JP3156466B2 - ごみ検査装置 - Google Patents
ごみ検査装置Info
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- JP3156466B2 JP3156466B2 JP26459693A JP26459693A JP3156466B2 JP 3156466 B2 JP3156466 B2 JP 3156466B2 JP 26459693 A JP26459693 A JP 26459693A JP 26459693 A JP26459693 A JP 26459693A JP 3156466 B2 JP3156466 B2 JP 3156466B2
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- Japan
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- polarizer
- light
- light source
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- inspection object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、精密部品の組み立て等
のクリーン度を要求される製造工程において、異物を発
見するために用いるごみ検査装置に関するものである。
のクリーン度を要求される製造工程において、異物を発
見するために用いるごみ検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーン度が要求される精密部品
の異物の有無を検査する場合、図３に示すように検査台
１の上に検査物２を置き、これにライト３の光を照射す
ることで検査物２上の異物を目視で探していた。また、
検査物２上の全域にわたり、くまなく異物を発見するた
めに、ライト３の光の照射方向を変えたり、検査物２の
角度を変えることで対応していた。
の異物の有無を検査する場合、図３に示すように検査台
１の上に検査物２を置き、これにライト３の光を照射す
ることで検査物２上の異物を目視で探していた。また、
検査物２上の全域にわたり、くまなく異物を発見するた
めに、ライト３の光の照射方向を変えたり、検査物２の
角度を変えることで対応していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、検査物２に
光を照射しても非常に微細な異物（ごみ）は発見しにく
く、また検査物２全域に渡って、この作業をすることは
非常に困難である。
光を照射しても非常に微細な異物（ごみ）は発見しにく
く、また検査物２全域に渡って、この作業をすることは
非常に困難である。
【０００４】また、凹凸のある部品等を扱う場合、一方
向から光を照射するだけでは凹凸の陰に隠れている異物
は発見しずらく見逃してしまうことがある。
向から光を照射するだけでは凹凸の陰に隠れている異物
は発見しずらく見逃してしまうことがある。
【０００５】本発明は、このような従来の課題を解決し
ようとするものであり、検査物２上全体に渡って、異物
（ごみ）を発見することを容易にし、検査物２により構
成される製品の品質を確保することを目的とするもので
ある。
ようとするものであり、検査物２上全体に渡って、異物
（ごみ）を発見することを容易にし、検査物２により構
成される製品の品質を確保することを目的とするもので
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本願発明は、検査物への異物付着の有無を目視検査す
るために前記検査物に照射光を供給するための光源と、
前記照射光の紫外線及び赤外線を遮断するためのカット
フィルターと、ガラス平面に誘電体を蒸着したプリ偏光
子と、前記プリ偏光子と偏光方向が同一に配置された第
１の偏光板と、前記プリ偏光子と偏光方向を９０度ずら
して配置された第２の偏光板と、前記第１の偏光板と前
記第２の偏光板との間に配設され前記検査物が任意の方
向から前記光源からの光が照射されるように回転可能に
配設された回転検査台と、前記第１の偏光板の光源側に
送風する冷却ファンと、前記紫外線、赤外線カットフィ
ルターと前記プリ偏光子及び前記光源を一体に配置する
ためのホルダーと、前記ホルダーを回転可能に固定して
前記光源の照射角度を可変に設定可能なホルダー保持具
とを備え、前記回転検査台上に載置された検査物の表面
に対して前記ホルダー保持具により任意の角度から光源
の光を照射するとともに、前記回転検査台を回転させて
前記検査物の側面に対して任意の角度から光源の光を照
射することができるようにしたものである。
に本願発明は、検査物への異物付着の有無を目視検査す
るために前記検査物に照射光を供給するための光源と、
前記照射光の紫外線及び赤外線を遮断するためのカット
フィルターと、ガラス平面に誘電体を蒸着したプリ偏光
子と、前記プリ偏光子と偏光方向が同一に配置された第
１の偏光板と、前記プリ偏光子と偏光方向を９０度ずら
して配置された第２の偏光板と、前記第１の偏光板と前
記第２の偏光板との間に配設され前記検査物が任意の方
向から前記光源からの光が照射されるように回転可能に
配設された回転検査台と、前記第１の偏光板の光源側に
送風する冷却ファンと、前記紫外線、赤外線カットフィ
ルターと前記プリ偏光子及び前記光源を一体に配置する
ためのホルダーと、前記ホルダーを回転可能に固定して
前記光源の照射角度を可変に設定可能なホルダー保持具
とを備え、前記回転検査台上に載置された検査物の表面
に対して前記ホルダー保持具により任意の角度から光源
の光を照射するとともに、前記回転検査台を回転させて
前記検査物の側面に対して任意の角度から光源の光を照
射することができるようにしたものである。
【０００７】
【作用】このような本発明のごみ検査装置によれば、検
査物上の異物を容易に発見することができ、非常にクリ
ーン度の要求される精密部品の品質を確保することがで
きる。
査物上の異物を容易に発見することができ、非常にクリ
ーン度の要求される精密部品の品質を確保することがで
きる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例のごみ検査装置につ
いて、（図１から図２）を用いて説明する。図１は、本
発明の一実施例におけるごみ検査装置の側面図、図２は
同斜視図である。
いて、（図１から図２）を用いて説明する。図１は、本
発明の一実施例におけるごみ検査装置の側面図、図２は
同斜視図である。
【０００９】図において、１はメタルハライドランプ、
２は保持具で１のメタルハライドランプの照射角度を任
意に固定できる。３は紫外線、赤外線カットフィルタ
ー、４はプリ偏光子、５はホルダーで３の紫外線、赤外
線カットフィルターと４のプリ偏光子を１のメタルハラ
イドランプと一体構造にしている。６は光源側偏光板で
４のプリ偏光子の偏光方向と同一にしてある。４のプリ
偏光子と６の光源側偏光板の二重構造にしてあるのは高
輝度であるメタルハライドランプ１の光を偏光させる過
程で偏光板が熱吸収し、高温になり、偏光板を破損する
ことを防ぐためである。
２は保持具で１のメタルハライドランプの照射角度を任
意に固定できる。３は紫外線、赤外線カットフィルタ
ー、４はプリ偏光子、５はホルダーで３の紫外線、赤外
線カットフィルターと４のプリ偏光子を１のメタルハラ
イドランプと一体構造にしている。６は光源側偏光板で
４のプリ偏光子の偏光方向と同一にしてある。４のプリ
偏光子と６の光源側偏光板の二重構造にしてあるのは高
輝度であるメタルハライドランプ１の光を偏光させる過
程で偏光板が熱吸収し、高温になり、偏光板を破損する
ことを防ぐためである。
【００１０】７は冷却ファンで６の光源側偏光板に直接
空気を送りこむことで温度上昇を防いでいる。８は目視
側偏光板で４のプリ偏光子と６の光源側偏光板とは９０
度偏光方向をずらしてある。９は支柱で６の光源側偏光
板、７の冷却ファンと８の目視側偏光板を保持してい
る。１０は検査物、１１は回転検査台で回転することが
可能でこの上に置かれた検査物１０の任意の方向から光
を照射することができる。また、回転検査台１０は黒色
で外光の影響をできるだけ排除するように配慮されてい
る。１２はベースプレートである。
空気を送りこむことで温度上昇を防いでいる。８は目視
側偏光板で４のプリ偏光子と６の光源側偏光板とは９０
度偏光方向をずらしてある。９は支柱で６の光源側偏光
板、７の冷却ファンと８の目視側偏光板を保持してい
る。１０は検査物、１１は回転検査台で回転することが
可能でこの上に置かれた検査物１０の任意の方向から光
を照射することができる。また、回転検査台１０は黒色
で外光の影響をできるだけ排除するように配慮されてい
る。１２はベースプレートである。
【００１１】上記構成によって、検査物１０の方向に固
定されたメタルハライドランプ１から照射される光は紫
外線、赤外線カットフィルター３とプリ偏光子４と光源
側偏光板６を通過し、検査物１０を照射する。検査物１
０で反射された光を目視側偏光板８を介して見る。検査
物１０に異物がない場合、プリ偏光子４と光源側偏光板
６を通過した直線偏光は検査物１０でほぼ偏光を維持し
たまま反射することになるので、これと９０度の角度の
偏光効果を持つ目視側偏光板８をほとんど通過すること
ができず、結果として、何も見えない状態となる。しか
しながら、検査物上に異物が存在すると、ここで反射さ
れた光は乱反射して、目視側偏光板８を通過する。これ
によって、検査物上の異物のみを発見することが可能と
なる。
定されたメタルハライドランプ１から照射される光は紫
外線、赤外線カットフィルター３とプリ偏光子４と光源
側偏光板６を通過し、検査物１０を照射する。検査物１
０で反射された光を目視側偏光板８を介して見る。検査
物１０に異物がない場合、プリ偏光子４と光源側偏光板
６を通過した直線偏光は検査物１０でほぼ偏光を維持し
たまま反射することになるので、これと９０度の角度の
偏光効果を持つ目視側偏光板８をほとんど通過すること
ができず、結果として、何も見えない状態となる。しか
しながら、検査物上に異物が存在すると、ここで反射さ
れた光は乱反射して、目視側偏光板８を通過する。これ
によって、検査物上の異物のみを発見することが可能と
なる。
【００１２】
【発明の効果】以上のように本発明のごみ検査装置によ
れば、クリーン度を必要とする精密部品において、異物
のみを発見することを容易にし、品質を確保するととも
に検査作業における作業性の向上に大いに有効なもので
ある。
れば、クリーン度を必要とする精密部品において、異物
のみを発見することを容易にし、品質を確保するととも
に検査作業における作業性の向上に大いに有効なもので
ある。
【図１】本発明の一実施例におけるごみ検査装置の側面
図
図
【図２】同ごみ検査装置の斜視図
【図３】従来の実施例１のごみ検査装置の側面図
１ メタルハライドランプ ２保持具 ３ 紫外線、赤外線カットフィルター ４ プリ偏光子 ５ ホルダー ６ 光源側偏光板 ７ 冷却ファン ８ 目視側偏光板 ９ 支柱 １０ 検査物 １１ 回転検査台 １２ ベースプレート
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−263540（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−261044（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−95913（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−36707（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958
Claims (1)
- 【請求項１】 検査物への異物付着の有無を目視検査す
るために前記検査物に照射光を供給するための光源と、
前記照射光の紫外線及び赤外線を遮断するためのカット
フィルターと、ガラス平面に誘電体を蒸着したプリ偏光
子と、前記プリ偏光子と偏光方向が同一に配置された第
１の偏光板と、前記プリ偏光子と偏光方向を９０度ずら
して配置された第２の偏光板と、前記第１の偏光板と前
記第２の偏光板との間に配設され前記検査物が任意の方
向から前記光源からの光が照射されるように回転可能に
配設された回転検査台と、前記第１の偏光板の光源側に
送風する冷却ファンと、前記紫外線、赤外線カットフィ
ルターと前記プリ偏光子及び前記光源を一体に配置する
ためのホルダーと、前記ホルダーを回転可能に固定して
前記光源の照射角度を可変に設定可能なホルダー保持具
とを備え、前記回転検査台上に載置された検査物の表面
に対して前記ホルダー保持具により任意の角度から光源
の光を照射するとともに、前記回転検査台を回転させて
前記検査物の側面に対して任意の角度から光源の光を照
射することができるようにしたことを特徴とするごみ検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26459693A JP3156466B2 (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | ごみ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26459693A JP3156466B2 (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | ごみ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07120407A JPH07120407A (ja) | 1995-05-12 |
| JP3156466B2 true JP3156466B2 (ja) | 2001-04-16 |
Family
ID=17405508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26459693A Expired - Fee Related JP3156466B2 (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | ごみ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3156466B2 (ja) |
-
1993
- 1993-10-22 JP JP26459693A patent/JP3156466B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07120407A (ja) | 1995-05-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |