JP3180194B2 - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機Info
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- JP3180194B2 JP3180194B2 JP18640491A JP18640491A JP3180194B2 JP 3180194 B2 JP3180194 B2 JP 3180194B2 JP 18640491 A JP18640491 A JP 18640491A JP 18640491 A JP18640491 A JP 18640491A JP 3180194 B2 JP3180194 B2 JP 3180194B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ加工機に係り、特
にレーザ発振器からのレーザ光の光路ずれを補正しなが
らレーザ加工を行うことができるレーザ加工機に関す
る。
にレーザ発振器からのレーザ光の光路ずれを補正しなが
らレーザ加工を行うことができるレーザ加工機に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のレーザ加工機としては、クロスレ
ール移動型のものとＸ−Ｙテーブル型のものが知られて
いる。
ール移動型のものとＸ−Ｙテーブル型のものが知られて
いる。
【０００３】クロスレール移動型のレーザ加工機には、
図５に示すように、ベッド１上の直線ガイド２に沿って
Ｘ方向に往復移動するテーブル３と、ベッド１上のクロ
スレール７に設けられ、直線ガイド８に沿ってＹ方向に
往復移動するレーザヘッド１２とが設けられている。そ
して、レーザ発振器１４から出射したレーザ光１７を反
射鏡１６で反射し、さらにレーザヘッド１２内の焦点レ
ンズ１３で集光したのちワーク４へ照射するとともに、
ワーク４をＸ方向にレーザヘッド１２をＹ方向にそれぞ
れ往復移動させることにより、ワーク４を加工するよう
になっている。
図５に示すように、ベッド１上の直線ガイド２に沿って
Ｘ方向に往復移動するテーブル３と、ベッド１上のクロ
スレール７に設けられ、直線ガイド８に沿ってＹ方向に
往復移動するレーザヘッド１２とが設けられている。そ
して、レーザ発振器１４から出射したレーザ光１７を反
射鏡１６で反射し、さらにレーザヘッド１２内の焦点レ
ンズ１３で集光したのちワーク４へ照射するとともに、
ワーク４をＸ方向にレーザヘッド１２をＹ方向にそれぞ
れ往復移動させることにより、ワーク４を加工するよう
になっている。
【０００４】Ｘ−Ｙテーブル型のレーザ加工機は、図８
に示すように、ベッド２１上の直線ガイド２２に沿って
Ｘ方向に往復移動するテーブル２３と、テーブル２３上
の直線ガイド２４に沿ってＹ方向に往復移動するテーブ
ル２５とが設けられている。またベッド２１上にはコラ
ム２６が設けられ、このコラム２６にレーザヘッド２７
が固定されている。そして、レーザ発振器２８から出射
したレーザ光２９を反射鏡３０で反射し、さらにレーザ
ヘッド２７内の焦点レンズ３１で集光したのちワーク３
２へ照射するとともに、ワーク３２をＸ方向およびＹ方
向に往復移動させることにより、ワーク３２を加工する
ようになっている。
に示すように、ベッド２１上の直線ガイド２２に沿って
Ｘ方向に往復移動するテーブル２３と、テーブル２３上
の直線ガイド２４に沿ってＹ方向に往復移動するテーブ
ル２５とが設けられている。またベッド２１上にはコラ
ム２６が設けられ、このコラム２６にレーザヘッド２７
が固定されている。そして、レーザ発振器２８から出射
したレーザ光２９を反射鏡３０で反射し、さらにレーザ
ヘッド２７内の焦点レンズ３１で集光したのちワーク３
２へ照射するとともに、ワーク３２をＸ方向およびＹ方
向に往復移動させることにより、ワーク３２を加工する
ようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術のうち、クロスレール移動型のレーザ加工機で
は、図６のようにレーザ光が水平な理論光路４０上にあ
るならば、反射鏡１６がＹ方向に移動しても、反射鏡１
６による反射光が理論光路４０を含む面内に形成され、
加工ポイント４１の位置に狂いは生じないが、図７のよ
うにレーザ光が理論光路４０からずれていると（レーザ
光は破線で示してある）、反射鏡１６がＹ方向に移動し
てとき、反射鏡１６による反射光が加工ポイント４１か
らずれ、しかも、そのずれ量が反射鏡１６の位置によっ
て変化するため、加工精度が低下してしまうという問題
を生じる。
来技術のうち、クロスレール移動型のレーザ加工機で
は、図６のようにレーザ光が水平な理論光路４０上にあ
るならば、反射鏡１６がＹ方向に移動しても、反射鏡１
６による反射光が理論光路４０を含む面内に形成され、
加工ポイント４１の位置に狂いは生じないが、図７のよ
うにレーザ光が理論光路４０からずれていると（レーザ
光は破線で示してある）、反射鏡１６がＹ方向に移動し
てとき、反射鏡１６による反射光が加工ポイント４１か
らずれ、しかも、そのずれ量が反射鏡１６の位置によっ
て変化するため、加工精度が低下してしまうという問題
を生じる。
【０００６】なお、ワーク加工用に使用されるレーザ光
は可視光よりも波長の長い赤外域のものであるため、目
で確認することができず光路誤差をミクロン単位で調整
することは不可能である。
は可視光よりも波長の長い赤外域のものであるため、目
で確認することができず光路誤差をミクロン単位で調整
することは不可能である。
【０００７】また、Ｘ−Ｙテーブル型のレーザ加工機で
は、レーザヘッドがコラムに固定されていて反射鏡が移
動することがないので、加工ポイントの位置がずれると
いう事態は起こらないが、ワークを水平２軸方向に移動
させる駆動装置（モータやボールスクリュウ等）が必要
になり、装置全体が大型化して装置の設置面積が大きく
なる欠点がある。
は、レーザヘッドがコラムに固定されていて反射鏡が移
動することがないので、加工ポイントの位置がずれると
いう事態は起こらないが、ワークを水平２軸方向に移動
させる駆動装置（モータやボールスクリュウ等）が必要
になり、装置全体が大型化して装置の設置面積が大きく
なる欠点がある。
【０００８】なお、Ｘ−Ｙテーブル型のレーザ加工機で
も、図９に示すようにレーザ光のずれによる加工ポイン
ト４２からの位置ずれが生じるが、これは反射鏡３０の
アライメント調整や清掃交換による再セット時にのみ起
こるものである。そして、加工ポイント４２からの位置
ずれが生じていても、反射鏡３０の位置が固定されてい
るので、通常はそのずれ量が一定となり、そのずれ量を
計測して補正することにより、加工精度の低下を防ぐこ
とができる。
も、図９に示すようにレーザ光のずれによる加工ポイン
ト４２からの位置ずれが生じるが、これは反射鏡３０の
アライメント調整や清掃交換による再セット時にのみ起
こるものである。そして、加工ポイント４２からの位置
ずれが生じていても、反射鏡３０の位置が固定されてい
るので、通常はそのずれ量が一定となり、そのずれ量を
計測して補正することにより、加工精度の低下を防ぐこ
とができる。
【０００９】本発明の目的は、Ｘ−Ｙテーブル型と同等
の高精度加工が実現でき、かつクロスレール移動型のよ
うに装置の設置面積が小さいレーザ加工機を提供するこ
とである。
の高精度加工が実現でき、かつクロスレール移動型のよ
うに装置の設置面積が小さいレーザ加工機を提供するこ
とである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、レーザ光を出射するレーザ発振器と、ベ
ッド上に設けられ該ベッドの上面に沿って一定方向に往
復移動自在であり、かつ上面に被加工物が載置されたテ
ーブルと、該テーブルの上方に設けられテーブルの移動
方向と直角な方向に往復移動自在であり、かつ前記レー
ザ発振器からのレーザ光を反射鏡で反射して前記被加工
物に照射するレーザヘッドとを備え、前記テーブルと前
記レーザヘッドを互いに直角方向に往復移動させながら
前記被加工物を加工するレーザ加工機において、前記レ
ーザ光によって前記被加工物上に複数の加工穴を形成し
たとき、それらの加工穴を撮像する撮像手段と、その撮
像結果を画像処理する画像処理手段と、前記画像処理結
果を取り込んで、前記複数の加工穴のうち、前記発振器
から前記反射鏡までのレーザ光の光軸方向に沿った少な
くとも２個の加工穴について、基準点からの変位を算出
し、その算出した変位に基づいて各加工穴の座標値を求
めるとともに、前記レーザヘッドが移動して前記レーザ
発振器から前記反射鏡までの光路長が変化したときのレ
ーザ光の光路ずれを、前記各座標値を基にして補正し、
その補正値により前記テーブルと前記レーザヘッドの位
置決め制御を行う制御手段と、を具備したものである。
に、本発明は、レーザ光を出射するレーザ発振器と、ベ
ッド上に設けられ該ベッドの上面に沿って一定方向に往
復移動自在であり、かつ上面に被加工物が載置されたテ
ーブルと、該テーブルの上方に設けられテーブルの移動
方向と直角な方向に往復移動自在であり、かつ前記レー
ザ発振器からのレーザ光を反射鏡で反射して前記被加工
物に照射するレーザヘッドとを備え、前記テーブルと前
記レーザヘッドを互いに直角方向に往復移動させながら
前記被加工物を加工するレーザ加工機において、前記レ
ーザ光によって前記被加工物上に複数の加工穴を形成し
たとき、それらの加工穴を撮像する撮像手段と、その撮
像結果を画像処理する画像処理手段と、前記画像処理結
果を取り込んで、前記複数の加工穴のうち、前記発振器
から前記反射鏡までのレーザ光の光軸方向に沿った少な
くとも２個の加工穴について、基準点からの変位を算出
し、その算出した変位に基づいて各加工穴の座標値を求
めるとともに、前記レーザヘッドが移動して前記レーザ
発振器から前記反射鏡までの光路長が変化したときのレ
ーザ光の光路ずれを、前記各座標値を基にして補正し、
その補正値により前記テーブルと前記レーザヘッドの位
置決め制御を行う制御手段と、を具備したものである。
【００１１】
【００１２】
【作用】上記構成によれば、被加工物にレーザ照射手段
からレーザパルスを照射して、被加工物上に複数の加工
穴を形成し、それらの加工穴を撮像手段で撮像する。撮
像手段で撮像した加工穴の撮像情報は画像処理手段に入
力され画像処理される。そして、制御手段は、画像処理
結果を取り込んで、複数の加工穴のうち、発振器から反
射鏡までのレーザ光の光軸方向に沿った少なくとも２個
の加工穴について、基準点からの変位を算出し、その算
出した変位に基づいて各加工穴の座標値を求める。さら
に制御手段は、レーザヘッドが移動してレーザ発振器か
ら反射鏡までの光路長が変化したときのレーザ光の光路
ずれを、前記各座標値を基にして補正し、その補正値に
よりテーブルとレーザヘッドの位置決め制御を行う。こ
れによって、レーザ光の光路ずれに起因する加工位置ず
れを防止することができ、正確なレーザ加工を行うこと
が可能となる。
からレーザパルスを照射して、被加工物上に複数の加工
穴を形成し、それらの加工穴を撮像手段で撮像する。撮
像手段で撮像した加工穴の撮像情報は画像処理手段に入
力され画像処理される。そして、制御手段は、画像処理
結果を取り込んで、複数の加工穴のうち、発振器から反
射鏡までのレーザ光の光軸方向に沿った少なくとも２個
の加工穴について、基準点からの変位を算出し、その算
出した変位に基づいて各加工穴の座標値を求める。さら
に制御手段は、レーザヘッドが移動してレーザ発振器か
ら反射鏡までの光路長が変化したときのレーザ光の光路
ずれを、前記各座標値を基にして補正し、その補正値に
よりテーブルとレーザヘッドの位置決め制御を行う。こ
れによって、レーザ光の光路ずれに起因する加工位置ず
れを防止することができ、正確なレーザ加工を行うこと
が可能となる。
【００１３】
【実施例】以下に本発明の一実施例を図面に従って説明
する。なお、従来技術と同一の箇所には同一の符号が記
してある。
する。なお、従来技術と同一の箇所には同一の符号が記
してある。
【００１４】図１は本発明のレーザ加工機の全体構成を
示している。図に示すように、ベッド１上に固定された
一対の直線ガイド２の上にテーブル３が載置され、モー
タ５に直結されたボールスクリュウ６を駆動することに
より、テーブル３はその上のワーク４と共に直線ガイド
２に案内されてＸ方向に往復移動する。また、ベッド１
上の一端側には直線ガイド２を跨いで門型のクロスレー
ル７が固定され、このクロスレール７には一対の直線ガ
イド８が取付られている。直線ガイド８にはクロススラ
イド９が装着され、モータ１０に直結されたボールスク
リュウ１１を駆動することにより、クロススライド９は
直線ガイド８に案内されてＹ方向に往復移動する。
示している。図に示すように、ベッド１上に固定された
一対の直線ガイド２の上にテーブル３が載置され、モー
タ５に直結されたボールスクリュウ６を駆動することに
より、テーブル３はその上のワーク４と共に直線ガイド
２に案内されてＸ方向に往復移動する。また、ベッド１
上の一端側には直線ガイド２を跨いで門型のクロスレー
ル７が固定され、このクロスレール７には一対の直線ガ
イド８が取付られている。直線ガイド８にはクロススラ
イド９が装着され、モータ１０に直結されたボールスク
リュウ１１を駆動することにより、クロススライド９は
直線ガイド８に案内されてＹ方向に往復移動する。
【００１５】また、クロススライド９にはレーザヘッド
１２が取付られ、このレーザヘッド１２内に焦点レンズ
１３が設けられている。そして、レーザ発振器１４から
光路カバー１５内に出射したレーザ光１７は、反射鏡１
６で反射されて焦点レンズ１３で集光されたのち、ワー
ク４へ照射される。
１２が取付られ、このレーザヘッド１２内に焦点レンズ
１３が設けられている。そして、レーザ発振器１４から
光路カバー１５内に出射したレーザ光１７は、反射鏡１
６で反射されて焦点レンズ１３で集光されたのち、ワー
ク４へ照射される。
【００１６】以上の構成は従来のクロスレール移動型の
レーザ加工機と同じ構成である。本実施例の特徴は、ク
ロススライド９上にレーザヘッド１２に平行してＣＣＤ
カメラ５１と照明装置５２が取付られ、ＣＣＤカメラ５
１はモニタ５３に、さらにモニタ５３は画像処理装置５
４に接続されていることである。
レーザ加工機と同じ構成である。本実施例の特徴は、ク
ロススライド９上にレーザヘッド１２に平行してＣＣＤ
カメラ５１と照明装置５２が取付られ、ＣＣＤカメラ５
１はモニタ５３に、さらにモニタ５３は画像処理装置５
４に接続されていることである。
【００１７】また、モータ５，１０、レーザ発振器１４
および画像処理装置５４は、ＮＣ装置５５に接続されて
ＮＣ装置５５からの信号でそれぞれ制御されるようにな
っている。
および画像処理装置５４は、ＮＣ装置５５に接続されて
ＮＣ装置５５からの信号でそれぞれ制御されるようにな
っている。
【００１８】上記構成のレーザ加工機においては、テー
ブル３はＸ方向に任意の位置にて、レーザヘッド１２が
クロスレール７上をＹ方向に移動し、一方のストローク
端近傍および他方のストローク端近傍でレーザ発振器１
４からレーザ光１７をパルス状に出射してワーク４に照
射すると、図２に示すように、光路ずれの影響で理論座
標Ａ（Ｘn ，Ｙn）n=2 とは異なる位置に加工穴Ｂが加
工される。
ブル３はＸ方向に任意の位置にて、レーザヘッド１２が
クロスレール７上をＹ方向に移動し、一方のストローク
端近傍および他方のストローク端近傍でレーザ発振器１
４からレーザ光１７をパルス状に出射してワーク４に照
射すると、図２に示すように、光路ずれの影響で理論座
標Ａ（Ｘn ，Ｙn）n=2 とは異なる位置に加工穴Ｂが加
工される。
【００１９】次に、理論座標Ａ（Ｘn ，Ｙn）からレー
ザヘッド１２とＣＣＤカメラ５１間の設置距離だけオフ
セットした座標をＮＣ装置５５に入力してテーブル３を
移動すると、加工された加工穴ＢがＣＣＤカメラ５１に
て撮像され、図３のようにモニタ５３上に表示される。
ここで、予め設定された基準点Ｃ（加工穴が理論座標に
ある時の位置）からのずれ座標（ΔＸn ，ΔＹn）を画
像処理装置５４で重心法等により求めると、加工穴座標
として（Ｘn±ΔＸn ，Ｙn±ΔＹn）を得ることができ
る。
ザヘッド１２とＣＣＤカメラ５１間の設置距離だけオフ
セットした座標をＮＣ装置５５に入力してテーブル３を
移動すると、加工された加工穴ＢがＣＣＤカメラ５１に
て撮像され、図３のようにモニタ５３上に表示される。
ここで、予め設定された基準点Ｃ（加工穴が理論座標に
ある時の位置）からのずれ座標（ΔＸn ，ΔＹn）を画
像処理装置５４で重心法等により求めると、加工穴座標
として（Ｘn±ΔＸn ，Ｙn±ΔＹn）を得ることができ
る。
【００２０】補正式の求め方としては、図２のようにレ
ーザヘッドのＹ方向への移動に伴い加工装置はＸおよび
Ｙ方向へ比例して誤差が生じるので、
ーザヘッドのＹ方向への移動に伴い加工装置はＸおよび
Ｙ方向へ比例して誤差が生じるので、
【００２１】
【数１】
【００２２】にて補正値を演算する。この演算はＮＣ装
置５５で行われる。さらにＮＣ装置５５は補正値だけオ
フセットして加工を行う。これにより、加工位置座標を
理論座標にて実行することが可能となる。
置５５で行われる。さらにＮＣ装置５５は補正値だけオ
フセットして加工を行う。これにより、加工位置座標を
理論座標にて実行することが可能となる。
【００２３】次に補正値を求めるための他の方法として
アフィン変換式を用いた方法について説明する。これ
は、図４に示すように４点の加工穴Ｂを形成した後、Ｃ
ＣＤカメラ５１にて前述と同様に４点の加工穴Ｂを順次
撮像し画像処理装置５４にて加工穴座標（Ｘn±ΔＸn
，Ｙn±ΔＹn）n=4 を求める。そして、理論座標と加
工穴座標をアフィン変換式にて結び下記連立方程式を得
て、
アフィン変換式を用いた方法について説明する。これ
は、図４に示すように４点の加工穴Ｂを形成した後、Ｃ
ＣＤカメラ５１にて前述と同様に４点の加工穴Ｂを順次
撮像し画像処理装置５４にて加工穴座標（Ｘn±ΔＸn
，Ｙn±ΔＹn）n=4 を求める。そして、理論座標と加
工穴座標をアフィン変換式にて結び下記連立方程式を得
て、
【００２４】
【数２】
【００２５】α1〜α4およびβ1〜β4の各係数を求め
る。
る。
【００２６】ＮＣ装置５５からの位置指令（Ｘ ，Ｙ）
に対しては、 Ｘ＝α1＋α2Ｘ＋α3Ｙ＋α4ＸＹ Ｙ＝β1＋β2Ｘ＋β3Ｙ＋β4ＸＹ の演算をＮＣ装置５５で行い、演算値（Ｘ ，Ｙ）にて
位置決めしてワークに対する加工を実施することによ
り、加工位置座標を理論座標として実行することができ
る。
に対しては、 Ｘ＝α1＋α2Ｘ＋α3Ｙ＋α4ＸＹ Ｙ＝β1＋β2Ｘ＋β3Ｙ＋β4ＸＹ の演算をＮＣ装置５５で行い、演算値（Ｘ ，Ｙ）にて
位置決めしてワークに対する加工を実施することによ
り、加工位置座標を理論座標として実行することができ
る。
【００２７】以上のように、ＮＣ装置５５で加工位置座
標を補正しながらワークを加工することにより、Ｘ−Ｙ
テーブル型のレーザ加工機と同等の高精度加工が可能
で、かつ装置全体がコンパクトなクロスレール型のレー
ザ加工機を得ることができる。
標を補正しながらワークを加工することにより、Ｘ−Ｙ
テーブル型のレーザ加工機と同等の高精度加工が可能
で、かつ装置全体がコンパクトなクロスレール型のレー
ザ加工機を得ることができる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
レーザ光の光路ずれから生じる、レーザヘッド移動時の
レーザ加工位置ずれを防止することができるので、クロ
スレール型レーザ加工機でもＸ−Ｙテーブル型レーザ加
工機と同等の高精度加工を実現することが可能となる。
レーザ光の光路ずれから生じる、レーザヘッド移動時の
レーザ加工位置ずれを防止することができるので、クロ
スレール型レーザ加工機でもＸ−Ｙテーブル型レーザ加
工機と同等の高精度加工を実現することが可能となる。
【００２９】また、基本的構成はクロスレール型レーザ
加工機と変わらないため、Ｘ−Ｙテーブル型レーザ加工
機のように設置面積が大きくなることもなく、設置スペ
ースが小さい所にも容易に設置することができる。
加工機と変わらないため、Ｘ−Ｙテーブル型レーザ加工
機のように設置面積が大きくなることもなく、設置スペ
ースが小さい所にも容易に設置することができる。
【図１】本発明のレーザ加工機の全体構成図である。
【図２】加工位置のずれを示した説明図である。
【図３】加工穴がモニタに表示された様子を示した図で
ある。
ある。
【図４】加工位置のずれを示した説明図である。
【図５】従来のクロスレール移動型レーザ加工機の全体
構成図である。
構成図である。
【図６】クロスレール移動型レーザ加工機においてレー
ザ光がずれていない時の説明図である。
ザ光がずれていない時の説明図である。
【図７】クロスレール移動型レーザ加工機においてレー
ザ光がずれた時の説明図である。
ザ光がずれた時の説明図である。
【図８】従来のＸ−Ｙテーブル型レーザ加工機の全体構
成図である。
成図である。
【図９】Ｘ−Ｙテーブル型レーザ加工機における光路ず
れを示した説明図である。
れを示した説明図である。
１ ベッド ２，８ ＬＭレール ３ テーブル ４ ワーク ５，１０ モータ ６，１１ ボールスクリュウ ７ クロスレール ９ クロススライド １２ レーザヘッド １３ 焦点レンズ １４ レーザ発振器 １５ 光路カバー １６ 反射鏡 １７ レーザ光 ５１ ＣＣＤカメラ ５２ 照明装置 ５３ モニタ ５４ 画像処理装置 ５５ ＮＣ装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−184625（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−130786（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−56379（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−99291（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−111292（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23K 26/00 - 26/42
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ光を出射するレーザ発振器と、ベ
ッド上に設けられ該ベッドの上面に沿って一定方向に往
復移動自在であり、かつ上面に被加工物が載置されたテ
ーブルと、該テーブルの上方に設けられテーブルの移動
方向と直角な方向に往復移動自在であり、かつ前記レー
ザ発振器からのレーザ光を反射鏡で反射して前記被加工
物に照射するレーザヘッドとを備え、前記テーブルと前
記レーザヘッドを互いに直角方向に往復移動させながら
前記被加工物を加工するレーザ加工機において、 前記レーザ光によって前記被加工物上に複数の加工穴を
形成したとき、それらの加工穴を撮像する撮像手段と、
その撮像結果を画像処理する画像処理手段と、前記画像
処理結果を取り込んで、前記複数の加工穴のうち、前記
発振器から前記反射鏡までのレーザ光の光軸方向に沿っ
た少なくとも２個の加工穴について、基準点からの変位
を算出し、その算出した変位に基づいて各加工穴の座標
値を求めるとともに、前記レーザヘッドが移動して前記
レーザ発振器から前記反射鏡までの光路長が変化したと
きのレーザ光の光路ずれを、前記各座標値を基にして補
正し、その補正値により前記テーブルと前記レーザヘッ
ドの位置決め制御を行う制御手段と、を具備するレーザ
加工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18640491A JP3180194B2 (ja) | 1991-07-25 | 1991-07-25 | レーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18640491A JP3180194B2 (ja) | 1991-07-25 | 1991-07-25 | レーザ加工機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0523877A JPH0523877A (ja) | 1993-02-02 |
| JP3180194B2 true JP3180194B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=16187820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18640491A Expired - Fee Related JP3180194B2 (ja) | 1991-07-25 | 1991-07-25 | レーザ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3180194B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09201691A (ja) * | 1996-01-24 | 1997-08-05 | Fanuc Ltd | レーザ加工装置 |
| JP2008073782A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 加工装置の位置ずれ補正装置およびその方法 |
| JP5090121B2 (ja) * | 2007-10-01 | 2012-12-05 | オリンパス株式会社 | 調整装置、レーザ加工装置、調整方法、および調整プログラム |
| JP5224343B2 (ja) * | 2008-06-13 | 2013-07-03 | 株式会社ブイ・テクノロジー | レーザ加工装置 |
| JP5311396B2 (ja) * | 2009-04-02 | 2013-10-09 | 武井電機工業株式会社 | レーザ加工装置、レーザ加工装置におけるキャリブレーション方法及びキャリブレーションプログラム |
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