JP2011067938A - 電解加工に関するシステム及び装置 - Google Patents

Abstract

【課題】金属の研磨及び／又は機械加工に関連する方法、システム及び／又は装置を提供すること。
【解決手段】第１の面及び第１の面と反対側の第２の面を有する外側カソード面（３０２）と、外側カソード面（３０２）の第１の面上に配置された、予め定められた厚さの薄い非導電性パッドをそれぞれ含む複数のスペーサパッド（３０４）と、１つ以上の導電ストリップと、外側カソード面（３０２）を貫通するオリフィスを介して電解質の流れを方向付けるように構成された電解質チャネル（３１０）と、外側カソード面（３０２）の第２の面に隣接した、外側カソード面（３０２）を弾性的に支持するように構成されたエラストマー裏打ち（３０６）とを含む、電解加工デバイスのツーリング部品（３００）。
【選択図】 図４

Description

本出願は、一般に、金属の研磨及び／又は機械加工に関連する方法、システム及び／又は装置に関する。より具体的には、ただし限定的にではないが、本出願は、金属の電解研磨及び／又は機械加工、特に、例えばタービンエンジンのブレードの製造に使用される金属を始めとする超硬合金の電解研磨及び／又は機械加工に関連する改良方法、システム及び／又は装置に関する。

一般に、使用され、従来技術（旋削、ミリング、グラインディング、穿孔などの機械的な力に依拠する機械加工法）での機械加工が非常に難しい材料又は超硬合金に最も多用されている２つの主な代替的な機械加工及び研磨の方法がある。これら２つの方法は、放電加工（以下、「ＥＤＭ」）及び電解加工（以下、「ＥＣＭ」）である。当業者には自明であろうが、これらの代替的方法はそれぞれ、その用途に伴う利点と欠点とを有する。

ＥＤＭは、速い一連の繰返し放電を生じさせることによって金属を除去するので、「スパーク加工」と呼ばれる場合が多い。これらの放電は、電極と機械加工される金属片との間を流れる。工作物から除去される少量の材料は、継続的に流れる流体を用いて洗い流される。繰返し放電は、所望の形状が作成されるまで、工作物に連続的な一連の深いくぼみを作り出す。

ラムＥＤＭ及びワイヤＥＤＭという２つの主要なＥＤＭ方法がある。両者の主な相違点は、機械加工を行うのに使用される電極である。一般的なラムＥＤＭの応用例では、特定の形状の黒鉛電極が構築され、電源及びラムに接続されており、工作物にゆっくりと送り込まれる。機械加工動作全体は、通常、流体槽に沈められた状態で行われる。流体は、一般に、次の３つの目的を果たす。即ち、１）材料を洗い流し、２）熱影響部を最小限に抑える（それによって、工作物に損傷を与える可能性を防ぐ）ための冷却材として働き、３）電極と工作物との間を電流が流れる降伏後の導体として作用する。ワイヤＥＤＭでは、非常に細いワイヤが電極として働く。特殊な真鍮ワイヤが一般的に使用される。ワイヤは材料にゆっくり通され、放電が工作物を切断する。ワイヤＥＤＭはまた、通常、水槽内で行われる。ワイヤ自体は切断すべき金属に触れず、放電が実際に少量の材料を除去し、ワイヤが工作物を貫通できるようにする。一般的に、コンピュータがワイヤの通過を制御する。

ＥＤＭは、チタン、ハステロイ、コバール及びインコネルなどの超硬合金又は合金を機械加工するのに有効に使用することができ、更に、入り組んだ又は複雑な形状を生産するのにコスト効率的に使用することができる。しかし、特に表面が平滑な完成品が要求される応用例では、ＥＤＭには著しい欠点がある。１つの態様では、この欠点としては、ＥＤＭ加工部分の表面に沿ってリキャスト層が形成されることが挙げられる。リキャスト層は、ＥＤＭプロセスの熱によって形成される比較的薄い表面層である。熱によって、機械加工領域に隣接した部分の領域が軟化し、ＥＤＭプロセスが完了した後に再硬化する。再硬化は、一般に、金属の材質に悪影響を与える。これらの悪影響の１つは表面粗さが増すことであるが、これは、一般的に再硬化によって、表面欠陥、ばり、亀裂などの形成が引き起こされるためである。当業者には自明であろうが、タービンエンジンのホットパス構成部品に関与するものなど、多くの工業用途に関して、表面平滑度は重視される特性であり得る。例えば、一部のタービンエンジンの場合、１０〜１５ＲＭＳの表面処理を達成することで、エンジンの効率を著しく向上することができ、これは当然ながら、発電用途において非常に望ましい。その結果、ＥＤＭは多くの機械加工用途に関してコスト効率が良く有効な方法であるが、リキャスト層を除去し、機械加工部分の外表面を平滑にするため、第２の機械加工又は研磨方法が必要な場合が多い。

ＥＣＭも、金属から材料を除去するのに電気エネルギーを使用する。カソードとして働くツーリング部品と、プロセスによって機械加工される部品である、アノードとして働く工作物という２つの別個の電極を用いて、電解セルが電解質媒体中に作成される。一般的に、材料を溶解し、ＥＤＭと同様に導電性でなければならない工作物から除去するのに、高アンペア低電圧の電流が使用される。ＥＣＭは、本質的には、電気分解の原理を利用する逆めっきプロセスである。

プロセスの間、従来方法によってそれぞれ異なる機械加工用途向けに独自に形成すべきツーリング部品は、工作物に非常に近接して位置決めされ、ツーリング部品と工作物との間のギャップ（以下、「電極間ギャップ」）の両端間に低電圧が印加される。一般的なＥＣＭシステムは、高アンペアＤＣ電流が２つの電極間を流れるように、電極間ギャップを介して電解質を循環させる。材料が工作物から除去され、流れる電解質溶液がイオンを洗い流す。これらのイオンは金属水酸化物を形成し、これは、一般に、遠心分離によって電解質溶液から除去される。その結果、電解質及び金属スラッジは両方とも再利用することができる。従来の切断方法とは異なり、工作物の硬度が要因にならず、ＥＤＭのようにＥＣＭを機械加工が困難な材料に適したものにする。

ＥＣＭに伴ういくつかの利点がある。第一に、機械加工プロセスの間、構成要素は熱応力及び機械的応力のどちらも受けない。したがって、ＥＤＭとは異なり、リキャスト層が形成されない。第二に、プロセスの間、ツールの磨耗がない。したがって、著しく磨耗することなくツーリング部品を繰り返し使用することができる。専用のツール片又はツールが一旦形成されると、同じツーリング部品によって複雑な幾何学形状を繰り返し正確に機械加工することができる。第三に、表面を非常に高度な平滑度に機械加工又は研磨するのにＥＣＭを使用することができる。一般に、１０〜１５ＲＭＳ以下の表面平滑度が達成可能である。

しかし、当業者には自明であろうが、ＥＣＭにも欠点がある。一般に、ＥＣＭは、他の機械加工方法と比べて時間がかかり、高価である。これは、一般に、機械加工される各構成要素又は部品と共に使用するために専用のＥＣＭツーリング部品を構築しなければならないことによる。それに加えて、より詳細に後述するように、これらツーリング部品は一般に、必要とされる多数の流路によってその複雑さが増す。更に、従来のＥＣＭ機械は、高い流体圧力下で工作物に対してツーリング部品を精密にコンピュータ制御して移動させることが必要なため、複雑で比較的高価である。

本明細書に記載する本発明はこの用途に限定されないが、タービンエンジンブレードの機械加工に焦点を当てた実施例を以下に提供する。これは単に一例として提供されるものであり、本発明はそれに限定されないことが理解されるであろう。しかし、この実施例は、特に述べられている例示的なタービンエンジン応用例と同様の応用例に関して、本出願による機械加工をどのように使用して、機械加工コストを削減し、機械加工効率を向上することができるかを実証する。

タービンエンジンは、一般に多段のロータ及びステータブレードを有し、これらは、圧縮機がある場合はそこに又はエンジンのタービン部内に見出すことができる。これらのブレードはそれぞれ、それら自体の一連の航空力学的基準を有し、そのため、各列内のブレードはそれら自体の明確な形状を有する。記載されるように、より高いレベルの表面平滑度は、一般に、ブレードの空気力学的性能を向上し、それによって、エンジン全体の性能又は効率を改善することも理解されるであろう。所望の平滑度レベルを所与とすると、ＥＣＭは、ブレードの外表面を機械加工又は研磨するための好ましい代替例を示す。更に、二次加工プロセスの一部としてＥＤＭが行われたブレードの場合、ＥＣＭは、リキャストの薄い外層を除去する魅力的な代替例をもたらす。これは、リキャストが一旦除去されると、タービンエンジンにおいて良好に働く平滑面が残るように行うことができる。このようにして、ＥＣＭ及びＥＤＭプロセスは互いに補完的であってもよく、即ち、ＥＤＭは、必要とされる機械加工の大部分に対してコスト効率的に使用されてもよく、一方でＥＣＭは、タービンエンジン用途において特に重視されるタイプの微細に研磨された表面を作り出すのに使用されてもよい。

しかし、タービンエンジンに必要とされるブレードの形状は様々に異なるため、従来のＥＣＭは比較的高価なプロセスになる。一般に、これは、タービンエンジン内で使用される多くの異なるタイプのブレードそれぞれに対して、独自の一連のＥＣＭツーリング部品が必要とされるためである。必要とされるツーリング部品の生産に必要な時間とコストが、ＥＣＭ機械のコスト、並びにＥＣＭプロセス自体に関する時間及びコストに織り込まれるとき、ＥＣＭは、この性質の用途にとって桁違いなコストがかかるものになる場合が多い。これは、部品及び構成要素の設計が定期的に変更又は微調整され、それによって新しいツーリング部品が定期的に必要になることがあるような業界において、特に当てはまる。その結果、ＥＣＭプロセス及びＥＣＭ機械に関連する改良方法、システム及び／又は装置、特に、初期機械コスト、ツーリング部品生産コスト及び／又は使用に関連する労力及び時間の点で、ＥＣＭ機械及びプロセスをよりコスト効率が良く有効にすることができる方法、システム及び／又は装置が必要とされている。

したがって、本出願は、電解加工デバイスのツーリング部品について記載する。ツーリング部品は、可撓性の外側カソード面と、エラストマー裏打ちとを含んでもよい。外側カソード面の一面はエラストマー裏打ちによって支持されてもよい。

いくつかの実施形態では、外側カソード面は薄い金属シートを含み、ツーリング部品は、ツーリング部品を位置決めするための手段と、外側カソード面上に配置された１つ以上のスペーサパッドと、外側カソード面に電流を供給するための手段と、外側カソード面の厚さを貫通する１つ以上のオリフィスを介して電解質の流れを供給するための手段とを含む。

いくつかの実施形態では、ツーリング部品を位置決めするための手段は、エラストマー裏打ちの第１の端部に配置された機械ラムを含み、外側カソード面はエラストマー裏打ちの第２の端部に位置決めされ、エラストマー裏打ちの第１の端部及びエラストマー裏打ちの第２の端部はエラストマー裏打ちの実質的に反対側の端部であり、外側カソード面に電流を供給するための手段は、１つ以上の導電ストリップを含み、外側カソード面を貫通する１つ以上のオリフィスを介して電解質の流れを供給するための手段は、ツーリング部品を位置決めするための手段から外側カソード面を通して延在する電解質チャネルを含む。

いくつかの実施形態では、電解質チャネルはエラストマー裏打ちの少なくとも一部分を通して延在する。外側カソード面は、約０．００００５〜０．０００５ｍの厚さを含んでもよい。いくつかの実施形態では、エラストマー裏打ちは、エラストマー裏打ちが外側カソード面を弾性的に支持するように構成される。

いくつかの実施形態では、エラストマー裏打ちは、外側カソード面が工作物の不均一な表面に押し付けられたとき、外側カソード面が押し付けられるが離隔された関係にある工作物の表面の外形と実質的に同じ外形を外側カソード面が含むように、エラストマー裏打ちによって外側カソード面が弾性的に変形できるように構成され、スペーサパッドはそれぞれ、外側カソード面全体に分配された実質的に非導電性の材料から作られた比較的薄いパッドを含む。

いくつかの実施形態では、複数のスペーサパッドの厚さは、少なくとも複数の予め定められた異なる厚さ測定値を含み、複数のスペーサパッドは、動作の間、電解質の流れが所望の形で影響を受けるように、予め定められた異なる厚さ測定値に基づいて外側カソード面上に配置される。

いくつかの実施形態では、スペーサパッドは、外側カソード面が工作物の表面に押し付けられたとき、外側カソード面が工作物の表面と接触するのをスペーサパッドが実質的に防ぎ、その結果、外側カソード面と工作物の表面との間に所望の距離のギャップを形成するように構成され、ギャップの両端間の所望の距離は、外側カソード面と工作物の表面との間における電解加工プロセスの所望の電極間ギャップに相当する。

いくつかの実施形態では、外側カソード面に電流を供給するための手段は、ツーリング部品を位置決めするための手段から外側カソード面まで延在すると共に、電源に接続された１つ以上の可撓性の導電ストリップを含み、外側カソード面を貫通する１つ以上のオリフィスを介して電解質の流れを供給するための手段は、エラストマー裏打ちを介して外側カソード面を貫通する１つ以上のオリフィスへと電解質の流れを搬送するように構成された１つ以上の電解質チャネルを含み、電流を供給するための手段は、外側カソード面と工作物の表面との間に形成された電極間ギャップの両端間に電圧を印加することができるように構成される。

いくつかの実施形態では、外側カソード面の一部は、電解加工デバイスの動作の間、絶縁体コーティングによって覆われた範囲が工作物と電解反応するのを実質的に防ぐ絶縁体コーティングを含み、絶縁体コーティングを含む外側カソード面の一部は、予め定められた目的範囲を含む。

本出願のこれら及び他の特徴は、好ましい実施形態の以下の詳細な説明を図面及び添付の特許請求の範囲と併せ読むことによって明らかになるであろう。

本発明のこれら及び他の特徴は、本発明の例示的実施形態の以下のより詳細な説明を添付図面と併せて慎重に検討することによって、更に十分に理解され認識されるであろう。

従来の設計によるＥＣＭシステムの概略図である。 本出願の例示的実施形態によるＥＣＭシステムの概略図である。 本出願の例示的実施形態によるＥＣＭシステム及びＥＣＭプロセスの概略図である。 本出願の例示的実施形態による可撓性ツーリング部品の側面図である。 図４の可撓性ツーリング部品の平面図である。 例示的な工作物に対して使用するにあたって位置決めされているような、例示的実施形態による可撓性ツーリング部品の側面図である。 交互に形作られた工作物に対して使用するにあたって位置決めされているような、例示的実施形態による可撓性ツーリング部品の側面図である。

本明細書に記載するように、本出願の実施形態による電解加工（「ＥＣＭ」）プロセスは、機械加工後の表面が高度に研磨されているように、工作物から外層を迅速に除去する、比較的高速の電解反応をもたらすことができる。本明細書に記載される実施形態によるＥＣＭプロセスはまた、一般的には放電加工（ＥＤＭ）の間に形成される、リキャスト層を効率的に除去するのに使用されてもよい。特定の実施形態では、後述するように、本出願は、工作物とツーリング部品との間での周期運動を用いて、必要とされる電解質の流れを生じさせるＥＣＭシステムを提供し、それによって、ツーリング部品の構築を簡略化し、且つ／又は従来システムで一般的に使用される、高圧ポンプシステムを排除できるようにすることができる。それに加えて、本出願の特定の実施形態では、修正された可撓性ツーリング部品によって、多くの異なる形状の工作物に対して単一のツーリング部品を使用できるようにすることができる。いくつかの実施形態では、パルス電流を使用して、電極間ギャップにおける様々な機械加工製品の集中を調整してもよく、これは拡散律速腐食に使用されてもよい。

次に図１を参照すると、従来の設計によるＥＣＭシステム１００が示される。理解されるように、ＥＣＭシステム１００の主要構成要素としては、電源１０２、カソード又はツーリング部品１０４、アノード又は工作物１０６、電解質ポンプ１０８及び電解質タンク１１０が挙げられる。動作の際、当業者には自明であろうが、ツーリング部品１０４及び工作物１０６は、それらの間の空間によって比較的狭い電極間ギャップ１１２が画定されるように位置決めされる（また、機械加工プロセスが継続するにつれて再度位置決めされる）。次に、電源１０２を使用して、形成される電解セルの工作物１０６とツーリング部品１０４、即ちアノードとカソードそれぞれの両端間に電圧が印加される。

ＥＣＭシステム１００は、図示されるように、加圧された電解質の継続的な流れを電極間ギャップ１１２内へと圧送するように動作する、電解質システムを含んでもよい。機械加工プロセスの間、ツーリング部品１０４の形状がほぼ変化しないままであるように、適切な電解質、例えば塩化ナトリウム（食塩）水溶液が選択される。電解質は、ポンプ１０８によって電解質タンク１１０から圧送され、比較的高速及び高圧でツーリング部品１０４に送達される。一般に、電解質は、ツーリング部品１０４を介して電極間ギャップ１１２に導入される。これは、一般的に、図１に示されるように、ツーリング部品１０４内に形成された１つ以上の中空の電解質チャネル１１４を通して行われる。電解質チャネル１１４は電解質を工作物１０６に向ける。電解質チャネル１１４から電解質はツーリング部品１０４を出て、電極間ギャップ１１２によって画定された空間を通って流れる。このようにして、電解質は、比較的高速及び高圧で電極間ギャップ１１２を介して移動するようにされてもよい。

独自のツーリング部品１０４、即ち、必要とされる形状とその中に構成された必要な電解質チャネル１１４とを有するものを二次加工することは、特に異なる部品形状それぞれに対して独自のツーリング部品１０４を作成しなければならないとき、一般的に重大な試みであることが理解されるであろう。それに加えて、多くの応用例では、工作物１０６／ツーリング部品１０４アセンブリの外部に沿った縁部をシールしなければならない。これは、一般的に、所望の電解質の流れパターン、速度及び圧力が作り出され、機械加工プロセスの間、電極間ギャップ１１２を介して維持されるようにして行われる。更に、ツーリング部品１０４は、工作物１０６が機械加工されているとき、ツーリング部品１０４と工作物１０６との間で必要な電極間ギャップ１１２が維持されるように位置決めしなければならない。これは、一般に、工作物１０６が機械加工されるにつれてそれに向かってツーリング部品１０４を徐々に移動させる制御システムを含む。これは、単一の軸線又は２つの軸線に沿った移動を含んでもよい。これらの要件が、全体として、従来のＥＣＭプロセスを複雑にしていることが理解されるであろう。当業者には自明であろうが、このことによって、特に製造される構成部品の予測数が少ないか又は機械加工を必要とする異なる形状の部品数が多い場合、一般に、時間がかかり高価な機械加工方法となっている。

動作の際、金属除去は、上述したようにＥＣＭの電解セルの一部品である、アノード分極された工作物１０６を電気化学溶解することによって達成される。超硬合金は、ＥＣＭを使用することによって電気分解により形作ることができ、機械加工の速度は、一般にそれらの硬度に依存しない。プロセスに使用されるツーリング部品１０４、即ちＥＣＭの電解セルにおける他方の電極は磨耗せず、したがって、従来の機械加工方法とは異なり、より硬質な工作物上に形状を形成するためのツールとして軟金属が使用されてもよい。当業者には自明であろうが、ＥＣＭは、鋼構造における表面の平滑化、穴の穿孔、複雑な形状の形成及び疲労亀裂除去に使用されてもよい。

動作の間、電極間ギャップ１１２を通って移動する電解質は、電気化学溶解材料を工作物１０６から除去する。それに加えて、電解質の流れは、カソードガス発生及び電気的加熱によって発生するものなどの無用な影響を減少させる。金属がアノード（即ち、工作物）１０６から除去される速度は、電極間の距離にほぼ反比例する。機械加工が進行するにしたがって、またそれと同時にカソードが一般的な速度でアノードに向かって移動するのに伴って、電極長さに沿った電極間ギャップ１１２の幅は徐々に定常値となる傾向がある。これらの条件下では、アノード上において、カソードの形状を大まかに補完する形状が再現される。一般的なギャップ幅は約０．０００４メートルであり得る。

ポンプ１０８は、一般に、システム全体にわたって流体動力を供給する。ポンプ１０８がその一部を成す電解質システムは、この動作を向上させる他の従来の構成要素を含んでもよい。例えば、電極間ギャップ１１２に送達される電解質の流量及び圧力を調節するためのバルブ１１６が、ポンプ１０８の上流に位置決めされてもよい。従来のフィルタ１１８も含まれてもよい。フィルタ１１８は、一般的に、電極間ギャップ１１２の下流に位置し、工作物１０６から除去された材料を濾過するので、電解質を、不純物を含まず再使用できる状態でタンク１１０に戻すことができる。

次に図２を参照すると、本出願の例示的実施形態によるＥＣＭシステム２００が示される。理解されるように、ＥＣＭシステム２００は、電源１０２、ツーリング部品１０４及び工作物１０６を含む、図１の従来システムに示されるのと同じ構成要素の多くを含んでもよい。図示されるように、工作物１０６はタービンブレードであってもよい。いくつかの実施形態では、本発明は、タービンブレードの表面の機械加工又は研磨を行う（それによって、タービンエンジン用途で重視される性質の平滑面を作成し、且つ／又は、例えばそれに先立つＥＤＭプロセスの間に形成された、リキャスト層を除去する）のに特に良く適しているが、この特定の用途についての本明細書における記載は単に例示的なものである。当業者には自明であろうが、この性質及び他のものの応用も可能である。

ツーリング部品１０４は、工作物１０６に所望の機械加工効果を作り出す表面の外形を備えて構築されてもよい。図示されるように、タービンブレードの場合、ツーリング部品１０４は工作物１０６の表面の外形をほぼ反映する表面の外形を有していてもよい。したがって、図２に示されるように、ツーリング部品１０４の凹面は、タービンブレード（即ち、工作物１０６）の凸状の吸気側に対して間隔を空けて、且つ電極間ギャップ１１２の全域に存在してもよい。タービンブレードの反対側を機械加工している場合（図示なし）、ツーリング部品は、タービンブレードの凹状の圧縮側に対して間隔を空けて、且つそこから電極間ギャップ１１２の全域に存在する凸状面を有する。しかし、本発明の特定の実施形態に関して本明細書に提供されるように、ツーリング部品１０４の表面の外形は、タービンブレード工作物の外形と正確に一致する必要はない。これは、特定の場合においては、薄い外層のみが除去される研磨用途に正確な外形の一致が必要ないためである。これらの例では、近似的な外形の一致のみを必要とする。このため、本発明によれば、単一のツーリング部品１０４を、多少異なるものの類似した表面の外形を有する多くの工作物１０６と共に使用できる可能性がある。このことは、例えばタービンブレードの機械加工において特に有利であるが、それは、隣接した段のブレードが互いに類似し、ただし僅かに修正された空気力学的外形を有する場合が多いためである。

やはり言及したように、ツーリング部品１０４は様々な材料で作られてもよい。本出願の実施形態によれば、好ましくは、ツーリング部品１０４は、銅、ステンレス鋼及び他の類似のタイプの金属及び材料といった材料のいずれかを使用して構築されてもよい。工作物１０６は一般的には超硬合金である。本出願のシステム及び方法によって一般的に機械加工されてもよいタイプの金属としては、チタン、ハステロイ、コバール、インコネル、ステンレス鋼及び炭素鋼が挙げられる。他の材料もこのプロセスを使用して機械加工されてもよい。電解質溶液は任意の従来の電解質溶液であってもよい。一般的には、電解質溶液は様々な濃度レベルの水性硝酸ナトリウムであってもよい。

ＥＣＭシステム２００は電解質システムを含んでもよい。いくつかの実施形態では、電解質システムは、図１の従来システムに関して記載したものとは異なる。要するに、電解質溶液の高圧の方向付けられた流れは必要ではないので、図２のＥＣＭシステム２００の電解質システムは従来の設計よりも簡略化されてもよい。代わりに、図２に示されるように、機械加工プロセスの間、工作物１０６及びツーリング部品１０４が沈められるように、電解質は作業タンク２０４を充填してもよい。より詳細に後述するように、電解質は、作業タンク２０４から別のタンク、つまり電解質リザーバ２０８へと圧送又は排出されてもよい。その際、電解質は従来のフィルタ１１８を通り抜けてもよい。フィルタ１１８は、工作物１０６から機械加工された材料を除去するので、濾過後に電解質を再使用することができる。フィルタ１１８は、作業タンク２０４と電解質リザーバ２０８との間に位置してもよいが、他の位置も可能である。この濾過用途に使用してもよいタイプのフィルタとしては、バッグフィルタ、カートリッジフィルタ及び／又は他の従来の濾過システムが挙げられる。一般的に、本出願によるＥＣＭ用途は比較的少量の電解スラッジを発生させ、これは一般に、濾過システムがコスト及び容量の比較的低いシステムであり得ることを意味する。濾過された電解質は、電解質リザーバ２０８から作業タンク２０４に戻されてもよい。これにポンプ２１０が使用されてもよい。しかし、ＥＣＭシステム２００の動作により、図３に関してより詳細に記載するように、ポンプ２１０は、比較的高い流量及び圧力下で電解質を電極間ギャップ１１２内の精密な位置へと圧送する必要がない。代わりに、ポンプ２１０は単に（いくつかの実施形態では）、ツーリング部品１０４及び工作物１０６が電解質に再び沈められるように、低圧で作業タンク２０４を再充填することが必要とされる。更に、電解質を電極間ギャップ１１２内の精密な位置へと高圧で方向付ける（図１のシステムの場合のように）必要がないので、多くのパイプ、ホース、取付具及び／又は接続部などをシステムから排除することができる。工作物１０６を切断する中空の電解質チャネル１１４も、本出願の実施形態によって不要になっている可能性がある。当業者には自明であろうが、これにより、システム及びツーリング部品１０４の構造が全体的に簡略化される。

図３は、本出願の例示的実施形態によるＥＣＭシステム２００の機能を示す。図３（ａ）〜３（ｆ）は、本出願の一実施形態によるシステムの動作中の、工作物１０６に対するツーリング部品１０４の移動を示す。図３（ａ）では、ツーリング部品１０４は初期の上方又は上昇位置にある。この位置では、電極間ギャップ１１２は広く、また一般に、機械加工を行うには広すぎる。電極、即ちツーリング部品１０４及び工作物１０６が離れた位置にあると言うこともできる。いずれの場合も、この位置では、電源（図３には図示なし）はギャップの両端間に電圧を印加しない。図３（ａ）では、作業タンク２０４内の電解質は溶解不純物をほぼ含まないことが理解されるであろう。

図３（ｂ）では、矢印によって示されるように、ツーリング部品１０４は下向きに又は工作物１０６に向かって移動される。制御された下向きの運動は、従来の利用可能なシステム及び可動部を使用して達成されてもよい。例えば、当業者には自明であろうが、モータ及びスピンドルに基づく電気駆動系、ピストン及びシリンダに基づく油圧駆動系、並びにリニアモータ又は軸受に基づいた電磁駆動系が使用されてもよい。他の従来の装置及びシステムも使用されてもよい。いくつかの実施形態では、ツーリング部品１０４の下向きの運動は比較的高速である。そのような実施形態では、好ましくは、ツーリング部品１０４の下向きの速度は約０．２〜３．５ｍ／ｓであってもよい。より好ましい実施形態では、ツーリング部品１０４の下向きの速度は約０．５〜２．５ｍ／ｓであってもよい。ツーリング部品１０４の下向きの運動によってツーリング部品１０４と工作物１０６との間の空間が狭まり、最終的に、電極間の狭い空間、即ち電極間ギャップ１１２が形成されることが理解されるであろう。また、電極間ギャップ１１２を形成し狭めることにより、図３（ｂ）及び３（ｃ）の矢印によって示されるように、ツーリング部品１０４と工作物１０６との間から電解質が排除されることが理解されるであろう。これにより、ツーリング部品１０４と工作物１０６との間の電解質の流れが作られる。流れは、一般に、電極間ギャップ１１２の周辺へと方向付けられる。

図３（ｃ）では、ツーリング部品１０４の運動によって電極間ギャップ１１２が限界寸法へと狭められると、電源１０２は、電極間ギャップ１１２の両端間に電圧が生じるように、電極（即ち、ツーリング部品１０４及び工作物１０６）に電気を送ることができ、それによって、工作物１０６の電解溶解が始まる。電解溶解による残留物、即ち機械加工粒子２１２は、電極間ギャップ１１２からの電解質の流れによって作業タンク２０４内へと流すことができる。

いくつかの実施形態では、所望の期間の間、電極間ギャップ１１２の両端間に比較的中断されない電圧が印加されるように、電源１０２からの電気の印加は継続的であってもよい。そのような実施形態では、電極間ギャップ１１２の両端間に印加される中断されない電圧は約１２〜２０Ｖであってもよい。より好ましくは、これらの実施形態では、電極間ギャップ１１２の両端間に印加される中断されない電圧は約１５〜１８Ｖである。他の実施形態では、電極間ギャップ１１２の両端間における電源１０２からの電気の印加は、一連の離散的なパルスとして印加されてもよい。この場合、電圧は短い持続時間の間、電極間ギャップ１１２の両端間に印加され（即ち、「パルス」）、それに続いて、別の短い持続時間の間は電極間ギャップ１１２の両端間に電圧は印加されない。次に、この「オン／オフ」サイクルは所望の回数繰り返される。好ましい一実施形態では、サイクルは、約１５〜３０Ｖの電圧が約０．０５〜０．３秒間、電極間ギャップ１１２の両端間に印加され、それに続いて、約０．１〜０．３秒間は電極間ギャップ１１２の両端間に電圧が印加されないことを含んでもよい。この場合、電源１０２はパルスを終了する前に１０〜１００サイクルを実行してもよい。より好ましくは、別の実施形態では、サイクルは、約２２〜２８Ｖの電圧が約０．０８〜０．２秒間、電極間ギャップ１１２の両端間に印加され、それに続いて、約０．１２〜０．３秒間は電極間ギャップ１１２の両端間に電圧が印加されないことを含んでもよい。この場合、電源１０２はパルスを終了する前に２０〜５０サイクルを実行してもよい。パルス電力を使用するいくつかの応用例では、より良好な電解質流れ及び表面品質が提供されることが実証されている。パルス間隔はまた、溶解材料のより良好な洗い流しを可能にすることができる。

他の実施形態では、より詳細に後述するように、可変の電圧レベルが他のやり方で適用されてもよい。これには、電圧の振幅、パルス間の時間、限界寸法及び他の変数を変化させることが挙げられる。上述したような電圧の印加は、コンピュータ実施制御システムと連結された、従来の機械類及び電気システムを使用して実現されてもよいことが理解されるであろう。例えば、当業者には理解されるように、そのようなシステムを実現するために、他の電子制御素子及び技術の中でも、スイッチモード電源、金属酸化膜半導体、電界効果トランジスタ（ＭＯＳＦＥＴ）及び／又は絶縁ゲートバイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ）が使用されてもよい。

工作物１０６に向かうツーリング部品１０４の運動によって電極間ギャップ１１２が第２の限界寸法へと狭まると、ツーリング部品１０４の運動を停止してもよく、また電極の両端間に印加される電圧を終了してもよい。第２の限界寸法は、電極間ギャップ１１２が相対的に非常に狭い（第１の限界寸法よりも狭い）寸法を含んでもよい。この停止位置では、電解溶解、即ち粒子２１２の大部分又は全てが、図３（ｄ）に示されるように、電極の間から作業タンク２０４の他の部分内へと洗い流されているであろうことが理解されるであろう。

この時点で、好ましい一実施形態では、作業タンク２０４内の電解質が濾過される。このようにして、電解溶解による粒子２１２を、更なる電解加工に干渉しないように除去することができる。そのため、作業タンク２０４内の電解質を、電解質リザーバ２０８に排出し、従来のフィルタ１１８に通してそこで粒子を除去することができる。例えば、バッグフィルタ、カートリッジフィルタ及び他の類似のデバイスを始めとする従来の濾過デバイス及び技術をこれに使用してもよい。それによって濾過されて、電解質を更なる機械加工のために作業タンク２０４に戻すことができる。これは、従来のポンプ２１０を用いて又は電解質リザーバ２０８の配置に応じて、単純な排水管を用いて実現されてもよい。電解質の濾過は他の形で実現されてもよいことが理解されるであろう。また、いくつかの応用例では、濾過を行わずに電解質を繰り返し使用することが可能であってもよく又は、電解質を未使用の電解質と交換することも行われてもよい。

図３（ｅ）及び３（ｆ）は、初期位置へと戻るツーリング部品１０４を示す。図３（ｅ）では、ツーリング部品１０４は工作物１０６から離れるように移動する。これにより、濾過された電解質の流入が可能になって、次の機械加工サイクルのために電解質が供給される。図３（ｆ）では、ツーリング部品１０４はその初期位置に達しており、本明細書に記載される本発明にしたがった別のＥＣＭサイクルに対応できる状態になっている。

本明細書にて使用するとき、「ＥＣＭサイクル」は、全体として、図３（ａ）〜３（ｆ）で提供される段階の一部又は全てを指すことを意図する。即ち、本発明による「ＥＣＭサイクル」は、概して、２つのＥＣＭ電極を離れた位置から近接位置へと近付け、２つのＥＣＭ電極間に形成される電極間ギャップの両端間に電圧を印加し、次に電極を離れた位置へと戻すサイクルを指すことを意図する。「離れた位置」は、ＥＣＭの観点で比較的大きなギャップが、即ち、ＥＣＭ機械加工が不可能であるか、実行不能であるか又はシステムオペレータがそれを要求しないほど大きなギャップが電極間に存在する、電極のあらゆる位置決めを指す。「近接位置」は、ＥＣＭ機械加工が可能であるか、実行可能であるか又はシステムオペレータがそれを要求する、電極のあらゆる位置決めを指す。

本出願のいくつかの実施形態にしたがって、ＥＣＭサイクルは、特定の用途に関して存在することがある異なる基準に応じて複数の形で行われてもよいことが理解されるであろう。これらの方法のいくつかは現在説明されている。しかし、これらは単に例示的なものであり、他の変形例も可能であることが、当業者には理解されるであろう。

第１の好ましい実施形態（その態様については、図３に関してより一般的な用語で既に検討した）では、電極は離れた位置で始まってもよい。この位置から、ツーリング部品１０４を工作物１０６に向かって移動させて、近接位置に到達すると、電極間ギャップ１１２がツーリング部品と工作物との間に形成されるようにしてもよい。工作物の運動によって電極間ギャップが第１の限界寸法（例えば、ツーリング部品と工作物との間における電極間ギャップの両端間の最小距離、ツーリング部品と工作物との間における電極間ギャップの両端間の平均距離又は工作物に対するツーリング部品の近接度若しくは電極間ギャップの両端間の距離に関する他の何らかの寸法を表してもよい）に達すると、電源によって電極間ギャップの両端間に電圧が印加されてもよい。用途に応じて、電圧は多数の異なるやり方で印加されてもよい。これらには、振幅が不変の中断されない電圧、振幅が可変の中断されない電圧、振幅が不変のパルス電圧、振幅が可変のパルス電圧、パルス電圧と中断されない電圧との何らかの組み合わせなどを印加することが挙げられる。ツーリング部品は、第２の限界寸法に達するまで、電圧が印加されている状態で工作物に向かって移動し続けてもよい。第２の限界寸法では、ツーリング部品の運動が停止されてもよく、電極間ギャップの両端間に印加されている電圧が止められてもよい。次に、ツーリング部品は離れた位置へと戻されてもよい。上述したように、いくつかの実施形態では、ツーリング部品は、作業タンクが空にされ、電解質が濾過又は交換されるまで停止位置（即ち、第２の限界寸法）に残り、次に離れた位置へと戻されてもよい。他の実施形態では、ツーリング部品は、停止された直後に又は停止されてから短い期間の後に、且つ電解質の排出／濾過／交換が完了する前に離れた位置へと戻されてもよい。後述する他の実施形態に対して、ツーリング部品を離れた位置へと戻すためのいくつかの代替例が可能であることが理解されるであろう。第１の好ましい実施形態に関して、特定の例では、第１及び第２の限界寸法は、ツーリング部品の表面と工作物の表面との間の近似距離を表してもよく、好ましくは、第１の限界寸法は０．０００８〜０．０００４ｍの値を有してもよく、第２の限界寸法は０．０００４〜０．０００１ｍの値を有してもよい。

第２の好ましい実施形態では、電極はやはり離れた位置で始まる。ツーリング部品１０４を工作物１０６に向かって移動させて、近接位置に到達すると、電極間ギャップ１１２がツーリング部品と工作物との間に形成されるようにしてもよい。工作物の運動によって電極間ギャップが第１の限界寸法に達すると、電源によって電圧（一定、パルス、可変振幅など）を電極間ギャップの両端間に印加してもよい。ツーリング部品は、第２の限界寸法に達するまで、電圧が印加されている状態で工作物に向かって移動し続けてもよい。第２の限界寸法では、ツーリング部品の運動が停止されてもよい。しかし、第１の実施形態とは異なり、ツーリング部品が静止している状態で予め定められた期間の間、電圧を印加し続けてもよい。次に、予め定められた期間が経過した後、電圧を止めてもよい。次に、上述の代替例のいずれかによって、ツーリング部品が離れた位置へと戻されてもよい。第２の好ましい実施形態に関して、特定の例では、第１及び第２の限界寸法は、ツーリング部品の表面と工作物の表面との間の近似距離を表してもよく、好ましくは、第１の限界寸法は０．０００５〜０．０００４ｍの値を有してもよく、第２の限界寸法は０．０００２５〜０．０００１５ｍの値を有してもよい。

第３の好ましい実施形態では、電極はやはり離れた位置で始まる。ツーリング部品１０４を工作物１０６に向かって移動させて、近接位置に到達すると、電極間ギャップ１１２がツーリング部品と工作物との間に形成されるようにしてもよい。工作物の運動によって電極間ギャップが第１の限界寸法に達すると、電源によって電圧（一定、パルス、可変振幅など）を電極間ギャップの両端間に印加してもよい。ツーリング部品は、第２の限界寸法に達するまで、電圧が印加されている状態で工作物に向かって移動し続けてもよい。第２の限界寸法では、ツーリング部品の運動は継続してもよく、一方で電圧は止められる。ツーリング部品は、第３の限界寸法に達するまで工作物に向かって移動し続けてもよい（電圧の印加はなし）。電圧を印加しないこの追加の移動は、電極間ギャップから電解溶解材料をより良好に洗い流すことができる。第３の限界寸法では、ツーリング部品の運動が止められてもよい。次に、上述の代替例のいずれかによって、ツーリング部品が離れた位置へと戻されてもよい。第３の好ましい実施形態に関して、特定の例では、第１、第２及び第３の限界寸法は、ツーリング部品の表面と工作物の表面との間の近似距離を表してもよく、好ましくは、第１の限界寸法は０．０００８〜０．０００４ｍの値を有してもよく、第２の限界寸法は０．０００４〜０．０００３ｍの値を有してもよく、第３の限界寸法は０．０００３〜０．０００１ｍの値を有してもよい。

第４の好ましい実施形態では、電極はやはり離れた位置で始まり、ツーリング部品１０４を工作物１０６に向かって移動させて、近接位置に達すると、電極間ギャップ１１２はツーリング部品と工作物の間に形成される。工作物の運動によって電極間ギャップが第１の限界寸法に達すると、電源によって電圧（一定、パルス、可変振幅など）を電極間ギャップの両端間に印加してもよい。ツーリング部品は、第２の限界寸法に達するまで、電圧が印加されている状態で工作物に向かって移動し続けてもよい。第２の限界寸法では、ツーリング部品の運動が停止されてもよい。この時点で、ツーリング部品は、１）電圧が継続している状態で予め定められた期間の間休止し、次に、電圧が依然として印加されている状態で方向を逆転してもよく、或いは、２）電圧が印加され続けている状態で、休止せずに方向を逆転してもよい。第３の限界寸法に達するまで、ツーリング部品を工作物から離れるように移動させながら、電圧を継続してもよく、いくつかの実施形態では、その第３の限界寸法は第１の限界寸法とほぼ同じであってもよい。第３の限界寸法に達した後、電圧を終了させ、次に、上述の代替例のいずれかにしたがって、ツーリング部品を離れた位置まで戻してもよい。第４の好ましい実施形態に関して、特定の例では、第１、第２及び第３の限界寸法は、ツーリング部品の表面と工作物の表面との間の近似距離を表してもよく、好ましくは、第１の限界寸法は０．０００８〜０．０００４ｍの値を有してもよく、第２の限界寸法は０．０００４〜０．０００１ｍの値を有してもよく、第３の限界寸法は０．０００８〜０．０００４ｍの値を有してもよい。

本明細書に記載される例示的実施形態は、ツーリング部品を静止した工作物に向かって移動させることについて述べているが、本出願の代替実施形態では、ツーリング部品が静止したままであって、工作物をそれに向かって移動させてもよいことが理解されるであろう。又は、別の実施形態では、両方を互いに向かって移動させてもよい。

動作の際、図２及び３並びにそれに付随する文章において提供されるようなＥＣＭシステム２００は、使用時に、有効且つコスト効率的なやり方で、工作物１０６の表面を機械加工又は研磨するのに使用されてもよい。これを達成する１つのやり方は、ツーリング部品の構造を簡略化することによるものである。本発明の実施形態では、電解質案内チャネルは必要ではないことが理解されるであろう。更に、反応領域の周囲をシールする必要性も排除されるか又は大幅に低減されることが理解されるであろう。それに加えて、本発明のいくつかの実施形態では、作業タンク内の電解質を機械加工後に排出／濾過／交換するため、システムがポンプを必要とすることがあるが、従来システムでは一般に求められる高圧ポンプは排除されてもよい。これは、ツーリング部品と工作物とを近付けることによって、全体として、高圧ポンプが電解質をギャップ内に圧送する代わりに、求められる電解質の流れが電極間ギャップ内で作り出されるためである。

本発明の１つの応用例では、上述したように、システムは、図２及び３に示されるように、金属の薄い外層をタービンブレードから除去するのに使用されてもよい。タービンエンジンはよりサイズが大きく温度が高くなるように発展しているので、ブレードに使用される材料は、より硬質でより耐性をもつようにしなければならず、従来の機械加工方法が困難になり又は役に立たなくなっている。例えば、より新しいブレード技術は、ほとんどの機械加工方法に対する非常に高い耐性をもつインコネルの使用を含む場合が多い。しかし、ＥＤＭは上首尾にインコネルを機械加工するのに使用されてきた。しかし、上述したように、ＥＤＭは一般に、リキャストの薄い層を後に残し、それが表面平滑度及び他の材料性質に悪影響を与える。タービンエンジン内でブレードがより良好に機能するために、このリキャスト層は除去するべきである。

本出願の実施形態は、コスト効率的なやり方でこの層を除去することに特に適合しており、非常に平滑な完成品を供給するものと判断されている。このタイプの平滑で研磨された表面を有するタービンブレードは、エンジン効率を１％改善することができる。はるかに小さな程度の効率改善が重視される産業では、このことは重要である。本発明は、簡略化され、さほど高価ではないＥＣＭ機械加工システムを使用して、高度に研磨された表面をもたらす能力を有し、また、インコネルを含むより硬質な新素材のいずれかに対して使用されてもよい。

図面を再び参照すると、図４〜７は、本出願の例示的実施形態による可撓性カソード、即ち可撓性ツーリング部品３００を示す。可撓性ツーリング部品３００は、コスト効率的及び／又は有効なＥＣＭプロセスを提供するための代替のシステム又は方法を示すことが理解されるであろう。例えば、詳細に後述するように、可撓性ツーリング部品３００は、様々な異なる形状の工作物上に対して使用される能力を有するツーリング部品を提供してもよい。当業者には自明であろうが、また上述したように、他の利点の中でも、このことにより、ＥＣＭ用途それぞれに対して独自のツーリング部品を製造する必要性を排除又は低減することによって、ＥＣＭプロセスと関連するコストが全体的に削減される。図２及び３に関して記載したＥＣＭプロセスも、ある程度のツーリング部品の互換性を提供するものとして記載した。しかし、図４〜７の可撓性ツーリング部品３００と関連した実施形態の多くでは、より高いレベルの互換性を提供することができ、それによって、より広範囲の工作物形状に対して単一のツーリング部品を使用する能力を提供することができる。

図４及び５に示されるように、本出願の例示的実施形態による可撓性ツーリング部品３００の構成要素は、外側カソード面３０２と、１つ以上のスペーサパッド３０４と、エラストマー裏打ち３０６と、１つ以上の導電ストリップ３０８と、１つ以上の電解質チャネル３１０とを含んでもよい。これらの構成要素（本発明の他の例示的実施形態では、それら全てが存在するのではないことがある）は、可撓性ツーリング部品３００が所望のやり方で工作物１０６を係合するように、可撓性ツーリング部品３００を移動させる又は位置決めするように動作する、機械ラム３１２若しくは他の機械構成要素の遠位端に位置決めされてもよい。この位置決めは、複数の軸線及び／又は回転に沿った移動を含んでもよく、また、図２及び３に関して上述したシステム及び／又は可動部のいずれかによって完了してもよい。

本発明の例示的実施形態によれば、外側カソード面３０２は、一般に、可撓性で導電性の材料を含む。いくつかの好ましい実施形態では、銅又はステンレス鋼が外側カソード面３０２に使用されてもよいが、他の材料又は金属も使用されてもよい。図５に示されるように、外側カソード面３０２は、ドーナツ形状、即ち中心に円形のカットアウトを有する円形を有してもよい。当業者には自明であろうが、正方形、楕円形、長方形、三角形、五角形などの他の形状が、全体形状及びカットアウト形状の両方に使用されてもよい。図示されるように、外側カソード面３０２は比較的薄い厚さを有してもよい。いくつかの実施形態では、外側カソード面３０２の厚さは約０．００００５〜０．０００５ｍであってもよい。より好ましくは、外側カソード面３０２の厚さは約０．０００１〜０．０００２ｍであってもよい。

一般に、エラストマー裏打ち３０６は、外側カソード面に対して弾性の裏打ち又は支持を提供し、全体として、機械ラム３１２と外側カソード面３０２との間の空間に位置決めされる。当業者には自明であろうが、この弾性の裏打ち又は支持は様々な形で提供されてもよい。例えば、エラストマー裏打ち３０６は固体の弾性材料を含んでもよい。それに加えて、エラストマー裏打ち３０６は、空気又は液体のどちらかで充填された可撓性の外膜を含んでもよい。それに加えて、エラストマー裏打ち３０６は、機械系又は同様の方法で行う液圧式の配置を含んでもよい。

上述したように、エラストマー裏打ち３０６は、外側カソード面３０２に対して弾性支持を提供する。この配置では、エラストマー裏打ち３０６は、外側カソード面３０２に対して支持を提供すると同時に、動作の際、外側カソード面３０２が工作物１０６の表面の外形に沿うことができるように、外側カソード面３０２が変形できるようにもする。より具体的には、エラストマー裏打ち３０６によって提供される弾性支持は、外側カソード面３０２に対する予期される圧力が外側カソード面３０２を所望量だけ弾性的に変形させ（この動作は、図６を考察することによってより明らかになるであろう）、次に、外側カソード面３０２に対する圧力が取り除かれると、エラストマー裏打ち３０６が外側カソード面３０２をそのほぼ元の形状へと戻すように構成されてもよい。

変形の程度及び変形を起こすために求められる圧力量は、材料の選択及び／又はエラストマー裏打ち３０６として使用される、液圧若しくは機械構成要素の構造又は構成部品によって制御することができることが理解されるであろう。いくつかの実施形態では、エラストマー裏打ち３０６は、例えば、様々なゴム、合成ポリイソプレン、フルオロエラストマー、シリコーン、ブタジエンゴム、熱オレフィンエラストマー又は他の類似のタイプの材料など、ほぼ固体の材料であってもよい。他の実施形態では、上述したように、エラストマー裏打ち３０６は、ガス（空気若しくは窒素など）又は液体を封入した可撓性の外層を含んでもよい。例えば、この場合、エラストマー裏打ち３０６の可撓性の外層は、ポリエチレン、ナイロン／ポリアミド又は他の類似の材料を含んでもよい。可撓性の外層が液体で充填されている場合、液体は、水、油又は他の流体を含んでもよい。機械系又は液圧構造を含むエラストマー裏打ち３０６に関して、本出願による実施形態は複数のバネを含んでもよく、バネは、金属、空気、液圧又は他のタイプのバネを含んでもよい。この場合、例えば、エラストマー裏打ち３０６は、機械ラム３１２から外側カソード面３０２までそれぞれ延在する複数のバネを備えてもよい。複数のバネは、外側カソード面３０２の内表面全体にわたって均等に間隔が空けられていてもよい。

いずれの場合であっても、エラストマー裏打ち３０６は、一般に、タービンブレードの湾曲した表面の外形など、工作物１０６の不均一な表面に外側カソード面３０２を押し付けると、工作物１０６の不均一な表面によって、外側カソード面３０２の表面全体にわたって不均一な圧力が生じるように構成されてもよいことが理解されるであろう。この不均一の圧力によって、外側カソード面３０２の異なる範囲が、印加される圧力レベルに対応する距離だけ押し下げられる。このようにして、エラストマー裏打ち３０６により、外側カソード面３０２が係合される（即ち、押し付けられる）工作物１０６の表面の外形をほぼ模倣するように、外側カソード面３０２を変形させることが可能になる。

上述したように、１つ以上のスペーサパッド３０４も可撓性ツーリング部品３００に含まれてもよい。スペーサパッド３０４は、外側カソード面３０２の周囲で間隔を空けられた比較的薄いパッドを含んでもよい。スペーサパッド３０４は、プラスチック、ゴム又は他の同様のタイプの材料などの非導電性材料から作られてもよい。図示されるように、また好ましい一実施形態では、スペーサパッド３０４は、ドーナツ形状の外側カソード面３０２の外縁部及び内縁部の周囲にほぼ均等に分配されてもよい。図６及び７により明らかに示されるように、外側カソード面３０２が工作物１０６を係合するか又はそれに押し付けられたとき、スペーサパッド３０４は、外側カソード面３０２と工作物１０６の表面との間のほぼ一定の予め定められたギャップを維持するように構成される。スペーサパッド３０４の厚さは、可撓性ツーリング部品３００の外側カソード面３０２と工作物１０６の表面との間で所望の電極間ギャップ１１２が形成され維持されるように提供されることが理解されるであろう。

導電ストリップ３０８も可撓性ツーリング部品３００に含まれてもよい。導電ストリップ３０８は、機械ラム３１２（又は電源に接続されてもよい他の構成要素）から外側カソード面３０２まで延在して、それらの間に接続をもたらしてもよい導電性材料のストリップを含んでもよい。好ましい実施形態では、動作の間の外側カソード面３０２又はエラストマー裏打ち３０６のどちらかの弾性変形を妨げたり、それに抵抗することがないように、導電ストリップ３０８は可撓性である。いくつかの好ましい実施形態では、図示されるように、エラストマー裏打ち３０６の外側の周囲で間隔を空けられた、複数の導電ストリップ３０８がある。単一の導電ストリップ、エラストマー裏打ち３０６を囲む連続的な導電ストリップ又はエラストマー裏打ち３０６を貫通する、若しくは電解質チャネル３１０を下方へ進む１つ以上の導電ストリップなど、他の構成も可能である。

電解質チャネル３１０は、図示されるように、エラストマー裏打ち３０６内に位置し、機械ラム３１２から外側カソード面３０２を介して出口まで延在してもよい。他の構成も可能である。図示されるように、電解質チャネル３１０は円形の断面を有してもよいが、他の断面形状が可能である。また、図示されるように、電解質チャネル３１０はフレア状の円形出口を有してもよい。電解質チャネル３１０は、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）又は他の類似の材料など、任意の適切な材料から作られてもよい。従来方法にしたがって、電解質チャネル３１０は、可撓性であり、周囲のエラストマー裏打ち３０６とは独立に移動することができるように構成されてもよい。このようにして、エラストマー裏打ち３０６及び外側カソード面３０２が動作の際に変位したとき、電解質チャネル３１０は損なわれず損傷を受けないままであることができる。電解質チャネル３１０の他の多くの構成が可能であることが当業者には理解されるであろう。例えば、電解質チャネル３１０は、外側カソード面３０２全体にわたって均等に間隔が空けられた多数の出口を有する、複数のチャネルを備えてもよい。電解質チャネル３１０は、電解質ポンプ（図示なし）に接続する電解質供給ライン（図示なし）に接続してもよい。動作の際、より詳細に後述するように、電解質ポンプは動作の間、電解質チャネル３１０を介して電解質を循環させてもよい。このようにして、電解質の流れが機械加工プロセスのために作られてもよく、電解質は、清浄な供給を使用できるようにフィルタを介して循環されてもよい。

いくつかの実施形態では、また図５に最も明らかに示されるように、可撓性ツーリング部品３００の性能を向上させるため、絶縁体コーティング３１６が使用されてもよい。本発明によるいくつかのＥＣＭ用途には不要であるが、絶縁体コーティング３１６は、外側カソード面３０２の特定の目的範囲において電解反応が起こるのを防ぐため、動作の際に使用されてもよい。これらの目的範囲は、電解質の流れが安定していない、滑らかな又は十分な場所に対応してもよい。例えば、電解質チャネル３１０の出口に隣接した場所又は出口付近では、電解質の流れは一般に安定性が低い。その結果、この場所で電解反応が起こるのを防ぐことが有益であるか又は望ましいことがある。したがって、図示されるように、絶縁体コーティング３１６の境界は、電解質出口に隣接した、且つ／又は出口付近の外側カソード面３０２に適用されてもよい。それに加えて、外側カソード面３０２の外縁部付近の又はそこに隣接した電解質の圧力及び流量は、いくつかの例では、有効なＥＣＭのためには低すぎることがある。この場合、外側カソード面３０２の外縁部に隣接して、若しくはその付近で電解反応が起こるのを防ぐことが有益であるか又は望ましいことがある。図示されるように、絶縁体コーティング３１６の境界は、外側カソード面３０２の外縁部若しくは外周に隣接した、且つ／又はその付近の外側カソード面３０２に適用されてもよく、それによって、これらの範囲で電解反応が起こるのを防ぐことができる。

使用の際、図６及び７に示されるように、可撓性ツーリング部品３００は、電解加工又は研磨の目的で、機械ラム３１２を通して工作物１０６の表面に適用されてもよい。図６は、例示的なタービンブレードの吸気側、即ち凸状側に対する可撓性ツーリング部品３００の適用を示す。図７は、例えば例示的なタービンブレードの圧縮側を表してもよい、凹状表面の外形を備えた工作物に対する、可撓性ツーリング部品３０２の適用の拡大図を示す。図６及び７は例証目的で提供されるものであり、縮尺通りに描かれていないこともあることに留意されたい。

どちらの場合も、可撓性ツーリング部品３００は、有効な電解加工のため、外側カソード面３０２がツーリング部品の表面に対して所望の位置を維持するように、弾性的に変形する。より具体的には、外側カソード面３０２は、工作物１０６の表面に近接した、ただしそれに対して間隔を空けた位置を維持する（即ち、外側カソード面３０２は、工作物１０６の表面にほぼ平行であるが、ただしスペーサパッド３０２の厚さ分だけずれている）。図６の場合、適切に係合された外側カソード面３０２は、工作物１０６の凸状表面の外形に対応する凹状表面の外形を形成する。一方、図７の場合、適切に係合された外側カソード面３０２は、工作物１０６の凹状表面の外形に対応する凸状表面の外形を形成する。

外側カソード面３０２と工作物１０６の表面との間で維持されるほぼ一定の距離、即ちＥＣＭ用途のための電極間ギャップは、いくつかのスペーサパッド３０４の厚さによってほぼ決まる。この場合、スペーサパッド３０４の厚さは、ＥＣＭ用途に応じた所望の厚さに調節されてもよい。それに加えて、いくつかの実施形態では、電解質の流れが有益なやり方で制御されるように、いくつかのスペーサパッド３０４の厚さは、外側カソード面３０２の表面に沿って異なるように又は可変にされてもよい。例えば、スペーサパッド３０４の厚さは、外側カソード面３０２／電解質チャネル３１０の出口の中心からの距離であるスペーサパッド３０４の距離の関数であるようにしてもよい。好ましい一実施形態では、パッド３０４の位置から外側カソード面３０２／電解質チャネル３１０の出口の中心までの距離が増加するにつれて、スペーサパッド３０４の厚さを減少させてもよい。これにより、外側カソード面３０２の外縁部又は外周付近の、外側カソード面３０２と工作物１０６の表面との間のギャップが狭まる。このように狭まることで、一般に、この空間を介する電解質の流量が増す（スペーサパッド３０４が一定の厚さである場合に比べて）。当業者には自明であろうが、電解質の流量をより多く維持することは、特定のＥＣＭ用途では有利なことがある。例えば、より多い流量は、電解プロセスの間に一般的に形成される、水素化物スラッジ及び水素の泡をより良好に洗い流すことができる。場合によっては、これらの向上した洗い流しの特性は、外側カソード面３０２の外周における絶縁体コーティング３１６の上述した必要性を緩和することができる。

可撓性ツーリング部品３００が工作物１０６を適切に係合するか又はそれに対して位置決めされると、電解質チャネル３１０を介して電解質を圧送し、それによって、外側カソード面３０２に形成された出口から、外側カソード面３０２と工作物１０６との間に形成されたギャップ（即ち、電極間ギャップ１１２）を介して電解質を流すことができる。電解質は一般に、出口から外側カソード面３０２の外周又は外縁部に向かって流れ、そこで、電解質は一般に、外側カソード面３０２と工作物１０６の表面との間に形成されている電極間ギャップ１１２から出ることが理解されるであろう。また、電解質ポンプの方向を反転させることによって、電解質が電極間ギャップ１１２の外周で電極間ギャップ１１２に入り、そこから電解質チャネル３１０に向かって流れ、次にそこに入るように、可撓性ツーリング部品３００を動作させることが可能であることに留意されたい。

従来の電源（図示なし）を使用して、外側カソード面３０２と工作物１０６の表面との間に形成されている電極間ギャップの両端間に電圧を印加してもよい。上述したように、カソードの場合、１つ以上の導電ストリップ３０８又は他の任意の従来手段を介して電圧を印加してもよい。それに加えて、用途に応じて、図２及び３のシステムに関して上述した異なるやり方のいずれかで電圧を印加してもよい。即ち、一般に、電圧は、振幅が不変の中断されない電圧、振幅が可変の中断されない電圧、振幅が不変のパルス電圧、振幅が可変のパルス電圧、パルス電圧と中断されない電圧との何らかの組み合わせなどとして印加してもよい。いくつかの実施形態では、パルス電圧は、反応の間に形成される電解スラッジの洗い流しを制御するという利点により、好ましいことがある。即ち、パルス電圧を使用することによって、依然として反応生成物を電極間ギャップから的確に洗い流しながら、比較的低速の電解質流量を使用することができる。

特定の工作物の表面を機械加工するため、いくつかの用途では、所望のレベルの機械加工が達成されるまで複数回、工作物の表面上で可撓性ツーリング部品３００が位置決めし直されることがあることが理解されるであろう。例えば、特定の可撓性ツーリング部品／工作物の係合では、スペーサパッド３０４によって覆われている工作物の範囲は、一般に、電解反応が起こるのをスペーサパッドが阻害するため機械加工されない。僅かに位置決めし直して、それらのこれまで覆われていた範囲を露出させることは、所望レベルの表面の均一性を満たすために必要なことがある。それに加えて、様々な理由で、工作物の表面積の全て又はほぼ全てを覆わないように、可撓性ツーリング部品３００をサイズ決めしてもよい。この場合、当業者には自明であろうが、可撓性ツーリング部品３００は、所望レベルの機械加工／研磨／表面均一性が工作物の関連範囲で達成されるように、予め定められた又は計算されたやり方で反復して位置決めされ、再度位置決めされてもよい。

上述したような本発明のプロセス及び方法を実施できるように、必要なハードウェア、構成要素及びシステムを制御するため、アルゴリズム、制御プログラム、論理流れ図及び／又はソフトウェアプログラムが開発されてもよいことが、当業者には理解されるであろう。当業者には自明であろうが、そのようなシステムは、関連する操作変数を監視する複数のセンサを含んでもよい。これらのハードウェアデバイス及びシステムは、従来のオペレーティングシステムにデータ及び情報を送信し、それによって制御され操作されてもよい。即ち、従来の手段及び方法にしたがって、オペレーティングシステムは、当業者には自明であろうが、ソフトウェアプログラムの一部を成し、コンピュータ主導のオペレーティングシステムを通して実現されてもよい、一連の命令又は論理流れ図にしたがって、システムからデータを取得し、データを処理し、システムのオペレータと通信し、且つ／又はシステムの様々な機械的デバイスを制御してもよい。

より具体的には、当業者には自明であろうが、提供された例示的実施形態に関して上述した多くのプロセス段階は、従来のコンピュータオペレーティングシステムによって実現され、実行されてもよい。即ち、従来のコンピュータオペレーティングシステムは、従来の機械系及び／又は、上述したように、本発明による方法を実施するように本発明で使用するのに適合されている機械系の動作を制御してもよい。いくつかの実施形態では、オペレーティングシステムは、任意の適切な高出力の固体スイッチング素子を含んでもよい。オペレーティングシステムは、その周辺インターフェースを備えたコンピュータであってもよいが、これは単に、本出願の範囲内にある適切な高出力制御システムの例示である。例えば、ただし限定するものではないが、オペレーティングシステムは、高速運動系、流体系及び／又は電源系の少なくとも１つに指令を与えてもよい。オペレーティングシステムはまた、全体的なシステムレベルの制御用の主プロセッサ部又は中央プロセッサ部と、中央プロセッサ部の制御下における、様々な異なる特定の組み合わせ、機能及び他のプロセスの実行専用の別個の部分とを有する、ＡＳＩＣなどの単一の専用集積回路として実現されてもよい。オペレーティングシステムはまた、ＰＬＤ、ＰＡＬ、ＰＬＡなどの個別素子回路若しくはプログラム可能論理素子を始めとする配線電子又は論理回路など、様々な個別の専用或いはプログラム可能な集積電子回路や他の電子回路を使用して実現されてもよいことが、当業者には理解されるであろう。オペレーティングシステムはまた、マイクロプロセッサ若しくはマイクロコントロールなどの適切にプログラムされた汎用コンピュータ又はＣＰＵ若しくはＭＰＵなどの他のプロセッサデバイスを使用して、単独で、或いは１つ以上の周辺のデータ及び信号処理デバイスと併せて実現されてもよい。概して、有限状態機械が論理流れ図を実現することができる、あらゆるデバイス又は類似のデバイスが、オペレーティングシステムとして使用されてもよい。最大のデータ／信号処理能力及び速度のため、分散処理アーキテクチャが好ましいことがある。

当業者には自明であろうが、いくつかの例示的実施形態に関して上述した多くの様々な特徴及び構成を、更に、本発明の他の可能な実施形態を形成するために選択的に適用することができる。簡潔にするため、また当業者の能力を考慮に入れて、考えられる繰り返しは全て提供しないか又は詳細に考察していないが、以下のいくつかの請求項に採用される可能な実施形態乃至は別の実施形態の全ての組み合わせは、本出願の一部であるものとする。それに加えて、本発明のいくつかの例示的実施形態の上述した記載から、当業者であれば、改善、変更及び修正を認知するであろう。当該分野の範囲内にあるそのような改善、変更及び修正も、添付の特許請求の範囲に包含されるものとする。更に、上述の説明は本出願の記載した実施形態のみに関するものであり、以下の特許請求の範囲及びそれらの均等物によって定義されるような本出願の趣旨及び範囲から逸脱することなく、本明細書において多数の変更及び修正を行うことができることは明らかであろう。

１００ ＥＣＭシステム
１０２ 電源
１０４ ツーリング部品（カソード）
１０６ 工作物（アノード）
１０８ 電解質ポンプ
１１０ 電解質タンク
１１２ 電極間ギャップ
１１４ 電解質チャネル
１１６ バルブ
１１８ フィルタ
２００ ＥＣＭシステム
２０４ 作業タンク
２０８ 電解質リザーバ
２１０ ポンプ
２１２ 粒子
３００ 可撓性ツーリング部品
３０２ 外側カソード面
３０４ スペーサパッド ３０６ エラストマー裏打ち

３０８ 導電ストリップ
３１０ 電解質チャネル
３１２ 機械ラム
３１６ 絶縁体コーティング

Claims (10)

1. 可撓性の外側カソード面（３０２）と、
   エラストマー裏打ち（３０６）とを備え、
   前記外側カソード面（３０２）の一面が前記エラストマー裏打ち（３０６）によって支持される、電解加工デバイスのツーリング部品（３００）。
2. 前記外側カソード面（３０２）が薄い金属シートを含み、
   前記ツーリング部品（３００）を位置決めするための手段と、
   前記外側カソード面（３０２）上に配置された１つ以上のスペーサパッド（３０４）と、
   前記外側カソード面（３０２）に電流を供給するための手段と、
   前記外側カソード面（３０２）の厚さを貫通する１つ以上のオリフィスを介して電解質の流れを供給するための手段とを更に備える、請求項１記載のツーリング部品（３００）。
3. 前記ツーリング部品（３００）を位置決めするための前記手段が、前記エラストマー裏打ち（３０６）の第１の端部に配置された機械ラム（３１２）を含み、前記外側カソード面（３０２）が前記エラストマー裏打ち（３０６）の第２の端部に位置決めされ、前記エラストマー裏打ち（３０６）の前記第１の端部及び前記エラストマー裏打ち（３０６）の前記第２の端部が前記エラストマー裏打ち（３０６）の実質的に反対側の端部であり、
   前記外側カソード面（３０２）に電流を供給するための前記手段が、１つ以上の導電ストリップ（３０８）を含み、
   前記外側カソード面（３０２）を貫通する１つ以上のオリフィスを介して電解質の流れを供給するための前記手段が、前記ツーリング部品（３００）を位置決めするための前記手段から前記外側カソード面（３０２）を通して延在する電解質チャネル（３１０）を含む、請求項２記載のツーリング部品（３００）。
4. 前記電解質チャネル（３１０）が前記エラストマー裏打ち（３０６）の少なくとも一部分を通して延在し、
   前記外側カソード面（３０２）が約０．００００５〜０．０００５ｍの厚さを含む、請求項３記載のツーリング部品（３００）。
5. 前記エラストマー裏打ち（３０６）が、前記エラストマー裏打ち（３０６）が前記外側カソード面（３０２）を弾性的に支持するように構成された、請求項２記載のツーリング部品（３００）。
6. 前記エラストマー裏打ち（３０６）が、前記外側カソード面（３０２）が工作物（１０６）の不均一な表面に押し付けられたとき、前記外側カソード面（３０２）が押し付けられるが離隔された関係にある前記工作物（１０６）の表面の外形と実質的に同じ外形を前記外側カソード面（３０２）が含むように、前記エラストマー裏打ち（３０６）によって前記外側カソード面（３０２）が弾性的に変形できるように構成され、
   前記スペーサパッド（３０４）がそれぞれ、前記外側カソード面（３０２）全体に分配された実質的に非導電性の材料から作られた比較的薄いパッドを含む、請求項５記載のツーリング部品（３００）。
7. 前記複数のスペーサパッド（３０４）の厚さが、少なくとも複数の予め定められた異なる厚さ測定値を含み、
   前記複数のスペーサパッド（３０４）が、動作の間、前記電解質の流れが所望の形で影響を受けるように、前記予め定められた異なる厚さ測定値に基づいて前記外側カソード面（３０２）上に配置された、請求項６記載のツーリング部品（３００）。
8. 前記スペーサパッド（３０４）が、前記外側カソード面（３０２）が工作物（１０６）の表面に押し付けられたとき、前記外側カソード面（３０２）が前記工作物（１０６）の前記表面と接触するのを前記スペーサパッド（３０４）が実質的に防ぎ、その結果、前記外側カソード面（３０２）と前記工作物（１０６）の前記表面との間に所望の距離のギャップを形成するように構成され、
   前記ギャップの両端間の前記所望の距離が、前記外側カソード面（３０２）と前記工作物（１０６）の前記表面との間における電解加工プロセスの所望の電極間ギャップに相当する、請求項６記載のツーリング部品（３００）。
9. 前記外側カソード面（３０２）に電流を供給するための前記手段が、前記ツーリング部品（３００）を位置決めするための前記手段から前記外側カソード面（３０２）まで延在すると共に、電源に接続された１つ以上の可撓性の導電ストリップ（３０８）を含み、
   前記外側カソード面（３０２）を貫通する１つ以上のオリフィスを介して電解質の流れを供給するための前記手段が、前記エラストマー裏打ち（３０６）を介して前記外側カソード面（３０２）を貫通する前記１つ以上のオリフィスへと前記電解質の流れを搬送するように構成された１つ以上の電解質チャネル（３１０）を含み、
   電流を供給するための前記手段が、前記外側カソード面（３０２）と工作物（１０６）の表面との間に形成された電極間ギャップの両端間に電圧を印加することができるように構成された、請求項２記載のツーリング部品（３００）。
10. 前記外側カソード面（３０２）の一部が、前記電解加工デバイスの動作の間、絶縁体コーティング（３１６）によって覆われた範囲が工作物（１０６）と電解反応するのを実質的に防ぐ絶縁体コーティング（３１６）を含み、
    前記絶縁体コーティング（３１６）を含む前記外側カソード面（３０２）の前記一部が、予め定められた目的範囲を含む、請求項１記載のツーリング部品（３００）。

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