JP3200212B2 - 樹脂モールド装置 - Google Patents

樹脂モールド装置

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    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/46Means for plasticising or homogenising the moulding material or forcing it into the mould
    • B29C45/58Details
    • B29C45/586Injection or transfer plungers
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    • B29C43/34Feeding the material to the mould or the compression means
    • B29C2043/3444Feeding the material to the mould or the compression means using pressurising feeding means located in the mould, e.g. plungers or pistons

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置の製造に使用
する樹脂モールド装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体チップを搭載したリードフレーム
あるいはTABテープを樹脂モールドする場合は、これ
ら被成形品をモールド金型でクランプし、キャビティに
樹脂充填することによって行う。トランスファモールド
方法等で樹脂充填する従来方法では、ポットからキャビ
ティへ通じる樹脂路を金型のパーティング面に設け、キ
ャビティの側面から樹脂注入するいわゆるサイドゲート
方式によるのがふつうである。このサイドゲート方式は
金型の構造を単純にでき、作業効率を良好にできるとい
ったことから従来の樹脂モールド装置で一般的に行われ
ている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、最近は半導
体装置が薄型になるとともに大型化していることからキ
ャビティ内で被成形品が占める体積が大きくなり、樹脂
を狭スペース内に注入しなければならないことから樹脂
の流動性および充填性が低下し、樹脂の未充填やボイド
発生といった成形上の問題が生じている。また、最近は
TABテープをじかに樹脂モールドする場合もあるが、
この場合には樹脂注入時の樹脂圧によって半導体チップ
が正規位置からずれたり、同様にキャビティスペースが
狭いことから樹脂充填が確実になされないといった問題
がある。また、サイドゲート方式の場合は被成形品にゲ
ート等の硬化樹脂が付着して残留するが、TABテープ
ではこの不要樹脂を剥離除去する際にテープを損傷する
といった問題点があった。
【0004】そこで、これらの問題を解消する方法とし
てキャビティの内底面にゲートを開口してキャビティの
厚み方向に樹脂を注入する方法(バーチカルゲート)が
検討されている。この方法は樹脂の充填距離が短くなり
樹脂充填性が向上して薄型のパッケージでも確実な樹脂
充填が可能になること、半導体チップの位置ずれを防止
できること、被成形品からゲートを除去する際にテープ
を損傷させることがないといった利点を有している。し
かしながら、このバーチカルゲート方式の場合は、金型
の構造が複雑になるとともに樹脂成形後にゲート等を除
去する方法が問題になる。本発明はこのバーチカルゲー
ト方式による樹脂モールド装置で、樹脂モールド後のゲ
ートの除去を確実にかつ容易に行うことができる装置を
提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、樹脂充填するキ
ャビティの内底面にゲート端を開口させ、ポットに連絡
するゲートをキャビティの内底面に垂直に設けたバーチ
カルゲートを有する樹脂モールド装置において、前記ポ
ットに摺接するプランジャーの樹脂押圧端面を、前記ポ
ット内で硬化し樹脂押圧端面に付着してポットから引き
出された硬化樹脂を、樹脂押圧端面から外れる方向に回
した際に回転力が硬化樹脂を樹脂押圧端面から剥離する
力として作用する、周方向に傾斜する斜面が形成された
スクリュー面に形成するとともに、該スクリュー面を、
前記キャビティに樹脂を充填した後、プランジャーをポ
ットから引き抜く際に前記硬化樹脂が端面に係止される
逆止状に形成したことを特徴とする。また、前記樹脂押
圧端面に係止された前記硬化樹脂を樹脂押圧端面から外
れる方向に回す際の引っ掛け部を、キャビティに樹脂を
充填する際に成形するための小突起、凹溝等の成形部を
前記樹脂押圧端面が対向するポットの開口面内に設けた
ことを特徴とする。
【0006】
【作用】ポット内にプランジャーを進入させバーチカル
ゲートを介してキャビティ内に樹脂を充填する。プラン
ジャーの端面を逆止状のスクリュー面に形成したことに
よって、樹脂硬化後にプランジャーをポットから引き出
す際に硬化樹脂がプランジャーの端面に係止されプラン
ジャーとともに引き出される。ポットの外部までプラン
ジャーを引き出した後、硬化樹脂の引っ掛け部を係止し
プランジャーに対してスクリュー面から樹脂が剥離する
向きに硬化樹脂を回動させることによりプランジャーか
ら硬化樹脂を剥離する。
【0007】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図1〜図4は本発明に係る樹脂
モールド装置の一実施例の構成およびその動作を示す説
明図である。図1で10aおよび10bは上キャビティ
ブロックおよび下キャビティブロックであり、12aお
よび12bは各々上キャビティブロック10a、下キャ
ビティブロック10bを支持する上チェイスブロックお
よび下チェイスブロックである。上キャビティブロック
10aおよび下キャビティブロック10bには被成形品
14をクランプした際にキャビティ16を形成するキャ
ビティ凹部を形成する。
【0008】上チェイスブロック12aにはキャビティ
16の上方に対応する位置に樹脂タブレットを投入する
ポット18を配置する。ポット18は上チェイスブロッ
ク12aを厚み方向に貫通して設け、プランジャー20
をポット18に対して出入自在に設置する。22はポッ
ト20とキャビティ16との間を連絡するバーチカルゲ
ートである。バーチカルゲート22は型開閉方向に平行
すなわちキャビティ面に対して垂直に設け、キャビティ
内底面(天面)にゲート端を開口させる。バーチカルゲ
ート22はキャビティ16に連絡する先端側が細径のテ
ーパ状に形成する。
【0009】図5はプランジャー20で樹脂を押圧する
端面の形状を示す。図5(a) が側面図、図5(b) が底面
図である。図5(b) に示すようにプランジャー20の端
面には中心から放射状にスクリュー面を設け、周方向に
傾斜する勾配を設けた4つの斜面を形成している。各々
のスクリュー面の縁部20aは図5(a) に示すように逆
止形状に切り込みを入れている。
【0010】本実施例の樹脂モールド装置はキャビティ
面に対して垂直方向から樹脂充填することを特徴とする
が、とくに樹脂成形後にゲートを除去する方法を特徴と
する。以下、図1〜図4にしたがって本実施例の樹脂モ
ールド装置によるモールド方法について説明する。ま
ず、被成形品14を上キャビティブロック10aおよび
下キャビティブロック10bでクランプするとともに、
プランジャー20を上チェイスブロック12aから上方
に引き出し、ポット18の上方から樹脂タブレットを投
入する。樹脂タブレットには熱硬化性樹脂を使用する。
【0011】次に、プランジャー20をポット18内に
進入させポット18内で溶融した樹脂をキャビティ16
内に圧送する。溶融樹脂はプランジャー20によって押
圧されバーチカルゲート22を介してキャビティ16内
に充填される。図1はキャビティ16内に完全に樹脂充
填された状態である。樹脂充填する場合は図1に示すよ
うにポット18内に若干樹脂が残留してプランジャー2
0の端面に樹脂が付着するようにする。なお、上キャビ
ティブロック10a上面でポット18の開口面内に一対
の小突起24a、24bを設ける。この小突起24a、
24bは硬化樹脂をプランジャー20の端面から除去す
る際に使用する。
【0012】キャビティ16に樹脂充填した後、一定時
間被成形品14をクランプして樹脂硬化させ、樹脂硬化
が終了したところでプランジャー20を上方に引き上げ
てゲートカットする。図2にゲートカット後の状態を示
す。バーチカルゲート22内で硬化した樹脂はキャビテ
ィ16との連結部分で切断されプランジャー20の端面
に付着したカル26とともに引き上げられる。プランジ
ャー20の端面にはスクリュー面が形成されており、カ
ル26はスクリュー面で逆止され端面に付着して引き出
される。なお、プランジャー20を引き出す際にスクリ
ュー面が樹脂にくい込む向きにプランジャー20を回転
するようにするればカル26とプランジャー20とのく
いつきが確実になる。なお、カル26を上キャビティブ
ロック10aから剥離しやすくするため、ポット18の
底面の上キャビティブロック10a部分を梨地面にする
ことも樹脂の剥がれ性をよくする上で有効である。
【0013】上チェイスブロック12aからプランジャ
ー20を引き出した後、プランジャー20の側方から硬
化樹脂排出ユニットをプランジャー20の下方に導入
し、プランジャー20の端面に付着した硬化樹脂を取り
除く。図2に示すようにカル26の下面には小穴28
a、28bが形成されている。硬化樹脂排出ユニットは
この小穴28a、28bにピンを差し入れてプランジャ
ー20に対しカル28を回すことによって硬化樹脂をプ
ランジャー20から除去するものである。図3は硬化樹
脂排出ユニットのピン30a、30bを小穴28a、2
8bに嵌入してカル26を回して除去する様子を示す。
プランジャー20の端面には前述したようにスクリュー
面が形成されているからカル26がスクリュー面から外
れる方向に回すことによって、回転力がプランジャー2
0の端面からカル26を剥離する力として作用して硬化
樹脂が除去される。したがって、プランジャー20を止
めておいてピン30a、30bを回動させてもよいし、
ピン30a、30bを止めておいてプランジャー20を
回すようにしてもよい。なお、プランジャー20からカ
ル26を剥離しやすくするためプランジャー20の下面
を梨地面とすることも有効である。
【0014】図4はプランジャー20から硬化樹脂を剥
離した状態を示す。硬化樹脂をプランジャー20から剥
離した後、硬化樹脂排出ユニットを装置外へ取り出して
硬化樹脂を排出する。そして、プランジャー20の端面
をクリーニングして次回のモールド操作に備える。こう
して、硬化樹脂の排出操作が完了する。なお、成形品は
硬化樹脂の排出操作とは別動作で型開きして金型から取
り出し、新たに被成形品を下キャビティブロック10b
にセットしてクランプし、次回のモールド操作に移る。
こうして、本実施例の樹脂モールド装置はプランジャー
20を金型内から引き出してゲート等の不要な硬化樹脂
を排出して樹脂モールドする。
【0015】図6はプランジャー20から硬化樹脂を剥
離除去する硬化樹脂排出ユニットの実施例を示す。硬化
樹脂排出ユニットはモールド金型に対して進退動するロ
ボットハンド40と、エアシリンダ42によって上下動
すべくロボットハンド40に取り付けたサブプレート4
4と、サブプレート44の前端に回動自在に取り付けた
ウォームギヤ46を有する。ウォームギヤ46にはモー
タによって駆動されるウォーム48を螺合している。ウ
ォームギヤ46にはカル26の下面に形成される小穴位
置に一致させてピン30a、30bがウオームギヤ46
の上面から突出するように設ける。サブプレート44の
上面にはプランジャー20の側面の切欠面に係合する回
り止め50と回り止め50を進退動させるエアシリンダ
52を設ける。54は回り止め50の進退動をガイドす
るガイド板、56はサブプレート44の上下方向の移動
をガイドするガイドロッドである。
【0016】上記硬化樹脂排出ユニットの動作を説明す
ると、樹脂硬化後にプランジャー20がポット18から
上方に引き出されると、エアシリンダ42によってサブ
プレート44を下位置に降下させた状態でロボットハン
ド40を金型方向に前進させ、所定位置まで前進したと
ころでエアシリンダ42を駆動してサブプレート44を
上位置まで上昇させる。ウォームギヤ46の中央部はゲ
ート内で硬化した樹脂を通す透孔を設けておく。ウォー
ムギヤ46の回動位置はピン30a、30b位置がカル
26の小穴位置に一致するようあらかじめ設定し、サブ
プレート44を上昇させることによってピン30a、3
0bが小穴に係合する。また、プランジャー20に対し
てはエアシリンダ52を駆動して回り止め50を前進さ
せ、プランジャー20の側面を係止する。
【0017】この状態でウォームギヤ46をモータ駆動
により回動してカル26をスクリュー面から剥離する。
プランジャー20から剥離された硬化樹脂はサブプレー
ト44上に残るから、エアシリンダ42でサブプレート
44を下位置まで押し下げ、ロボットハンド40を金型
外へ引き出して硬化樹脂を排出する。こうして、ゲー
ト、カル等の不要硬化樹脂を排出する操作を自動化する
ことができる。
【0018】なお、上記実施例においてはカルの下面に
小穴を形成して硬化樹脂を除去するようにしたが、小穴
を形成するかわりにポットの底面に凹凸部や凹溝などを
設けてカルを回動できるようにしてもよい。図7に上キ
ャビティブロック10aの上面に凹溝60を設けた例を
示す。凹溝60を設けることによってカルに引っ掛かり
を形成して容易に回動することができる。なお、実施例
でカルに小穴を形成するようにしたのは小穴を設けてカ
ルを回動した方がカルが割れにくいことと、キャビティ
ブロックにピンを打ち込むだけで小穴成形ができて加工
が容易であるからである。実施例では小穴を2つ設けた
が3つ以上設けてももちろんかまわない。また、場合に
よっては小穴や凹溝等を設けずに、プランジャー20を
引き出したところで、カルの外面をクランプし、プラン
ジャー20に対して相対的にクランパをカルの剥離方向
に回動させることで除去することも可能である。
【0019】また、上記実施例ではポット18とキャビ
ティ16とを1本のバーチカルゲート22で連絡してい
るが、ポット18とキャビティ16とを複数本のバーチ
カルゲートで連絡する場合も同様である。このようにバ
ーチカルゲート22の設置位置はとくに限定されるもの
ではない。たとえば、上記実施例はポット1つに対して
キャビティを1つ設けた例であるが、1つのポットで複
数個のキャビティに樹脂充填する場合にも適用できる。
また、上記実施例では上型側のプランジャーについて説
明したが、下型側にプランジャーを設けて樹脂充填する
場合も同様な構成とすることが可能である。
【0020】
【発明の効果】本発明に係る樹脂モールド装置によれ
ば、上述したように、プランジャーの樹脂押圧端面を
方向に傾斜する斜面が形成されたスクリュー面に形成
るとともに、該スクリュー面を逆止状に形成したことに
よってポット内で硬化した硬化樹脂を樹脂封止端面に係
止させて確実に排出することができる。また、前記樹脂
押圧端面が対向するポットの開口面内に、樹脂押圧端面
に係止された硬化樹脂を樹脂押圧端面から外れる方向に
回す際の引っ掛け部を成形するため小突起、凹溝等の成
形部を設けたことにより、キャビティに樹脂を充填する
際に引っ掛け部が成形でき、樹脂押圧端面に係止された
硬化樹脂を確実に剥離除去することが可能になる等の著
効を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】樹脂モールド装置でキャビティに樹脂充填した
状態の説明図である。
【図2】樹脂硬化後にゲートカットした状態の説明図で
ある。
【図3】プランジャーから硬化樹脂を剥離除去する状態
の説明図である。
【図4】プランジャーから硬化樹脂を除去した後の状態
を示す説明図である。
【図5】プランジャーの樹脂押圧端面を示す説明図であ
る。
【図6】プランジャーから硬化樹脂を除去する硬化樹脂
の排出装置の構成を示す説明図である。
【図7】上キャビティブロックに凹溝を形成して樹脂モ
ールドする実施例を示す説明図である。
【符号の説明】
10a 上キャビティブロック 10b 下キャビティブロック 12a 上チェイスブロック 12b 下チェイスブロック 14 被成形品 16 キャビティ 18 ポット 20 プランジャー 22 バーチカルゲート 24a、24b 小突起 26 カル 28a、28b 小穴 30a、30b ピン 40 ロボットハンド 44 サブプレート 46 ウォームギヤ 48 ウォーム 50 回り止め 60 凹溝

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 樹脂充填するキャビティの内底面にゲー
    ト端を開口させ、ポットに連絡するゲートをキャビティ
    の内底面に垂直に設けたバーチカルゲートを有する樹脂
    モールド装置において、 前記ポットに摺接するプランジャーの樹脂押圧端面を、
    前記ポット内で硬化し樹脂押圧端面に付着してポットか
    ら引き出された硬化樹脂を、樹脂押圧端面から外れる方
    向に回した際に回転力が硬化樹脂を樹脂押圧端面から剥
    離する力として作用する、周方向に傾斜する斜面が形成
    されたスクリュー面に形成するとともに、該スクリュー
    面を、前記キャビティに樹脂を充填した後、プランジャ
    ーをポットから引き抜く際に前記硬化樹脂が端面に係止
    される逆止状に形成したことを特徴とする樹脂モールド
    装置。
  2. 【請求項2】 前記樹脂押圧端面に係止された前記硬化
    樹脂を樹脂押圧端面から外れる方向に回す際の引っ掛け
    部を、キャビティに樹脂を充填する際に成形するための
    小突起、凹溝等の成形部を前記樹脂押圧端面が対向する
    ポットの開口面内に設けたことを特徴とする請求項1記
    載の樹脂モールド装置。
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