JPH08114810A - Apparatus for producing liquid crystal panel and press bonding device - Google Patents
Apparatus for producing liquid crystal panel and press bonding deviceInfo
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- JPH08114810A JPH08114810A JP24930794A JP24930794A JPH08114810A JP H08114810 A JPH08114810 A JP H08114810A JP 24930794 A JP24930794 A JP 24930794A JP 24930794 A JP24930794 A JP 24930794A JP H08114810 A JPH08114810 A JP H08114810A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、液晶セルを
構成するガラス基板に液晶駆動用ICであるTAB部品
を圧着する液晶パネル製造装置および圧着装置に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal panel manufacturing apparatus and a pressure bonding apparatus for pressing a TAB component, which is a liquid crystal driving IC, onto a glass substrate constituting a liquid crystal cell.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶パネルの製造工程では、図9に示す
ように2枚の第1、第2の液晶ガラス基板1a、1bを
対向させて形成される液晶セル1の周囲に液晶駆動用I
C2が実装される。この液晶駆動用ICとしては、図1
0に示すようなTAB部品2が一般的に使用されてい
る。2. Description of the Related Art In a manufacturing process of a liquid crystal panel, as shown in FIG. 9, a liquid crystal driving I is provided around a liquid crystal cell 1 formed by facing two first and second liquid crystal glass substrates 1a and 1b.
C2 is implemented. This liquid crystal driving IC is shown in FIG.
The TAB component 2 as shown in 0 is generally used.
【0003】このTAB部品2は、表面に所定の回路パ
ターン3が形成されてなる薄いシネフィルム状のフィル
ムキャリア4に半導体素子5をインナーリードボンディ
ングすることで製造されたものである。The TAB component 2 is manufactured by inner lead bonding a semiconductor element 5 to a thin cine film-shaped film carrier 4 having a predetermined circuit pattern 3 formed on the surface thereof.
【0004】このTAB部品2を、上記液晶セル1の第
1、第2のガラス基板1a、1bに実装するには、接合
材として例えば異方性導電膜が用いられる。この異方性
導電膜は、熱硬化性あるいは熱可塑性の樹脂フィルム中
に導電粒子を混入させたテープ状の部材であり、図10
に6で示すように、例えば、上記TAB部品2の一端側
に突設された複数本のアウタリード7…に、長手方向を
このアウタリード7と直交させた状態で貼付されてい
る。なお、この異方性導電膜6は、上記第1、第2のガ
ラス基板1a、1b側に貼付されていても良い。To mount the TAB component 2 on the first and second glass substrates 1a and 1b of the liquid crystal cell 1, for example, an anisotropic conductive film is used as a bonding material. This anisotropic conductive film is a tape-shaped member in which conductive particles are mixed in a thermosetting or thermoplastic resin film, and FIG.
As indicated by reference numeral 6, for example, the TAB component 2 is attached to a plurality of outer leads 7 protruding from one end side in a state where the longitudinal direction is orthogonal to the outer leads 7. The anisotropic conductive film 6 may be attached to the first and second glass substrates 1a and 1b sides.
【0005】上記TAB部品2と上記第1、第2のガラ
ス基板1a、1bとを接続する場合には、まず、TAB
部品2のアウタリード7とガラス基板1a、1bの縁部
に形成された図示しない配線パターンとを、両者の間に
上記異方性導電膜6を介在させた状態で対向位置決めす
る。そして、上記TAB部品2を上記第1、第2のガラ
ス基板1a、1bに押し付けることで、このTAB部品
2を上記第1、第2のガラス基板1a、1bに仮圧着す
る。When connecting the TAB component 2 and the first and second glass substrates 1a and 1b, first, the TAB is connected.
The outer lead 7 of the component 2 and the wiring pattern (not shown) formed on the edges of the glass substrates 1a and 1b are positioned to face each other with the anisotropic conductive film 6 interposed therebetween. Then, the TAB component 2 is pressed against the first and second glass substrates 1a and 1b to temporarily press-bond the TAB component 2 to the first and second glass substrates 1a and 1b.
【0006】ついで、図11に示すように、圧着ブロッ
ク8の下面に保持された加圧チップ9を用いて上記TA
B部品2を上記ガラス基板1aに対して加圧すると共に
加熱する。このことで、両者の間に挟まれた上記異方性
導電膜6が押し潰されると共に軟化し、このアウタリー
ド7と上記第1、第2のガラス基板1a、1bの配線パ
ターンは電気的、機械的に接合される。上記TAB部品
2は、このような仮圧着工程および本圧着工程を経るこ
とで、上記第1、第2のガラス基板1a、1bに実装さ
れる。Then, as shown in FIG. 11, the above-mentioned TA is performed by using the pressure tip 9 held on the lower surface of the crimp block 8.
The B component 2 is pressed and heated against the glass substrate 1a. As a result, the anisotropic conductive film 6 sandwiched between the two is crushed and softened, and the outer lead 7 and the wiring patterns of the first and second glass substrates 1a and 1b are electrically and mechanically formed. Are joined together. The TAB component 2 is mounted on the first and second glass substrates 1a and 1b by undergoing the temporary pressure bonding process and the final pressure bonding process.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の液晶
パネル製造技術には、以下に説明するような解決すべき
課題がある。上記圧着ブロック8は、エアシリンダ10
により上下駆動され、上記TAB部品2を所定のボンデ
ィング圧力Pで上記ガラス基板1a、1bに押圧するこ
とで、このTAB部品2をガラス基板1a、1bにボン
ディングするようになっている。By the way, the conventional liquid crystal panel manufacturing technique has the following problems to be solved. The crimp block 8 is an air cylinder 10.
The TAB component 2 is bonded to the glass substrates 1a and 1b by being driven up and down by pressing the TAB component 2 against the glass substrates 1a and 1b with a predetermined bonding pressure P.
【0008】また、上記ガラス基板1a、1bは、上記
圧着ブロック8の下方に配設されたボンディングステー
ジ(図示せず)によってバックアップ支持されており、
上記圧着ブロック8は、このボンディングステージとの
間に上記TAB部品2とガラス基板1a、1bとを挟み
こむことにより、両者を圧着(アウタリードボンディン
グ)するようになっている。The glass substrates 1a and 1b are backed up and supported by a bonding stage (not shown) disposed below the pressure bonding block 8.
The crimping block 8 is adapted to crimp (outer lead bonding) the TAB component 2 and the glass substrates 1a and 1b by sandwiching them between the bonding stage and the bonding stage.
【0009】このようなボンディングを行う場合、第1
に、上記圧着ブロック8に保持された加圧チップ9の押
圧面と、上記ボンディングステージのバックアップ面の
平行度が問題となる。すなわち、この平行度が悪い場合
には、局部的に規定値どうりの圧力で上記異方性導電膜
6を挟みこむことができなくなるため、この異方性導電
膜6内の導電粒子が潰れず、上記液晶ガラス基板1a、
1bの配線パターンと上記TAB部品2のアウタリード
7との間で電気的接合がなされない部分が生じる恐れが
ある。When performing such bonding, first
Another problem is the parallelism between the pressing surface of the pressure chip 9 held by the pressure bonding block 8 and the backup surface of the bonding stage. That is, when the parallelism is poor, the anisotropic conductive film 6 cannot be locally sandwiched by a pressure of a specified value, so that the conductive particles in the anisotropic conductive film 6 are crushed. Without the liquid crystal glass substrate 1a,
There is a possibility that a portion where electrical connection is not made between the wiring pattern 1b and the outer lead 7 of the TAB component 2 may occur.
【0010】また、この平行度の精度を決定する要因と
しては、上記加圧チップ9の押圧面やボンディングステ
ージの形状精度によるものだけでではなく、上記圧着ブ
ロック8の熱変形によるものも挙げられる。The factors that determine the accuracy of the parallelism include not only the shape accuracy of the pressing surface of the pressure chip 9 and the bonding stage, but also the thermal deformation of the pressure bonding block 8. .
【0011】すなわち、上記加圧チップ9を加熱する
と、この加圧チップ9を保持する圧着ブロック8に熱変
形が生じるため、この圧着ブロック8に熱歪みが発生
し、この圧着ブロック8に保持された加圧チップ9の押
圧面と上記ボンディングステージの上面との間の平行度
が狂うということがある。That is, when the pressure tip 9 is heated, the pressure-bonding block 8 holding the pressure-tip 9 is thermally deformed, so that the pressure-bonding block 8 is thermally distorted and held by the pressure-bonding block 8. Further, the parallelism between the pressing surface of the pressure chip 9 and the upper surface of the bonding stage may change.
【0012】この場合にも、局部的に規定値どうりの圧
力を上記異方性導電膜6に与えることができなくなり、
前述したのと同様の問題が生じる。また、ガラス基板1
a、1bに異方性導電膜6を介してTAB部品2を圧着
する場合に、圧着ブロック8による加熱によって上記T
AB部品2のベースであるフィルムキャリア4(樹脂
製)が膨脹し、あらかじめ位置合わせしたガラス基板1
a、1bの配線パターンの端子とTAB部品2のアウタ
リード7との間に位置ずれが生じてしまうことがある。Also in this case, it becomes impossible to locally apply a pressure of a specified value to the anisotropic conductive film 6,
The same problem as described above occurs. Also, the glass substrate 1
When the TAB component 2 is pressure-bonded to a and 1b via the anisotropic conductive film 6, the above-mentioned T
The glass substrate 1 in which the film carrier 4 (made of resin), which is the base of the AB component 2, is expanded and pre-aligned
Positional deviation may occur between the terminals of the wiring patterns a and 1b and the outer leads 7 of the TAB component 2.
【0013】この際、上記加圧チップ9の押圧面と上記
ボンディングステージとの平行度が狂っていて、押圧力
にばらつきがあると、押圧力の低い方向に向かって大き
な膨脹が生じるということがある。At this time, if the pressing surface of the pressing tip 9 and the bonding stage are not parallel to each other and the pressing force varies, a large expansion occurs in the direction of lower pressing force. is there.
【0014】また、加圧チップ9の押圧面には、熱圧着
を繰り返す毎に、上記異方性導電膜6のかす等が付着滞
積するということがある。この状態で上記TAB部品2
の押圧を行うと、押圧面に凸凹があるために押圧力が均
一とならず、上述した平行度が狂っている場合と同様の
問題が生じるということがある。Further, on the pressing surface of the pressing tip 9, there is a case where the residue of the anisotropic conductive film 6 adheres and accumulates every time thermocompression bonding is repeated. In this state, the TAB part 2
If the pressing is performed, the pressing force may not be uniform due to the unevenness on the pressing surface, and the same problem as in the case where the parallelism is not correct may occur.
【0015】液晶駆動用のTAB部品2は、他の実装部
品と比較して大型の部品であるから、一度に接合する長
さ(接合長さ)が比較的長く、平行度の狂いや熱膨張が
ボンディングの精度に大きく影響するということがあ
る。Since the TAB component 2 for driving the liquid crystal is a large component as compared with other mounted components, the length of joining at one time (joining length) is relatively long, the parallelism is out of order and the thermal expansion is caused. Can greatly affect the accuracy of bonding.
【0016】また、近年の液晶パネルの大型化、高精細
化の要請に伴い、液晶ガラス基板1a、1bは大型化
し、このガラス基板1a、1bに形成された配線パター
ンは多端子化、高密度化、微細化しているため、上記圧
着にはより高い精度が要求されているということがあ
る。Further, with the recent demand for larger size and higher definition of the liquid crystal panel, the liquid crystal glass substrates 1a and 1b are increased in size, and the wiring patterns formed on the glass substrates 1a and 1b are multi-terminaled and high density. Due to the miniaturization and miniaturization, higher accuracy may be required for the above pressure bonding.
【0017】この発明は、このような事情に鑑みて成さ
れたもので、圧着ツールの押圧面とボンディングステー
ジの平行度を高精度に保ち、熱膨張による位置合わせの
狂いを防止しつつ上記液晶駆動用IC(TAB部品)の
圧着を行える液晶パネル製造装置および圧着装置を提供
することを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and maintains the parallelism between the pressing surface of the crimping tool and the bonding stage with high accuracy, and prevents misalignment due to thermal expansion while maintaining the above liquid crystal. It is an object of the present invention to provide a liquid crystal panel manufacturing apparatus and a pressure bonding apparatus capable of pressure bonding a driving IC (TAB component).
【0018】[0018]
【課題を解決するための手段】この発明の第1の手段
は、液晶セルを構成する基板に仮圧着されている液晶駆
動用ICを上記基板に本圧着する本圧着機構を備える液
晶パネルの製造装置において、上記本圧着機構は、上記
液晶駆動用ICを接合材を介して上記基板に押し付ける
押圧面を有する圧着ブロックと、この圧着ブロックを所
定の圧着温度に昇温させる加熱手段と、この圧着ブロッ
クを駆動し、上記押圧面で上記液晶駆動用ICを押し付
けることで、この液晶駆動用ICを上記基板に熱圧着す
る駆動手段と、この圧着ブロックに設けられ、上記作動
することで上記押圧面の傾きを調整するアクチュエータ
と、上記圧着ブロックにより本圧着されるICに隣接す
る位置に仮圧着されている上記ICを冷却する冷却手段
と、上記圧着ブロックの近傍に設けられ、上記圧着ブロ
ックの押圧面が接合材の付着物で汚れたのに基づき、こ
の押圧面をクリーニングし上記接合材の付着物を除去す
るクリーニング機構とを具備することを特徴とする液晶
パネル製造装置である。A first means of the present invention is to manufacture a liquid crystal panel provided with a main pressure bonding mechanism for main pressure bonding a liquid crystal driving IC temporarily pressure bonded to a substrate constituting a liquid crystal cell to the substrate. In the apparatus, the main pressure-bonding mechanism includes a pressure-bonding block having a pressing surface that presses the liquid crystal driving IC against the substrate via a bonding material, a heating unit that raises the pressure-bonding block to a predetermined pressure-bonding temperature, and the pressure-bonding. Driving means for thermocompression bonding the liquid crystal driving IC to the substrate by driving the block and pressing the liquid crystal driving IC on the pressing surface, and the pressing surface provided on the pressure bonding block by the operation. An actuator for adjusting the inclination of the IC, cooling means for cooling the IC that is temporarily pressure-bonded to a position adjacent to the IC that is permanently pressure-bonded by the pressure-bonding block, and the pressure-bonding block. And a cleaning mechanism that is provided in the vicinity of the pressure-applying block and that cleans the pressing surface of the pressure-bonding block when the pressing surface is soiled with the bonding material and removes the bonding material. This is a liquid crystal panel manufacturing apparatus.
【0019】第2の手段は、液晶セルを構成する基板に
仮圧着されている液晶駆動用ICを上記基板に本圧着す
る本圧着機構を備える液晶パネル製造装置において、上
記本圧着機構は、上記液晶駆動用ICを接合材を介して
上記基板に押し付ける押圧面を有する圧着ブロックと、
この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液晶駆動
用ICを押し付けることで、この液晶駆動用ICを上記
基板に圧着する駆動手段と、この圧着ブロックに設けら
れ、作動することで上記押圧面の傾きを調整するアクチ
ュエータとを有することを特徴とする液晶パネル製造装
置である。A second means is a liquid crystal panel manufacturing apparatus provided with a main pressure bonding mechanism for main pressure bonding the liquid crystal driving IC, which is temporarily pressure bonded to a substrate constituting a liquid crystal cell, to the substrate, wherein the main pressure bonding mechanism is A pressure-bonding block having a pressing surface for pressing the liquid crystal driving IC against the substrate via a bonding material;
Driving means for pressing the liquid crystal driving IC onto the substrate by driving the pressure bonding block and pressing the liquid crystal driving IC on the pressing surface, and the pressing means provided on the pressure bonding block and operating to operate the pressing surface. And an actuator that adjusts the inclination of the liquid crystal panel manufacturing apparatus.
【0020】第3の手段は、第1、第2の手段の液晶パ
ネル製造装置において、上記アクチュエータは、上記押
圧面と略平行な方向に複数個配設され、通電されること
で、それぞれが個別に上記押圧面と略直交する方向に伸
縮し、上記押圧面の傾きを制御する圧電アクチュエータ
であることを特徴とする液晶パネル製造装置である。A third means is the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the first and second means, wherein a plurality of the actuators are arranged in a direction substantially parallel to the pressing surface and are energized, respectively. The liquid crystal panel manufacturing apparatus is a piezoelectric actuator that individually expands and contracts in a direction substantially orthogonal to the pressing surface and controls the inclination of the pressing surface.
【0021】第4の手段は、液晶セルを構成する基板に
仮圧着されている液晶駆動用ICを上記基板に本圧着す
る本圧着機構を備える液晶パネル製造装置において、上
記本圧着機構は、上記液晶駆動用ICを接合材を介して
上記基板に押し付ける押圧面を有する圧着ブロックと、
この圧着ブロックを所定の圧着温度に昇温させる加熱手
段と、この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液
晶駆動用ICを押し付けることで、この液晶駆動用IC
を上記基板に熱圧着する駆動手段と、上記圧着ブロック
により本圧着されるICに隣接する位置に仮圧着されて
いる上記ICを冷却する冷却手段と、を具備することを
特徴とする液晶パネル製造装置である。A fourth means is a liquid crystal panel manufacturing apparatus provided with a main pressure bonding mechanism for main pressure bonding the liquid crystal driving IC, which is temporarily pressure bonded to a substrate constituting a liquid crystal cell, to the substrate, wherein the main pressure bonding mechanism is A pressure-bonding block having a pressing surface for pressing the liquid crystal driving IC against the substrate via a bonding material;
By heating the pressure-bonding block to a predetermined pressure-bonding temperature and by driving the pressure-bonding block to press the liquid crystal driving IC against the pressing surface, the liquid crystal driving IC is pressed.
A liquid crystal panel manufacturing method, comprising: driving means for thermocompression-bonding the substrate to the substrate; and cooling means for cooling the IC that is temporarily pressure-bonded to a position adjacent to the IC that is permanently pressure-bonded by the pressure-bonding block. It is a device.
【0022】第5の手段は、第1、第4の手段の液晶パ
ネル製造装置において、上記冷却手段は、上記隣接する
ICに冷却風を吹き付けることで、このICを冷却する
冷却風吹き付けノズルを有することを特徴とする液晶パ
ネル製造装置である。A fifth means is the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the first and fourth means, wherein the cooling means blows a cooling air to the adjacent IC to provide a cooling air blowing nozzle for cooling the IC. It is a liquid crystal panel manufacturing apparatus characterized by having.
【0023】第6の手段は、液晶セルを構成する基板に
仮圧着されている液晶駆動用ICを上記基板に本圧着す
る本圧着機構を備える液晶パネル製造装置において、上
記本圧着機構は、上記液晶駆動用ICを接合材を介して
上記基板に押し付ける押圧面を有する圧着ブロックと、
この圧着ブロックを所定の圧着温度に昇温させる加熱手
段と、この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液
晶駆動用ICを押し付けることで、この液晶駆動用IC
を上記基板に熱圧着する駆動手段と、上記圧着ブロック
の近傍に設けられ、上記圧着ブロックの押圧面が接合材
の付着物で汚れたのに基づき、この押圧面をクリーニン
グし上記接合材の付着物を除去するクリーニング機構と
を具備することを特徴とする液晶パネル製造装置であ
る。A sixth means is a liquid crystal panel manufacturing apparatus comprising a main pressure bonding mechanism for main pressure bonding the liquid crystal driving IC, which is temporarily pressure bonded to the substrate constituting the liquid crystal cell, to the substrate, wherein the main pressure bonding mechanism is A pressure-bonding block having a pressing surface for pressing the liquid crystal driving IC against the substrate via a bonding material;
By heating the pressure-bonding block to a predetermined pressure-bonding temperature and by driving the pressure-bonding block to press the liquid crystal driving IC against the pressing surface, the liquid crystal driving IC is pressed.
Is provided in the vicinity of the crimping block, and the pressing surface of the crimping block is contaminated with the adhering material of the bonding material. A liquid crystal panel manufacturing apparatus comprising: a cleaning mechanism for removing a kimono.
【0024】第7の手段は、第1、第6の手段の液晶パ
ネル製造装置において、上記クリーニング機構は、テー
プを駆動し、このテープの粘着面を上記押圧面に押し付
けることで、上記付着物を除去する粘着テープ駆動機構
を有することを特徴とする液晶パネル製造装置である。A seventh means is the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the first and sixth means, wherein the cleaning mechanism drives the tape and presses the adhesive surface of the tape against the pressing surface, whereby the adhered matter is removed. The liquid crystal panel manufacturing apparatus is characterized by having an adhesive tape drive mechanism for removing the.
【0025】第8の手段は、基板に対し部品を圧着する
圧着装置において、上記部品を上記基板に押し付ける押
圧面を有する圧着ブロックと、この圧着ブロックを駆動
し、上記押圧面で上記部品を押し付けることで、この部
品を上記基板に圧着する駆動手段と、この圧着ブロック
に設けられ、作動するとで上記押圧面の傾きを調整する
アクチュエータとを有することを特徴とする圧着装置で
ある。An eighth means is a crimping device for crimping a component to a substrate, and a crimping block having a pressing surface for pushing the component onto the substrate, and the crimping block is driven to press the component on the pressing face. Thus, the crimping device is characterized in that it has a driving means for crimping the component to the substrate and an actuator provided on the crimping block for adjusting the inclination of the pressing surface when activated.
【0026】第9の手段は、第8の手段の圧着装置にお
いて、上記アクチュエータは、上記押圧面と略平行な方
向に複数個配設され、通電されることでそれぞれが個別
に上記押圧面と略直交する方向に伸縮することで、上記
押圧面の傾きを制御するものであることを特徴とする圧
着装置である。A ninth means is the crimping device of the eighth means, wherein a plurality of the actuators are arranged in a direction substantially parallel to the pressing surface, and each of them is individually connected to the pressing surface by being energized. The crimping device is characterized by controlling the inclination of the pressing surface by expanding and contracting in a substantially orthogonal direction.
【0027】[0027]
【作用】このような手段によれば、押圧面が傾いていた
り、この押圧面が付着物により汚れる等して、この押圧
面の平行度が狂っている場合に、このような状態を解消
することができる。したがって、上記部品(IC)を均
一に押圧することができる。また、隣接するICを冷却
することにより、このICに圧着時の熱が伝達し、この
IC部品が熱変形するということを防止できる。According to such means, such a state is eliminated when the pressing surface is inclined or the pressing surface is soiled by an adhered substance and the parallelism of the pressing surface is deviated. be able to. Therefore, the component (IC) can be pressed uniformly. Further, by cooling the adjacent IC, it is possible to prevent the heat at the time of crimping from being transferred to this IC and the thermal deformation of this IC component.
【0028】[0028]
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照しつ
つ説明する。なお、従来例の項で説明した構成要素と同
一の構成要素については、同一符号を付してその詳しい
説明は省略する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. The same components as those described in the section of the conventional example are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
【0029】以下に説明する装置は、液晶駆動用ICと
してのTAB部品2を液晶セル1を構成する第1、第2
のガラス基板1a、1bの周縁部に本圧着することで上
記TAB部品2のアウタリード7と上記液晶セル1側の
配線パターンとを接続し、液晶パネルを製造する液晶パ
ネル製造装置の本圧着装置である。In the device described below, a TAB component 2 as an IC for driving a liquid crystal is used to form a liquid crystal cell 1.
The outer leads 7 of the TAB component 2 are connected to the wiring pattern on the liquid crystal cell 1 side by main pressure bonding to the peripheral edges of the glass substrates 1a and 1b, and the main pressure bonding device of a liquid crystal panel manufacturing apparatus for manufacturing a liquid crystal panel is used. is there.
【0030】この本圧着装置の前工程には、図示しない
が、上記TAB部品2を上記液晶セル1に仮圧着する仮
圧着装置が配置されている。この仮圧着装置は、上記T
AB部品2のアウタリード7と上記液晶セル1のガラス
基板1a、1bに形成された図示しない各配線パターン
(透明電極端子)とを精密に位置合わせした後、両者の
間に粘着性を有する異方性導電膜6を挟み、上記TAB
部品2を上記基板1a、1bに対して押圧することで仮
圧着を行う。Although not shown, a temporary pressure bonding device for temporarily pressure bonding the TAB component 2 to the liquid crystal cell 1 is arranged in the preceding step of the main pressure bonding device. This temporary pressure bonding device is
After the outer lead 7 of the AB component 2 and each wiring pattern (transparent electrode terminal) (not shown) formed on the glass substrates 1a and 1b of the liquid crystal cell 1 are precisely aligned, an anisotropic method having an adhesive property between them. The conductive film 6 is sandwiched between the TAB and
Temporary pressure bonding is performed by pressing the component 2 against the substrates 1a and 1b.
【0031】上記TAB部品2が仮圧着されてなる液晶
セル1は上記仮圧着装置からこの本圧着へと受け渡され
る。そして、この本圧着装置は、上記TAB部品2の本
圧着を行う。The liquid crystal cell 1 in which the TAB component 2 is temporarily pressure-bonded is transferred from the temporary pressure-bonding device to the main pressure-bonding. Then, the main press bonding apparatus performs the main press bonding of the TAB component 2.
【0032】この本圧着は、上記TAB部品2を上記ガ
ラス基板1a、1bに対して押圧すると共に加熱するこ
とで行う。そして、この本圧着装置は、このために、以
下に説明する構成を有するものである。This main pressure bonding is performed by pressing the TAB component 2 against the glass substrates 1a and 1b and heating them. For this purpose, the main pressure bonding device has a configuration described below.
【0033】図1は、この本圧着装置(以下「装置」と
略す)の概略構成を示す正面図であり、図2は、その側
面図である。この装置は、図2に示すように、上面が略
平坦に形成されてなる架台15を具備する。この架台1
5上には、上記仮圧着装置から液晶セル1を受取り、こ
の液晶セル1をXYθ方向に駆動し位置決めするセルス
テージ16と、このセルステージ16によって位置決め
された液晶セル1に対して上記TAB部品2を本圧着
(ボンディング)するボンディング機構17(本圧着機
構)とが設けられている。FIG. 1 is a front view showing a schematic structure of this main pressure bonding apparatus (hereinafter abbreviated as “apparatus”), and FIG. 2 is a side view thereof. As shown in FIG. 2, this device includes a pedestal 15 whose upper surface is formed to be substantially flat. This stand 1
A cell stage 16 for receiving the liquid crystal cell 1 from the temporary pressure bonding device and driving and positioning the liquid crystal cell 1 in the XYθ directions, and the TAB component for the liquid crystal cell 1 positioned by the cell stage 16 A bonding mechanism 17 (main pressure bonding mechanism) for main pressure bonding (bonding) 2 is provided.
【0034】なお、図示しないが、この架台15上に
は、上記液晶セル1を裏返す液晶セル反転機構が設けら
れている。液晶セル1を裏返すことで、対向する2枚の
ガラス基板1a、1bの両方に対してそれぞれ上記TA
B部品2の本圧着を行えるように構成されているのであ
る。Although not shown, a liquid crystal cell reversing mechanism for reversing the liquid crystal cell 1 is provided on the frame 15. When the liquid crystal cell 1 is turned upside down, the above TA is applied to both of the two glass substrates 1a and 1b facing each other.
It is configured so that the B component 2 can be permanently crimped.
【0035】次に、各構成要素について詳しく説明す
る。まず、上記セルステージ16について説明する。な
お、このセルステージ16については、図1には図示を
省略しているので、図2および図6を参照して説明す
る。Next, each component will be described in detail. First, the cell stage 16 will be described. Since the cell stage 16 is not shown in FIG. 1, it will be described with reference to FIGS. 2 and 6.
【0036】このセルステージ16は、上記架台15の
上面に設けられたガイドレール19(X駆動装置)に取
り付けられている。このセルステージ16は、このガイ
ドレール19に沿ってX方向に位置決め自在に駆動され
るようになっている。The cell stage 16 is attached to a guide rail 19 (X drive device) provided on the upper surface of the mount 15. The cell stage 16 is driven along the guide rail 19 so that it can be positioned in the X direction.
【0037】また、このセルステージ16は、XYテー
ブル20とこのXYテーブル20上に設けられたθ駆動
部21とを有する。このθ駆動部21には、X字形状に
形成され先端に吸着部23aが設けられてなる吸着アー
ム23がθ方向に位置決め自在に設けられている。The cell stage 16 has an XY table 20 and a θ drive section 21 provided on the XY table 20. The θ drive unit 21 is provided with a suction arm 23 formed in an X shape and provided with a suction unit 23a at its tip so as to be positionable in the θ direction.
【0038】また、上記θ駆動部21内には、図示しな
いが、このθ駆動部21の上面から突没可能に設けられ
た3本のリフトピンが収納されている。この3本のリフ
トピンは、突出することで液晶セル1を3点支持の状態
でリフトアップすることができ、上記θ駆動部21内に
収納されることで、この液晶セル1を上記吸着アーム2
3上に受け渡すようになっている。Although not shown, the θ drive unit 21 accommodates three lift pins which are provided so as to project and retract from the upper surface of the θ drive unit 21. By projecting these three lift pins, the liquid crystal cell 1 can be lifted up in a state of supporting at three points, and by being housed in the θ drive section 21, the liquid crystal cell 1 is held by the suction arm 2.
It is supposed to be handed over to 3rd.
【0039】上記吸着アーム23上に受け渡された液晶
セル1は、このアーム23の先端に設けられた吸着部2
3aによって吸着保持され、上記ガイドレール19、X
Yテーブル20およびθ駆動部21が作動することで、
XYθ方向に搬送位置決めされるようになっている。The liquid crystal cell 1 delivered onto the suction arm 23 has a suction portion 2 provided at the tip of the arm 23.
3a is sucked and held by the guide rails 19, X
By operating the Y table 20 and the θ drive unit 21,
The carriage is positioned in the XYθ directions.
【0040】次に、上記ボンディング機構17について
説明する。このボンディング機構17は、図2に示すよ
うに、上記ガイドレール19の側方に設けられている。
そして、このボンディング機構17は、上記架台15上
に立設されたコラム25を有する。このコラム25は、
略垂直に形成された前面25aを有すると共に、その上
端には図に25bで示す水平板部が略水平に突設されて
いる。Next, the bonding mechanism 17 will be described. The bonding mechanism 17 is provided on the side of the guide rail 19 as shown in FIG.
The bonding mechanism 17 has a column 25 that is erected on the pedestal 15. This column 25
It has a front surface 25a formed substantially vertically, and a horizontal plate portion indicated by 25b in the drawing is provided at its upper end so as to project substantially horizontally.
【0041】このコラム25には、上記TAB部品2の
本圧着を行う加熱押圧機構26と、この加熱押圧機構2
6の加熱押圧面(後述する)を洗浄する洗浄機構27
(クリーニング機構)と、TAB部品2を冷却する冷却
機構28(冷却手段)とが取り付けられている。The column 25 is provided with a heating and pressing mechanism 26 for performing the main pressure bonding of the TAB component 2 and the heating and pressing mechanism 2.
Cleaning mechanism 27 for cleaning the heating and pressing surface 6 (described later)
A (cleaning mechanism) and a cooling mechanism 28 (cooling means) for cooling the TAB component 2 are attached.
【0042】まず、上記加熱押圧機構26について説明
する。この加熱押圧機構26は、上記コラム25の水平
板部25bの上面に固定された上下駆動用の第1のエア
シリンダ29(駆動手段)を具備する。この第1のエア
シリンダ29の駆動軸29aはこの水平板部25bを貫
通し下方へと導出されている。First, the heating and pressing mechanism 26 will be described. The heating and pressing mechanism 26 includes a first air cylinder 29 (driving means) for vertically driving, which is fixed to the upper surface of the horizontal plate portion 25b of the column 25. The drive shaft 29a of the first air cylinder 29 penetrates the horizontal plate portion 25b and is led out downward.
【0043】また、第1のエアシリンダ29の駆動軸2
9aの下端には、図に31で示す保持板が固定されてい
る。この保持板31は、図1に示すようにX方向に長尺
なる板部材であり、その両端部の下面には、加圧用の2
つの第2のシリンダ32…が軸線を垂直にして並列に固
定されている。そして、各第2のシリンダ32の駆動軸
32aの下端にはホルダ34が固定され、このホルダ3
4は、下端面に加圧チップ33が固定されてなる圧着ブ
ロック35を保持している。Further, the drive shaft 2 of the first air cylinder 29
A holding plate indicated by 31 in the figure is fixed to the lower end of 9a. The holding plate 31 is a plate member that is elongated in the X direction as shown in FIG.
Two second cylinders 32 ... Are fixed in parallel with their axes vertical. A holder 34 is fixed to the lower end of the drive shaft 32a of each second cylinder 32.
4 holds a pressure bonding block 35 having a pressure tip 33 fixed to the lower end surface.
【0044】この圧着ブロック35は、図3に示すよう
に、積層形圧電アクチュエータ36(この発明のアクチ
ュエータ)によって連結された上部ブロック37および
下部ブロック38とから構成され、上記加圧チップ33
はこの下部ブロック38に固定されている。また、この
下部ブロック38には、加熱ヒータ39(加熱手段)が
埋設され、この加熱ヒータ39を作動させることで、上
記加圧チップ33を所定の温度に加熱するようになって
いる。As shown in FIG. 3, the crimping block 35 is composed of an upper block 37 and a lower block 38 which are connected by a laminated piezoelectric actuator 36 (actuator of the present invention).
Is fixed to the lower block 38. A heating heater 39 (heating means) is embedded in the lower block 38, and the pressing tip 33 is heated to a predetermined temperature by operating the heating heater 39.
【0045】また、上記加圧チップ33の下端部は細幅
に形成され、その下端面は一つの上記TAB部品の接合
長さに応じて形成された平坦な押圧面33aとなってい
る。この押圧面33aにはフッソ樹脂等の耐摩耗性を有
する材質がコーティングされている。The lower end portion of the pressure tip 33 is formed to have a narrow width, and the lower end surface thereof is a flat pressing surface 33a formed according to the joint length of one of the TAB components. The pressing surface 33a is coated with a material having wear resistance such as fluorine resin.
【0046】一方、上記上部ブロック37と下部ブロッ
ク38との間に設けられた積層形圧電アクチュエータ3
6は、図4に示すように、X方向に3列、Y方向に2列
の計6個設けられ、各アクチュエータ36の上面および
下面はそれぞれ上記上部ブロック37および下部ブロッ
ク38に固着されている。On the other hand, the laminated piezoelectric actuator 3 provided between the upper block 37 and the lower block 38.
As shown in FIG. 4, 6 are provided in three rows in the X direction and two rows in the Y direction, and the upper surface and the lower surface of each actuator 36 are fixed to the upper block 37 and the lower block 38, respectively. .
【0047】この6個のアクチューエタ36は、後で説
明するように個別に制御されるようになっていて、それ
ぞれ電圧が印加されることでZ方向(押圧面33aと略
直交する方向)に変位する。そして、任意のアクチュエ
ータ36を作動させることで、上記下部ブロック38を
駆動し、上記加圧チップ33の押圧面33aの傾きを調
整することができるようになっている。The six actuators 36 are individually controlled as will be described later, and are displaced in the Z direction (direction substantially orthogonal to the pressing surface 33a) by applying a voltage to each of them. To do. By operating an arbitrary actuator 36, it is possible to drive the lower block 38 and adjust the inclination of the pressing surface 33a of the pressing tip 33.
【0048】また、図1および図2に示すように、上記
圧着ブロック35の下方には、架台15上に立設された
板状のボンディングステージ(バックアップ)40が、
その上面40a(バックアップ面)を上記圧着ブロック
35に設けられた加圧チップ33の押圧面33aに対向
させて設けられている。このボンディングステージ40
は図示しないカム機構によって上下するようになってい
る。Further, as shown in FIGS. 1 and 2, below the crimping block 35, a plate-shaped bonding stage (backup) 40 erected on the pedestal 15 is provided.
The upper surface 40a (backup surface) is provided so as to face the pressing surface 33a of the pressing tip 33 provided on the pressure-bonding block 35. This bonding stage 40
Is moved up and down by a cam mechanism (not shown).
【0049】また、このボンディングステージ40に
は、図示しない傾き補正機構が取り付けられていて、こ
の補正機構を作動させることでバックアップ面40aの
傾きを補正できるようになっている。Further, a tilt correction mechanism (not shown) is attached to the bonding stage 40, and the tilt of the backup surface 40a can be corrected by operating this correction mechanism.
【0050】このボンディングステージ40は、上記カ
ム機構が作動することで上昇駆動され、上記バックアッ
プ面40aで上記液晶セル1のガラス基板1a、1bの
下面を支持するようになっている。The bonding stage 40 is driven upward by the operation of the cam mechanism, and the backup surface 40a supports the lower surfaces of the glass substrates 1a and 1b of the liquid crystal cell 1.
【0051】なお、上記加圧加熱機構26は、上記二つ
の圧着ブロック35を同時に下降させることで、図6に
示すように、間に二つのTAB部品2を挟んで離間する
二つのTAB部品2を同時に本圧着することができるよ
うに構成されている。The pressurizing / heating mechanism 26 lowers the two crimping blocks 35 at the same time, so that the two TAB components 2 are separated by sandwiching the two TAB components 2 therebetween, as shown in FIG. Are configured so that they can be permanently pressure-bonded at the same time.
【0052】このように複数のTAB部品2を押圧する
場合において、一つの圧着ブロック35で複数のTAB
部品2を押圧するようにせず、2つ圧着ブロック35を
用い各圧着ブロック35で一つのTAB部品2を押圧す
るしているのは、押圧長さが長くなると上記押圧面33
aとバックアップ面40aとの間の平行度を維持するの
が難しくなるからである。When pressing a plurality of TAB parts 2 in this way, a plurality of TAB parts are pressed by one crimping block 35.
Instead of pressing the component 2, two crimping blocks 35 are used to press one TAB component 2 with each crimping block 35 because the pressing surface 33 becomes longer when the pressing length becomes longer.
This is because it becomes difficult to maintain the parallelism between a and the backup surface 40a.
【0053】また、上記二つの圧着ブロック35を二つ
のTAB部品分離間させたのは、二つの圧着ブロック3
5どうしを近接させると、それらの圧着ブロック35ど
うしが干渉しあう恐れがあるからである。The two crimp blocks 35 are separated from each other by separating the two TAB parts from each other.
This is because if the five blocks are brought close to each other, the crimp blocks 35 may interfere with each other.
【0054】次に、この加熱加圧機構26の制御および
動作について説明する。上記第1のエアシリンダ29は
例えばクローズドセンタ形の4ポート弁(図示せず)を
介して高圧ポンプに接続されている。上記高圧ポンプは
上記第1のエアシリンダ29の駆動軸29aをボンディ
ング圧力Pよりも大きい最大圧力Fで駆動する役割を有
する。Next, the control and operation of the heating / pressurizing mechanism 26 will be described. The first air cylinder 29 is connected to a high pressure pump via, for example, a closed center type four port valve (not shown). The high-pressure pump has a role of driving the drive shaft 29a of the first air cylinder 29 at the maximum pressure F higher than the bonding pressure P.
【0055】上記第2のエアシリンダ32は、この第2
のエアシリンダ32の駆動軸32aを最大圧力P(F>
P)で駆動する低圧ポンプに接続され、この回路にはリ
リーフ弁が接続されている。このリリーフ弁は上記第2
のエアシリンダ32内の圧力がP以上になると作動し、
この第2のエアシリンダ32内の圧力を常にPに保つ役
割を有する。The second air cylinder 32 has the second
Drive shaft 32a of the air cylinder 32 of the maximum pressure P (F>
It is connected to a low pressure pump driven by P), and a relief valve is connected to this circuit. This relief valve is the second
When the pressure in the air cylinder 32 of becomes P or more, it operates,
It has a role of always maintaining the pressure in the second air cylinder 32 at P.
【0056】上記高圧ポンプに設けられたポート弁は、
図1に42で示す制御部に接続されていて、この制御部
42の動作命令に応じて作動するようになっている。す
なわち、上記ボンディングステージ40のバックアップ
面40a上に上記液晶セル1の上記TAB部品2の仮圧
着されてなる部位が保持されたならば、この制御部42
は、上記ポート弁を開くことで、第1のエアシリンダ2
9を作動させる。The port valve provided in the high pressure pump is
The control unit 42 is connected to the control unit 42 in FIG. 1 and operates according to an operation command of the control unit 42. That is, if the part of the liquid crystal cell 1 which is tentatively pressure-bonded to the TAB component 2 is held on the backup surface 40a of the bonding stage 40, the controller 42
Opens the port valve to open the first air cylinder 2
9 is activated.
【0057】このことによって、上記圧着ブロック35
は下降駆動され、上記加圧チップ33の押圧面33aを
上記TAB部品2に当接させる。この加圧チップ33
は、上記第2のエアシリンダ32の作用により、一定の
圧力Pで上記TAB部品2を上記液晶セル1に対して押
し付ける。この際、上記加熱ヒータ39が作動してい
て、上記TAB部品2を加熱する。As a result, the crimp block 35 is
Is driven downward to bring the pressing surface 33a of the pressing tip 33 into contact with the TAB component 2. This pressure tip 33
The TAB component 2 is pressed against the liquid crystal cell 1 with a constant pressure P by the action of the second air cylinder 32. At this time, the heater 39 is operating to heat the TAB component 2.
【0058】このことで、上記TAB部品2は、上記液
晶セル1に対して熱圧着(アウタリードボンディング)
される。なお、上記加圧チップ33は、コンスタントヒ
ート形であり、上記下部ブロック38に埋設された熱電
対からの温度検出信号に基づく上記制御部42による上
記加熱ヒータ39の制御により、常に一定の温度に保た
れるようになっている。As a result, the TAB component 2 is thermocompression bonded (outer lead bonding) to the liquid crystal cell 1.
To be done. The pressurizing tip 33 is of a constant heat type, and is kept at a constant temperature by the control of the heating heater 39 by the control unit 42 based on the temperature detection signal from the thermocouple embedded in the lower block 38. It is designed to be kept.
【0059】また、この制御部42には、上記圧着ブロ
ック35に設けられた各積層形圧電アクチュエータ36
が接続されている。この制御部42は、各圧電アクチュ
エータ36に印加する電圧を上述したように個別に制御
するようになっている。Further, the control section 42 includes the laminated piezoelectric actuators 36 provided on the pressure bonding block 35.
Is connected. The controller 42 individually controls the voltage applied to each piezoelectric actuator 36 as described above.
【0060】制御部42は、上記加圧チップ33の押圧
面33aの傾きに基づいて、各アクチュエータ36に印
加する電圧を制御し、各アクチュエータ36を厚さ方向
に変位させることで、上記加圧チップ33の押圧面33
aの傾きを補正するようになっている。The control unit 42 controls the voltage applied to each actuator 36 based on the inclination of the pressing surface 33a of the pressing tip 33, and displaces each actuator 36 in the thickness direction, thereby applying the pressing force. Pressing surface 33 of chip 33
The inclination of a is corrected.
【0061】次に、上記洗浄機構27(クリーニング機
構)について説明する。この洗浄機構27は、図2に示
すように、上記コラム25の前面25aに取着されてお
り、必要に応じて上記加熱加圧機構26の加圧チップ3
3の押圧面33aを洗浄(クリーニング)するものであ
る。この洗浄は、上記加圧チップ33の押圧面33a
に、図1および図2に44で示すテープの粘着面を押し
付け、このテープ44で上記押圧面33aの汚れを拭き
とることで行うものである。Next, the cleaning mechanism 27 (cleaning mechanism) will be described. As shown in FIG. 2, the cleaning mechanism 27 is attached to the front surface 25a of the column 25 and, if necessary, the pressure tip 3 of the heating and pressure mechanism 26.
The pressing surface 33a of No. 3 is cleaned. This cleaning is performed by the pressing surface 33a of the pressing tip 33.
1 and 2, the adhesive surface of the tape indicated by 44 is pressed, and the tape 44 wipes off the dirt on the pressing surface 33a.
【0062】この洗浄機構27は、このテープ44を駆
動するテープ駆動機構として、以下の構成を有する。こ
の洗浄機構27は、図2に示すように、上記コラム25
の前面25aに固定された進退用の駆動シリンダ45を
有する。このシリンダ45の駆動軸45aには、このシ
リンダ45が作動することで上記コラム25の前面25
aから接離する方向に進退駆動される移動体46が設け
られている。The cleaning mechanism 27 has the following structure as a tape drive mechanism for driving the tape 44. This cleaning mechanism 27, as shown in FIG.
Has a drive cylinder 45 for advancing and retreating, which is fixed to the front surface 25a of the. The drive shaft 45a of the cylinder 45 is connected to the front surface 25 of the column 25 by the operation of the cylinder 45.
A moving body 46 is provided that is driven to move back and forth in a direction away from a.
【0063】図1に示すように、この移動体46は、X
方向に長尺に形成され、上記一対の圧着ブロック35、
35の外側に食み出して位置する両端部を有する。この
移動体46の両端部の上端には、前面側に突出する突出
部47が設けられており、この突出部47の上面には、
上下駆動シリンダ48が固定されている。As shown in FIG. 1, this moving body 46 is
Formed in a long direction, and the pair of crimp blocks 35,
It has both end portions protruding and located outside 35. Projecting parts 47 projecting to the front side are provided at the upper ends of both ends of the moving body 46, and the upper surfaces of the projecting parts 47 are
The vertical drive cylinder 48 is fixed.
【0064】また、上記移動体46の両端部の下端側の
前面には、図に51で示す上下移動スライダがそれぞれ
スライド自在に設けられている。このスライダ51は、
各上記駆動シリンダ48の駆動軸48aに固定され、上
記上下駆動シリンダ48が作動することで、それぞれ上
下駆動されるようになっている。Further, vertical moving sliders 51 shown in the figure are slidably provided on the front surfaces of the lower ends of both ends of the moving body 46, respectively. This slider 51
It is fixed to the drive shaft 48a of each of the drive cylinders 48, and is vertically driven by the operation of the vertical drive cylinders 48.
【0065】また、図1に示すように、上記移動体46
の図に左側に位置する突出部47の前面には、上記テー
プ44を繰り出す繰出しリール53が設けられ、右側に
位置する突出部47の前面には、上記テープ44を巻き
取る巻取リール54が設けられている。Further, as shown in FIG.
In the figure, a feeding reel 53 for feeding the tape 44 is provided on the front surface of the protruding portion 47 located on the left side, and a winding reel 54 for winding the tape 44 is provided on the front surface of the protruding portion 47 located on the right side. It is provided.
【0066】上記巻取リール54は、図示しない駆動モ
ータによって回転駆動されるようになっており、また、
上記繰出しリール53にはこの繰出しリール53から繰
り出されるテープ44にバックテンションを加える図示
しないテンション機構が接続されている。The take-up reel 54 is rotatably driven by a drive motor (not shown).
A tension mechanism (not shown) for applying back tension to the tape 44 fed from the feeding reel 53 is connected to the feeding reel 53.
【0067】また、上記一対の上下スライダ51の前面
には、上記テープ44を案内し、このテープ44を上記
加圧チップ33の押圧面33aの下方で略水平に張設す
る複数の案内ローラ55…が回転自在に固定されてい
る。A plurality of guide rollers 55 that guide the tape 44 to the front surfaces of the pair of upper and lower sliders 51 and stretch the tape 44 substantially horizontally below the pressing surface 33a of the pressing tip 33. ... is rotatably fixed.
【0068】次に、この洗浄機構27の動作について説
明する。この洗浄機構27の移動体46は、通常のボン
ディング動作を行う場合には、図2に示すように、上記
テープ44を上記加圧チップ33の下方から上記コラム
25側に後退させている。一方、洗浄を行う際には、上
記進退駆動シリンダ45を作動させることで上記テープ
44を上記加圧チップ33の下方に位置させ、上記上下
駆動シリンダ48を作動させ上記上下スライダ51を上
昇駆動することで、図7および図8に示すように、上記
テープ44を上記加圧チップ33の押圧面33aに接触
させる。Next, the operation of the cleaning mechanism 27 will be described. When performing a normal bonding operation, the moving body 46 of the cleaning mechanism 27 retracts the tape 44 from below the pressure tip 33 to the column 25 side, as shown in FIG. On the other hand, at the time of cleaning, the advancing / retreating drive cylinder 45 is operated to position the tape 44 below the pressing tip 33, and the vertical drive cylinder 48 is operated to drive the vertical slider 51 upward. As a result, as shown in FIGS. 7 and 8, the tape 44 is brought into contact with the pressing surface 33 a of the pressing tip 33.
【0069】そして、上記巻取リール54を回転駆動す
ることで上記テープ44を巻き取ると、上記テープ44
は上記押圧面33aに摺接しながら移動し、この押圧面
33aの汚れを拭きとるようになっている。When the tape 44 is wound by rotating the take-up reel 54, the tape 44 is wound.
Moves while slidingly contacting the pressing surface 33a and wipes off the dirt on the pressing surface 33a.
【0070】このような動作を終えると、上記上下シリ
ンダ48および進退駆動シリンダ45が作動すること
で、上記テープ44は上記押圧面33aから離間し、図
2に示す元の位置に復帰させられる。Upon completion of such an operation, the upper and lower cylinders 48 and the forward / backward drive cylinder 45 are operated, so that the tape 44 is separated from the pressing surface 33a and returned to the original position shown in FIG.
【0071】次に、冷却機構28について説明する。こ
の冷却機構28は、図1および図2に示すように、上記
洗浄機構27の下方にX方向に沿って設けられた冷却風
流通路56を有する。この冷却風流通路56は、図示し
ない冷却風供給源に接続され、内部に冷却風が流通する
ようになっている。Next, the cooling mechanism 28 will be described. As shown in FIGS. 1 and 2, the cooling mechanism 28 has a cooling airflow passage 56 provided below the cleaning mechanism 27 along the X direction. The cooling air flow passage 56 is connected to a cooling air supply source (not shown) so that the cooling air flows inside.
【0072】また、この冷却風流通路56の側面には、
この流通路56内の冷却風を上記液晶セル1に圧着され
たTAB部品2に吹き付けるためのノズル57が設けら
れている。On the side surface of the cooling airflow passage 56,
A nozzle 57 is provided for blowing the cooling air in the flow passage 56 onto the TAB component 2 which is pressure-bonded to the liquid crystal cell 1.
【0073】この冷却機構28は、TAB部品を熱圧着
する際の上記加圧チップ33の熱が、隣接する他のTA
B部品2に影響を及ぼさないようにするためのものであ
る。したがって、上記ノズル57は、図1および図6に
示すように上記各圧着ブロック35を挟む位置に設けら
れている。In this cooling mechanism 28, the heat of the pressurizing tip 33 during thermocompression bonding of the TAB component is changed to another TA
This is to prevent the B part 2 from being affected. Therefore, the nozzle 57 is provided at a position sandwiching the crimp blocks 35 as shown in FIGS. 1 and 6.
【0074】そして、この冷却機構28は、上記加圧加
熱機構26が作動し、所定のTAB部品2が液晶セル1
に押し付けられた際に作動し、図5および図6に示すよ
うに、押圧されたTAB部品2に隣接する位置に仮圧着
されているTAB部品2に対して上記ノズル57から冷
却風を吹き付けるようになっている。In the cooling mechanism 28, the pressurizing and heating mechanism 26 is operated so that the predetermined TAB component 2 operates in the liquid crystal cell 1.
When the TAB component 2 is pressed against the TAB component 2 as shown in FIGS. 5 and 6, the cooling air is blown from the nozzle 57 to the TAB component 2 that is temporarily pressure-bonded to a position adjacent to the pressed TAB component 2. It has become.
【0075】この本圧着装置(液晶パネル製造装置)
は、以上に述べたような構成を有するものである。次
に、この装置による一連の本圧着動作について説明す
る。この装置では、本圧着動作を行う前に、上記加圧チ
ップ33の押圧面33aとボンディングステージ40の
バックアップ面40aとの間の平行度を調整する。ま
ず、この動作について説明する。This main pressure bonding device (liquid crystal panel manufacturing device)
Has a configuration as described above. Next, a series of main pressure bonding operations by this device will be described. In this apparatus, the parallelism between the pressing surface 33a of the pressing tip 33 and the backup surface 40a of the bonding stage 40 is adjusted before performing the main pressure bonding operation. First, this operation will be described.
【0076】平行度の測定は、感圧紙を用いて行う。す
なわち、上記ボンディングステージ40のバックアップ
面40a上に感圧紙を置き、この感圧紙に対して上記加
圧チップ33の押圧面33aを押し付ける。The parallelism is measured using pressure sensitive paper. That is, a pressure sensitive paper is placed on the backup surface 40a of the bonding stage 40, and the pressing surface 33a of the pressure tip 33 is pressed against the pressure sensitive paper.
【0077】なお、このとき、上記加熱ヒータ39を作
動させておく。上記押圧面33aの傾きは、機械的誤差
によるものだけでなく、上記圧着ブロック35の熱変形
により生じるものもあるからである。At this time, the heater 39 is operated. This is because the inclination of the pressing surface 33a may be caused not only by a mechanical error but also by the thermal deformation of the pressure bonding block 35.
【0078】この感圧紙は、一般的に用いられているも
ので良く、強く押し付けられた箇所ほど濃い赤で表示さ
れるようになっている。作業者は、この感圧紙による検
出結果に基づいて、上記制御部42を操作し、上記積層
形圧電アクチュエータ36を作動させることで、上記加
圧チップ33の押圧面33aの傾きを変更する。This pressure-sensitive paper may be one that is generally used, and the portion that is strongly pressed is displayed in dark red. The operator changes the inclination of the pressing surface 33a of the pressing tip 33 by operating the control unit 42 and operating the laminated piezoelectric actuator 36 based on the detection result of the pressure sensitive paper.
【0079】上記各積層形圧電アクチュエータ36は、
上記制御部42からの指令により電圧が印加されること
でそれぞれZ方向に伸縮するようになっており、印加す
る電圧の値を各アクチュエータ36毎に制御すること
で、上記加圧チップ33の押圧面33aの傾きを任意の
方向に変更できる。Each of the laminated piezoelectric actuators 36 has
When a voltage is applied in accordance with a command from the controller 42, the voltage expands and contracts in the Z direction. By controlling the value of the applied voltage for each actuator 36, the pressing tip 33 is pressed. The inclination of the surface 33a can be changed in any direction.
【0080】例えば、Y方向に隣り合う積層形圧電アク
チュエータ36どうしの印加電圧を異ならせることでZ
Y面内の傾きを変更できる。また、X方向に隣り合う積
層形圧電アクチュエータ36どうしの印加電圧を異なら
せることでXZ面内の傾きを変更できる。そして、XY
方向に隣り合う積層形圧電アクチュエータ36どうしの
印加電圧を異ならせることで、ZY面内およびXZ面内
の傾きを同時に補正でき、この押圧面33aの傾きを三
次元方向に変更することができる。For example, by applying different voltages to the laminated piezoelectric actuators 36 adjacent in the Y direction, Z
The tilt in the Y plane can be changed. Further, the inclination in the XZ plane can be changed by making the applied voltage different between the laminated piezoelectric actuators 36 adjacent in the X direction. And XY
By changing the applied voltage between the laminated piezoelectric actuators 36 adjacent to each other in the direction, the inclinations in the ZY plane and the XZ plane can be simultaneously corrected, and the inclination of the pressing surface 33a can be changed in the three-dimensional direction.
【0081】なお、この実施例では、2つの圧着ブロッ
ク35が設けられているが、上記加圧チップ33の押圧
面33aの傾きの補正は、上記圧着ブロック35毎に行
う。In this embodiment, two crimping blocks 35 are provided, but the inclination of the pressing surface 33a of the pressing tip 33 is corrected for each crimping block 35.
【0082】このようにして上記加圧チップ33の押圧
面33aの傾きの補正がなされたならば、この装置は、
上記液晶セル1に仮圧着されたTAB部品の本圧着動作
を行う。If the inclination of the pressing surface 33a of the pressing tip 33 is corrected in this way, this device
The main pressure bonding operation of the TAB component temporarily pressure bonded to the liquid crystal cell 1 is performed.
【0083】まず、上記TAB部品が仮圧着されてなる
液晶セル1が、上記TAB部品の仮圧着を行う仮圧着装
置から供給される。上記セルステージ16は、この仮圧
着装置から上記液晶セル1を受取り、この液晶セル1を
ボンディング機構17に対向する位置に搬送する。First, the liquid crystal cell 1 in which the above-mentioned TAB components are temporarily pressure-bonded is supplied from a temporary pressure-bonding device for temporarily pressure-bonding the TAB components. The cell stage 16 receives the liquid crystal cell 1 from the temporary pressure bonding device and conveys the liquid crystal cell 1 to a position facing the bonding mechanism 17.
【0084】上記ボンディング機構17では、まず、上
記第1のガラス基板1aに仮圧着されている各TAB部
品2を本圧着する。このためには、上記セルステージ1
6に保持した液晶セル1の第1のガラス基板1aの一辺
の上記TAB部品2が仮圧着されてなる部位を上記ボン
ディングステージ40のバックアップ面40aと上記加
熱加圧機構26の加圧チップ33(圧着ブロック35)
との間に挿入する。In the bonding mechanism 17, first, the TAB components 2 that have been temporarily pressure-bonded to the first glass substrate 1a are permanently pressure-bonded. To this end, the cell stage 1
The portion of one side of the first glass substrate 1a of the liquid crystal cell 1 held in FIG. 6 where the TAB component 2 is temporarily pressure-bonded is the backup surface 40a of the bonding stage 40 and the pressure chip 33 ( Crimp block 35)
Insert between and.
【0085】ついで、上記加圧加熱機構26を作動させ
ることで、図5および図6に示すように、2個のTAB
部品2を挟んで位置する2個のTAB部品2を同時に本
圧着する。この本圧着は、上記TAB部品2に対して、
上記加圧チップ33の押圧面33aを所定時間押し付け
ることで行う。Then, by operating the pressurizing and heating mechanism 26, as shown in FIGS. 5 and 6, two TABs are formed.
Two TAB parts 2 located with the part 2 sandwiched therebetween are simultaneously main-press bonded. This main pressure bonding is performed with respect to the TAB component 2 described above.
This is performed by pressing the pressing surface 33a of the pressure tip 33 for a predetermined time.
【0086】なお、このとき、上記冷却機構28を作動
させ、同図に示すように、加熱、加圧されているTAB
部品2に隣接する位置に仮圧着されたTAB部品2を冷
却しつつ行う。At this time, the cooling mechanism 28 is operated to heat and press the TAB as shown in FIG.
This is performed while cooling the TAB component 2 that has been temporarily pressure-bonded to a position adjacent to the component 2.
【0087】この2個のTAB部品2の圧着が終了した
ならば、上記加圧加熱機構26は、上記圧着ブロック3
5を上昇させる。ついで、上記セルステージ16は、上
記液晶セル1(第1のガラス基板1a)をTAB部品1
個分だけX方向に移動させ、未だ本圧着されていない2
個のTAB部品2を上記加圧チップ33と上記ボンディ
ングステージ40との間に位置決めする。When the crimping of the two TAB parts 2 is completed, the pressurizing and heating mechanism 26 is operated by the pressurizing and heating block 26.
Raise 5 Then, the cell stage 16 transfers the liquid crystal cell 1 (first glass substrate 1 a) to the TAB component 1.
Moved in the X direction by the number of pieces and not yet fully crimped 2
The individual TAB components 2 are positioned between the pressure chip 33 and the bonding stage 40.
【0088】ついで、上述したのと同じ動作により、こ
の2個のTAB部品2の本圧着を行う。そして、この本
圧着も、上記TAB部品2に隣接するTAB部品2の冷
却を行いつつ行う。Then, by the same operation as described above, the two TAB components 2 are finally pressure-bonded. The main pressure bonding is also performed while cooling the TAB component 2 adjacent to the TAB component 2.
【0089】この本圧着装置は、以上述べた動作を繰り
返し行い、上記第1のガラス基板1aの一辺に仮圧着さ
れたTAB部品2をすべて本圧着する。第1のガラス基
板1aの一辺に対する本圧着が終了したならば、上記セ
ルステージ16は、上記第1のガラス基板1aを水平方
向に180°回転させ、この第1のガラス基板の他辺を
上記ボンディング機構17(加圧加熱機構26)に対向
させる。The main press-bonding apparatus repeats the above-described operation to perform the main press-bonding of all the TAB components 2 which are temporarily press-bonded to one side of the first glass substrate 1a. When the main pressure bonding to one side of the first glass substrate 1a is completed, the cell stage 16 rotates the first glass substrate 1a by 180 ° in the horizontal direction, and the other side of the first glass substrate is set to the above. It faces the bonding mechanism 17 (pressurizing and heating mechanism 26).
【0090】ついで、上述したのと同じ動作により、第
1のガラス基板1aの他辺に仮圧着されているTAB部
品2の本圧着を行っていく。この第1のガラス基板1a
に仮圧着されたTAB部品2すべての本圧着が終了した
ならば、前述した図示しない反転機構により、この液晶
セルを裏返す。そして、この液晶セル1の第2のガラス
基板1bの上記TAB部品2が仮圧着されてなる一辺を
上記ボンディング機構17(加圧加熱機構26)に対向
させ、この一辺に仮圧着されているTAB部品2の本圧
着を上述した動作と同じ動作により行う。Then, by the same operation as described above, the TAB component 2 that has been temporarily pressure-bonded to the other side of the first glass substrate 1a is finally pressure-bonded. This first glass substrate 1a
When the main pressure bonding of all of the TAB components 2 temporarily pressure bonded is completed, the liquid crystal cell is turned over by the above-described inversion mechanism (not shown). Then, one side of the second glass substrate 1b of the liquid crystal cell 1 on which the TAB component 2 is temporarily pressure-bonded is opposed to the bonding mechanism 17 (pressurizing and heating mechanism 26), and the TAB temporarily pressure-bonded on this side. The main crimping of the component 2 is performed by the same operation as described above.
【0091】このことで、上記液晶セル1の第1、第2
のガラス基板1a、1bに仮圧着されたすべてのTAB
部品2の本圧着が終了する。TAB部品2の本圧着がな
された液晶セル1は、次工程へと搬送され、上記液晶セ
ル内に液晶が注入されることで液晶パネルとして完成す
る。As a result, the first and second liquid crystal cells 1 are
All the TABs that have been temporarily pressure-bonded to the glass substrates 1a and 1b of
The main pressure bonding of the component 2 is completed. The liquid crystal cell 1 to which the TAB component 2 has been fully pressure-bonded is transported to the next step, and liquid crystal is injected into the liquid crystal cell to complete a liquid crystal panel.
【0092】この本圧着装置には、上記仮圧着装置から
上記TAB部品2が仮圧着されてなる液晶セル1が順次
供給される。この本圧着装置は、上述した本圧着動作を
液晶セル1が供給される毎に繰り返す。このことで、上
記液晶パネルを大量に生産していくようになっている。The liquid crystal cell 1 in which the TAB component 2 is temporarily pressure-bonded is sequentially supplied from the temporary pressure-bonding device to the final pressure-bonding device. This main pressure bonding apparatus repeats the above-described main pressure bonding operation every time the liquid crystal cell 1 is supplied. As a result, the liquid crystal panels described above have been mass-produced.
【0093】一方、このような本圧着動作を繰り返して
いると、上記加圧チップ33の押圧面33aは、上記異
方性導電接着剤6のかす等の付着物が滞積し、次第に汚
れてくる。On the other hand, when such a main press-bonding operation is repeated, the pressing surface 33a of the pressing tip 33 is gradually soiled with deposits of the anisotropic conductive adhesive 6 such as dust. come.
【0094】この押圧面33aの汚れは、前述したよう
に、この加圧チップ33の押圧面33aと上記ボンディ
ングステージ40のバックアップ面40aとの間の平行
度に悪影響を及ぼす。この装置では、所定のボンディン
グ回数毎に、上記洗浄機構27を作動させることで、こ
の加圧チップ33の押圧面33aの洗浄を行う。なお、
上記所定のボンディング回数は、経験に基づき所望の値
を設定することができる。The contamination of the pressing surface 33a adversely affects the parallelism between the pressing surface 33a of the pressing tip 33 and the backup surface 40a of the bonding stage 40 as described above. In this apparatus, the pressing surface 33a of the pressing tip 33 is cleaned by operating the cleaning mechanism 27 every predetermined number of times of bonding. In addition,
The predetermined number of times of bonding can be set to a desired value based on experience.
【0095】この洗浄は、上述したように、上記加圧チ
ップ33の押圧面33aにテープ44の粘着面を摺接さ
せることで行う。この動作については、前述したので、
ここでの説明は省略する。As described above, this cleaning is carried out by bringing the adhesive surface of the tape 44 into sliding contact with the pressing surface 33a of the pressing tip 33. Since this operation has been described above,
The description here is omitted.
【0096】そして、このような洗浄を行ったならば、
この本圧着装置は、上記本圧着動作を再開する。次に、
この発明の効果について説明する。If such washing is performed,
This main pressure bonding apparatus restarts the above-mentioned main pressure bonding operation. next,
The effects of the present invention will be described.
【0097】すなわち、上述した構成によれば、加圧チ
ップ33の押圧面33aと上記ボンディングステージ4
0のバックアップ面40aとの間の平行度を良好に維持
することができる。That is, according to the above-mentioned configuration, the pressing surface 33a of the pressing tip 33 and the bonding stage 4 are connected.
It is possible to maintain good parallelism with the backup surface 40a of 0.
【0098】すなわち、圧着ブロック35内に複数の積
層形圧電アクチュエータ36をXY方向にマトリックス
状に設け、これらを個別に制御することにより、加圧チ
ップ33の押圧面33aの傾きを任意の方向に調整する
ことができる。That is, a plurality of laminated piezoelectric actuators 36 are provided in the crimping block 35 in a matrix form in the XY directions, and these are individually controlled so that the pressing surface 33a of the pressing tip 33 can be tilted in any direction. Can be adjusted.
【0099】また、上記洗浄機構27を用いて定期的に
上記加圧チップ33の押圧面33aの洗浄を行うこと
で、この押圧面33aに付着した異方性導電膜6のかす
等の付着物を良好に除去できる。したがって、この押圧
面33aに凹凸が生じることを有効に防止できる。Further, by regularly cleaning the pressing surface 33a of the pressing tip 33 using the cleaning mechanism 27, the anisotropic conductive film 6 adhered to the pressing surface 33a, such as dust, is removed. Can be satisfactorily removed. Therefore, it is possible to effectively prevent unevenness from occurring on the pressing surface 33a.
【0100】これらのことにより、上記TAB部品2を
均一に押圧することができるので、上記異方性導電膜6
を良好に押し潰すことができる。このことによって、上
記TAB部品2のアウタリード7と上記第1、第2のガ
ラス基板1a、1bの図示しない配線パターンとの間の
接続を良好に行うことができる効果がある。With these features, the TAB component 2 can be pressed uniformly, so that the anisotropic conductive film 6 can be pressed.
Can be crushed well. This has the effect that the outer lead 7 of the TAB component 2 and the wiring pattern (not shown) of the first and second glass substrates 1a and 1b can be satisfactorily connected.
【0101】また、上記加圧チップ33の押圧面33a
と上記ボンディングステージ40のバックアップ面40
aとの間の平行度が悪く、上記押圧面33aが片当たり
状態となっていると、このTAB部品2が加熱された際
に、このTAB部品2のフィルムキャリアが、押圧力の
弱い方向に向かって熱膨張するということがある。この
結果、上記フィルムキャリア4上に形成されたアウタリ
ード7と上記ガラス基板1a、1bに形成された配線パ
ターンとがずれてしまう恐れがある。Further, the pressing surface 33a of the pressing tip 33 is
And the backup surface 40 of the bonding stage 40
When the parallelism with a is poor and the pressing surface 33a is in a one-sided contact state, when the TAB part 2 is heated, the film carrier of the TAB part 2 moves in a direction in which the pressing force is weak. It may expand toward the heat. As a result, the outer leads 7 formed on the film carrier 4 and the wiring patterns formed on the glass substrates 1a and 1b may be misaligned.
【0102】しかし、この発明によれば、上記TAB部
品2を均一に押圧することができるので、このTAB部
品2のフィルムキャリア4の伸びを有効に防止でき、上
記アウタリード7と配線パターン間のずれを有効に防止
できる効果がある。However, according to the present invention, since the TAB component 2 can be pressed uniformly, the elongation of the film carrier 4 of the TAB component 2 can be effectively prevented, and the shift between the outer lead 7 and the wiring pattern can be prevented. There is an effect that can be effectively prevented.
【0103】また、押圧加熱を行った際に、この押圧加
熱の行われているTAB部品2に隣接するTAB部品2
にもその熱が伝導し、この隣接するTAB部品2のキャ
リアテープ4に熱膨張が生じてしまう恐れがある。[0103] Further, when pressure heating is performed, the TAB component 2 adjacent to the TAB component 2 being pressure heated.
However, the heat may be conducted and the carrier tape 4 of the adjacent TAB component 2 may be thermally expanded.
【0104】この結果、本圧着を行う前に、上記アウタ
リード7と上記第1、第2のガラス基板1a、1bに設
けられた配線パターン間に位置ずれが生じてしまうとい
うことが考えられる。As a result, it is conceivable that a positional deviation will occur between the outer leads 7 and the wiring patterns provided on the first and second glass substrates 1a and 1b before the main pressure bonding.
【0105】しかし、この発明では、上記ボンディング
機構17に、本圧着を行っているTAB部品1に隣接す
るTAB部品2を冷却する冷却機構28を設けたから、
上記加圧チップ33の熱が隣接するTAB部品2に影響
を及ぼすことを有効に防止できる。However, in the present invention, since the bonding mechanism 17 is provided with the cooling mechanism 28 for cooling the TAB component 2 adjacent to the TAB component 1 that is performing the main pressure bonding,
It is possible to effectively prevent the heat of the pressure tip 33 from affecting the adjacent TAB component 2.
【0106】なお、この発明は上記一実施例に限定され
るものでなく、発明の要旨を変更しない範囲で種々変形
可能である。例えば、上記一実施例では、部品を実装用
基板に圧着する装置として、液晶パネル製造装置の本圧
着装置を挙げたが、これに限定されるものではなく、他
の同種の作業を行う装置に適用するようにしても良い。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, but can be variously modified without changing the gist of the invention. For example, in the above-described one embodiment, as the device for crimping the component to the mounting substrate, the main crimping device of the liquid crystal panel manufacturing device has been described, but the device is not limited to this, and may be a device for performing other similar work. You may make it apply.
【0107】また、上記一実施例では、上記加圧チップ
33はその上下動作にかかわらず常に一定の温度に保持
されているコンスタントヒート形の加圧チップであった
が、これに限定されるものではなく、上記TAB部品2
を押圧する際にだけ通電発熱するパルスヒート形の加圧
チップ33であっても良い。Further, in the above-mentioned one embodiment, the pressure tip 33 is a constant heat type pressure tip which is always kept at a constant temperature regardless of the vertical movement thereof, but the present invention is not limited to this. Instead of the TAB part 2 above
It may be a pulse heat type pressure tip 33 that generates heat by energization only when is pressed.
【0108】[0108]
【発明の効果】以上述べたこの発明の構成によれば、圧
着ブロックの押圧面の傾きを良好に維持することができ
る。すなわち、圧着ブロック内に上記押圧面の傾きを調
整する複数個のアクチュエータを設けることにより、上
記押圧面の傾きを3次元的に調整することができる。し
たがって、この押圧面と上記基板および液晶駆動用IC
の圧着部位との平行度を良好に保つことが可能である。According to the configuration of the present invention described above, the inclination of the pressing surface of the crimping block can be favorably maintained. That is, by providing a plurality of actuators for adjusting the inclination of the pressing surface in the pressure bonding block, the inclination of the pressing surface can be adjusted three-dimensionally. Therefore, this pressing surface, the substrate, and the liquid crystal driving IC
It is possible to maintain good parallelism with the crimped part.
【0109】また、上記クリーニング機構を用いて上記
押圧面の洗浄を行うことで、この押圧面に付着した接合
材のかす等の付着物を良好に除去できる。したがって、
この押圧面に凹凸が生じることを有効に防止できる。Further, by cleaning the pressing surface by using the cleaning mechanism, it is possible to satisfactorily remove the adhering matter such as the residue of the bonding material adhered to the pressing surface. Therefore,
It is possible to effectively prevent unevenness from occurring on the pressing surface.
【0110】これらのことにより、上記TAB部品を均
一に押圧することができ、上記ICと基板とのを良好に
圧着することができる効果がある。また、この発明によ
れば、上記ICを均一に押圧することができるので、こ
のICの熱膨張を有効に防止できる効果がある。With these, the TAB component can be pressed uniformly, and the IC and the substrate can be satisfactorily pressure-bonded. Further, according to the present invention, since the IC can be pressed uniformly, the thermal expansion of the IC can be effectively prevented.
【0111】さらに、この発明では、上記本圧着機構
に、隣接するICを冷却する冷却手段を設けたから、こ
の隣接するICに圧着ブロックにからの熱の影響が及ぶ
ことを有効に防止できる。このことにより隣接するIC
の熱膨張も有効に防止できる効果がある。Further, in the present invention, since the main pressure bonding mechanism is provided with the cooling means for cooling the adjacent IC, it is possible to effectively prevent the adjacent IC from being affected by heat from the pressure bonding block. This allows adjacent ICs
It also has an effect of effectively preventing thermal expansion.
【図1】この発明の一実施例を示す概略正面図。FIG. 1 is a schematic front view showing an embodiment of the present invention.
【図2】同じく、概略側面図。FIG. 2 is a schematic side view of the same.
【図3】同じく、圧着ブロックを拡大して示す縦断面
図。FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing a crimping block in an enlarged manner.
【図4】同じく、圧着ブロックの斜視図。FIG. 4 is a perspective view of the crimp block.
【図5】同じく、圧着工程を示す概略側面図。FIG. 5 is a schematic side view showing a crimping process.
【図6】同じく、圧着工程を示す斜視図。FIG. 6 is a perspective view showing a crimping process.
【図7】同じく、クリーニングの工程を示す正面図。FIG. 7 is a front view showing a cleaning process.
【図8】同じく、クリーニングの工程を示す側面図。FIG. 8 is a side view showing a cleaning process.
【図9】同じく、液晶パネルを示す斜視図。FIG. 9 is likewise a perspective view showing a liquid crystal panel.
【図10】同じく、TAB部品を拡大して示す斜視図。FIG. 10 is an enlarged perspective view of a TAB component.
【図11】従来の本圧着装置を示す斜視図。FIG. 11 is a perspective view showing a conventional full pressure bonding apparatus.
1…液晶セル、1a…第1のガラス基板(基板、実装用
基板)、1b…第2のガラス基板(基板、実装用基
板)、2…TAB部品(液晶駆動用IC、部品)17…
ボンディング機構(本圧着機構)、27…洗浄機構(ク
リーニング機構、テープ駆動機構)、28…冷却機構
(冷却手段)、29…第1のシリンダ(駆動手段)、3
3a…押圧面、35…圧着ブロック、36…積層形圧電
アクチュエータ(アクチュエータ)、39…加熱ヒータ
(加熱手段)、44…テープ。ン。1 ... Liquid crystal cell, 1a ... 1st glass substrate (substrate, mounting substrate), 1b ... 2nd glass substrate (substrate, mounting substrate), 2 ... TAB component (liquid crystal drive IC, component) 17 ...
Bonding mechanism (main pressure bonding mechanism), 27 ... Washing mechanism (cleaning mechanism, tape driving mechanism), 28 ... Cooling mechanism (cooling means), 29 ... First cylinder (driving means), 3
3a ... Pressing surface, 35 ... Pressure bonding block, 36 ... Laminated piezoelectric actuator (actuator), 39 ... Heating heater (heating means), 44 ... Tape. N.
Claims (9)
いる液晶駆動用ICを上記基板に本圧着する本圧着機構
を備える液晶パネルの製造装置において、 上記本圧着機構は、 上記液晶駆動用ICを接合材を介して上記基板に押し付
ける押圧面を有する圧着ブロックと、 この圧着ブロックを所定の圧着温度に昇温させる加熱手
段と、 この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液晶駆動
用ICを押し付けることで、この液晶駆動用ICを上記
基板に熱圧着する駆動手段と、 この圧着ブロックに設けられ、上記作動することで上記
押圧面の傾きを調整するアクチュエータと、 上記圧着ブロックにより本圧着されるICに隣接する位
置に仮圧着されている上記ICを冷却する冷却手段と、 上記圧着ブロックの近傍に設けられ、上記圧着ブロック
の押圧面が接合材の付着物で汚れたのに基づき、この押
圧面をクリーニングし上記接合材の付着物を除去するク
リーニング機構とを具備することを特徴とする液晶パネ
ル製造装置。1. A manufacturing apparatus for a liquid crystal panel, comprising: a main pressure-bonding mechanism for permanently pressure-bonding a liquid crystal driving IC, which is temporarily pressure-bonded to a substrate forming a liquid crystal cell, to the substrate. A pressure-bonding block having a pressing surface for pressing the IC onto the substrate via a bonding material, a heating means for raising the pressure-bonding block to a predetermined pressure-bonding temperature, and driving the pressure-bonding block to drive the liquid crystal with the pressing surface. Driving means for thermocompression-bonding the liquid crystal driving IC to the substrate by pressing the IC, an actuator provided in the pressure-bonding block for adjusting the inclination of the pressing surface by operating the IC, and the pressure-bonding block Cooling means for cooling the IC that has been temporarily pressure-bonded to a position adjacent to the pressure-bonded IC, and the pressure-bonding block provided near the pressure-bonding block. Based on the pressing surface it becomes soiled by deposits of bonding material, liquid crystal panel manufacturing apparatus characterized by comprising a cleaning mechanism for removing the pressing surface cleaning deposits the bonding material.
いる液晶駆動用ICを上記基板に本圧着する本圧着機構
を備える液晶パネル製造装置において、 上記本圧着機構は、 上記液晶駆動用ICを接合材を介して上記基板に押し付
ける押圧面を有する圧着ブロックと、 この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液晶駆動
用ICを押し付けることで、この液晶駆動用ICを上記
基板に圧着する駆動手段と、 この圧着ブロックに設けられ、作動することで上記押圧
面の傾きを調整するアクチュエータとを有することを特
徴とする液晶パネル製造装置。2. A liquid crystal panel manufacturing apparatus comprising a main pressure bonding mechanism for main pressure bonding a liquid crystal driving IC temporarily pressure bonded to a substrate constituting a liquid crystal cell, wherein the main pressure bonding mechanism is the liquid crystal driving IC. And a liquid crystal driving IC is pressed against the substrate by pressing the liquid crystal driving IC against the pressure bonding block by pressing the liquid crystal driving IC against the substrate through a bonding material. An apparatus for manufacturing a liquid crystal panel, comprising: a driving unit; and an actuator, which is provided in the pressure-bonding block and adjusts the inclination of the pressing surface by operating the liquid crystal panel.
ネル製造装置において、 上記アクチュエータは、 上記押圧面と略平行な方向に複数個配設され、通電され
ることで、それぞれが個別に上記押圧面と略直交する方
向に伸縮し、上記押圧面の傾きを制御する圧電アクチュ
エータであることを特徴とする液晶パネル製造装置。3. The liquid crystal panel manufacturing apparatus according to claim 1 or 2, wherein a plurality of the actuators are arranged in a direction substantially parallel to the pressing surface and are energized to individually A liquid crystal panel manufacturing apparatus, which is a piezoelectric actuator that expands and contracts in a direction substantially orthogonal to a pressing surface and controls the inclination of the pressing surface.
いる液晶駆動用ICを上記基板に本圧着する本圧着機構
を備える液晶パネル製造装置において、 上記本圧着機構は、 上記液晶駆動用ICを接合材を介して上記基板に押し付
ける押圧面を有する圧着ブロックと、 この圧着ブロックを所定の圧着温度に昇温させる加熱手
段と、 この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液晶駆動
用ICを押し付けることで、この液晶駆動用ICを上記
基板に熱圧着する駆動手段と、 上記圧着ブロックにより本圧着されるICに隣接する位
置に仮圧着されている上記ICを冷却する冷却手段と、 を具備することを特徴とする液晶パネル製造装置。4. A liquid crystal panel manufacturing apparatus comprising a main pressure-bonding mechanism for main pressure-bonding a liquid crystal driving IC, which is temporarily pressure-bonded to a substrate forming a liquid crystal cell, to the substrate, wherein the main pressure-bonding mechanism is the liquid crystal driving IC. A pressure-bonding block having a pressing surface that presses the bonding material onto the substrate via a bonding material, heating means for raising the pressure-bonding block to a predetermined pressure-bonding temperature, and driving the pressure-bonding block so that the liquid crystal driving IC Pressing means for driving the liquid crystal driving IC by thermocompression bonding to the substrate, and cooling means for cooling the IC that is temporarily pressure bonded at a position adjacent to the IC that is permanently pressure bonded by the pressure bonding block. An apparatus for manufacturing a liquid crystal panel, comprising:
ネル製造装置において、 上記冷却手段は、 上記隣接するICに冷却風を吹き付けることで、このI
Cを冷却する冷却風吹き付けノズルを有することを特徴
とする液晶パネル製造装置。5. The liquid crystal panel manufacturing apparatus according to claim 1 or 4, wherein the cooling means blows a cooling air to the adjacent ICs so that the I
A liquid crystal panel manufacturing apparatus having a cooling air blowing nozzle for cooling C.
いる液晶駆動用ICを上記基板に本圧着する本圧着機構
を備える液晶パネル製造装置において、 上記本圧着機構は、 上記液晶駆動用ICを接合材を介して上記基板に押し付
ける押圧面を有する圧着ブロックと、 この圧着ブロックを所定の圧着温度に昇温させる加熱手
段と、 この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記液晶駆動
用ICを押し付けることで、この液晶駆動用ICを上記
基板に熱圧着する駆動手段と、 上記圧着ブロックの近傍に設けられ、上記圧着ブロック
の押圧面が接合材の付着物で汚れたのに基づき、この押
圧面をクリーニングし上記接合材の付着物を除去するク
リーニング機構とを具備することを特徴とする液晶パネ
ル製造装置。6. A liquid crystal panel manufacturing apparatus comprising a main pressure-bonding mechanism for main pressure-bonding a liquid crystal drive IC, which is temporarily pressure-bonded to a substrate forming a liquid crystal cell, to the substrate, wherein the main pressure-bonding mechanism is the liquid crystal drive IC. A pressure-bonding block having a pressing surface that presses the bonding material onto the substrate via a bonding material, heating means for raising the pressure-bonding block to a predetermined pressure-bonding temperature, and driving the pressure-bonding block so that the liquid crystal driving IC The driving means for thermocompression bonding the liquid crystal driving IC to the substrate by pressing is provided in the vicinity of the pressure bonding block, and the pressing surface of the pressure bonding block is contaminated with the adhering material of the bonding material. A liquid crystal panel manufacturing apparatus, comprising: a cleaning mechanism that cleans a pressing surface to remove deposits of the bonding material.
ネル製造装置において、 上記クリーニング機構は、 テープを駆動し、このテープの粘着面を上記押圧面に押
し付けることで、上記付着物を除去する粘着テープ駆動
機構を有することを特徴とする液晶パネル製造装置。7. The liquid crystal panel manufacturing apparatus according to claim 1 or 6, wherein the cleaning mechanism drives a tape and presses the adhesive surface of the tape against the pressing surface to remove the adhered matter. A liquid crystal panel manufacturing apparatus having an adhesive tape drive mechanism.
いて、 上記部品を上記基板に押し付ける押圧面を有する圧着ブ
ロックと、 この圧着ブロックを駆動し、上記押圧面で上記部品を押
し付けることで、この部品を上記基板に圧着する駆動部
と、 この圧着ブロックに設けられ、作動することで上記押圧
面の傾きを調整するアクチュエータとを有することを特
徴とする圧着装置。8. A crimping device for crimping a component to a substrate, the crimping block having a pressing surface for pushing the component to the substrate, and driving the crimping block to press the component on the pressing surface, A crimping device comprising: a drive unit for crimping a component to the substrate; and an actuator provided on the crimping block and operating to adjust the inclination of the pressing surface.
ることでそれぞれが個別に上記押圧面と略直交する方向
に伸縮することで、上記押圧面の傾きを制御するもので
あることを特徴とする圧着装置。9. The crimping device according to claim 8, wherein a plurality of the actuators are arranged in a direction substantially parallel to the pressing surface, and each actuator is individually energized in a direction substantially orthogonal to the pressing surface. A crimping device which is capable of controlling the inclination of the pressing surface by expanding and contracting.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24930794A JPH08114810A (en) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | Apparatus for producing liquid crystal panel and press bonding device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP24930794A JPH08114810A (en) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | Apparatus for producing liquid crystal panel and press bonding device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08114810A true JPH08114810A (en) | 1996-05-07 |
Family
ID=17191046
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24930794A Pending JPH08114810A (en) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | Apparatus for producing liquid crystal panel and press bonding device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08114810A (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1994
- 1994-10-14 JP JP24930794A patent/JPH08114810A/en active Pending
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