JP3220230B2 - 圧電バイモルフの製造方法 - Google Patents
圧電バイモルフの製造方法Info
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】金属板に圧電素子を接着した電子
部品である圧電バイモルフの製造方法に関係する。
部品である圧電バイモルフの製造方法に関係する。
【０００２】
【従来の技術】従来、薄い金属板に薄板状の圧電素子を
接着して用いる圧電バイモルフは、一般に、図１（ｄ）
及び図２（ｃ）に示すように、一枚の薄い金属板３の両
面を薄い板状の圧電素子１、２を接着して変位量を大き
くしたもの等が多く使用されている。この圧電バイモル
フ４の製造は、図２（ａ）に示すように、複数個分の広
さを持つ金属板の素板６と圧電セラミックスの薄板に電
極加工した圧電素子の素板７を接着剤で接着し、図２
（ｂ）に示すような接着体９を作成し、この接着体９を
鎖線で示す切断位置１２でダイヤモンド砥石のホイール
などで切断し、図２（ｃ）に示す圧電バイモルフ４の製
品に加工している。しかし、普通、セラミックスの切断
に適したダイヤモンド砥石などで切断しているが、金属
板を同時に切断するので切断抵抗が大きいので、切断砥
石の振れが大きくなり、欠けやひび割れ発生したり、切
断スピードを早くできない等の問題があった。又、砥石
の摩耗が大きく、製品のセラミックス部の圧電素子２の
端面に欠け５やひび割れが発生し易く、製品の特性のば
らつきを大きくし、信頼性を落とし生産性が落ちるとい
う問題があった。
接着して用いる圧電バイモルフは、一般に、図１（ｄ）
及び図２（ｃ）に示すように、一枚の薄い金属板３の両
面を薄い板状の圧電素子１、２を接着して変位量を大き
くしたもの等が多く使用されている。この圧電バイモル
フ４の製造は、図２（ａ）に示すように、複数個分の広
さを持つ金属板の素板６と圧電セラミックスの薄板に電
極加工した圧電素子の素板７を接着剤で接着し、図２
（ｂ）に示すような接着体９を作成し、この接着体９を
鎖線で示す切断位置１２でダイヤモンド砥石のホイール
などで切断し、図２（ｃ）に示す圧電バイモルフ４の製
品に加工している。しかし、普通、セラミックスの切断
に適したダイヤモンド砥石などで切断しているが、金属
板を同時に切断するので切断抵抗が大きいので、切断砥
石の振れが大きくなり、欠けやひび割れ発生したり、切
断スピードを早くできない等の問題があった。又、砥石
の摩耗が大きく、製品のセラミックス部の圧電素子２の
端面に欠け５やひび割れが発生し易く、製品の特性のば
らつきを大きくし、信頼性を落とし生産性が落ちるとい
う問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、上述
の問題を解消した、切断砥石の寿命が長く、製品に欠け
やひび割れが発生せず、早く切断でき、信頼性の高い圧
電バイモルフを生産性良く作れる圧電バイモルフの製造
方法を供する。
の問題を解消した、切断砥石の寿命が長く、製品に欠け
やひび割れが発生せず、早く切断でき、信頼性の高い圧
電バイモルフを生産性良く作れる圧電バイモルフの製造
方法を供する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
解決した、金属板と圧電素子の素材の薄板を接着し接着
体を構成し、この接着体を製品の幅に切断して圧電バイ
モルフを得る圧電バイモルフの製造方法において、金属
板の素板に、接着体の切断間隔即ち製品幅と切断砥石幅
を合わせた間隔で、切断砥石の幅かまたは若干広い幅の
スリットを予め加工し、このスリットが加工された金属
板の素板に、圧電素子の素板である電極加工された圧電
セラミックスの薄板を接着して、圧電バイモルフの素材
を作成し、これを所定の幅に切断して製品を得る製造方
法である。即ち、本発明は、金属板に圧電素子を貼付け
た圧電バイモルフの製造に於て、目的の圧電バイモルフ
の幅より広い金属板の素板に、同じく圧電素子を構成す
る製品の幅より広い圧電セラミックスの薄板を接着剤で
接着し、これを所定の製品幅に切断して得る圧電バイモ
ルフの製造方法において、上記金属板の素板に切断間隔
に等しい間隔でスリットを加工したものを用いることを
特徴とする圧電バイモルフの製造方法である。
解決した、金属板と圧電素子の素材の薄板を接着し接着
体を構成し、この接着体を製品の幅に切断して圧電バイ
モルフを得る圧電バイモルフの製造方法において、金属
板の素板に、接着体の切断間隔即ち製品幅と切断砥石幅
を合わせた間隔で、切断砥石の幅かまたは若干広い幅の
スリットを予め加工し、このスリットが加工された金属
板の素板に、圧電素子の素板である電極加工された圧電
セラミックスの薄板を接着して、圧電バイモルフの素材
を作成し、これを所定の幅に切断して製品を得る製造方
法である。即ち、本発明は、金属板に圧電素子を貼付け
た圧電バイモルフの製造に於て、目的の圧電バイモルフ
の幅より広い金属板の素板に、同じく圧電素子を構成す
る製品の幅より広い圧電セラミックスの薄板を接着剤で
接着し、これを所定の製品幅に切断して得る圧電バイモ
ルフの製造方法において、上記金属板の素板に切断間隔
に等しい間隔でスリットを加工したものを用いることを
特徴とする圧電バイモルフの製造方法である。
【０００５】
【作用】接着体の切断部分の金属板は、切断方向の両端
と中間のブリッジ部のみでその間はスリットとなってい
るため、切断抵抗は小さく、砥石の刃の振れも小さいの
で、切断速度も早くでき、砥石の刃の寿命も長くなる。
また、砥石の刃の振れも少ないことから、製品の圧電素
子に発生する欠けやひび割れも少なくできる。接着も接
着面内にスリットが散在するため余分な接着剤が逃げ易
く、均一に薄く接着できるので高い強度で接着できる。
と中間のブリッジ部のみでその間はスリットとなってい
るため、切断抵抗は小さく、砥石の刃の振れも小さいの
で、切断速度も早くでき、砥石の刃の寿命も長くなる。
また、砥石の刃の振れも少ないことから、製品の圧電素
子に発生する欠けやひび割れも少なくできる。接着も接
着面内にスリットが散在するため余分な接着剤が逃げ易
く、均一に薄く接着できるので高い強度で接着できる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例に付いて、図面を参照
して説明する。図１は、本発明の一実施例の圧電バイモ
ルフの製造方法を説明する説明図で、図１（ａ）はスリ
ット加工を施された金属板の素板を示し、図１（ｂ）は
金属板と圧電素子の素板の接着前の状態を示し、図１
（ｃ）は接着状態を示し、図１（ｄ）は切断上がりの圧
電バイモルフを示す。
して説明する。図１は、本発明の一実施例の圧電バイモ
ルフの製造方法を説明する説明図で、図１（ａ）はスリ
ット加工を施された金属板の素板を示し、図１（ｂ）は
金属板と圧電素子の素板の接着前の状態を示し、図１
（ｃ）は接着状態を示し、図１（ｄ）は切断上がりの圧
電バイモルフを示す。
【０００７】図１（ａ）に示すような、金属板の素板８
には製品の幅（図１（ｄ）のＤ）とほぼ等しい幅（図１
（ａ）のＡ）の帯部を残して切断用砥石の幅にほぼ等し
い幅（図１（ａ）のＣ）のスリット１０を加工し、スリ
ット１０部の長手方向の中央にはブリッジ１１を設けス
リット部の幅がずれないで安定するようにしてある。次
に、砥石の切断幅と製品の幅を加えた間隔（図１（ａ）
のＢ）でスリットを加工された金属板の素板８を用い
て、図１（ｂ）に示すように、圧電素子の素板７を両面
からサンドイッチ状に接着し、図１（ｃ）に示すような
接着体９を作成し、この接着体９を鎖線で示す切断位置
１２から切断し、図１（ｄ）に示す圧電バイモルフ４の
製品を得る。
には製品の幅（図１（ｄ）のＤ）とほぼ等しい幅（図１
（ａ）のＡ）の帯部を残して切断用砥石の幅にほぼ等し
い幅（図１（ａ）のＣ）のスリット１０を加工し、スリ
ット１０部の長手方向の中央にはブリッジ１１を設けス
リット部の幅がずれないで安定するようにしてある。次
に、砥石の切断幅と製品の幅を加えた間隔（図１（ａ）
のＢ）でスリットを加工された金属板の素板８を用い
て、図１（ｂ）に示すように、圧電素子の素板７を両面
からサンドイッチ状に接着し、図１（ｃ）に示すような
接着体９を作成し、この接着体９を鎖線で示す切断位置
１２から切断し、図１（ｄ）に示す圧電バイモルフ４の
製品を得る。
【０００８】本実施例の方法により、長さ４７ｍｍ、幅
２．３ｍｍ、厚さ０．６ｍｍのアクチュエータ等に使用
される圧電バイモルフを作成したところ、従来、３０％
程度出ていた欠け不良やひび割れ不良は皆無となった。
又、砥石の寿命は従来の３倍の量を切断してもまだ十分
な切れ味を保っていた。切断スピードも従来の倍の早さ
でも十分品質が確保できた。さらに、スリット部の幅を
砥石の幅より僅かに広くすることにより本発明の効果は
更に向上した。
２．３ｍｍ、厚さ０．６ｍｍのアクチュエータ等に使用
される圧電バイモルフを作成したところ、従来、３０％
程度出ていた欠け不良やひび割れ不良は皆無となった。
又、砥石の寿命は従来の３倍の量を切断してもまだ十分
な切れ味を保っていた。切断スピードも従来の倍の早さ
でも十分品質が確保できた。さらに、スリット部の幅を
砥石の幅より僅かに広くすることにより本発明の効果は
更に向上した。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
切断加工がはやくでき、切断用砥石の寿命が長く、切断
上がりの圧電バイモルフの端面に欠け等がなく、接着層
も薄く均一の厚さで強力な接着が出来た信頼性の高い圧
電バイモルフが経済的に製造できる圧電バイモルフの製
造方法が得られる。
切断加工がはやくでき、切断用砥石の寿命が長く、切断
上がりの圧電バイモルフの端面に欠け等がなく、接着層
も薄く均一の厚さで強力な接着が出来た信頼性の高い圧
電バイモルフが経済的に製造できる圧電バイモルフの製
造方法が得られる。
【図１】本発明の一実施例の圧電バイモルフの製造方法
を説明する説明図で、図１（ａ）はスリット加工を施さ
れた金属板の素板を示し、図１（ｂ）は金属板の素板と
圧電素子の素板の接着前の状態を示し、図１（ｃ）は接
着状態を示し、図１（ｄ）は切断上がりの圧電バイモル
フを示す。
を説明する説明図で、図１（ａ）はスリット加工を施さ
れた金属板の素板を示し、図１（ｂ）は金属板の素板と
圧電素子の素板の接着前の状態を示し、図１（ｃ）は接
着状態を示し、図１（ｄ）は切断上がりの圧電バイモル
フを示す。
【図２】従来の圧電バイモルフの製造方法を説明する説
明図で、図２（ａ）は従来の金属板の素板と圧電素子の
素板の接着前の状態を示し、図２（ｂ）は接着状態を示
し、図２（ｃ）は切断上がりの圧電バイモルフを示す。
明図で、図２（ａ）は従来の金属板の素板と圧電素子の
素板の接着前の状態を示し、図２（ｂ）は接着状態を示
し、図２（ｃ）は切断上がりの圧電バイモルフを示す。
１ 圧電素子 ２ 圧電素子 ３ 金属板 ４ 圧電バイモルフ ５ 欠け ６ 金属板の素板 ７ 圧電素子の素板 ８ （スリット加工の施された）金属板の素板 ９ 接着体 １０ スリット １１ ブリッジ １２ 切断位置
Claims (1)
- 【請求項１】 金属板に圧電素子を貼付けた圧電バイモ
ルフの製造に於て、目的の圧電バイモルフの幅より広い
金属板の素板に、同じく圧電素子を構成する製品の幅よ
り広い圧電セラミックスの薄板を接着剤で接着し、これ
を所定の製品幅に切断して得る圧電バイモルフの製造方
法において、上記金属板の素板に切断間隔に等しい間隔
でスリットを加工したものを用いることを特徴とする圧
電バイモルフの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15862192A JP3220230B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 圧電バイモルフの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15862192A JP3220230B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 圧電バイモルフの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06177448A JPH06177448A (ja) | 1994-06-24 |
| JP3220230B2 true JP3220230B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=15675714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15862192A Expired - Fee Related JP3220230B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 圧電バイモルフの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3220230B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6525144B1 (en) | 1997-08-19 | 2003-02-25 | Nippon Zeon Co., Ltd. | Norbornene polymer and production process |
-
1992
- 1992-05-25 JP JP15862192A patent/JP3220230B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6525144B1 (en) | 1997-08-19 | 2003-02-25 | Nippon Zeon Co., Ltd. | Norbornene polymer and production process |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06177448A (ja) | 1994-06-24 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |