JP3241856B2 - 可動板を有するスピンコーター - Google Patents
可動板を有するスピンコーターInfo
- Publication number
- JP3241856B2 JP3241856B2 JP07201893A JP7201893A JP3241856B2 JP 3241856 B2 JP3241856 B2 JP 3241856B2 JP 07201893 A JP07201893 A JP 07201893A JP 7201893 A JP7201893 A JP 7201893A JP 3241856 B2 JP3241856 B2 JP 3241856B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- movable plate
- spin coater
- rotary table
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＣＤ等のワーク表面
にフォトレジスト等の表面被覆剤を塗布するにあたり、
ワーク端面と裏面への表面被覆剤の付着を防止したもの
に係る。
にフォトレジスト等の表面被覆剤を塗布するにあたり、
ワーク端面と裏面への表面被覆剤の付着を防止したもの
に係る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワーク表面を表面被覆剤で均一に
コートする装置として、スピンコーターが知られてい
る。このスピンコーターは、回転テーブルに処理しよう
とするワークを搭載し、ワーク表面に表面被覆剤を滴下
した後に、テーブルごとワークを回転させ、遠心力の作
用によって、表面被覆剤をワーク表面上に均一に塗布す
る装置である。
コートする装置として、スピンコーターが知られてい
る。このスピンコーターは、回転テーブルに処理しよう
とするワークを搭載し、ワーク表面に表面被覆剤を滴下
した後に、テーブルごとワークを回転させ、遠心力の作
用によって、表面被覆剤をワーク表面上に均一に塗布す
る装置である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】たしかに、この種の装
置によれば、ワーク表面を表面被覆剤で均一にコートす
ることができる。しかし、この種の装置には次のような
問題点があった。まず、図７は、従来技術のスピンコー
ター上で回転するワーク１を、模式的に示したもので、
特に、テーブル１１の回転方向に対して前方のワーク１
端面の状態を、回転方向と垂直の方向からみた拡大図で
ある。なお、このスピンコーターは、ワーク１上方か
ら、表面被覆剤を霧状に散布するタイプのものである。
置によれば、ワーク表面を表面被覆剤で均一にコートす
ることができる。しかし、この種の装置には次のような
問題点があった。まず、図７は、従来技術のスピンコー
ター上で回転するワーク１を、模式的に示したもので、
特に、テーブル１１の回転方向に対して前方のワーク１
端面の状態を、回転方向と垂直の方向からみた拡大図で
ある。なお、このスピンコーターは、ワーク１上方か
ら、表面被覆剤を霧状に散布するタイプのものである。
【０００４】すなわち、霧状に散布された表面被覆剤
は、図７に示すように、飛沫２となって、ワーク１全面
に落下する。このとき、スピンコーターがワーク１を回
転させると、ワーク１のうち、回転方向に対して前方と
なる端面９は、空気流を切って前進することとなる。こ
のため、端面９には飛沫２が衝突するので、不必要な飛
沫６が付着してしまう。また、空気流３を切るこの端面
９の上方と下方には、細かな乱気流が生じるので、飛沫
２はワーク１の裏面１０にも回り込み、不必要な飛沫７
として付着する。なお、図７においては、飛沫２が端面
９に向かう方向を実線の矢印で示す。
は、図７に示すように、飛沫２となって、ワーク１全面
に落下する。このとき、スピンコーターがワーク１を回
転させると、ワーク１のうち、回転方向に対して前方と
なる端面９は、空気流を切って前進することとなる。こ
のため、端面９には飛沫２が衝突するので、不必要な飛
沫６が付着してしまう。また、空気流３を切るこの端面
９の上方と下方には、細かな乱気流が生じるので、飛沫
２はワーク１の裏面１０にも回り込み、不必要な飛沫７
として付着する。なお、図７においては、飛沫２が端面
９に向かう方向を実線の矢印で示す。
【０００５】一方、スピンコーターには、表面被覆剤を
ワーク１中央部に、ある程度まとめて滴下するタイプの
ものもある。図８は、このタイプのスピンコーター上で
回転するワーク１を、模式的に示したもので、特に、テ
ーブル１１の回転方向に対して前方のワーク１端面の状
態を、回転方向と垂直の方向からみた拡大図である。す
なわち、スピンコーターがワーク１を回転させると、回
転によって生じる遠心力の作用で、ワーク１上面上の表
面被覆剤８のうち、余分の表面被覆剤８が飛沫２となっ
てワーク１外周部からその周囲に飛散する。
ワーク１中央部に、ある程度まとめて滴下するタイプの
ものもある。図８は、このタイプのスピンコーター上で
回転するワーク１を、模式的に示したもので、特に、テ
ーブル１１の回転方向に対して前方のワーク１端面の状
態を、回転方向と垂直の方向からみた拡大図である。す
なわち、スピンコーターがワーク１を回転させると、回
転によって生じる遠心力の作用で、ワーク１上面上の表
面被覆剤８のうち、余分の表面被覆剤８が飛沫２となっ
てワーク１外周部からその周囲に飛散する。
【０００６】同時に、回転するワーク１は、慣性力によ
って停止しようとする空気流３に逆らって回転すること
となる。この時、回転方向に対して後方となるテーブル
１１やワーク１端面の直後に、渦気流４が発生する。な
お、図８においては、渦気流を破線の矢印で示す。この
渦気流４は飛散する飛沫２を巻き込んで、ワーク端面９
や裏面１０に多数回り込ませる。特に、フォトレジスト
などの表面被覆剤８はしばしば高粘度のため、その表面
張力によって回り込みが一層生じやすい。
って停止しようとする空気流３に逆らって回転すること
となる。この時、回転方向に対して後方となるテーブル
１１やワーク１端面の直後に、渦気流４が発生する。な
お、図８においては、渦気流を破線の矢印で示す。この
渦気流４は飛散する飛沫２を巻き込んで、ワーク端面９
や裏面１０に多数回り込ませる。特に、フォトレジスト
などの表面被覆剤８はしばしば高粘度のため、その表面
張力によって回り込みが一層生じやすい。
【０００７】以上のように、この種の装置には、ワーク
端面９や裏面１０に、不必要な飛沫６，７が付着すると
いう欠点があった。このようにワーク端面や裏面に付着
した表面被覆剤は、本来ワークの上面のみにコートされ
るべきもので、また、付着も不規則であるから、ワーク
の精度、性能及び外観を低下させるという問題点があっ
た。特に、端面に付着した被膜の厚さ分だけ後の露光工
程での露光位置がずれるため、欠陥品の発生が多くな
る。また、この表面被覆剤を除去しようとすると、余分
な洗浄工程が必要となり、この洗浄工程がワークの製造
費用と時間を増大させるという問題点があった。
端面９や裏面１０に、不必要な飛沫６，７が付着すると
いう欠点があった。このようにワーク端面や裏面に付着
した表面被覆剤は、本来ワークの上面のみにコートされ
るべきもので、また、付着も不規則であるから、ワーク
の精度、性能及び外観を低下させるという問題点があっ
た。特に、端面に付着した被膜の厚さ分だけ後の露光工
程での露光位置がずれるため、欠陥品の発生が多くな
る。また、この表面被覆剤を除去しようとすると、余分
な洗浄工程が必要となり、この洗浄工程がワークの製造
費用と時間を増大させるという問題点があった。
【０００８】本発明は、上記の従来技術の問題点を解決
するために提案されたもので、その目的は、ワーク端面
と裏面への不必要な表面被覆剤の付着が生じないスピン
コーターを提供することにある。
するために提案されたもので、その目的は、ワーク端面
と裏面への不必要な表面被覆剤の付着が生じないスピン
コーターを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達するた
め、請求項１記載の発明は、四角形をしたワークの支持
面を有する回転テーブルと、この回転テーブルの駆動手
段と、ワークの表面に対する表面被覆剤の塗布手段とを
備えたスピンコーターにおいて、前記回転テーブルの周
囲で且つ該回転テーブルの回転軸と同軸に設けられた円
盤と、前記円盤上で、前記ワークの相対する２辺または
４辺の外側に配設された可動板とが備えられ、前記可動
板の下面にはガイドピンが設けられるとともに、前記円
盤には該ガイドピンがスライド自在に挿入可能なガイド
溝が設けられ、前記ガイド溝は、前記ガイドピンのスラ
イドによって前記可動板が前記ワークに対して開閉動可
能なように、該可動板の閉位置における該ガイドピン閉
位置から、該可動板の開位置における該ガイドピン開位
置にわたって形成され、前記ガイド溝の少なくとも前記
ガイドピン閉位置から前記ガイドピン開位置側へ向かう
部分は、前記可動板の重心に働く遠心力の方向に対して
鈍角に形成されていること、を特徴とする。
め、請求項１記載の発明は、四角形をしたワークの支持
面を有する回転テーブルと、この回転テーブルの駆動手
段と、ワークの表面に対する表面被覆剤の塗布手段とを
備えたスピンコーターにおいて、前記回転テーブルの周
囲で且つ該回転テーブルの回転軸と同軸に設けられた円
盤と、前記円盤上で、前記ワークの相対する２辺または
４辺の外側に配設された可動板とが備えられ、前記可動
板の下面にはガイドピンが設けられるとともに、前記円
盤には該ガイドピンがスライド自在に挿入可能なガイド
溝が設けられ、前記ガイド溝は、前記ガイドピンのスラ
イドによって前記可動板が前記ワークに対して開閉動可
能なように、該可動板の閉位置における該ガイドピン閉
位置から、該可動板の開位置における該ガイドピン開位
置にわたって形成され、前記ガイド溝の少なくとも前記
ガイドピン閉位置から前記ガイドピン開位置側へ向かう
部分は、前記可動板の重心に働く遠心力の方向に対して
鈍角に形成されていること、を特徴とする。
【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載の可
動板を有するスピンコーターにおいて、前記ガイド溝は
前記可動板の重心に働く遠心力の方向に対して２段階の
角度を有するように設けられていること、を特徴とす
る。
動板を有するスピンコーターにおいて、前記ガイド溝は
前記可動板の重心に働く遠心力の方向に対して２段階の
角度を有するように設けられていること、を特徴とす
る。
【００１１】請求項３記載の発明は、請求項１または請
求項２記載の可動板を有するスピンコーターにおいて、
前記ガイドピンの先端には前記ガイド溝の幅より直径の
大きい膨大部が形成されていること、を特徴とする。
求項２記載の可動板を有するスピンコーターにおいて、
前記ガイドピンの先端には前記ガイド溝の幅より直径の
大きい膨大部が形成されていること、を特徴とする。
【００１２】請求項４記載の発明は、四角形をしたワー
クの支持面を有する回転テーブルと、この回転テーブル
の駆動手段と、ワークの表面に対する表面被覆剤の塗布
手段とを備えたスピンコーターにおいて、前記回転テー
ブルの周囲で且つ該回転テーブルの回転軸と同軸に設け
られた円盤と、前記円盤上で、前記ワークの相対する２
辺または４辺の外側で且つ前記ワークに向かって開閉動
可能なように取り付けられた可動板とが備えられ、前記
可動板には、その閉位置において、前記回転テーブルに
搭載された前記ワークの端面と接触もしくは近接する接
触辺が設けられ、前記接触辺の先端はテーパー状に設け
られていること、を特徴とする。
クの支持面を有する回転テーブルと、この回転テーブル
の駆動手段と、ワークの表面に対する表面被覆剤の塗布
手段とを備えたスピンコーターにおいて、前記回転テー
ブルの周囲で且つ該回転テーブルの回転軸と同軸に設け
られた円盤と、前記円盤上で、前記ワークの相対する２
辺または４辺の外側で且つ前記ワークに向かって開閉動
可能なように取り付けられた可動板とが備えられ、前記
可動板には、その閉位置において、前記回転テーブルに
搭載された前記ワークの端面と接触もしくは近接する接
触辺が設けられ、前記接触辺の先端はテーパー状に設け
られていること、を特徴とする。
【００１３】請求項５記載の発明は、請求項４記載の可
動板を有するスピンコーターにおいて、前記接触辺のテ
ーパー状に設けられた先端には、前記ワークの上面に対
して直角な垂直面が形成されていること、を特徴とす
る。
動板を有するスピンコーターにおいて、前記接触辺のテ
ーパー状に設けられた先端には、前記ワークの上面に対
して直角な垂直面が形成されていること、を特徴とす
る。
【００１４】
【作用】上記のような構成を有する請求項１記載の可動
板を有するスピンコーターは、次のような作用を有す
る。すなわち、本発明の回転テーブルを用いてワークを
コートするときは、まず、ワークを回転テーブルに搭載
した後で、可動板を閉位置にし、次に、ワーク表面に表
面被覆剤等を滴下した後で、または滴下しながら、テー
ブルごとワークを回転させる。このとき、ガイド溝の少
なくとも前記ガイドピン閉位置から前記ガイドピン開位
置側へ向かう部分は、可動板の重心に働く遠心力の方向
からみて鈍角に形成されているため、回転テーブル回転
時に可動板に働く遠心力は、可動板を閉じる方向へ働
く。よって、回転中に可動板を閉位置に維持するための
特別の手段が必要ない。
板を有するスピンコーターは、次のような作用を有す
る。すなわち、本発明の回転テーブルを用いてワークを
コートするときは、まず、ワークを回転テーブルに搭載
した後で、可動板を閉位置にし、次に、ワーク表面に表
面被覆剤等を滴下した後で、または滴下しながら、テー
ブルごとワークを回転させる。このとき、ガイド溝の少
なくとも前記ガイドピン閉位置から前記ガイドピン開位
置側へ向かう部分は、可動板の重心に働く遠心力の方向
からみて鈍角に形成されているため、回転テーブル回転
時に可動板に働く遠心力は、可動板を閉じる方向へ働
く。よって、回転中に可動板を閉位置に維持するための
特別の手段が必要ない。
【００１５】請求項２記載の発明では、少なくともガイ
ドピン閉位置からガイドピン開位置側へ向かう部分が可
動板の重心に働く遠心力の方向からみて鈍角に形成され
ているガイド溝が、可動板の重心に働く遠心力の方向に
対して２段階の角度を有するように設けられているた
め、開閉動における可動板の接触辺方向の移動距離を短
くすることができ、円盤の直径を縮小することが可能と
なる。
ドピン閉位置からガイドピン開位置側へ向かう部分が可
動板の重心に働く遠心力の方向からみて鈍角に形成され
ているガイド溝が、可動板の重心に働く遠心力の方向に
対して２段階の角度を有するように設けられているた
め、開閉動における可動板の接触辺方向の移動距離を短
くすることができ、円盤の直径を縮小することが可能と
なる。
【００１６】請求項３記載の発明では、ガイドピンの先
端にガイド溝の幅より直径の大きい膨大部が形成されて
いるため、ガイドピンが回転力によって生じる遠心力で
ガイド溝から外れることがない。
端にガイド溝の幅より直径の大きい膨大部が形成されて
いるため、ガイドピンが回転力によって生じる遠心力で
ガイド溝から外れることがない。
【００１７】請求項４記載の発明では、可動板設けられ
た接触辺の先端がテーパー状に設けられているため、ワ
ーク端面への接触辺の密着性を向上することが可能とな
るとともに、該テーパー部分に付着した飛沫がワーク側
へ跳ね返って付着することが防止される。
た接触辺の先端がテーパー状に設けられているため、ワ
ーク端面への接触辺の密着性を向上することが可能とな
るとともに、該テーパー部分に付着した飛沫がワーク側
へ跳ね返って付着することが防止される。
【００１８】請求項５記載の発明では、ワーク端面およ
び裏面への表面被覆剤の付着が一層確実に防止される。
び裏面への表面被覆剤の付着が一層確実に防止される。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の一実施例としてのスピンコー
ターについて、図面に従って具体的に説明する。なお、
従来と同一の部材については同一の符号を付し、説明は
省略する。 （１）第１実施例の構成……図１〜図４
ターについて、図面に従って具体的に説明する。なお、
従来と同一の部材については同一の符号を付し、説明は
省略する。 （１）第１実施例の構成……図１〜図４
【００２０】本実施例のスピンコーターは、ワークを処
理するための回転テーブルを有する。ここで図１は本実
施例における回転テーブルを上方からみた平面図であ
る。この回転テーブルの中央にはワーク台１１が配設さ
れていて、このワーク台１１の表面には、図示はしない
が、ワーク１を固定するための複数のバキューム吸着孔
が設けられている。この回転テーブルは左に回転するよ
うに回転軸１３上に取り付けられている。
理するための回転テーブルを有する。ここで図１は本実
施例における回転テーブルを上方からみた平面図であ
る。この回転テーブルの中央にはワーク台１１が配設さ
れていて、このワーク台１１の表面には、図示はしない
が、ワーク１を固定するための複数のバキューム吸着孔
が設けられている。この回転テーブルは左に回転するよ
うに回転軸１３上に取り付けられている。
【００２１】ワーク台１１の周囲には、回転テーブルの
回転軸１３と同軸の円盤１４が配設されている。ワーク
台１１の両外側には、この円盤１４上に、各々１枚づつ
の相互に対称な可動板１５，１６が、相互に対称に配設
されている。
回転軸１３と同軸の円盤１４が配設されている。ワーク
台１１の両外側には、この円盤１４上に、各々１枚づつ
の相互に対称な可動板１５，１６が、相互に対称に配設
されている。
【００２２】可動板１５，１６は板状で、円盤１４の外
側にあたる両端角が隅切りされている。可動板１５，１
６それぞれのワーク台１１側の１辺は、ワーク台１１に
搭載されたワーク１の端面と接触するための接触辺１
７，１８となっている。
側にあたる両端角が隅切りされている。可動板１５，１
６それぞれのワーク台１１側の１辺は、ワーク台１１に
搭載されたワーク１の端面と接触するための接触辺１
７，１８となっている。
【００２３】可動板１５，１６は、ワーク台１１の一辺
と平行に配設されている。また、可動板１５，１６は、
その接触辺１７，１８がワーク１の端面に接触する閉位
置と、その接触辺１７，１８がワーク１に接触しない開
位置とに亘って、平行にスライド可能なように、取り付
けられている。なお、図１において、可動板１５，１６
の閉位置は実線で、また、開位置を破線で示す。そし
て、閉位置においては、可動板の接触辺１７，１８は、
ワーク１の端面のうち、ワーク１回転時に回転方向に対
して後方となる部分に接触した状態となる。また、円盤
１４とワーク１上面の間には一定の落差があるが、可動
板１５，１６はこの落差に近い厚さを有するので、この
閉位置においては、可動板１５，１６上面はワーク１上
面より若干低く位置した状態となる。
と平行に配設されている。また、可動板１５，１６は、
その接触辺１７，１８がワーク１の端面に接触する閉位
置と、その接触辺１７，１８がワーク１に接触しない開
位置とに亘って、平行にスライド可能なように、取り付
けられている。なお、図１において、可動板１５，１６
の閉位置は実線で、また、開位置を破線で示す。そし
て、閉位置においては、可動板の接触辺１７，１８は、
ワーク１の端面のうち、ワーク１回転時に回転方向に対
して後方となる部分に接触した状態となる。また、円盤
１４とワーク１上面の間には一定の落差があるが、可動
板１５，１６はこの落差に近い厚さを有するので、この
閉位置においては、可動板１５，１６上面はワーク１上
面より若干低く位置した状態となる。
【００２４】一方、開位置においては、可動板１５，１
６は、円盤１４外周側へ移動するので、前記接触辺１
７，１８はワーク１の端面に接触しない状態となる。
６は、円盤１４外周側へ移動するので、前記接触辺１
７，１８はワーク１の端面に接触しない状態となる。
【００２５】可動板１５，１６の下面の両端付近には、
それぞれ２本づつのガイドピン１９が設けられ、また、
前記円盤１４には、これらのガイドピン１９に対応した
ガイド溝２０が、相互に平行に設けられている。ガイド
ピン１９はこれらのガイド溝２０にスライド自在に挿入
されていて、また、図示はしないが、各ガイドピン１９
の先端には各ガイド溝の幅より直径の大きい膨大部１９
ａが形成されている。このため、可動板１５，１６は、
ワーク１に向かってスライドする開閉動が可能で、ま
た、回転による遠心力が作用しても、円盤１４上から脱
落することがない。
それぞれ２本づつのガイドピン１９が設けられ、また、
前記円盤１４には、これらのガイドピン１９に対応した
ガイド溝２０が、相互に平行に設けられている。ガイド
ピン１９はこれらのガイド溝２０にスライド自在に挿入
されていて、また、図示はしないが、各ガイドピン１９
の先端には各ガイド溝の幅より直径の大きい膨大部１９
ａが形成されている。このため、可動板１５，１６は、
ワーク１に向かってスライドする開閉動が可能で、ま
た、回転による遠心力が作用しても、円盤１４上から脱
落することがない。
【００２６】そして、可動板１５，１６がガイドピン１
９を介して取り付けられている各ガイド溝２０は、可動
板１５，１６の閉位置における各ガイドピン閉位置２０
ａから、可動板１５，１６の開位置における各ガイドピ
ン開位置２０ｂに亘って形成されている。また、各ガイ
ド溝２０はワーク１の辺に対して急な傾斜を有する急傾
斜部２０ｃと、緩やかな傾斜を有する緩傾斜部２０ｄか
ら構成されていて、ガイドピン閉位置２０ａは、緩傾斜
部２０ｄのワーク台１１側端部に位置している。この緩
傾斜部２０ｄは、可動板１５，１６の重心Ａに働く遠心
力の方向Ｇからみて、鈍角αに形成されている。
９を介して取り付けられている各ガイド溝２０は、可動
板１５，１６の閉位置における各ガイドピン閉位置２０
ａから、可動板１５，１６の開位置における各ガイドピ
ン開位置２０ｂに亘って形成されている。また、各ガイ
ド溝２０はワーク１の辺に対して急な傾斜を有する急傾
斜部２０ｃと、緩やかな傾斜を有する緩傾斜部２０ｄか
ら構成されていて、ガイドピン閉位置２０ａは、緩傾斜
部２０ｄのワーク台１１側端部に位置している。この緩
傾斜部２０ｄは、可動板１５，１６の重心Ａに働く遠心
力の方向Ｇからみて、鈍角αに形成されている。
【００２７】なお、円盤１４には、ワーク台１１に隣接
し、閉位置における可動板１５，１６に覆われ、かつ、
開位置における可動板１５，１６に覆われない位置に、
ワーク搬送爪用開口２１が設けられている。
し、閉位置における可動板１５，１６に覆われ、かつ、
開位置における可動板１５，１６に覆われない位置に、
ワーク搬送爪用開口２１が設けられている。
【００２８】ところで、前記の可動板１５，１６の具体
的形状は、図３及び図４に示すようになっている。ま
ず、図３は可動板とワーク１との関係を示すもので、ワ
ーク１縁と可動板の先端との隙間Ｇは、０ｍｍが望まし
いが、０．５ｍｍ程度まで離れていても良い。また、ワ
ーク１表面と可動板の表面との高さＨは等しいことが好
ましいが、可動板側が２．０ｍｍ程度下がっていても良
い。また、被覆剤の種類やスピンコーターの回転速度な
ど、場合によっては可動板側が逆に高くなっていても構
わない。一方、可動板の形状は、図４（ａ）（ｂ）に示
すように、先端がテーパー状になっていることが好まし
く、ワークの厚さにもよるが、可動板の厚さＴは１〜５
ｍｍ、幅Ｗは３０〜１００ｍｍ、先端が垂直にカットさ
れた（ｂ）のものではカット部の高さｔが０．５〜０．
７ｍｍが望ましい。さらに、テーパーの角度は４５〜３
０度程度のものの使用が望ましい。
的形状は、図３及び図４に示すようになっている。ま
ず、図３は可動板とワーク１との関係を示すもので、ワ
ーク１縁と可動板の先端との隙間Ｇは、０ｍｍが望まし
いが、０．５ｍｍ程度まで離れていても良い。また、ワ
ーク１表面と可動板の表面との高さＨは等しいことが好
ましいが、可動板側が２．０ｍｍ程度下がっていても良
い。また、被覆剤の種類やスピンコーターの回転速度な
ど、場合によっては可動板側が逆に高くなっていても構
わない。一方、可動板の形状は、図４（ａ）（ｂ）に示
すように、先端がテーパー状になっていることが好まし
く、ワークの厚さにもよるが、可動板の厚さＴは１〜５
ｍｍ、幅Ｗは３０〜１００ｍｍ、先端が垂直にカットさ
れた（ｂ）のものではカット部の高さｔが０．５〜０．
７ｍｍが望ましい。さらに、テーパーの角度は４５〜３
０度程度のものの使用が望ましい。
【００２９】（２）第１実施例の作用及び効果 上記のような構成を有する本実施例のスピンコーター
は、次のような作用を有する。すなわち、本実施例の回
転テーブルを用いてワーク１を表面被覆剤でコートする
ときは、まず、可動板１５，１６を開位置にし、ワーク
１をワーク台１１に搭載する必要がある。このとき、円
盤１４に設けたワーク搬送爪用開口２１は可動板１５，
１６に覆われていない。このため、ワーク外周下部を爪
で支持するワーク搬送装置を用いる場合も、ワークの下
部へ突出する爪部分もワーク搬送爪用開口２１内部へ進
入可能で、円盤１４に阻止されることがない。したがっ
て、このようなワーク搬送装置によるワーク台１１上へ
のワーク１の搬送が妨げられることがない。
は、次のような作用を有する。すなわち、本実施例の回
転テーブルを用いてワーク１を表面被覆剤でコートする
ときは、まず、可動板１５，１６を開位置にし、ワーク
１をワーク台１１に搭載する必要がある。このとき、円
盤１４に設けたワーク搬送爪用開口２１は可動板１５，
１６に覆われていない。このため、ワーク外周下部を爪
で支持するワーク搬送装置を用いる場合も、ワークの下
部へ突出する爪部分もワーク搬送爪用開口２１内部へ進
入可能で、円盤１４に阻止されることがない。したがっ
て、このようなワーク搬送装置によるワーク台１１上へ
のワーク１の搬送が妨げられることがない。
【００３０】次に、可動板１５，１６をガイド溝２０に
沿ってスライドさせ、閉位置にした後に、表面被覆剤滴
下とテーブルの回転を行う。ここでは、回転方向からみ
て前方のワーク１端面より、若干低く位置して接触して
いる可動板１５，１６によって、ワーク１端面及び裏面
への飛沫の付着が阻止される。
沿ってスライドさせ、閉位置にした後に、表面被覆剤滴
下とテーブルの回転を行う。ここでは、回転方向からみ
て前方のワーク１端面より、若干低く位置して接触して
いる可動板１５，１６によって、ワーク１端面及び裏面
への飛沫の付着が阻止される。
【００３１】また、各ワーク搬送爪用開口２１は、回転
テーブルの回転中は、閉位置における可動板１５，１６
に覆われている。このため、回転中にワーク搬送爪用開
口２１を通じて、下方から気流が吹き上げることがな
い。したがって、本実施例の回転テーブルは、飛散した
飛沫２が、気流によって再びワーク上１２面に落下し、
コーティングを不均一にすることがないという利点を有
する。
テーブルの回転中は、閉位置における可動板１５，１６
に覆われている。このため、回転中にワーク搬送爪用開
口２１を通じて、下方から気流が吹き上げることがな
い。したがって、本実施例の回転テーブルは、飛散した
飛沫２が、気流によって再びワーク上１２面に落下し、
コーティングを不均一にすることがないという利点を有
する。
【００３２】さらに、ガイド溝２０の緩傾斜部２０ｄ
は、可動板１５，１６の重心Ａに働く遠心力の方向Ｇか
らみて、鈍角αに形成されている。このため、テーブル
回転時に可動板１５，１６に対して作用する遠心力は、
可動板１５，１６が閉じる方向へ働く。したがって、本
実施例の回転テーブルは、回転中に可動板１５，１６を
閉位置に維持するための特別の手段を必要としないとい
う利点を有する。
は、可動板１５，１６の重心Ａに働く遠心力の方向Ｇか
らみて、鈍角αに形成されている。このため、テーブル
回転時に可動板１５，１６に対して作用する遠心力は、
可動板１５，１６が閉じる方向へ働く。したがって、本
実施例の回転テーブルは、回転中に可動板１５，１６を
閉位置に維持するための特別の手段を必要としないとい
う利点を有する。
【００３３】加えて、各ガイド溝２０は、急傾斜部２０
ｃと緩傾斜部２０ｄの２段階から構成されている。この
ため、ガイド溝２０全長を遠心力方向Ｇと鈍角な緩傾斜
部２０ｄとする場合よりも、開位置と閉位置間における
可動板１５，１６の接触辺方向の移動距離が小さくなっ
ている。したがって、本実施例のスピンコーターにおけ
る回転テーブルは、可動板１５，１６の角切りとあいま
って、直径の小さな円盤上で構成できるという利点を有
する。
ｃと緩傾斜部２０ｄの２段階から構成されている。この
ため、ガイド溝２０全長を遠心力方向Ｇと鈍角な緩傾斜
部２０ｄとする場合よりも、開位置と閉位置間における
可動板１５，１６の接触辺方向の移動距離が小さくなっ
ている。したがって、本実施例のスピンコーターにおけ
る回転テーブルは、可動板１５，１６の角切りとあいま
って、直径の小さな円盤上で構成できるという利点を有
する。
【００３４】（３）第２実施例 図５は本発明の第２実施例を示すもので、可動板の開閉
動作をスピンコーターの遠心力を利用して行うものであ
る。すなわち、可動板の接触辺側を蝶番で回転テーブル
に固定し、可動板が重力に従って垂れ下がる状態を開位
置とし、回転時に遠心力の作用で可動板が水平となった
状態を閉位置とする。なお、図５は蝶番で固定した可動
板がワークに接触する状態を、ワーク長辺方向から見た
断面図で、可動板の閉位置を実線で、開位置を破線で示
す。
動作をスピンコーターの遠心力を利用して行うものであ
る。すなわち、可動板の接触辺側を蝶番で回転テーブル
に固定し、可動板が重力に従って垂れ下がる状態を開位
置とし、回転時に遠心力の作用で可動板が水平となった
状態を閉位置とする。なお、図５は蝶番で固定した可動
板がワークに接触する状態を、ワーク長辺方向から見た
断面図で、可動板の閉位置を実線で、開位置を破線で示
す。
【００３５】（４）第３実施例 図６は本発明の第３実施例を示すもので、可動板をワー
クの４辺に設け、しかも、隣接する２辺の可動板をＬ字
形に一体化したものである。この実施例では、ワークの
対角線方向に可動板を移動させることにより、ワークの
２辺の可動板を同時にワークに対して開閉させることが
できると共に、４辺が可動板と接触するため、ワークの
どの辺に対しても被覆剤の回り込みが生じない。
クの４辺に設け、しかも、隣接する２辺の可動板をＬ字
形に一体化したものである。この実施例では、ワークの
対角線方向に可動板を移動させることにより、ワークの
２辺の可動板を同時にワークに対して開閉させることが
できると共に、４辺が可動板と接触するため、ワークの
どの辺に対しても被覆剤の回り込みが生じない。
【００３６】（５）他の実施例 本発明は、上記の実施例に限定されるものではなく、具
体的な各部材の形状、取付位置及び取付構造等は適宜変
更可能であり、次のような他の実施例を包含する。すな
わち、ワークおよびテーブルの形状は、長方形には限定
されず、本発明は、正方形その他の形状のワークについ
ても適用可能である。回転テーブルの回転方向は左には
限定されず、右に回転させてもよい。但し、この場合
は、ワーク１の長辺端面のうち、回転方向に対して前方
となる位置が、上記第１の実施例とは反対になる。した
がって、ワーク台１１、円盤１４及び可動板１５，１６
のいずれについても、上記第１の実施例とは線対称の構
成とする必要がある。
体的な各部材の形状、取付位置及び取付構造等は適宜変
更可能であり、次のような他の実施例を包含する。すな
わち、ワークおよびテーブルの形状は、長方形には限定
されず、本発明は、正方形その他の形状のワークについ
ても適用可能である。回転テーブルの回転方向は左には
限定されず、右に回転させてもよい。但し、この場合
は、ワーク１の長辺端面のうち、回転方向に対して前方
となる位置が、上記第１の実施例とは反対になる。した
がって、ワーク台１１、円盤１４及び可動板１５，１６
のいずれについても、上記第１の実施例とは線対称の構
成とする必要がある。
【００３７】各可動板の開閉動の手段は、手動によるも
のでも、アクチュエータ等によって機械的に行うもので
もよい。また、アクチュエータを用いる場合は、アクチ
ュエータを回転テーブル上に設けてもよく、ワーク搬送
手段と一体に設けてもよい。各可動板の開閉動は、スラ
イドには限定されず、アクチュエータ等による上下動で
もよい。
のでも、アクチュエータ等によって機械的に行うもので
もよい。また、アクチュエータを用いる場合は、アクチ
ュエータを回転テーブル上に設けてもよく、ワーク搬送
手段と一体に設けてもよい。各可動板の開閉動は、スラ
イドには限定されず、アクチュエータ等による上下動で
もよい。
【００３８】各ガイド溝の形状は、急傾斜部２０ｃと緩
傾斜部２０ｄの２段階で構成されることには限定され
ず、遠心力方向Ｇと鈍角な緩傾斜部のみでもよい。但
し、この場合は、各可動板１５，１６の移動距離がワー
ク１長辺方向に増大するので、十分な直径を有する円盤
１４を備える必要がある。
傾斜部２０ｄの２段階で構成されることには限定され
ず、遠心力方向Ｇと鈍角な緩傾斜部のみでもよい。但
し、この場合は、各可動板１５，１６の移動距離がワー
ク１長辺方向に増大するので、十分な直径を有する円盤
１４を備える必要がある。
【００３９】なお、可動板は両側からワークを挟むの
で、位置補正の効果もあるが、この場合は、ワーク台と
の摩擦によるワーク裏面の損傷防止措置を講じる必要が
ある。
で、位置補正の効果もあるが、この場合は、ワーク台と
の摩擦によるワーク裏面の損傷防止措置を講じる必要が
ある。
【００４０】
【発明の効果】以上のように、本発明の可動板を有する
スピンコーターによれば、ワーク端面と裏面への表面被
覆剤の付着を効果的に防止することができる。したがっ
て、本発明によれば、ワークの精度、性能及び外観を向
上させることができる。また、本発明によれば、不要な
表面被覆剤を除去するために人体に幾分有害な薬品を使
用する洗浄工程が不要となるので、ワークの製造に係る
負担を削減することができる。
スピンコーターによれば、ワーク端面と裏面への表面被
覆剤の付着を効果的に防止することができる。したがっ
て、本発明によれば、ワークの精度、性能及び外観を向
上させることができる。また、本発明によれば、不要な
表面被覆剤を除去するために人体に幾分有害な薬品を使
用する洗浄工程が不要となるので、ワークの製造に係る
負担を削減することができる。
【図１】本発明の一実施例のスピンコーターにおける回
転テーブルを、上方からみた平面図。
転テーブルを、上方からみた平面図。
【図２】同テーブルにおいて、閉位置の各可動板が、ワ
ーク長辺端面に接触している状態を、その長辺方向から
みた断面図。
ーク長辺端面に接触している状態を、その長辺方向から
みた断面図。
【図３】本発明における可動版とワークとの位置関係を
示す拡大図。
示す拡大図。
【図４】本発明に使用する可動板の一例を示す拡大図。
【図５】本発明の第２実施例を示すもので、蝶番で固定
した可動板がワークに接触する状態を、ワーク長辺方向
から見た断面図。
した可動板がワークに接触する状態を、ワーク長辺方向
から見た断面図。
【図６】本発明の第３実施例を示す平面図。
【図７】従来技術のスピンコーター上で回転するワーク
を、模式的に示したもので、特に、テーブルの回転方向
に対して前方のワーク端面の状態を、回転方向と垂直の
方向からみた拡大図。
を、模式的に示したもので、特に、テーブルの回転方向
に対して前方のワーク端面の状態を、回転方向と垂直の
方向からみた拡大図。
【図８】従来技術のスピンコーター上で回転するワーク
を、模式的に示したもので、特に、テーブルの回転方向
に対して後方のワーク端面の状態を、回転方向と垂直の
方向からみた拡大図。
を、模式的に示したもので、特に、テーブルの回転方向
に対して後方のワーク端面の状態を、回転方向と垂直の
方向からみた拡大図。
１… ワーク ２，６，７… 飛沫 ３… 空気流 ４… 渦気流 ８… 表面被覆剤 ９… ワークの端面 １０… ワークの裏面 １１… ワーク台 １３… 回転軸 １４… 円盤 １５，１６… 可動板 １７，１８… 接触辺 １９… ガイドピン ２０… ガイド溝 ２１… ワーク搬送爪用開口 ２２… 蝶番
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 磯 明典 神奈川県横浜市栄区笠間町1000番地 株 式会社芝浦製作所 大船工場内 (56)参考文献 特開 平５−23635（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−149279（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−61069（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B05C 11/08 G03F 7/16 502 H01L 21/027 H01L 21/68
Claims (5)
- 【請求項１】 四角形をしたワークの支持面を有する回
転テーブルと、この回転テーブルの駆動手段と、ワーク
の表面に対する表面被覆剤の塗布手段とを備えたスピン
コーターにおいて、 前記回転テーブルの周囲で且つ該回転テーブルの回転軸
と同軸に設けられた円盤と、 前記円盤上で、前記ワークの相対する２辺または４辺の
外側に配設された可動板とが備えられ、 前記可動板の下面にはガイドピンが設けられるととも
に、前記円盤には該ガイドピンがスライド自在に挿入可
能なガイド溝が設けられ、 前記ガイド溝は、前記ガイドピンのスライドによって前
記可動板が前記ワークに対して開閉動可能なように、該
可動板の閉位置における該ガイドピン閉位置から、該可
動板の開位置における該ガイドピン開位置にわたって形
成され、 前記ガイド溝の少なくとも前記ガイドピン閉位置から前
記ガイドピン開位置側へ向かう部分は、前記可動板の重
心に働く遠心力の方向に対して鈍角に形成されているこ
と、 を特徴とする可動板を有するスピンコーター。 - 【請求項２】 前記ガイド溝は前記可動板の重心に働く
遠心力の方向に対して２段階の角度を有するように設け
られていること、を特徴とする請求項１記載の可動板を
有するスピンコーター。 - 【請求項３】 前記ガイドピンの先端には前記ガイド溝
の幅より直径の大きい膨大部が形成されていること、を
特徴とする請求項１または請求項２記載の可動板を有す
るスピンコーター。 - 【請求項４】 四角形をしたワークの支持面を有する回
転テーブルと、この回転テーブルの駆動手段と、ワーク
の表面に対する表面被覆剤の塗布手段とを備えたスピン
コーターにおいて、 前記回転テーブルの周囲で且つ該回転テーブルの回転軸
と同軸に設けられた円盤と、 前記円盤上で、前記ワークの相対する２辺または４辺の
外側で且つ前記ワークに向かって開閉動可能なように取
り付けられた可動板とが備えられ、 前記可動板には、その閉位置において、前記回転テーブ
ルに搭載された前記ワークの端面と接触もしくは近接す
る接触辺が設けられ、 前記接触辺の先端はテーパー状に設けられていること、 を特徴とする可動板を有するスピンコーター。 - 【請求項５】 前記接触辺のテーパー状に設けられた先
端には、前記ワークの上面に対して直角な垂直面が形成
されていること、を特徴とする請求項４記載の可動板を
有するスピンコーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07201893A JP3241856B2 (ja) | 1992-03-30 | 1993-03-30 | 可動板を有するスピンコーター |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4-74236 | 1992-03-30 | ||
| JP7423692 | 1992-03-30 | ||
| JP07201893A JP3241856B2 (ja) | 1992-03-30 | 1993-03-30 | 可動板を有するスピンコーター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0615217A JPH0615217A (ja) | 1994-01-25 |
| JP3241856B2 true JP3241856B2 (ja) | 2001-12-25 |
Family
ID=26413147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07201893A Expired - Fee Related JP3241856B2 (ja) | 1992-03-30 | 1993-03-30 | 可動板を有するスピンコーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3241856B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4900949B2 (ja) * | 2007-03-01 | 2012-03-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4171598A (en) * | 1977-10-21 | 1979-10-23 | J. I. Case Company | Hollow boom construction |
| JPS59195185U (ja) * | 1983-06-14 | 1984-12-25 | 株式会社 加藤製作所 | クレ−ンの伸縮ブ−ム |
-
1993
- 1993-03-30 JP JP07201893A patent/JP3241856B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0615217A (ja) | 1994-01-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100277823B1 (ko) | 도포방법 | |
| JPH0451907Y2 (ja) | ||
| JP3241856B2 (ja) | 可動板を有するスピンコーター | |
| JPH07240360A (ja) | 薬液塗布装置 | |
| JPH11289002A (ja) | 枚葉処理機構 | |
| JP2937549B2 (ja) | 塗布装置 | |
| JP2603431B2 (ja) | 塗布装置 | |
| JPH10309509A (ja) | 回転式基板処理装置および基板処理方法 | |
| JPH09260277A (ja) | スピンコータ | |
| JPH05283329A (ja) | 可動板を有するスピンコーター | |
| JPH07308625A (ja) | 基板の回転塗布装置 | |
| JPH08153668A (ja) | 粘性材料の塗布装置 | |
| JPH0361510B2 (ja) | ||
| JP2909346B2 (ja) | 回転式塗布装置 | |
| JP4274866B2 (ja) | レジスト塗布装置 | |
| JPH029476A (ja) | スピンコーティング装置 | |
| JPH04171072A (ja) | 塗布方法およびその装置 | |
| JPH1079334A (ja) | 半導体基板の塗布膜除去装置 | |
| JP2001179163A (ja) | 回転式塗布装置と回転式塗布方法 | |
| JP3290773B2 (ja) | 処理装置および処理方法 | |
| JPH09225375A (ja) | スピンコーターヘッド | |
| JPS61291072A (ja) | スピンコ−テイング方法 | |
| JPH07263328A (ja) | 基板の回転塗布装置 | |
| JP3103191B2 (ja) | 薬液塗布装置 | |
| JPH01204330A (ja) | 塗布装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071019 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081019 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091019 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091019 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101019 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111019 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121019 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |