JP3228234B2 - レチクル検査装置 - Google Patents
レチクル検査装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レチクル検査装置
に関し、特に、レチクル検査光学系に関するものある。
に関し、特に、レチクル検査光学系に関するものある。
【０００２】
【従来の技術】従来、検査対象のレチクル面に検査光を
走査させる装置としては、ガルバノミラー、ポリゴンミ
ラーなどの機械式光走査法を用いた装置（特開昭５８−
１４７１１９号，特開平４−３３１３５７号等）があ
る。
走査させる装置としては、ガルバノミラー、ポリゴンミ
ラーなどの機械式光走査法を用いた装置（特開昭５８−
１４７１１９号，特開平４−３３１３５７号等）があ
る。
【０００３】上述した機械式光走査法を用いた装置で
は、走査速度に限界があり、高速に光を走査することが
難しい。この問題を解決する装置として、音響光学素子
を用いて、高速に光を走査する装置が開発されている。
は、走査速度に限界があり、高速に光を走査することが
難しい。この問題を解決する装置として、音響光学素子
を用いて、高速に光を走査する装置が開発されている。
【０００４】また、レチクル面に走査させる検査光を検
出する方法としては、縮小対物レンズでアレイスポット
光を検査対象物に照射させ、１次元アレイ光電変換素子
を用いて受光して検出する方法がある（特開平６−８２
３８１号）。
出する方法としては、縮小対物レンズでアレイスポット
光を検査対象物に照射させ、１次元アレイ光電変換素子
を用いて受光して検出する方法がある（特開平６−８２
３８１号）。
【０００５】また、レチクル面に走査させる検査光を検
出する方法としては、走査されているスポット光を縮小
対物レンズで検査対象物に照射し、欠陥を検出する方法
がある（特開平９−２８０９５４）。特に、この方法で
は、検査分解能を向上させるため、検査光の短波長化が
図られている。
出する方法としては、走査されているスポット光を縮小
対物レンズで検査対象物に照射し、欠陥を検出する方法
がある（特開平９−２８０９５４）。特に、この方法で
は、検査分解能を向上させるため、検査光の短波長化が
図られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、短波長域に
使用可能な音響光学素子は限られている。４００ｎｍ以
下の短波長域に使用可能な音響光学素子として代表的な
ものは、石英，二酸化テルルなどを用いる音響光学素子
がある。
使用可能な音響光学素子は限られている。４００ｎｍ以
下の短波長域に使用可能な音響光学素子として代表的な
ものは、石英，二酸化テルルなどを用いる音響光学素子
がある。
【０００７】３００ｎｍ以下の波長域に用いる音響光学
素子としては、石英製のものに限定され、設計の自由度
が小さくなるという問題がある。
素子としては、石英製のものに限定され、設計の自由度
が小さくなるという問題がある。
【０００８】さらに、石英製のみの音響光学素子を用い
て、装置を構成した場合、光路が長くなるという問題が
ある。
て、装置を構成した場合、光路が長くなるという問題が
ある。
【０００９】また、複数の音響光学素子を用いるため、
音響光学素子を駆動する駆動回路も複雑な構成になると
いう問題がある。
音響光学素子を駆動する駆動回路も複雑な構成になると
いう問題がある。
【００１０】以上のように、複数個の音響光学素子を組
み合わせた光学系では、構成が複雑となり、特に、２段
目に用いられる音響光学素子には、レンズ効果をもたせ
る必要があり、精度の高い駆動回路が必要となる問題が
ある。
み合わせた光学系では、構成が複雑となり、特に、２段
目に用いられる音響光学素子には、レンズ効果をもたせ
る必要があり、精度の高い駆動回路が必要となる問題が
ある。
【００１１】さらに、３００ｎｍ以下の短波長域に使用
可能な音響光学素子は、石英製のものに限られるため、
素子の特性上、集光効果を引き出すには、数メートルの
光路長が必要になり、装置を大型化させてしまうという
問題がある。
可能な音響光学素子は、石英製のものに限られるため、
素子の特性上、集光効果を引き出すには、数メートルの
光路長が必要になり、装置を大型化させてしまうという
問題がある。
【００１２】本発明の目的は、音響光学素子の使用個数
を減らし、装置構成の簡素化を図るレチクル検査装置を
提供することにある。
を減らし、装置構成の簡素化を図るレチクル検査装置を
提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明によるレチクル検査装置においては、光偏向
器と、レンズアレイと、対物レンズとを含むレチクル検
査装置であって、前記光偏向器は、レーザ光源から出射
されたレーザビームを時間的に偏向させるものであり、
前記レンズアレイは、微小なレンズの組合わせからな
り、前記光偏向器で偏向されたビームを各微小なレンズ
に入射して、各レンズに対応して集光スポットの走査検
査光を形成するものであり、前記対物レンズは、前記集
光スポットの走査検査光を検査対象上に集光するもので
ある。
め、本発明によるレチクル検査装置においては、光偏向
器と、レンズアレイと、対物レンズとを含むレチクル検
査装置であって、前記光偏向器は、レーザ光源から出射
されたレーザビームを時間的に偏向させるものであり、
前記レンズアレイは、微小なレンズの組合わせからな
り、前記光偏向器で偏向されたビームを各微小なレンズ
に入射して、各レンズに対応して集光スポットの走査検
査光を形成するものであり、前記対物レンズは、前記集
光スポットの走査検査光を検査対象上に集光するもので
ある。
【００１４】また、前記微小なレンズは、平面状に配列
して組合わせたものである。
して組合わせたものである。
【００１５】また、ピンホールアレイを有し、 ピンホー
ルアレイは、前記レンズアレイの各微小レンズの開口径
と焦点距離に基づいて決定されるスポット径で開口され
たもピンホールを有し、レンズアレイの焦点位置に配置
され、前記ピンホールアレイにより集光スポットの走査
検査光のノイズを除去するものである。
ルアレイは、前記レンズアレイの各微小レンズの開口径
と焦点距離に基づいて決定されるスポット径で開口され
たもピンホールを有し、レンズアレイの焦点位置に配置
され、前記ピンホールアレイにより集光スポットの走査
検査光のノイズを除去するものである。
【００１６】前記光分割部を有し、該光分割部は、偏光
特性を利用して前記集光スポットの走査検査光を少なく
とも２分割にして、少なくとも２分割された走査検査光
を検査対象物の検査面に同時に照射するものである。
特性を利用して前記集光スポットの走査検査光を少なく
とも２分割にして、少なくとも２分割された走査検査光
を検査対象物の検査面に同時に照射するものである。
【００１７】また、前記少なくとも２分割された走査検
査光は、検査対象物の検査面の隣り合う位置に照射する
ものである。
査光は、検査対象物の検査面の隣り合う位置に照射する
ものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。 （実施形態）図１は、本発明の実施形態に係るレチクル
検査装置を示す構成図である。
て図面を参照して詳細に説明する。 （実施形態）図１は、本発明の実施形態に係るレチクル
検査装置を示す構成図である。
【００１９】図１に示す本発明の実施形態に係るレチク
ル検査装置は基本的構成として、光偏向器２とレンズア
レイ３を組み合わせ、集光スポットの走査検査光を形成
し、これらの光を検査対象物１０の検査面に集光して、
検査対象物１０の検査面を走査し、検査対象物１０を透
過した透過光を光検出器１２によって検出し、検査を行
うことを特徴とするものである。
ル検査装置は基本的構成として、光偏向器２とレンズア
レイ３を組み合わせ、集光スポットの走査検査光を形成
し、これらの光を検査対象物１０の検査面に集光して、
検査対象物１０の検査面を走査し、検査対象物１０を透
過した透過光を光検出器１２によって検出し、検査を行
うことを特徴とするものである。
【００２０】具体的に説明すると、図１に示す本発明の
実施形態に係るレチクル検査装置は、レーザ光源１と、
光偏向器２と、レンズアレイ３と、ピンホールアレイ４
と、リレーレンズ５と、ビームスプリッター６，７と、
ミラー８とを少なくとも有している。
実施形態に係るレチクル検査装置は、レーザ光源１と、
光偏向器２と、レンズアレイ３と、ピンホールアレイ４
と、リレーレンズ５と、ビームスプリッター６，７と、
ミラー８とを少なくとも有している。
【００２１】レーザ光源１は、レーザビームを出射する
ようになっており、光偏向器２は、レーザ光源１から出
射されたレーザビームを時間的に偏向させるようになっ
ている。
ようになっており、光偏向器２は、レーザ光源１から出
射されたレーザビームを時間的に偏向させるようになっ
ている。
【００２２】レンズアレイ３は、図７に示すように微小
なレンズ３ａを平面状に配列することによって構成され
たものであり、光偏向器２で偏向されたビームは、各微
小なレンズに入射し、各レンズ３ａに対応して集光スポ
ットの走査検査光を形成する。
なレンズ３ａを平面状に配列することによって構成され
たものであり、光偏向器２で偏向されたビームは、各微
小なレンズに入射し、各レンズ３ａに対応して集光スポ
ットの走査検査光を形成する。
【００２３】ピンホールアレイ４は、レンズアレイ３の
各レンズの開口径と焦点距離に基づいて決定されるスポ
ット径をもつピンホールをレンズアレイ３の各レンズに
対応して開口したものであり、ピンホールアレイ４は、
レンズアレイ３の焦点位置に配置され、余分な光の回り
込み等による走査検査光のノイズを除去するようになっ
ている。
各レンズの開口径と焦点距離に基づいて決定されるスポ
ット径をもつピンホールをレンズアレイ３の各レンズに
対応して開口したものであり、ピンホールアレイ４は、
レンズアレイ３の焦点位置に配置され、余分な光の回り
込み等による走査検査光のノイズを除去するようになっ
ている。
【００２４】リレーレンズ５は、時間的に移動するスポ
ット光をテレセントリックな対物レンズ９の瞳にリレー
するようになっている。
ット光をテレセントリックな対物レンズ９の瞳にリレー
するようになっている。
【００２５】ここで、レンズアレイ３の各レンズで集光
スポットの走査検査光を形成するため、分解能が制限さ
れる。この分解能を向上させるため、光分割部を有し、
該光分割部によって、偏光特性を利用して集光スポット
の走査検査光を少なくとも２分割にして、少なくとも２
分割された走査検査光を検査対象物１０の検査面に同時
に照射するようにしている。さらに、集光スポットの走
査検査光を検査対象物１０の検査面に同時に照射する
際、少なくとも２分割された走査検査光は、検査対象物
の検査面の隣り合う位置に照射するようにしている。
スポットの走査検査光を形成するため、分解能が制限さ
れる。この分解能を向上させるため、光分割部を有し、
該光分割部によって、偏光特性を利用して集光スポット
の走査検査光を少なくとも２分割にして、少なくとも２
分割された走査検査光を検査対象物１０の検査面に同時
に照射するようにしている。さらに、集光スポットの走
査検査光を検査対象物１０の検査面に同時に照射する
際、少なくとも２分割された走査検査光は、検査対象物
の検査面の隣り合う位置に照射するようにしている。
【００２６】具体的に説明すると、光分割部は、ビーム
スプリッター６と、ミラー８と、ビームスプリッター７
とを有している。
スプリッター６と、ミラー８と、ビームスプリッター７
とを有している。
【００２７】ビームスプリッター６は、リレーレンズ５
と対物レンズ９との間の光路内に設置され、リレーレン
ズ５を透過した集光スポットの走査検査光を分割するよ
うになっている。ビームスプリッター６で分割された一
方の集光スポットの走査検査光Ｌ1は、後段のビームス
プリッター７を通して対物レンズ９に入射し、他方の集
光スポットの走査検査光Ｌ2は、ミラー８側に反射す
る。
と対物レンズ９との間の光路内に設置され、リレーレン
ズ５を透過した集光スポットの走査検査光を分割するよ
うになっている。ビームスプリッター６で分割された一
方の集光スポットの走査検査光Ｌ1は、後段のビームス
プリッター７を通して対物レンズ９に入射し、他方の集
光スポットの走査検査光Ｌ2は、ミラー８側に反射す
る。
【００２８】ミラー８は、ビームスプリッター６で反射
した集光スポットの走査検査光Ｌ2を対物レンズ９に入
射させる際に、ビームスプリッター６を透過して対物レ
ンズ９に直接入射した走査検査光Ｌ1に対して、角度を
もつように調整するようになっている。
した集光スポットの走査検査光Ｌ2を対物レンズ９に入
射させる際に、ビームスプリッター６を透過して対物レ
ンズ９に直接入射した走査検査光Ｌ1に対して、角度を
もつように調整するようになっている。
【００２９】ビームスプリッター７は、前段のビームス
プリッター６の後方に設置され、図８に示すように前段
のビームスプリッター６で反射しミラー８で角度調整さ
れた集光スポットの走査検査光Ｌ2を検査対象物１０の
検査面に向けて反射するようになっている。
プリッター６の後方に設置され、図８に示すように前段
のビームスプリッター６で反射しミラー８で角度調整さ
れた集光スポットの走査検査光Ｌ2を検査対象物１０の
検査面に向けて反射するようになっている。
【００３０】したがって、前段のビームスプリッター６
を透過した走査検査光Ｌ1と、後段のビームスプリッタ
ー７を透過した走査検査光Ｌ2とは図９に示すように、
検査対象物１０の検査面のそれぞれ近傍に照射されるよ
うになる。
を透過した走査検査光Ｌ1と、後段のビームスプリッタ
ー７を透過した走査検査光Ｌ2とは図９に示すように、
検査対象物１０の検査面のそれぞれ近傍に照射されるよ
うになる。
【００３１】次に、図１に示す本発明の実施形態に係る
レチクル検査装置の動作を図１，図２，図３を用いて説
明する。
レチクル検査装置の動作を図１，図２，図３を用いて説
明する。
【００３２】レーザ光源１から出射したレーザビームを
光偏向器２で時間的に偏向させる。偏向されたレーザビ
ームは、微小なレンズで構成されているレンズアレイ３
に入射され、各レンズに対応して複数の集光スポットの
走査検査光が形成される。
光偏向器２で時間的に偏向させる。偏向されたレーザビ
ームは、微小なレンズで構成されているレンズアレイ３
に入射され、各レンズに対応して複数の集光スポットの
走査検査光が形成される。
【００３３】さらに、ピンホールアレイ４を透過してノ
イズが除去され、次に、リレーレンズ５を介して、これ
らの光をテレセントリックな対物レンズの瞳に光をリレ
ーする。リレーする途中でビームスプリッター６で走査
検査光の一部を分割する。
イズが除去され、次に、リレーレンズ５を介して、これ
らの光をテレセントリックな対物レンズの瞳に光をリレ
ーする。リレーする途中でビームスプリッター６で走査
検査光の一部を分割する。
【００３４】ビームスプリッター６で反射した走査検査
光Ｌ2は、対物レンズ９に入射させる際に、ビームスプ
リッター６を透過した走査検査光Ｌ1に対して角度をも
つようにミラー８を調整し、ビームスプリッター６で反
射した走査検査光Ｌ2をビームスプリッター７で検査対
象物１０の検査面に向けて反射する（図８）。
光Ｌ2は、対物レンズ９に入射させる際に、ビームスプ
リッター６を透過した走査検査光Ｌ1に対して角度をも
つようにミラー８を調整し、ビームスプリッター６で反
射した走査検査光Ｌ2をビームスプリッター７で検査対
象物１０の検査面に向けて反射する（図８）。
【００３５】２つの集光スポットの走査検査光Ｌ1，Ｌ2
は、図９に示すように、検査対象物１０の検査面に照射
される際に、照射角度の大小に応じて検査対象物１０の
検査面で異なる位置に同時に照射され、これらの走査検
査光Ｌ1，Ｌ2は同時に互いに隣接する位置を走査する
（図３（ａ））。
は、図９に示すように、検査対象物１０の検査面に照射
される際に、照射角度の大小に応じて検査対象物１０の
検査面で異なる位置に同時に照射され、これらの走査検
査光Ｌ1，Ｌ2は同時に互いに隣接する位置を走査する
（図３（ａ））。
【００３６】さらに図２に示すように、検査対象物１０
を照射した光を偏光ビームスプリッター１３で２つのビ
ームに分離し、それぞれの検出光を別々の受光素子１４
で検出し、同時に２点の位置の検査を行なう。
を照射した光を偏光ビームスプリッター１３で２つのビ
ームに分離し、それぞれの検出光を別々の受光素子１４
で検出し、同時に２点の位置の検査を行なう。
【００３７】受光素子１４で検出した信号をＡ／Ｄ変換
回路１５でアナログ／デイジタル変換を行い、離散的な
データを作成する。
回路１５でアナログ／デイジタル変換を行い、離散的な
データを作成する。
【００３８】図３（ａ）に示すように、それぞれの検出
光は検査対象物１０上では異なった場所を照射したもの
であるため、処理装置１６で検出したデータを相対的な
位置関係を考慮して、図３（ｂ）に示す画像データ１６
ａを構成することにより、高分解能な画像を得る。
光は検査対象物１０上では異なった場所を照射したもの
であるため、処理装置１６で検出したデータを相対的な
位置関係を考慮して、図３（ｂ）に示す画像データ１６
ａを構成することにより、高分解能な画像を得る。
【００３９】（実施例１）次に、本発明の実施形態に係
るレチクル検査装置の具体例を実施例１として説明す
る。
るレチクル検査装置の具体例を実施例１として説明す
る。
【００４０】図４及び図５に示すように、レーザ光源１
から出射したレーザビームをガルバノミラー１７若しく
はポリゴンミラー１８の機械的光偏向器（図１の光偏向
器２に相当する）を用い、時間的にレーザビームを偏向
させる。
から出射したレーザビームをガルバノミラー１７若しく
はポリゴンミラー１８の機械的光偏向器（図１の光偏向
器２に相当する）を用い、時間的にレーザビームを偏向
させる。
【００４１】図６に示すように、偏向されたレーザビー
ムは、複数の微小なレンズ３ａから構成されたレンズア
レイ３に入射され、各レンズ３ａに対応して集光スポッ
トの走査検査光が形成される。
ムは、複数の微小なレンズ３ａから構成されたレンズア
レイ３に入射され、各レンズ３ａに対応して集光スポッ
トの走査検査光が形成される。
【００４２】このとき、検査エリアを大きくとるため、
偏向角が大きくなるが、その場合、図７に示すように、
光軸から離れているレンズアレイ３のレンズ３ａには偏
心を加える。
偏向角が大きくなるが、その場合、図７に示すように、
光軸から離れているレンズアレイ３のレンズ３ａには偏
心を加える。
【００４３】そして、焦点距離ｆａ、開口径２Ａとした
とき、ｔａｎθ=Ａ／ｆａを満足するようにレンズアレ
イ３の焦点距離、開口径を設定する。
とき、ｔａｎθ=Ａ／ｆａを満足するようにレンズアレ
イ３の焦点距離、開口径を設定する。
【００４４】これらの特性をもつレンズアレイ３によ
り、光軸方向に対して、同一位置で直線状に集光スポッ
トの走査検査光を形成することができる。
り、光軸方向に対して、同一位置で直線状に集光スポッ
トの走査検査光を形成することができる。
【００４５】さらに、余分な光の回り込み等の検査光の
ノイズを除去するためにスポット位置にピンホールアレ
イ４を配置する。以上により、時間的に移動する集光ス
ポットの走査検査光が形成される。
ノイズを除去するためにスポット位置にピンホールアレ
イ４を配置する。以上により、時間的に移動する集光ス
ポットの走査検査光が形成される。
【００４６】そして、リレーレンズ５を介してビームを
焦点距離ｆｏのテレセントリックな対物レンズ９の瞳に
光をリレーする。対物レンズ９によって集光された集光
スポットの走査検査光は検査対象物１０を照射する。
焦点距離ｆｏのテレセントリックな対物レンズ９の瞳に
光をリレーする。対物レンズ９によって集光された集光
スポットの走査検査光は検査対象物１０を照射する。
【００４７】そして、検査対象物１０を透過した光を集
光レンズ１１で集光し、それぞれの検出光を別々の受光
素子１４で検出する。検出したデータの位置関係を考慮
して、画像データ１６ａを構成する。
光レンズ１１で集光し、それぞれの検出光を別々の受光
素子１４で検出する。検出したデータの位置関係を考慮
して、画像データ１６ａを構成する。
【００４８】（実施例２）次に、本発明の実施形態に係
るレチクル検査装置の具体例を実施例２として説明す
る。
るレチクル検査装置の具体例を実施例２として説明す
る。
【００４９】本発明の実施例２では、光偏向器２とし
て、石英製の音響光学素子２を用いている。
て、石英製の音響光学素子２を用いている。
【００５０】図１において、レーザ光源１から出射した
ビームを石英製の音響光学素子２で時間的にレーザビー
ムを偏向させる。
ビームを石英製の音響光学素子２で時間的にレーザビー
ムを偏向させる。
【００５１】偏向されたビームは、微小なレンズで構成
されている微小レンズアレイ３に入射し、各微小レンズ
によって集光スポットが形成される。
されている微小レンズアレイ３に入射し、各微小レンズ
によって集光スポットが形成される。
【００５２】次に、微小レンズの開口径若しくは入射ビ
ーム径φと焦点距離ｆａにより決定されるスポット径ｗ
にあわせたピンホールアレイ４をレンズアレイ３の焦点
位置に配置することにより、時間的に移動するスポット
が形成される。
ーム径φと焦点距離ｆａにより決定されるスポット径ｗ
にあわせたピンホールアレイ４をレンズアレイ３の焦点
位置に配置することにより、時間的に移動するスポット
が形成される。
【００５３】この場合、ビームの偏光が円偏光となるよ
うに音響光学素子２の特性に応じて波長板などの偏光素
子を組み入れる。
うに音響光学素子２の特性に応じて波長板などの偏光素
子を組み入れる。
【００５４】そして、リレーレンズ５を介してビームを
焦点距離ｆｏのテレセントリックな対物レンズ９の瞳に
光をリレーする。
焦点距離ｆｏのテレセントリックな対物レンズ９の瞳に
光をリレーする。
【００５５】リレーする途中で図８に示すように偏光ビ
ームスプリッター６を配置し、偏光ビームスプリッター
６により、集光スポットの走査検査光をＰ偏光Ｌ1とＳ
偏光Ｌ2に分割する。
ームスプリッター６を配置し、偏光ビームスプリッター
６により、集光スポットの走査検査光をＰ偏光Ｌ1とＳ
偏光Ｌ2に分割する。
【００５６】そして、ビームスプリッター６で分割され
たＳ偏光Ｌ2をビームスプリッター７で反射して検査対
象物１０の検査面にＰ偏光Ｌ1とともに照射する。
たＳ偏光Ｌ2をビームスプリッター７で反射して検査対
象物１０の検査面にＰ偏光Ｌ1とともに照射する。
【００５７】このとき、反射したＳ偏光Ｌ2を対物レン
ズ９に入射させる際に、透過したＰ偏光Ｌ1に対して、
角度をもつように２つのミラー８及びビームスプリッタ
ー７を調整すし、各々の光Ｌ1，Ｌ2が対物レンズ９の瞳
面において、光軸に対して、それぞれ同じ角度を持つよ
うにする。
ズ９に入射させる際に、透過したＰ偏光Ｌ1に対して、
角度をもつように２つのミラー８及びビームスプリッタ
ー７を調整すし、各々の光Ｌ1，Ｌ2が対物レンズ９の瞳
面において、光軸に対して、それぞれ同じ角度を持つよ
うにする。
【００５８】光軸に対する角度に応じて、検査対象物１
０の検査面では、それぞれ異なる位置に検査スポットが
形成される。すなわち、同時に２つの位置を検査するこ
とができる。
０の検査面では、それぞれ異なる位置に検査スポットが
形成される。すなわち、同時に２つの位置を検査するこ
とができる。
【００５９】検査物１０を透過した光を偏光ビームスプ
リッター１３で２つのビームに分離し、それぞれの検出
光を別々の受光素子１４で検出し、その検出信号をＡ／
Ｄ変換回路１５でアナログ／デイジタル変換を行い、離
散的なデータを作成する。
リッター１３で２つのビームに分離し、それぞれの検出
光を別々の受光素子１４で検出し、その検出信号をＡ／
Ｄ変換回路１５でアナログ／デイジタル変換を行い、離
散的なデータを作成する。
【００６０】それぞれの検出光は、検査対象物１０上で
は異なった場所を照射したものであるため、検出したデ
ータの相対的な位置関係を考慮して、画像データ１６ａ
を構成することにより、高分解能な画像を得ることがで
きる。つまり、レンズアレイ３のレンズ間隔若しくはピ
ンホールアレイ５のピンホール間隔の２倍の分解能を実
現させることができる。
は異なった場所を照射したものであるため、検出したデ
ータの相対的な位置関係を考慮して、画像データ１６ａ
を構成することにより、高分解能な画像を得ることがで
きる。つまり、レンズアレイ３のレンズ間隔若しくはピ
ンホールアレイ５のピンホール間隔の２倍の分解能を実
現させることができる。
【００６１】なお、以上の例では、レーザビームを２つ
に分割したが、これ以上に分割してもよいものである。
に分割したが、これ以上に分割してもよいものである。
【００６２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、レ
ンズアレイを用いることにより、能動素子を減らすこと
ができ、装置を簡素化することができる。
ンズアレイを用いることにより、能動素子を減らすこと
ができ、装置を簡素化することができる。
【００６３】さらに、集光スポットの走査検査光を少な
くとも２つに分割し、検査対象物の検査面上で少なくと
も２つのスポットを近接した位置に照射させるため、分
解能を向上させることができる。
くとも２つに分割し、検査対象物の検査面上で少なくと
も２つのスポットを近接した位置に照射させるため、分
解能を向上させることができる。
【図１】本発明の実施形態に係るレチクル検査装置を示
す構成図である。
す構成図である。
【図２】検出光の分離動作を示す構成図である。
【図３】検出光位置と画像データの関係を示す図であ
る。
る。
【図４】光偏向器としてポリゴンミラーを用いた本発明
の実施例に係るレチクル検査装置を示す構成図である。
の実施例に係るレチクル検査装置を示す構成図である。
【図５】光偏向器としてガルバノミラーを用いた本発明
の実施例に係るレチクル検査装置を示す構成図である。
の実施例に係るレチクル検査装置を示す構成図である。
【図６】レンズアレイの構成を示す構成図である。
【図７】一部のレンズを偏心させたレンズアレイの構成
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【図８】光分割部の構成を示す構成図である。
【図９】対物レンズによる走査検査光の集光状態を示す
構成図である。
構成図である。
１ レーザ光源 ２ 光偏向器 ３ レンズアレイ ４ ピンホールアレイ ５ リレーレンズ ６ 偏光ビームスプリッター ７ 偏光ビームスプリッター ８ 反射ミラー ９ 対物レンズ １０ 検査対象物 １１ 集光レンズ １２ 光検出器 １３ 偏光ビームスプリッター １４ 受光素子 １５ Ａ／Ｄ変換回路 １６ 画像処理装置 １７ ガルバノミラー １８ ポリゴンミラー
Claims (5)
- 【請求項１】 光偏向器と、レンズアレイと、対物レン
ズとを含むレチクル検査装置であって、 前記光偏向器は、レーザ光源から出射されたレーザビー
ムを時間的に偏向させるものであり、 前記レンズアレイは、微小なレンズの組合わせからな
り、前記光偏向器で偏向されたビームを各微小なレンズ
に入射して、各レンズに対応して集光スポットの走査検
査光を形成するものであり、 前記対物レンズは、前記集光スポットの走査検査光を検
査対象上に集光するものであることを特徴とするレチク
ル検査装置。 - 【請求項２】 前記微小なレンズは、平面状に配列して
組合わせたものであることを特徴とする請求項１に記載
のレチクル検査装置。 - 【請求項３】 ピンホールアレイを有し、 ピンホールアレイは、前記レンズアレイの各微小レンズ
の開口径と焦点距離に基づいて決定されるスポット径で
開口されたピンホールを有し、レンズアレイの焦点位置
に配置され、前記ピンホールアレイにより集光スポット
の走査検査光の ノイズを除去するものであることを特徴
とする請求項１に記載のレチクル検査装置。 - 【請求項４】 光分割部を有し、 該光分割部は、偏光特性を利用して前記集光スポットの
走査検査光を少なくとも２分割にして、少なくとも２分
割された走査検査光を検査対象物の検査面に同時に照射
するものであることを特徴とする請求項１に記載のレチ
クル検査装置。 - 【請求項５】 前記少なくとも２分割された走査検査光
は、検査対象物の検査面の隣り合う位置に照射するもの
であることを特徴とする請求項２に記載のレチクル検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23269898A JP3228234B2 (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | レチクル検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23269898A JP3228234B2 (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | レチクル検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000066374A JP2000066374A (ja) | 2000-03-03 |
| JP3228234B2 true JP3228234B2 (ja) | 2001-11-12 |
Family
ID=16943380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23269898A Expired - Lifetime JP3228234B2 (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | レチクル検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3228234B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002169268A (ja) | 2000-11-30 | 2002-06-14 | Nec Corp | 光学式レチクル基板検査装置及びそのビーム走査方法 |
| US6946655B2 (en) | 2001-11-07 | 2005-09-20 | Applied Materials, Inc. | Spot grid array electron imaging system |
| US6639201B2 (en) * | 2001-11-07 | 2003-10-28 | Applied Materials, Inc. | Spot grid array imaging system |
| JP4600476B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2010-12-15 | 日本電気株式会社 | 微細構造物の欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
| JP4825833B2 (ja) * | 2008-03-18 | 2011-11-30 | 株式会社東芝 | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
-
1998
- 1998-08-19 JP JP23269898A patent/JP3228234B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000066374A (ja) | 2000-03-03 |
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