JP3220288B2 - 磁気ディスク基板用保持部材およびこれを用いた磁気ディスク装置 - Google Patents

磁気ディスク基板用保持部材およびこれを用いた磁気ディスク装置

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JP3220288B2 JP14610893A JP14610893A JP3220288B2 JP 3220288 B2 JP3220288 B2 JP 3220288B2 JP 14610893 A JP14610893 A JP 14610893A JP 14610893 A JP14610893 A JP 14610893A JP 3220288 B2 JP3220288 B2 JP 3220288B2
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【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータの外部記
憶装置として用いられる固定磁気ディスク装置、および
これに用いる保持部材に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より用いられる磁気ディスク装置
は、図3に示すように、回転軸13に固定されたハブ1
4に、複数の磁気ディスク基板15とスペーサ11を交
互に取付け、シム10およびクランプ12で押さえつけ
て、ネジ16を締め付けて固定するようになっている。
そして、回転軸13の回転により、これらの磁気ディス
ク基板15を回転させながら、磁気ヘッド17が各磁気
ディスク基板15の表面上を非接触状態で移動し、各磁
気ディスク基板15の所定位置に情報の書き込みや読み
取りを行うようになっている。
【0003】また、上記磁気ディスク基板15の材質と
しては、アルミニウム基板やガラス基板が用いられ、こ
の表面に磁性膜を形成していた。一方、シム10、スペ
ーサ11およびクランプ12などの保持部材としてはア
ルミニウムやステンレスなどの金属材が用いられてい
た。
【0004】このような磁気ディスク装置において、記
録密度を上げるためには、浮上した磁気ヘッド17と磁
気ディスク基板15との距離を微小にすればよく、現在
この距離を0.1μm以下と極めて微小な浮上量にする
ことが求められている。そのために、磁気ディスク基板
15の材質として、高剛性で熱膨張率の小さいセラミッ
ク材を用いれば良いことを本出願人は既に提案している
(例えば特公平3−64933号公報など参照)。ま
た、その他に磁気ディスク基板15の材質としてはガラ
スコーティングしたセラミックス、YAG、チタン、シ
リコン、カーボン等が提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の金属
製のシム10やスペーサ11、クランプ12では磁気デ
ィスク基板15と接触する面の平坦度をせいぜい3μm
程度にしかできず、しかも剛性が低いために締め付け時
に変形しやすいことから、締め付け時に磁気ディスク基
板15に撓みを生じやすかった。そして、磁気ディスク
基板15が撓むと、磁気ヘッド17と衝突しやすくなる
ため、磁気ヘッド17の浮上量を小さくできず、より高
密度の記録ができないという不都合があった。
【0006】また、上記磁気ディスク基板15としてセ
ラミックス製のものを用いる場合、保持部材であるシム
10、スペーサ11、クランプ12がアルミニウムなど
の金属製であると、両者の熱膨張率の差が大きいことか
ら、使用時に高速回転して高温になると磁気ディスク基
板15に歪みを生じたり、締めつけが緩んだりするなど
の問題点があった。
【0007】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、シ
ム、スペーサ、クランプなどの保持部材を、熱膨張率が
20×10-6/℃以下、ヤング率が13000kg/m
2以上、体積固有抵抗値が106Ω・cm以下の導電性
を有するセラミックスで形成し、磁気ディスク基板との
接触面の平坦度を3μm以下とするとともに、上記接触
面の少なくとも外周縁のエッジ部にC面またはR面の面
取りを施したものである。また、回転軸を備えるハブ
に、上記保持部材を介して複数の磁気ディスク基板を所
定間隔に保持して磁気ディスク装置を構成したものであ
る。
【0008】なお、本発明において保持部材とは、複数
の磁気ディスク基板を所定間隔に保持するために用いる
スペーサや、この磁気ディスク基板を回転軸に取り付け
るために用いるシム、クランプなどのことである。
【0009】
【実施例】以下本発明の実施例を説明する。
【0010】まず、本発明の保持部材の一例であるスペ
ーサを図1に示す。このスペーサ11は、セラミックス
からなるリング状体であって、上下の磁気ディスク基板
との接触面11aは、それぞれ平坦度3μm以下で表面
粗さ(Ra)は2.0μm以下の滑らかな面となってお
り、かつ上下の接触面11aの平行度は5μm以下とな
っている。また、各エッジ部11bにはC面またはR面
の面取りが施されている。
【0011】なお、本発明の保持部材の一例であるシム
については、図示していないが、上記スペーサ11と同
じ形状で、やや薄いものである。
【0012】次に保持部材の他の例であるクランプを図
2に示す。このクランプ12は、セラミックスからなる
板状体であって、接触面12aは平坦度3μm以下で表
面粗さ(Ra)は2.0μm以下の滑らかな面となって
いる。また、外周のエッジ部12bにはC面またはR面
の面取りが施されており、締め付けのためのネジ孔12
cを有している。さらに、取付時にハブと組み合わされ
る段部12dを有している。
【0013】次に、これらのシム10、スペーサ11、
クランプ12を用いた磁気ディスク装置を図3に示す。
回転軸13に結合されたハブ14に形成されたフランジ
部14aにセラミック製のスペーサ11と磁気ディスク
基板15を交互に配置してゆき、これらの上端をシム1
0およびクランプ12で押さえてネジ16で締め付ける
ことにより、2〜8枚程度の磁気ディスク基板15を所
定間隔で固定してある。そして、回転軸13によってハ
ブ14および各磁気ディスク基板15を回転させなが
ら、磁気ディスク基板15の表面上を微小距離隔てて浮
上する磁気ヘッド17によって、所定位置に情報の書き
込み読み出しを行うようになっている。
【0014】また、上記磁気ディスク基板15として
は、一般的にはアルミニウム基板が用いられるが、アル
ミナなどのセラミックスの表面にグレーズ層を形成し、
該グレーズ層上に磁性膜を備えたもの、あるいは全体が
ガラスからなりその表面に磁性膜を備えたもの等を用い
ても良い。さらに、その他の材質として、チタン、シリ
コン、YAG、カーボン等を用いることもできる。
【0015】上記、本発明の保持部材であるシム10、
スペーサ11、クランプ12は、高剛性のセラミックス
からなるため、締め付け時に変形することがなく、また
その接触面11a、12aが平坦度3μm以下の面とな
っていることから、各磁気ディスク基板15を極めて高
精度に保持することができる。
【0016】さらに、磁気ディスク基板15としてセラ
ミックスまたはガラスから成るものを用いれば、シム1
0、スペーサ11、クランプ12との熱膨張率が互いに
近似したものとなるため、高速回転時に高温になっても
熱膨張差に伴う不都合が生じることはない。したがっ
て、磁気ヘッド17の磁気ディスク基板に対する浮上量
を極めて小さくすることができ、情報記録密度を高くす
ることが可能となる。
【0017】なお、図3の例ではクランプ12はシム1
0を介して磁気ディスク基板15を保持するようになっ
ているが、この他にクランプ12が図面最上段の磁気デ
ィスク基板15と接触して保持する構造とすることもで
きる。また、同様にハブ14が図面最下段の磁気ディス
ク基板15と接触して保持する構造とすることもでき、
この場合はハブ14もセラミックスまたはガラスで形成
することが好ましい。
【0018】ここで、上記シム10、スペーサ11、ク
ランプ12などの保持部材をなす材質は、熱膨張率20
×10-6/℃以下、好ましくは12×10-6/℃以下の
セラミックスを用いるが、セラミックスとしては、表1
に特性を示すように、導電性アルミナ、炭化珪素、アル
チック、チタン酸バリウム、サーメットなどさまざまな
ものを用いることができる。
【0019】表1中の導電性アルミナセラミックスとは
Al2370〜80重量%で、残部に導電性付与剤とし
て10〜20重量%のTiO2などを含む焼結体であ
り、酸化雰囲気で焼成したものは体積固有抵抗が108
Ω・cm、還元雰囲気で焼成したものは体積固有抵抗が
103〜106Ω・cmとなる。
【0020】また、炭化珪素質セラミックスはSiCを
90重量%以上含み、残部が炭素(C)とホウ素
(B)、またはAl23とY23などからなるものであ
る。
【0021】さらに、アルチックとは、20〜80重量
%のAl23と、80〜20重量%のTiCを主成分と
する焼結体であり、高硬度で導電性を有する焼結体であ
る。
【0022】また、チタン酸バリウムとは10〜20モ
ル%のBaOと、90〜80モル%のTiO2を主成分
とし、この主成分100重量部に対し、Al、Si、Z
r、Nb、Srから選ばれる少なくとも一種の金属酸化
物を0.01〜4.0重量部含有し、還元性雰囲気中で
焼成したものである。
【0023】さらに、サーメットとは、硬質相をなすセ
ラミック成分と、結合相をなす金属成分からなる複合焼
結体であって、特に10〜90重量%のTiCと5〜9
0重量%のTiNを主成分とし、さらに添加剤として5
a族金属の炭化物を含み、結合相として鉄族金属を含む
ものを用いる。
【0024】これらのセラミックスの特性を比較例であ
るアルミニウム(金属)と比べると、表1より明らかな
ように、いずれもヤング率が13000kg/mm2
上と高いことから締め付け時に変形しにくく、かつ熱膨
張率が12×10-6/℃以下と小さいことから高温時に
も不都合が生じにくい。
【0025】さらに、導電性アルミナ、炭化珪素、アル
チック、チタン酸バリウム、サーメットなどの材料は体
積固有抵抗が106Ω・cm以下と導電性を有している
ことから、磁気ディスク基板15の静電気を逃がすこと
ができる。なお、窒化珪素は導電性を有しないが、Ti
などの導電性付与剤を含有させることで、体積固有抵抗
を106Ω・cm以下とすることができ、このような導
電性窒化珪素を用いればより好適である。
【0026】
【表1】
【0027】そして、磁気ディスク基板15の材質に応
じて、上記保持部材の材質の中から熱膨張率の近似する
ものを用いれば良い。例えばセラミックス製の磁気ディ
スク基板15を用いる場合は、保持部材として表1中の
熱膨張率10×10-6/℃以下のセラミックスを用いれ
ば良い。
【0028】また、本発明の保持部材においては、接触
面11a、12aの平坦度を3μm以下、好ましくは1
μm以下、さらに好ましくは0.3μm以下とすること
が重要であり、このような平坦性の優れた接触面11
a、12aとすることにより、各磁気ディスク基板15
の位置決めを精度良くでき、より高密度の記録を可能と
できるのである。さらに、同様の理由で上下の接触面1
1a、12a間の平行度は5μm以下、好ましくは3μ
m以下とする。
【0029】例えば、上記セラミック材からなる保持部
材の接触面11a、12aの平坦度を3μm以下とする
ためには、セラミック材に対し、両頭式の研削盤または
研磨盤を用いて、ダイヤモンドツールやダイヤ砥粒を用
いて研削あるいは研磨を行えば良く、このときセラミッ
ク材が高剛性であることにより、平坦度および平行度を
3μm以下、好ましくは1μm以下、さらに好ましくは
0.3μm以下とすることができる。さらに、この時の
セラミック材の表面粗さ(Ra)は2.0μm以下とで
き、その表面状態を金属材と比較して図4に示すよう
に、セラミック材の表面には凸部がなく凹部のみしか存
在しないため、この面に接触する磁気ディスク基板15
に悪影響を及ぼすことがない。
【0030】ここで、スペーサ11の接触面11aの平
坦度を変化させて、このスペーサ11で保持した時の磁
気ディスク基板15の周縁部での変位量を求めた。図5
に示すように、半径rで接触面11aの平坦度Fのスペ
ーサ11を用い、半径Rの磁気ディスク基板15を保持
して最大の撓みが発生した場合、磁気ディスク基板の反
り角度θは、 θ=tan-1(2Fr/(r2−F2)) で表され、L=R−rとすると、磁気ディスク基板の周
縁での変位量Δgは、 Δg=Ltanθ+F =(2Fr/(r2−F2))L+F で表される。
【0031】いま、r=11.53mm、L=20.9
7mmとし、平坦度Fの値を変化させた時のΔgの値は
表2に示す通りである。この表2より明らかに、平坦度
Fを3μm以下、好ましくは1μm以下とすることで、
Δgを極端に小さくできることがわかる。
【0032】
【表2】
【0033】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、シム、
スペーサ、クランプなどの保持部材を、熱膨張率が20
×10-6/℃以下、ヤング率が13000kg/mm2
以上、体積固有抵抗値が106Ω・cm以下の導電性を
有するセラミックスにより形成するとともに、磁気ディ
スクとの接触面の平坦度を3μm以下とし、かつ上記接
触面の少なくとも外周縁のエッジ部にC面またはR面の
面取りを施したことによって、磁気ディスク基板を高精
度に保持することができるため、磁気ヘッドの浮上量を
0.1μm以下に小さくすることができ、より高密度の
記録が可能となる。
【0034】また、この保持部材とセラミックスまたは
ガラス製の磁気ディスク基板を組み合わせて磁気ディス
ク装置を構成すれば、保持部材と磁気ディスク基板の熱
膨張率が一致するため、使用時に高温となっても、磁気
ディスク基板の歪みや締めつけの緩みが生じることを防
止することができるなどのさまざまな特徴を持った磁気
ディスク装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気ディスク基板用保持部材の一例で
あるスペーサを示しており、(a)は斜視図、(b)は
(a)中のX−X線断面図である。
【図2】本発明の磁気ディスク基板用保持部材の一例で
あるクランプを示しており、(a)は斜視図、(b)は
(a)中のY−Y線断面図である。
【図3】本発明の磁気ディスク装置を示す断面図であ
る。
【図4】セラミック材と金属材の表面状態を比較する拡
大断面図である。
【図5】本発明の磁気ディスク装置における磁気ディス
ク基板の撓み量を示す概略図である。
【符号の説明】
10・・シム 11・・スペーサ 12・・クランプ 13・・回転軸 14・・ハブ 15・・磁気ディスク基板 16・・ネジ 17・・磁気ヘッド

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の磁気ディスク基板を所定間隔で保持
    するための部材であって、熱膨張率が20×10-6/℃
    以下、ヤング率が13000kg/mm2以上、体積固
    有抵抗値が106Ω・cm以下の導電性を有するセラミ
    ックスからなり、磁気ディスク基板との接触面が平坦度
    3μm以下で、かつ上記接触面の少なくとも外周縁のエ
    ッジ部にC面またはR面の面取りが施されていることを
    特徴とする磁気ディスク基板用保持部材。
  2. 【請求項2】回転軸を備えたハブに、熱膨張率が20×
    10-6/℃以下、ヤング率が13000kg/mm2
    上、体積固有抵抗値が106Ω・cm以下の導電性を有
    するセラミックスからなり、磁気ディスク基板との接触
    面の平坦度が3μm以下でかつ上記接触面の少なくとも
    外周縁のエッジ部にC面またはR面の面取りが施されて
    なる保持部材を、複数の磁気ディスク基板間に介在させ
    て複数の磁気ディスク基板同士を所定間隔に保持してな
    る磁気ディスク装置。
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JPH08297944A (ja) * 1995-04-26 1996-11-12 Nec Corp 焼きばめ媒体固定装置
US5917677A (en) * 1995-12-18 1999-06-29 Seagate Technology, Inc. Disk drive motor spindle hub assembly with separately formed hub ceramic flange attachment
WO2001021539A1 (fr) * 1999-09-21 2001-03-29 Kabushiki Kaisha Ohara Element de maintien pour disque de stockage d'information et unite de disque de stockage d'information
JP4024217B2 (ja) 2004-02-16 2007-12-19 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ 磁気ディスク装置
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