JP3261582B2 - 電解銅箔の製造装置 - Google Patents
電解銅箔の製造装置Info
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- JP3261582B2 JP3261582B2 JP2000027531A JP2000027531A JP3261582B2 JP 3261582 B2 JP3261582 B2 JP 3261582B2 JP 2000027531 A JP2000027531 A JP 2000027531A JP 2000027531 A JP2000027531 A JP 2000027531A JP 3261582 B2 JP3261582 B2 JP 3261582B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、電解銅箔を製造
する装置の改良に係り、特に、減耗した陽極を再利用で
きるようにした電解銅箔の製造装置に関する。
する装置の改良に係り、特に、減耗した陽極を再利用で
きるようにした電解銅箔の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電解銅箔の製造装置としては、従来、例
えば特許第２５０６５７５号公報中の請求項４記載のも
のが有る。
えば特許第２５０６５７５号公報中の請求項４記載のも
のが有る。
【０００３】この従来の技術は、回転自在の陰極胴と該
陰極胴に対面する少なくとも１枚の陽極との間に電解液
を流し、該陰極胴表面に銅を電着させそして電着した銅
箔を該陰極胴から剥離する電解銅箔の製造装置におい
て、前記陽極の少なくとも一部を厚み均一化用分割陽極
として構成し、そして長さ方向厚みのパターンと幅方向
厚みのパターンとの組合せパターンに基づいて該厚み均
一化用分割陽極と陰極胴との間隔を個別に調節して、該
厚み均一化用分割陽極と陰極胴との間の電流密度を個別
に制御する分割陽極位置調節機構を備えた均一化した長
さ及び巾方向厚みを有する電解銅箔の製造装置である。
陰極胴に対面する少なくとも１枚の陽極との間に電解液
を流し、該陰極胴表面に銅を電着させそして電着した銅
箔を該陰極胴から剥離する電解銅箔の製造装置におい
て、前記陽極の少なくとも一部を厚み均一化用分割陽極
として構成し、そして長さ方向厚みのパターンと幅方向
厚みのパターンとの組合せパターンに基づいて該厚み均
一化用分割陽極と陰極胴との間隔を個別に調節して、該
厚み均一化用分割陽極と陰極胴との間の電流密度を個別
に制御する分割陽極位置調節機構を備えた均一化した長
さ及び巾方向厚みを有する電解銅箔の製造装置である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記した従来の技術
は、上記公報中の段落番号（００４１）記載のように、
電解液中で陽極を支持する支持装置とは別に、分割陽極
を個別に可動支持し、そして個々の分割陽極を陰極胴に
近付け或いはそこから引離すための手段を設置してい
る。これら分割陽極が、それぞれ個別に螺子機構、ピス
トンーシリンダ機構等の適宜の位置調節機構により、操
業中は常時前後に移動するようになっていて、特定部位
に相当する特定の分割陽極の支持棒を位置調節機構によ
り変位させることで、分割陽極が陰極胴に近付く程電流
密度は高まり、電着銅の厚みは増大する。逆に分割陽極
を陰極胴から引き離す程、電流密度は減少して電着銅厚
みは減少する結果となり、陰極胴表面から均一厚の電解
銅箔を得ようとしたものである。
は、上記公報中の段落番号（００４１）記載のように、
電解液中で陽極を支持する支持装置とは別に、分割陽極
を個別に可動支持し、そして個々の分割陽極を陰極胴に
近付け或いはそこから引離すための手段を設置してい
る。これら分割陽極が、それぞれ個別に螺子機構、ピス
トンーシリンダ機構等の適宜の位置調節機構により、操
業中は常時前後に移動するようになっていて、特定部位
に相当する特定の分割陽極の支持棒を位置調節機構によ
り変位させることで、分割陽極が陰極胴に近付く程電流
密度は高まり、電着銅の厚みは増大する。逆に分割陽極
を陰極胴から引き離す程、電流密度は減少して電着銅厚
みは減少する結果となり、陰極胴表面から均一厚の電解
銅箔を得ようとしたものである。
【０００５】ところが、この従来例における分割陽極
は、各別に螺子機構やピストン・シリンダ機構により電
解液槽に対し、液密を保ち可動配設しなければならない
ので、この液密保持が繁雑面倒で、陽極妄動等の不安定
要素が多く、故障も多い等の問題点のほかに、陰極胴に
近い分割陽極程、減耗が激しく、陽極の厚みが初期厚の
約５０％程度以下になった時点では、この部分の陽極を
流れる局部電流による過剰なジュール熱の発生により、
電解液の流れが部分的に乱れて不均一になったり、上記
減耗分割陽極だけのさらなる減耗が加速度的に進む結
果、電解液が沸騰したりして、電解銅箔の厚みに大きな
バラツキを生じたり、時には稼動不能に陥いることも有
る。このため、陽極が初期厚の４０％程度になった時点
で、減耗分割陽極をすべて新しい部分陽極に交換しなけ
ればならなくなるので、陽極交換・各部調整・仕上げ処
理に要する約一週間というかなり長い作業期間は、操業
を中断しなければならないし、かなり大きい減耗分割陽
極は、すべて廃棄処分となるので、資源無駄も多く不経
済である上に、産業廃棄物公害も多くなるという問題点
が有った。
は、各別に螺子機構やピストン・シリンダ機構により電
解液槽に対し、液密を保ち可動配設しなければならない
ので、この液密保持が繁雑面倒で、陽極妄動等の不安定
要素が多く、故障も多い等の問題点のほかに、陰極胴に
近い分割陽極程、減耗が激しく、陽極の厚みが初期厚の
約５０％程度以下になった時点では、この部分の陽極を
流れる局部電流による過剰なジュール熱の発生により、
電解液の流れが部分的に乱れて不均一になったり、上記
減耗分割陽極だけのさらなる減耗が加速度的に進む結
果、電解液が沸騰したりして、電解銅箔の厚みに大きな
バラツキを生じたり、時には稼動不能に陥いることも有
る。このため、陽極が初期厚の４０％程度になった時点
で、減耗分割陽極をすべて新しい部分陽極に交換しなけ
ればならなくなるので、陽極交換・各部調整・仕上げ処
理に要する約一週間というかなり長い作業期間は、操業
を中断しなければならないし、かなり大きい減耗分割陽
極は、すべて廃棄処分となるので、資源無駄も多く不経
済である上に、産業廃棄物公害も多くなるという問題点
が有った。
【０００６】この発明は、前記した各問題点を除去する
ために、電解銅箔の製造装置における陽極の部分的な電
流集中を防ぎつつ操業できるようにすることと、満遍な
く減耗した分割一体化陽極と陰極胴との相対ギャップを
容易かつ、迅速・精確に均等修正後、固定できるように
することで、不安定要素をなくし、減耗した陽極を短期
間で再利用できるようにすることを目的とする。
ために、電解銅箔の製造装置における陽極の部分的な電
流集中を防ぎつつ操業できるようにすることと、満遍な
く減耗した分割一体化陽極と陰極胴との相対ギャップを
容易かつ、迅速・精確に均等修正後、固定できるように
することで、不安定要素をなくし、減耗した陽極を短期
間で再利用できるようにすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記したこの発明の目的
は、回転陰極胴と、その周面のほぼ下半分に対面する湾
曲陽極との間に電解液を流し、前記陰極胴周面に銅を電
着させてこの電着銅を陰極胴周面の上部から銅箔として
剥離することで、電解銅箔を製造する装置を構成するに
当り、前記湾曲陽極には加工し易い鉛合金材を用いてそ
の湾曲方向に少なくとも三つに均等分割後溶着部で溶着
して分割一体化陽極となし、この陽極を電解槽内に設置
した湾曲ベースに対し、このベースの外部から雄ねじに
より前記陰極胴の軸方向に向け、可動的に位置決め可能
に螺装することで、前記分割一体化陽極のほぼ均等な減
耗による前記陰極胴に対するギャップの拡大分を、前記
溶着部の切断後湾曲ベースの外部から雄ねじにより満遍
なく縮小修正し、前記分割一体化陽極の各溶着切断部分
を再度溶着部で溶着し一体化して、研磨仕上げを施すこ
とで、陽極妄動等不安定要素をなくし、分割一体化陽極
として再利用可能となしたことで達成できた。
は、回転陰極胴と、その周面のほぼ下半分に対面する湾
曲陽極との間に電解液を流し、前記陰極胴周面に銅を電
着させてこの電着銅を陰極胴周面の上部から銅箔として
剥離することで、電解銅箔を製造する装置を構成するに
当り、前記湾曲陽極には加工し易い鉛合金材を用いてそ
の湾曲方向に少なくとも三つに均等分割後溶着部で溶着
して分割一体化陽極となし、この陽極を電解槽内に設置
した湾曲ベースに対し、このベースの外部から雄ねじに
より前記陰極胴の軸方向に向け、可動的に位置決め可能
に螺装することで、前記分割一体化陽極のほぼ均等な減
耗による前記陰極胴に対するギャップの拡大分を、前記
溶着部の切断後湾曲ベースの外部から雄ねじにより満遍
なく縮小修正し、前記分割一体化陽極の各溶着切断部分
を再度溶着部で溶着し一体化して、研磨仕上げを施すこ
とで、陽極妄動等不安定要素をなくし、分割一体化陽極
として再利用可能となしたことで達成できた。
【０００８】
【発明の実施の形態】先ず、この発明の基本形態は、図
１に示すように、通常ドラムと称する直径２．７メート
ル、長さ１．７メートル程度の回転陰極胴１と、その周
面１ａのほぼ下半分に対面する湾曲陽極２との間に多数
のノズルＮを経て硫酸銅溶液等の６０〜７０℃程度に加
熱した電解液を流し、前記陰極胴周面１ａに銅を電着さ
せてこの電着銅を陰極胴周面１ａの上部から厚さ１０〜
３５μｍ程度の銅箔として剥離することで、電解銅箔を
製造する装置を構成するに当り、前記湾曲陽極２には、
切断や溶接・研磨仕上げ等の加工がし易い鉛合金材を用
いてその湾曲方向に少なくとも三つ、図示例では八つに
均等分割後溶着部ｙで溶着して分割一体化陽極３とな
す。
１に示すように、通常ドラムと称する直径２．７メート
ル、長さ１．７メートル程度の回転陰極胴１と、その周
面１ａのほぼ下半分に対面する湾曲陽極２との間に多数
のノズルＮを経て硫酸銅溶液等の６０〜７０℃程度に加
熱した電解液を流し、前記陰極胴周面１ａに銅を電着さ
せてこの電着銅を陰極胴周面１ａの上部から厚さ１０〜
３５μｍ程度の銅箔として剥離することで、電解銅箔を
製造する装置を構成するに当り、前記湾曲陽極２には、
切断や溶接・研磨仕上げ等の加工がし易い鉛合金材を用
いてその湾曲方向に少なくとも三つ、図示例では八つに
均等分割後溶着部ｙで溶着して分割一体化陽極３とな
す。
【０００９】そして、この分割一体化陽極３をそれぞれ
塩化ビニール貼りやゴム貼りした周知の電解槽４内に設
置した湾曲ベース５の内面に対し、このベース５の外部
から雄ねじ６により前記陰極胴１の軸１Ａの方向に向
け、可動的に位置決め可能に螺装して使用する。
塩化ビニール貼りやゴム貼りした周知の電解槽４内に設
置した湾曲ベース５の内面に対し、このベース５の外部
から雄ねじ６により前記陰極胴１の軸１Ａの方向に向
け、可動的に位置決め可能に螺装して使用する。
【００１０】使用の進行に伴ない各陽極３がほぼ満遍な
く減耗したら、前記各溶着部ｙを丸鋸などの切断工具で
切断後、上記雄ネジ６を回転し、その螺装深さを図２の
（ａ），（ｂ）から図２（ｃ）示すように変えて陽極位
置を変えることで、前記各分割一体化陽極３の図２
（ｂ）に示すようなほぼ均等な減耗による前記陰極胴１
に対するギャップＧの拡大分Ｇ＋αを図２（ｃ）のよう
に、各陽極毎に満遍なく初期ギャップＧに縮小修正後、
各雄ねじ６をナットｎでロックして各陽極を位置決め
し、前記溶着切断部分を溶着部ｙで再度溶着し研磨仕上
げを施すことで、陽極の部分妄動等の不安定要素をなく
し、上記位置決め後の分割一体化陽極３を再利用できる
ようにした本発明による電解銅箔の製造装置を構成す
る。
く減耗したら、前記各溶着部ｙを丸鋸などの切断工具で
切断後、上記雄ネジ６を回転し、その螺装深さを図２の
（ａ），（ｂ）から図２（ｃ）示すように変えて陽極位
置を変えることで、前記各分割一体化陽極３の図２
（ｂ）に示すようなほぼ均等な減耗による前記陰極胴１
に対するギャップＧの拡大分Ｇ＋αを図２（ｃ）のよう
に、各陽極毎に満遍なく初期ギャップＧに縮小修正後、
各雄ねじ６をナットｎでロックして各陽極を位置決め
し、前記溶着切断部分を溶着部ｙで再度溶着し研磨仕上
げを施すことで、陽極の部分妄動等の不安定要素をなく
し、上記位置決め後の分割一体化陽極３を再利用できる
ようにした本発明による電解銅箔の製造装置を構成す
る。
【００１１】なお、図１における符号３Ａで示すもの
は、陽極３に正電圧を印加するための通電電極であり、
また、図２における符号５Ａで示すものはチタン合金張
りした当て板である。
は、陽極３に正電圧を印加するための通電電極であり、
また、図２における符号５Ａで示すものはチタン合金張
りした当て板である。
【００１２】本発明による電解銅箔製造装置は、電解液
に対して不溶性で加工し易い鉛合金製陽極（アノード）
と、表面を鏡面研磨してチタン合金張りした金属製陰極
（カソード）胴（ドラム）との間に硫酸銅溶液による電
解液を流し、陽極及び陰極胴間に直流電位を与えること
で、陰極胴表面に銅を電着させて所定厚となった電着銅
を陰極胴から周知手段で剥離することにより製造するこ
とができ、得た銅箔は生箔と呼ばれ、後に様々の表面処
理を施して印刷回路その他向けの製品となる。
に対して不溶性で加工し易い鉛合金製陽極（アノード）
と、表面を鏡面研磨してチタン合金張りした金属製陰極
（カソード）胴（ドラム）との間に硫酸銅溶液による電
解液を流し、陽極及び陰極胴間に直流電位を与えること
で、陰極胴表面に銅を電着させて所定厚となった電着銅
を陰極胴から周知手段で剥離することにより製造するこ
とができ、得た銅箔は生箔と呼ばれ、後に様々の表面処
理を施して印刷回路その他向けの製品となる。
【００１３】
【実施例】図３は、本発明による電解銅箔製造装置にお
ける回転陰極胴１と分割一体化陽極２との配置関係や大
略構成を示す断面的説明図である。電解液を収蔵する電
解槽４内に陰極胴１は電解液に部分的に浸漬した状態で
回転し得るよう設置してある。
ける回転陰極胴１と分割一体化陽極２との配置関係や大
略構成を示す断面的説明図である。電解液を収蔵する電
解槽４内に陰極胴１は電解液に部分的に浸漬した状態で
回転し得るよう設置してある。
【００１４】回転陰極胴１の浸漬部であるおおよそ下半
部分を覆い、かつこの陰極胴表面から一定間隔のギャッ
プＧをおいて例えば８枚の分割一体化陽極３が配設して
ある。
部分を覆い、かつこの陰極胴表面から一定間隔のギャッ
プＧをおいて例えば８枚の分割一体化陽極３が配設して
ある。
【００１５】電解槽４内で分割一体化陽極３の下位置に
電解液を多数のノズルＮから供給すると、電解液は陰極
胴１と分割一体化陽極３との間の上記ギャップＧを通し
て流れ、陽極上縁から溢出して循環する。直流電源が陰
極胴と陽極との間に接続してあり、所定の電圧を維持し
ている。
電解液を多数のノズルＮから供給すると、電解液は陰極
胴１と分割一体化陽極３との間の上記ギャップＧを通し
て流れ、陽極上縁から溢出して循環する。直流電源が陰
極胴と陽極との間に接続してあり、所定の電圧を維持し
ている。
【００１６】陰極胴１が回転するにつれ、電解液から回
転陰極胴１へ電着する銅は厚みを増し、所定の厚さとな
った生箔は、適宜の剥離手段により陰極胴１の上部から
剥離して巻き取る。
転陰極胴１へ電着する銅は厚みを増し、所定の厚さとな
った生箔は、適宜の剥離手段により陰極胴１の上部から
剥離して巻き取る。
【００１７】このようにして製造した生箔は、陽極−陰
極間のギャップＧに対応して電解液の流速あるいは供給
電気量等をコントロールすることなどの周知手段によ
り、その厚みにバラツキが生じないようにしてある。
極間のギャップＧに対応して電解液の流速あるいは供給
電気量等をコントロールすることなどの周知手段によ
り、その厚みにバラツキが生じないようにしてある。
【００１８】電解銅箔製造設備においては、或る一定期
間の運転を終ると、特に陽極２の減耗により陽極２及び
陰極胴１間のギャップＧが拡大したり、ムラが生じて、
使用に耐えない状態となるが、この発明では、前記の通
り、陽極２を少くとも三つに分割して溶着部ｙで溶着一
体化して使用する。
間の運転を終ると、特に陽極２の減耗により陽極２及び
陰極胴１間のギャップＧが拡大したり、ムラが生じて、
使用に耐えない状態となるが、この発明では、前記の通
り、陽極２を少くとも三つに分割して溶着部ｙで溶着一
体化して使用する。
【００１９】次いで使用に伴ない各陽極３がほぼ満遍な
く減耗したら、前記各溶着部ｙを丸鋸工具などで切断
後、ナットｎを緩め、雄ネジ６を回転し、その螺装深さ
を図２の（ａ），（ｂ）から図２（ｃ）に示すように変
えることで、前記各分割一体化陽極３の図２（ｂ）に示
すようなほぼ均等な減耗による前記陰極胴１に対するギ
ャップＧの拡大分Ｇ＋αを図２（ｃ）のように、満遍な
くほぼ均等に初期ギャップＧに縮小修正後、各雄ねじ６
をナットｎでロックし、前記各分割陽極を位置決めし、
前記溶着切断部分を再度溶着部ｙで溶着し研磨仕上げを
施すことで、上記位置決め後の分割一体化陽極３を再利
用できる。
く減耗したら、前記各溶着部ｙを丸鋸工具などで切断
後、ナットｎを緩め、雄ネジ６を回転し、その螺装深さ
を図２の（ａ），（ｂ）から図２（ｃ）に示すように変
えることで、前記各分割一体化陽極３の図２（ｂ）に示
すようなほぼ均等な減耗による前記陰極胴１に対するギ
ャップＧの拡大分Ｇ＋αを図２（ｃ）のように、満遍な
くほぼ均等に初期ギャップＧに縮小修正後、各雄ねじ６
をナットｎでロックし、前記各分割陽極を位置決めし、
前記溶着切断部分を再度溶着部ｙで溶着し研磨仕上げを
施すことで、上記位置決め後の分割一体化陽極３を再利
用できる。
【００２０】なお、図３における符号１Ｂで示すもの
は、陰極胴１の軸１Ａの軸受け、Ｂは通電刷子、Ｗは陰
極胴１を回転駆動するためのウォームホイール、ＷＧは
そのウォームギヤである。
は、陰極胴１の軸１Ａの軸受け、Ｂは通電刷子、Ｗは陰
極胴１を回転駆動するためのウォームホイール、ＷＧは
そのウォームギヤである。
【００２１】
【発明の効果】この発明は、回転陰極胴１と、その周面
１ａのほぼ下半分に対面する湾曲陽極２との間に電解液
を流し、前記陰極胴周面１ａに銅を電着させてこの電着
銅を陰極胴周面１ａの上部から銅箔として剥離すること
で、電解銅箔を製造する装置を構成するに当り、前記湾
曲陽極２には、その切断や溶着・研磨仕上げ等の加工が
容易な鉛合金材を用いて、その湾曲方向に少なくとも三
つに均等分割後溶着部ｙで溶着して分割一体化陽極３と
なし、この陽極３を電解槽４内に設置した湾曲ベース５
に対し、このベース５の外部から雄ねじ６により前記陰
極胴１に向け、螺装することで、前記分割一体化陽極３
のほぼ均等な減耗による前記陰極胴１に対するギャップ
Ｇの拡大分を、前記溶着部ｙの切断後湾曲ベース５の外
部から雄ねじ６により満遍なく初期ギャップＧに縮小修
正後、各陽極３を雄ねじ６とナットｎで位置決めロック
し、前記溶着切断部分を溶着部ｙで再度溶着して一体化
した後、研磨仕上げを施すことで、陽極の部分妄動等の
不安定要素をなくすことができたし、上記位置決め後の
分割一体化陽極３を作業性良く短期間で再利用できるの
で、電解操業中断期間が短くて済むし、省資源で産廃ゴ
ミ公害も半減できたという優れた効果が有る。
１ａのほぼ下半分に対面する湾曲陽極２との間に電解液
を流し、前記陰極胴周面１ａに銅を電着させてこの電着
銅を陰極胴周面１ａの上部から銅箔として剥離すること
で、電解銅箔を製造する装置を構成するに当り、前記湾
曲陽極２には、その切断や溶着・研磨仕上げ等の加工が
容易な鉛合金材を用いて、その湾曲方向に少なくとも三
つに均等分割後溶着部ｙで溶着して分割一体化陽極３と
なし、この陽極３を電解槽４内に設置した湾曲ベース５
に対し、このベース５の外部から雄ねじ６により前記陰
極胴１に向け、螺装することで、前記分割一体化陽極３
のほぼ均等な減耗による前記陰極胴１に対するギャップ
Ｇの拡大分を、前記溶着部ｙの切断後湾曲ベース５の外
部から雄ねじ６により満遍なく初期ギャップＧに縮小修
正後、各陽極３を雄ねじ６とナットｎで位置決めロック
し、前記溶着切断部分を溶着部ｙで再度溶着して一体化
した後、研磨仕上げを施すことで、陽極の部分妄動等の
不安定要素をなくすことができたし、上記位置決め後の
分割一体化陽極３を作業性良く短期間で再利用できるの
で、電解操業中断期間が短くて済むし、省資源で産廃ゴ
ミ公害も半減できたという優れた効果が有る。
【図１】本発明装置の実施形態の要部を示す断面図
【図２】同上Ａ部の状態を異にした部分拡大断面図
【図３】本発明実施例の大略的断面図
１ 回転陰極胴（ドラム） １ａ 回転陰極胴の周面 ２ 湾曲陽極 ３ 分割一体化陽極 ４ 電解槽 ５ 湾曲ベース ６ 雄ねじ ｙ 分割一体化陽極の溶着部 Ｇ 回転陰極胴と分割一体化陽極とのギャップ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平11−302900（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−87883（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−209396（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−41984（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−346270（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−230686（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−346697（ＪＰ，Ａ) 実公 平７−30689（ＪＰ，Ｙ２) 国際公開98／17845（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C25D 1/04 C25D 17/12
Claims (1)
- 【請求項１】 回転陰極胴１と、その周面１ａのほぼ下
半分に対面する湾曲陽極２との間に電解液を流し、前記
陰極胴周面１ａに銅を電着させてこの電着銅を陰極胴周
面１ａの上部から銅箔として剥離することで、電解銅箔
を製造する装置において、前記湾曲陽極２には加工し易
い鉛合金材を用いてその湾曲方向に少なくとも三つに均
等分割後溶着部ｙで溶着して分割一体化陽極３となし、
この陽極３を電解槽４内に設置した湾曲ベース５に対
し、このベース５の外部から雄ねじ６により前記陰極胴
１に向け螺装することで、前記分割一体化陽極３のほぼ
均等な減耗による前記陰極胴１に対するギャップＧの拡
大分を、前記溶着部ｙの切断後湾曲ベース５の外部から
雄ねじ６により満遍なく縮小修正し、前記溶着切断部分
を再度溶着部ｙで溶着して一体化し、研磨仕上げを施す
ことで、再び分割一体化陽極３として再利用可能となし
た電解銅箔の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000027531A JP3261582B2 (ja) | 2000-02-04 | 2000-02-04 | 電解銅箔の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000027531A JP3261582B2 (ja) | 2000-02-04 | 2000-02-04 | 電解銅箔の製造装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001164395A JP2001164395A (ja) | 2001-06-19 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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