には、図7に示すように、上記圧着ブロック
3の押圧面の長さを短くし、かつ複数個設けることが行
われている。しかし、図5に示したように、装着される
IC2の装着間隔が狭い場合には、隣り合う圧着ブロッ
ク3、3同士が干渉し圧着ブロック3の配置が困難とな
る問題点もある。Therefore, when bonding a large number of ICs 2, as shown in FIG. 7, the length of the pressing surface of the pressing block 3 is shortened and a plurality of ICs 2 are provided. However, as shown in FIG. 5, when the mounting intervals of the ICs 2 to be mounted are narrow, there is a problem that the adjacent crimping blocks 3 and 3 interfere with each other and it is difficult to arrange the crimping blocks 3.
【0012】この発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたもので、ガラス基板やTAB部品を破損させること
が少なくかつ、精度の良い良好なボンディングを行える
ボンディング装置を提供することを目的とするものであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and has as its object to provide a bonding apparatus which does not damage a glass substrate or a TAB component and can perform good and accurate bonding. Things.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明のボンディング装置、ボンディ
ング方法及び液晶パネルの製造方法は次のように構成さ
れている。 (1)被接合部材に圧力を加えるための圧着ブロック
と、前記圧着ブロックを保持する第1の駆動軸と、前記
第1の駆動軸に連結され、前記圧着ブロックによって前
記被接合部材に加えられる圧力が所定値を超える場合に
は、前記第1の駆動軸によって前記圧着ブロックを押圧
する圧力を前記所定値付近の圧力とするよう動作可能に
設けられるリリーフ弁が接続されている低圧用シリンダ
と、前記低圧用シリンダを保持する第2の駆動軸と、前
記第2の駆動軸によって前記低圧用シリンダを前記所定
値を超える圧力により押圧可能に設けられる高圧用シリ
ンダと、を具備することを特徴とする。 (2)上記(1)に記載されたボンディング装置であっ
て、低圧用シリンダは、圧着ブロックが被接合部材に圧
力を加えない状態において内圧を高めることが可能な手
段が接続可能であることを特徴とする。 (3)上記(1)に記載されたボンディング装置であっ
て、低圧用シリンダはエアシリンダで構成され、このエ
アシリンダにエアを供給するポンプが接続可能に設けら
れた低圧用シリンダであることを特徴とする。 (4)上記(1)に記載されたボンディング装置であっ
て、複数の圧着ブロックと、この複数の圧着ブロックに
対してそれぞれ対応する複数の低圧用シリンダを備える
とともに、前記低圧用シリンダが軸線を並列にして固定
される第2の駆動軸を具備することを特徴とする。 [Means for solving the problems ]
In order to achieve the bonding device of the present invention,
The liquid crystal panel manufacturing method and the liquid crystal panel manufacturing method are configured as follows.
Have been. (1) Crimping block for applying pressure to the members to be joined
A first drive shaft for holding the crimp block,
Connected to the first drive shaft and fronted by said crimp block
When the pressure applied to the workpiece exceeds a specified value
Presses the crimp block by the first drive shaft.
Operable to set the pressure to be close to the predetermined value.
Low pressure cylinder to which the provided relief valve is connected
A second drive shaft for holding the low-pressure cylinder;
The low pressure cylinder is moved to the predetermined position by the second drive shaft.
High-pressure series that can be pressed by pressure exceeding
And a solder. (2) The bonding apparatus described in (1) above.
In the low pressure cylinder, the crimping block presses the
Hand that can increase internal pressure without applying force
The stages are connectable. (3) The bonding apparatus described in (1) above.
The low-pressure cylinder is composed of an air cylinder.
A pump for supplying air to the cylinder is provided so that it can be connected.
Characterized by a low pressure cylinder. (4) The bonding apparatus described in (1) above.
To the multiple crimp blocks and the multiple crimp blocks
Multiple low pressure cylinders
At the same time, the low-pressure cylinder is fixed with the axes parallel.
A second drive shaft to be provided.
【0014】(5)圧着ブロックと連結されこの圧着ブ
ロックにより被接合体に加えられる圧力が所定値を超え
る場合には前記所定値付近の圧力とするよう動作可能に
設けられるリリーフ弁が接続されているシリンダに対し
て、前記所定値を超える圧力を加えつづけることによっ
て、前記圧着ブロックにより前記被接合部材に圧力を加
える接合工程を具備することを特徴とする。 (6)上記(1)に記載されたボンディング装置によっ
てボンディングを行うボンディング方法であって、低圧
用シリンダの内圧を上昇させる第1の工程と、内圧が上
昇している低圧用シリンダを第2の駆動軸を用いて駆動
し、圧着ブロックによって被接合部材に圧力を加える状
態とし、この状態において前記第2の駆動軸を高圧用シ
リンダによって押圧しつづける工程とを具備することを
特徴とする。 (7)圧着ブロックにより所定のボンディング圧力でT
AB部品を押圧することにより、前記TAB部品のリー
ドと液晶用ガラス基板の配線パターンとを所定の接合部
材を介して接合する接合工程を有する液晶パネルの製造
方法において、前記接合工程は、前記圧着ブロックと連
結され前記圧着ブロックにより前記リードに加えられる
圧力が所定値を超える場合には前記所定値付近の圧力と
なるよう動作可能に設けられるリリーフ弁が接続されて
いるシリンダに対して、前記所定値を超える圧力を加え
つづけることによって、前記圧着ブロックにより前記被
接合部材に圧力を加える接合工程であることを特徴とす
る。 (5) The crimping block connected to the crimping block
The pressure applied to the workpiece by the lock exceeds the specified value
Operable to keep the pressure near the predetermined value
For the cylinder to which the provided relief valve is connected
And by continuously applying pressure exceeding the predetermined value.
Pressure is applied to the member to be joined by the crimping block.
And a bonding step. (6) The bonding apparatus described in (1) above
Bonding method using low pressure
The first step of increasing the internal pressure of the cylinder for
Drives the ascending low-pressure cylinder using the second drive shaft
And apply pressure to the members to be joined with a crimping block.
In this state, the second drive shaft is connected to the high-pressure shell.
And a step of continuing to press with the Linda.
Features. (7) With a crimping block, T
By pressing the AB component, the lead of the TAB component is
Joints between the board and the wiring pattern of the liquid crystal glass substrate
Of a liquid crystal panel having a joining step of joining via materials
In the method, the joining step includes connecting with the crimp block.
Tied and added to the lead by the crimp block
If the pressure exceeds a predetermined value, the pressure near the predetermined value and
The relief valve operably provided is connected
Pressure above the specified value
By continuing, by the crimping block,
It is a joining process that applies pressure to the joining members
You.
【0015】[0015]
【作用】このような構成によれば、電子部品や圧着ブロ
ックを破損させることが少なくかつ良好なボンディング
が行えるボンディング装置を提供することができる。According to this structure, it is possible to provide a bonding apparatus which can perform good bonding with less damage to the electronic components and the pressure bonding block.
【0016】[0016]
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。なお、従来例と同様の構成要素には同一符号
を付してその説明は省略する。まず、第1の実施例につ
いて説明する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. Note that the same components as those in the conventional example are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. First, a first embodiment will be described.
【0017】図中9は載置テ−ブルである。この載置テ
−ブル9は上面に、複数個の液晶駆動用IC2が接合材
としての異方性導電膜(図3、図4に示す5)で仮止め
された液晶ガラス基板1を保持する。そして、この載置
テ−ブル9は、XYθ駆動手段10によって保持され、
図に矢印(イ)で示す方向にピッチ送り駆動されるよう
になっている。In the drawing, reference numeral 9 denotes a mounting table. The mounting table 9 holds the liquid crystal glass substrate 1 on the upper surface of which a plurality of liquid crystal driving ICs 2 are temporarily fixed by an anisotropic conductive film (5 shown in FIGS. 3 and 4) as a bonding material. . The mounting table 9 is held by XYθ driving means 10,
Pitch feed driving is performed in a direction indicated by an arrow (a) in the figure.
【0018】上記載置テ−ブル9の側方には、このボン
ディング装置のコラム11が立設されている。このコラ
ム11の上記載置テ−ブル9側の一面には第1の駆動源
12が取り付けられている。この第1の駆動源12は、
ケ−シング13と、このケ−シング13の上面に設けら
れた高圧用の第1のエアシリンダ14(高圧用シリン
ダ)と、このケ−シング13の上記載置テ−ブル9側の
一面にスライド自在に設けられ、かつ上記第1のエアシ
リンダ14により上下駆動されるスライダ15とを具備
する。A column 11 of the bonding apparatus is provided upright on the side of the mounting table 9 described above. A first drive source 12 is mounted on one surface of the column 11 on the table 9 side. This first drive source 12
A casing 13, a first high-pressure air cylinder 14 (high-pressure cylinder) provided on the upper surface of the casing 13, and one surface of the casing 13 on the side of the mounting table 9. A slider 15 slidably provided and driven up and down by the first air cylinder 14.
【0019】また、上記スライダ15は、略水平に突設
された保持板部15aを具備する。そして、この保持板
部15aには、低圧用の3つの第2のシリンダ17…
(低圧用シリンダ)が軸線を垂直にして並列に固定され
ている。上記第2のシリンダ17の駆動軸(図示しな
い)はこの保持板部15aの下側に延出され、この駆動
軸には圧着ブロック18が設けられている。The slider 15 has a holding plate 15a projecting substantially horizontally. The holding plate 15a has three second cylinders 17 for low pressure.
(Low pressure cylinder) are fixed in parallel with the axis vertical. A drive shaft (not shown) of the second cylinder 17 extends below the holding plate portion 15a, and a crimp block 18 is provided on the drive shaft.
【0020】この圧着ブロック18は、コンスタントヒ
−ト方式(常時加熱型)のもので、一つのIC2の接合
幅に対応する押圧面18aを具備する。また、上記圧着
ブロック18は、一つのIC2の長さに対応する間隔で
互いに離間して設けられている。次に、このボンディン
グ装置の動作を図4を参照して説明する。図3は、上記
ボンディング装置の第1、第2シリンダ14、17およ
び圧着ブロック18の関係を簡略化して示す模式図であ
る。The pressure bonding block 18 is of a constant heat type (constant heating type) and has a pressing surface 18a corresponding to the bonding width of one IC 2. The crimping blocks 18 are provided apart from each other at intervals corresponding to the length of one IC 2. Next, the operation of this bonding apparatus will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a schematic view showing a simplified relationship between the first and second cylinders 14 and 17 and the pressure bonding block 18 of the bonding apparatus.
【0021】すなわち、上記第1のエアシリンダ14は
コラム11に固定され、この第1のエアシリンダ14の
駆動軸14aには、第2のシリンダ17が取り付けられ
ている。したがって上記第1のエアシリンダ14が作動
することで、この第2のシリンダ17全体が上下駆動さ
れるようになっている。また、この第2のエアシリンダ
17の駆動軸17aには圧着ブロック18が設けられて
いる。That is, the first air cylinder 14 is fixed to the column 11, and a second cylinder 17 is attached to a drive shaft 14a of the first air cylinder 14. Therefore, when the first air cylinder 14 operates, the entire second cylinder 17 is vertically driven. The drive shaft 17a of the second air cylinder 17 is provided with a pressure bonding block 18.
【0022】上記第1のシリンダ14はクロ−ズドセン
タ形の4ポ−ト弁19を介して高圧ポンプ20に接続さ
れている。上記高圧ポンプ20は上記第1のシリンダ1
4の駆動軸14aをボンディング圧力Pよりも大きい最
大圧力Fで駆動する役割を有する。The first cylinder 14 is connected to a high-pressure pump 20 via a closed center type four-port valve 19. The high-pressure pump 20 is connected to the first cylinder 1
4 has a role of driving the drive shaft 14a at a maximum pressure F larger than the bonding pressure P.
【0023】第2のシリンダ17は、この第2のシリン
ダ17の駆動軸17aを最大圧力P(F>P)で駆動す
る低圧ポンプ21に接続され、この回路にはリリ−フ弁
22が接続されている。このリリ−フ弁22は上記第2
のシリンダ17内の圧力がP以上になると作動し、上記
第2のシリンダ17内の圧力を常にPに保つ役割を有す
る。次に、図4を参照して上記第1、第2のシリンダ1
4、17、圧着ブロック18の動作を説明する。The second cylinder 17 is connected to a low-pressure pump 21 for driving a drive shaft 17a of the second cylinder 17 at a maximum pressure P (F> P), and a relief valve 22 is connected to this circuit. Have been. The relief valve 22 is connected to the second
When the pressure in the second cylinder 17 becomes P or more, it operates to keep the pressure in the second cylinder 17 always at P. Next, referring to FIG. 4, the first and second cylinders 1 will be described.
4, 17 and the operation of the crimping block 18 will be described.
【0024】(a)は図2に示す状態と同じで、作動前
の状態である。この状態で上記4ポ−ト弁19が作動し
て上記第1のエアシリンダ14が作動し、上記第2のシ
リンダ14および上記圧着ブロック18を下降駆動す
る。このときの上記圧着ブロック18の下降速度は、上
記IC2あるいはガラス基板1に衝撃を与えないような
値に設定される。また、このとき、上記第2のシリンダ
17内はすでに圧力Pに保たれている。FIG. 2A is the same as the state shown in FIG. 2 before the operation. In this state, the four-port valve 19 operates to operate the first air cylinder 14, thereby driving the second cylinder 14 and the crimping block 18 downward. At this time, the descending speed of the pressure bonding block 18 is set to a value that does not give an impact to the IC 2 or the glass substrate 1. At this time, the pressure in the second cylinder 17 is already maintained at the pressure P.
【0025】ついで、(b)に示すように、上記圧着ブ
ロック18の押圧面18aが上記IC2に当接すると、
上記第1のシリンダ17により、押圧力が上昇する。上
記押圧力がPに達すると、上記第2シリンダ14の駆動
軸14aは圧縮方向に駆動されるが、上記リリ−フ弁2
2からエアが抜けるために、上記圧着ブロック18の押
圧力はP以上に上昇することはない。Next, as shown in FIG. 2B, when the pressing surface 18a of the crimping block 18 comes into contact with the IC2,
The pressing force is increased by the first cylinder 17. When the pressing force reaches P, the drive shaft 14a of the second cylinder 14 is driven in the compression direction.
Since the air escapes from 2, the pressing force of the crimping block 18 does not rise above P.
【0026】(c)、(d)に示すように、上記第1の
シリンダ17はさらに下降し、上記第2のエアシリンダ
14を下降駆動する。このあいだ、上記リリ−フ弁22
が作動することで、上記IC2のリ−ドは異方性導電膜
を介して上記ガラス基板1の配線パタ−ンに圧力Pで押
し付けられる。このことで、上記IC2は上記ガラス基
板1に実装される。As shown in FIGS. 3 (c) and (d), the first cylinder 17 is further lowered to drive the second air cylinder 14 downward. During this time, the relief valve 22 is used.
Is operated, the leads of the IC 2 are pressed with a pressure P against the wiring pattern of the glass substrate 1 via the anisotropic conductive film. Thus, the IC 2 is mounted on the glass substrate 1.
【0027】ついで、上記4ポ−ト弁19を切り替え、
上記圧着ブロック18を上昇させる。そして、上記XY
θ駆動手段10を作動させて上記載置テ−ブル9を駆動
し、記ガラス基板1を図1に矢印(イ)で示す方向に1
ICピッチ分送り駆動し、未だボンディングされていな
いIC2を上記圧着ブロック18の下方に対向位置決め
する。そして、上述したのとの同様の動作で上記圧着ブ
ロック18を駆動し、上記IC2を上記ガラス基板1に
ボンディングする。Next, the 4-port valve 19 is switched,
The crimp block 18 is raised. And the above XY
The above-mentioned table 9 is driven by operating the .theta.
IC2, which has not yet been bonded, is driven and driven by the IC pitch so as to face and be positioned below the pressure bonding block 18. Then, the pressure bonding block 18 is driven by the same operation as described above, and the IC 2 is bonded to the glass substrate 1.
【0028】このような構成によれば、上記第1のシリ
ンダ14は高圧用シリンダなので、上記圧着ブロック1
8をゆっくりと下降させても、上記圧着ブロック18の
押圧力は瞬時に所定の圧力Pに達する。また、これ以後
は上記リリ−フ弁19が作動することにより、上記圧着
ブロック17の押圧力は常時Pに保たれるので、P以上
の圧力で上記IC2を押さえ付けることはない。According to such a configuration, since the first cylinder 14 is a high pressure cylinder, the pressure cylinder 1
The pressing force of the crimping block 18 instantaneously reaches the predetermined pressure P even if the pressure 8 is lowered slowly. Thereafter, when the relief valve 19 is operated, the pressing force of the crimping block 17 is always maintained at P, so that the IC 2 is not pressed at a pressure higher than P.
【0029】このことにより、上記IC2に衝撃を与え
ることがなくかつ瞬時に押圧力を上昇させることができ
るので、熱による上記TAB部品の膨脹を有効に押さえ
ることができる。また、上記IC2に衝撃を加えたり大
圧力で押圧することが防止されるので、上記IC2を破
損させることが少ない。Thus, the pressing force can be instantaneously increased without giving an impact to the IC 2, so that the expansion of the TAB component due to heat can be effectively suppressed. Further, since it is possible to prevent the IC 2 from being shocked or pressed with a large pressure, the IC 2 is hardly damaged.
【0030】一方、上記ボンディング装置は、並列に並
べられて配置されたIC2を2回に別けてボンディング
するようにしたので、上記IC2の間隔が狭い場合にで
も、それらのIC2を有効に精度良くボンディングする
ことが可能である。なお、この発明は上記一実施例に限
定されるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で
種々変形可能である。例えば、上記一実施例では、3つ
の圧着ブロックを平行に設けたが、比較的小さな液晶パ
ネルを製造する場合には、一つの圧着ブロックであって
も良い。On the other hand, in the bonding apparatus, the ICs 2 arranged in parallel are bonded separately twice, so that even if the intervals between the ICs 2 are narrow, the ICs 2 can be effectively and accurately separated. Bonding is possible. The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be variously modified without changing the gist of the invention. For example, in the above embodiment, three crimping blocks are provided in parallel. However, when a relatively small liquid crystal panel is manufactured, one crimping block may be used.
【0031】この場合でも、図2に示すように、一つの
圧着ブロック18´は、第1、第2のシリンダ14、1
7によって駆動されるようになっていて、上述したのと
同様に作動し、上記IC2…を上記ガラス基板1に有効
にボンディングすることができる。Even in this case, as shown in FIG. 2, one crimping block 18 'is provided with the first and second cylinders 14, 1
7 and operates in the same manner as described above, so that the ICs 2 can be effectively bonded to the glass substrate 1.
【0032】また、上記一実施例では、ボンディング装
置として、IC2をガラス基板1にボンディングする装
置を示したが、これに限定されるものではなく、通常の
プリン配線基板にTAB部品を実装するボンディング装
置であっても良い。In the above-described embodiment, the bonding device is a device for bonding the IC 2 to the glass substrate 1. However, the bonding device is not limited to the bonding device. It may be a device.
【0033】さらに、上記一実施例では、TAB部品
(IC2)のリ−ドと配線基板(ガラス基板1)の配線
パタ−ンとを異方性導電膜を介して接合するものであっ
たが、これに限定されるものではなく、接合材としてハ
ンダ材等を用いて接合するものであっても良い。Further, in the above embodiment, the lead of the TAB component (IC2) and the wiring pattern of the wiring substrate (glass substrate 1) are joined via an anisotropic conductive film. However, the present invention is not limited to this, and the joining may be performed using a solder material or the like as the joining material.
【0034】[0034]
【発明の効果】以上述べたように、この発明のボンディ
ング装置の第1の構成は、基板の配線パタ−ンにTAB
部品を接合材を介してボンディングする圧着ブロック
と、この圧着ブロックを保持しこの圧着ブロックを所定
のボンディング圧力以下で加圧する低圧用シリンダと、
この低圧用シリンダを上記ボンディング圧力よりも高い
圧力で上下駆動可能な高圧用シリンダとを具備するもの
である。As described above, the first configuration of the bonding apparatus according to the present invention is such that TAB is added to the wiring pattern of the substrate.
A crimping block for bonding parts through a bonding material, a low-pressure cylinder for holding the crimping block and pressing the crimping block at a predetermined bonding pressure or less;
The low pressure cylinder is provided with a high pressure cylinder which can be driven up and down at a pressure higher than the bonding pressure.
【0035】第1の構成によれば、上記TAB部品のテ
−プの膨脹による位置ずれをそのTAB部品や基板を破
損させることなく防止することができるので、より精度
良くボンディングを行える効果がある。According to the first configuration, the displacement of the TAB component due to the expansion of the tape can be prevented without damaging the TAB component or the substrate, and thus there is an effect that the bonding can be performed more accurately. .
【0036】また第2の構成は、基板に複数個のTAB
部品をボンディングするボンディング装置であって、少
なくとも一つのTAB部品の接合幅に対応する押圧面を
有する圧着ブロックと、この圧着ブロックと上記基板と
を相対的に移動させて上記圧着ブロックの押圧面を未だ
ボンディングされていないTAB部品に順次対向させる
駆動手段とを具備するものである。この第2の構成によ
れば、ボンディングされるTAB部品の配置間隔が狭い
場合でも、良好なボンディングをすることができる効果
がある。In the second configuration, a plurality of TABs are provided on a substrate.
What is claimed is: 1. A bonding apparatus for bonding components, comprising: a pressing block having a pressing surface corresponding to a bonding width of at least one TAB component; and moving the pressing block and the substrate relative to each other to change the pressing surface of the pressing block. Drive means for sequentially facing TAB parts which have not yet been bonded. According to the second configuration, there is an effect that good bonding can be performed even when the arrangement interval of TAB components to be bonded is narrow.
【図1】この発明の要部の一実施例を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a main part of the present invention.
【図2】同じく、斜視図。FIG. 2 is also a perspective view.
【図3】同じく、模式図。FIG. 3 is also a schematic diagram.
【図4】(a)〜(d)は、同じく、ボンディング動作
を示す工程図。FIGS. 4A to 4D are process diagrams showing a bonding operation.
【図5】一般的な液晶パネルを示す斜視図。FIG. 5 is a perspective view showing a general liquid crystal panel.
【図6】従来例を示す斜視図。FIG. 6 is a perspective view showing a conventional example.
【図7】同じく斜視図。FIG. 7 is a perspective view of the same.
1…ガラス基板(基板)、2…液晶駆動用IC(TAB
部品)、5…異方性導電膜(接合材)、10…XYθ駆
動手段(駆動手段)、14…第1のエアシリンダ(高圧
用シリンダ)、17…第2のエアシリンダ(低圧用シリ
ンダ)、18…圧着ブロック、18a…押圧面。1: glass substrate (substrate) 2: liquid crystal drive IC (TAB
Parts), 5: anisotropic conductive film (joining material), 10: XYθ driving means (driving means), 14: first air cylinder (high pressure cylinder), 17: second air cylinder (low pressure cylinder) , 18 ... Crimping block, 18a ... Pressing surface.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−70816(JP,A) 特開 平5−290944(JP,A) 特開 平5−234656(JP,A) 特開 昭62−147369(JP,A) 特開 昭53−51966(JP,A) 特開 平2−239639(JP,A) 実開 平1−109388(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1345 G02F 1/13 101 H01L 21/60 - 21/607 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-4-70816 (JP, A) JP-A-5-290944 (JP, A) JP-A-5-234656 (JP, A) 147369 (JP, A) JP-A-53-51966 (JP, A) JP-A-2-239639 (JP, A) JP-A-1-109388 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02F 1/1345 G02F 1/13 101 H01L 21/60-21/607
Claims (7)
ックと、 前記圧着ブロックを保持する第1の駆動軸と、 前記第1の駆動軸に連結され、前記圧着ブロックによっ
て前記被接合部材に加えられる圧力が所定値を超える場
合には、前記第1の駆動軸によって前記圧着ブロックを
押圧する圧力を前記所定値付近の圧力とするよう動作可
能に設けられるリリーフ弁が接続されている低圧用シリ
ンダと、 前記低圧用シリンダを保持する第2の駆動軸と、 前記第2の駆動軸によって前記低圧用シリンダを前記所
定値を超える圧力により押圧可能に設けられる高圧用シ
リンダと、 を具備することを特徴とするボンディング装置。 1. A pressure bonding blower for applying pressure to a member to be joined.
A first drive shaft for holding the crimp block, the first drive shaft being connected to the first drive shaft, and being connected to the first drive shaft by the crimp block.
When the pressure applied to the member to be joined exceeds a predetermined value.
In this case, the crimp block is moved by the first drive shaft.
Operable to set the pressing pressure to a pressure near the predetermined value
Low pressure series connected to a relief valve
And a second drive shaft for holding the low-pressure cylinder, and the second drive shaft holding the low-pressure cylinder at a predetermined position.
A high-pressure screen that can be pressed by pressure exceeding a certain value
Bonding apparatus characterized by comprising a cylinder, a.
部材に圧力を加えない状態において内圧を高めることが
可能な手段が接続可能であることを特徴とする請求項1
に記載のボンディング装置。 2. The low pressure cylinder has a crimping block to be joined.
It is possible to increase internal pressure without applying pressure to members
2. A method according to claim 1, wherein said means are connectable.
3. The bonding apparatus according to claim 1.
れ、このエアシリンダにエアを供給するポンプが接続可
能に設けられた低圧用シリンダであることを特徴とする
請求項1に記載のボンディング装置。 3. The low pressure cylinder comprises an air cylinder.
And a pump to supply air to this air cylinder can be connected.
It is a low-pressure cylinder provided for Noh
The bonding apparatus according to claim 1.
ロックに対してそれぞれ対応する複数の低圧用シリンダ
を備えるとともに、前記低圧用シリンダが軸線を並列に
して固定される第2の駆動軸を具備することを特徴とす
る請求項1に記載のボンディング装置。 4. A plurality of crimp blocks and a plurality of crimp blocks.
Multiple low-pressure cylinders, each corresponding to a lock
And the low-pressure cylinders have their axes parallel to each other.
And a second drive shaft fixed to the drive shaft.
The bonding apparatus according to claim 1.
により被接合体に加えられる圧力が所定値を超える場合
には前記所定値付近の圧力とするよう動作可能に設けら
れるリリーフ弁が接続されているシリンダに対して、前
記所定値を超える圧力を加え つづけることによって、前
記圧着ブロックにより前記被接合部材に圧力を加える接
合工程、を具備することを特徴とするボンディング方
法。 5. A crimp block connected to a crimp block.
When the pressure applied to the workpiece exceeds
Is operably provided to have a pressure near the predetermined value.
To the cylinder to which the relief valve is connected
By continuously applying pressure exceeding the specified value ,
A contact that applies pressure to the member to be joined by the crimping block
A bonding method, comprising:
Law.
ボンディングを行うボンディング方法であって、 低圧用シリンダの内圧を上昇させる第1の工程と、 内圧が上昇している低圧用シリンダを第2の駆動軸を用
いて駆動し、圧着ブロックによって被接合部材に圧力を
加える状態とし、この状態において前記第2の駆動軸を
高圧用シリンダによって押圧しつづける工程と、 を具備することを特徴とするボンディング方法。 6. A bonding apparatus according to claim 1,
A bonding method for performing bonding, wherein a first step of increasing the internal pressure of a low-pressure cylinder and a low-pressure cylinder having an increased internal pressure are performed using a second drive shaft.
And pressure is applied to the workpiece by the crimping block.
In this state, the second drive shaft is
And a step of continuously pressing with a high-pressure cylinder .
力でTAB部品を押圧することにより、前記TAB部品
のリードと液晶用ガラス基板の配線パターンとを所定の
接合部材を介して接合する接合工程を有する液晶パネル
の製造方法において、 前記接合工程は、前記圧着ブロックと連結され前記圧着
ブロックにより前記リードに加えられる圧力が所定値を
超える場合には前記所定値付近の圧力となるよう動作可
能に設けられるリリーフ弁が接続されているシリンダに
対して、前記所定値を超える圧力を加えつづけることに
よって、前記圧着ブロックにより前記被接合部材に圧力
を加える接合工程、であることを特徴とする液晶パネル
の製造方法。 7. A predetermined bonding pressure by a pressure bonding block.
By pressing the TAB component with force, the TAB component
Lead and the wiring pattern of the glass substrate for liquid crystal
Liquid crystal panel having a joining step of joining via a joining member
In the manufacturing method, the bonding step is performed by connecting the pressure bonding block to the pressure bonding block.
The pressure applied to the lead by the block
If it exceeds, the operation can be performed so that the pressure is close to the specified value.
To the cylinder connected to the relief valve
On the other hand, the pressure exceeding the predetermined value is continuously applied.
Therefore, pressure is applied to the member to be joined by the crimp block.
Liquid crystal panel characterized by the joining step of adding
Manufacturing method.
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