JP3239906U - エンドテープおよびエンドテープ付きワーク加工用シート - Google Patents

Abstract

【課題】クリーン環境下で使用されるときの塵埃の発生を抑制することが可能なエンドテープを提供する。【解決手段】ワーク加工用シート３０を巻き取ったロール３０Ａの外周面３５に、ワーク加工用シートの終端部３１を仮固定するためのエンドテープ１００であって、樹脂基材と、樹脂基材の第一面の少なくとも一部に設けられた再剥離粘着剤層と、を備える。エンドテープに、樹脂基材を用いることにより、クリーン環境下で使用されるときの塵埃の発生を抑制可能である。再剥離粘着剤層は、アクリル系の樹脂を主成分とする粘着剤によって構成される。【選択図】図１

Description

本考案は、エンドテープおよびエンドテープ付きワーク加工用シートに関する。

長尺状物が巻き取られたロールにおいて、当該長尺状物の終端部をロールの外周面に固定することが可能であり、長尺状物の終端部をロールの外周面から剥がすことが可能である仮止め用のエンドテープが用いられている。

特許文献１には、巻回積層された厚手粘着テープの最外周末端部から前記巻回積層体の最外周面にかけて中央部に破断用の易切断線を設けた仮止め粘着テープを貼り付けた厚手粘着テープの巻止め構造が開示されている。

特許文献２には、ポリエチレンテレフタレートフィルムに、塩化ビニル－酢酸ビニル共重合体と、この共重合体に対して重量比で６０～１２０％のフタル酸エステル系可塑剤とを混合した塗膜を設けたテープ端係止用テープが開示されている。

特許文献３には、一面を粘着面とした所定長さの帯状シールの前端または後端に、非粘着性の撮み部をもつエンドシールが開示されている。

実公昭６１－０２４５４６号公報 実公昭５０－００３５５９号公報 特許第２９４６０７０号公報

半導体ウエハ等のワークを加工するワーク加工プロセスは、塵埃の汚染を抑制するために、クリーン環境が保たれた作業空間で行われる。

上記の特許文献１に開示されている仮止め用のエンドテープは、塵埃の汚染抑制が求められるような、ロール状のワーク加工用シートの終端部を仮固定するために用いられることは考慮されていない。上記の特許文献２に開示される仮止め用のエンドテープは、フィルム基材上に、多量の可塑剤を含む塗膜が形成されているため、特許文献２のエンドテープを、ロール状のワーク加工用シートの終端部に長時間貼付させた場合、塗膜に含まれる可塑剤が染み出すことによって、ワーク加工用シートの表面への移行によるワーク加工用シートの汚染、エンドテープの基材への移行によるエンドテープ自体の汚染、及び製造ラインへの汚染などの不具合が生じることがある。このため、特許文献２に開示される仮止め用のエンドテープは、ロール状のワーク加工用シートの端部の仮止め用のテープとして、使用に耐えない状態となる場合がある。上記の特許文献３に開示される仮止め用のエンドテープは、クラフト紙からなる紙基材を用いており、塵埃の汚染抑制効果が低い。このように、従来の仮止め用のエンドテープは、ワーク加工用シートの端部の仮止め用のテープとして不適当であるか、クリーン環境下におけるワーク加工プロセスで使用されるには、塵埃の汚染抑制が不十分であることが懸念される。

本考案の目的は、ワーク加工用シートを巻き取ったロールの外周面に、ワーク加工用シートの終端部を仮固定するために用いられるエンドテープにおいて、クリーン環境下で使用されるときの塵埃の発生を抑制することが可能なエンドテープ、及び当該エンドテープが貼付されたエンドテープ付きワーク加工用シートを提供することである。

［１］
ワーク加工用シートを巻き取ったロールの外周面に、前記ワーク加工用シートの終端部を仮固定するためのエンドテープであって、樹脂基材と、前記樹脂基材の第一面の少なくとも一部に設けられた再剥離粘着剤層と、を備える、エンドテープ。

［２］
［１］に記載のエンドテープにおいて、前記樹脂基材が、白色に着色された着色樹脂基材である、エンドテープ。

［３］
［１］又は［２］に記載のエンドテープにおいて、前記樹脂基材の厚さが、５０μｍ以上、１５０μｍ以下である、エンドテープ。

［４］
［１］から［３］のいずれか一項に記載のエンドテープにおいて、前記エンドテープは、長手方向と短手方向とを有し、前記短手方向の長さ（Ｗ）に対する前記長手方向の長さ（Ｌ）の比（Ｌ／Ｗ）が、１．５以上、６．０以下である、エンドテープ。

［５］
［１］から［４］のいずれか一項に記載のエンドテープにおいて、前記第一面は、粘着力を有する前記再剥離粘着剤層からなる粘着部と、粘着力を有しない非粘着部とを含む、エンドテープ。

［６］
［５］に記載のエンドテープにおいて、前記エンドテープは、長手方向と短手方向とを有し、前記非粘着部が、前記長手方向の一端側に設けられている、エンドテープ。

［７］
［６］に記載のエンドテープにおいて、前記非粘着部における長手方向の長さ（Ｌ２）の割合は、前記エンドテープにおける前記長手方向の長さ（Ｌ）に対して、５％以上、３５％以下である、エンドテープ。

［８］
ワーク加工用シートを巻き取ったロールの外周面に、前記ワーク加工用シートの終端部を仮固定するエンドテープが貼付されたエンドテープ付きワーク加工用シートであって、前記エンドテープは、樹脂基材と、前記樹脂基材の第一面の少なくとも一部に設けられた再剥離粘着剤層とを備えている、エンドテープ付きワーク加工用シート。

［９］
［８］に記載のエンドテープ付きワーク加工用シートにおいて、前記第一面は、粘着力を有する前記再剥離粘着剤層からなる粘着部と、粘着力を有しない非粘着部とを含む、エンドテープ付きワーク加工用シート。

［１０］
［９］に記載のエンドテープ付きワーク加工用シートにおいて、前記エンドテープは、長手方向と短手方向とを有し、前記長手方向が、前記ワーク加工用シートの幅方向に対して、前記終端部と交差するように貼付され、前記非粘着部が、前記長手方向の一端側に設けられており、前記非粘着部は、前記ロールの巻回方向における前記終端部よりも巻芯側に配置され、前記粘着部は、前記終端部を跨いで貼付されている、エンドテープ付きワーク加工用シート。

本考案によれば、ワーク加工用シートを巻き取ったロールの外周面に、ワーク加工用シートの終端部を仮固定するために用いられるエンドテープにおいて、クリーン環境下で使用されるときの塵埃の発生を抑制することが可能なエンドテープ、及び当該エンドテープが貼付されたエンドテープ付きワーク加工用シートが提供できる。

第一実施形態に係るエンドテープが用いられたエンドテープ付きワーク加工用シートの一例を模式的に表す斜視図である。 図１のＩＩ－ＩＩ断面を示す断面図である。 （Ａ）は、第一実施形態に係るエンドテープの一例を模式的に表す断面図であり、（Ｂ）は、第一実施形態に係るエンドテープの平面図である。 第二実施形態に係るエンドテープの一例を模式的に表す断面図である。 （Ａ）は、第三実施形態に係るエンドテープの一例を模式的に表す断面図であり、（Ｂ）は、第三実施形態に係るエンドテープの平面図である。 第四実施形態に係るエンドテープの一例を模式的に表す断面図である。 第五実施形態に係るエンドテープの一例を模式的に表す断面図である。 第六実施形態に係るエンドテープ付きワーク加工用シートの一例を模式的に表す拡大斜視図である。 図８のＩＸ－ＩＸ断面を示す拡大断面図である。

以下、本考案の好ましい実施形態に係るエンドテープ、及びエンドテープ付きワーク加工用シートについて、各実施形態を例に挙げて説明する。本考案は、以下の実施形態の内容に限定されない。

＜エンドテープ＞
本考案の一態様であるエンドテープは、ワーク加工用シートを巻き取ったロールの外周面に、前記ワーク加工用シートの終端部を仮固定するためのエンドテープであって、樹脂基材と、前記樹脂基材の第一面の少なくとも一部に設けられた再剥離粘着剤層と、を備える。

本明細書において、ワークを加工するために使用されるシートを、ワーク加工用シートと称する。ワークとしては、具体的には、半導体部材（半導体ウエハ、及び半導体パッケージ等）、セラミック基板（アルミナ基板、及びサファイア基板等）、及びガラス部材（ガラス基板、及びガラス板等）などが挙げられる。半導体ウエハは、例えば、シリコンウエハであってもよく、ガリウム・砒素、炭化ケイ素、窒化ガリウム、窒化アルミニウムガリウム、及び酸化ガリウム等の化合物半導体ウエハであってもよい。ワーク加工用シートは、具体的には、例えば、バックグラインドシート、ダイシングシート、エキスパンドシート、及びピックアップシートからなる群から選ばれる少なくともいずれかとして適用される。

以下、本考案の実施形態について、図面に基づいて説明する。なお、図面においては、説明を容易にするために拡大又は縮小をして図示した部分がある。

（第一実施形態）
図１には、第一実施形態に係るエンドテープ１００が用いられたエンドテープ付きワーク加工用シート３００が模式的に示されており、図２には、図１のＩＩ－ＩＩ断面図が示されている。エンドテープ付きワーク加工用シート３００は、第一実施形態に係るエンドテープ１００が用いられた一実施形態である。

図１及び図２に示されるように、ワーク加工用シート３０のロール３０Ａは、巻芯３３の外周面に、長尺状のワーク加工用シート３０が巻き付けられており、ワーク加工用シート３０の巻き取り開始時の始端部（不図示）から、巻き取り終了時の終端部３１まで、巻回方向Ｒに巻回されることによって形成されている。ワーク加工用シート３０のロール３０Ａにおける終端部３１（以下、ワーク加工用シート３０の終端部３１とも称する）には、ロール３０Ａの幅方向ＣＤ（つまり、ロール３０Ａの軸方向）における中央部付近の１箇所に、巻回方向Ｒに沿って、エンドテープ１００が貼付されている。エンドテープ１００によって、ワーク加工用シート３０の終端部３１が、ロール３０Ａの外周面３５に仮固定されており、エンドテープ付きワーク加工用シート３００が使用されるまでの間、エンドテープ１００は、ワーク加工用シート３０の終端部３１に貼付されている。エンドテープ付きワーク加工用シート３００が使用に供され、ロール３０Ａが巻き解かれるときに、エンドテープ１００は、ワーク加工用シート３０の終端部３１から剥がされる。ワーク加工用シート３０は、着色されている場合があり、例えば、ワーク加工用シート３０においては、青色を呈している。

図３（Ａ）には、エンドテープ付きワーク加工用シート３００に用いられたエンドテープ１００の断面が模式的に表されている。図３（Ａ）に示されるように、エンドテープ１００は、樹脂基材１０と、樹脂基材１０の第一面１１に設けられた再剥離粘着剤層２０と、を備える。エンドテープ１００において、再剥離粘着剤層２０は、樹脂基材１０の第一面１１の全面に設けられている。

本実施形態に係るエンドテープ１００において、樹脂基材１０を用いることにより、クリーン環境下で使用されるときの塵埃の発生を抑制することが可能である。

樹脂基材１０の材質は、特に限定されない。樹脂基材１０の材質は、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリオレフィン（ポリプロピレン、ポリエチレン等）、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等）などの樹脂が挙げられる。

樹脂基材１０の厚さ（Ｔ１）は、特に限定されない。樹脂基材１０の厚さ（Ｔ１）は、エンドテープ１００をワーク加工用シート３０の外周面３５から剥がすときの剥離性を容易にする観点で、例えば、５０μｍ以上であることが好ましく、６０μｍ以上であることがより好ましく、７０μｍ以上であることがさらに好ましい。
樹脂基材１０の厚さ（Ｔ１）は、例えば、１５０μｍ以下であることが好ましく、１２０μｍ以下であることがより好ましく、１００μｍ以下であることがさらに好ましい。

本実施形態に係るエンドテープ１００において、樹脂基材１０は、着色されておらず、無色透明である。樹脂基材１０は、無色透明に限られず、着色されていてもよい。樹脂基材１０は、着色の有無にかかわらず、光透過性を有していてもよい。樹脂基材１０は、光透過性を有していなくてもよい。樹脂基材１０が着色される場合、着色される色は特に限定されず、どのような色でもよい。樹脂基材１０が着色される場合の色は、エンドテープ付きワーク加工用シート３００に貼り付けられたエンドテープ１００の視認性の観点、及びエンドテープ１００へ印刷性の観点で、後述の第二実施形態で説明するように、白色に着色されていることが好ましい。

再剥離粘着剤層２０の厚さ（Ｔ２）は、特に限定されない。再剥離粘着剤層２０の厚さ（Ｔ２）は、エンドテープ１００がワーク加工用シート３０の終端部３１から意図しない剥離の発生を抑制する観点で、例えば、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましく、１５μｍ以上であることがさらに好ましい。
再剥離粘着剤層２０の厚さ（Ｔ２）は、エンドテープ１００をワーク加工用シート３０の外周面３５から剥がすときの剥離性を容易にする観点で、例えば、４０μｍ以下であることが好ましく、３０μｍ以下であることがより好ましく、２０μｍ以下であることがさらに好ましい。

再剥離粘着剤層２０は、特に限定されず、例えば、アクリル系、ゴム系、シリコーン系、ウレタン系等の樹脂を主成分とする粘着剤で構成された層であることが挙げられる。これらの中でも、再剥離粘着剤層２０は、アクリル系の樹脂を主成分とする粘着剤（以下、アクリル系粘着剤と称する）によって構成された層であることが好ましい。再剥離粘着剤層２０が、アクリル系粘着剤から構成される場合、アクリル系粘着剤は、溶剤型、エマルション型、ホットメルト型、及びエネルギー線硬化型のいずれであってもよい。

再剥離粘着剤層２０は、具体的には、次のような特性を有する。エンドテープ１００の再剥離粘着剤層２０を、ワーク加工用シート３０の終端部３１を含む外周面３５に貼り合わせた後、エンドテープ付きワーク加工用シート３００を搬送するときには、当該外周面３５から、再剥離粘着剤層２０が剥離することが抑制される。一方、エンドテープ付きワーク加工用シート３００が使用される場合において、エンドテープ１００をワーク加工用シート３０の外周面３５から剥離するときには、再剥離粘着剤層２０は、当該ワーク加工用シート３０の外周面３５に残留することが抑制される。つまり、再剥離粘着剤層２０は、ワーク加工用シート３０に対する貼付および剥離を繰り返し行うことが可能である再剥離可能な粘着剤層であって、ワーク加工用シート３０の終端部３１を含む外周面３５に貼付した後、糊残りせずに剥離させることが可能であり、剥離後に、再度貼付させることが可能な粘着剤層である。

再剥離粘着剤層２０を形成する方法は特に限定されない。例えば、再剥離粘着剤層２０を形成する第一の方法としては、樹脂基材１０の第一面１１に、再剥離粘着剤層２０を形成するための粘着剤組成物を直接塗布することによって設けてもよい。この場合、エンドテープ１００が使用されるまでの間、再剥離粘着剤層２０の表面（再剥離粘着剤層２０における樹脂基材１０の第一面１１側の面と反対側の面、例えば、図６の再剥離粘着剤層２０の表面２１を参照）を保護するために、必要に応じて、図示しない剥離シートの剥離性を備える面が当該再剥離粘着剤層２０の表面に積層されることが好ましい。

再剥離粘着剤層２０を形成する第二の方法としては、図示しない剥離シートの剥離性を備える一方の面に、再剥離粘着剤層２０を形成するための粘着剤組成物を塗布して再剥離粘着剤層２０を設けた後、再剥離粘着剤層２０を樹脂基材１０の第一面１１に積層して、当該再剥離粘着剤層２０を樹脂基材１０に転写してもよい。この場合、エンドテープ１００が使用されるまでの間、剥離シートは、再剥離粘着剤層２０から剥離させることなく、そのまま付着させておくことが好ましい。

粘着剤組成物の塗布方法としては、公知の塗布方法を採用することができる。また、剥離シートとしては、例えば、各種の紙又は各種プラスチックフィルムの基材上に、シリコーン系樹脂などの剥離剤を塗布して形成した剥離剤層を設けた剥離シートなどが挙げられる。

アクリル系粘着剤としては、例えば、（１）粘着性を与えるガラス転移温度が低い（低Ｔｇ）主モノマー成分、（２）接着性及び凝集力の少なくとも一方の特性を与えるガラス転移温度が高い（高Ｔｇ）コモノマー成分、（３）架橋又は接着性改良のための官能基含有モノマー成分を主とする重合体または共重合体を含む。

（１）主モノマー成分
主モノマー成分としては、例えば、（メタ）アクリル酸エステルが挙げられる。（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、具体的には、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸２－エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸ベンジル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸２－エチルヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、及びメタクリル酸ベンジル等が挙げられる。

本明細書において、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの両方を意味する。他の類似用語についても同様である。

（２）コモノマー成分
コモノマー成分としては（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、酢酸ビニル、スチレン、及びアクリロニトリル等が挙げられる。

（３）官能基含有モノマー成分
官能基含有モノマー成分としては、例えば、（メタ）アクリル酸、マレイン酸、及びイタコン酸等のカルボキシル基含有モノマー、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル、及びＮ－メチロールアクリルアミド等のヒドロキシル基含有モノマー、（メタ）アクリルアミド、並びに、グリシジル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

モノマーの種類、分子量の選択等により、用途に応じた品質及び特性を得ることができる。

アクリル系粘着剤は、架橋型、非架橋型のいずれも使用できる。
アクリル系粘着剤が架橋型の場合、エポキシ系化合物、イソシアナート系化合物、金属キレート化合物、金属アルコキシド、金属塩、アミン化合物、ヒドラジン化合物、及びアルデヒド系化合物等の各種架橋剤が挙げられる。アクリル系粘着剤が架橋型の場合、放射線照射により架橋させる方法等も挙げられる。

再剥離粘着剤層２０は、必要に応じ、例えば、粘着付与剤、可塑剤、充填剤、老化防止剤、染料、及び顔料等の各種添加剤が添加されてもよい。

図３（Ｂ）には、エンドテープ１００を再剥離粘着剤層２０側（すなわち、樹脂基材１０の第一面１１側）から平面視した平面図が模式的に表されている。図３（Ｂ）に示されるように、エンドテープ１００は、長手方向と短手方向とを有している。

エンドテープ１００において、長手方向の長さ（Ｌ）と、短手方向の長さ（Ｗ）との割合は特に限定されない。ワーク加工用シート３０の終端部３１を仮固定するときの固定力を高める観点で、短手方向の長さ（Ｗ）に対する長手方向の長さ（Ｌ）の比（Ｌ／Ｗ）は、１．５以上であることが好ましく、１．８以上であることがより好ましく、２．０以上であることがさらに好ましい。
短手方向の長さ（Ｗ）に対する長手方向の長さ（Ｌ）の比（Ｌ／Ｗ）は、エンドテープ１００の取り扱いやすさの観点で、６．０以下であることが好ましく、５．５以下であることがより好ましく、５．０以下であることがさらに好ましい。

長手方向の長さ（Ｌ）は、特に限定されず、例えば、１５ｍｍ以上、６００ｍｍ以下であることが好ましく、３０ｍｍ以上、１００ｍｍ以下であることがより好ましい。
短手方向の長さ（Ｗ）は、特に限定されず、例えば、１０ｍｍ以上、１００ｍｍ以下であることが好ましく、１０ｍｍ以上、６０ｍｍ以下であることがより好ましい。

（第一実施形態の作用効果）
本実施形態によれば、次のような作用効果を奏することができる。
（１）第一実施形態に係るエンドテープ１００は、樹脂基材１０と、樹脂基材１０の第一面１１に設けられた再剥離粘着剤層２０と、を備える。エンドテープ１００は、樹脂基材１０を備えるため、クリーン環境下で使用されるときの塵埃の発生を抑制することが可能になる。

（第二実施形態）
図４には、エンドテープ１０１の断面が模式的に表されている。図４に示されるように、エンドテープ１０１は、白色に着色された着色樹脂基材１２と、着色樹脂基材１２の第一面１３に設けられた再剥離粘着剤層２０と、を備える。エンドテープ１０１において、再剥離粘着剤層２０は、着色樹脂基材１２の第一面１３の全面に設けられている。

エンドテープ１０１において、樹脂基材１０が白色に着色された着色樹脂基材１２に変更された以外の具体例は、第一実施形態で説明した内容と同様である。着色樹脂基材１２の白色は、一般的に白色と認識され得る色相であればよい。

着色樹脂基材１２は、例えば、非発泡の樹脂基材でもよく、発泡樹脂基材であってもよい。着色樹脂基材１２の材質の具体例は、第一実施形態で説明した樹脂基材１０の材質と同様の樹脂が使用できる。着色樹脂基材１２は、具体的には、シート状の樹脂基材として、白色顔料が練り込まれた非発泡のプラスチックフィルムでもよく、白色顔料が練り込まれた発泡プラスチックフィルムでもよく、白色顔料が練り込まれていない発泡プラスチックフィルムでもよい。また、着色樹脂基材１２は、白色のコート層が設けられた非発泡のプラスチックフィルムでもよく、白色のコート層が設けられた発泡プラスチックフィルムでもよい。白色のコート層は、受容層を兼ねてもよい。

着色樹脂基材１２は、より具体的には、表面が白色である樹脂基材として、発泡ポリエチレンテレフタレートフィルム、発泡ポリプロピレンフィルム、発泡ポリエチレンフィルム、及び発泡ポリスチレンフィルム等の発泡プラスチックフィルムが挙げられる。発泡プラスチックフィルムは、例えば、樹脂を延伸したときに微細な空洞が生成されることで得られる。また、発泡プラスチックフィルムは、例えば、二酸化チタン、及び炭酸カルシウムなどの白色顔料を含んでいることが好ましい。例えば、白色顔料を含む樹脂を延伸したフィルムは、白色顔料の周辺に微細な空洞が形成され、白色の紙のような質感が付与される。多孔質状であり、白色の紙のような質感が付与され、紙に類似した性質を有する発泡プラスチックフィルムは、いわゆる合成紙とも称される。

（第二実施形態の作用効果）
本実施形態によれば、次のような作用効果を奏することができる。
（１）第二実施形態に係るエンドテープ１０１は、白色に着色された着色樹脂基材１２と、着色樹脂基材１２の第一面１３に設けられた再剥離粘着剤層２０と、を備える。エンドテープ１０１は、着色樹脂基材１２を備えるため、前記第一実施形態における作用効果（１）と同様の作用効果を奏することができる。
（２）エンドテープ１０１は、白色に着色された着色樹脂基材１２を備えるため、エンドテープ付きワーク加工用シート３００に貼り付けられたエンドテープ１００に代えて、エンドテープ１０１を用いた場合、エンドテープ１０１の視認性が高まる。また、エンドテープ１０１へ印刷したときの印刷の視認性、印刷のしやすさ等の印刷性が高まる。

（第三実施形態）
図５（Ａ）には、エンドテープ１００Ａの断面が模式的に表されている。図５（Ａ）に示されるように、エンドテープ１００Ａは、樹脂基材１０Ａと、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａの一部に設けられた再剥離粘着剤層２０と、を備える。第一面１１Ａは、粘着力を有する再剥離粘着剤層２０からなる粘着部２２と、粘着力を有しない非粘着部２４とを含む。すなわち、エンドテープ１００Ａは、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａ側から平面視したとき、粘着部２２と非粘着部２４とを含んでいる。エンドテープ１００Ａにおいては、非粘着部２４は、再剥離粘着剤層２０が設けられない部位である。

エンドテープ１００Ａにおいて、再剥離粘着剤層２０が、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａの一部に設けられ、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａは、粘着力を有する再剥離粘着剤層２０からなる粘着部２２と、粘着力を有しない非粘着部２４とを含む点で、第一実施形態のエンドテープ１００、及び第二実施形態のエンドテープ１０１と異なる。すなわち、エンドテープ１００Ａにおいて、粘着力を有する再剥離粘着剤層２０からなる粘着部２２と、粘着力を有しない非粘着部２４とを含むこと以外は、第一実施形態及び第二実施形態で説明した内容と同様である。再剥離粘着剤層２０の具体例は、第一実施形態で説明した再剥離粘着剤層２０の内容と同様である。樹脂基材１０Ａの具体例は、第一実施形態で説明した樹脂基材１０、又は第二実施形態で説明した着色樹脂基材１２の内容と同様である。

図５（Ｂ）には、エンドテープ１００Ａを再剥離粘着剤層２０側（すなわち、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａ側）から平面視した平面図が模式的に表されている。エンドテープ１００Ａは、長手方向と短手方向とを有している。図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示されるように、エンドテープ１００Ａにおいて、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａには、粘着部２２と非粘着部２４とが、長手方向に沿って、順次設けられており、非粘着部２４が、長手方向の一端側に設けられ、粘着部２２が長手方向の他端側に設けられている。具体的には、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａに、エンドテープ１００Ａにおける第二端部Ｅ２側から第一端部Ｅ１側に向かって、再剥離粘着剤層２０からなる粘着部２２が、長手方向の長さ（Ｌ１）の寸法で設けられている。エンドテープ１００Ａにおける第一端部Ｅ１側には、再剥離粘着剤層２０が設けられない非粘着部２４が長手方向の長さ（Ｌ２）の寸法で設けられている。再剥離粘着剤層２０からなる粘着部２２は、再剥離粘着剤層２０を形成するための再剥離粘着剤組成物が塗布された粘着部２２であり、再剥離粘着剤層２０が設けられない非粘着部２４は、再剥離粘着剤層２０を形成するための再剥離粘着剤組成物が塗布されない非粘着部２４である。つまり、エンドテープ１００を再剥離粘着剤層２０側から平面視すると、粘着部２２は、再剥離粘着剤層２０が視認され、非粘着部２４は、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａが視認される。

エンドテープ１００Ａが非粘着部２４を備えていることで、エンドテープ１００Ａが用いられたエンドテープ付きワーク加工用シート３００が使用される場合において、エンドテープ１００Ａをワーク加工用シート３０の外周面３５から剥離しやすくなる。具体的には、エンドテープ１００Ａがワーク加工用シート３０の外周面３５に貼付される場合、粘着部２２は、ワーク加工用シート３０の外周面３５に貼付されているが、非粘着部２４は、ワーク加工用シート３０の外周面３５に貼付されていない。このため、非粘着部２４を把持することが可能になり、ワーク加工用シート３０の外周面３５からエンドテープ１００Ａを容易に剥離することができる。

エンドテープ１００Ａをワーク加工用シート３０の外周面３５から、より剥離しやすくする観点で、非粘着部２４における長手方向の長さ（Ｌ２）の割合は、エンドテープ１００Ａにおける長手方向の長さ（Ｌ）に対して、５％以上、３５％以下であることが好ましい。長手方向の長さ（Ｌ２）の割合は、エンドテープにおける長手方向の長さ（Ｌ）に対して、８％以上であってもよく、１０％以上であってもよい。すなわち、本実施形態においては、エンドテープ１００Ａにおける長手方向の長さ（Ｌ）を１００としたとき、非粘着部２４の長手方向の長さ（Ｌ２）は、５～３５の比率であり、粘着部２２の長手方向の長さ（Ｌ１）は、９５～６５の比率である。

（第三実施形態の作用効果）
第三実施形態に係るエンドテープ１００Ａは、樹脂基材１０Ａと、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａに設けられた再剥離粘着剤層２０と、を備える。このため、本実施形態によれば、前記第一実施形態における作用効果（１）及び前記第二実施形態における作用効果（２）と同様の作用効果を奏することができる。
さらに、本実施形態によれば、（３）エンドテープ１００Ａは、第一面１１Ａに、粘着力を有する再剥離粘着剤層２０からなる粘着部２２と、粘着力を有しない非粘着部２４とを含むため、非粘着部２４を把持しやすくなる。その結果、エンドテープ１００Ａが用いられたエンドテープ付きワーク加工用シート３００が使用される場合において、エンドテープ１００Ａをワーク加工用シート３０の外周面３５から剥離しやすくなる。

（第四実施形態）
図６には、エンドテープ１００Ｂの断面が模式的に表されている。図６に示されるように、エンドテープ１００Ｂは、樹脂基材１０Ａと、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａに設けられた再剥離粘着剤層２０と、を備える。エンドテープ１００Ｂにおいて、再剥離粘着剤層２０は、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａの全面に設けられている。樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａは、粘着力を有する再剥離粘着剤層２０からなる粘着部２２と、粘着力を有しない非粘着部２４とを含む。エンドテープ１００Ｂにおいては、非粘着部２４は、再剥離粘着剤層２０の表面２１の一部に糊殺し層２６が設けられた非粘着部２４である。すなわち、図示しないが、エンドテープ１００Ｂは、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａ側から平面視した場合、粘着部２２と非粘着部２４とを含んでおり、粘着部２２は、再剥離粘着剤層２０が視認され、非粘着部２４は、糊殺し層２６が視認される。

エンドテープ１００Ｂにおいて、粘着力を有する再剥離粘着剤層２０からなる粘着部２２と、粘着力を有しない非粘着部２４とを含むこと以外は、第一実施形態及び第二実施形態で説明した内容と同様である。すなわち、エンドテープ１００Ｂにおいて、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａは、粘着力を有する再剥離粘着剤層２０からなる粘着部２２と、粘着力を有しない非粘着部２４とを含む点で、第一実施形態のエンドテープ１００、及び第二実施形態のエンドテープ１０１と異なる。再剥離粘着剤層２０の具体例は、第一実施形態で説明した再剥離粘着剤層２０の内容と同様である。樹脂基材１０Ａの具体例は、第一実施形態で説明した樹脂基材１０、又は第二実施形態で説明した着色樹脂基材１２の内容と同様である。

また、非粘着部２４の構成が異なること以外、粘着部２２および非粘着部２４の具体例は、第三実施形態で説明した内容と同様である。具体的には、エンドテープ１００Ｂにおいて、粘着力を有しない非粘着部２４は、再剥離粘着剤層２０の表面の一部に糊殺し層２６が設けられることにより、再剥離粘着剤層２０の粘着性を喪失させた非粘着部２４である点で、第三実施形態の非粘着部２４と異なる。エンドテープにおける長手方向の長さ（Ｌ）に対する非粘着部２４における長手方向の長さ（Ｌ２）の割合、粘着部２２の長さ（Ｌ１）、非粘着部２４の長さ（Ｌ２）などの具体例は、第三実施形態で説明した内容と同様である。

図６に示されるように、エンドテープ１００Ｂは、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａの全面に、エンドテープ１００Ｂにおける第二端部Ｅ２側から第一端部Ｅ１側に向かって再剥離粘着剤層２０が設けられており、エンドテープ１００Ｂにおける第一端部Ｅ１側には、再剥離粘着剤層２０の表面２１に、糊殺し層２６が設けられている。糊殺し層２６の構成は、再剥離粘着剤層２０の粘着性を喪失させることが可能であれば、特に限定されない。糊殺し層２６は、例えば、再剥離粘着剤層２０の粘着性を喪失させる塗布液を塗布及び乾燥させることで形成される。再剥離粘着剤層２０の粘着性を喪失させる塗布液は、例えば、具体的には、紫外線硬化型インキ、及び酸化重合インキ等が挙げられる。糊殺し層２６は、例えば、再剥離粘着剤層２０の表面２１の一部に、凸版印刷、及び凹版印刷等を施すことにより形成することができる。

（第四実施形態の作用効果）
本実施形態によれば、前記第三実施形態における作用効果（１）から（３）と同様の作用効果を奏することができる。

（第五実施形態）
図７には、エンドテープ１００Ｃの断面が模式的に表されている。図７に示されるように、エンドテープ１００Ｃは、樹脂基材１０Ａと、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａに設けられた再剥離粘着剤層２０と、を備える。エンドテープ１００Ｃにおいて、再剥離粘着剤層２０は、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａの全面に設けられている。樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａは、粘着力を有する再剥離粘着剤層２０からなる粘着部２２と、粘着力を有しない非粘着部２４とを含む。エンドテープ１００Ｃにおいては、非粘着部２４は、再剥離粘着剤層２０どうしを重ね合わせるように、エンドテープ１００Ｃの一端側が折り曲げられた非粘着部２４である。すなわち、図示しないが、エンドテープ１００Ｃは、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａ側から平面視した場合、粘着部２２と非粘着部２４とを含んでおり、粘着部２２は、再剥離粘着剤層２０が視認され、非粘着部２４は、樹脂基材１０Ａの第二面１５Ａが視認される。

エンドテープ１００Ｃにおいて、粘着力を有する再剥離粘着剤層２０からなる粘着部２２と、粘着力を有しない非粘着部２４とを含むこと以外は、第一実施形態及び第二実施形態で説明した内容と同様である。すなわち、エンドテープ１００Ｃにおいて、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａは、粘着力を有する再剥離粘着剤層２０からなる粘着部２２と、粘着力を有しない非粘着部２４とを含む点で、第一実施形態のエンドテープ１００、及び第二実施形態のエンドテープ１０１と異なる。再剥離粘着剤層２０の具体例は、第一実施形態で説明した再剥離粘着剤層２０の内容と同様である。樹脂基材１０Ａの具体例は、第一実施形態で説明した樹脂基材１０、又は第二実施形態で説明した着色樹脂基材１２の内容と同様である。

また、非粘着部２４の構成が異なること以外、粘着部２２および非粘着部２４の具体例は、第三実施形態で説明した内容と同様である。具体的には、エンドテープ１００Ｃにおいて、粘着力を有しない非粘着部２４は、再剥離粘着剤層２０どうしを重ね合わせるように、エンドテープ１００Ｃの一端側が折り曲げられて形成された非粘着部２４である点で、第三実施形態の非粘着部２４、及び第四実施形態の非粘着部２４と異なる。エンドテープにおける長手方向の長さ（Ｌ）に対する非粘着部２４における長手方向の長さ（Ｌ２）の割合、粘着部２２の長さ（Ｌ１）、非粘着部２４の長さ（Ｌ２）などの具体例は、第三実施形態で説明した内容と同様である。

図７に示されるように、エンドテープ１００Ｃにおいて、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａの全面に、再剥離粘着剤層２０が、エンドテープ１００Ｃにおける第二端部Ｅ２側から第一端部Ｅ１側に向かって設けられている。エンドテープ１００Ｃは、再剥離粘着剤層２０側を内側、樹脂基材１０Ａの第二面１５Ａが外側になるように、エンドテープ１００Ｃの第一端部Ｅ１側が折り返されている。エンドテープ１００Ｃの第一端部Ｅ１側では、折り返された部分の再剥離粘着剤層２０の表面２１Ｂと、折り返されていない部分の再剥離粘着剤層２０の表面２１Ａの一部とが重ねられ、折り返された部分における再剥離粘着剤層２０の表面２１Ｂ及び表面２１Ａが互いに貼付されることにより、非粘着部２４が形成されている。エンドテープ１００Ｃにおいて、非粘着部２４は、樹脂基材１０Ａの再剥離粘着剤層２０が設けられていない第二面１５Ａが、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａ側に露出している。

（第五実施形態の作用効果）
本実施形態によれば、前記第三実施形態で説明した作用効果（１）から（３）と同様の作用効果を奏することができる。

＜エンドテープ付きワーク加工用シート＞
本考案の一態様であるエンドテープ付きワーク加工用シートは、ワーク加工用シートを巻き取ったロールの外周面に、前記ワーク加工用シートの終端部を仮固定するエンドテープが貼付されたエンドテープ付きワーク加工用シートである。
前記エンドテープは、樹脂基材と、前記樹脂基材の第一面の少なくとも一部に設けられた再剥離粘着剤層とを備えている。

以下、図８及び図９を参照して、ワーク加工用シート３０の終端部３１にエンドテープ１００Ａが貼付された、エンドテープ付きワーク加工用シート３００Ａについて説明する。すなわち、第六実施形態に係るエンドテープ付きワーク加工用シート３００Ａは、前記第三実施形態で説明したエンドテープ１００Ａが使用された一実施形態でもある。

（第六実施形態）
図８には、エンドテープ付きワーク加工用シート３００Ａの拡大斜視図が模式的に表されており、図９には、図８のＩＸ－ＩＸの拡大断面図が表されている。図８及び図９に示されるように、エンドテープ付きワーク加工用シート３００Ａは、ワーク加工用シート３０を巻き取ったロール３０Ａの外周面３５に、ワーク加工用シート３０の終端部３１を仮固定するために、エンドテープ１００Ａが貼付されている。エンドテープ１００Ａは、樹脂基材１０Ａと、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａの一部に設けられた再剥離粘着剤層２０とを備えている。

エンドテープ１００Ａにおいて、樹脂基材１０Ａの第一面１１Ａは、粘着力を有する再剥離粘着剤層２０からなる粘着部２２と、粘着力を有しない非粘着部２４とを含む。エンドテープ１００Ａにおいては、非粘着部２４は、再剥離粘着剤層２０が設けられない非粘着部２４である。エンドテープ１００Ａの具体例は、第三実施形態で説明した内容と同様である。エンドテープ付きワーク加工用シート３００Ａにおけるワーク加工用シート３０の具体例は、第一実施形態に係るエンドテープ１００が用いられたワーク加工用シート３０と同様である。

エンドテープ１００Ａは、長手方向と短手方向とを有しており、長手方向の一端側である第一端部Ｅ１側に、非粘着部２４が設けられ、長手方向の他端側である第二端部Ｅ２側に、粘着部２２が設けられている。エンドテープ１００Ａの長手方向は、ワーク加工用シート３０の幅方向ＣＤに対して、ワーク加工用シート３０の終端部３１と交差するように貼付されている。非粘着部２４は、ワーク加工用シート３０が巻き取られたロール３０Ａの巻回方向Ｒにおける終端部３１よりも、図示しない巻芯（図１及び図２の巻芯３３を参照）側に配置されている。粘着部２２は、終端部３１の周辺に、終端部３１を跨いで貼付されている。

エンドテープ１００Ａをワーク加工用シート３０の終端部３１に貼付する方法としては、特に限定されず、公知の方法が採用できる。例えば、長尺状の剥離シートの剥離面に、予め決められた寸法で形成したエンドテープ１００Ａを等間隔に貼付して巻き取られたエンドテープ１００Ａのロールを準備する工程と、当該ロールから、エンドテープ１００Ａを１枚剥がして、ワーク加工用シート３０の終端部３１に貼付して仮固定する工程とを備える方法が挙げられる。

エンドテープ付きワーク加工用シート３００Ａが使用されるまでの間、エンドテープ１００Ａは、ワーク加工用シート３０の外周面３５に貼付されている。エンドテープ付きワーク加工用シート３００Ａが使用されるときには、非粘着部２４を把持することにより、エンドテープ１００Ａをワーク加工用シート３０の外周面３５から剥離して、ワーク加工用シート３０のロール３０Ａが巻き解かれる。

（第六実施形態の作用効果）
本実施形態によれば、前記第三実施形態に係るエンドテープ１００Ａが使用されているため、前記第三実施形態おける作用効果（１）から（３）と同様の作用効果を奏することができる。
さらに、本実施形態によれば、（４）終端部３１よりも巻芯３３側に非粘着部２４が配置されているため、エンドテープ付きワーク加工用シート３００Ａが使用される場合において、エンドテープ１００Ａをワーク加工用シート３０の外周面３５からより剥離しやすくなる。

［実施形態の変形］
本考案は前述の実施形態に限定されず、本考案の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本考案に含まれる。

例えば、本明細書では、エンドテープが用いられるワーク加工用シート３０が青色を呈していることを説明したが、青色に限られず、所望に応じた色相を呈してればよい。ワーク加工用シート３０は、無色透明でもよい。
例えば、本明細書では、ワーク加工用シート３０のロール３０Ａの終端部３１を跨いで、終端部３１の幅方向の中央部の一カ所において、エンドテープ１００またはエンドテープ１００Ａが貼付される例を説明したが、これに限られず、当該終端部３１を跨いで、終端部３１の幅方向の複数個所に貼付されてもよい。
例えば、本明細書では、エンドテープ付きワーク加工用シートに用いられるエンドテープとして、エンドテープ１００またはエンドテープ１００Ａを用いた例を説明したが、これに限られず、エンドテープ１０１、エンドテープ１００Ｂ、又はエンドテープ１００Ｃのいずれかのエンドテープを用いてもよい。

以下、本考案を、実施例を挙げてさらに具体的に説明する。ただし、これら各実施例は、本考案を限定するものではない。

［分子量測定］
アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量を以下の測定条件によるゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）にて測定した。

＜測定条件＞
・測定装置：東ソー社製，ＨＣＬ－８０２０
・ＧＰＣカラム（以下の順に通過）：東ソー社製
ＴＳＫ ｇｅｌ ＭＨ－ＸＬ
ＴＳＫ ｇｅｌ ＧＭＨ－ＸＬ
ＴＳＫ ｇｅｌ Ｇ２０００Ｈ－ＸＬ
・測定溶媒：テトラヒドロフラン
・測定温度：４０℃

［ウエハ汚染性評価］
後述の実施例１及び比較例１で作製したそれぞれのエンドテープを、３０ｍｍ×６５ｍｍに切り出した。
後述の実施例２で作製したエンドテープは、長手方向端部の２０ｍｍの部分を再剥離粘着剤層形成用の再剥離粘着剤組成物が未塗布になるように切り出した。
切り出したエンドテープの長手方向の中心部に、はさみで１ｍｍの切り込みを入れて試料を得た。シリコンウエハを用い、このシリコンウエハから１０ｃｍ上部で、得られた試料を切り込みから引き裂いた。その後、試験に用いたシリコンウエハを、ウエハ表面検査装置（トプコン社製、製品名「ＷＭ－７Ｓ」）を用い、最大径２．０μｍ以上の残渣物（パーティクル）の個数を測定した。下記の評価基準により、ウエハ汚染性評価を評価した。

＜評価基準＞
残渣物（パーティクル）の個数が１００個未満：Ａ（○）
残渣物（パーティクル）の個数が１００個以上：Ｆ（×）

下記の手順で、実施例１、実施例２、及び比較例１のエンドテープを作製した。

［再剥離粘着剤組成物の調製］
窒素雰囲気下、アクリル酸ｎ-ブチル３０質量部、アクリル酸２－エチルヘキシル(２ＥＨＡ)６０質量部、メタクリル酸メチル(ＭＭＡ)７質量部、アクリル酸(ＡＡｃ)３質量部およびアクリル酸２－ヒドロキシブチル(２ＨＢＡ)０．９質量部に、アゾビスイソブチロニトリル（重合開始剤）０．２５質量部を加えて、酢酸エチル中にて、６０℃で２４時間重合させて、重量平均分子量５９万のアクリル酸エステル共重合体の溶液（不揮発分濃度４５質量％）を得た。

得られたアクリル酸エステル共重合体の溶液１００質量部に対して、トリレンジイソシアナート系架橋剤（三井化学社製、商品名：タケネートＤ１０１Ｅ、不揮発分濃度７５．０質量％）２．３質量部を混合させて、不揮発分濃度を４０質量％に調製し、再剥離粘着剤層形成用の再剥離粘着剤組成物の溶液を調製した。

［基材の用意］
基材として、下記の２種類の基材を用意した。
樹脂基材：ボイド型ポリプロピレン系合成紙（ユポコーポレーション社製 商品名：ユポＳＧＰ８０、厚さ：８０μｍ、白色）。
紙基材：上質紙（日本製紙社製 商品名：ジョウシツＷＭシール ６４．０Ｇ、厚さ：７３μｍ）。

（実施例１）
上記の再剥離粘着剤組成物の調製で得られた再剥離粘着剤組成物の溶液を、ロールナイフコーターによって剥離シート（リンテック社製、商品名：ＳＰ－８ＬＫ２）の剥離処理面に塗布して、９０℃で１分間乾燥させ、厚さ２０μｍの再剥離粘着剤層を形成した。
形成した再剥離粘着剤層の表面に、上記で用意したボイド型ポリプロピレン系合成紙を貼り合わせて、エンドテープを作製した。

（実施例２）
ロールナイフコーターにポリエステルフィルムを装着した以外は、実施例１と同様にして、再剥離粘着剤組成物の溶液を塗布して、長手方向に、２０ｍｍの未塗布部分を設け、厚さ２０μｍの再剥離粘着剤層を部分的に形成した。形成した再剥離粘着剤層の表面に、上記で用意したボイド型ポリプロピレン系合成紙を貼り合わせて、エンドテープ（再剥離粘着剤組成物の溶液を部分塗布したエンドテープ）を作製した。

（比較例１）
実施例１と同様にして、剥離シートの剥離処理面に再剥離粘着剤組成物の溶液を塗布して、厚さ２０μｍの再剥離粘着剤層を形成した。形成した再剥離粘着剤層の表面に、上記で用意した紙基材を貼り合わせて、エンドテープを作製した。

以上の結果から、実施例１及び実施例２で得られたエンドテープは、比較例１で得られたエンドテープよりもウエハ汚染性評価の結果が良好であることが分かる。
したがって、本考案のエンドテープによれば、クリーン環境下で使用されるときの塵埃の発生を抑制することが可能である。また、本考案のエンドテープを使用することにより、クリーン環境下で使用されるときの塵埃の発生を抑制することが可能な、エンドテープ付きワーク加工用シートが得られる。

１０，１０Ａ…樹脂基材、１２…着色樹脂基材、１１，１１Ａ，１３…第一面、１５Ａ…第二面、２０…再剥離粘着剤層、２１，２１Ａ，２１Ｂ…表面、２２…粘着部、２４…非粘着部、２６…糊殺し層、３０…ワーク加工用シート、３０Ａ…ロール、３１…終端部、３３…巻芯、３５…外周面、１００，１０１，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ…エンドテープ、３００，３００Ａ…エンドテープ付きワーク加工用シート、Ｒ…巻回方向、ＣＤ…幅方向、Ｅ１…第一端部、Ｅ２…第二端部

Claims (10)

1. ワーク加工用シートを巻き取ったロールの外周面に、前記ワーク加工用シートの終端部を仮固定するためのエンドテープであって、
   樹脂基材と、
   前記樹脂基材の第一面の少なくとも一部に設けられた再剥離粘着剤層と、
   を備える、
   エンドテープ。
2. 請求項１に記載のエンドテープにおいて、
   前記樹脂基材が、白色に着色された着色樹脂基材である、
   エンドテープ。
3. 請求項１又は請求項２に記載のエンドテープにおいて、
   前記樹脂基材の厚さが、５０μｍ以上、１５０μｍ以下である、
   エンドテープ。
4. 請求項１又は請求項２に記載のエンドテープにおいて、
   前記エンドテープは、長手方向と短手方向とを有し、
   前記短手方向の長さ（Ｗ）に対する前記長手方向の長さ（Ｌ）の比（Ｌ／Ｗ）が、１．５以上、６．０以下である、
   エンドテープ。
5. 請求項１又は請求項２に記載のエンドテープにおいて、
   前記第一面は、粘着力を有する前記再剥離粘着剤層からなる粘着部と、粘着力を有しない非粘着部とを含む、
   エンドテープ。
6. 請求項５に記載のエンドテープにおいて、
   前記エンドテープは、長手方向と短手方向とを有し、
   前記非粘着部が、前記長手方向の一端側に設けられている、
   エンドテープ。
7. 請求項６に記載のエンドテープにおいて、
   前記非粘着部における長手方向の長さ（Ｌ２）の割合は、前記エンドテープにおける前記長手方向の長さ（Ｌ）に対して、５％以上、３５％以下である、
   エンドテープ。
8. ワーク加工用シートを巻き取ったロールの外周面に、前記ワーク加工用シートの終端部を仮固定するエンドテープが貼付されたエンドテープ付きワーク加工用シートであって、
   前記エンドテープは、樹脂基材と、前記樹脂基材の第一面の少なくとも一部に設けられた再剥離粘着剤層とを備えている、
   エンドテープ付きワーク加工用シート。
9. 請求項８に記載のエンドテープ付きワーク加工用シートにおいて、
   前記第一面は、粘着力を有する前記再剥離粘着剤層からなる粘着部と、粘着力を有しない非粘着部とを含む、
   エンドテープ付きワーク加工用シート。
10. 請求項９に記載のエンドテープ付きワーク加工用シートにおいて、
    前記エンドテープは、長手方向と短手方向とを有し、
    前記長手方向が、前記ワーク加工用シートの幅方向に対して、前記終端部と交差するように貼付され、
    前記非粘着部が、前記長手方向の一端側に設けられており、
    前記非粘着部は、前記ロールの巻回方向における前記終端部よりも巻芯側に配置され、
    前記粘着部は、前記終端部を跨いで貼付されている、
    エンドテープ付きワーク加工用シート。

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