JP2506573B2 - 電解銅箔の製造方法及び装置 - Google Patents
電解銅箔の製造方法及び装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電解銅箔の製造方法及
び装置に関する。
び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電解銅箔は、不溶性金属製の陽極（アノ
ード）と表面を鏡面研磨された金属製陰極（カソード）
胴（ドラム）との間に電解液を流しそして陽極及び陰極
胴間に電位を与えることにより、陰極胴表面に銅を電着
させそして所定厚となった電着物を陰極胴から剥離する
ことにより製造される。得られる銅箔は生箔と呼ばれ、
爾後に様々の表面処理を施して印刷回路その他向けの製
品とされる。
ード）と表面を鏡面研磨された金属製陰極（カソード）
胴（ドラム）との間に電解液を流しそして陽極及び陰極
胴間に電位を与えることにより、陰極胴表面に銅を電着
させそして所定厚となった電着物を陰極胴から剥離する
ことにより製造される。得られる銅箔は生箔と呼ばれ、
爾後に様々の表面処理を施して印刷回路その他向けの製
品とされる。
【０００３】図５は、従来からの電解銅箔製造における
陰極胴と陽極との配置関係を示す説明図である。電解液
を収蔵する電解槽（図示なし）において、陰極胴１は電
解液に部分的に浸漬された状態で回転しうるよう設置さ
れる（ここでは時計方向）。陰極胴１の浸漬された、お
およそ下半部分を覆って且つ回転胴表面から一定間隔を
おいて例えば２枚の陽極５が配設される。電解槽内で２
枚の陽極５の間の６時の位置（短針の位置、以下同じ）
から電解液が供給されそして電解液は陰極胴と陽極との
間の間隙を通して流れて陽極上縁から溢出して循環され
る。整流器６が陰極胴と陽極との間に所定の電圧を維持
している。
陰極胴と陽極との配置関係を示す説明図である。電解液
を収蔵する電解槽（図示なし）において、陰極胴１は電
解液に部分的に浸漬された状態で回転しうるよう設置さ
れる（ここでは時計方向）。陰極胴１の浸漬された、お
およそ下半部分を覆って且つ回転胴表面から一定間隔を
おいて例えば２枚の陽極５が配設される。電解槽内で２
枚の陽極５の間の６時の位置（短針の位置、以下同じ）
から電解液が供給されそして電解液は陰極胴と陽極との
間の間隙を通して流れて陽極上縁から溢出して循環され
る。整流器６が陰極胴と陽極との間に所定の電圧を維持
している。
【０００４】陰極胴１が回転するにつれ、電解液から電
着する銅は厚みを増し、およそ１２時の位置において所
定の厚さとなった生箔が適宜の剥離手段により剥離され
て巻き取られる。
着する銅は厚みを増し、およそ１２時の位置において所
定の厚さとなった生箔が適宜の剥離手段により剥離され
て巻き取られる。
【０００５】このようにして製造された生箔は、陽極−
陰極間の距離、供給される電解液の流速あるいは供給さ
れる電気量等の不均一性により、その厚みにバラツキが
生じる。
陰極間の距離、供給される電解液の流速あるいは供給さ
れる電気量等の不均一性により、その厚みにバラツキが
生じる。
【０００６】一方で、電解銅箔製造設備においては、或
る一定期間の運転を終ると、特に陽極の減耗により陽極
及び陰極間の間隔にムラが生じて、使用に耐えない状態
となる。特に端部と中央部とでは電解液の流れ状況が異
なり、巾方向の厚みのバラツキが生じる。
る一定期間の運転を終ると、特に陽極の減耗により陽極
及び陰極間の間隔にムラが生じて、使用に耐えない状態
となる。特に端部と中央部とでは電解液の流れ状況が異
なり、巾方向の厚みのバラツキが生じる。
【０００７】このように、製造される電解銅箔は、図５
に示すように、長さ方向及び巾方向厚みにバラツキを生
じている。
に示すように、長さ方向及び巾方向厚みにバラツキを生
じている。
【０００８】電解銅箔の巾方向の厚みの均一化を達成す
るためには、従来次のような対策がとられてきた： （１）陽極ミリング：電解銅箔製造設備においては、陽
極は或る一定期間の運転を終ると、その減耗により陽極
及び陰極間にムラが生じ、使用に耐えない状態となる。
使用に耐えない状態とは、電解電圧が異常に上昇した状
態或いは製造された銅箔の厚みのバラツキが激しい状態
を云う。この状態を回避するために、一定期間使用され
た陽極は特殊な切削機械で表面を円筒加工する。 （２）陽極部分削り：陽極ミリング後製造された銅箔の
巾方向の厚みのバラツキを測定し、そのデータに応じて
陽極の表面を部分的に削り取り、銅箔の厚みを修正す
る。
るためには、従来次のような対策がとられてきた： （１）陽極ミリング：電解銅箔製造設備においては、陽
極は或る一定期間の運転を終ると、その減耗により陽極
及び陰極間にムラが生じ、使用に耐えない状態となる。
使用に耐えない状態とは、電解電圧が異常に上昇した状
態或いは製造された銅箔の厚みのバラツキが激しい状態
を云う。この状態を回避するために、一定期間使用され
た陽極は特殊な切削機械で表面を円筒加工する。 （２）陽極部分削り：陽極ミリング後製造された銅箔の
巾方向の厚みのバラツキを測定し、そのデータに応じて
陽極の表面を部分的に削り取り、銅箔の厚みを修正す
る。
【０００９】この他、陽極の少なくとも一部を複数個の
巾方向厚み均一化用分割陽極として構成し、電解銅箔の
巾方向厚みが均一となるようこれら分割陽極への電気量
を個別に制御することが提唱され、これは操業中に巾方
向厚みを制御しうる点で優れており、大きな成果を挙げ
ている。
巾方向厚み均一化用分割陽極として構成し、電解銅箔の
巾方向厚みが均一となるようこれら分割陽極への電気量
を個別に制御することが提唱され、これは操業中に巾方
向厚みを制御しうる点で優れており、大きな成果を挙げ
ている。
【００１０】ところが、銅箔の長さ方向厚みのバラツキ
に関しては、これまで何故かほとんど問題認識されず、
現在に至っている。
に関しては、これまで何故かほとんど問題認識されず、
現在に至っている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】銅箔は主としてプリン
ト配線板に使用されるが、そのプリント配線板の高密度
化に伴い、回路の狭巾化、多層化による一層当たりの厚
みの低下により、銅箔の薄箔化が進展すると同時に、銅
箔の厚みの均一化への要求は益々厳しくなっている。
ト配線板に使用されるが、そのプリント配線板の高密度
化に伴い、回路の狭巾化、多層化による一層当たりの厚
みの低下により、銅箔の薄箔化が進展すると同時に、銅
箔の厚みの均一化への要求は益々厳しくなっている。
【００１２】それに伴い、従来看過されてきた長さ方向
厚みの均一化の解決も重大な課題となっている。
厚みの均一化の解決も重大な課題となっている。
【００１３】本発明の課題は、操業中の長さ方向の厚み
修正を可能とする新たな電解銅箔製造方法及び装置を開
発することである。
修正を可能とする新たな電解銅箔製造方法及び装置を開
発することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、陽極の少
なくとも一部を長さ方向厚み均一化用分割陽極として構
成し、製造された電解銅箔の長さ方向厚みの変化に応じ
て長さ方向厚みが均一となるよう分割陽極への電気量を
個別に制御することを想到した。電気量の制御は、分割
陽極に供給する電気量を個別に制御する整流器を設置す
るか若しくは分割陽極と陰極胴との間隔を調節して、該
長さ方向厚み均一化用分割陽極と陰極胴との間の電流密
度を個別に制御する分割陽極位置調節機構を設置するこ
とにより実現することができる。
なくとも一部を長さ方向厚み均一化用分割陽極として構
成し、製造された電解銅箔の長さ方向厚みの変化に応じ
て長さ方向厚みが均一となるよう分割陽極への電気量を
個別に制御することを想到した。電気量の制御は、分割
陽極に供給する電気量を個別に制御する整流器を設置す
るか若しくは分割陽極と陰極胴との間隔を調節して、該
長さ方向厚み均一化用分割陽極と陰極胴との間の電流密
度を個別に制御する分割陽極位置調節機構を設置するこ
とにより実現することができる。
【００１５】この知見に基づいて、本発明は、（１）回
転自在の陰極胴と該陰極胴に対面する少なくとも１枚の
陽極との間に電解液を流し、該陰極胴表面に銅を電着さ
せそして電着した銅箔を該陰極胴から剥離する電解銅箔
の製造方法において、前記陽極の少なくとも一部を長さ
方向厚み均一化用分割陽極として構成し、そして該長さ
方向厚み均一化用分割陽極に供給する電気量を個別に制
御することにより銅箔の長さ方向厚みを均一化すること
を特徴とする電解銅箔の製造方法及び（２）長さ方向厚
み均一化用分割陽極に供給する電気量を、陰極胴一周当
たりの銅箔の長さ方向厚みのパターンに基づいて個別に
制御することを特徴とする前記（１）の電解銅箔の製造
方法を提供する。本発明はまた、（３）回転自在の陰極
胴と該陰極胴に対面する少なくとも１枚の陽極との間に
電解液を流し、該陰極胴表面に銅を電着させそして電着
した銅箔を該陰極胴から剥離する電解銅箔の製造装置に
おいて、前記陽極の少なくとも一部を長さ方向厚み均一
化用分割陽極として構成し、そして該長さ方向厚み均一
化用分割陽極に供給する電気量を個別に制御する整流器
を備えたことを特徴とする均一化された長さ方向厚みを
有する電解銅箔の製造装置並びに（４）回転自在の陰極
胴と該陰極胴に対面する少なくとも１枚の陽極との間に
電解液を流し、該陰極胴表面に銅を電着させそして電着
した銅箔を該陰極胴から剥離する電解銅箔の製造装置に
おいて、前記陽極の少なくとも一部を長さ方向厚み均一
化用分割陽極として構成し、そして該長さ方向厚み均一
化用分割陽極と陰極胴との間隔を調節して、該長さ方向
厚み均一化用分割陽極と陰極胴との間の電流密度を個別
に制御する分割陽極位置調節機構を備えたことを特徴と
する均一化された長さ方向厚みを有する電解銅箔の製造
装置をも提供する。
転自在の陰極胴と該陰極胴に対面する少なくとも１枚の
陽極との間に電解液を流し、該陰極胴表面に銅を電着さ
せそして電着した銅箔を該陰極胴から剥離する電解銅箔
の製造方法において、前記陽極の少なくとも一部を長さ
方向厚み均一化用分割陽極として構成し、そして該長さ
方向厚み均一化用分割陽極に供給する電気量を個別に制
御することにより銅箔の長さ方向厚みを均一化すること
を特徴とする電解銅箔の製造方法及び（２）長さ方向厚
み均一化用分割陽極に供給する電気量を、陰極胴一周当
たりの銅箔の長さ方向厚みのパターンに基づいて個別に
制御することを特徴とする前記（１）の電解銅箔の製造
方法を提供する。本発明はまた、（３）回転自在の陰極
胴と該陰極胴に対面する少なくとも１枚の陽極との間に
電解液を流し、該陰極胴表面に銅を電着させそして電着
した銅箔を該陰極胴から剥離する電解銅箔の製造装置に
おいて、前記陽極の少なくとも一部を長さ方向厚み均一
化用分割陽極として構成し、そして該長さ方向厚み均一
化用分割陽極に供給する電気量を個別に制御する整流器
を備えたことを特徴とする均一化された長さ方向厚みを
有する電解銅箔の製造装置並びに（４）回転自在の陰極
胴と該陰極胴に対面する少なくとも１枚の陽極との間に
電解液を流し、該陰極胴表面に銅を電着させそして電着
した銅箔を該陰極胴から剥離する電解銅箔の製造装置に
おいて、前記陽極の少なくとも一部を長さ方向厚み均一
化用分割陽極として構成し、そして該長さ方向厚み均一
化用分割陽極と陰極胴との間隔を調節して、該長さ方向
厚み均一化用分割陽極と陰極胴との間の電流密度を個別
に制御する分割陽極位置調節機構を備えたことを特徴と
する均一化された長さ方向厚みを有する電解銅箔の製造
装置をも提供する。
【００１６】
【作用】本発明に従えば、電解銅箔生箔の長さ方向厚み
のばらつきを低減するために、図５において既に説明し
た陽極の、少なくとも一部、好ましくは少なくとも銅箔
取り出し側の１枚或いはその一部が巾方向に分割された
複数個の長さ方向箔厚み均一化用分割陽極として構成さ
れる。もちろん、既存の陽極に追加してこれら長さ方向
箔厚み均一化用分割陽極を補助陽極として設置すること
が出来る。
のばらつきを低減するために、図５において既に説明し
た陽極の、少なくとも一部、好ましくは少なくとも銅箔
取り出し側の１枚或いはその一部が巾方向に分割された
複数個の長さ方向箔厚み均一化用分割陽極として構成さ
れる。もちろん、既存の陽極に追加してこれら長さ方向
箔厚み均一化用分割陽極を補助陽極として設置すること
が出来る。
【００１７】
【実施例】図１及び図２には、２枚の陽極のうちの銅箔
引出し側の陽極の一部を長さ方向箔厚み均一化用分割陽
極（以下、単に分割陽極という）９として構成した例を
示す。また、分割陽極は、巾方向に分割せずに１枚巾の
分割陽極としても良い。
引出し側の陽極の一部を長さ方向箔厚み均一化用分割陽
極（以下、単に分割陽極という）９として構成した例を
示す。また、分割陽極は、巾方向に分割せずに１枚巾の
分割陽極としても良い。
【００１８】図３は、長さ方向分割陽極を９を銅箔引出
し側陽極５の全体にわたって複数列設けた例であるり、
これら複数列の各々を巾方向に分割せずに１枚巾の分割
陽極としても良い。
し側陽極５の全体にわたって複数列設けた例であるり、
これら複数列の各々を巾方向に分割せずに１枚巾の分割
陽極としても良い。
【００１９】図４は、銅箔引出し側のみならず、電着開
始側の陽極の一部をも長さ方向分割陽極として構成した
例を示す。
始側の陽極の一部をも長さ方向分割陽極として構成した
例を示す。
【００２０】巾方向分割数並びに分割陽極の列数は、多
い程きめ細かな制御が出来るが、それだけ作製及びメン
テナンスが大変であり、製造すべき銅箔の巾並びに電解
銅箔製造設備の状況に応じて、一列当たり１０〜４０
個、通常２０〜３０個前後に分割される。
い程きめ細かな制御が出来るが、それだけ作製及びメン
テナンスが大変であり、製造すべき銅箔の巾並びに電解
銅箔製造設備の状況に応じて、一列当たり１０〜４０
個、通常２０〜３０個前後に分割される。
【００２１】図１及び図２の例をもって、電解銅箔製造
の操業態様を説明する。
の操業態様を説明する。
【００２２】硫酸銅の硫酸溶液のような電解液を収蔵す
る電解槽（図示なし）において、例えばステンレス鋼或
いはチタン製の、回転円筒体である陰極胴１は電解液に
部分的に浸漬され、ここでは時計方向に回転しうるよう
支持装置によって設置されている。
る電解槽（図示なし）において、例えばステンレス鋼或
いはチタン製の、回転円筒体である陰極胴１は電解液に
部分的に浸漬され、ここでは時計方向に回転しうるよう
支持装置によって設置されている。
【００２３】陰極胴１の浸漬された、おおよそ下半部分
を覆って且つ陰極胴表面から一定間隔をおいて例えば２
枚の円弧状の不溶性陽極５が配設される。不溶性陽極
は、鉛、鉛とアンチモン、銀、インジウム等との鉛合金
等から作製される。別様には、この不溶性陽極は、ＤＳ
Ｅ或いはＤＳＡ（Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ ＳｔａｂｌｅＥ
ｌｅｃｒｏｄｅ，Ａｎｏｄｅ）と呼ばれる、チタンに代
表されるバルブ金属上に主として白金族金属或いはその
酸化物を被覆した構造のものとなしうる。陽極は、図示
のように陰極胴のおおよそ下１／４部分に沿って配設さ
れる２枚の陽極シートから構成するのが好ましいが、場
合によっては１枚、３枚或いは４枚といった、もっと多
くの陽極シートから構成することも出来る。
を覆って且つ陰極胴表面から一定間隔をおいて例えば２
枚の円弧状の不溶性陽極５が配設される。不溶性陽極
は、鉛、鉛とアンチモン、銀、インジウム等との鉛合金
等から作製される。別様には、この不溶性陽極は、ＤＳ
Ｅ或いはＤＳＡ（Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ ＳｔａｂｌｅＥ
ｌｅｃｒｏｄｅ，Ａｎｏｄｅ）と呼ばれる、チタンに代
表されるバルブ金属上に主として白金族金属或いはその
酸化物を被覆した構造のものとなしうる。陽極は、図示
のように陰極胴のおおよそ下１／４部分に沿って配設さ
れる２枚の陽極シートから構成するのが好ましいが、場
合によっては１枚、３枚或いは４枚といった、もっと多
くの陽極シートから構成することも出来る。
【００２４】本具体例に従えば、こうした陽極の銅箔取
り出し側の１枚の一部が、前述したような分割陽極９と
して構成されるのである。適宜数の分割陽極９’、
９”、・・・・が形成される。前述したように、長さ方
向分割陽極９は、巾方向に分割せずに１枚巾の分割陽極
としても良い。
り出し側の１枚の一部が、前述したような分割陽極９と
して構成されるのである。適宜数の分割陽極９’、
９”、・・・・が形成される。前述したように、長さ方
向分割陽極９は、巾方向に分割せずに１枚巾の分割陽極
としても良い。
【００２５】陰極胴と陽極との間隔は通常２〜１００mm
の範囲で一定位置に維持される。間隔が狭い程、電気量
が少なくてすむが、膜厚及び品質の管理が難しくなる。
の範囲で一定位置に維持される。間隔が狭い程、電気量
が少なくてすむが、膜厚及び品質の管理が難しくなる。
【００２６】陰極胴と陽極との間隔は電解液の流通路を
形成する。２枚の陽極５間の６時の位置から電解液が槽
内の適宜のポンプ（図示なし）を通して供給されそして
電解液は陰極胴と陽極との間の間隙を通して両側に流れ
て各陽極上縁から溢出して循環される。
形成する。２枚の陽極５間の６時の位置から電解液が槽
内の適宜のポンプ（図示なし）を通して供給されそして
電解液は陰極胴と陽極との間の間隙を通して両側に流れ
て各陽極上縁から溢出して循環される。
【００２７】整流器６が陰極胴と陽極との間に所定の電
圧を維持している。
圧を維持している。
【００２８】陰極胴１が回転するにつれ、電解液からの
銅の電着は、ほぼ３時の位置から始まり、次第に厚みを
増し、ほぼ９時の位置において電着を終えて所定の厚み
となり、おおよそ１２時の位置において所定の厚みとな
った生箔が適宜の剥離手段により剥離されて巻き取られ
る。
銅の電着は、ほぼ３時の位置から始まり、次第に厚みを
増し、ほぼ９時の位置において電着を終えて所定の厚み
となり、おおよそ１２時の位置において所定の厚みとな
った生箔が適宜の剥離手段により剥離されて巻き取られ
る。
【００２９】しかしながら、前述したように、供給され
る電解液の流速あるいは供給される電気量等の不均一性
により、生箔に長さ方向厚みの局所的変動が生ずる。
る電解液の流速あるいは供給される電気量等の不均一性
により、生箔に長さ方向厚みの局所的変動が生ずる。
【００３０】本実施例に従えば、実際に製造された銅箔
サンプルの長さ及び巾方向幾つかの位置での陰極胴一周
当たりの厚みパターンを測定し、その測定結果に応じて
子整流器７が、個々の分割陽極と陰極胴との間の電流量
を調整する。
サンプルの長さ及び巾方向幾つかの位置での陰極胴一周
当たりの厚みパターンを測定し、その測定結果に応じて
子整流器７が、個々の分割陽極と陰極胴との間の電流量
を調整する。
【００３１】本発明において、陰極胴一周当たりの厚み
のパターンとは、陰極胴が一周したときに製造された銅
箔を、例えば長さ方向に３６そして巾方向に２０カ所に
分割した場合には３６×２０＝７２０カ所の銅箔の厚み
を測定し、その７２０カ所の厚みの変動（バラツキ）の
状態を示したものをいう。
のパターンとは、陰極胴が一周したときに製造された銅
箔を、例えば長さ方向に３６そして巾方向に２０カ所に
分割した場合には３６×２０＝７２０カ所の銅箔の厚み
を測定し、その７２０カ所の厚みの変動（バラツキ）の
状態を示したものをいう。
【００３２】長さ方向及び巾方向の分割数を増やすほ
ど、銅箔の厚みの変動は少なくなるけれども、このため
の制御装置のメンテナンス等を考慮に入れると、通常は
１０〜４０が好ましい。
ど、銅箔の厚みの変動は少なくなるけれども、このため
の制御装置のメンテナンス等を考慮に入れると、通常は
１０〜４０が好ましい。
【００３３】銅箔の巾方向の各位置での厚みの測定は、
適宜のサンプリングによって単位面積当たりの重量を測
定することにより簡易に行ないうるし、静電容量検知型
のような厚み測定装置を用いることも出来る。
適宜のサンプリングによって単位面積当たりの重量を測
定することにより簡易に行ないうるし、静電容量検知型
のような厚み測定装置を用いることも出来る。
【００３４】各分割陽極間には好ましくは、絶縁シール
が設けられる。絶縁シール材としては、ＰＶＣ板、常温
加硫ゴム（ＲＴＶ：商品名）等が使用出来る。この外に
も、例えば、絶縁性接着剤で隣り合う分割陽極を接合す
ることにより或いは絶縁膜を挟んで分割陽極を一体化す
ることによりもたらされる。
が設けられる。絶縁シール材としては、ＰＶＣ板、常温
加硫ゴム（ＲＴＶ：商品名）等が使用出来る。この外に
も、例えば、絶縁性接着剤で隣り合う分割陽極を接合す
ることにより或いは絶縁膜を挟んで分割陽極を一体化す
ることによりもたらされる。
【００３５】本発明に従えば、分割陽極の個々の制御は
それぞれの設定位置を制御することによっても実施しう
る。電解液中で陽極を支持する支持装置とは別に、分割
陽極を個別に支持しそして個々の分割陽極を陰極胴に近
付け或いはそこから引離すための手段が設置される。こ
れら分割陽極が、螺子機構、ピストン−シリンダ機構等
の適宜の位置調節機構により前後に移動される。特定部
位に相当する特定の分割陽極の支持棒が位置調節機構に
より変位される。分割陽極が陰極胴に近付く程電流密度
は高まり、電着銅の厚みは増大する。逆に分割陽極を陰
極胴から引き離す程、電流密度は減少して電着銅厚みは
減少する。
それぞれの設定位置を制御することによっても実施しう
る。電解液中で陽極を支持する支持装置とは別に、分割
陽極を個別に支持しそして個々の分割陽極を陰極胴に近
付け或いはそこから引離すための手段が設置される。こ
れら分割陽極が、螺子機構、ピストン−シリンダ機構等
の適宜の位置調節機構により前後に移動される。特定部
位に相当する特定の分割陽極の支持棒が位置調節機構に
より変位される。分割陽極が陰極胴に近付く程電流密度
は高まり、電着銅の厚みは増大する。逆に分割陽極を陰
極胴から引き離す程、電流密度は減少して電着銅厚みは
減少する。
【００３６】こうして本発明に従えば、長さ方向箔厚み
均一化用分割陽極を利用して、そこに供給する電気量を
個別に制御するか、或いはその設定位置を個別に制御す
ることにより製造される電解銅箔の長さ方向厚みを均一
化することができる。
均一化用分割陽極を利用して、そこに供給する電気量を
個別に制御するか、或いはその設定位置を個別に制御す
ることにより製造される電解銅箔の長さ方向厚みを均一
化することができる。
【００３７】（実施例１）直径２．０ｍ及び巾１．３ｍ
の陰極胴と図示したように陰極胴のほぼ下半部分に沿っ
て配設された巾１．３ｍの、２枚の陽極を使用して硫酸
銅溶液を用いて厚み３５μｍの銅箔の製造を行なった。
本発明に従う陽極構成としては、図１及び図２に示した
構成を使用し、そして長さ方向分割陽極を２０個の分割
陽極から構成した。
の陰極胴と図示したように陰極胴のほぼ下半部分に沿っ
て配設された巾１．３ｍの、２枚の陽極を使用して硫酸
銅溶液を用いて厚み３５μｍの銅箔の製造を行なった。
本発明に従う陽極構成としては、図１及び図２に示した
構成を使用し、そして長さ方向分割陽極を２０個の分割
陽極から構成した。
【００３８】そして、あらかじめ測定された、陰極胴一
周当たりの長さ方向厚みのパターン（巾方向：２０×長
さ方向：３６＝７２０）に基づいて、個々の陽極をパソ
コンを用い、０．１〜１０Ａ／ｄｍ2 の範囲で調節し
た。この結果、本発明方法によって長さ方向の厚みの変
動は小さくなり、従来の約３％の変動から０．５％以下
の変動へと低減することができた。
周当たりの長さ方向厚みのパターン（巾方向：２０×長
さ方向：３６＝７２０）に基づいて、個々の陽極をパソ
コンを用い、０．１〜１０Ａ／ｄｍ2 の範囲で調節し
た。この結果、本発明方法によって長さ方向の厚みの変
動は小さくなり、従来の約３％の変動から０．５％以下
の変動へと低減することができた。
【００３９】（実施例２）本発明に従う陽極構成として
は、図５に示した銅箔の引き出し側の既存の陽極上に２
０個の分割陽極から成る長さ方向分割陽極を配設するこ
とにより構成し、実施例１と同様に厚み３５μｍの銅箔
を製造した。得られた銅箔の長さ方向の厚みの変動は
０．５％以下であった。
は、図５に示した銅箔の引き出し側の既存の陽極上に２
０個の分割陽極から成る長さ方向分割陽極を配設するこ
とにより構成し、実施例１と同様に厚み３５μｍの銅箔
を製造した。得られた銅箔の長さ方向の厚みの変動は
０．５％以下であった。
【００４０】
【発明の効果】従来あまり考慮されることのなかった、
供給される電解液の流速あるいは供給される電気量等の
不均一性に起因する長さ方向の厚みのバラツキを低減す
ることに成功した。巾方向厚みのバラツキを制御する手
段と併用することにより、厚みの均一な高品質銅箔が製
造出来る。
供給される電解液の流速あるいは供給される電気量等の
不均一性に起因する長さ方向の厚みのバラツキを低減す
ることに成功した。巾方向厚みのバラツキを制御する手
段と併用することにより、厚みの均一な高品質銅箔が製
造出来る。
【図１】２枚の陽極のうちの銅箔引出し側の陽極の一部
を箔厚み均一化用分割陽極として構成した実施例の、陰
極胴と陽極との配置関係を示す概略斜視図である。
を箔厚み均一化用分割陽極として構成した実施例の、陰
極胴と陽極との配置関係を示す概略斜視図である。
【図２】図１の陽極の斜視図である。
【図３】図２の銅箔引出し側陽極全体を複数列の長さ方
向分割陽極として構成した具体例の陽極の斜視図であ
る。
向分割陽極として構成した具体例の陽極の斜視図であ
る。
【図４】電着側陽極の一部をも長さ方向分割陽極として
構成した例を示す。
構成した例を示す。
【図５】従来からの電解銅箔製造における陰極胴と陽極
との配置関係を示す説明図である。
との配置関係を示す説明図である。
１ 陰極胴 ２ 中心軸 ４ 外周壁 ５ 陽極 ６ 整流器 ７ 子整流器 ９ 分割陽極
Claims (4)
- 【請求項１】 回転自在の陰極胴と該陰極胴に対面する
少なくとも１枚の陽極との間に電解液を流し、該陰極胴
表面に銅を電着させそして電着した銅箔を該陰極胴から
剥離する電解銅箔の製造方法において、前記陽極の少な
くとも一部を長さ方向厚み均一化用分割陽極として構成
し、そして該長さ方向厚み均一化用分割陽極に供給する
電気量を個別に制御することにより銅箔の長さ方向厚み
を均一化することを特徴とする電解銅箔の製造方法。 - 【請求項２】 長さ方向厚み均一化用分割陽極に供給す
る電気量を、陰極胴一周当たりの銅箔の長さ方向厚みの
パターンに基づいて個別に制御することを特徴とする請
求項１の電解銅箔の製造方法。 - 【請求項３】 回転自在の陰極胴と該陰極胴に対面する
少なくとも１枚の陽極との間に電解液を流し、該陰極胴
表面に銅を電着させそして電着した銅箔を該陰極胴から
剥離する電解銅箔の製造装置において、前記陽極の少な
くとも一部を長さ方向厚み均一化用分割陽極として構成
し、そして該長さ方向厚み均一化用分割陽極に供給する
電気量を個別に制御する整流器を備えたことを特徴とす
る均一化された長さ方向厚みを有する電解銅箔の製造装
置。 - 【請求項４】 回転自在の陰極胴と該陰極胴に対面する
少なくとも１枚の陽極との間に電解液を流し、該陰極胴
表面に銅を電着させそして電着した銅箔を該陰極胴から
剥離する電解銅箔の製造装置において、前記陽極の少な
くとも一部を長さ方向厚み均一化用分割陽極として構成
し、そして該長さ方向厚み均一化用分割陽極と陰極胴と
の間隔を調節して、該長さ方向厚み均一化用分割陽極と
陰極胴との間の電流密度を個別に制御する分割陽極位置
調節機構を備えたことを特徴とする均一化された長さ方
向厚みを有する電解銅箔の製造装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2411764A JP2506573B2 (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | 電解銅箔の製造方法及び装置 |
| TW080108694A TW239169B (ja) | 1990-05-31 | 1991-11-05 | |
| EP91119338A EP0491163B1 (en) | 1990-12-19 | 1991-11-13 | Method and apparatus for producing electrolytic copper foil |
| DE69117155T DE69117155T2 (de) | 1990-12-19 | 1991-11-13 | Verfahren und Vorrichtung zur elektrolytischen Erzeugung von Kupferfolien |
| MYPI91002092A MY138622A (en) | 1990-12-19 | 1991-11-13 | Method of producing electrolytic copper foil |
| KR1019910021865A KR940007609B1 (ko) | 1990-12-19 | 1991-11-30 | 전해구리박의 제조방법 및 장치 |
| US07/965,115 US5326455A (en) | 1990-12-19 | 1992-10-22 | Method of producing electrolytic copper foil and apparatus for producing same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2411764A JP2506573B2 (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | 電解銅箔の製造方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04221091A JPH04221091A (ja) | 1992-08-11 |
| JP2506573B2 true JP2506573B2 (ja) | 1996-06-12 |
Family
ID=18520710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2411764A Expired - Lifetime JP2506573B2 (ja) | 1990-05-31 | 1990-12-19 | 電解銅箔の製造方法及び装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2506573B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012066991A1 (ja) | 2010-11-15 | 2012-05-24 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 電解銅箔 |
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-
1990
- 1990-12-19 JP JP2411764A patent/JP2506573B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
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| KR20150091192A (ko) | 2010-11-15 | 2015-08-07 | 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 | 전해 구리박 |
| KR20180024875A (ko) | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 엘에스엠트론 주식회사 | 전해동박 제조장치 |
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|---|---|
| JPH04221091A (ja) | 1992-08-11 |
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