KR101282019B1

KR101282019B1 - 기판 외관 검사장치 및 그 검사방법

Info

Publication number: KR101282019B1
Application number: KR1020060075264A
Authority: KR
Inventors: 김민수
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2006-08-09
Filing date: 2006-08-09
Publication date: 2013-07-04
Also published as: KR20080013575A

Abstract

본 발명은 기판의 전면 및 배면의 외관을 검사하는 기판 외관 검사 장치에 관한 것으로, 기판을 고정하는 기판 고정 프레임에 기판을 위치시켜 기판의 표면을 검사할 수 있도록 하는 기판 위치계; 기판 표면상의 결함 유무를 검사하기 위하여 기판 표면에 빛을 조사하는 제1 조명계 및 제1 조명계로부터 조사되지 않는 비조사 영역을 조사하는 제2 조명계를 포함한다.

이와 같은 본 발명에 따른 기판 외관 검사장치를 제공하게 되면, 기판의 배면 검사시 발생되는 비조사 영역으로 인하여 기판 전체의 육안검사를 할 수 없었던 문제점을 해결할 수 있게 되고, 기판의 위치 및 회전 각도의 다양한 변화에도 안정적으로 명확히 기판 전체를 명확히 관찰하여 검사할 수 있게 된다.

기판 외관 검사, 조명, 메탈 램프, 프레넬 렌즈

Description

기판 외관 검사장치 및 그 검사방법{DEVICE FOR APPEARANCE INSPECTION AND INSPECTION METHOD THEROF}

도 1은 종래의 대형기판 검사용 조명장치의 다면도 및 정면도를 나타낸 도면,

도 2는 대형기판 검사용 조명장치에 사용되는 액정 산란판에 전압이 가해진 경우 및 전압이 가해지지 않은 경우의 빛이 통과되는 모습을 나타낸 도면,

도 3은 종래의 기판 외관 검사 장치 구조의 일례를 사시도로 나타낸 도면,

도 4는 기판 외관 검사장치의 평면도를 통하여 기판의 배면 검사시, 발생되는 비조사 영역을 나타낸 도면,

도 5는 본 발명에 따른 기판 하측에 설치된 제2 조명계를 포함하는 기판 외관 검사 장치의 일례를 사시도로 나타낸 도면,

도 6은 본 발명에 따른 배면 검사시 발생하는 제1 조명계의 비조사 영역에 광이 조사되는 기판 외관 장치의 평면도를 나타낸 도면,

도 7은 본 발명에 따른 고정프레임의 측면에 설치된 제2 조명계를 포함하는 기판 외관 검사 장치의 일례를 사시도로 나타낸 도면,

도 8은 본 발명에 따른 배면 검사시 발생하는 제1 조명계의 비조사 영역에 광을 조사 할 수 있는 고정프레임에 직접 설치된 제2 조명계를 포함하는 기판 외관 장치의 평면도를 나타낸 도면,

도 9는 본 발명에 따른 기판 외관 검사방법의 흐름도를 예시한 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 설명>

100 : 기판 위치계, 110: 지지대, 115 : 회전 구동부, 117 : 고정프레임

119 : 기판

200 : 제1 조명계, 210 : 광원부, 220 : 반사부, 250 : 검사자

300 : 제2 조명계

본 발명은 디스플레이용 기판의 결함을 검사하기 위한 기판외관 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 광원에서 출발한 빛이 반사부재와 집광부재인 프레넬렌즈를 거쳐서 검사대상 기판에 조사되고, 상기 검사대상 기판에 의하여 반사되는 빛을 검사자가 육안으로 검사할 수 있도록 하는 기판 외관 검사장치에 관한 것이다.

종래, LCD 유리(glass) 기판의 결함 검사에는 도 1의 (a), (b)에 나타낸 바와 같은 조명장치가 이용되고 있었다. 즉, 광원(20)으로부터의 빛이 반사부재(21)에서 반사되어 프레넬(Fresnel)렌즈(22)와 액정산란판(23)을 투과한 후, 검사대상 유리(glass)(10)에 조사된다. 그리고 상기 유리(10)에 의하여 반사된 빛은 검사 자(25) 부근으로 향하게 되고, 검사자는 그 반사된 빛을 관찰함으로써 상기 유리(10)의 결함여부를 검사하게 되는 것이다. 즉, 결함이 없는 기판 표면에서 반사되는 빛과 결함에서 반사되는 빛의 강도 및 반사각의 차이에 의한 육안 검사가 행해지는 것이다.

이때 상기 반사부재(21)는 광원(20)에서 출발한 빛의 경로를 프레넬 렌즈(22) 쪽으로 변화시키기 위하여 사용되는 것이며, 상기 프레넬 렌즈(22)는 빛을 집광시키기 위한 도구이며, 상기 액정산란판(23)은 프레넬 렌즈(22)를 통과한 빛을 산란시켜 부드러운 빛이 발생하도록 하는 도구이다. 특히 상기 액정산란판(140)은 도 2 (a), (b)에 도시된 바와 같이, 전압인가 여부에 따라 투명과 불투명 상태로 변화되기 때문에, 상기 액정산란판(23)을 통과하는 빛 을 수렴광 또는 산란광으로 전환 가능한 것이 특징이다.

상기 조명장치를 이용하여 검사대상 기판 표면 전체를 일괄조사하기 위해서는 액정산란판과 프레넬 렌즈 크기가 기판의 크기보다 약 1.4배 정도 더 커야 한다. 예를 들어 가로, 세로의 크기가 1200ㅧ1200mm인 기판을 일괄 조사하기 위해서는 프레넬렌즈의 크기가 약 1600ㅧ1400mm 정도이여야 한다. 그러나, 현재 생산 가능한 프레넬 렌즈의 크기는 1060ㅧ1400mm 가 최대이므로, 점점 대형화되고 있는 기판표면을 하나의 프레넬 렌즈를 이용하여 일괄 조사하는 것이 불가능해지고 있다.

따라서 현재 검사 대상 기판을 일괄 조사하기 위한 방법으로 프레넬 렌즈를 사용하여 제작되는 조명장치 복수개의 세트를 나란히 설치하여 검사하는 것이 제안되었다.

도 3은 상기한 바와 같은 복수세트의 조명장치를 사용하는 종래의 기판 외관 검사 장치 구조의 일례를 사시도로 나타낸 도면이다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 기판 외관 검사 장치는 피검사 대상인 기판(119)을 위치시키는 기판 위치계(100), 기판(119)에 광을 조사하는 조명계(200)를 포함하는 구성으로 되어 있다. 여기서 조명계(200)는 기판(119)의 상측에 위치하여 기판에 대각선 방향으로 광을 조사할 수 있도록 위치해 있고, 조명계는 광원부(210), 반사부(220), 집광부(도시하지 않음)로 구성되어, 광원(210)에서 발생된 빛이 반사부(220)에 반사하여, 집광부에서 집광되어 기판에 조사하게 되는 구조로 되어 있다.

그리고, 기판 위치계(100)는 기판을 고정할 수 있는 기판 고정 프레임(117), 기판을 회전할 수 있게 하는 회전 구동부(115) 및 고정프레임(117)을 지지하는 지지대(110)로 구성된다. 이 고정프레임(117)에 기판(119)을 고정 결합되어 위치시키고, 고정프레임(117)을 검사자(250)가 용이하게 기판의 결함여부를 확인할 수 있게 하기 위해 회전가능 하도록 하는 회전 구동부(115)가 고정프레임의 측면에 중심축과 연결되어 있는 구조로 되어 있다.

또한, 도 3에 나타낸 바와 같이 기판외관 검사 장치는 기판의 전면 뿐만 아니라, 배면도 검사 할 수 있는데, 이 배면 검사시 기판이 고정된 고정프레임을 회전 구동부(115)를 통하여 회전하여 반전시키고, 조명계(200)를 통하여 전면 검사방법과 같은 방법으로 검사자(250)에 의해 기판의 배면 결함여부를 검사할 수 있다.

일반적으로 배면검사는 기판의 결함중 배면에 빈번하게 발생할 수 있는 스크 래치나, 주변 장치의 구동으로 배면에 흡착 또는 낙하 될 수 있는 파티클이 존재하는 지를 검사하기 위한 것이다.

이처럼 배면을 검사하기 위해서는 기판(119)이 고정프레임(117)에 고정, 결합되어 있는 상태에서, 회전구동부(115)를 이용하여 고정프레임(117)룰 회전시킴으로써 조명계로부터 빛이 조사되도록 하고, 검사자(250)가 고정프레임(117)의 후방에 위치한 기판(119)을 육안으로 관찰하여 배면을 검사하게 된다. 그러나, 이 경우 기판은 고정프레임(117)에 일정 간격으로 이격되어 있고, 이 기판(119)에 조사하는 빛 또한 일괄조사를 위하여 넓은 범위에서 좁은 범위로 조사되기 때문에, 기판에 빛이 조사되지 않는 비조사 영역이 발생되게 된다.

도 4는 기판 외관 검사장치의 평면도를 통하여 기판의 배면 검사시, 발생되는 비조사 영역을 나타낸 도면이다.

도 4에 나타낸 바와 같이 기판의 배면 검사시 조명계(200)로부터 반전된 기판(119)이 고정, 결합된 고정프레임(117)에 빛을 조사하게 되면, 조명계에서 조사되는 빛이 기판 방향으로 수렴되는 형태이어서 고정프레임(117)에 일정간격 이격되어 고정, 결합된 기판의 일부 영역에 비조사 영역(120)이 형성된다. 이것은 조명계(200)로부터 조사되는 빛이 고정프레임(117)의 측면 양단에 가려지게 되고, 기판(119)이 고정프레임(117) 일정간격 이격되어 고정, 결합되어 있기 때문에 사각지대가 형성되어 발생하는 것이다.

즉, 복수의 세트의 조명장치를 나란히 설치하는 종래의 기판 외관 검사장치에 의하면 대형화된 기판의 일괄 조사가 가능하여, 국부적 조사영역의 한계를 해결 할 수 있지만, 기판 배면의 스크래치 또는 파티클 입자의 유무를 확인하는 배면 검사시 기판 고정프레임과 조사 각도로 인하여 조명되지 않는 사각지대가 형성되는 문제점이 여전히 존재한다.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 기술적 과제는 기판의 배면 검사시 발생되는 비조사 영역에 빛을 조명함으로써, 기판 전체의 결함 유무를 확인할 수 있고, 기판의 각도 변화에도 용이하게 적정한 빛을 조명할 수 있게 하여, 안정되고 명확한 기판 외관 검사장치를 구현할 수 있게 하는 것이다.

상술한 기술적 과제를 해결하기 본 발명에 따른 제1특징은 기판을 고정하는 기판 고정 프레임에 기판을 위치시켜 기판의 표면을 검사할 수 있도록 하는 기판 위치계; 상기 기판 표면상의 결함 유무를 검사하기 위하여 기판 표면에 빛을 조사하는 제1 조명계; 상기 제1 조명계로부터 조사되지 않는 비조사 영역을 조사하는 제2 조명계를 포함한다.

여기서, 상기 제2 조명계는 상기 기판의 배면 검사시, 상기 고정 프레임으로부터 발생되는 비조사영역이 조사되는 것이 바람직하고, 상기 제2 조명계는 상기 고정프레임에서 일정거리 떨어진 위치에 설치된 것이 바람직하다.

더하여, 바람직하게는 상기 제2 조명계는 상기 고정프레임에 직접 설치된 것일 수 있고, 상기 제1 조명계는 상기 기판의 상측에 위치하고, 상기 제2 조명계는 상기 기판의 하측에 설치되거나 또는, 상기 제1 조명계는 상기 기판의 상측에 위치 하고, 상기 제2 조명계는 상기 고정프레임의 측면에 위치하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 기판 위치계는 상기 고정 프레임 양 측면의 중심을 연결한 선을 중심으로 회동시킬 수 있는 회전 구동부가 더 포함되는 것이 바람직하다.

그리고, 본 발명에 따른 제2 특징으로서, 기판 외관 검사 방법은 (a) 피검사 대상인 기판을 기판 위치계로 위치시키는 단계; (b) 제1 조명계로 상기 기판의 배면에 빛을 조사하는 단계 및, (c) 상기 기판 위치계 의해 발생되는 상기 기판의 비조사 영역을 제2 조명계로 빛을 조사하는 단계를 포함한다.

여기서 상기 (b) 단계는 상기 기판 위치계에 고정된 기판의 배면을 검사하기 위해 상기 기판을 반전하는 단계를 더 포함하고, 상기 (c) 단계는 상기 기판의 하부에 위치된 제2 조명계를 이용하는 것이 바람직하며, 상기 (c) 단계는 상기 기판 위치계의 측면에 위치하는 제2 조명계를 이용하는 것이 역시 바람직하다.

이하에서는, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 기판 외관 검사장치 및 도 9에 예시된 기판 외관 검사방법의 흐름도에 대응시켜 보다 상세하게 설명하기로 한다.

<실시예 1>

도 5는 본 발명에 따른 기판 하측에 설치된 제2 조명계를 포함하는 기판 외관 검사 장치의 일례를 사시도로 나타낸 도면이다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 외관 검사장치의 구성은 기 판을 위치시키는 기판 위치계(100), 기판 위치계(100)에 위치된 기판(119)에 광을 조사하는 제1 조명계(200), 제1 조명계(200)에서 조사되지 않는 비조사 영역에 광을 조사하는 제2 조명계(300)로 구성된다. 여기서 기판 위치계(100)는 기판(119)을 고정하는 고정프레임(117), 고정프레임(117)을 지지하는 지지대(110), 고정프레임(117)을 회전 구동하는 회전구동부(115)로 구성된다.

그리고, 제1 조명계(200)는 기판(119)의 표면 검사에 사용되는 빛을 최초로 조사하는 광원부(210), 광원부로부터 조사되는 빛의 경로를 검사 대상 기판이 위치된 방향으로 변경시키는 반사부(220), 반사부(220)로부터 반사되는 빛을 집광시키는 집광부(도시하지 않음) 및 이에 더하여 집광부와 인접한 위치에 평행하게 설치되며, 상기 집광부로부터 빛을 산란시키는 산란부(도시하지 않음)를 포함하여 구성되는 것이 조명계 전체를 높이지 않고, 집속된 빛을 표면에 조사할 수 있어서 바람직하다.

또한 제1 조명계는 각각 광원부(210), 반사부(220), 집광부 및 산란부로 구성된 3개의 조명계가 나란히 연결된 구조로 이루어지되, 조명계(200) 중 양 측부에 구비된 외측 조명계는, 중앙부에 구비된 중앙 조명계와 결합된 부분을 중심으로 회동가능 하도록 마련됨으로써, 다수개의 조명계가 연결되어 넓은 면적에 대하여 조사가 가능하면서도, 각 조명계에 의한 조사 영역이 서로 중첩되게 하여 마치 하나의 조명계에 의하여 조사되는 것과 동일한 효과를 가질 수 있게 하는 것이 바람직하다.

이러한 구성은 종래의 기판 외관 검사장치와 동일하지만, 제1 조명계에(200) 서 조사되지 않는 비조사 영역에 광을 조사하기 위한 제2 조명계(300)는 기판의 하측 일부에 위치하여 비조사 영역에 광을 조사할 수 있도록 구성된다.

또한 제2 조명계(300)로 쓰이는 광원은 메탈 램프인 것이 바람직하고, 그 위치는 비조사 영역을 가장 잘 조광할 수 있고, 그 조광을 통하여 검사자(250)가 명확히 비조사 영역을 육안 관찰할 수 있는 위치가 바람직하다. 도 5에서 예시한 바와 같이 검사자(250)와 기판(119)사이의 하측에 위치하여 상방향으로 확산시켜 고정프레임(117)의 측면에 조사함으로써, 비조사 영역을 조사하는 것이 그 일례이다.

도 6은 본 발명에 따른 배면 검사시 발생하는 제1 조명계의 비조사 영역에 광이 조사되는 기판 외관 장치의 평면도를 나타낸 도면이다.

도 6에 나타낸 바와 같이 고정프레임(117)을 반전시켜, 고정프레임이 전면에 위치하고, 이 고정 프레임과 일정간격 이격되어 고정, 결합된 기판(119)이 후면에 위치하는(S100) 배면검사의 형태로 이루어져 있다. 제1 조명계(200)로부터 광이 기판에 조사되는(S200) 경우, 고정프레임의 측면에 의해 발생되는 사각지대를 제1조명계의 하측에 위치한 제2 조명계(300)로 광을 조사(S300)함으로써, 비조사 영역(120)을 육안으로 명확히 관찰할 수 있게 된다.

여기서 제2 조명계(300)의 위치는 도 5 및 도 6에 예시된 것처럼 기판(119)의 하측에 위치시킬 수 있을 뿐 아니라, 상측에 위치시킬 수 있고 그 외에도 기판(119)과 일정거리 떨어진 지점에서 비조사 영역을 가장 잘 조명할 수 있는 위치에 설치되는 것이 바람직하다.

<제2 실시예>

도 7은 본 발명에 따른 고정프레임의 측면에 설치된 제2 조명계를 포함하는 기판 외관 검사 장치의 일례를 사시도로 나타낸 도면이다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 외관 검사장치의 구성은 기판을 위치시키는 기판 위치계(100), 기판 위치계에 위치된 기판에 광을 조사하는 제1 조명계(200), 제1 조명계에서 조사되지 않는 비조사 영역에 광을 조사하는 제2 조명계(310)로 구성된다. 여기서 기판 위치계(100)는 기판을 고정하는 고정프레임(117), 고정프레임(117)을 지지하는 지지대(110), 고정프레임을 회전 구동하는 회전구동부(115)로 구성되고, 제1 조명계(200)는 광원부(210), 반사부(220), 집광부 및 산란부(도시하지 않음)로 구성되어 대형화된 기판을 일괄조사 가능 하도록 되어 있다.

또한, 제1 조명계(200)에서 조사되지 않는 비조사 영역에 광을 조사하기 위한 제2 조명계(310)는 기판이 고정, 결합되는 고정프레임의 측면에 위치하여 구성된다. 제2 조명계로 쓰이는 광원은 메탈 램프인 것이 바람직하고 그 외에도 기판의 특성에 따라 조명되어 검사자가 가장 육안으로 기판의 결함을 검사할 수 있는 것은 어떤 것도 가능함은 자명하다.

도 7에서 나타낸 바와 같이 제2 조명계(310)는 기판의 배면 검사시 제1 조명계(200)로부터 조사되지 않는 비조사 영역으로서, 고정프레임의 반전되고 기판(119)과 고정프레임(117)의 일정간격 이격되어 있기 때문에 발생하는 사각지대에 직접적으로 광을 조사 가능하도록 고정프레임의 측면에 형광등(315) 조명이 설치되 어 있다.

제2 조명계(310)는 고정프레임(117)의 측면에 길이 방향으로 형광등(315)과 반사판 역할을 하는 덮개를 씌워 비조사 영역에 직접 조사하게 함으로써, 기판이 고정되어 있는 고정프레임을 회전 구동부에 의한 회전시켜 기판의 배면을 검사하는 경우에도 배면 전체를 검사 할 수 있을 뿐만 아니라, 명확히 검사할 수 있게 하는 장점이 있다. 그리고 필요시에는 제2 조명계(310)의 덮개의 개폐정도를 달리하여 조사각도를 변화시킬 수 있고, 기판의 전면을 검사하는 경우에는 제2 조명계를 오프(off) 시킴과 동시에 덮개를 오픈(open)시켜 제1 조명계(200)에서 조사되는 빛이 가려지지 않도록 조정할 수 있도록 하는 것도 바람직하다.

또한 고정프레임(117)의 측면에 직접 설치되어 있어서, 고정프레임(117)이 각도를 변화시켜 검사하는 경우에도 항상 일정하게 비조사 영역에 광을 조사하는 것이 가능하고 별도의 제2 조명계(310)의 위치 또는 각도 조정 없이도 항상 적정하게 비조사 영역에 광을 조사할 수 있다는 장점이 있다.

도 8은 본 발명에 따른 배면 검사시 발생하는 제1 조명계의 비조사 영역에 광을 조사 할 수 있는 고정프레임에 직접 설치된 제2 조명계를 포함하는 기판 외관 장치의 평면도를 나타낸 도면이다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 배면검사의 형태로 제1 조명계에서 고정프레임에 고정되어(S100) 반전된 기판(117)에 광을 조사하여(S200) 육안으로 검사자가 관찰하여 검사하는 구조로 되어 있다. 도 8에 나타낸 바와 같이 제1 조명계(200)에서 조사된 광은 고정프레임(117)의 측면에 가려, 이 고정프레임에서 일정거리 이격되 어 고정된 기판(119)에 조사되지 않는 비조사영역(120)인 사각지대가 형성된다.

이와 같은 비조사 영역(120)인 사각지대에 조광을 하여 검사자가 육안으로 기판 전체를 검사할 수 있도록, 도 8에 나타낸 본 발명에 따른 외관 검사장치는 제2 조명계(310)를 고정프레임의 측면에 프레임의 길이 방향으로 형광조명(315)이 직접설치 되어 바로 비조사 영역(120)을 조사할 수 있도록 하는 구조로 되어 있다.

이렇게 고정프레임(117)의 측면에 제2 조명계(310)가 직접설치 되어 고정프레임에 각도 변화를 주어도, 별도의 제2 조명계(310)의 각도 또는 위치 조정이 필요 없고 항상 일정한 빛을 비조사영역(120)에 적정하게 조명할 수 있다는 큰 장점이 있다. 그리고, 도 7 및 8에 나타난 제2 조명계(310)의 형태 외에도 기판 위치계(100)에 직접 설치되어 배면 검사시 발생되는 비조사 영역을 가장 잘 조명할 수 있는 위치에 설치될 수 있음은 자명하다.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.

따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

이와 같이 본 발명에 따른 기판 외관 검사장치 및 그 방법을 제공하게 되면, 기판의 배면 검사시 발생되는 비조사 영역으로 인하여 기판 전체의 육안검사를 할 수 없었던 문제점을 해결할 수 있게 된다.

또한 비조사 영역에 인접한 거리에서 일정하게 광을 조사할 수 있게 되어, 기판의 위치 및 회전 각도의 다양한 변화에도 안정적으로 명확히 기판 전체를 명확히 검사할 수 있게 된다.

Claims

기판을 고정하는 기판 고정 프레임에 기판을 위치시켜 기판의 표면을 검사할 수 있게 하는 기판 위치계와;

상기 기판 표면 상의 결함 유무를 육안으로 검사하기 위하여 기판 표면에 육안 검사 방향 쪽에서 빛을 조사하는 제1 조명계와;

상기 기판의 배면에 대한 표면 육안 검사 시 기판의 배면에서 상기 제1 조명계로부터의 빛이 조사되지 않는 비조사 영역에 육안 검사 방향 쪽에서 빛을 조사하는 제2 조명계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 제2 조명계는 상기 기판의 배면 검사시, 상기 고정 프레임으로부터 발생되는 비조사영역이 조사되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 제2 조명계는 상기 고정프레임에서 일정거리 떨어진 위치에 설치된 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 제2 조명계는 상기 고정프레임상에 설치된 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 제1 조명계는 상기 기판의 상측에 위치하고, 상기 제2 조명계는 상기 기판의 하측에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 제1 조명계는 상기 기판의 상측에 위치하고, 상기 제2 조명계는 상기 고정프레임의 측면에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 기판 위치계는 상기 고정 프레임 양 측면의 중심을 연결한 선을 중심으로 회동시킬 수 있는 회전 구동부가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사장치.
청구항 1에 기재된 기판 외관 검사장치를 이용하는 기판 외관 검사방법으로,

(a) 피검사 대상인 기판을 기판 위치계로 위치시키는 단계와;

(b) 상기 기판의 배면에 표면 육안 검사를 위한 빛을 제1 조명계로 육안 검사 방향 쪽에서 조사하는 단계와;

(c) 상기 기판의 배면에서 상기 제1 조명계로부터의 빛이 상기 기판 위치계에 의하여 차단됨으로써 발생하는 비조사 영역에 빛을 제2 조명계로 육안 검사 방향 쪽에서 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사방법.
제8항에 있어서,

상기 (b) 단계는 상기 기판 위치계에 고정된 기판의 배면을 검사하기 위해 상기 기판을 반전하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사방법.
제8항에 있어서,

상기 (c) 단계는 상기 기판의 하부에 위치된 제2 조명계를 이용하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사방법.
제8항에 있어서,

상기 (c) 단계는 상기 기판 위치계의 측면에 위치하는 제2 조명계를 이용하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사방법.