JP3207977B2

JP3207977B2 - 電気めっき方法および電気めっき用分割型不溶性電極

Info

Publication number: JP3207977B2
Application number: JP20455593A
Authority: JP
Inventors: 和美高橋; 幸雄川嶋
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1993-07-27
Filing date: 1993-07-27
Publication date: 2001-09-10
Anticipated expiration: 2016-09-10
Also published as: JPH0741984A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、銅箔等の金属箔の電気
めっき方法と、それに使用される分割型不溶性電極の改
良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線基板が多方面にかつ大量に
採用されてる。プリント配線基板には銅箔を必要とする
が、その製造には通常電解銅箔が用いられている。電解
銅箔の製造に際しては、ピンホール・異常析出物等の点
欠陥が発生せず、均一な厚みをもつようにする必要があ
る。

【０００３】従来の電解銅箔の製造では、図５を参照し
て説明するならば、陰極としてＴｉあるいはＳＵＳ製回
転ドラムを用い、陽極として、例えば陰極ドラム７のほ
ぼ１／４円周の断面円弧状の電極１０として鉛板を２枚
下方に設置し、電極１０、１０間から電解液を供給し、
この間隙内にめっき液を流す構造としている。この装置
に直流電流を流し陰極ドラム７に銅８を析出させ、この
析出銅８を連続的に剥離し巻き取っている。

【０００４】従来一般に用いられている陽極は、Ｐｂ、
あるいはＰｂとＳｂ、Ｓｎ、Ａｇ、Ｉｎ、Ｃａその他の
二元あるいは多元合金である。このため陽極表面に生成
した酸化鉛が、電解浴中にＰｂイオンとして溶け込み、
電解浴中の硫酸イオンと反応して、硫酸鉛を形成し浴中
に懸濁してしまう。この硫酸鉛のスラツジは濾過器を設
置して除去することができるが、この保守作業には多大
な労力を要する。スラツジの除去が不十分であると、ス
ラッジは電解槽や配管の内壁面に堆積して液の流に悪影
響を及ぼす。さらに、陰極ドラムに硫酸鉛のスラツジが
付着すると、その箇所にピンホールもしくは異常析出物
等の点欠陥が発生する。これは前記のとおり銅箔の致命
的欠陥となる。

【０００５】また鉛系電極を使用すると、電流集中や、
エロージョンにより局部的に鉛が損耗するため極間距離
が場所により異なってくる。この対策として定期的に鉛
陽極の表面を切削しているが、製造稼働率の低下もさる
ことながら、極間の距離の増大のため槽電圧の上昇すな
わち製造コストの上昇につながってしまう。そして、極
間距離の不均一により、銅箔幅方向の厚みむらが生じて
しまう。

【０００６】このような硫酸塩のスラッジに起因するピ
ンホールや、異常析出物の発生を防止し、鉛の損耗によ
る極間距離の不均一化により生じる銅箔幅方向の厚みむ
らを解決するなどのため、陰極ドラムに対向する円弧板
状陽極として、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒ等の弁金属基体
表面に主として白金族の金属あるいはその酸化物を触媒
として被覆した電極である。不溶性陽極を使用する旨の
提案がなされている（特公平１−５６１５３号公報）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法でも、局部的な陽極の損耗や、陰極側の銅の異常析出
によるショートは生じてしまう。しかし一体化した陽極
円弧板を用いているため、これらの補修は、陽極全体を
取り替えずには行なうことができず、陽極を装置に設置
するハンドリングなど、保守ないし補修作業やそのコス
ト、設備コスト等を高め、めっき設備の稼働率を下げる
要因となっている。

【０００８】さらに重要なことは、一体化した陽極円弧
板を用いると、通電時に電流密度のいわゆるエッジ効果
が生じる。そして、このエッジ効果は、特にめっき液供
給口付近の陽極板端部付近に電流を集中させ、一体化し
た陽極板の一部分のみの電極触媒被覆層の消耗をひきお
こし、銅箔の幅方向の膜厚が不均一となり、膜厚むらが
生じる。また、膜厚むらは連続運転とともに増大し、や
がて実用に耐えないものとなるので、陽極の寿命も短い
ものとなっている。そして、このような現象は特に２０
μm 以下と膜厚の薄い銅箔の製造において重大なものと
なる。実際、上記特公平１−５６１５３号公報でも、１
８μm の銅箔を得る際に、膜厚むらは２％以内であると
記載されており、膜厚むらを１％以内にはできていな
い。この他、一体化した円弧状の基体には被覆形成がし
にくく、製造が困難で被覆厚さも均一化が難しいという
欠点もある。

【０００９】また、陽極平板を用いてたわませながら弧
に沿わせるような構成にするとたわみによる電極基材の
ひずみや割れや被覆膜の剥離ならびに脱落を促し、電極
寿命を著しく短くする。さらに上記電極を陰極ドラムの
回転駆動方向に対して直角に分割した場合には、電極短
片同士のすきまの調整が難しく、上記の膜厚むらを引き
起こす。

【００１０】本発明の主たる目的は、このような保守な
いし補修を容易に行なうことができ、しかも膜厚むらが
少なく、分割した電極の被覆膜の剥離および脱落ならび
に相互の分割電極片同士のすきまを一定寸法精度にで
き、ひずみを少なくした陽極寿命の長い電解銅箔等の金
属箔を得るための電気めっき方法と、それに用いる分割
型不溶性電極を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
（１）〜（１０）の本発明により達成される。（１）陰極ドラムの外周に対し、所定の間隙を隔てて
陽極を対向配置し、これに通電して前記陰極ドラム上に
金属を析出させ剥離して電解金属箔を得る場合であっ
て、前記陰極ドラムの回転軌跡に対して直角方向に細長
くほぼバックプレートの幅に等しい長さを有する複数の
電極片を前記陰極ドラムの回転軌跡に沿ってバックプレ
ート上に並列配置して前記陽極を構成し、前記電極片が
それぞれ弁金属基体に白金族の金属またはその酸化物を
被覆してなるものであり、前記バックプレートと導通さ
せられて用いられる電気めっき方法において、前記複数
の電極片が陰極ドラムの外周面の曲率と実質的に等しい
曲率を有するように予め曲げられたものであり、これら
が導電性固定具によりバックプレート上に着脱可能に固
定配置されており、同一電極片の導電性固定具は、長辺
または長軸に沿った離間距離がすべてほぼ同一であり、
隣接して配置される前記電極片は、互いの陰極ドラム側
表面が０．１〜５mmの距離で離間されており、その厚さ
が７０μm 以下であり、膜厚むら２％以下の金属箔を得
る電気めっき方法。（２）前記導電性固定具が、各電極片の長軸に沿って
設けられているとともに、隣接した電極片に設けられた
導電性固定具が、千鳥状に配置されている上記（１）の
電気めっき方法。（３）前記導電性固定具が、各電極片の各長辺に沿っ
て設けられているとともに、少なくとも隣接した２つの
電極片の隣接長辺に設けられた導電性固定具が、千鳥状
に配置されている上記（２）の電気めっき方法。（４）前記導電性固定具が各電極片の両長辺に沿って
千鳥状に配置され、そして前記陽極全体において、各導
電性固定具同士が、少なくとも電極片の陰極ドラムの回
転軌跡に沿った長さ分だけ離隔されている上記（３）の
電気めっき方法。（５）前記陰極ドラムと前記陽極との間にめっき液を
流す上記（１）ないし（４）のいずれかの電気めっき方
法。（６）陰極ドラム上に金属を析出させて剥離して電解
金属箔を製造する際に、陰極ドラムの外周に対して所定
間隔を隔てて対向配置して用いる陽極であって、前記陰
極ドラムの駆動方向に対して垂直に分割され、予め陰極
ドラムの外周面の曲率と実質的に等しい曲率を有するよ
うに湾曲された複数の電極片を有し、この電極片は弁金
属基体に、白金族の金属またはその酸化物を被覆したも
のであって、この電極片をバックプレート上に導電性固
定具により着脱自在に連結してなり、かつ同一電極片の
一方の長辺近傍の導電性固定具と他方の長辺近傍の導電
性固定具との離間距離がすべてほぼ同一であり、隣接し
て配置される前記電極片は、互いの陰極ドラム側表面が
０．１〜５mmの距離で離間されており、その厚さが７０
μm 以下であり、膜厚むら２％以下の金属箔を得る電気
めっき用分割型不溶性電極。（７）前記導電性固定具が、各電極片の長軸に沿って
所定間隔で設けられているとともに、隣接した電極片に
設けられた導電性固定具が、千鳥状に配置されている上
記（６）の電気めっき用分割型不溶性電極。（８）前記導電性固定具が、各電極片の各長辺に沿っ
て等間隔で設けられているとともに、少なくとも隣接し
た２つの電極片の隣接長辺に設けられた導電性固定具
が、千鳥状に配置されている上記（７）の電気めっき用
分割型不溶性電極。（９）前記導電性固定具が各電極片の両長辺に沿って
千鳥状に配置され、そして前記陽極全体において、各導
電性固定具同士が、少なくとも電極片の陰極ドラムの駆
動方向に沿った長さ分だけ離隔されている上記（８）の
電気めっき用分割型不溶性電極。（１０）前記陰極ドラムと前記陽極との間にめっき液
を流す上記（６）ないし（９）のいずれかの電気めっき
用分割型不溶性電極。

【００１２】

【作用】本発明で第１の目的とする保守および補修は、
分割型不溶性電極の採用によってきわめて容易となる。
分割の仕方は、円弧板を、軸に平行な所定円弧ごとのス
トライプ片とするので電極片の製造も陽極組み立ても容
易であり、組み立て精度も高い。また、電極片の形状寸
法精度や、被覆厚の均一性も高い。

【００１３】さらに、前記電極短片として、陰極ドラム
の外周面の曲率と実質的に等しい曲率を有するように予
め曲げられたものを用いることによって、分割した電極
の相互の分割電極のすきまを一定寸法制度にでき、なら
びにひずみを少なくし、また、平板をたわませる際に生
じる弁金属基体のひずみや割れ、あるいは被覆層の剥離
や脱落を避けることができ、電極片短寿命化の要因とな
る機械的応力などから、電極片を守ることができる。

【００１４】また、第２の目的としての、特に薄い金属
箔を得る際の膜厚むらの低減は、陽極板を複数の電極片
に分割して、陽極表面の端縁長を大とし、エッジを多数
作ることで、エッジ効果を減少させ、電流分布を均一化
することによって達成される。同時に連続運転によるエ
ッジ効果の増大率も減少し、電極片寿命も増大する。そ
して、これらから陽極寿命はきわめて長いものとなる。

【００１５】しかも、上記導電性固定具を、各電極片の
両長辺に沿って千鳥状に配置し、そして陽極全体におい
て、各導電性固定具同士を少なくとも電極片の陰極ドラ
ムの回転軌跡に沿った長さ分だけ離隔するようにすれ
ば、電流供給具である導電性固定具同士が十分に離隔さ
れ、一部の電流密度が過剰に高くなってしまうような電
流密度の不均一分布が防止される。

【００１６】ところで、各種電気めっき方法において、
分割型の電極を用いることは従来知られている。例え
ば、実開平１−１４９４６５号公報では、電気めっき鋼
板を製造する際に、めっき槽内にて鋼帯を連続的に直線
的に移動させながら、これに対向して陽極を配置する場
合において、陽極を鋼帯搬送方向に平行に分割したもの
が示されている（同公報第４図、第５図参照）。しか
し、本発明のように、回転する陰極ドラムの回転駆動方
向に平行に分割しようとすると、各分割片は等しく円弧
状としなければならず、特に弁金属基体上に白金族の金
属ないし酸化物被覆を設けるようなときには、製造がき
わめて困難である。また被覆厚を均一にすることも難し
い。しかも、これに加えて重要なことは、めっき基体
（鋼帯あるいは陰極ドラム）の搬送ないし回転方向と平
行に電極片を分割すると、電流密度の不均一が生じ、め
っき膜の長手方向にすじ状の欠陥や、幅方向の膜厚むら
が生じてしまい実用には耐えないが、この公報ではこの
点について着眼されていない。

【００１７】また、特開平４−３４６６９７号公報で
は、銅箔等の電極めっき箔を形成する際に使用される電
解槽内で、陰極表面の移動方向に直角に１個以上、陽極
を分割したものが示されている。しかし、この陽極帯板
は横方向にたわみ自在で、支持装置への固定は陽極帯板
をたわませて行うため、設置固定精度が十分でなく、し
かも連続運転中に陽極自体に負荷がかかり、電極基材の
ひずみと割れが生じ、後記実験例に示されるように耐久
性が充分でない。

【００１８】さらに被覆膜が設けられているときには、
たわみによって膜の剥離、脱落を促し、電極の耐久性が
低下することになる。

【００１９】他方、特開平１−１７６１００号公報、実
開平２−１３６０５８号公報では、鋼帯を連続的に直線
移動させながらめっきを行なう場合において、鋼帯方向
および搬送（長手）方向に複数分割して電極小片を多数
組み合わせて形成した分割型電極が提案されている。し
かし、円弧状の電極を、その円弧方向（軸方向）および
幅方向双方とも分割しようとすると、組み立て作業に労
力を要し、組み立て精度が低く、各電極片の局部的損耗
や銅の異常析出が生じ、かえって保守、補修が難しくな
ってしまうことになる。また、幅方向の分割は膜厚むら
の発生に寄与してしまう。

【００２０】本発明は、上記のような簡易な構造で、こ
れら平板型の分割型電極を円弧状電極にそのまま応用し
たときの欠点をすべて解消するものである。

【００２１】さらに、特公昭４９−１８９０２号公報に
は、磁性薄膜の製造において、陰極ローラに沿って、環
状の電解槽を設け、この電解槽を仕切板によって複数個
の分離槽として、各分離槽に個別に陽極を配置した例が
開示されている。このものは、陽極を分離するという点
では本発明と一見類似しているが、陽極を分割一体化し
ていないので、分離陽極の間隙でめっき液のうず流が生
じ膜厚の不均一が生じてしまう。このため、この公報で
は分離槽としているが、かえって液組成の不均一化を招
き、装置が複雑化し、その制御も難しいものとなってい
る。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明
をさらに詳細に説明する。

【００２３】本発明の不溶性電極（アノード）は不溶性
の電極を複数個に分割した電極片の各々を、形状保持、
補強および導電のためのバックプレートへ導電性固定具
により着脱自在に取り付けている。以下、本発明の分割
不溶性電極について詳述する。

【００２４】図１には、本発明の分割型不溶性電極１０
の実施例が示される。図２は図１の線II−IIに沿う断面
図である。これらの図において不溶性のアノードである
電極１０は、複数個の電極片１に分割されている。各電
極片１は図５に示したような通常の陰極ドラム７の外周
図と実質的に等しい曲率となるように、該陰極ドラム７
の回転軌跡に沿う方向に予め湾曲して形成されている。
その電極片１各々は、その背面に一体的に固定された導
電性のボルト３によってバックプレート５に着脱自在に
取り付けられている。ボルト３は陰極ドラムと反対側か
らナット６により締めつけられる。これにより補修に際
して、全体の交換の必要はなくなるので、補修作業がき
わめて容易となる。バックプレート５は単層であって
も、他の種々の構造をもつものであってもよいが、その
内周ないし内周包絡面は、円筒内周面のうち、所定の円
弧成分をもち軸方向に平行なわん曲面をなしている。こ
のようにバックプレート５に連結状態で固定された複数
の電極片１は、図５に示されるように通常曲率半径５０
０〜２０００mm程度で、４５〜１２０°程度の円弧状を
なす電極１０を形成し、その内周面全面が陰極ドラム７
の外周面と正確に所定の等間隔を隔てて対向配置されと
なる。なお、図５では、本発明の分割型不溶性電極１０
を陰極ドラム７に２個対向配置している。そして、電極
１０、１０間からめっき液を供給し、ドラム−電極間隙
間にめっき液を流している。

【００２５】不溶性の電極片１としては、チタン、タン
タル、ニオブ、ジルコン等やそれらの合金など、耐食性
を有する弁金属の導電金属板の陰極ドラム７（図５）と
対向する側の面にインジウムオキサイドなど白金族およ
び／または酸化物をコーティングしたコーティングタイ
プのものを用いている。電極片１の陰極ドラム７に対向
する側の表面形状は、単純に平面状にする他、表面積を
大にするために、凹凸状、格子状にすることができる。
電極片１は、陰極ドラム７の回転駆動方向に複数個（２
個以上）、好ましくは３〜５０個程度、例えば１０個程
度の電極片１に分割されている。

【００２６】バックプレート５は補強、形状寸法維持お
よび導電のための基板で、チタン等の耐食性を有する導
電金属板からなっている。また、バックプレート５は、
間隙内のめっき液流にうず流を生じさせず、膜厚むらを
防止する作用もあわせもつ。バックプレート５と複数の
不溶性電極片１とは図２に示されるようなボルト３等の
給電導体で取り付けられている。すなわち、図１、図２
に示される例では、バックプレート５の所定位置に、ボ
ルト３に対応するタップ穴５５が設けられており、電極
片１を所定位置に設置して、陰極ドラムと反対側よりナ
ット６にて電極片１を固定している。この場合は締め付
け時に電極片１の変形のないように締め付けトルクを管
理する。

【００２７】また、これらボルト等の導電性固定具同士
は、各電極片１の両長辺近傍にてそれぞれ両長辺に沿っ
て、所定間隔、好ましくは等間隔に配置されている。そ
して、両長辺近傍の固定具列は、各固定具が互いに千鳥
状になるように配置される。すなわち、同一電極片の一
方の長辺近傍の固定具と他方の長辺近傍の固定具との距
離をほぼ同一、好ましくは同一とする。さらに、各電極
片を組合わせた陽極中でも、固定具は互いに千鳥状に配
置される。そして陽極全体において、各固定具は、少な
くとも陰極ドラムの回転軌跡に沿った長さ分だけ離隔さ
れている。この際、すべての固定具の離間距離はほぼ同
一、好ましくは同一とすることが好ましい。これによ
り、きわめて均一な電流分布を得ることができる。上記
の例より電流分布の均一化という点で多少劣るが、図３
および図４に示したように、同一電極片中では固定具を
両長辺近傍に縦横一列に配置し、隣接する電極片１の隣
接辺に設けられた導電性固定具同士のみを千鳥状に配置
してもよい。このときも、すべての固定具の離間距離を
ほぼ同一とすることが好ましい。

【００２８】この他、固定具は電極片１の辺部に配置す
るのでなく、中央部に配置してもよいが、辺部に配置し
た方が、電極片１の取り付けが正確に行えるとともに、
辺部のめくれ等が生ずることがない。なお、固定具を電
極片１の中央部に配置する場合には、１つの電極片１の
内部では、その長軸に沿って等間隔に配置され、しかも
陽極全体では千鳥状に配置される。

【００２９】このような場合、バックプレート５上に配
置された各電極片１は、ある程度エッジの数を増やすこ
とが好ましい。ただし、本発明では、電極片１への給電
は、その後方のバックプレート５側から行われるので、
各電極片１がきわめて近接しても、各電極片１の端縁は
エッジとして働く。このため、各電極片１の離間距離
は、電極片１ごとの交換補修が容易であるような距離と
すればよく、一般に０．１mm以上とする。一方、バック
プレート５の後端面（陰極ドラムと反対側の面）は全面
閉止されていても、一部に透孔等が存在していてもよい
が、通常は少なくとも電極片１の接続部後方は閉止され
ていて、うず流の発生を防止して膜厚むらを防止するこ
とが好ましい。うず流は、各電極片１、１間の表面の間
隙でも生じうるので、膜厚むらを極力小さくするため
に、その表面離間距離は５mm程度以内、特に３mm程度以
内とすることが好ましい。なお、逆Ｔ字状の絶縁部材を
用い、この上に隣接する電極片１を載置し、電極片表面
位置と、電極対間間隙との位置決めを行うように構成し
てもよい。

【００３０】このように構成される分割型不溶性電極１
０は、図５に示されるように、めっき槽内にて、回転駆
動される陰極ドラム７と所定間隙長隔てて対向配置さ
れ、バックプレート５に接続されたブスバー２から供電
され、めっきが行なわれる。陰極ドラム７上に堆積した
銅８は陰極ドラム７から剥離され、巻き取りドラム９に
巻き取られる。

【００３１】なお、以上では、銅箔を例にとって説明し
てきたが、本発明の効果は他の金属箔でも同様に実現す
る。ただ、特に本発明の膜厚むら減少効果は、７０μm
以下、特に２０μm 以下の電解銅箔の作製において顕著
であり、２％以内、特に１％以内の膜厚むらを容易に実
現できる。また、このような小さな膜厚むらを例えば１
年以上にわたって維持できる。

【００３２】

【発明の効果】本発明の不溶性電極１０は、複数個に分
割した電極片１を用いており、この分割した電極片１を
バックプレート５に着脱自在に取り付けているので、陽
極面の局部的な損傷の補修や、陰極ドラム７側の銅等の
金属の異常析出によるショートによる陽極の補修を、電
極片１ごとに部分的に行なうことができるので、従来の
ようにアノード全体を取り替える必要がない。

【００３３】従って、陽極の保守、修理が容易であり、
また、陽極自体の寿命も延びる。

【００３４】また、円弧状の電極１０を所定円弧分ごと
に円周方向に垂直に分割するので形状加工が容易であ
り、不溶性電極とするための触媒被覆のコーティングも
容易であり、電極片１の形状寸法や被覆厚の精度がきわ
めて高くなる。また、電極平板をたわませて、弧に沿わ
せたときに生ずる電極基材のひずみや割れ、あるいは被
覆膜の剥離、脱落も防ぎ、電極寿命を長くすることがで
きる。そして、組み立てや取りはずし作業も容易であ
り、予め曲げられた複数片の電極のため、組み立ての寸
法精度も高い。これらから寸法形状や被覆厚の精度のき
わめて高い不溶性電極１０が実現し、得られる銅箔等の
金属箔の欠陥もきわめて少なく、膜厚や膜質もきわめて
均一となる。この際、円周方向に分割するときのような
膜厚の不均一や欠陥もなく、また円周方向およびそれと
垂直な方向に多数分割するときのような組み立て時の労
力や組み立て精度の低下も格段と減少し、電解銅箔等の
金属箔の膜質はきわめて良好なものとなる。

【００３５】そして、これらに加え、陽極内のエッジ数
を増加することにより、エッジ効果を相対的に減少さ
せ、同時にめっき液のうず流の発生を減少させ、膜厚む
らをきわめて少ないものとし、連続運転による膜厚むら
の増大を減少し、寿命を長いものとすることができる。

【００３６】さらに、導電性固定具を各電極片の両長辺
に沿って千鳥状に配置することで陽極全体の電流分布が
均一となり、膜厚むらの増大を防ぐことができる。この
ような効果を確認するための実験を以下に示す。

【００３７】［実験例］図５に示される構成において、
陽極ドラム７には約２m 径のＴｉ回転円筒体を用いた。
また、アノード電極１０、１０としては、ＩｒＯ₂ を主
成分とする被覆をＴｉ基板上に設けたものを用い、これ
を陰極ドラム７の周上に約１０mmの間隙で、７５°の円
弧成分長を占めるよう２個配置した。各電極１０、１０
は、図１、図２に示される例において、ドラム軸方向に
１０分割し、各電極片１の離間距離は０．５mmとした。

【００３８】めっき液は電極１０、１０間から送液し、
電極間隙を上方に流れるようにして循環した。めっき液
はＣｕＳＯ₄ 、５Ｈ₂ Ｏ２４０g/l 、Ｈ₂ ＳＯ₄１２
０g/l を含み、浴温４５℃、電流密度４０A/m²とし、１
８μm 厚の銅箔を連続製造した。

【００３９】運転開始時の幅方向の膜厚むらを測定した
ところ、１％以内であり、１年連続運転後も１％以内が
維持された。なお、ピンホールや異常析出物等の膜欠陥
は全くなかった。

【００４０】これに対し比較のため、電極１０、１０を
一体化した断面円弧状のものとした他は上記と全く同一
の条件で連続運転を行ったところ、開始時は２％以内の
膜厚むらで、３ケ月後には２％をこえる膜厚むらとなっ
てしまった。

【００４１】さらに、電極寿命の比較のため、特開平４
−３４６６９７号公報に示されているように、複数の平
板状の可撓性電極片１を撓ませて弧に沿わせて陽極を形
成した他は上記と全く同一の条件で連続運転を行ったと
ころ、運転開始時においては、本発明の実施例と同様膜
厚むらが１％以内であったが、９ケ月後には１％をこえ
る膜厚むらとなってしまった。これらから、本発明の効
果が明らかである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の分割型不溶性電極の１例を示す斜視図
である。

【図２】図１のII−II線部分断面図である。

【図３】本発明の分割型不溶性電極の他の例を示す斜視
図である。

【図４】図３における電極片の平面図である。

【図５】本発明における電気めっき方法を説明するため
の正面図である。

【符号の説明】

１０分割型不溶性電極１電極片２ブスバー３ボルト５バックプレート７陰極ドラム８銅

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平４−346697（ＪＰ，Ａ) 特開平４−221091（ＪＰ，Ａ) 特開平４−36489（ＪＰ，Ａ) 特開平５−202498（ＪＰ，Ａ) 小栗冨士雄著「標準機械設計図表便覧（新版訂正４版）」（昭和49年４月５日）、共立出版株式会社発行、12−２、 12−３、12−５参照 (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C25D 1/04 C25D 17/10 C25D 17/12

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】陰極ドラムの外周に対し、所定の間隙を
隔てて陽極を対向配置し、これに通電して前記陰極ドラ
ム上に金属を析出させ剥離して電解金属箔を得る場合で
あって、前記陰極ドラムの回転軌跡に対して直角方向に
細長くほぼバックプレートの幅に等しい長さを有する複
数の電極片を前記陰極ドラムの回転軌跡に沿ってバック
プレート上に並列配置して前記陽極を構成し、前記電極
片がそれぞれ弁金属基体に白金族の金属またはその酸化
物を被覆してなるものであり、前記バックプレートと導
通させられて用いられる電気めっき方法において、前記複数の電極片が陰極ドラムの外周面の曲率と実質的
に等しい曲率を有するように予め曲げられたものであ
り、これらが導電性固定具によりバックプレート上に着
脱可能に固定配置されており、同一電極片の導電性固定
具は、長辺または長軸に沿った離間距離がすべてほぼ同
一であり、隣接して配置される前記電極片は、互いの陰
極ドラム側表面が０．１〜５mmの距離で離間されてお
り、その厚さが７０μm 以下であり、膜厚むら２％以下の金
属箔を得る電気めっき方法。
【請求項２】前記導電性固定具が、各電極片の長軸に
沿って設けられているとともに、隣接した電極片に設け
られた導電性固定具が、千鳥状に配置されている請求項
１の電気めっき方法。
【請求項３】前記導電性固定具が、各電極片の各長辺
に沿って設けられているとともに、少なくとも隣接した
２つの電極片の隣接長辺に設けられた導電性固定具が、
千鳥状に配置されている請求項２の電気めっき方法。
【請求項４】前記導電性固定具が各電極片の両長辺に
沿って千鳥状に配置され、そして前記陽極全体におい
て、各導電性固定具同士が、少なくとも電極片の陰極ド
ラムの回転軌跡に沿った長さ分だけ離隔されている請求
項３の電気めっき方法。
【請求項５】前記陰極ドラムと前記陽極との間にめっ
き液を流す請求項１ないし４のいずれかの電気めっき方
法。
【請求項６】陰極ドラム上に金属を析出させて剥離し
て電解金属箔を製造する際に、陰極ドラムの外周に対し
て所定間隔を隔てて対向配置して用いる陽極であって、
前記陰極ドラムの駆動方向に対して垂直に分割され、予
め陰極ドラムの外周面の曲率と実質的に等しい曲率を有
するように湾曲された複数の電極片を有し、この電極片
は弁金属基体に、白金族の金属またはその酸化物を被覆
したものであって、この電極片をバックプレート上に導
電性固定具により着脱自在に連結してなり、かつ同一電
極片の一方の長辺近傍の導電性固定具と他方の長辺近傍
の導電性固定具との離間距離がすべてほぼ同一であり、
隣接して配置される前記電極片は、互いの陰極ドラム側
表面が０．１〜５mmの距離で離間されており、その厚さが７０μm 以下であり、膜厚むら２％以下の金
属箔を得る電気めっき用分割型不溶性電極。
【請求項７】前記導電性固定具が、各電極片の長軸に
沿って所定間隔で設けられているとともに、隣接した電
極片に設けられた導電性固定具が、千鳥状に配置されて
いる請求項６の電気めっき用分割型不溶性電極。
【請求項８】前記導電性固定具が、各電極片の各長辺
に沿って等間隔で設けられているとともに、少なくとも
隣接した２つの電極片の隣接長辺に設けられた導電性固
定具が、千鳥状に配置されている請求項７の電気めっき
用分割型不溶性電極。
【請求項９】前記導電性固定具が各電極片の両長辺に
沿って千鳥状に配置され、そして前記陽極全体におい
て、各導電性固定具同士が、少なくとも電極片の陰極ド
ラムの駆動方向に沿った長さ分だけ離隔されている請求
項８の電気めっき用分割型不溶性電極。
【請求項１０】前記陰極ドラムと前記陽極との間にめ
っき液を流す請求項６ないし９のいずれかの電気めっき
用分割型不溶性電極。