JP3162329B2 - 薬液容器 - Google Patents

薬液容器

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JP3162329B2 JP34820097A JP34820097A JP3162329B2 JP 3162329 B2 JP3162329 B2 JP 3162329B2 JP 34820097 A JP34820097 A JP 34820097A JP 34820097 A JP34820097 A JP 34820097A JP 3162329 B2 JP3162329 B2 JP 3162329B2
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喜義 望月
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、化学薬液等の運
搬及び保存に利用する薬液容器に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体や液晶等の製造に際しては、洗浄
液、現像液、電解液、剥離液等の高純度薬液が用いら
れ、これら高純度薬液の容器にあっては安全上、充分な
気密性と耐衝撃強度が要求される。
【0003】上記薬液容器は、通常、容器本体上部に小
径の筒口を一体に有し、この筒口に、薬液及びガスの給
排口を夫々有する蓋をねじ込んで筒口を密栓し、容器本
体内への薬液の注入は、ガスの給排口を開放した状態に
して、薬液の給排口に接続されて容器本体の底部付近に
通挿したパイプを通して行い、他方、容器本体内からの
薬液の取り出しは、ガスの給排口からガスを容器本体内
に圧入することで、容器本体の薬液を前記パイプを通じ
て薬液の給排口から吐出させることにより行われる。
【0004】しかしてこのような液体容器の筒口に単に
蓋をねじ込みしただけでは、運搬時の振動等により前記
ねじ込み部に緩みを生じ、薬液の漏れを招く恐れがあ
る。殊に金属容器内に樹脂容器を配した二重構造の薬液
容器にあっては内容器(樹脂容器)が外容器(金属容
器)内で浮上やガタを生じ容器破損の原因となる。
【0005】このような筒口に対する蓋のねじ込みの緩
みや内容器のガタを防止するために、従来は例えば金属
容器と樹脂容器とからなる二重構造の薬液容器におい
て、金属容器の上部開口から突出する樹脂容器の筒口に
ねじ込んだ内蓋上にカバー板を載せ、このカバー板と金
属容器の筒口外周面から突設したフランジの周辺とを、
V字断面を有するクランプバンドで挟圧保持する手段が
採られている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、係る従
来のクランプバンドによる締結構造では、気密性と耐衝
撃強度の両面において充分とは言えず、安全性向上の見
地からその見直しが迫られている。
【0007】特に最近では、海外への薬液の海上輸送が
頻繁に行われるに至って、国連危険物運送専門委員会の
危険物輸送に関する勧告に対応するためにも、高い気密
性と耐衝撃強度を持つ安全性の高い薬液容器の提案が望
まれている。
【0008】この発明は前記のような課題を解決し、上
記勧告等に適合させるべくなされたもので、容器本体と
これの筒口に被蓋される蓋との気密性を確実且つ安定的
に実現可能にすると共に、充分な耐衝撃強度が得られ、
しかも組立ての容易な薬液容器を提供することを目的と
する。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的達成のために、
この発明は薬液給排筒口に該筒口外周面に螺合される押
えキャップにて薬液給排カプラを締め付けすると共に、
ガス給排筒口に該筒口外周面に螺合される押えキャップ
にてガス給排カプラを締め付けし、更にこの双方の押え
キャップを上記容器にボルト締めされる押えプレートに
て該容器に締め付け保持する構成とする。
【0010】又金属容器内に樹脂容器を配した二重構造
容器にし、該樹脂容器から突設されたガス給排筒口と薬
液給排筒口の夫々に、上記各押えキャップを螺合して薬
液給排カプラとガス給排カプラとを締め付けし、更にこ
の双方の押えキャップを上記金属容器にボルト締めされ
る一枚の押えプレートにて該金属容器に締め付け保持す
る構成とする。
【0011】又上記押えプレートには各押えキャップの
回動を阻止する形状のキャップ嵌挿孔を夫々設ける。又
上記押えプレートを薬液給排カプラの押えキャップとガ
ス給排カプラの押えキャップ間において上記容器にボル
ト締めする。
【0012】上記各押えキャップの螺合による締め付け
と、該両押えキャップを共通の押えプレートにて容器に
ボルト締めする二重締結構造により、薬液給排筒口又は
ガス給排筒口に対する薬液給排カプラ又はガス給排カプ
ラとの高気密性を確保することができる。
【0013】又各給排筒口に対する各給排カプラの装着
等が押えキャップによりスムースに行えると共に、押え
キャップの有害な回動(螺合解除するような回動)を共
用押えプレートにより有効に防止して、上記押えキャッ
プによる給排カプラの締付け保持を健全に維持できる。
【0014】よって薬液容器運搬時の振動等に起因し
て、従来例の如き前記ねじ込み部に緩みによる薬液の漏
れの問題、又は内容器(樹脂容器)と外容器(金属容
器)から成る二重構造の薬液容器における内容器の浮上
やガタ付きによる容器破損の問題を解消し、高耐衝撃強
度を備えた、優れた安全性を有する薬液容器を提供でき
る。
【0015】
【発明の実施の形態】以下この発明の実施形態例を図1
乃至図4に基づき説明する。
【0016】図1、図2に示す薬液容器1は円筒形の金
属容器1′とこの金属容器1′に内嵌めされた樹脂容器
1″との二重構造容器を形成している。上記金属容器
1′は例えばステンレス板等で形成され、その外周面に
は補強用のリング状リブ1c′が上下に間隔を置いて一
体に設けられおり、該金属容器1′の下部にはこれを床
上等で安定支持するための金属製スカート1d′が溶接
等にて固定されている。他方上記樹脂容器1″は、金属
容器1′の天壁1a′に開設した上部開口1b′を通し
て樹脂容器1″の天壁1a″に一体成形された薬液給排
筒口2とガス給排筒口3とが上方に向かって夫々突出し
ている。
【0017】又図3は他の実施形態例であり、この薬液
容器1は金属製又は樹脂製等の円筒形の単体容器から成
り、上記と同様に該容器1の天壁1aに一体に形成され
た薬液給排筒口2とガス給排筒口3とが上方に向かって
夫々突出している。
【0018】図1乃至図3に示すように、上記各給排筒
口2,3の外周面には夫々雄ねじ部2a,3aが形成さ
れており、この双方の給排筒口2,3の下端は容器1,
1″の内周面で開口し、該筒口2,3の上端には環状シ
ーリング座2b,3bが突成されている。
【0019】上記薬液給排筒口2には蓋体4が内嵌めさ
れ、該蓋体4はその上端周縁から環状に張り出したフラ
ンジ部4aと上記環状シーリング座2b間にOリング5
を介装して密嵌されている。
【0020】上記蓋体4の中央には薬液給排口6が上下
に貫通して設けられ、該薬液給排口6に薬液給排パイプ
8を嵌挿している。この薬液給排パイプ8は上端フラン
ジ部8aを蓋体4上面において給排口6の周縁部にシー
ル用Oリング5を介して密に係合しており、同パイプ1
5の下端が容器1,1″の底部付近に達している。
【0021】他方上記ガス給排筒口3はその開口にてガ
ス給排口7を形成している。
【0022】上記薬液給排口6には薬液給排カプラ9が
取り付けられ、他方ガス給排口7にはガス給排カプラ1
0が取り付けられ、各カプラ9,10は後述する筒形の
押えキャップ11,12を薬液給排筒口2及びガス給排
筒口3の外周面へ螺合締めすることにより各給排筒口
6,7に夫々押え付け保持されている。
【0023】この押えキャップ11,12は筒形を呈
し、その上端面中心部には上記カプラ9,10を各々を
貫挿する小径筒部11a,12aが夫々連設されてお
り、この小径筒部11a,12aにカプラ9,10の先
端部を貫挿して上方へ突出させると共に、該各小径筒部
11a,12aの各連設部に形成された各環状段部11
b,12bに各カプラ9,10基端の環状フランジ部9
a,10aを各々係合し、この係合面を各キャップ1
1,12による押え面としている。
【0024】又上記筒形の各押えキャップ11,12の
下端側の内周面には、各給排筒口2,3の前記雄ねじ部
2a,3aに螺合締めされる雌ねじ部11c,12cが
形成されており、この螺合締めにより上記各給排カプラ
9,10の環状フランジ部9a,10aを各押えキャッ
プ11,12の環状段部11b,12bにて押え込みな
がら、各給排カプラ9,10を各々給排口6,7に締め
付けしている。
【0025】つまり各給排カプラ9,10に外挿した各
押えキャップ11,12の螺合締めにより、上記各給排
口6,7に対する各給排カプラ9,10の位置決めを適
正に図って、夫々給排筒口2,3に各給排カプラ9,1
0を容易に締め付け取り付けできる。
【0026】又上記薬液給排カプラ9は、上記薬液給排
パイプ8のフランジ部8aとの間にシール用Oリング5
を介在して蓋体4の上面に押え込まれ、同カプラ9の給
排口9bと給排パイプ8とを密に連通している。
【0027】他方上記ガス給排カプラ10は、押えキャ
ップ12の螺合締め付けによりガス給排筒口3の上記環
状シーリング座3b間にシール用Oリング5を介在して
押え込まれており、これにより同カプラ10の給排口1
0bと上記給排筒口3の給排口7とを密に連通してい
る。
【0028】図4に明示するように、上記押えキャップ
11,12の上端側外周縁には、補強用の複数本の縦リ
ブ11d,12dが周方向に間隔を置いて一体に設けら
れており、同キャップ11,12の下端側外周縁には、
後述する共用の押えプレート13にて両キャップ11,
12を押え込むためのフランジ部11e,12eが環状
に突設されている。
【0029】更に両押えキャップ11,12の外周面に
は六角形等の治具係合部11f,12fが形成されて各
給排筒口2,3へのキャップ11,12の螺合締め付け
を治具により確実に行わせ、押えキャップ11,12の
上記螺合を解除することによって各給排筒口2,3に対
し夫々給排カプラ9,10の装脱を自在としている。1
3は上記押えキャップ11と12の双方を容器1,1′
に締め付け保持するための押えプレートであり、該押え
プレート13は図4等に示すように、両押えキャップ1
1と12に亘る、例えば両端が半円形を呈する略長楕円
形の、例えば金属板、樹脂板等から成る。
【0030】この押えプレート13には各押えキャップ
11,12を各々嵌挿するキャップ嵌挿孔14,15が
夫々設けられ、該各嵌挿孔14,15を夫々押えキャッ
プ11,12の上記治具係合部11e,12eと略同調
する穴形状にして各押えキャップ11,12の回動を夫
々阻止するようにしている。
【0031】又押えプレート13のキャップ嵌挿孔14
と15間、即ち押えキャップ11と同12間には同プレ
ート13の表裏に貫通せるボルト挿通孔16が設けられ
ており、該挿通孔16に挿通されたスタッドボルト17
にナット18締めを施して容器1,1′に押えプレート
13を締め付け保持すると共に、上記押えキャップ1
1,12をこのナット18締めにより容器1,1′に締
め付け保持している。
【0032】上記ボルト17は容器1,1′の天壁1
a,1a′から上方へ略垂直に延びて立設されており、
図2、図3に示すように、ボルト17の下端を容器1,
1′の天壁1a,1a′に溶接等して一体に立設する
か、又は天壁1a,1a′に一体に設けたボルト立てリ
ング19のねじ溝19aにボルト17の下端をねじ込み
し一体に立設する。
【0033】又好ましくは上記ボルト17及びボルト挿
通孔16を図4に示すように、押えプレート13の中央
部に複数バランス配置して容器1,1′への押えプレー
ト13及び押えキャップ11,12の締め付けを確実に
行う。
【0034】詳述すると、上記ボルト17は天壁1a,
1a′に設けた給排筒口2,3の間の天壁部に立設し、
押えプレート13の中央部を押えキャップ11,12間
において容器1,1′に締結し、該自己締結位置(ボル
ト締め位置)から左右に延在する押えプレート部にて各
キャップ11,12に締結力を与え、押え付ける構造で
ある。
【0035】上記の如くして、押えプレート13の各キ
ャップ嵌挿孔14,15に押えキャップ11,12を各
々嵌挿しつつ上記ボルト挿通孔16にボルト17を挿通
しながら、各押えキャップ11,12の前記フランジ部
11e,12eに押えプレート13の下面を支持させ、
この押えプレート13の上面から上方へ突出する上記ボ
ルト17の上端にナット18を螺合し、治具によりナッ
ト18締めして容器1,1′に押えプレート13を締め
付けする。これにより上記押えキャップ11と12の双
方は、押えプレート13の各キャップ嵌挿孔14,15
により夫々回動が阻止されて容器1,1′に締め付け保
持される。
【0036】つまり各給排筒口2,3への各給排カプラ
9,10の装着を押えキャップ11,12の締付けによ
り行い、この押えキャップ11,12の緩み防止を押え
プレート13の締め付けにより行う。
【0037】又図3に示す実施形態例においては、上記
ナット18締めによりボルト17の下端をボルト立てリ
ング19にねじ込みしながら押えプレート13と押えキ
ャップ11,12の双方を容器1に締め付けする方法を
採ることができる。
【0038】上記のように、押えキャップ11,12の
螺合による締め付けと、該押えキャップ11,12を押
えプレート13にて容器1,1′にナット18締めする
二重締結構造により、薬液給排口6又はガス給排口7に
対する薬液給排カプラ9又はガス給排カプラ10との高
気密性が確保される。
【0039】又押えプレート13により各押えキャップ
11,12の有害な回動が有効に防止され、即ち押えキ
ャップ11,12の緩みが防止されて、薬液給排筒口2
とガス給排筒口3に対する各押えキャップ11,12の
締め付け保持が健全に維持される。
【0040】又図1、図2に示すように、金属容器1′
に対して樹脂容器1″を押えキャップ11,12と押え
プレート13により堅固にしかも気密的に固定でき、金
属容器1′内での樹脂容器1″のガタ付き等も確実に防
止される。
【0041】
【発明の効果】この発明によれば、各押えキャップの螺
合による各給排カプラの締め付けと、容器に締め付けさ
れた押えプレートによる両押えキャップの締め付けの二
重の締め付け構造が協働して、高気密性と高耐衝撃強度
を備えた、優れた安全性を有する薬液容器を提供でき
る。
【0042】又各給排カプラの装着等が押えキャップと
押えプレートによりスムースに行えると共に、押えキャ
ップの有害な回動(螺合解除するような回動)を有効に
防止しつつ、各押えキャップによる各給排カプラの締め
付け保持を健全に維持できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施形態例を示す薬液容器を一部切
欠して示す側面図である。
【図2】上記薬液容器の要部拡大断面図である。
【図3】他の実施形態例を示す薬液容器の要部拡大断面
図である。
【図4】押えプレートによる押えキャップの押え状態を
示す平面図である。
【符号の説明】
1 薬液容器 1′ 金属容器 1″ 樹脂容器 2 薬液給排筒口 3 ガス給排筒口 2a,3a 雄ねじ部 4 蓋体 5 シール用Oリング 6 薬液給排口 7 ガス給排口 8 薬液給排パイプ 9 薬液給排カプラ 10 ガス給排カプラ 11,12 押えキャップ 11c,12c 雌ねじ部 11e,12e フランジ部 11f,12f 治具係合部 13 押えプレート 14,15 押えキャップ嵌挿孔 16 ボルト挿通孔 17 ボルト 18 ナット 19 ボルト立てリング
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−226598(JP,A) 特開 平9−193994(JP,A) 特開 昭56−151686(JP,A) 実開 昭63−91429(JP,U) 実開 昭51−137706(JP,U) 実開 昭55−21903(JP,U) 実開 平5−3151(JP,U) 実開 昭56−121691(JP,U) 実開 平5−6260(JP,U) 実開 平6−87295(JP,U) 実開 平5−86892(JP,U) 実開 昭62−30088(JP,U) 実開 昭60−139795(JP,U) 実開 昭60−84579(JP,U) 実開 平2−61289(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B65D 88/06 B65D 45/02

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】薬液給排筒口とガス給排筒口を備えた薬液
    容器において、この薬液給排筒口に該筒口外周面に螺合
    される押えキャップにて薬液給排カプラを締め付けする
    と共に、ガス給排筒口に該筒口外周面に螺合される押え
    キャップにてガス給排カプラを締め付けし、更に上記双
    方の押えキャップを上記容器に締め付けされる一枚の押
    えプレートにより該容器に締め付け保持する構成とした
    ことを特徴とする薬液容器。
  2. 【請求項2】金属容器内に樹脂容器を配した二重構造の
    容器にし、該樹脂容器に上記金属容器の上部開口を通し
    て薬液給排筒口とガス給排筒口を突設して成る薬液容器
    において、この薬液給排筒口に該筒口外周面に螺合され
    る押えキャップにて薬液給排カプラを締め付けすると共
    に、ガス給排筒口に該筒口外周面に螺合される押えキャ
    ップにてガス給排カプラを締め付けし、上記双方の押え
    キャップを上記金属容器に締め付けされる一枚の押えプ
    レートにより該金属容器に締め付け保持する構成とした
    ことを特徴とする薬液容器。
  3. 【請求項3】上記押えプレートに上記各押えキャップの
    回動を阻止する形状のキャップ嵌挿孔を各々設けたこと
    を特徴とする請求項1又は2記載の薬液容器。
  4. 【請求項4】上記押えプレートを薬液給排カプラの押え
    キャップとガス給排カプラの押えキャップ間において上
    記容器にボルト締めしたことを特徴とする請求項1又は
    2記載の薬液容器。
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