JPH0850104A - 透明材の欠陥検査方法及び欠陥検査装置 - Google Patents
透明材の欠陥検査方法及び欠陥検査装置Info
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- JPH0850104A JPH0850104A JP20307594A JP20307594A JPH0850104A JP H0850104 A JPH0850104 A JP H0850104A JP 20307594 A JP20307594 A JP 20307594A JP 20307594 A JP20307594 A JP 20307594A JP H0850104 A JPH0850104 A JP H0850104A
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Overhead Projectors And Projection Screens (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 透明な板材であるレンズ加工前のフレネルレ
ンズ用材料ないしフレネルレンズシートの表面欠陥、及
び内部欠陥を、欠陥検出精度が高く、微欠陥検出にも対
応でき、且つ、被検査物を検査時に傷つけない、観察者
の目にも良い、目視による欠陥検出方法及び装置を提供
する。 【構成】 透明な板材の、端部平面より検査光を該透明
な板材に入射して、透明な板材の表面と内部の欠陥を目
視により透明な板材の表面から検出するための装置であ
って、少なくとも、該透明な板材に検査光を入射するた
めの線状の光源部と、透明な板材をささえる支持部と、
透明な板材の厚さの変化に対応して、透明な板材の検査
光入射側端部を両側から挾み固定し、且つ、検査光の漏
れ防止をするためのガイド部と、透明な板材の観察者と
反対側の裏面に接し、透明な板材の面を入射する検査光
に対し平行に保持する検査光吸収性の平行保持部とを備
えている。
ンズ用材料ないしフレネルレンズシートの表面欠陥、及
び内部欠陥を、欠陥検出精度が高く、微欠陥検出にも対
応でき、且つ、被検査物を検査時に傷つけない、観察者
の目にも良い、目視による欠陥検出方法及び装置を提供
する。 【構成】 透明な板材の、端部平面より検査光を該透明
な板材に入射して、透明な板材の表面と内部の欠陥を目
視により透明な板材の表面から検出するための装置であ
って、少なくとも、該透明な板材に検査光を入射するた
めの線状の光源部と、透明な板材をささえる支持部と、
透明な板材の厚さの変化に対応して、透明な板材の検査
光入射側端部を両側から挾み固定し、且つ、検査光の漏
れ防止をするためのガイド部と、透明な板材の観察者と
反対側の裏面に接し、透明な板材の面を入射する検査光
に対し平行に保持する検査光吸収性の平行保持部とを備
えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、樹脂、ガラスなどの透
明材の表面欠陥や内部の欠陥を検出するための装置に関
し、特に、リアプロジエクションテレビに用いられる透
過型スクリーンないし透過型スクリーン用基材の欠陥検
出に有効な欠陥検査方法及びその装置に関する。
明材の表面欠陥や内部の欠陥を検出するための装置に関
し、特に、リアプロジエクションテレビに用いられる透
過型スクリーンないし透過型スクリーン用基材の欠陥検
出に有効な欠陥検査方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、リアプロジエクションテレビ
に用いられる透過型スクリーンとして、フレネルレンズ
やレンチキュラーレンズが形成されたレンズシートを１
枚または複数枚重ね合わせたものが使われている。これ
らのレンズシートは、加熱された金型によりアクリル樹
脂等の熱可塑性樹脂を押圧する熱プレス法、モノマーを
金型内に注入し重合固化させるキャステイング法、紫外
線硬化型樹脂或いは電子線硬化型樹脂ような樹脂を使用
するフオトポリマー法等により透明な板材の表面にレン
ズ面が形成されたものであり、所望の寸法に切断された
後、必要に応じて複数枚組み合わせて使用されるが、レ
ンズシートの表面に傷やゴミ、汚れ、あるいはレンズシ
ート内部に気泡や亀裂等の欠陥があると画像に悪影響を
与えにため、製造の各工程毎に欠陥検査が行われてお
り、これらの欠陥検出は出来るだけ早い工程のうちに、
より精度高くできることが望まれていた。この、レンズ
シートないしレンズ面形成前のレンズシート用板材の欠
陥検査は、図５に示すように、後側に蛍光灯を並べて光
源とし、前面部にスリガラスを定盤として設けた検査台
を用い、スリガラスの上に被検査物であるレンズシート
ないしレンズ面形成前のレンズシート用板材を１枚づつ
載せて、透過光により目視にて欠陥検出をしていた。し
かしながら、この欠陥検出方法は、スリガラスの上に直
接被検査物であるレンズシートないしレンズ面形成前の
レンズシート用板材を載せる為、場合によっては検査の
際に表面にキズをつけたり、ゴミやホコリをつけること
があり、品質面で検査の仕方や装置に改良が求められて
いた。そして、この従来の検査方法においては、観察者
（検査作業者）が検査する位置を変えながら又は蛍光灯
の位置を変えながら、光の角度を変えて、欠陥検出をす
る必要があり、検査時間がかかり問題となっていた。
又、透過型スクリーンにおいては、年々、品質面での要
求が厳しくなっているのが現状で、これに伴いレンズシ
ートないしレンズ面形成前のレンズシート用板材にも品
質面で一層の向上が求められ、上記の欠陥検査方法、装
置では対応できなくなってきた。
に用いられる透過型スクリーンとして、フレネルレンズ
やレンチキュラーレンズが形成されたレンズシートを１
枚または複数枚重ね合わせたものが使われている。これ
らのレンズシートは、加熱された金型によりアクリル樹
脂等の熱可塑性樹脂を押圧する熱プレス法、モノマーを
金型内に注入し重合固化させるキャステイング法、紫外
線硬化型樹脂或いは電子線硬化型樹脂ような樹脂を使用
するフオトポリマー法等により透明な板材の表面にレン
ズ面が形成されたものであり、所望の寸法に切断された
後、必要に応じて複数枚組み合わせて使用されるが、レ
ンズシートの表面に傷やゴミ、汚れ、あるいはレンズシ
ート内部に気泡や亀裂等の欠陥があると画像に悪影響を
与えにため、製造の各工程毎に欠陥検査が行われてお
り、これらの欠陥検出は出来るだけ早い工程のうちに、
より精度高くできることが望まれていた。この、レンズ
シートないしレンズ面形成前のレンズシート用板材の欠
陥検査は、図５に示すように、後側に蛍光灯を並べて光
源とし、前面部にスリガラスを定盤として設けた検査台
を用い、スリガラスの上に被検査物であるレンズシート
ないしレンズ面形成前のレンズシート用板材を１枚づつ
載せて、透過光により目視にて欠陥検出をしていた。し
かしながら、この欠陥検出方法は、スリガラスの上に直
接被検査物であるレンズシートないしレンズ面形成前の
レンズシート用板材を載せる為、場合によっては検査の
際に表面にキズをつけたり、ゴミやホコリをつけること
があり、品質面で検査の仕方や装置に改良が求められて
いた。そして、この従来の検査方法においては、観察者
（検査作業者）が検査する位置を変えながら又は蛍光灯
の位置を変えながら、光の角度を変えて、欠陥検出をす
る必要があり、検査時間がかかり問題となっていた。
又、透過型スクリーンにおいては、年々、品質面での要
求が厳しくなっているのが現状で、これに伴いレンズシ
ートないしレンズ面形成前のレンズシート用板材にも品
質面で一層の向上が求められ、上記の欠陥検査方法、装
置では対応できなくなってきた。
【０００３】
【解決しようとする課題】上記のように、透過型スクリ
ーン作製の工程においては、透明な板材であるレンシー
トないしレンズ面形成前のレンズシート用板材の表面欠
陥、及び内部欠陥を検出し、不良材料を選別除去できる
方法、装置で、従来の方法よりも欠陥検出精度が高く、
微欠陥検出にも対応でき、且つ、被検査物を検査時に傷
つけない安定した検査方法が求められていた。本発明
は、このような要求に対応した、透明な板材であるレン
ズシートないしレンズ面形成前のレンズシート用板材の
表面欠陥及び内部欠陥を、目視により検出する方法、及
び装置を提供しようとするものである。そして、検査す
る際に、各種サイズ、板厚にも対応でき、検査する人の
目に入る光の量をできるだけ少なくでき、且つ、光源位
置を移動したり、光源自体を複数設けず、一度に被検査
物の表面と内部の欠陥を検出できる方法、装置を提供し
ようとするものである。
ーン作製の工程においては、透明な板材であるレンシー
トないしレンズ面形成前のレンズシート用板材の表面欠
陥、及び内部欠陥を検出し、不良材料を選別除去できる
方法、装置で、従来の方法よりも欠陥検出精度が高く、
微欠陥検出にも対応でき、且つ、被検査物を検査時に傷
つけない安定した検査方法が求められていた。本発明
は、このような要求に対応した、透明な板材であるレン
ズシートないしレンズ面形成前のレンズシート用板材の
表面欠陥及び内部欠陥を、目視により検出する方法、及
び装置を提供しようとするものである。そして、検査す
る際に、各種サイズ、板厚にも対応でき、検査する人の
目に入る光の量をできるだけ少なくでき、且つ、光源位
置を移動したり、光源自体を複数設けず、一度に被検査
物の表面と内部の欠陥を検出できる方法、装置を提供し
ようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の透明材の欠陥検
査方法は、透明材の端部平面より検査光を透明材に入射
して、透明材の表面と内部の欠陥を、欠陥周辺との屈折
率、反射率の違いから周辺部より明るい部分または暗い
部分として認識して、目視により透明材の表面から検出
することを特徴とするものである。そして、上記におい
て、透明材が板材であり、該板材の面方向に略平行に検
査光を入射し、且つ、透明材の観察者側でない裏面を、
検査光吸収性のもので保持することを特徴とするもので
ある。尚、透明材とは、上記従来の技術で述べた熱可塑
性樹脂や、紫外線硬化型又は電子線硬化型樹脂により形
成されたレンズシートおよびレンズシート用板材に限ら
ず、その他の樹脂、ガラス等により形成された透明性を
有するものであれば良い。また、端部平面とは、透明材
が板材（四角柱状の平板材）の場合は、板厚み方向の平
面をさし、透明材が円管、矩形管等の場合については、
それぞれ円管、矩形管の管方向に垂直な断面における管
の平面をさす。以後、板材とは四角柱状の平板材を指
し、その表面にレンズ加工等の加工を施したものも含
む。
査方法は、透明材の端部平面より検査光を透明材に入射
して、透明材の表面と内部の欠陥を、欠陥周辺との屈折
率、反射率の違いから周辺部より明るい部分または暗い
部分として認識して、目視により透明材の表面から検出
することを特徴とするものである。そして、上記におい
て、透明材が板材であり、該板材の面方向に略平行に検
査光を入射し、且つ、透明材の観察者側でない裏面を、
検査光吸収性のもので保持することを特徴とするもので
ある。尚、透明材とは、上記従来の技術で述べた熱可塑
性樹脂や、紫外線硬化型又は電子線硬化型樹脂により形
成されたレンズシートおよびレンズシート用板材に限ら
ず、その他の樹脂、ガラス等により形成された透明性を
有するものであれば良い。また、端部平面とは、透明材
が板材（四角柱状の平板材）の場合は、板厚み方向の平
面をさし、透明材が円管、矩形管等の場合については、
それぞれ円管、矩形管の管方向に垂直な断面における管
の平面をさす。以後、板材とは四角柱状の平板材を指
し、その表面にレンズ加工等の加工を施したものも含
む。
【０００５】又、本発明の欠陥検査装置は、透明な板材
の、端部平面より検査光を該透明な板材に入射して、透
明な板材の表面と内部の欠陥を目視により透明な板材の
表面から検出するための装置であって、少なくとも、該
透明な板材に検査光を入射するための線状の光源部と、
透明な板材を支える支持部と、透明な板材の厚さの変化
に対応して、透明な板材の検査光入射側端部を両側から
挾み固定し、且つ、検査光の漏れ防止をするためのガイ
ド部と、透明な板材の観察者と反対側の裏面に接し、透
明な板材の面を入射する検査光に対し平行に保持する検
査光吸収性の平行保持部とを備えたことを特徴とするも
のである。そして、上記における平行保持部は、黒色の
平坦面をもつ板状のものであり、黒色の平坦面側を透明
な板材にあてて、透明な板材の入射する検査光に対する
平行性を保持するものであることを特徴とするものであ
る。そして該黒色の平坦面はクッション性を有するもの
である。そして、上記ガイド部は、検査光に対し非透過
性で、且つクッション性を有する部材で検査光の漏れ防
止をしていることを特徴とするものである。更に、本発
明の欠陥検査装置は、上記の透明な板材幅に対応して、
光源部から照射される線状の検査光の幅を調整できる光
源幅調整部（アジャスト板）を備えていることを特徴と
するものである。
の、端部平面より検査光を該透明な板材に入射して、透
明な板材の表面と内部の欠陥を目視により透明な板材の
表面から検出するための装置であって、少なくとも、該
透明な板材に検査光を入射するための線状の光源部と、
透明な板材を支える支持部と、透明な板材の厚さの変化
に対応して、透明な板材の検査光入射側端部を両側から
挾み固定し、且つ、検査光の漏れ防止をするためのガイ
ド部と、透明な板材の観察者と反対側の裏面に接し、透
明な板材の面を入射する検査光に対し平行に保持する検
査光吸収性の平行保持部とを備えたことを特徴とするも
のである。そして、上記における平行保持部は、黒色の
平坦面をもつ板状のものであり、黒色の平坦面側を透明
な板材にあてて、透明な板材の入射する検査光に対する
平行性を保持するものであることを特徴とするものであ
る。そして該黒色の平坦面はクッション性を有するもの
である。そして、上記ガイド部は、検査光に対し非透過
性で、且つクッション性を有する部材で検査光の漏れ防
止をしていることを特徴とするものである。更に、本発
明の欠陥検査装置は、上記の透明な板材幅に対応して、
光源部から照射される線状の検査光の幅を調整できる光
源幅調整部（アジャスト板）を備えていることを特徴と
するものである。
【０００６】
【作用】本発明の透明材の欠陥検査方法は、上記のよう
な構成にすることにより、透明材の表面及び内部の欠陥
検出を、従来の方法よりも、欠陥検出精度を高くし、微
欠陥検出をできるものとしており、且つ、検査の為の観
察者（検査作業業者）の位置移動を必要としないものと
ている。従来のような、被検査物の背面から蛍光灯光源
からの光を入射させ透過光の局部的変化をみるのと異な
り、欠陥検出のためのＳ／Ｎが向上するものである。更
に、透明材が板材で、該板材の面に平行な方向に検査光
を入射し、且つ、透明材の観察者側でない裏面を、検査
光吸収性のもので、具体的には黒色のフランネル厚布等
からなる黒色の平坦面で保持することにより、平行保持
部では一度裏面からでた検査光は吸収されてしまい、裏
面から外光の透明材への入射も防ぐことができ、一層欠
陥検出のためのＳ／Ｎが向上するものである。そして、
検査の際、裏面ではキズのつきにくいものとしている。
な構成にすることにより、透明材の表面及び内部の欠陥
検出を、従来の方法よりも、欠陥検出精度を高くし、微
欠陥検出をできるものとしており、且つ、検査の為の観
察者（検査作業業者）の位置移動を必要としないものと
ている。従来のような、被検査物の背面から蛍光灯光源
からの光を入射させ透過光の局部的変化をみるのと異な
り、欠陥検出のためのＳ／Ｎが向上するものである。更
に、透明材が板材で、該板材の面に平行な方向に検査光
を入射し、且つ、透明材の観察者側でない裏面を、検査
光吸収性のもので、具体的には黒色のフランネル厚布等
からなる黒色の平坦面で保持することにより、平行保持
部では一度裏面からでた検査光は吸収されてしまい、裏
面から外光の透明材への入射も防ぐことができ、一層欠
陥検出のためのＳ／Ｎが向上するものである。そして、
検査の際、裏面ではキズのつきにくいものとしている。
【０００７】又、本発明の欠陥検査装置は、上記のよう
な構成にすることにより、透明な板材の表面欠陥、及び
内部欠陥を、従来の装置よりも欠陥検出精度が高く、微
欠陥検出のできるものとし、且つ、被検査物を検査時に
傷つけないものとしている。そして、透明な板材の検査
光入射側端部を両側から挾み固定し、且つ、検査光の漏
れ防止をするためのガイドを設けており、透明な板材の
観察者と反対側の裏面に接し、透明な板材の面を入射す
る検査光に対し平行に保持する検査光吸収性の平行保持
部とを備えていることにより、被検査物を所定の状態に
安定的に置けるとともに、光源から直接観察者へ入る光
をなくしている。平行保持部は、黒色の平坦面をもつ板
状のものであり、黒色の平坦面側を透明な板材にあて
て、透明な板材の入射する検査光に対する平行性を保持
するものであることより、被検査物の裏面から一度でた
光は、平行保持部では、吸収されて検査を阻害すること
も無く、又外光の影響もないものとして欠陥検出の精度
を高くしている。そして、黒色の平坦面はクッション性
を有するものであることより、被検査物の観察者と反対
側の面（裏面）に傷がつかないようにしている。又、透
明な板材幅に対応して、光源部から照射される線状の検
査光の幅を調整できる光源幅調整整部（アジャスト板）
を設けていることにより、観察者に対する目の疲労度を
できるだけ少なくするとともに、被検査物の端部平面以
外から光源の光が入射されることを防いでいる。
な構成にすることにより、透明な板材の表面欠陥、及び
内部欠陥を、従来の装置よりも欠陥検出精度が高く、微
欠陥検出のできるものとし、且つ、被検査物を検査時に
傷つけないものとしている。そして、透明な板材の検査
光入射側端部を両側から挾み固定し、且つ、検査光の漏
れ防止をするためのガイドを設けており、透明な板材の
観察者と反対側の裏面に接し、透明な板材の面を入射す
る検査光に対し平行に保持する検査光吸収性の平行保持
部とを備えていることにより、被検査物を所定の状態に
安定的に置けるとともに、光源から直接観察者へ入る光
をなくしている。平行保持部は、黒色の平坦面をもつ板
状のものであり、黒色の平坦面側を透明な板材にあて
て、透明な板材の入射する検査光に対する平行性を保持
するものであることより、被検査物の裏面から一度でた
光は、平行保持部では、吸収されて検査を阻害すること
も無く、又外光の影響もないものとして欠陥検出の精度
を高くしている。そして、黒色の平坦面はクッション性
を有するものであることより、被検査物の観察者と反対
側の面（裏面）に傷がつかないようにしている。又、透
明な板材幅に対応して、光源部から照射される線状の検
査光の幅を調整できる光源幅調整整部（アジャスト板）
を設けていることにより、観察者に対する目の疲労度を
できるだけ少なくするとともに、被検査物の端部平面以
外から光源の光が入射されることを防いでいる。
【０００８】
【実施例】本発明の欠陥検査装置の実施例を挙げ、図に
基づいて説明する。図１は本実施例装置の側面図の要部
拡大図であり、図２（ａ）は本実施例装置の正面図で、
図２（ｂ）そのＡ１−Ａ２における断面図である。図３
は光源部およびシロッコフアン（送風機）を説明するた
めの図である。図１中、１００は欠陥検査装置、１０１
は被検査物、１０１Ａは被検査物の端部平面、１０２は
光源部、１０２Ｌはハロゲンランプ、１０２Ｒは反射板
（リフレクタ）、１０２Ａは照射口、１０３はシロッコ
フアン（送風機）、１０４はガイド部、１０４Ａは漏れ
光遮断材 、１０４Ｂはガイド調整部、１０５は平行保
持部、１０６は支持部である。本実施例の欠陥検査装置
は、プロジエクションスクリーン用のレンズシートの欠
陥やレンズシートにレンズ面を形成する前のレンズシー
ト用板材の欠陥を検査するもので、図１に示すように、
被検査物１０１の下側をガイド部１０４にて挾みこみ、
支持部１０６にて被検査物をささえて固定し、光源部１
０２からの検査光を、被検査物の端部平面１０１Ａより
入射させるものであるが、この際、平行保持部１０５に
より、入射される検査光の方向と被検査物１０１の面が
略平行になるように調整保持する。
基づいて説明する。図１は本実施例装置の側面図の要部
拡大図であり、図２（ａ）は本実施例装置の正面図で、
図２（ｂ）そのＡ１−Ａ２における断面図である。図３
は光源部およびシロッコフアン（送風機）を説明するた
めの図である。図１中、１００は欠陥検査装置、１０１
は被検査物、１０１Ａは被検査物の端部平面、１０２は
光源部、１０２Ｌはハロゲンランプ、１０２Ｒは反射板
（リフレクタ）、１０２Ａは照射口、１０３はシロッコ
フアン（送風機）、１０４はガイド部、１０４Ａは漏れ
光遮断材 、１０４Ｂはガイド調整部、１０５は平行保
持部、１０６は支持部である。本実施例の欠陥検査装置
は、プロジエクションスクリーン用のレンズシートの欠
陥やレンズシートにレンズ面を形成する前のレンズシー
ト用板材の欠陥を検査するもので、図１に示すように、
被検査物１０１の下側をガイド部１０４にて挾みこみ、
支持部１０６にて被検査物をささえて固定し、光源部１
０２からの検査光を、被検査物の端部平面１０１Ａより
入射させるものであるが、この際、平行保持部１０５に
より、入射される検査光の方向と被検査物１０１の面が
略平行になるように調整保持する。
【０００９】この状態で観察側（表面）で欠陥検出をす
るのであるが、大半の入射光は、透明材の内部を反射を
繰り返しながら検査光入射側と対向する端部平面から出
射する。入射された検査光は被検査物１０１の中を通る
際に、内部に欠陥がある場合には、欠陥部が周辺と屈折
率を異とするため、内部を通る光は欠陥部で屈折ないし
反射され観察者に到達するもので、内部の欠陥は欠陥部
の光のみが余分に観察されるため輝いて見える。被検査
物１０１の表面部に欠陥がある場合には、観察者側に射
出される光の一部が屈折ないし反射され方向を変え観察
者に到達するもので、欠陥部からの光のみが少なく観察
されるためうす暗く見える。本実施例装置にて、幅約１
５００ｍｍ×高さ１４０００ｍｍ×厚さ１８０ｍｍのフ
レネルレンズ用の透明なアクリルシートを検査したが、
従来の方法と比べ、欠陥の検出精度は大幅に向上してい
ることが確認された。
るのであるが、大半の入射光は、透明材の内部を反射を
繰り返しながら検査光入射側と対向する端部平面から出
射する。入射された検査光は被検査物１０１の中を通る
際に、内部に欠陥がある場合には、欠陥部が周辺と屈折
率を異とするため、内部を通る光は欠陥部で屈折ないし
反射され観察者に到達するもので、内部の欠陥は欠陥部
の光のみが余分に観察されるため輝いて見える。被検査
物１０１の表面部に欠陥がある場合には、観察者側に射
出される光の一部が屈折ないし反射され方向を変え観察
者に到達するもので、欠陥部からの光のみが少なく観察
されるためうす暗く見える。本実施例装置にて、幅約１
５００ｍｍ×高さ１４０００ｍｍ×厚さ１８０ｍｍのフ
レネルレンズ用の透明なアクリルシートを検査したが、
従来の方法と比べ、欠陥の検出精度は大幅に向上してい
ることが確認された。
【００１０】ガイド部１０４は、被検査物１０１の下側
を挾み固定するもので、この際、光源１０２からの光が
漏れないように、フランネル厚布からなる漏れ光遮断材
１０４Ａをガイド部１０４と被検査物１０１との間に挾
む。この為、光の漏れ防止と被検査物１０１の表面をキ
ズつけない構造となっている。そして、ガイド部１０４
は、ステンレスからなる板を斜めにして形成し、光源１
０２からの検査光を被検査物１０１に入射させる照射口
１０２Ａに接続するようにしており、光源からの光が直
接観察者の目に入らないようになっている。
を挾み固定するもので、この際、光源１０２からの光が
漏れないように、フランネル厚布からなる漏れ光遮断材
１０４Ａをガイド部１０４と被検査物１０１との間に挾
む。この為、光の漏れ防止と被検査物１０１の表面をキ
ズつけない構造となっている。そして、ガイド部１０４
は、ステンレスからなる板を斜めにして形成し、光源１
０２からの検査光を被検査物１０１に入射させる照射口
１０２Ａに接続するようにしており、光源からの光が直
接観察者の目に入らないようになっている。
【００１１】平行保持部１０５は、前述のように、入射
される検査光の方向と被検査物１０１の面が略平行にな
るように保持するものであるが、基本的には、被検査物
１０１を平行保持部１０５にピッタリと付けた状態で、
ガイド部１０４で固定され、被検査物１０１の表裏面検
査光と略平行になる。又、平行保持部１０５の被検査物
１０１側は黒色の平坦面となっているが、本実施例にお
いては、この黒色の平坦面は黒色のフランネル厚布１０
５Ａを平坦状の板１０５Ｂに覆ったものである。この
為、被検査物１０１から平行保持部１０５側に出射され
た光は吸収され、精度良く欠陥の検出ができるものとし
ている。又、フランネル厚布で被検査物１０１と接触
し、平行保持するため、被検査物１０１の検査時におけ
るキズの発生を極端に少なくできる。
される検査光の方向と被検査物１０１の面が略平行にな
るように保持するものであるが、基本的には、被検査物
１０１を平行保持部１０５にピッタリと付けた状態で、
ガイド部１０４で固定され、被検査物１０１の表裏面検
査光と略平行になる。又、平行保持部１０５の被検査物
１０１側は黒色の平坦面となっているが、本実施例にお
いては、この黒色の平坦面は黒色のフランネル厚布１０
５Ａを平坦状の板１０５Ｂに覆ったものである。この
為、被検査物１０１から平行保持部１０５側に出射され
た光は吸収され、精度良く欠陥の検出ができるものとし
ている。又、フランネル厚布で被検査物１０１と接触
し、平行保持するため、被検査物１０１の検査時におけ
るキズの発生を極端に少なくできる。
【００１２】また、本実施例においては、平行保持部１
０５部の平坦状の板１０５Ｂは、略垂直に立った支柱１
０７Ａに支持された格子状の支持枠１０７Ｂにより、支
持されているが、必要に応じ、作業者の目の高さに合わ
せて、平行支持部１０５及び光源部１０２を支柱１０７
Ａに沿って上下に移動したり、作業者が目視検査し易い
角度に平行保持部１０５および光源部１０２を支柱１０
７Ａに対して傾斜させて保持できるような構造とするこ
ともできる。
０５部の平坦状の板１０５Ｂは、略垂直に立った支柱１
０７Ａに支持された格子状の支持枠１０７Ｂにより、支
持されているが、必要に応じ、作業者の目の高さに合わ
せて、平行支持部１０５及び光源部１０２を支柱１０７
Ａに沿って上下に移動したり、作業者が目視検査し易い
角度に平行保持部１０５および光源部１０２を支柱１０
７Ａに対して傾斜させて保持できるような構造とするこ
ともできる。
【００１３】光源部１０２は、３本の１ＫＷｈのハロゲ
ンランプ１０２Ｌからの光を、反射板（リフレクタ）１
０２Ｒにより反射させ、被検査物の端部平面１０１Ａに
照射口１０２Ａを通し入射させるもので、反射板（リフ
レクタ）１０２Ｒにより反射された光は、リフレクタ構
造の照射口により集光され、被検査物の端部平面１０１
Ａに入射する。光源部１０２は、シロッコフアン（送風
機）１０３により送風され、熱を放出するようになって
いる。光源部１０２は、ハロゲンランプ１０２Ｌと光源
色を決めるフイルターと光量を決める絞りとで明るさと
色とを制御できる。尚、ハロゲンランプ１０２Ｌは、低
出力（１本１ＫＷｈ）で強い光をだせるものであり、被
検査物１０１は絞りと色フイルター（色ガラス）とによ
り、ハロゲンランプ１０２Ｌの熱からはほぼ完全に遮蔽
された状態にあるので、被検査物１０１の熱吸収は発熱
量の１０％にも満たず、被検査物１０１に対する熱の影
響は殆ど無視できる。光源色を決める色フイルターと光
量を決める絞りとは、図４に示すように、一体となった
もので、細長状の開口部１４１を持つ絞り板１４０の開
口部１４１全体に色フイルター１４２を設けている。そ
して、図３に示すように細長状の開口部１４１が線状の
光源に沿うように、絞り板１４０を配置する。必要に応
じ、開口部の幅（面積）やフイルターの種類を変えるこ
とにより、観察者（検査作業者）が検査しやすい光量や
検査光とすることができる。
ンランプ１０２Ｌからの光を、反射板（リフレクタ）１
０２Ｒにより反射させ、被検査物の端部平面１０１Ａに
照射口１０２Ａを通し入射させるもので、反射板（リフ
レクタ）１０２Ｒにより反射された光は、リフレクタ構
造の照射口により集光され、被検査物の端部平面１０１
Ａに入射する。光源部１０２は、シロッコフアン（送風
機）１０３により送風され、熱を放出するようになって
いる。光源部１０２は、ハロゲンランプ１０２Ｌと光源
色を決めるフイルターと光量を決める絞りとで明るさと
色とを制御できる。尚、ハロゲンランプ１０２Ｌは、低
出力（１本１ＫＷｈ）で強い光をだせるものであり、被
検査物１０１は絞りと色フイルター（色ガラス）とによ
り、ハロゲンランプ１０２Ｌの熱からはほぼ完全に遮蔽
された状態にあるので、被検査物１０１の熱吸収は発熱
量の１０％にも満たず、被検査物１０１に対する熱の影
響は殆ど無視できる。光源色を決める色フイルターと光
量を決める絞りとは、図４に示すように、一体となった
もので、細長状の開口部１４１を持つ絞り板１４０の開
口部１４１全体に色フイルター１４２を設けている。そ
して、図３に示すように細長状の開口部１４１が線状の
光源に沿うように、絞り板１４０を配置する。必要に応
じ、開口部の幅（面積）やフイルターの種類を変えるこ
とにより、観察者（検査作業者）が検査しやすい光量や
検査光とすることができる。
【００１４】被検査物１０１を支える支持部は照射口部
に固定され、被検査物１０１の重さを端面平面の一部で
支える。
に固定され、被検査物１０１の重さを端面平面の一部で
支える。
【００１５】又、図３に示すように、光源部は線状に長
く、各種サイズの被検査物の幅に対応できるようにして
あるが、被検査物の幅に応じて不要な光源からの光を遮
断できるように光源幅調整部（アジヤスト板）１３０を
設けている。光源幅調整部（アジヤスト板）１３０は光
源の両サイドから遮光板を移動させて光源幅を調整する
ものである。
く、各種サイズの被検査物の幅に対応できるようにして
あるが、被検査物の幅に応じて不要な光源からの光を遮
断できるように光源幅調整部（アジヤスト板）１３０を
設けている。光源幅調整部（アジヤスト板）１３０は光
源の両サイドから遮光板を移動させて光源幅を調整する
ものである。
【００１６】結局、本実施例の欠陥検査検査装置は、こ
のような構成にすることにより、透明な板材の表面欠
陥、及び内部欠陥を、従来の装置よりも欠陥検出精度が
高く、微欠陥検出のできるものとしており、被検査物１
０１を検査時に傷つけないものとしている。更に、被検
査物を所定の状態に安定的に置けるとともに、光源から
直接観察者の目にはいる光をなくしている。
のような構成にすることにより、透明な板材の表面欠
陥、及び内部欠陥を、従来の装置よりも欠陥検出精度が
高く、微欠陥検出のできるものとしており、被検査物１
０１を検査時に傷つけないものとしている。更に、被検
査物を所定の状態に安定的に置けるとともに、光源から
直接観察者の目にはいる光をなくしている。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、上記のように、特に、プロジ
エクションスクリーン等に用いられるレンズシートない
しレンズ面形成前のレンズシート用板材に対し、表面欠
陥及び内部欠陥を、従来の装置よりも精度が良く欠陥検
出することを可能としている。又、同時に、検査の際に
被検査物に傷つけることが極端に少なく、強い光が観察
者の目に入ることのない検査装置の提供を可能としてい
る。そして、観察者（検査作業者）が、検査する位置を
移動したりする必要もなく、一度に被検査物の表面と内
部の欠陥を検出できる方法、装置を提供しており、結果
として、検査作業時間の短縮を可能としている。
エクションスクリーン等に用いられるレンズシートない
しレンズ面形成前のレンズシート用板材に対し、表面欠
陥及び内部欠陥を、従来の装置よりも精度が良く欠陥検
出することを可能としている。又、同時に、検査の際に
被検査物に傷つけることが極端に少なく、強い光が観察
者の目に入ることのない検査装置の提供を可能としてい
る。そして、観察者（検査作業者）が、検査する位置を
移動したりする必要もなく、一度に被検査物の表面と内
部の欠陥を検出できる方法、装置を提供しており、結果
として、検査作業時間の短縮を可能としている。
【図１】本発明の欠陥検査検査装置の実施例側面図の要
部拡大図
部拡大図
【図２】本発明の欠陥検査検査装置の実施例の正面図、
断面図
断面図
【図３】本発明の欠陥検査検査装置の光源部の詳細図
【図４】本発明の欠陥検査検査装置の絞り部の平面図
【図５】従来の欠陥検査の図
１００ 欠陥検査検査装置 １０１ 被検査物 １０２ 光源部 １０２Ｌ ハロゲンランプ １０２Ｒ 反射板（リフレクタ） １０３ シロッコフアン（送風機） １０４ ガイド部 １０４Ａ 漏れ光遮断材（フランネル厚
布） １０４Ｂ ガイド調整部 １０５ 平行保持部 １０５Ａ フランネル厚布 １０５Ｂ 平坦状の板 １０６ 支持部 １０７Ａ 支柱 １０７Ｂ 支持枠 １３０ 光源幅調整部（アジヤスト
板） １４０ 絞り板 １４１ 開口部 １４２ 色フイルター
布） １０４Ｂ ガイド調整部 １０５ 平行保持部 １０５Ａ フランネル厚布 １０５Ｂ 平坦状の板 １０６ 支持部 １０７Ａ 支柱 １０７Ｂ 支持枠 １３０ 光源幅調整部（アジヤスト
板） １４０ 絞り板 １４１ 開口部 １４２ 色フイルター
Claims (7)
- 【請求項１】 透明材の端部平面より検査光を透明材に
入射して、透明材の表面と内部の欠陥を、欠陥周辺との
屈折率、反射率の違いにから周辺部より明るい部分また
は暗い部分として認識して、目視により透明材の表面か
ら検出することを特徴とする透明材の欠陥検査方法。 - 【請求項２】 請求項１において、透明材が板材であ
り、該板材の面方向に略平行に検査光を入射し、且つ、
透明材の観察者側でない裏面を検査光吸収性のもので保
持することを特徴とする透明材の欠陥検査方法。 - 【請求項３】 透明な板材の、端部平面より検査光を該
透明な板材に入射して、透明な板材の表面と内部の欠陥
を目視により透明な板材の表面から検出するための装置
であって、少なくとも、該透明な板材に検査光を入射す
るための線状の光源部と、透明な板材をささえる支持部
と、透明な板材の厚さの変化に対応して、透明な板材の
検査光入射側端部を両側から挾み固定し、且つ、検査光
の漏れ防止をするためのガイド部と、透明な板材の観察
者と反対側の裏面に接し、透明な板材の面を入射する検
査光に対し平行に保持する検査光吸収性の平行保持部と
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 【請求項４】 請求項３における平行保持部は、黒色の
平坦面をもつ板状のものであり、黒色の平坦面側を透明
な板材にあてて、透明な板材の入射する検査光に対する
平行性を保持するものであることを特徴とする欠陥検査
装置。 - 【請求項５】 請求項４における黒色の平坦面はクッシ
ョン性を有するものであることを特徴とする欠陥検査装
置。 - 【請求項６】 請求項３におけるガイド部は、検査光に
対し非透過性で、且つクッション性を有する部材で検査
光の漏れ防止をしていることを特徴とする欠陥検査装
置。 - 【請求項７】 請求項３ないし６において、透明な板材
幅に対応して、光源部から照射される線状の検査光の幅
を調整できる光源幅調整部を備えていることを特徴とす
る欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20307594A JPH0850104A (ja) | 1994-08-05 | 1994-08-05 | 透明材の欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20307594A JPH0850104A (ja) | 1994-08-05 | 1994-08-05 | 透明材の欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0850104A true JPH0850104A (ja) | 1996-02-20 |
Family
ID=16467943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20307594A Pending JPH0850104A (ja) | 1994-08-05 | 1994-08-05 | 透明材の欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0850104A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11352014A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Masami Nishiko | 光学検査方式 |
| JP2000028476A (ja) * | 1998-07-11 | 2000-01-28 | Masami Nishiko | 光学検査方式 |
| JP2000028340A (ja) * | 1998-07-11 | 2000-01-28 | Masami Nishiko | 配向膜検査方式 |
| JP2006337267A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Sharp Corp | 光学部品の欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
| WO2022004232A1 (ja) * | 2020-06-30 | 2022-01-06 | 株式会社ヴィーネックス | 異物・欠陥検査装置、異物・欠陥検査における画像生成装置、及び異物・欠陥検査方法 |
-
1994
- 1994-08-05 JP JP20307594A patent/JPH0850104A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11352014A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Masami Nishiko | 光学検査方式 |
| JP2000028476A (ja) * | 1998-07-11 | 2000-01-28 | Masami Nishiko | 光学検査方式 |
| JP2000028340A (ja) * | 1998-07-11 | 2000-01-28 | Masami Nishiko | 配向膜検査方式 |
| JP2006337267A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Sharp Corp | 光学部品の欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
| WO2022004232A1 (ja) * | 2020-06-30 | 2022-01-06 | 株式会社ヴィーネックス | 異物・欠陥検査装置、異物・欠陥検査における画像生成装置、及び異物・欠陥検査方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021008 |