JP3208148B2 - 透明導電性フィルム - Google Patents
透明導電性フィルムInfo
- Publication number
- JP3208148B2 JP3208148B2 JP11002291A JP11002291A JP3208148B2 JP 3208148 B2 JP3208148 B2 JP 3208148B2 JP 11002291 A JP11002291 A JP 11002291A JP 11002291 A JP11002291 A JP 11002291A JP 3208148 B2 JP3208148 B2 JP 3208148B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- transparent conductive
- plastic film
- layer
- plastic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プラスチックフィルム
またはシートを基材とした、透明導電性フィルムに関す
る。さらに詳しくは、液晶表示用電極、電場発光用電極
等、オプトエレクトロニクス、電気分野に広く利用可能
な耐透湿性、耐通気性に極めて優れたプラスチックフィ
ルムまたはシートを基板とした透明導電性フィルムに関
する。
またはシートを基材とした、透明導電性フィルムに関す
る。さらに詳しくは、液晶表示用電極、電場発光用電極
等、オプトエレクトロニクス、電気分野に広く利用可能
な耐透湿性、耐通気性に極めて優れたプラスチックフィ
ルムまたはシートを基板とした透明導電性フィルムに関
する。
【０００２】
【従来の技術】現在、汎用されている透明電極には、ガ
ラス基板上に酸化錫膜やＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜
等を形成した透明導電性積層物が広く用いられている。
しかしながら、これらは、基板がガラスであるために、
可撓性、加工性等が劣る為、用途面での制約を受け、さ
らには薄型化、量産化の期待にも答えることが困難であ
った。
ラス基板上に酸化錫膜やＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜
等を形成した透明導電性積層物が広く用いられている。
しかしながら、これらは、基板がガラスであるために、
可撓性、加工性等が劣る為、用途面での制約を受け、さ
らには薄型化、量産化の期待にも答えることが困難であ
った。
【０００３】そこで、近年、プラスチックフィルムまた
はシートを基板とした透明導電性フィルムが、可撓性、
加工性、耐衝撃性、薄型化、軽量化、連続生産性等で注
目され、一部実用化され始めている。
はシートを基板とした透明導電性フィルムが、可撓性、
加工性、耐衝撃性、薄型化、軽量化、連続生産性等で注
目され、一部実用化され始めている。
【０００４】しかしながら、透明導電層をプラスチック
フィルムまたはシート基板に直接設けて透明電極とした
場合、耐透湿性、耐通気性において問題があり、例え
ば、液晶表示素子に使用する液晶は、酸素や水分によっ
て酸化劣化や加水分解を起こし易いことや、液晶表示セ
ル内に気泡が生じることがあり、プラスチックフィルム
またはシートを基板とする透明電極を液晶表示素子に用
いる場合、耐久性に問題があった。
フィルムまたはシート基板に直接設けて透明電極とした
場合、耐透湿性、耐通気性において問題があり、例え
ば、液晶表示素子に使用する液晶は、酸素や水分によっ
て酸化劣化や加水分解を起こし易いことや、液晶表示セ
ル内に気泡が生じることがあり、プラスチックフィルム
またはシートを基板とする透明電極を液晶表示素子に用
いる場合、耐久性に問題があった。
【０００５】耐透湿性、耐通気性を改良する為には、基
板となるプラスチックフィルムまたはシートの厚みを増
すか、あるいはガスバリヤー性、水蒸気バリヤー性の良
いプラスチックフィルムを該基板に積層することにより
ある程度の耐透湿性、耐通気性を有するものを得ること
が可能である。しかし、充分な耐透湿性、耐通気性を持
った基板を得るために、プラスチックフィルムまたはシ
ート基板は、かなりの厚みになり、また、ガスバリヤー
性と水蒸気バリヤー性が共に優れているプラスチック素
材は殆ど無く、ガスバリヤー性の良いプラスチックと水
蒸気バリヤー性の良いプラスチックを複合して使用せざ
るを得なくなり、必然的にプラスチックフィルムの厚み
が増し、その為、可撓性が不足したり、バリヤー層をフ
ィルムへ積層するための工程が複雑になる等の問題があ
った。
板となるプラスチックフィルムまたはシートの厚みを増
すか、あるいはガスバリヤー性、水蒸気バリヤー性の良
いプラスチックフィルムを該基板に積層することにより
ある程度の耐透湿性、耐通気性を有するものを得ること
が可能である。しかし、充分な耐透湿性、耐通気性を持
った基板を得るために、プラスチックフィルムまたはシ
ート基板は、かなりの厚みになり、また、ガスバリヤー
性と水蒸気バリヤー性が共に優れているプラスチック素
材は殆ど無く、ガスバリヤー性の良いプラスチックと水
蒸気バリヤー性の良いプラスチックを複合して使用せざ
るを得なくなり、必然的にプラスチックフィルムの厚み
が増し、その為、可撓性が不足したり、バリヤー層をフ
ィルムへ積層するための工程が複雑になる等の問題があ
った。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、耐透湿性、
耐通気性に優れたプラスチックフィルムまたはシートを
基板とする透明導電性フィルムを提供することを目的と
するものである。
耐通気性に優れたプラスチックフィルムまたはシートを
基板とする透明導電性フィルムを提供することを目的と
するものである。
【０００７】すなわち、本発明は、プラスチックフィル
ム上にバリヤー層を設けた透明導電性フィルムにおい
て、酸素透過量が20℃で10cc／m2・24hr・atm 、水蒸気
透過率が40℃、85％RHで10ｇ／m2・24hr以下の高バリヤ
ー性を有するプラスチックフィルム基板を提供するもの
である。
ム上にバリヤー層を設けた透明導電性フィルムにおい
て、酸素透過量が20℃で10cc／m2・24hr・atm 、水蒸気
透過率が40℃、85％RHで10ｇ／m2・24hr以下の高バリヤ
ー性を有するプラスチックフィルム基板を提供するもの
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、プラスチ
ックフィルム上に金属薄膜と透明金属酸化物層との積層
体を形成し、これをバリヤー層として用いることによ
り、可撓性を有し、かつ透明性およびバリヤー性に優れ
た透明導電性フィルム基板を完成させた。
ックフィルム上に金属薄膜と透明金属酸化物層との積層
体を形成し、これをバリヤー層として用いることによ
り、可撓性を有し、かつ透明性およびバリヤー性に優れ
た透明導電性フィルム基板を完成させた。
【０００９】本発明に用いられるバリヤー層は、基板で
あるプラスチックフィルム上に金、銀、銅、アルミニウ
ム、チタン、パラジウム、珪素などの金属の薄膜層を、
酸化インジウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化錫、酸化
タングステン、酸化ジルコニウム、酸化珪素等の透明金
属酸化物層で挟み合わせたものが好ましく用いられ、特
に銀薄膜を酸化インジウムで挟み合わせたものが好まし
く用いられる。
あるプラスチックフィルム上に金、銀、銅、アルミニウ
ム、チタン、パラジウム、珪素などの金属の薄膜層を、
酸化インジウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化錫、酸化
タングステン、酸化ジルコニウム、酸化珪素等の透明金
属酸化物層で挟み合わせたものが好ましく用いられ、特
に銀薄膜を酸化インジウムで挟み合わせたものが好まし
く用いられる。
【００１０】これらバリヤー層の厚みは、通常 100Å以
上、3000Å以下が望ましく、特に、800〜1500Åが好ま
しい。
上、3000Å以下が望ましく、特に、800〜1500Åが好ま
しい。
【００１１】本発明に使用されるプラスチックフィルム
は、 600ｎｍの波長における光線透過率が少なくとも80
％以上、好ましくは85％以上であることが望ましい。
は、 600ｎｍの波長における光線透過率が少なくとも80
％以上、好ましくは85％以上であることが望ましい。
【００１２】また、フィルムの素材としては、疎水性樹
脂が望ましく、好ましい樹脂を例示するならば、ポリエ
ステル、ポリアミド、ポリエーテル、ポリスルフォン、
ポリアリレート、ポリエーテルスルフォン、ポリカーボ
ネート、ポリエーテルエーテルケトンなどのホモポリマ
ーまたはコポリマー等があげられる。
脂が望ましく、好ましい樹脂を例示するならば、ポリエ
ステル、ポリアミド、ポリエーテル、ポリスルフォン、
ポリアリレート、ポリエーテルスルフォン、ポリカーボ
ネート、ポリエーテルエーテルケトンなどのホモポリマ
ーまたはコポリマー等があげられる。
【００１３】本発明に用いられるプラスチックフィルム
の厚みは、通常５〜 500μｍ、好ましくは10〜 300μｍ
であり、さらに好ましくは25〜 100μｍが適当である。
の厚みは、通常５〜 500μｍ、好ましくは10〜 300μｍ
であり、さらに好ましくは25〜 100μｍが適当である。
【００１４】バリヤー層を形成する方法としは、スプレ
ー法、塗布等のほか、真空処理法等の公知の方法が利用
出来る。バリヤー性の高い膜を得る方法としては、真空
処理法が好ましい。ここで、真空処理法とは真空下で金
属等の薄膜を形成する方法であって、真空蒸着法、スパ
ッタリング法、イオンプレーティング法、イオン化蒸着
法、イオンビームアシスト蒸着法等が挙げられる。
ー法、塗布等のほか、真空処理法等の公知の方法が利用
出来る。バリヤー性の高い膜を得る方法としては、真空
処理法が好ましい。ここで、真空処理法とは真空下で金
属等の薄膜を形成する方法であって、真空蒸着法、スパ
ッタリング法、イオンプレーティング法、イオン化蒸着
法、イオンビームアシスト蒸着法等が挙げられる。
【００１５】バリヤー層を形成したプラスチックフィル
ムは、そのまま基板として用いてもよく、また、樹脂な
どにより保護層を形成するか接着剤などによりバリヤー
層面を他のプラスチックフィルムと接するように貼り合
わせても良い。ここで、使用される接着剤としては、エ
ポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタ
ン樹脂、シリコン樹脂等の公知の接着剤あるいは粘着剤
が使用し得る。
ムは、そのまま基板として用いてもよく、また、樹脂な
どにより保護層を形成するか接着剤などによりバリヤー
層面を他のプラスチックフィルムと接するように貼り合
わせても良い。ここで、使用される接着剤としては、エ
ポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタ
ン樹脂、シリコン樹脂等の公知の接着剤あるいは粘着剤
が使用し得る。
【００１６】透明導電膜は、金、銀、パラジウム等の金
属薄膜、ＩＴＯ、酸化錫の他、銀を酸化インジウムやＩ
ＴＯでサンドイッチしたものが用いられる。
属薄膜、ＩＴＯ、酸化錫の他、銀を酸化インジウムやＩ
ＴＯでサンドイッチしたものが用いられる。
【００１７】銀薄膜をＩＴＯまたは酸化インジウムでサ
ンドイッチしたものは、透明導電層とバリヤー層を同時
に形成することが出来、しかも、単に貼り合わせるだけ
であり、従来の方法に比べてはるかに簡便に製造するこ
とが可能である。
ンドイッチしたものは、透明導電層とバリヤー層を同時
に形成することが出来、しかも、単に貼り合わせるだけ
であり、従来の方法に比べてはるかに簡便に製造するこ
とが可能である。
【００１８】次に、本発明を図面を参照しながら説明す
る。図１〜図３は、本発明による透明導電性フィルムの
構造の１例を示す断面図であり、片面にバリヤー層を形
成したプラスチックフィルムを接着剤を介して、バリヤ
ー層とプラスチックフィルムとが接するように貼り合わ
せたものである。
る。図１〜図３は、本発明による透明導電性フィルムの
構造の１例を示す断面図であり、片面にバリヤー層を形
成したプラスチックフィルムを接着剤を介して、バリヤ
ー層とプラスチックフィルムとが接するように貼り合わ
せたものである。
【００１９】なお、図中、１は透明導電層、２はプラス
チックフィルムからなる基板、３は酸素および水蒸気バ
リヤー層、４はプラスチックからなるバリヤー層の保護
層。５は必要に応じて使用される接着剤層を表す。以
下、実施例により本発明を更に詳しく説明する。
チックフィルムからなる基板、３は酸素および水蒸気バ
リヤー層、４はプラスチックからなるバリヤー層の保護
層。５は必要に応じて使用される接着剤層を表す。以
下、実施例により本発明を更に詳しく説明する。
【００２０】
【実施例】実施例１ 厚み50μｍのポリエーテルスルホン製未延伸フィルムの
片面に、酸化インジウム／銀／酸化インジウムからなる
バリヤー層をＤＣマグネトロンスパッタリング法によ
り、1000Åの厚みで形成し、得られた該フィルムの片面
にエポキシ樹脂系接着剤を塗布し、その上にもう１枚の
該フィルムを、一方のフィルムのバリヤー膜ともう一方
のフィルムのプラスチック面とが接するように接着剤を
介して貼り合わせた。得られた基板上に、ＤＣマグネト
ロンスパッタリング法によりＩＴＯ膜を2000Å形成し、
透明導電性フィルムを得た。得られた透明導電性フィル
ムの 600ｎｍにおける光線透過率は80％であり、表面抵
抗は20Ω／□であった。また、酸素透過量は、４cc／m2
・24hr・atm であり、透湿量は、３ｇ／m2・24hrであっ
た。
片面に、酸化インジウム／銀／酸化インジウムからなる
バリヤー層をＤＣマグネトロンスパッタリング法によ
り、1000Åの厚みで形成し、得られた該フィルムの片面
にエポキシ樹脂系接着剤を塗布し、その上にもう１枚の
該フィルムを、一方のフィルムのバリヤー膜ともう一方
のフィルムのプラスチック面とが接するように接着剤を
介して貼り合わせた。得られた基板上に、ＤＣマグネト
ロンスパッタリング法によりＩＴＯ膜を2000Å形成し、
透明導電性フィルムを得た。得られた透明導電性フィル
ムの 600ｎｍにおける光線透過率は80％であり、表面抵
抗は20Ω／□であった。また、酸素透過量は、４cc／m2
・24hr・atm であり、透湿量は、３ｇ／m2・24hrであっ
た。
【００２１】比較例１厚み 100μｍのポリエーテルスル
ホン製未延伸フィルムの片面に、実施例１と同様のＩＴ
Ｏ膜を同法により形成した。得られた透明導電性フィル
ムの 600ｎｍにおける光線透過率は85％であり、表面抵
抗は20Ω／□であった。又、酸素透過量は、 140cc／m2
・24hr・atm であり、透湿量は、 110ｇ／m2・24hrであ
った。
ホン製未延伸フィルムの片面に、実施例１と同様のＩＴ
Ｏ膜を同法により形成した。得られた透明導電性フィル
ムの 600ｎｍにおける光線透過率は85％であり、表面抵
抗は20Ω／□であった。又、酸素透過量は、 140cc／m2
・24hr・atm であり、透湿量は、 110ｇ／m2・24hrであ
った。
【００２２】実施例２ 厚み50μｍのポリエーテルスルホン製未延伸フィルムの
片面に、ＩＴＯ／銀／ＩＴＯからなる薄膜をＤＣマグネ
トロンスパッタリング法により、1100Åの厚みで形成
し、得られた該フィルムの片面にシリコン樹脂系粘着剤
を塗布し、その上にもう１枚の該フィルムを、一方のフ
ィルムの薄膜ともう一方のフィルムのプラスチック面と
が接するように接着剤を介して貼り合わせた。得られた
透明導電性フィルムの 600ｎｍにおける光線透過率は79
％であり、表面抵抗は６Ω／□であった。また、酸素透
過量は、１cc／m2・24hr・atm であり、透湿量は、１ｇ
／m2・24hrであった。
片面に、ＩＴＯ／銀／ＩＴＯからなる薄膜をＤＣマグネ
トロンスパッタリング法により、1100Åの厚みで形成
し、得られた該フィルムの片面にシリコン樹脂系粘着剤
を塗布し、その上にもう１枚の該フィルムを、一方のフ
ィルムの薄膜ともう一方のフィルムのプラスチック面と
が接するように接着剤を介して貼り合わせた。得られた
透明導電性フィルムの 600ｎｍにおける光線透過率は79
％であり、表面抵抗は６Ω／□であった。また、酸素透
過量は、１cc／m2・24hr・atm であり、透湿量は、１ｇ
／m2・24hrであった。
【００２３】ＩＴＯ／銀／ＩＴＯの積層膜を、バリヤー
層と透明導電膜として用いることにより、作業工程が大
幅に改善された。
層と透明導電膜として用いることにより、作業工程が大
幅に改善された。
【００２４】実施例３厚み75μｍのポリスルホン製未延
伸フィルムの片面に酸化インジウム膜を 800Å形成し、
反対側に酸化チタン／銀／酸化チタンからなる薄膜を 6
00Å、高周波スパッタ法により形成し、酸化チタン／銀
／酸化チタン層上に約５μｍのポリ塩化ビニリデンから
なる保護層を設けた。得られた透明導電性フィルムの 6
00ｎｍにおける光線透過率は85％であり、表面抵抗は50
Ω／□であった。また、酸素透過量は、10cc／m2・24hr
・atm であり、透湿量は、10ｇ／m2・24hrであった。
伸フィルムの片面に酸化インジウム膜を 800Å形成し、
反対側に酸化チタン／銀／酸化チタンからなる薄膜を 6
00Å、高周波スパッタ法により形成し、酸化チタン／銀
／酸化チタン層上に約５μｍのポリ塩化ビニリデンから
なる保護層を設けた。得られた透明導電性フィルムの 6
00ｎｍにおける光線透過率は85％であり、表面抵抗は50
Ω／□であった。また、酸素透過量は、10cc／m2・24hr
・atm であり、透湿量は、10ｇ／m2・24hrであった。
【００２５】
【発明の効果】本発明により、酸素および水蒸気のいず
れに対しても優れたバリヤー性を有する透明導電性フィ
ルムの製造が可能となり、液晶表示用電極、電場発光体
用電極、エレクトロクロミズム用電極などエレクトロニ
クスの分野に広く利用され得るプラスチックフィルムを
基板とした信頼性の高い透明導電性フィルムの提供が可
能となった。特に、液晶表示パネルの大型化に際し、表
示素子の軽量化が可能となった。
れに対しても優れたバリヤー性を有する透明導電性フィ
ルムの製造が可能となり、液晶表示用電極、電場発光体
用電極、エレクトロクロミズム用電極などエレクトロニ
クスの分野に広く利用され得るプラスチックフィルムを
基板とした信頼性の高い透明導電性フィルムの提供が可
能となった。特に、液晶表示パネルの大型化に際し、表
示素子の軽量化が可能となった。
【図１】図１は、バリヤー層を設けたプラスチックフィ
ルムと透明導電層を設けたプラスチックフィルムを接着
剤により積層したものである。
ルムと透明導電層を設けたプラスチックフィルムを接着
剤により積層したものである。
【図２】図２は、プラスチックフィルムの両面にバリヤ
ー層と透明導電層を形成し、バリヤー層上にプラスチッ
クからなる保護層を積層したものである。
ー層と透明導電層を形成し、バリヤー層上にプラスチッ
クからなる保護層を積層したものである。
【図３】図３は、プラスチックフィルムの両面にバリヤ
ー層と透明導電層を形成し、バリヤー層上にプラスチッ
クフィルムを接着剤により積層したものである。
ー層と透明導電層を形成し、バリヤー層上にプラスチッ
クフィルムを接着剤により積層したものである。
１ 透明導電膜 ２ プラスチックフィルム ３ バリヤー層 ４ バリヤー層の保護膜 ５ 接着剤層
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01B 5/14 B32B 9/00 G02F 1/1343
Claims (3)
- 【請求項１】 プラスチックフィルムまたはシートの少
なくとも片面に銀薄膜をITO、酸化インジウムまたは酸
化チタン薄膜で挟み合わせた、表面抵抗が50Ω／□以下
の透明導電性とバリヤー性をもつ層が設けてあり、酸素
透過率が20℃で10cc/m2・24hr・atm以下，水蒸気透過率が
40℃、85％RHで10g/m2・24hr以下であることを特徴とす
る透明導電性プラスチックフィルム基板。 - 【請求項２】 透明導電性とバリヤー性をもつ層が樹脂
で覆われていることを特徴とする請求項１記載の透明導
電性プラスチックフィルム基板。 - 【請求項３】 透明導電性とバリヤー性をもつ層上に接
着剤を介してプラスチックフィルムまたはシートが積層
された請求項２記載の透明導電性プラスチックフィルム
基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11002291A JP3208148B2 (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 透明導電性フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11002291A JP3208148B2 (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 透明導電性フィルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04337208A JPH04337208A (ja) | 1992-11-25 |
| JP3208148B2 true JP3208148B2 (ja) | 2001-09-10 |
Family
ID=14525134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11002291A Ceased JP3208148B2 (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 透明導電性フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3208148B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1934493A (zh) | 2004-02-04 | 2007-03-21 | 株式会社普利司通 | 信息显示装置 |
| JP2006327098A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Nitto Denko Corp | 透明フィルムおよびその製造方法 |
| JP6171419B2 (ja) * | 2013-03-08 | 2017-08-02 | 凸版印刷株式会社 | ガスバリア性フィルムの製造方法 |
-
1991
- 1991-05-15 JP JP11002291A patent/JP3208148B2/ja not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04337208A (ja) | 1992-11-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4709991A (en) | Liquid crystal display with barrier layer to reduce permeability | |
| US6281525B1 (en) | Flexible substrate | |
| CN108271429B (zh) | 具有包含扩展的电容开关区域的复合玻璃板的玻璃板装置 | |
| US20010050372A1 (en) | Flexible substrate | |
| JP5297125B2 (ja) | 透明導電膜付ガスバリアフィルムとこれを用いたタッチパネル | |
| TW201133310A (en) | Integration-type touch panel | |
| CN109614012A (zh) | 偏光触控构件及制备方法、柔性显示装置 | |
| JP7137634B2 (ja) | 熱可塑性中間層に電気的に切り換え可能な機能要素を有する複合ペイン | |
| JP3208148B2 (ja) | 透明導電性フィルム | |
| JPH0957892A (ja) | 透明導電性積層体 | |
| JP4385453B2 (ja) | 透明電極用基板及び液晶表示装置 | |
| JPS6120928A (ja) | 表示装置 | |
| JP2002103504A (ja) | 透明導電性フィルム | |
| JPS6118925A (ja) | 表示装置 | |
| JP2918659B2 (ja) | 積層フィルム | |
| JP2624930B2 (ja) | 透明導電性積層体とタツチパネル | |
| JPH0911390A (ja) | 透明導電性積層体 | |
| JP2613206B2 (ja) | 透明導電性フィルムの製造方法 | |
| JP3027315B2 (ja) | 積層フィルム | |
| JPH04340522A (ja) | 透明導電性フィルム | |
| JP3038028B2 (ja) | 透明タッチパネル | |
| CN113934311A (zh) | 柔性面板及其制作方法 | |
| JP4390885B2 (ja) | 透明電界波シールド性構造体およびその製造方法 | |
| JPH08272530A (ja) | タッチパネル | |
| JP3466001B2 (ja) | 透明導電性積層体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RVOP | Cancellation by post-grant opposition |