JP3205718B2 - ワイヤソー切断方法及び装置 - Google Patents
ワイヤソー切断方法及び装置Info
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- JP3205718B2 JP3205718B2 JP23377897A JP23377897A JP3205718B2 JP 3205718 B2 JP3205718 B2 JP 3205718B2 JP 23377897 A JP23377897 A JP 23377897A JP 23377897 A JP23377897 A JP 23377897A JP 3205718 B2 JP3205718 B2 JP 3205718B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、結晶方位を高精度で設
定したウェーハをインゴットから切り出すワイヤソー切
断方法及び装置に関する。
定したウェーハをインゴットから切り出すワイヤソー切
断方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】引上げ法等で製造したインゴットは、ト
ップ及びテールを切断分離した後、外径研削，オリエン
テーションフラット加工等の工程を経て所定厚みのウェ
ーハにスライスされる。スライシングには、内周刃を備
えたスライサーが知られているが、最近ではウェーハの
大径化に伴ってピアノ線等のワイヤソーによる切断が採
用されるようになってきた。ワイヤソー切断装置は、一
般的には図１に示すように３本のグルーブローラ１〜３
を備えており、そのうちの１本が駆動モータ４に連結さ
れている。グルーブローラ１〜３に複数回周回させるこ
とにより構成したマルチワイヤ５は、一方のワイヤリー
ル６から巻き出され、他方のワイヤリール７に巻き取ら
れる。マルチワイヤ５には、引っ張られた状態でローラ
１〜３を周回するようにテンショナー８で張力が付与さ
れる。
ップ及びテールを切断分離した後、外径研削，オリエン
テーションフラット加工等の工程を経て所定厚みのウェ
ーハにスライスされる。スライシングには、内周刃を備
えたスライサーが知られているが、最近ではウェーハの
大径化に伴ってピアノ線等のワイヤソーによる切断が採
用されるようになってきた。ワイヤソー切断装置は、一
般的には図１に示すように３本のグルーブローラ１〜３
を備えており、そのうちの１本が駆動モータ４に連結さ
れている。グルーブローラ１〜３に複数回周回させるこ
とにより構成したマルチワイヤ５は、一方のワイヤリー
ル６から巻き出され、他方のワイヤリール７に巻き取ら
れる。マルチワイヤ５には、引っ張られた状態でローラ
１〜３を周回するようにテンショナー８で張力が付与さ
れる。
【０００３】スライスされるインゴット９は、接着治具
を介してホルダー１０に装着されてグルーブローラ１と
２の間に配置され、マルチワイヤ５により複数のウェー
ハにスライスされる。このとき、スライシング作業を円
滑に行わせるため、マルチワイヤ５にスラリー１１が供
給される。スラリー１１は、スラリータンク１２から供
給管１３を経てノズル１４からマルチワイヤ５に供給さ
れた後、パン１５で回収され、スラリータンク１２に返
送される。また、スラリー１１を冷却するため、熱交換
器１６とスラリータンク１２との間でスラリー１１を循
環させる。
を介してホルダー１０に装着されてグルーブローラ１と
２の間に配置され、マルチワイヤ５により複数のウェー
ハにスライスされる。このとき、スライシング作業を円
滑に行わせるため、マルチワイヤ５にスラリー１１が供
給される。スラリー１１は、スラリータンク１２から供
給管１３を経てノズル１４からマルチワイヤ５に供給さ
れた後、パン１５で回収され、スラリータンク１２に返
送される。また、スラリー１１を冷却するため、熱交換
器１６とスラリータンク１２との間でスラリー１１を循
環させる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】インゴット９は、外径
で定まる中心軸に（１００）結晶面の法線が一致しない
ことが多い。また、スライシング時にインゴット９を接
着治具を介してホルダー１０に固定するが、治具とワイ
ヤソーとの位置関係等によって、インゴット９の特定結
晶方位に設定した切断面が得られないことがある。そこ
で、スライシングに先立ってインゴットの結晶方位を設
定することが必要になる。結晶方位の設定は、内段取り
方式と外段取り方式に大別される。内段取り方式では、
ワイヤソー装置本体の中で仮止めしたインゴットの傾き
を調整し、切断面を所定の結晶方位に合わせ込んでい
る。外段取り方式では、ワイヤソー装置本体の外部でイ
ンゴット接着治具に対する相対角度を調整することによ
りインゴットの結晶方位を設定している。
で定まる中心軸に（１００）結晶面の法線が一致しない
ことが多い。また、スライシング時にインゴット９を接
着治具を介してホルダー１０に固定するが、治具とワイ
ヤソーとの位置関係等によって、インゴット９の特定結
晶方位に設定した切断面が得られないことがある。そこ
で、スライシングに先立ってインゴットの結晶方位を設
定することが必要になる。結晶方位の設定は、内段取り
方式と外段取り方式に大別される。内段取り方式では、
ワイヤソー装置本体の中で仮止めしたインゴットの傾き
を調整し、切断面を所定の結晶方位に合わせ込んでい
る。外段取り方式では、ワイヤソー装置本体の外部でイ
ンゴット接着治具に対する相対角度を調整することによ
りインゴットの結晶方位を設定している。
【０００５】しかし、予め設定したインゴット９の結晶
方位角度，ホルダー１０にインゴット９を取り付ける位
置や角度に許容範囲を超える誤差があると、インゴット
９から多数のウェーハを同時に切り出すワイヤソー切断
では、インゴット９から切り出されたウェーハの全数が
規格外れになる虞れがある。本発明は、このような問題
を解消すべく案出されたものであり、通常のワイヤソー
切断に先立ってインゴットの端部から結晶方位測定用サ
ンプルを切り出し、このサンプルの測定結果に基づいて
ワイヤソー本体の方位設定角度を再度調整することによ
り、極めて高精度で且つ確実に目標値に合わせた結晶方
位をもつ多数のウェーハをワイヤソー切断で切り出すこ
とを目的とする。
方位角度，ホルダー１０にインゴット９を取り付ける位
置や角度に許容範囲を超える誤差があると、インゴット
９から多数のウェーハを同時に切り出すワイヤソー切断
では、インゴット９から切り出されたウェーハの全数が
規格外れになる虞れがある。本発明は、このような問題
を解消すべく案出されたものであり、通常のワイヤソー
切断に先立ってインゴットの端部から結晶方位測定用サ
ンプルを切り出し、このサンプルの測定結果に基づいて
ワイヤソー本体の方位設定角度を再度調整することによ
り、極めて高精度で且つ確実に目標値に合わせた結晶方
位をもつ多数のウェーハをワイヤソー切断で切り出すこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のワイヤソー切断
方法は、その目的を達成するため、ワイヤソー本体のマ
ルチワイヤと平行な方向に走行するサンプリング切断装
置のワイヤによりインゴットの端部からサンプル用ウェ
ーハを切り出し、得られたサンプル用ウェーハの結晶方
位を測定し、測定結果に基づきワイヤソー本体のホルダ
に固定したインゴットの方位設定角度を再調整し、次い
でワイヤソー本体のマルチワイヤによりインゴットから
複数のウェーハを切り出すことを特徴とする。このワイ
ヤソー切断方法に使用する装置は、複数のグルーブロー
ラを周回するマルチワイヤの走行方向にほぼ中心軸を直
交させてインゴットを固定するホルダを備えたワイヤソ
ー本体と、インゴットの端部に接触する箇所でマルチワ
イヤの走行方向と平行に走行するワイヤを備えたサンプ
リング切断装置からなり、インゴットの端部から所定厚
みのサンプル用ウェーハを切り出した後、マルチワイヤ
によるインゴットの切断の際にサンプリング切断装置が
待機位置に後退可能になっている。
方法は、その目的を達成するため、ワイヤソー本体のマ
ルチワイヤと平行な方向に走行するサンプリング切断装
置のワイヤによりインゴットの端部からサンプル用ウェ
ーハを切り出し、得られたサンプル用ウェーハの結晶方
位を測定し、測定結果に基づきワイヤソー本体のホルダ
に固定したインゴットの方位設定角度を再調整し、次い
でワイヤソー本体のマルチワイヤによりインゴットから
複数のウェーハを切り出すことを特徴とする。このワイ
ヤソー切断方法に使用する装置は、複数のグルーブロー
ラを周回するマルチワイヤの走行方向にほぼ中心軸を直
交させてインゴットを固定するホルダを備えたワイヤソ
ー本体と、インゴットの端部に接触する箇所でマルチワ
イヤの走行方向と平行に走行するワイヤを備えたサンプ
リング切断装置からなり、インゴットの端部から所定厚
みのサンプル用ウェーハを切り出した後、マルチワイヤ
によるインゴットの切断の際にサンプリング切断装置が
待機位置に後退可能になっている。
【０００７】
【実施の形態】本発明に従ったワイヤソー切断装置は、
図２に示すようにマルチワイヤ５をグルーブローラ１〜
３に周回させるワイヤソー本体とは別途に、サンプル用
ウェーハを切り出すためのサンプリング切断装置２０を
備えている。サンプリング切断装置２０は、一組のフレ
ームに取り付けられており、ワイヤソー本体の内部に設
けた移動機構によってＹ方向及びＸ方向にフレーム全体
が移動する。フレーム自体を移動させる駆動手段として
は、モータ，ストロークの長い油圧シリンダ等が採用さ
れる。
図２に示すようにマルチワイヤ５をグルーブローラ１〜
３に周回させるワイヤソー本体とは別途に、サンプル用
ウェーハを切り出すためのサンプリング切断装置２０を
備えている。サンプリング切断装置２０は、一組のフレ
ームに取り付けられており、ワイヤソー本体の内部に設
けた移動機構によってＹ方向及びＸ方向にフレーム全体
が移動する。フレーム自体を移動させる駆動手段として
は、モータ，ストロークの長い油圧シリンダ等が採用さ
れる。
【０００８】サンプリング切断装置２０は、単溝プーリ
２１，２１・・にワイヤ２２が一回巻きされている。ワ
イヤ２２は、駆動モータ２３からの動力で無限軌道を一
方向に又は往復走行する。インゴット９の端部からサン
プル用ウェーハ２４を切り出すためにインゴット９に接
する部分では、ワイヤソー本体のマルチワイヤ５と平行
な軌跡をワイヤ２２が走行する。サンプリング切断装置
２０は、インゴット９の軸と平行な方向（Ｙ方向）にス
ライド移動し、任意の位置に固定される。そして、イン
ゴット９の切断送り方向（Ｚ方向）にサンプリング切断
装置２０を移動させながら、ワイヤ２２を走行させる。
これにより、種々の長さをもつインゴット９の端面から
１ｍｍ程度で一定厚みのサンプル用ウェーハ２４が切り
出される。サンプル用ウェーハ２４を切り出した後、サ
ンプリング切断装置２０は、Ｙ方向の端部に移動し、ワ
イヤソー本体による切断作業の障害にならない位置で待
機する。
２１，２１・・にワイヤ２２が一回巻きされている。ワ
イヤ２２は、駆動モータ２３からの動力で無限軌道を一
方向に又は往復走行する。インゴット９の端部からサン
プル用ウェーハ２４を切り出すためにインゴット９に接
する部分では、ワイヤソー本体のマルチワイヤ５と平行
な軌跡をワイヤ２２が走行する。サンプリング切断装置
２０は、インゴット９の軸と平行な方向（Ｙ方向）にス
ライド移動し、任意の位置に固定される。そして、イン
ゴット９の切断送り方向（Ｚ方向）にサンプリング切断
装置２０を移動させながら、ワイヤ２２を走行させる。
これにより、種々の長さをもつインゴット９の端面から
１ｍｍ程度で一定厚みのサンプル用ウェーハ２４が切り
出される。サンプル用ウェーハ２４を切り出した後、サ
ンプリング切断装置２０は、Ｙ方向の端部に移動し、ワ
イヤソー本体による切断作業の障害にならない位置で待
機する。
【０００９】得られたサンプリング用ウェーハ２４と本
切断によってインゴット９から切り出される製品ウェー
ハとの対向関係をとるため、インゴット９からサンプリ
ング用ウェーハ２４を切り出しているワイヤ２２の走行
軌跡がマルチワイヤ５との平行関係を崩さないように、
ワイヤソー本体に対してサンプリング切断装置２０を平
行移動させることが必要である。そこで、図３に示す移
動機構３０でサンプリング切断装置２０を移動させる。
この移動機構３０は、ワイヤソー本体のフレームに取り
付けられ、Ｚ方向に延びるベアリング内蔵のリニアガイ
ド３１を備えている。ワイヤソー本体に対するリニアガ
イド３１の位置，角度等を調整することにより、ワイヤ
２２とマルチワイヤ５との対応関係が調整される。リニ
アガイド３１には、Ｚ方向に関して移動可能なリニアガ
イド３２が直交して取り付けられている。リニアガイド
３２は、ベアリングを内蔵しており、左右が同期して動
くことにより、ワイヤ２２とマルチワイヤ５との平行関
係が変わらない。
切断によってインゴット９から切り出される製品ウェー
ハとの対向関係をとるため、インゴット９からサンプリ
ング用ウェーハ２４を切り出しているワイヤ２２の走行
軌跡がマルチワイヤ５との平行関係を崩さないように、
ワイヤソー本体に対してサンプリング切断装置２０を平
行移動させることが必要である。そこで、図３に示す移
動機構３０でサンプリング切断装置２０を移動させる。
この移動機構３０は、ワイヤソー本体のフレームに取り
付けられ、Ｚ方向に延びるベアリング内蔵のリニアガイ
ド３１を備えている。ワイヤソー本体に対するリニアガ
イド３１の位置，角度等を調整することにより、ワイヤ
２２とマルチワイヤ５との対応関係が調整される。リニ
アガイド３１には、Ｚ方向に関して移動可能なリニアガ
イド３２が直交して取り付けられている。リニアガイド
３２は、ベアリングを内蔵しており、左右が同期して動
くことにより、ワイヤ２２とマルチワイヤ５との平行関
係が変わらない。
【００１０】更に、リニアガイド３２には、サンプル切
断装置２０が搭載されたフレーム３３が平行に取り付け
られている。フレーム３３は、一体となってＹ方向に移
動するため、ワイヤ２２とマルチワイヤ５との平行関係
が変わらない。このような移動機構３０によって、マル
チワイヤ５に対するワイヤ２２の平行関係を変えること
なく、図２に示した切断作用位置と待機位置との間でサ
ンプリング切断装置２０をＺ方向，Ｙ方向に移動させる
ことができる。したがって、ワイヤ２２でインゴット９
の端部から切り出されたサンプル用ウェーハ２４から得
られる情報を本切断に利用できる。図２では、サンプリ
ング切断装置２０をＺ方向に移動させることにより、サ
ンプル用ウェーハ２４をインゴット９から切り出してい
る。しかし、サンプリング切断装置２０のＺ方向移動に
替え、図４に示すようにワイヤソー本体の切断送り機構
によってインゴット９をＺ方向に移動させながらサンプ
ル用ウェーハ２４を切り出すこともできる。この場合、
サンプリング切断装置２０は、Ｙ方向のスライド移動に
より位置調整した後、Ｚ方向に関しては固定される。
断装置２０が搭載されたフレーム３３が平行に取り付け
られている。フレーム３３は、一体となってＹ方向に移
動するため、ワイヤ２２とマルチワイヤ５との平行関係
が変わらない。このような移動機構３０によって、マル
チワイヤ５に対するワイヤ２２の平行関係を変えること
なく、図２に示した切断作用位置と待機位置との間でサ
ンプリング切断装置２０をＺ方向，Ｙ方向に移動させる
ことができる。したがって、ワイヤ２２でインゴット９
の端部から切り出されたサンプル用ウェーハ２４から得
られる情報を本切断に利用できる。図２では、サンプリ
ング切断装置２０をＺ方向に移動させることにより、サ
ンプル用ウェーハ２４をインゴット９から切り出してい
る。しかし、サンプリング切断装置２０のＺ方向移動に
替え、図４に示すようにワイヤソー本体の切断送り機構
によってインゴット９をＺ方向に移動させながらサンプ
ル用ウェーハ２４を切り出すこともできる。この場合、
サンプリング切断装置２０は、Ｙ方向のスライド移動に
より位置調整した後、Ｚ方向に関しては固定される。
【００１１】また、種々の長さをもつインゴット９に適
応させるため、図５に示すような多溝ローラ２５，２５
・・を使用することもできる。この場合、インゴット９
の長さに応じて多溝ローラ２５，２５・・の適当な溝を
選択し、選択された溝にワイヤ２２を一回巻きする。そ
して、駆動モータ２３からの動力でワイヤ２２を走行さ
せながら、ワイヤソー本体の切断送り機構によってイン
ゴット９をＺ方向に移動させ、或いはサンプリング切断
装置２０をＺ方向に移動させることにより、インゴット
９の端部からサンプル用ウェーハ２４を切り出す。この
方式では、サンプリング切断装置２０をＹ方向に移動さ
せる必要なく、種々の長さをもつインゴット９から所定
厚みをもつサンプル用ウェーハ２４が切り出される。以
上の例では、ループ状に溶接したワイヤ２２を用いてイ
ンゴット９の端面からサンプル用ウェーハ２４を切り出
している。しかし、本発明はこれに拘束されるものでは
なく、ループ状ワイヤ２２に替えてキャプスタン２６に
始端及び終端を固定したワイヤ２７を使用することもで
きる。
応させるため、図５に示すような多溝ローラ２５，２５
・・を使用することもできる。この場合、インゴット９
の長さに応じて多溝ローラ２５，２５・・の適当な溝を
選択し、選択された溝にワイヤ２２を一回巻きする。そ
して、駆動モータ２３からの動力でワイヤ２２を走行さ
せながら、ワイヤソー本体の切断送り機構によってイン
ゴット９をＺ方向に移動させ、或いはサンプリング切断
装置２０をＺ方向に移動させることにより、インゴット
９の端部からサンプル用ウェーハ２４を切り出す。この
方式では、サンプリング切断装置２０をＹ方向に移動さ
せる必要なく、種々の長さをもつインゴット９から所定
厚みをもつサンプル用ウェーハ２４が切り出される。以
上の例では、ループ状に溶接したワイヤ２２を用いてイ
ンゴット９の端面からサンプル用ウェーハ２４を切り出
している。しかし、本発明はこれに拘束されるものでは
なく、ループ状ワイヤ２２に替えてキャプスタン２６に
始端及び終端を固定したワイヤ２７を使用することもで
きる。
【００１２】たとえば、図６に示すように、キャプスタ
ン２６に始端が固定された１本のワイヤ２７を単溝プー
リ２１，２１・・に引き回し、キャプスタン２６に１０
〜３０ｍの長さ分だけ巻き付けた後、ワイヤ２７の終端
をキャプスタン２６に固定する。或いは、図７に示すよ
うに、キャプスタン２６に始端が固定された１本のワイ
ヤ２７を多溝ローラ２５，２５・・に引き回し、キャプ
スタン２６に１０〜３０ｍの長さ分だけ巻き付けた後、
ワイヤ２７の終端をキャプスタン２６に固定する。この
ように巻付けたワイヤ２７を短周期で往復走行させるこ
とにより、インゴット９の端部からサンプル用ウェーハ
２４を切り出す。切り出されたサンプル用ウェーハ２４
を用い、常法に従って結晶方位が測定される。測定結果
に基づき、ワイヤソー本体のホルダー１０又は接着治具
をＸ〜Ｙ方向に移動させ或いはＸ軸，Ｚ軸回りにチルト
させることにより、ホルダー１０に固定したインゴット
９の方位設定角度が再調整される。再調整されたインゴ
ット９をマルチワイヤ５で切断し、多数のウェーハを同
時に切り出す。
ン２６に始端が固定された１本のワイヤ２７を単溝プー
リ２１，２１・・に引き回し、キャプスタン２６に１０
〜３０ｍの長さ分だけ巻き付けた後、ワイヤ２７の終端
をキャプスタン２６に固定する。或いは、図７に示すよ
うに、キャプスタン２６に始端が固定された１本のワイ
ヤ２７を多溝ローラ２５，２５・・に引き回し、キャプ
スタン２６に１０〜３０ｍの長さ分だけ巻き付けた後、
ワイヤ２７の終端をキャプスタン２６に固定する。この
ように巻付けたワイヤ２７を短周期で往復走行させるこ
とにより、インゴット９の端部からサンプル用ウェーハ
２４を切り出す。切り出されたサンプル用ウェーハ２４
を用い、常法に従って結晶方位が測定される。測定結果
に基づき、ワイヤソー本体のホルダー１０又は接着治具
をＸ〜Ｙ方向に移動させ或いはＸ軸，Ｚ軸回りにチルト
させることにより、ホルダー１０に固定したインゴット
９の方位設定角度が再調整される。再調整されたインゴ
ット９をマルチワイヤ５で切断し、多数のウェーハを同
時に切り出す。
【００１３】切り出されたウェーハは、サンプル用ウェ
ーハ２４を用いた結晶方位の測定結果を反映しているの
で、極めて高い精度で目標結晶方位に揃えられた製品と
なる。また、結晶方位の規格が厳しくなっている最近の
傾向にも十分対応でき、目標値±５分の範囲で結晶方位
が揃られる。サンプル用ウェーハ２４を得るために、イ
ンゴット９本体の切断と同程度の時間がかかることが予
想される。しかし、サンプル用ウェーハ２４はインゴッ
ト９の端部から切り出されるので、端面切断だけに適用
される特別な条件を採用することにより大幅な時間短縮
が可能である。この種の条件としては、ワイヤ２２の送
給速度，サンプリング切断装置２０又はワイヤソー本体
の切断送り速度，最適径砥粒の使用，ダイヤモンド電着
ワイヤの使用等がある。したがって、サンプル用ウェー
ハ２４の切出し作業による生産性の低下も小さくなる。
ーハ２４を用いた結晶方位の測定結果を反映しているの
で、極めて高い精度で目標結晶方位に揃えられた製品と
なる。また、結晶方位の規格が厳しくなっている最近の
傾向にも十分対応でき、目標値±５分の範囲で結晶方位
が揃られる。サンプル用ウェーハ２４を得るために、イ
ンゴット９本体の切断と同程度の時間がかかることが予
想される。しかし、サンプル用ウェーハ２４はインゴッ
ト９の端部から切り出されるので、端面切断だけに適用
される特別な条件を採用することにより大幅な時間短縮
が可能である。この種の条件としては、ワイヤ２２の送
給速度，サンプリング切断装置２０又はワイヤソー本体
の切断送り速度，最適径砥粒の使用，ダイヤモンド電着
ワイヤの使用等がある。したがって、サンプル用ウェー
ハ２４の切出し作業による生産性の低下も小さくなる。
【００１４】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明において
は、インゴットの端部からサンプル用ウェーハを切り出
し、サンプル用ウェーハの結晶方位を測定した結果に基
づき、ワイヤソー本体のホルダに固定したインゴットの
方位設定角度を再調整している。このように再調整した
インゴットから多数のウェーハが切り出されるため、従
来のワイヤソー切断のように切断完了後に結晶方位の規
格外れによってインゴット全体を失うような問題がなく
なり、極めて高い精度で目標結晶方位に揃えられた製品
ウェーハが高生産性で得られる。
は、インゴットの端部からサンプル用ウェーハを切り出
し、サンプル用ウェーハの結晶方位を測定した結果に基
づき、ワイヤソー本体のホルダに固定したインゴットの
方位設定角度を再調整している。このように再調整した
インゴットから多数のウェーハが切り出されるため、従
来のワイヤソー切断のように切断完了後に結晶方位の規
格外れによってインゴット全体を失うような問題がなく
なり、極めて高い精度で目標結晶方位に揃えられた製品
ウェーハが高生産性で得られる。
【図１】 従来のワイヤソー切断装置の概略図
【図２】 本発明に従ってサンプリング切断装置を付設
したワイヤソー切断装置の要部斜視図
したワイヤソー切断装置の要部斜視図
【図３】 サンプリング切断装置の移動機構を説明する
図
図
【図４】 Ｙ方向に位置調整可能なサンプリング切断装
置を付設したワイヤソー切断装置の要部斜視図
置を付設したワイヤソー切断装置の要部斜視図
【図５】 多溝ローラを用いたサンプリング切断装置を
付設したワイヤソー切断装置の要部斜視図
付設したワイヤソー切断装置の要部斜視図
【図６】 キャプスタンに始端及び終端を固定したワイ
ヤを単溝プーリに引き回したサンプリング切断装置を付
設したワイヤソー切断装置の要部斜視図
ヤを単溝プーリに引き回したサンプリング切断装置を付
設したワイヤソー切断装置の要部斜視図
【図７】 キャプスタンに始端及び終端を固定したワイ
ヤを多溝ローラに引き回したサンプリング切断装置を付
設したワイヤソー切断装置の要部斜視図
ヤを多溝ローラに引き回したサンプリング切断装置を付
設したワイヤソー切断装置の要部斜視図
１〜３：グルーブローラ ４：駆動モータ ５：ワ
イヤ ６，７：ワイヤリール ８：テンショナー
９：インゴット １０：ホルダー １１：スラリ
ー １２：スラリータンク １３：供給管 １
４：ノズル １５：パン １６：熱交換器 ２０：サンプリング切断装置 ２１：単溝プーリ
２２：ループ状のワイヤ ２３：駆動モータ ２４：サンプル用ウェーハ ２
５：多溝ローラ ２６：キャプスタン ２７：始端及び終端をキャプス
タンに固定したワイヤ ３０：移動機構 ３１，３２：リニアガイド ３
３：フレーム
イヤ ６，７：ワイヤリール ８：テンショナー
９：インゴット １０：ホルダー １１：スラリ
ー １２：スラリータンク １３：供給管 １
４：ノズル １５：パン １６：熱交換器 ２０：サンプリング切断装置 ２１：単溝プーリ
２２：ループ状のワイヤ ２３：駆動モータ ２４：サンプル用ウェーハ ２
５：多溝ローラ ２６：キャプスタン ２７：始端及び終端をキャプス
タンに固定したワイヤ ３０：移動機構 ３１，３２：リニアガイド ３
３：フレーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B28D 5/04 H01L 21/304 611
Claims (2)
- 【請求項１】 ワイヤソー本体のマルチワイヤと平行な
方向に走行するサンプリング切断装置のワイヤによりイ
ンゴットの端部からサンプル用ウェーハを切り出し、得
られたサンプル用ウェーハの結晶方位を測定し、測定結
果に基づきワイヤソー本体のホルダに固定したインゴッ
トの方位設定角度を再調整し、次いでワイヤソー本体の
マルチワイヤによりインゴットから複数のウェーハを切
り出すことを特徴とするワイヤソー切断方法。 - 【請求項２】 複数のグルーブローラを周回するマルチ
ワイヤの走行方向にほぼ中心軸を直交させてインゴット
を固定するホルダを備えたワイヤソー本体と、インゴッ
トの端部に接触する箇所でマルチワイヤの走行方向と平
行に走行するワイヤを備えたサンプリング切断装置から
なり、該サンプリング切断装置は、インゴットの端部か
ら所定厚みのサンプル用ウェーハを切り出した後、マル
チワイヤによるインゴットの切断の際に待機位置に後退
可能になっているワイヤソー切断装置。
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|---|---|---|---|
| JP23377897A JP3205718B2 (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | ワイヤソー切断方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP23377897A JP3205718B2 (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | ワイヤソー切断方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1174234A JPH1174234A (ja) | 1999-03-16 |
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ID=16960430
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23377897A Expired - Fee Related JP3205718B2 (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | ワイヤソー切断方法及び装置 |
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-
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| JPH1174234A (ja) | 1999-03-16 |
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