JP3246303B2 - 照度測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は紫外線の照度を測定
するための照度測定装置に関し、特に本発明は、ワーク
に塗布された紫外線によって反応するインクや樹脂等を
乾燥、硬化させる紫外線照射処理装置において、ワーク
が載置される紫外線照射面の照度を測定するのに好適な
照度測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】紫外線照射処理装置による紫外線照射処
理後、ワークに塗布されたインクや樹脂等が乾燥、硬化
しているか否かは、装置の紫外線の照射領域における紫
外線のピーク照度もしくは総光量に依存する。なお、イ
ンクや樹脂に含まれる物質の種類の違いにより、化学反
応のプロセスが異なるので、乾燥、硬化の程度がピーク
照度に依存するか積算光量に依存するかは、上記物質の
種類やプロセスにより定まる。ところで、紫外線ランプ
は長時間点灯していると、徐々に照度が低下してくる。
そこで、一定照度、光量以下になることによる樹脂の未
乾燥、未硬化を防ぐため、一定期間毎に照射領域での紫
外線照度測定を行い、照度が規定の値以下になると新し
いランプに交換するなどの管理を行わなければならな
い。このため、紫外線照度測定装置により紫外線照射領
域の照度測定が行われる。

【０００３】図７は上記した紫外線照射処理装置の構成
の一例を示す図である。同図において、１００はランプ
ハウス、１０１は紫外線を放射するランプ、１０２は楕
円ミラーであり、ランプ１０１が放射する紫外線は、楕
円ミラー１０２により集光され、コンベア１０３により
搬送されるワークＷ上に照射され、ワークＷに塗布され
たインクや樹脂を乾燥、硬化させる。上記紫外線照射処
理装置において、紫外線照射領域における照度分布曲線
は同図中の点線で示す山形の形状となり、この山の高さ
が上記したピーク照度に対応し、山の体積が積算光量に
対応する。

【０００４】上記紫外線照射領域の紫外線照度を測定す
る照度測定装置としては、通常、次の機能を備えている
ことが要求される。 (1) 上記照度分布曲線の形状を求める機能。すなわち、
所定の分解能でワーク移動方向のある直線に沿った各位
置における照度を測定、記憶し表示する機能。この機能
によりピーク照度を求めることができる。 (2) 上記(1) で求めた各位置の照度を積算し、積算光量
を求め表示する機能。また、上記照度測定装置は一般的
な照度測定にも利用できることが望ましく、上記機能に
加え、ある地点における現在時点の照度を測定、表示す
る機能を備えていることが要求される。

【０００５】図８は従来の照度測定装置の構成およびそ
の使用状態を示す図である。従来、上記紫外線の照度測
定に使用される照度測定装置としては、同図（ａ）に示
すように、照度測定装置本体１１０とセンサ１１１とか
ら構成され、センサ１１１と照度測定装置本体１１０を
リード線で接続したものが使用されていた。上記照度測
定装置のセンサ１１１には測定領域の光のみを通過させ
るバンドパス・フィルタとシリコン・フォトダイオード
もしくは光電管等からなる受光素子が設けられ、照度測
定装置本体１１０には、上記センサ１１１で測定された
照度測定値を記憶するメモリと演算手段と表示手段が設
けられている。

【０００６】上記照度測定装置を使用して紫外線照射処
理装置における紫外線照射領域の照度を測定するには、
同図（ｂ）に示すように、照度測定装置本体１１０を手
元におき、センサ１１１をコンベア１０３上に載置す
る。そして、コンベア１０３を駆動してセンサ１１１を
走行させ、紫外線照射領域の照度を測定する。センサ１
１１に測定された紫外線照度は、リード線を介して照度
測定装置本体１１０に送られメモリに記憶される。照度
測定が終了すると、コンベア１０３を停止させ、リード
線を引っ張ってセンサ１１１を手繰り寄せる。ついで、
照度測定装置本体１１０に設けられたメモリに記憶され
た照度測定値を読み出して演算部で所定の演算を施し、
前記したピーク照度、積算光量等を求め表示手段に表示
する。

【０００７】ところで、前記した紫外線照射処理装置に
おいて、ランプ１０１の点灯時、ランプ１０１の管壁は
約９００°Ｃになり、その輻射熱および被照射体が紫外
線を吸収することによる発熱により、被照射体は加熱す
る。上記図８に示した照度測定装置は、センサ１１１と
照度測定装置本体１１０間がリード線により接続されて
おり、リード線は照度測定時、紫外線照射領域内にあ
る。このため、リード線は耐紫外線性、耐熱性を持つ材
料で被覆されていなければならないが、上記被覆材料と
して適切な材料がなかった。また、紫外線照射領域が広
く測定距離が長くなると長いリード線が必要となるが、
リード線が長くなるとノイズをひろいやすく、測定誤差
の原因となる。

【０００８】そこで、近年においては、図９に示す一体
型の照度測定装置が実用化されるようになってきてい
る。同図において、１２０は一体型の照度測定装置であ
り、一体型の照度測定装置１２０には、測定領域の光の
みを通過させるバンドパス・フィルタとシリコン・フォ
トダイオードもしくは光電管等からなる受光素子が内蔵
されており、受光部１２０ａから入射する紫外線を受光
する。図９に示した照度測定装置により紫外線照射処理
装置の紫外線照度を測定するには、同図に示すように、
一体型照度測定装置１２０をコンベア１０３上に載置
し、コンベア１０３を駆動して一体型照度測定装置１２
０を走行させ、紫外線照射領域の照度を測定する。一体
型照度測定装置１２０に測定された紫外線照度は、その
内部に設けられたメモリに記憶される。一体型照度測定
装置１２０がコンベア１０３の反対側から出てきたら、
一体型照度測定装置１２０をコンベア１０３から取り出
し、図８に示したものと同様、メモリに記憶された測定
値を読み出し、ピーク照度、積算光量を表示手段に表示
させる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】従来においては、上記
したように、照度測定装置本体１１０とセンサ１１１を
リード線で接続したセパレート型照度測定装置、受光部
と照度計本体を一体とした一体型の照度測定装置が知ら
れていたが、セパレート型照度測定装置は、前記したよ
うに、リード線の被覆材料として適切なものを選定する
ことが困難であり、またリード線が長くなるとノイズを
影響を受けやすく測定誤差が生じやすいといった問題が
あった。一方、一体型の照度測定装置は、紫外線照度測
定時、照度測定装置本体部分が紫外線照射領域を通過す
るため、ランプ管壁からの輻射熱、紫外線を吸収するこ
とにより発熱し、照度測定装置本体部分が高温化する。

【００１０】照度測定装置本体内には、測定した照度を
記憶するためのメモリ、測定値を演算する演算処理部等
の電子回路が設けられており、照度測定装置本体部分が
高温化すると内部の電子回路も高温化する。さらに、紫
外線照射処理装置のコンベアの搬送ベルトも加熱されて
高温化しており、該ベルトから熱が照度測定装置本体部
分にも伝わり、これも照度測定装置の高温化の要因とな
る。一般に、演算手段等に使用されるＬＳＩ等の電気部
品や照度測定値等を表示する表示板（通常液晶が使用さ
れる）の使用温度は６０°Ｃ以下であるので、これ以上
高温になると誤動作したり、素子が破壊する。また、一
体型の照度測定装置は、受光部と照度測定装置本体が一
体で形成されているため、一体型照度測定装置を設置で
きないような狭隘な箇所における紫外線照度を測定した
り、あるいは、スポット型紫外線照射器から出射するス
ポット状の紫外線の照度を測定する場合等に適用するに
は不適であり、場合によっては、上記セパレート型照度
測定装置と一体型照度測定装置の両方を用意しておかな
ればならない場合も生じた。

【００１１】本発明は上記した従来技術の問題点を考慮
してなされたものであり、本発明の第１の目的は、照度
測定装置の受光部を取り外し可能に構成し、受光部を交
換することにより、一体型、セパレート型照度測定装置
のいずれの型の照度測定装置としても使用することがで
き、また、上記受光部の代わりに、例えば温度センサを
取り付けることにより、温度測定装置等としても使用で
きる照度測定装置を提供することである。本発明の第２
の目的は、照度測定装置を一体型の測定装置として使用
して、紫外線照射処理装置における紫外線照射領域の照
度測定を行うに際し、照度測定装置内部に設けられた電
子部品の加熱を防止することができる照度測定装置を提
供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明においては、次の
ようにして上記課題を解決する。 （１）図１に示すように、表示操作パネル１ａと、端子
１ｂと、内部に演算処理部を備え、該端子１ｂから入力
される測定値もしくはその演算処理結果を上記表示部に
表示する照度測定装置本体１と、紫外線を受光し紫外線
照度を測定する受光部２ａと上記照度測定装置本体１の
端子１ｂに接続される端子（図示せず）を備えた一体型
センサ部２と、紫外線照度検出部３ａとリード線３ｂを
介して接続され、上記照度測定装置本体１に設けられた
端子１ｂに接続される端子（図示せず）を備えたセパレ
ート型センサ部３と、上記照度測定装置本体１に装着さ
れ、照度測定装置本体１に設けられた電子部品の温度の
上昇を抑制する遮熱カバー５とから照度測定装置を構成
する。該遮熱カバー５は、少なくとも照度測定装置本体
１の紫外線照射面側とその両側部を覆い、かつ、該遮熱
カバー５の載置面の略両側部には、上記照度測定装置本
体の紫外線照射面の裏面側とその載置面を所定の距離だ
け離間させる支持部が設けられ、遮熱カバー５には、受
光窓が設けられている。また、必要に応じて、温度検出
部４ａとリード線４ｂを介して接続され、上記照度測定
装置本体１に設けられた端子１ｂに接続される端子（図
示せず）を備えた温度測定用センサ部４を用意する。そ
して、上記一体型センサ部２もしくはセパレート型セン
サ部３を上記照度測定装置本体１に取り付け、また、照
度測定装置本体１に紫外線が照射される環境で使用する
場合、遮熱カバー５を一体型センサ部２が取り付けられ
た照度測定装置本体１に上記受光窓を通して、上記一体
型センサの受光部に紫外線が入射するように装着し、一
体型センサ部２の受光部２ａもしくはセパレート型セン
サ部３に接続された紫外線照度検出部３ａにより検出し
た測定値を上記センサ部２，３および照度測定装置本体
１に設けられた端子１ｂを介して照度測定装置本体１に
送り、上記測定値もしくはその処理結果を照度測定装置
本体１の表示操作パネル１ａに表示する。

【００１３】（２）上記（１）おいて、照度測定装置本
体と遮熱カバーの間に断熱材および空間を設ける。 （３）上記（１）（２）おいて、照度測定装置本体１の
演算処理部に、照度測定値を記憶する記憶部を設け、演
算処理部により上記記憶部に記憶された照度測定値に基
づき、ピーク照度、積算光量を算出する。 （４）上記（１）（２）（３）において、一体型センサ
部２およびセパレート型センサ部３に感度補正用可変抵
抗を設け、該感度補正用可変抵抗により各センサ部の感
度の違いを補正できるように構成する。 （５）上記（１）（２）（３）（４）において、一体型
センサ部２およびセパレート型センサ部３にセンサ識別
スイッチを設け、一体型センサ部２もしくはセパレート
型センサ部３を照度測定装置本体１に取り付けたとき、
照度測定装置本体１の演算処理部が上記センサ識別スイ
ッチの状態を読み取り、取り付けられたセンサ部を識別
するように構成する。

【００１４】本発明の請求項１の発明においては、上記
（１）のように構成したので、１台の照度測定装置本体
１を用意するだけで、種々の装置の紫外線照度を測定す
ることができる。また、照度センサ以外の例えば温度測
定用センサ部４を取り付けて温度測定等を行うことがで
きるので、その使用範囲を一層拡大することができる。
また、遮熱カバー５を設け、照度測定装置本体１に紫外
線が照射される環境で使用する場合、遮熱カバー５を照
度測定装置本体１に装着するようにしたので、照度測定
装置本体に設けられた電子部品の温度上昇を抑制し、電
子部品の高温化を防止することができ、装置の信頼性を
向上させることが可能となる。また、照度測定装置本体
１を載置するコンベア・ベルト等から伝わる熱により照
度測定装置本体１の温度が上昇することを防止すること
ができる。本発明の請求項２の発明においては、上記
（２）のように構成したので、遮熱カバー５から照度測
定装置本体１に伝わる熱を遮断することができ、照度測
定装置本体１の温度が上昇することを防止することがで
きる。本発明の請求項３の発明においては、上記（３）
のように構成したので、紫外線照射処理装置におけるピ
ーク照度、積算光量を算出することが可能となる。本発
明の請求項４の発明においては、上記（４）のように構
成したので、センサ部による感度の違いを調整すること
ができ、センサ部を取り替えた場合でも、照度測定装置
本体側の感度等を調整する必要がなく取り扱いが容易と
なる。本発明の請求項５の発明においては、上記（５）
のように構成したので、センサ部を交換する都度、照度
測定装置本体側の設定を変更する必要がなく、操作を容
易にすることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は本発明の照度測定装置の概
略構成を示す図である。同図において、１は前記した照
度測定装置本体、２は上記照度測定装置本体１と一体化
される一体型センサ部であり、一体型センサ部２の受光
部２ａには紫外線を受光するシリコン・フォトダイオー
ド等の受光素子が設けられている。また、３はセパレー
ト型センサ部、４は温度測定用センサ部、５は遮熱カバ
ーであり、遮熱カバー５は本実施例の照度測定装置を一
体型として使用し、前記図９のように、紫外線照射処理
装置における紫外線照射領域の照度を測定する際に、装
着される。

【００１６】同図において、紫外線照射処理装置におけ
る紫外線照度を測定する場合には、照度測定装置本体１
に一体型センサ部２を取り付け、上記遮熱カバー５を図
１の矢印方向にスライドさせて照度測定装置本体１に被
せ、遮熱カバー５に設けられた受光窓５ａを通して一体
型センサ部２の受光部２ａに紫外線が入射するようにす
る。そして、前記図９に示したように本実施例の照度測
定装置を紫外線照射処理装置のコンベア１０３上にのせ
て、紫外線照射領域の照度を測定する。一方、本実施例
の照度測定装置により、照度測定装置を設置できないよ
うな狭隘な箇所における紫外線照度を測定したり、ある
いは、スポット型紫外線照射器から出射するスポット状
の紫外線の照度を測定する場合には、上記遮熱カバー５
と一体型センサ部２を取り外し、セパレート型センサ部
３を照度測定装置本体１に取り付け、セパレート型セン
サ部３の紫外線照度検出部３ａにより紫外線照度を測定
する。さらに、被処理体の表面温度、あるいは、前記し
た紫外線照射処理装置のコンベアの搬送ベルトの温度等
を測定する場合には、上記一体型センサ部２、セパレー
ト型センサ部３の代わりに温度測定用センサ部４を照度
測定装置本体１に取り付け、リード線４ｂの先端に設け
られた熱電対等の温度検出部４ａで被測定対象の温度を
測定する。

【００１７】図２、図３は本実施例の照度測定装置の外
観図であり、図２は照度測定装置本体１に一体型センサ
部２を取り付け、遮熱カバーを被せた状態および遮熱カ
バー５の構成を示しており、図３は一体型センサ部２、
セパレート型センサ部３、温度測定用センサ部３の外観
を示している。図２（ａ）において、１は照度測定装置
本体であり、照度測定装置本体１には、操作表示パネル
１ａが設けられており、操作表示パネル１ａには下記の
ものが設けられている。

【００１８】(a) 表示部１ｃ 表示部１ｃは液晶表示手段等から構成されており、後述
するモード切り換えスイッチによる設定に応じて、積算
光量、ピーク照度、現在照度、温度（温度測定用センサ
部４が取り付けられているとき）等が表示される。 (b) モード表示部１ｄ ＬＥＤ等から構成された３個のランプから構成され、現
在の表示モードが上記積算光量、ピーク照度、現在照度
のどの表示モードにあるかを示す。 (c) レンジ切換スイッチ１ｅ 測定レンジをＬ（測定値の大きさが小）／Ｍ（測定値大
きさが中）／Ｈ（測定値の大きさが高）に切り換える。 (d) start/stopスイッチ１ｆ 上記スイッチを押すことにより照度測定装置が照度等の
測定を開始し、再度上記スイッチを押すことにより照度
測定が終了する。 (e) モード切り換えスイッチ１ｇ 前記した表示モードを切り換え、表示部１ｃに積算光
量、ピーク照度、現在照度、温度等を表示させる。 (f) 電源スイッチ１ｈ 照度測定装置の電源をオン／オフする。

【００１９】また、照度測定装置本体１の下端にはアナ
ログ出力端子１ｉが設けられ、この端子から、照度測定
装置内のメモリに格納された各位置における照度測定値
をアナログ信号として外部出力することができ、外部機
器により照度分布曲線等を表示させることができる。２
は前記した一体型センサ部であり、一体型センサ部２に
は前記したように測定領域の光のみを通過させるバンド
パス・フィルタとシリコン・フォトダイオードもしくは
光電管等からなる受光素子が内蔵されており、受光部２
ａから入射する紫外線を受光する。

【００２０】図２（ｂ）は、上記照度測定装置本体１に
装着される遮熱カバー５の構成を示し、図２（ｃ）は遮
熱カバー５を照度測定装置本体１に取り付けた状態を示
している。遮熱カバー５は例えばアルミニウム材等から
形成され、その表面は輻射熱、紫外線等を反射できるよ
うに略鏡面仕上げされており、前記したように紫外線が
入射する受光窓５ａが設けられている。また、遮熱カバ
ー５の内側にはテフロン等から形成される厚さ１ｍｍ程
度の断熱材５ｂ，５ｃ，５ｅが貼り付けられている。そ
して、図２（ｃ）に示すように、遮熱カバー５の下側に
は支持部５ｄが設けられており、遮熱カバー５を照度測
定装置本体１に装着して、コンベア上等に載置したと
き、照度測定装置本体１とコンベアの間には空間が形成
され照度測定装置本体１が直接コンベアに触れないよう
に構成されている。これにより、コンベアが高温化して
も、照度測定装置本体１に直接熱が伝わることがない。

【００２１】図３は、一体型センサ部２、セパレート型
センサ部３、温度測定用センサ部４の外観を示す図であ
る。同図に示すように、各センサ部２，３，４には端子
２ｂ，３ｃ，４ｃが設けられ、前記した照度測定装置本
体１に取り付けられたとき、上記端子２ｂ，３ｃ，４ｃ
が照度測定装置本体１の端子１ｂに接続され、該端子２
ｂ，３ｃ，４ｃを介して各センサ部により測定された測
定値が照度測定装置本体１に送られる。一体型センサ部
２には前記したように受光部２ａが設けられ、受光部２
ａで入射する紫外線の照度が検出され上記端子２ｂを介
して照度測定装置本体１に送出される。

【００２２】また、セパレート型センサ部３には前記し
たようにリード線３ｂを介して照度検出部３ａが接続さ
れており、照度検出部３ａで検出された紫外線照度がリ
ード線３ｂ、端子３ｃを介して照度測定装置本体に送出
される。温度測定用センサ部４にはリード線４ｂを介し
て熱電対等の温度検出部４ａが接続されており、温度検
出部４ａにより測定された温度検出値はリード線４ｂ、
端子４ｃを介して照度測定装置本体１に送られる。さら
に、各センサ部２，３，４内には感度補正用可変抵抗器
が設けられており、各センサ部の感度の違いを上記感度
補正用可変抵抗器により調整することができる。

【００２３】図４は一体型センサ部２と照度測定装置本
体１の回路構成の一例を示す図である。センサ部２にお
いて、２ａは受光部であり、受光部２ａは前記したよう
に、測定領域の光のみを通過させるバンドパス・フィル
タとシリコン・フォトダイオード等の受光素子から構成
されており、受光部２ａで検出された測定値は増幅器２
２により増幅され、端子２ｂ，１ｂを介して照度測定装
置本体１に送出される。２３は感度補正用可変抵抗器で
あり、感度補正用可変抵抗２３の抵抗値が後述するよう
に照度測定装置本体１のプロセッサで読み取られ、各セ
ンサ部の感度の補正が行われる。２４はセンサ識別スイ
ッチであり、センサ識別スイッチ２４は、例えば同図に
示すように、２個のスイッチから構成されており、照度
測定装置本体１のプロセッサは上記センサ識別スイッチ
の開閉状態を読み取り、接続されているセンサ部が、前
記した一体型センサ部２であるか、セパーレート型セン
サ部３であるか、温度測定用センサ部４であるかを識別
する。センサ識別スイッチ２４は２個のスイッチで構成
されているので、〔２個のスイッチ共にオン〕，〔２個
のスイッチ共にオフ〕、〔一方のスイッチ・オン、他方
のスイッチ・オフ〕、〔一方のスイッチ・オフ、他方の
スイッチ・オン〕の４状態を作り出すことができ、照度
測定装置本体１は４つの異なったセンサ部の接続を識別
することが可能であり（本実施例の場合は３種類のセン
サ部が接続される）、照度測定装置本体１のプロセッサ
は接続されたセンサ部に応じた処理を行う。

【００２４】照度測定装置本体１において、１１は増幅
器であり、増幅器１１はセンサ部２の受光部２ａで検出
された測定値を増幅しアナログ／デジタル変換器１２に
送る。アナログ／デジタル変換器１２は上記増幅器１１
の出力をサンプリングしてデジタル信号に変換し、Ｉ／
Ｏポート１３に送出する。本実施例において、上記サン
プリング周期は約６０ｍｓであり、１分間に約１０００
点の測定値を得ることができる。上記Ｉ／Ｏポート１３
にはプロセッサ１４が接続されており、プロセッサ１４
は後述するように所定の演算処理を行う。１５は書き込
み／読み出し可能なメモリであり、メモリ１５に、セン
サ部２で検出された紫外線照度測定値等が格納される。
１６は液晶等から構成される表示部１ｃを駆動するＬＣ
Ｄドライバ、１７はデジタル／アナログ変換器であり、
デジタル／アナログ変換器１７はメモリ１５から読み出
された測定値をアナログ信号に変換しアナログ出力端子
１ｉから外部に送出する。１８は電源であり、電源１８
から照度測定装置本体１およびセンサ部２に電源を供給
する。１９はサーモスイッチ等から構成される温度セン
サであり、照度測定装置本体１の内部温度が輻射熱等に
より所定値温度より上昇すると、温度センサ１９がオン
になる。これによりプロセッサ１４に割り込みがかか
り、プロセッサ１４はアラームを出力する。また、１
ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ，１ｈは、それぞれ前記したモー
ド表示部、レンジ切換スイッチ、start/stopスイッチ、
モード切り換えスイッチ、電源スイッチである。

【００２５】次に図４に示した回路の動作を説明する。
なお、図４は一体型センサ部２を照度測定装置本体部に
取り付けた場合を示しているが、セパレート型センサ部
３もしくは温度測定用センサ部４についても、照度検出
部３ａもしくは温度検出部４ａがリード線３ｂ，４ｂを
介してセンサ部３，４に接続されている点を除き、その
構成は一体型センサ２と基本的には同じである。

【００２６】(1) 紫外線照射処理装置の紫外線照射領域
の照度を測定する場合。 照度測定装置本体１に一体型センサ２を取り付け、電源
スイッチ１ｈを投入し、レンジ切換スイッチ１ｅにより
測定する紫外線強度に応じたレンジに設定する。つい
で、start/stopスイッチ１ｆを投入する。これにより、
受光部２ａで測定された紫外線照度がアナログ／デジタ
ル変換器１２でサンプリングされてデジタル信号に変換
されＩ／Ｏポート１３に入力される。プロセッサ１５は
上記Ｉ／Ｏポート１３を介して入力されるデジタル信号
を読み込むとともに、センサ部２の感度補正用可変抵抗
器２３に設定された感度補正値とセンサ識別スイッチ２
４の開閉状態を読み取り、接続されたセンサ部の種類、
感度補正値等に基づいて入力されるデジタル信号に所定
の演算を施して、メモリ１５に格納する。

【００２７】ついで、照度測定装置本体１およびセンサ
部２に遮熱カバー５を装着し、前記図９に示したよう
に、コンベア１０３上に載置し、コンベア１０３を駆動
して一体型センサ部２が取り付けられた照度測定装置本
体１（一体化された照度測定装置という）を走行させ
る。一体化された照度測定装置がコンベア１０３の反対
側から出てきたら、一体化された照度測定装置をコンベ
ア１０３から取り出し、start/stopスイッチ１ｆを押し
て、測定動作を停止させる。そして、モード切換スイッ
チ１ｇにより表示させたいモードを選択する。例えば、
ピーク照度を表示部１ｃに表示させる場合には、モード
切換スイッチ１ｇによりピーク照度表示に設定する。こ
のときモード表示部１ｄにはピーク照度表示状態である
ことが表示される。モードがピーク照度表示状態に設定
されると、プロセッサ１４はメモリ１５に格納された測
定値の内の最大値を求めＩ／Ｏポート１３を介してＬＣ
Ｄドライバ１６に送出する。その結果、表示部１ｃには
ピーク照度が表示される。

【００２８】また、モード切換スイッチ１ｇにより、積
算光量モードに設定すると、モード表示部１ｄには積算
光量表示状態であることが表示され、プロセッサ１４は
メモリ１５に格納された照度測定値の積算値を求め、上
記と同様、Ｉ／Ｏポート１３を介してＬＣＤドライバ１
６に送出し、表示部１ｃに積算光量が表示される。さら
に、照度分布曲線を出力したい場合には、照度測定装置
のアナログ出力端子１ｉにレコーダ等を接続し、図示し
ないスイッチ等を操作する。これによりプロセッサ１４
はメモリ１５に格納された測定値を所定の周期で読み出
し、Ｉ／Ｏポート１３を介してデジタル／アナログ変換
器１７に送出する。デジタル／アナログ変換器１７は上
記デジタル信号をアナログ信号に変換しアナログ出力端
子１ｉから外部へ出力する。これにより、上記レコーダ
等に照度分布曲線が表示される。

【００２９】(2) スポット型紫外線照射装置等から照射
される紫外線照度を測定する場合。 照度測定装置本体１にセパレート型センサ部３を取り付
け、電源スイッチ１ｈを投入し、レンジ切換スイッチ１
ｅにより測定する紫外線強度に応じたレンジに設定す
る。ついで、図５（ａ）に示すように、スポット型光照
射器１３０の出射端１３１の紫外線照射領域にセパレー
ト型センサ部３の照度検出部３ａをセットし、start/st
opスイッチ１ｆを投入する。セパレート型センサ部３の
照度検出部３ａで測定された紫外線照度はリード線３
ｂ、セパレート型センサ部３を介して照度測定装置本体
１に送られ、アナログ／デジタル変換器１２でサンプリ
ングされてデジタル信号に変換されＩ／Ｏポート１３に
入力される。プロセッサ１５は上記Ｉ／Ｏポート１３を
介して入力されるデジタル信号を読み込むとともに、セ
ンサ部３の感度補正用可変抵抗器に設定された感度補正
値とセンサ識別スイッチの開閉状態を読み取り、接続さ
れたセンサ部の種類、感度補正値等に基づいて入力され
るデジタル信号に所定の演算を施して、メモリ１５に格
納する。

【００３０】ついで、モード切換スイッチ１ｇにより表
示させたいモードを選択する。例えば、現在照度を表示
させたい場合には、モード切換スイッチ１ｇにより現在
照度表示に設定する。このときモード表示部１ｄには現
在照度表示状態であることが表示される。モードが現在
照度表示状態に設定されると、プロセッサ１４はメモリ
１５に格納する測定値をＩ／Ｏポート１３を介してＬＣ
Ｄドライバ１６に送出する。その結果、表示部１ｃには
現在照度が表示される。また、必要に応じて前記と同様
に、表示部１ｃに、ピーク照度、積算光量を表示するこ
ともできる。

【００３１】(3) 被測定対象の温度を測定する場合。 照度測定装置本体１に温度測定用センサ部４を取り付
け、電源スイッチ１ｈを投入し、レンジ切換スイッチ１
ｅにより測定する温度に応じたレンジに設定する。つい
で、図５（ｂ）に示すように、被測定対象１３２に温度
測定用センサ部４の温度検出部４ａを当てて、start/st
opスイッチ１ｆを投入する。温度測定用センサ部４の温
度検出部４ａで測定された温度はリード線４ｂ、温度測
定用センサ部４を介して照度測定装置本体１に送られ、
アナログ／デジタル変換器１２でサンプリングされてデ
ジタル信号に変換されＩ／Ｏポート１３に入力される。
プロセッサ１４は上記Ｉ／Ｏポート１３を介して入力さ
れるデジタル信号を読み込むとともに、センサ部４の感
度補正用可変抵抗器に設定された感度補正値とセンサ識
別スイッチの開閉状態を読み取り、接続されたセンサ部
が温度センサであることを検知し、センサの種類、感度
補正値等に基づいて、入力されるデジタル信号に所定の
演算を施して、メモリ１５に格納するとともに、測定値
をＩ／Ｏポート１３を介してＬＣＤドライバ１６に送出
する。その結果、表示部１ｃには被測定対象の温度が表
示される。

【００３２】なお、上記説明では、紫外線照射処理装置
の紫外線照射領域の照度を測定する場合、スポット型紫
外線照射装置等から照射される紫外線照度を測定する場
合、および被測定対象の温度を測定する場合について説
明したが、本発明の照度測定装置の用途は上記使用例に
限定されるものではなく、その他種々の装置における紫
外線照度の測定に使用することができる。また、センサ
部として、各種のセンサを用意することにより、温度以
外、例えば、圧力、歪み等各種の物理量を測定すること
も可能である。

【００３３】本発明の効果を確認するため、図６に示す
装置を用いて、本発明の照度測定装置の温度上昇を調べ
た。図６において、３１はランプであり、ランプ３１と
して、長さ５０ｃｍ、電極間距離５０ｃｍの高圧メタル
ハライドランプを用い、該ランプ３１に６ｋＷの電気入
力を与えた。そして、前記図２に示したように、一体型
センサ部２を照度測定装置本体１に取り付け、同図に示
す形状の遮熱カバー５（断熱材の材質：テフロン、厚
さ：１ｍｍ）を装着した照度測定装置３４を、１ｍ／mi
n の速度で移動するコンベア３３上に載置した。ランプ
３１の中心と照度測定装置３４が最も接近するときの距
離は同図に示すように１０ｃｍであり、また、遮熱カバ
ー５に設けられた支持部５ｄにより、照度測定装置３４
の裏面とコンベア３３間を５ｍｍ離間させた。そして、
上記ランプ３１が放射する紫外線をアルミミラー３２で
集光して上記照度測定装置３４に照射して、熱電対によ
り照度測定装置３４の各部の温度を測定した。その時の
室温は２０°Ｃであった。

【００３４】照度測定装置３４の各部の温度、および各
部の室温からの温度上昇は次のようになった。 (1) 遮熱カバー中央部の温度：１２５．２°Ｃ（温度上
昇１０５．２°Ｃ） (2) 照度測定装置本体表面温度：３８．１°Ｃ（温度上
昇１８．１°Ｃ） (3) 照度測定装置本体内のプロセッサ：２６．２°Ｃ
（温度上昇６．２°Ｃ） 以上の実験から本発明により照度測定装置本体１の温度
上昇をＬＳＩ、表示部等の電子部品の動作を保証できる
範囲内に抑えることが可能であることが確認できた。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明においては
次の効果を得ることができる。 （１）照度測定装置本体と、一体型センサ部、セパレー
ト型センサ部を設け、照度測定装置本体に取り付けるセ
ンサ部を交換できるようにしたので、１台の照度測定装
置本体を用意するだけで、種々の装置の紫外線照度を測
定することができる。また、センサ部として照度センサ
以外の例えば温度測定用センサ部を取り付けて温度測定
等を行うことができるので、その使用範囲を一層拡大す
ることができる。また、遮熱カバーを、少なくとも照度
測定装置本体の紫外線照射面側とその両側部を覆うよう
に構成し、かつ、遮熱カバーの紫外線照射面の裏面側を
開放し、該開放面の両側部に支持部を設け、該支持部に
より上記照度測定装置本体の紫外線照射面の裏面側とそ
の載置面を所定の距離だけ離間させるようにすることに
より、照度測定装置本体を載置するコンベア・ベルト等
から伝わる熱を減少させ照度測定装置本体の温度上昇を
防止することができる。このため、照度測定装置本体に
設けられた電子部品等の誤動作、破壊等を防止でき、装
置の信頼性を向上させることが可能となる。 （２）照度測定装置本体と遮熱カバーの間に断熱材およ
び空間を設けることにより、遮熱カバーから照度測定装
置本体に伝わる熱を遮断することができ、照度測定装置
本体の温度が上昇することを防止することができる。こ
のため、上記（１）と同様、照度測定装置本体に設けら
れた電子部品等の誤動作、破壊等を防止でき、装置の信
頼性を向上させることが可能となる。 （３）照度測定装置本体の演算処理部に、照度測定値を
記憶する記憶部を設け、演算処理部が上記記憶部に記憶
された照度測定値に基づき、ピーク照度、積算光量を算
出するようにしたので、紫外線照射処理装置等における
ピーク照度、積算光量等を演算／表示することが可能と
なる。 （４）各センサ部に感度調整手段を設けることにより、
センサ部による感度の違いを調整することができ、セン
サ部を取り替えた場合でも、照度測定装置本体側の感度
等を調整する必要がなく取り扱いが容易となる。

【００３６】（５）各センサ部に識別スイッチを設け、
照度測定装置本体側のプロセッサが接続されているセン
サ部を識別することができるようにすることにより、セ
ンサ部を交換する都度、照度測定装置本体側の設定を変
更する必要がなく、操作を容易にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の照度測定装置の概略構成を示す図であ
る。

【図２】照度測定装置本体と遮熱カバーの外観図であ
る。

【図３】一体型、セパレート型、温度測定用センサ部の
外観図である。

【図４】一体型センサ部と照度測定装置本体の回路構成
の一例を示す図である。

【図５】セパレート型センサ部、温度測定用センサ部の
使用状態を示す図である。

【図６】本実施例装置の温度上昇を実測するための実験
系の構成を示す図である。

【図７】紫外線照射処理装置の構成の一例を示す図であ
る。

【図８】従来の照度測定装置の構成およびその使用状態
を示す図である。

【図９】従来の一体型照度測定装置の構成およびその使
用状態を示す図である。

【符号の説明】

１ 照度測定装置本体 １ａ 操作表示パネル １ｂ 端子 １ｃ 表示部 １ｄ モード表示部 １ｅ レンジ切換スイッチ １ｆ start/stopスイッチ １ｇ モード切り換えスイッチ １ｈ 電源スイッチ １ｉ アナログ出力端子 １１ 増幅器 １２ アナログ／デジタル変換器 １３ Ｉ／Ｏポート １４ プロセッサ １５ メモリ １６ ＬＣＤドライバ １７ デジタル／アナログ変換器 １８ 電源 １９ 温度センサ ２ 一体型センサ部 ２ａ 受光部 ２ｂ 端子 ２２ 増幅器 ２３ 感度補正用可変抵抗器 ２４ センサ識別スイッチ ３ セパレート型センサ部 ３ａ 照度検出部 ３ｂ リード線 ３ｃ 端子 ４ 温度測定用センサ部 ４ｂ リード線 ４ａ 温度検出部 ４ｃ 端子 ５ 遮熱カバー ５ａ 受光窓 ５ｂ，５ｃ 断熱材 ５ｄ 支持部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−240703（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−89329（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−14863（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−63827（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−54035（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−150640（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01J 1/02 G01J 1/42 H01L 21/30 H01L 21/46

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも、演算処理部と、表示部と、
   端子を備え、該端子から入力される測定値もしくはその
   演算処理結果を上記表示部に表示する照度測定装置本体
   と、 紫外線を受光し紫外線照度を測定する受光部と上記照度
   測定装置本体の端子に接続される端子を備えた一体型セ
   ンサ部と、 紫外線照度検出部とリード線を介して接続され上記照度
   測定装置本体に設けられた端子に接続される端子を備え
   たセパレート型センサ部と、 上記照度測定装置本体に装着され、照度測定装置本体に
   設けられた電子部品の温度の上昇を抑制する遮熱カバー
   とから構成され、 上記遮熱カバーは、少なくとも照度測定装置本体の紫外
   線照射面側とその両側部を覆い、かつ、該遮熱カバーの
   載置面の略両側部に、上記照度測定装置本体の紫外線照
   射面の裏面側とその載置面を所定の距離だけ離間させる
   支持部が設けられ、上記遮熱カバーには、受光窓が設け
   られ、 上記一体型センサ部もしくはセパレート型センサ部を上
   記照度測定装置本体に取り付け、また、照度測定装置本
   体に紫外線が照射される環境において使用する場合に上
   記遮熱カバーを、上記受光窓を通して、上記一体型セン
   サの受光部に紫外線が入射するように照度測定装置本体
   に装着し、 一体型センサ部の受光部もしくはセパレート型センサ部
   に接続された紫外線照度検出部により検出した測定値を
   上記センサ部および照度測定装置本体に設けられた端子
   を介して照度測定装置本体に送り、上記測定値もしくは
   その処理結果を照度測定装置本体の表示部に表示するこ
   とを特徴とする照度測定装置。
2. 【請求項２】 照度測定装置本体と遮熱カバーの間に断
   熱材および空間を設けられていることを特徴とする請求
   項１の照度測定装置。
3. 【請求項３】 照度測定装置本体の演算処理部が、照度
   測定値を記憶する記憶部を備えており、演算処理部が上
   記記憶部に記憶された照度測定値に基づき、ピーク照
   度、積算光量を算出することを特徴とする請求項１また
   は請求項２の照度測定装置。
4. 【請求項４】 一体型センサ部およびセパレート型セン
   サ部に感度補正用可変抵抗を設け、該感度補正用可変抵
   抗により各センサ部の感度の違いを補正できるように構
   成したことを特徴とする請求項１，２または請求項３の
   照度測定装置。
5. 【請求項５】 一体型センサ部およびセパレート型セン
   サ部にセンサ識別スイッチを設け、一体型センサ部もし
   くはセパレート型センサ部を照度測定装置本体に取り付
   けたとき、照度測定装置本体の演算処理部が上記センサ
   識別スイッチの状態を読み取り、取り付けられたセンサ
   部を識別するように構成したことを特徴とする請求項
   １，２，３または請求項４の照度測定装置。