JP3226536B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
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- JP3226536B2 JP3226536B2 JP30915490A JP30915490A JP3226536B2 JP 3226536 B2 JP3226536 B2 JP 3226536B2 JP 30915490 A JP30915490 A JP 30915490A JP 30915490 A JP30915490 A JP 30915490A JP 3226536 B2 JP3226536 B2 JP 3226536B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は固体撮像装置に関し、特に高速転送を必要と
するFIT（Frame Interline Transfer）型CCD固体撮像装
置に関する。
するFIT（Frame Interline Transfer）型CCD固体撮像装
置に関する。
＜発明の概要＞ 本発明は、２次元配列された複数個の感光部及び垂直
転送部を含む撮像部と、垂直転送部からなる蓄積部とを
具備する固体撮像装置において、撮像部及び蓄積部の各
転送電極に対し駆動パルスを印加するシャント配線を撮
像部及び蓄積部で共通化することにより、チップサイズ
の縮小化及びチップの外部端子の端子数の削減を可能と
したものである。
転送部を含む撮像部と、垂直転送部からなる蓄積部とを
具備する固体撮像装置において、撮像部及び蓄積部の各
転送電極に対し駆動パルスを印加するシャント配線を撮
像部及び蓄積部で共通化することにより、チップサイズ
の縮小化及びチップの外部端子の端子数の削減を可能と
したものである。
＜従来の技術＞ FIT型CCD固体撮像装置は、その基本構成の概略を示す
第２図から明らかなように、垂直及び水平方向（図中、
Ｖ及びＨ方向）に２次元配列されて入射光量に応じた信
号電荷を蓄積する複数個の感光部（フォトセンサ）11及
びその垂直列毎に配されてこれら感光部11から読み出さ
れた信号電荷を垂直方向に転送する第１の垂直シフトレ
ジスタ（垂直転送部）12を有する撮像部１の他に、撮像
部１の垂直シフトレジスタ12に各列毎に連続した第２の
垂直シフトレジスタ21からなり、高速な電荷の転送によ
ってスミア成分の低減を可能とする蓄積部２を具備して
いる。蓄積部２はその全面がアルミニウム層からなる遮
光層で覆われている。
第２図から明らかなように、垂直及び水平方向（図中、
Ｖ及びＨ方向）に２次元配列されて入射光量に応じた信
号電荷を蓄積する複数個の感光部（フォトセンサ）11及
びその垂直列毎に配されてこれら感光部11から読み出さ
れた信号電荷を垂直方向に転送する第１の垂直シフトレ
ジスタ（垂直転送部）12を有する撮像部１の他に、撮像
部１の垂直シフトレジスタ12に各列毎に連続した第２の
垂直シフトレジスタ21からなり、高速な電荷の転送によ
ってスミア成分の低減を可能とする蓄積部２を具備して
いる。蓄積部２はその全面がアルミニウム層からなる遮
光層で覆われている。
撮像部１の垂直シフトレジスタ12には、ポリシリコン
からなる複数の転送電極（図示せず）が垂直方向に信号
電荷を転送し得るように形成されている。また、蓄積部
２の垂直シフトレジスタ21にも、同様に、ポリシリコン
からなる複数の転送電極（図示せず）が垂直方向に信号
電荷を転送し得るように形成されている。
からなる複数の転送電極（図示せず）が垂直方向に信号
電荷を転送し得るように形成されている。また、蓄積部
２の垂直シフトレジスタ21にも、同様に、ポリシリコン
からなる複数の転送電極（図示せず）が垂直方向に信号
電荷を転送し得るように形成されている。
撮像部１において、感光部11で光電変換された全画素
の信号電荷は、垂直シフトレジスタ12に読み出されかつ
当該レジスタ12によって蓄積部２に高速転送される。蓄
積部２に移された信号電荷は、垂直シフトレジスタ21に
よって１走査線に相当する部分ずつ水平シフトレジスタ
（水平転送部）３に高速転送される。１走査線分の信号
電荷は水平シフトレジスタ３によって順次水平方向に転
送される。水平シフトレジスタ３の最終端には、FDA（F
loating Diffusion Amplifier）等からなる出力回路部
（図示せず）が設けられ、撮像部１で光電変換して得ら
れた信号電荷を画像信号として導出する。
の信号電荷は、垂直シフトレジスタ12に読み出されかつ
当該レジスタ12によって蓄積部２に高速転送される。蓄
積部２に移された信号電荷は、垂直シフトレジスタ21に
よって１走査線に相当する部分ずつ水平シフトレジスタ
（水平転送部）３に高速転送される。１走査線分の信号
電荷は水平シフトレジスタ３によって順次水平方向に転
送される。水平シフトレジスタ３の最終端には、FDA（F
loating Diffusion Amplifier）等からなる出力回路部
（図示せず）が設けられ、撮像部１で光電変換して得ら
れた信号電荷を画像信号として導出する。
ところで、HD（高品位）TV等のテレビジョン方式の高
画素化に対応可能な固体撮像装置として、１インチ光学
系の200万画素のFIT型CCD固体撮像装置がある。
画素化に対応可能な固体撮像装置として、１インチ光学
系の200万画素のFIT型CCD固体撮像装置がある。
この１インチ光学系のHDTV用FIT型CCD固体撮像装置で
は、チップ面積が大きいことにより、垂直シフトレジス
タ（垂直CCD）の負荷容量が大きいため、第３図に示す
ように、第１、第２の垂直シフトレジスタ12,21の各転
送電極に駆動パルスを印加するためのシャント配線13,2
2を撮像部１と蓄積部２とで分離することにより、各シ
ャント配線13,22に対する負荷容量を半減させて駆動パ
ルスの伝播遅延を防止している（本出願人に係る特願平
２−42666号明細書参照）。
は、チップ面積が大きいことにより、垂直シフトレジス
タ（垂直CCD）の負荷容量が大きいため、第３図に示す
ように、第１、第２の垂直シフトレジスタ12,21の各転
送電極に駆動パルスを印加するためのシャント配線13,2
2を撮像部１と蓄積部２とで分離することにより、各シ
ャント配線13,22に対する負荷容量を半減させて駆動パ
ルスの伝播遅延を防止している（本出願人に係る特願平
２−42666号明細書参照）。
すなわち、撮像部１における第１の垂直シフトレジス
タ12の転送電極には、垂直方向に延在するシャント配線
13及びループ状のバスライン配線14を介して４相の駆動
パルスφV1〜φV4が印加されるようになっている。バス
ライン配線14は、複数のシャント配線13に共通に駆動パ
ルスφV1〜φV4を印加するためのものであり、４相に対
応して４本の配線パターン141〜144からなっている。こ
れら配線パターン141〜144には、ボンディングパッド15
1〜154を介してチップの外部端子（図示せず）から４相
の駆動パルスφV1〜φV4が印加される。
タ12の転送電極には、垂直方向に延在するシャント配線
13及びループ状のバスライン配線14を介して４相の駆動
パルスφV1〜φV4が印加されるようになっている。バス
ライン配線14は、複数のシャント配線13に共通に駆動パ
ルスφV1〜φV4を印加するためのものであり、４相に対
応して４本の配線パターン141〜144からなっている。こ
れら配線パターン141〜144には、ボンディングパッド15
1〜154を介してチップの外部端子（図示せず）から４相
の駆動パルスφV1〜φV4が印加される。
一方、蓄積部２における第２の垂直シフトレジスタ21
の転送電極には、水平方向に延在するシャント配線22及
びループ状のバスライン配線23を介して４相の駆動パル
スφV1〜φV4が印加されるようになっている。バスライ
ン配線23は、複数のシャント配線22に共通に駆動パルス
φV1〜φV4を印加するためのものであり、４相に対応し
て４本の配線パターン231〜234からなっている。これら
配線パターン231〜234には、ボンディングパッド241〜2
44を介してチップの外部端子（図示せず）から４相の駆
動パルスφV1〜φV4が印加される。
の転送電極には、水平方向に延在するシャント配線22及
びループ状のバスライン配線23を介して４相の駆動パル
スφV1〜φV4が印加されるようになっている。バスライ
ン配線23は、複数のシャント配線22に共通に駆動パルス
φV1〜φV4を印加するためのものであり、４相に対応し
て４本の配線パターン231〜234からなっている。これら
配線パターン231〜234には、ボンディングパッド241〜2
44を介してチップの外部端子（図示せず）から４相の駆
動パルスφV1〜φV4が印加される。
＜発明が解決しようとする課題＞ このように、１インチ光学系のHDTV用FIT型CCD固体撮
像装置では、シャント配線を撮像部１と蓄積部２とで分
離した構造となっているので、撮像部１及び蓄積部２の
両方にバスライン配線14,23の配線パターン141〜144,23
1〜234を形成する必要があった。そのために、配線パタ
ーン141〜144,231〜234及びボンディングパッド151〜15
4,241〜244の形成面積分だけ余計に面積が必要になると
ともに、ボンディングパッド151〜154,241〜244の数だ
けチップの外部端子が必要となるため、チップサイズの
縮小化及び端子数の削減の妨げとなっていた。
像装置では、シャント配線を撮像部１と蓄積部２とで分
離した構造となっているので、撮像部１及び蓄積部２の
両方にバスライン配線14,23の配線パターン141〜144,23
1〜234を形成する必要があった。そのために、配線パタ
ーン141〜144,231〜234及びボンディングパッド151〜15
4,241〜244の形成面積分だけ余計に面積が必要になると
ともに、ボンディングパッド151〜154,241〜244の数だ
けチップの外部端子が必要となるため、チップサイズの
縮小化及び端子数の削減の妨げとなっていた。
特に、バスライン配線14,23における駆動パルスφV1
〜φV4の伝播遅延を防止すべくバスライン配線14,23を
ループ状した場合には、配線パターン141〜144,231〜23
4が二重となることにより、ループ状でない場合に比し
て配線パターン141〜144,231〜234の形成に約２倍の面
積を要することになる。
〜φV4の伝播遅延を防止すべくバスライン配線14,23を
ループ状した場合には、配線パターン141〜144,231〜23
4が二重となることにより、ループ状でない場合に比し
て配線パターン141〜144,231〜234の形成に約２倍の面
積を要することになる。
そこで、本発明は、光学系のサイズの縮小化に伴いチ
ップサイズの縮小化及びチップの外部端子の端子数の削
減を可能とした固体撮像装置を提供することを目的とす
る。
ップサイズの縮小化及びチップの外部端子の端子数の削
減を可能とした固体撮像装置を提供することを目的とす
る。
＜課題を解決するための手段＞ 上記目的を達成するために、本発明による固体撮像装
置は、垂直及び水平方向に２次元配列された複数個の感
光部及びこれら感光部から読み出された信号電荷を垂直
方向に転送する第１の垂直転送部を含む撮像部と、第１
の垂直転送部に各列毎に連続した第２の垂直転送部から
なる蓄積部と、第1,第２の垂直転送部に沿って撮像部及
び蓄積部の各領域に亘って共通に形成されたシャント配
線と、撮像部及び蓄積部の各転送電極に対してシャント
配線を通して１系統の駆動パルスのみを共通に印加する
バスライン配線とを具備する構成を採っている。
置は、垂直及び水平方向に２次元配列された複数個の感
光部及びこれら感光部から読み出された信号電荷を垂直
方向に転送する第１の垂直転送部を含む撮像部と、第１
の垂直転送部に各列毎に連続した第２の垂直転送部から
なる蓄積部と、第1,第２の垂直転送部に沿って撮像部及
び蓄積部の各領域に亘って共通に形成されたシャント配
線と、撮像部及び蓄積部の各転送電極に対してシャント
配線を通して１系統の駆動パルスのみを共通に印加する
バスライン配線とを具備する構成を採っている。
本発明による他の固体撮像装置は、垂直及び水平方向
に２次元配列された複数個の感光部及びこれら感光部か
ら読み出された信号電荷を垂直方向に転送する第１の垂
直転送部を含む撮像部と、第１の垂直転送部に各列毎に
連続した第２の垂直転送部からなる蓄積部と、第1,第２
の垂直転送部に沿って撮像部及び蓄積部の各領域に亘っ
て共通に形成されたシャント配線と、撮像部及び蓄積部
の各転送電極に対してシャント配線を通して１系統の駆
動パルスを共通に印加するループ形状のバスライン配線
とを具備する構成を採っている。
に２次元配列された複数個の感光部及びこれら感光部か
ら読み出された信号電荷を垂直方向に転送する第１の垂
直転送部を含む撮像部と、第１の垂直転送部に各列毎に
連続した第２の垂直転送部からなる蓄積部と、第1,第２
の垂直転送部に沿って撮像部及び蓄積部の各領域に亘っ
て共通に形成されたシャント配線と、撮像部及び蓄積部
の各転送電極に対してシャント配線を通して１系統の駆
動パルスを共通に印加するループ形状のバスライン配線
とを具備する構成を採っている。
＜作用＞ 本発明による固体撮像装置では、光学系のサイズの縮
小化に伴い垂直シフトレジスタ（垂直CCD）の負荷容量
が低減されるため、シャント配線を延長して撮像部及び
蓄積部に共通化しても、駆動パルスを伝播遅延を生ずる
ことなく撮像部及び蓄積部の全体に亘って供給できる。
シャント配線の撮像部及び蓄積部での共通化により、バ
スライン配線及びボンディングパッドが１系統で済むた
め、チップサイズの縮小化できると共に、チップの外部
端子の端子数を削減できる。
小化に伴い垂直シフトレジスタ（垂直CCD）の負荷容量
が低減されるため、シャント配線を延長して撮像部及び
蓄積部に共通化しても、駆動パルスを伝播遅延を生ずる
ことなく撮像部及び蓄積部の全体に亘って供給できる。
シャント配線の撮像部及び蓄積部での共通化により、バ
スライン配線及びボンディングパッドが１系統で済むた
め、チップサイズの縮小化できると共に、チップの外部
端子の端子数を削減できる。
また、撮像部及び蓄積部の各転送電極に対してシャン
ト配線を通して１系統の駆動パルスを共通に印加するバ
スライン配線をループ形状にすることで、バスライン配
線の撮像部或いは蓄積部に沿った線の両端から給電され
ることになる。このため、ボンディングパッドから遠い
端部でも、駆動パルスの遅延が防止されることになる。
ト配線を通して１系統の駆動パルスを共通に印加するバ
スライン配線をループ形状にすることで、バスライン配
線の撮像部或いは蓄積部に沿った線の両端から給電され
ることになる。このため、ボンディングパッドから遠い
端部でも、駆動パルスの遅延が防止されることになる。
＜実施例＞ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明による固体撮像装置のシャント配線構
造を示す概略平面図である。なお、本発明が適用される
固体撮像装置は、例えば2/3インチ光学系のHDTV用FIT型
CCD固体撮像装置である。光学系のサイズが１インチか
ら2/3インチに縮小化されたことにより、撮像部１の面
積が1/2となり、これに伴い垂直シフトレジスタ（垂直C
CD）の負荷容量も1/2となるため、本発明においては、
撮像部１の垂直シフトレジスタ及び蓄積部２の垂直シフ
トレジスタの各転送電極に駆動パルスを印加するための
シャント配線４を延長して撮像部１及び蓄積部２で共通
化した構成となっている。
造を示す概略平面図である。なお、本発明が適用される
固体撮像装置は、例えば2/3インチ光学系のHDTV用FIT型
CCD固体撮像装置である。光学系のサイズが１インチか
ら2/3インチに縮小化されたことにより、撮像部１の面
積が1/2となり、これに伴い垂直シフトレジスタ（垂直C
CD）の負荷容量も1/2となるため、本発明においては、
撮像部１の垂直シフトレジスタ及び蓄積部２の垂直シフ
トレジスタの各転送電極に駆動パルスを印加するための
シャント配線４を延長して撮像部１及び蓄積部２で共通
化した構成となっている。
すなわち、撮像部１及び蓄積部２の垂直シフトレジス
タの各転送電極には、垂直方向において撮像部１の上端
部から蓄積部２の下端部に亘って延在するシャント配線
４及びループ状のバスライン配線５を介して４相の駆動
パルスφV1〜φV4が印加されるようになっている。シャ
ント配線４は、第１層目のアルミニウム層を微細加工す
ることによって形成され、各垂直シフトレジスタ上で垂
直方向に延在し、複数箇所で各転送電極にコンタクトホ
ールを介して接続されている。
タの各転送電極には、垂直方向において撮像部１の上端
部から蓄積部２の下端部に亘って延在するシャント配線
４及びループ状のバスライン配線５を介して４相の駆動
パルスφV1〜φV4が印加されるようになっている。シャ
ント配線４は、第１層目のアルミニウム層を微細加工す
ることによって形成され、各垂直シフトレジスタ上で垂
直方向に延在し、複数箇所で各転送電極にコンタクトホ
ールを介して接続されている。
このように、シャント配線４を撮像部１及び蓄積部２
に共通化しても、光学系のサイズの１インチから2/3イ
ンチへの縮小化に伴い垂直シフトレジスタの負荷容量が
1/2になるため、駆動パルスφV1〜φV4を伝播遅延を生
ずることなく撮像部１及び蓄積部２の全体に亘って供給
できることになる。
に共通化しても、光学系のサイズの１インチから2/3イ
ンチへの縮小化に伴い垂直シフトレジスタの負荷容量が
1/2になるため、駆動パルスφV1〜φV4を伝播遅延を生
ずることなく撮像部１及び蓄積部２の全体に亘って供給
できることになる。
バスライン配線５は、遮光層を形成する第２層目のア
ルミニウム層を加工することにより、水平方向を長手方
向とする長方形を描くループ形状に形成されている。バ
スライン配線５は、複数のシャント配線４に共通に駆動
パルスφV1〜φV4を供給するためのものであり、４相に
対応して４本の配線パターン51〜54からなっている。こ
れら配線パターン51〜54には、チップの外部端子にワイ
ヤボンディングされるボンディングパッド61〜64を介し
て４相の駆動パルスφV1〜φV4が印加される。これらボ
ンディングパッド61〜64は、第１層目のアルミニウム層
からなり、各々の配線パターン71〜74がバスライン配線
５の対応する配線パターン51〜54の下部まで延在するよ
うにパターン形成されて各配線パターン51〜54と電気的
に接続されている。
ルミニウム層を加工することにより、水平方向を長手方
向とする長方形を描くループ形状に形成されている。バ
スライン配線５は、複数のシャント配線４に共通に駆動
パルスφV1〜φV4を供給するためのものであり、４相に
対応して４本の配線パターン51〜54からなっている。こ
れら配線パターン51〜54には、チップの外部端子にワイ
ヤボンディングされるボンディングパッド61〜64を介し
て４相の駆動パルスφV1〜φV4が印加される。これらボ
ンディングパッド61〜64は、第１層目のアルミニウム層
からなり、各々の配線パターン71〜74がバスライン配線
５の対応する配線パターン51〜54の下部まで延在するよ
うにパターン形成されて各配線パターン51〜54と電気的
に接続されている。
バスライン配線５の各配線パターン51〜54は、水平方
向を長手方向とすることから、水平方向の中心線Ｏによ
って垂直方向に二分でき、その配線パターン51〜54の撮
像部１よりも遠い側でボンディングパッド61〜64への接
続がなされ、配線パターン51〜54の撮像部１に近い側で
シャント配線４との間の接続がなされる。
向を長手方向とすることから、水平方向の中心線Ｏによ
って垂直方向に二分でき、その配線パターン51〜54の撮
像部１よりも遠い側でボンディングパッド61〜64への接
続がなされ、配線パターン51〜54の撮像部１に近い側で
シャント配線４との間の接続がなされる。
バスライン配線５の各配線パターン51〜54をループ形
状としたことで、配線パターン51〜54の撮像部１に近い
側では、各シャント配線４に対して４相の駆動パルスφ
v1〜φv4が給電されるようになる。したがって、片側か
らのみ給電していた従来の固体撮像装置に比べて、クロ
ックの伝播遅延を大幅に低減することが可能である。
状としたことで、配線パターン51〜54の撮像部１に近い
側では、各シャント配線４に対して４相の駆動パルスφ
v1〜φv4が給電されるようになる。したがって、片側か
らのみ給電していた従来の固体撮像装置に比べて、クロ
ックの伝播遅延を大幅に低減することが可能である。
撮像部１及び蓄積部２の垂直シフトレジスタ上に各レ
ジスタ毎にそれぞれ形成される多数本のシャント配線４
は、４本のバスライン配線５の各配線パターン51〜54の
うちの位相が対応する配線パターンに接続される。従っ
て、各シャント配線４には、４相の駆動パルスφV1〜φ
V4のうちの位相が対応する駆動パルスが供給され、この
シャント配線４を介して各垂直シフトレジスタの転送電
極に各駆動パルスφV1〜φV4が印加されることになる。
ジスタ毎にそれぞれ形成される多数本のシャント配線４
は、４本のバスライン配線５の各配線パターン51〜54の
うちの位相が対応する配線パターンに接続される。従っ
て、各シャント配線４には、４相の駆動パルスφV1〜φ
V4のうちの位相が対応する駆動パルスが供給され、この
シャント配線４を介して各垂直シフトレジスタの転送電
極に各駆動パルスφV1〜φV4が印加されることになる。
なお、上記実施例では、CCDの転送の駆動方式として
４相駆動方式を例にとって説明したが、この駆動方式に
限定されるものではなく、２相やその他の駆動方式であ
っても良い。
４相駆動方式を例にとって説明したが、この駆動方式に
限定されるものではなく、２相やその他の駆動方式であ
っても良い。
＜発明の効果＞ 以上詳細に説明したように、本発明による固体撮像装
置においては、垂直転送電極に駆動パルスを印加するシ
ャント配線を撮像部及び蓄積部に共通化したことによ
り、このシャント配線に駆動パルスを供給するバスライ
ン配線及びボンディングパッドが１系統で済むことにな
るため、チップサイズを縮小化できると共に、チップの
外部端子の端子数を削減できる効果がある。
置においては、垂直転送電極に駆動パルスを印加するシ
ャント配線を撮像部及び蓄積部に共通化したことによ
り、このシャント配線に駆動パルスを供給するバスライ
ン配線及びボンディングパッドが１系統で済むことにな
るため、チップサイズを縮小化できると共に、チップの
外部端子の端子数を削減できる効果がある。
また、撮像部及び蓄積部の各転送電極に対してシャン
ト配線を通して１系統の駆動パルスを共通に印加するバ
スライン配線をループ形状にしたことで、バスライン配
線の撮像部或いは蓄積部に沿った線の両端から給電され
ることになるため、ボンディングパッドから遠い端部で
も駆動パルスの遅延が防止されることになる。
ト配線を通して１系統の駆動パルスを共通に印加するバ
スライン配線をループ形状にしたことで、バスライン配
線の撮像部或いは蓄積部に沿った線の両端から給電され
ることになるため、ボンディングパッドから遠い端部で
も駆動パルスの遅延が防止されることになる。
第１図は、本発明による固体撮像装置のシャント配線構
造を示す概略平面図、 第２図は、FIT型CCD固体撮像装置の基本構成を示す概略
平面図、 第３図は、従来のシャント配線構造を示す概略平面図で
ある。 １……撮像部， ２……蓄積部， ３……水平シフトレジスタ， 4,13,22……シャント配線， 5,14,23……バスライン配線， 61〜64,151〜154,241〜244……ボンディングパッド， 11……感光部， 12……第１の垂直シフトレジスタ， 21……第２の垂直シフトレジスタ。
造を示す概略平面図、 第２図は、FIT型CCD固体撮像装置の基本構成を示す概略
平面図、 第３図は、従来のシャント配線構造を示す概略平面図で
ある。 １……撮像部， ２……蓄積部， ３……水平シフトレジスタ， 4,13,22……シャント配線， 5,14,23……バスライン配線， 61〜64,151〜154,241〜244……ボンディングパッド， 11……感光部， 12……第１の垂直シフトレジスタ， 21……第２の垂直シフトレジスタ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭51−71724（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−150182（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−296668（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−157452（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 27/14
Claims (2)
- 【請求項１】垂直及び水平方向に２次元配列された複数
個の感光部及びこれら感光部から読み出された信号電荷
を垂直方向に転送する第１の垂直転送部を含む撮像部
と、 前記第１の垂直転送部に各列毎に連続した第２の垂直転
送部からなる蓄積部と、 前記第1,第２の垂直転送部に沿って前記撮像部及び前記
蓄積部の各領域に亘って共通に形成されたシャント配線
と、 前記撮像部及び前記蓄積部の各転送電極に対して前記シ
ャント配線を通して１系統の駆動パルスのみを共通に印
加するバスライン配線と を具備することを特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項２】垂直及び水平方向に２次元配列された複数
個の感光部及びこれら感光部から読み出された信号電荷
を垂直方向に転送する第１の垂直転送部を含む撮像部
と、 前記第１の垂直転送部に各列毎に連続した第２の垂直転
送部からなる蓄積部と、 前記第1,第２の垂直転送部に沿って前記撮像部及び前記
蓄積部の各領域に亘って共通に形成されたシャント配線
と、 前記撮像部及び前記蓄積部の各転送電極に対して前記シ
ャント配線を通して１系統の駆動パルスを共通に印加す
るループ形状のバスライン配線と を具備することを特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30915490A JP3226536B2 (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30915490A JP3226536B2 (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04180265A JPH04180265A (ja) | 1992-06-26 |
| JP3226536B2 true JP3226536B2 (ja) | 2001-11-05 |
Family
ID=17989572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30915490A Expired - Fee Related JP3226536B2 (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3226536B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002076319A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-15 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
| JP5080218B2 (ja) | 2007-11-28 | 2012-11-21 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置 |
-
1990
- 1990-11-15 JP JP30915490A patent/JP3226536B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04180265A (ja) | 1992-06-26 |
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