JP3218996B2 - ミリ波導波路 - Google Patents
ミリ波導波路Info
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Description
伝送装置の導波路に関する。
路としては、1996年IEEE MTT−Sダイジェ
スト797頁から800頁に記載されたものが知られて
いる。
シリコン基板801に二酸化珪素802(SiO2)を
積層し、その上にマイクロストリップ線路803を形成
している。シールド構造を得るために金属を積層したキ
ャリア基板804と、マイクロマシン加工されたシリコ
ン基板805とを用いて、シリコン基板801を挟み込
むような構造でシールドされたマイクロストリップ線路
を形成している。
いては、マイクロストリップ線路を二酸化珪素で支えて
いるため、強度の課題がある。またマイクロマシンによ
る加工を2枚のシリコン基板に施し、強度を得るためか
なり厚い二酸化珪素膜を形成する必要があるために、加
工のプロセスが複雑になるという課題がある。
り、簡便な加工によりミリ波において低損失な導波路を
得ること目的とする。
に本発明は、単結晶基板に異方性エッチングにより溝を
設け、溝を設けた面にグランド面として導体を積層し、
マイクロストリップ線路を形成した別の基板を張り合わ
せるように構成したものである。
なマイクロストリップ線路によるミリ波導波路が得られ
る。
は、第1の単結晶基板に異方性エッチングにより溝を設
け、溝を設けた面にグランド面として導体を積層し、第
2の単結晶基板に第1のマイクロストリップ線路導体
と、前記第1の単結晶基板と接続する面にグランド面と
して導体を積層し、前記第1の単結晶基板に設けた溝の
上に、前記第2の単結晶基板に設けた第1のマイクロス
トリップ線路が配置されるように、前記第1および第2
の単結晶基板を接続した構造を有し、前記マイクロスト
リップ線路と前記溝に設けられた導体との間が空気であ
るミリ波導波路である。このような構成とすることによ
り、シールド構造を持つミリ波の導波路として低損失で
あるという作用を有する。
よび第2の単結晶基板としてどちらか一方または両方に
シリコン基板を用いたものであり、シリコン基板を用い
ることで安価にミリ波導波路が構成できるという作用を
有する。
としてニッケルクロムを積層しその上に金を積層した導
体層を有するものであり、導体の積層に必要なニッケル
クロム層に電流が流れないため、低損失な導波路が構成
できるという作用を有する。
板に設けた溝の中央に突起を設けたものであり、マイク
ロストリップ線路の電流密度を均一にできるため、導体
損を低減するという作用を有する。
単結晶基板の第1のマイクロストリップ線路導体を構成
した面に対する裏面に別の第2のマイクロストリップ線
路を設け、第1および第2のマイクロストリップ線路を
バイアホールを通じて接続し、第2のマイクロストリッ
プ線路上にマイクロバンプを用いて、半導体プロセスに
よる能動素子をフリップチップ実装するものであり、能
動素子を低損失な導波路で接続できるという作用を有す
る。
に異方性エッチングにより溝を設け、溝を設けた面にグ
ランド面として導体を積層し、第2の単結晶基板に異方
性エッチングにより、前記第1の単結晶基板の溝に勘合
するような凸部を設け、凸部の高さを溝の深さの半分と
し、前記凸部の上に第1のマイクロストリップ線路を設
け、前記凸部以外の部分にグランド面として導体を積層
し、前記第1の単結晶基板に設けた溝の上に、前記第2
の単結晶基板に設けた第1のマイクロストリップ線路が
配置されるように、前記第1および第2の単結晶基板を
接続した構造を有し、シールド構造を持った低損失なミ
リ波導波路を構成できるという作用を有する。
板に異方性エッチングにより溝を設け、溝を設けた面に
グランド面として導体を積層し、第2の単結晶基板に導
体を積層し、前記第1の単結晶基板と、前記第2の単結
晶基板を接続し、空間を設け、前記第2の単結晶基板の
裏面に形成したマイクロストリップ線路から、前記第2
の単結晶基板の導体の一部形成した穴を通じて前記空間
内に貫通するプローブを接続した構造を有し、ミリ波に
おいて高いQを有する共振器を具備するミリ波導波路が
構成できるという作用を有する。
ブの代わりに第2の単結晶基板の導体にスロット窓を設
けた構造を有し、スロット結合によりバイアホールなど
の加工の必要がないという作用を有する。
から図7を用いて説明する。 (実施の形態1)図1は本発明の一実施の形態によるミ
リ波導波路構造の概念図を示し、図1において101は
シリコン基板、102、105はニッケルクロム薄膜、
103、106は金のグランド導体、104はシリコン
基板、108はマイクロストリップ線路である。103
と106の金同士を熱圧着することで101と104の
シリコン基板を接続する。
を持ったマイクロストリップ線路を実現できる。シール
ド構造とすることでミリ波帯において問題となる放射に
よる損失を低減できる。また通常シリコン基板の上には
膜の密着性から、金を直接積層することは困難であり、
抵抗体であるニッケルクロムを層間に入れる必要があ
る。通常のマイクロストリップ構造では、グランド導体
に近い方にニッケルクロムが存在し、高周波の電流が流
れるため、損失の原因となっている。しかし本発明の構
造では、ニッケルクロムの層には電流がほとんど流れな
いために、損失を低減できる。
形態によるミリ波導波路構造の概念図を示し、図2にお
いて実施の形態1と異なるのは、シリコン基板201の
溝の中央に突起209を形成している点である。
トリップ線路208に流れる電流密度は、通常のマイク
ロストリップ線路では、線路の両端に電流が集中する
が、線路の中央部にも電流が流れるようにでき、電流密
度を分散させることができるため、導体損失をさらに低
減できる。
形態によるミリ波導波路構造の概念図を示し、図3にお
いて401はシリコン基板、403、406は金のグラ
ンド導体、404はシリコン基板、408はマイクロス
トリップ線路である。実施の形態1と異なるのは、シリ
コン基板401の溝の中央にマイクロストリップ線路を
形成し、溝のないシリコン基板404にはグランド導体
を形成している点である。
体としたマイクロストリップ線路が実現できるため、誘
電体損による損失を低減できる。
形態によるミリ波導波路構造の概念図を示す。図4にお
いて実施の形態1と異なる点は、シリコン基板304の
両面にマイクロストリップ線路308、309を形成
し、マイクロストリップ線路308は、シールド構造の
低損失のマイクロストリップ線路とし、マイクロストリ
ップ線路308と309間はバイアホール312で接続
し、マイクロストリップ線路309の上にHEMT、H
BTなどのミリ波素子またはMMICをマイクロバンプ
311を用いて、フリップチップ実装した構造を有する
点である。
ICやFETを低損失で接続することができる。
形態によるミリ波導波路構造の概念図を示し、図5にお
いて501はシリコン基板、503、506は金のグラ
ンド導体、504はシリコン基板、508はマイクロス
トリップ線路である。実施の形態1と異なるのは、シリ
コン基板501の中央に凸部を設け、凸部はシリコン基
板504に設けた溝に勘合するような形状とし、凸部の
高さを溝の深さの半分程度にする。凸部の上にマイクロ
ストリップ線路508を形成し、凸部以外の面にグラン
ド導体506を形成している。シリコン基板501と5
04を接合することで、空気を誘電体とするマイクロス
トリップ構造が実現できる。
ド効果を高めることができ、ミリ波において問題となる
放射による損失を低減できる。
形態によるミリ波共振器構造の概念図を示し、図6にお
いて601、604はシリコン基板、603、606は
導体膜、609はマイクロストリップ線路、610はプ
ローブである。シリコン基板601に異方性エッチング
により底面が長方形の穴を形成し、シリコン基板604
で蓋をすることにより、空洞共振器が形成できる。この
空洞共振器に対して、プローブ610を介してマイクロ
ストリップ線路609と結合する。
め、低損失な共振器を有するミリ波導波路が実現でき
る。
形態によるミリ波共振器構造の概念図を示し、図7にお
いて実施の形態6と異なるのは、共振器とマイクロスト
リップ線路との結合をスロット窓710を介して行って
いる点である。
ン基板704にプローブを挿入する加工が必要なく、簡
易な加工で形成できる共振器を有するミリ波導波路が実
現できる。
波路を比較的簡易な加工法で低損失化が実現でき、準平
面的な構造であるために、MMIC等との接続も簡易に
できるという有利な効果が得られる。
の概念図
の概念図
の概念図
の概念図
の概念図
の概念図
の概念図
Claims (11)
- 【請求項1】 第1の単結晶基板に異方性エッチングに
より溝を設け、溝を設けた面にグランド面として導体を
積層し、第2の単結晶基板に第1のマイクロストリップ
線路導体と、前記第1の単結晶基板と接続する面にグラ
ンド面として導体を積層し、前記第1の単結晶基板に設
けた溝の上に、前記第2の単結晶基板に設けた第1のマ
イクロストリップ線路が配置されるように、前記第1お
よび第2の単結晶基板を接続した構造を有し、前記マイ
クロストリップ線路と前記溝に設けられた導体との間が
空気であるミリ波導波路。 - 【請求項2】 第1および第2の単結晶基板としてどち
らか一方または両方にシリコン基板を用いたことを特長
とする請求項1記載のミリ波導波路。 - 【請求項3】 導体層としてニッケルクロムを積層しそ
の上に金を積層した導体層を有する請求項1記載のミリ
波導波路。 - 【請求項4】 第1の単結晶基板に設けた溝の中央に突
起を設けたことを特長とする請求項1記載のミリ波導波
路。 - 【請求項5】 第2の単結晶基板の第1のマイクロスト
リップ線路導体を構成した面に対する裏面に別の第2の
マイクロストリップ線路を設け、第1および第2のマイ
クロストリップ線路をバイアホールを通じて接続し、第
2のマイクロストリップ線路上にマイクロバンプを用い
て、半導体プロセスによる能動素子をフリップチップ実
装したことを特長とする請求項1記載のミリ波導波路。 - 【請求項6】 第1の単結晶基板に異方性エッチングに
より溝を設け、溝を設けた面にグランド面として導体を
積層し、第2の単結晶基板に異方性エッチングにより、
前記第1の単結晶基板の溝に勘合するような凸部を設
け、凸部の高さを溝の深さの半分とし、前記凸部の上に
第1のマイクロストリップ線路を設け、前記凸部以外の
部分にグランド面として導体を積層し、前記第1の単結
晶基板に設けた溝の上に、前記第2の単結晶基板に設け
た第1のマイクロストリップ線路が配置されるように、
前記第1および第2の単結晶基板を接続した構造を有す
ることを特長とするミリ波導波路。 - 【請求項7】 第1および第2の単結晶基板としてどち
らか一方または両方にシリコン基板を用いたことを特長
とする請求項6記載のミリ波導波路。 - 【請求項8】 導体層としてニッケルクロムを積層しそ
の上に金を積層した導体層を有する請求項6記載のミリ
波導波路。 - 【請求項9】 第1の単結晶基板の溝を掘っていない面
に第2のマイクロストリップ線路を設け第2のマイクロ
ストリップ線路上にマイクロバンプを用いて、半導体プ
ロセスによる能動素子をフリップチップ実装したことを
特長とする請求項6記載のミリ波導波路。 - 【請求項10】 第1の単結晶基板に異方性エッチング
により溝を設け、溝を設けた面にグランド面として導体
を積層し、第2の単結晶基板に導体を積層し、前記第1
の単結晶基板と、前記第2の単結晶基板を接続し、空間
を設け、前記第2の単結晶基板の裏面に形成したマイク
ロストリップ線路から、前記第2の単結晶基板の導体の
一部形成した穴を通じて前記空間内に貫通するプローブ
を接続した構造を有する共振器を具備することを特長と
するミリ波導波路。 - 【請求項11】 プローブの代わりに第2の単結晶基板
の導体にスロット窓を設けた共振器を有することを特長
とする請求項10記載のミリ波導波路。
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