JP3155495B2 - 透明導電性被膜形成用ペースト - Google Patents
透明導電性被膜形成用ペーストInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス、セラミッ
クス等にスクリーン印刷、フレキソ印刷、グラビア印刷
等により印刷し、焼成によって透明導電性金属酸化物と
なる長期保存可能でしかも所望のパターンを形成できる
透明導電性被膜形成用ペースト、さらにガラス基体上に
該被膜を形成せしめた透明導電性被膜付きガラスに関す
るものである。
クス等にスクリーン印刷、フレキソ印刷、グラビア印刷
等により印刷し、焼成によって透明導電性金属酸化物と
なる長期保存可能でしかも所望のパターンを形成できる
透明導電性被膜形成用ペースト、さらにガラス基体上に
該被膜を形成せしめた透明導電性被膜付きガラスに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】透明導電膜は液晶ディスプレイ、蛍光表
示管、プラズマディスプレイ等の表示管及び太陽電池、
タッチパネル等の透明電極あるいは帯電防止膜、さらに
自動車、航空機などの窓ガラスの氷結防止用ヒーター、
熱線反射膜などに広く利用されている。このような透明
導電膜としては酸化インジウム及び酸化スズの膜が知ら
れている。
示管、プラズマディスプレイ等の表示管及び太陽電池、
タッチパネル等の透明電極あるいは帯電防止膜、さらに
自動車、航空機などの窓ガラスの氷結防止用ヒーター、
熱線反射膜などに広く利用されている。このような透明
導電膜としては酸化インジウム及び酸化スズの膜が知ら
れている。
【０００３】パターニングされた透明導電膜を形成する
場合、従来は３通りの方法が用いられていた。１つは蒸
着、スパッタ、塗布−焼成などにより、得られた透明導
電膜の上にフォトレジスト膜を形成し、露光、硬化後、
レジストをエッチングによりパターニングした後、酸な
どの透明導電膜エッチング用溶液でのエッチングによっ
たパターニングした透明導電膜を形成させる方法、もう
１つの方法はインジウム化合物とスズ化合物と放射線硬
化樹脂を混合した塗布液を塗布、乾燥、フォトマスクを
介して紫外線を照射、現像によりパターニングし、焼成
により透明導電膜を得る方法、さらにもう１つは透明導
電ペーストをスクリーン印刷などの印刷によりパターニ
ングし、その印刷膜を焼成してパターニングされた透明
導電膜を得るという方法である。
場合、従来は３通りの方法が用いられていた。１つは蒸
着、スパッタ、塗布−焼成などにより、得られた透明導
電膜の上にフォトレジスト膜を形成し、露光、硬化後、
レジストをエッチングによりパターニングした後、酸な
どの透明導電膜エッチング用溶液でのエッチングによっ
たパターニングした透明導電膜を形成させる方法、もう
１つの方法はインジウム化合物とスズ化合物と放射線硬
化樹脂を混合した塗布液を塗布、乾燥、フォトマスクを
介して紫外線を照射、現像によりパターニングし、焼成
により透明導電膜を得る方法、さらにもう１つは透明導
電ペーストをスクリーン印刷などの印刷によりパターニ
ングし、その印刷膜を焼成してパターニングされた透明
導電膜を得るという方法である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】これらの方法のうち、
透明導電膜形成用ペーストを使用した方法は工程が少な
く、廃液処理の必要性もなく、大面積の基板への製膜も
容易にでき、経済的に多くの利点をもつ。しかしながら
従来の透明導電膜形成用ペーストはペースト自体が加水
分解されやすく、粘度上昇や、沈殿生成といった現象を
引き起こすため、安定性に欠け、印刷時の作業性も悪
く、形成された被膜の導電性の良否もバラツキが大きい
という問題点があった。従来の透明導電膜形成用ペース
トの例としてはオクチル酸インジウムとオクチル酸スズ
とセルロース化合物とグリコール類と溶剤から成る特公
昭５６−２５７２３号の例があるが、このペーストに使
用されているオクチル酸インジウム、オクチル酸スズは
たいへん加水分解されやすく、大気中の湿分でも容易に
加水分解されるため、ペーストのゲル化を促進し、ペー
スト寿命を短くする、印刷時の作業性が悪くなるといっ
た欠点があった。
透明導電膜形成用ペーストを使用した方法は工程が少な
く、廃液処理の必要性もなく、大面積の基板への製膜も
容易にでき、経済的に多くの利点をもつ。しかしながら
従来の透明導電膜形成用ペーストはペースト自体が加水
分解されやすく、粘度上昇や、沈殿生成といった現象を
引き起こすため、安定性に欠け、印刷時の作業性も悪
く、形成された被膜の導電性の良否もバラツキが大きい
という問題点があった。従来の透明導電膜形成用ペース
トの例としてはオクチル酸インジウムとオクチル酸スズ
とセルロース化合物とグリコール類と溶剤から成る特公
昭５６−２５７２３号の例があるが、このペーストに使
用されているオクチル酸インジウム、オクチル酸スズは
たいへん加水分解されやすく、大気中の湿分でも容易に
加水分解されるため、ペーストのゲル化を促進し、ペー
スト寿命を短くする、印刷時の作業性が悪くなるといっ
た欠点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述のような問題点を解
決し、ガラス基体上に所望のパターンをもつ透明導電性
被膜を容易に、しかも安価で製造する方法およびそれに
適した材料開発をするために鋭意研究を行った結果、イ
ンジウム化合物とスズ化合物を用い、有機溶剤にこれら
の化合物を溶解させ、かつ加水分解に対する安定性を向
上させるための添加剤を見出し、その溶液に増粘剤を混
合することで長期に安定な透明導電性被膜形成用ペース
トを作製し、上記の問題を解決することができた。イン
ジウム化合物として脂肪酸インジウム、スズ化合物とし
て脂肪酸スズを用いて添加剤としてエタノールアミンを
添加することにより、脂肪酸インジウム及び脂肪酸スズ
を有機溶剤に溶解可能な形にすること及び得られた溶液
の加水分解を防止し長期安定化することで、ペーストの
作製を可能とし、さらにこのペーストをガラス基体に塗
布、３００℃以上の温度で焼成することで透明導電性酸
化物被膜を形成し、容易にその目的を達成することを見
出し、本発明に到達した。
決し、ガラス基体上に所望のパターンをもつ透明導電性
被膜を容易に、しかも安価で製造する方法およびそれに
適した材料開発をするために鋭意研究を行った結果、イ
ンジウム化合物とスズ化合物を用い、有機溶剤にこれら
の化合物を溶解させ、かつ加水分解に対する安定性を向
上させるための添加剤を見出し、その溶液に増粘剤を混
合することで長期に安定な透明導電性被膜形成用ペース
トを作製し、上記の問題を解決することができた。イン
ジウム化合物として脂肪酸インジウム、スズ化合物とし
て脂肪酸スズを用いて添加剤としてエタノールアミンを
添加することにより、脂肪酸インジウム及び脂肪酸スズ
を有機溶剤に溶解可能な形にすること及び得られた溶液
の加水分解を防止し長期安定化することで、ペーストの
作製を可能とし、さらにこのペーストをガラス基体に塗
布、３００℃以上の温度で焼成することで透明導電性酸
化物被膜を形成し、容易にその目的を達成することを見
出し、本発明に到達した。
【０００６】即ち、本発明は従来技術では不可能であっ
たパターニングされた透明性及び導電性の優れた酸化物
の膜を安価で容易に形成するための印刷用ペーストおよ
びそのペーストを用いて膜をガラス基体上に形成せしめ
た透明導電性被膜付きガラスを提供するものである。
たパターニングされた透明性及び導電性の優れた酸化物
の膜を安価で容易に形成するための印刷用ペーストおよ
びそのペーストを用いて膜をガラス基体上に形成せしめ
た透明導電性被膜付きガラスを提供するものである。
【０００７】本発明のペーストは従来の方法のペース
ト、即ちオクチル酸インジウム等のイオン結合性の強い
有機酸インジウムを主体に用いたペーストのように加水
分解によりペーストの安定性が悪くなることはなく、ペ
ーストの粘度上昇といった問題も起こらないという点か
ら有利であり、さらに、ペースト調製時に雰囲気制御な
ども必要としないため、製造コストも非常に安価であ
り、経済的にも有利である。
ト、即ちオクチル酸インジウム等のイオン結合性の強い
有機酸インジウムを主体に用いたペーストのように加水
分解によりペーストの安定性が悪くなることはなく、ペ
ーストの粘度上昇といった問題も起こらないという点か
ら有利であり、さらに、ペースト調製時に雰囲気制御な
ども必要としないため、製造コストも非常に安価であ
り、経済的にも有利である。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明のペーストの製造方法とし
ては、まず脂肪酸インジウムと脂肪酸スズをＳｎ濃度が
Ｉｎ濃度に対して０．０１〜０．３（モル比）となるよ
うに有機溶媒中で混合する。導電性を考慮してＩｎ量と
Ｓｎ量の比は上述のモル比が好ましい。
ては、まず脂肪酸インジウムと脂肪酸スズをＳｎ濃度が
Ｉｎ濃度に対して０．０１〜０．３（モル比）となるよ
うに有機溶媒中で混合する。導電性を考慮してＩｎ量と
Ｓｎ量の比は上述のモル比が好ましい。
【０００９】Ｉｎ原料として用いる脂肪酸インジウムと
しては、酢酸インジウム、プロピオン酸インジウム、等
が挙げられるが、炭素数の多い脂肪酸塩は熱分解時の重
量減少が多いので、炭素数の少ない脂肪酸インジウムが
より好ましい。
しては、酢酸インジウム、プロピオン酸インジウム、等
が挙げられるが、炭素数の多い脂肪酸塩は熱分解時の重
量減少が多いので、炭素数の少ない脂肪酸インジウムが
より好ましい。
【００１０】Ｓｎ原料として使用する脂肪酸スズとして
は酢酸スズ、プロピオン酸スズ、カプロン酸スズ、２−
エチルヘキサン酸スズ等が挙げられる。
は酢酸スズ、プロピオン酸スズ、カプロン酸スズ、２−
エチルヘキサン酸スズ等が挙げられる。
【００１１】使用する有機溶媒としてはメタノール、エ
タノール、ｎ−プロパノール、ｉ−プロパノール、ｎ−
ブタノール、ｉ−ブタノール、２−ブタノール、ベンジ
ルアルコール、テルピネオール等のアルコール系溶媒、
エチレングリコール、プロピレングリコール等のグリコ
ール類、メトキシエタノール、エトキシエタノール、イ
ソプロポキシエタノール、エチレングリコールモノフェ
ニルエーテル等のグリコールエーテル類等が挙げられ
る。これらの有機溶媒のうち、１種だけを用いてもよい
が、２種以上を混合して用いてもかまわない。有機溶媒
の量は目的、用途等に応じて当業者が自由に決めること
ができる。一般には、Ｉｎ濃度が０．０５〜２ｍｏｌ／
ｌとなる量が好ましい。この量はペースト中のインジウ
ム濃度を適切な値に保つために推奨される量である。溶
媒が多すぎるとインジウム濃度が低くなり、膜厚の薄い
導電性の十分でない膜ができることがあり、逆に溶媒量
が少なすぎると印刷膜中の固形分が高くなり過ぎ、焼成
時に膜にクラックが入ったり、可視光透過率の低い膜が
できることがある。
タノール、ｎ−プロパノール、ｉ−プロパノール、ｎ−
ブタノール、ｉ−ブタノール、２−ブタノール、ベンジ
ルアルコール、テルピネオール等のアルコール系溶媒、
エチレングリコール、プロピレングリコール等のグリコ
ール類、メトキシエタノール、エトキシエタノール、イ
ソプロポキシエタノール、エチレングリコールモノフェ
ニルエーテル等のグリコールエーテル類等が挙げられ
る。これらの有機溶媒のうち、１種だけを用いてもよい
が、２種以上を混合して用いてもかまわない。有機溶媒
の量は目的、用途等に応じて当業者が自由に決めること
ができる。一般には、Ｉｎ濃度が０．０５〜２ｍｏｌ／
ｌとなる量が好ましい。この量はペースト中のインジウ
ム濃度を適切な値に保つために推奨される量である。溶
媒が多すぎるとインジウム濃度が低くなり、膜厚の薄い
導電性の十分でない膜ができることがあり、逆に溶媒量
が少なすぎると印刷膜中の固形分が高くなり過ぎ、焼成
時に膜にクラックが入ったり、可視光透過率の低い膜が
できることがある。
【００１２】この脂肪酸インジウム、脂肪酸スズと有機
溶媒との混合液は脂肪酸インジウムが溶解せずに固体と
して分散または沈殿した状態で存在しており、このまま
では塗布液としては使用できない。これにエタノールア
ミンを適切な量添加することによって、脂肪酸インジウ
ムは全て溶解し、均質な安定した透明溶液となる。ま
た、脂肪酸インジウム及び脂肪酸スズは加水分解が速
く、そのままペーストとして用いたのでは、印刷膜は乾
燥時に大気中の湿分で急激に加水分解され、白化してし
まう。そこで、エタノールアミンを添加して脂肪酸イン
ジウム及び脂肪酸スズにエタノールアミンを配位させる
ことにより、大気中の湿分で加水分解される脂肪酸イン
ジウム及び脂肪酸スズの量を減らすことに成功し、この
問題を解決して本発明に到達した。従って、エタノール
アミンは、脂肪酸インジウムを有機溶媒に完全に溶解さ
せ、かつ脂肪酸インジウム及び脂肪酸スズの加水分解を
抑制し、ペーストを印刷した膜を透明にかつ均質に保つ
役割を果たす。
溶媒との混合液は脂肪酸インジウムが溶解せずに固体と
して分散または沈殿した状態で存在しており、このまま
では塗布液としては使用できない。これにエタノールア
ミンを適切な量添加することによって、脂肪酸インジウ
ムは全て溶解し、均質な安定した透明溶液となる。ま
た、脂肪酸インジウム及び脂肪酸スズは加水分解が速
く、そのままペーストとして用いたのでは、印刷膜は乾
燥時に大気中の湿分で急激に加水分解され、白化してし
まう。そこで、エタノールアミンを添加して脂肪酸イン
ジウム及び脂肪酸スズにエタノールアミンを配位させる
ことにより、大気中の湿分で加水分解される脂肪酸イン
ジウム及び脂肪酸スズの量を減らすことに成功し、この
問題を解決して本発明に到達した。従って、エタノール
アミンは、脂肪酸インジウムを有機溶媒に完全に溶解さ
せ、かつ脂肪酸インジウム及び脂肪酸スズの加水分解を
抑制し、ペーストを印刷した膜を透明にかつ均質に保つ
役割を果たす。
【００１３】添加するエタノールアミンの量は脂肪酸イ
ンジウムと脂肪酸スズの合計のモルに対して１（ｍｏｌ
比）より少ないと脂肪酸インジウムの溶解が不十分で、
印刷の際、未溶解の脂肪酸インジウム粒子が析出した、
表面の粗い印刷膜となったり、脂肪酸インジウム及び脂
肪酸スズの加水分解が十分に抑制されず、大気中の湿分
で加水分解され、印刷膜が白化したりする。また、添加
するエタノールアミンの量が脂肪酸インジウムと脂肪酸
スズの合計のモルに対して１２（ｍｏｌ比）より多くな
ると、印刷膜にムラが生じてしまい、均一な膜厚とはな
らない。従って、エタノールアミンの添加量としては脂
肪酸ンインジウムと脂肪酸スズの合計のモルに対して１
〜１２（ｍｏｌ比）が好ましい。
ンジウムと脂肪酸スズの合計のモルに対して１（ｍｏｌ
比）より少ないと脂肪酸インジウムの溶解が不十分で、
印刷の際、未溶解の脂肪酸インジウム粒子が析出した、
表面の粗い印刷膜となったり、脂肪酸インジウム及び脂
肪酸スズの加水分解が十分に抑制されず、大気中の湿分
で加水分解され、印刷膜が白化したりする。また、添加
するエタノールアミンの量が脂肪酸インジウムと脂肪酸
スズの合計のモルに対して１２（ｍｏｌ比）より多くな
ると、印刷膜にムラが生じてしまい、均一な膜厚とはな
らない。従って、エタノールアミンの添加量としては脂
肪酸ンインジウムと脂肪酸スズの合計のモルに対して１
〜１２（ｍｏｌ比）が好ましい。
【００１４】添加するエタノールアミンとしてはモノエ
タノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノール
アミンが挙げられるが、それらのうちの１つだけを用い
てもよいが、２つ以上用いてもよい。
タノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノール
アミンが挙げられるが、それらのうちの１つだけを用い
てもよいが、２つ以上用いてもよい。
【００１５】こうして得られた溶液はこのままでは粘度
が低く、印刷用ペーストとしては使用できない。従って
この溶液に粘度を上昇させるためにセルロース系化合物
を添加し、完全に溶解するまで混合、攪拌する。このと
き必要ならば、加熱してセルロース系化合物の溶解を促
進しても良い。添加するセルロース系化合物としてはエ
チルセルロース、ニトロセルロース、ヒドロキシプロピ
ルセルロース等があげられるが、ペースト粘度安定性、
焼成膜の透明性の点からヒドロキシプロピルセルロース
が好ましい。
が低く、印刷用ペーストとしては使用できない。従って
この溶液に粘度を上昇させるためにセルロース系化合物
を添加し、完全に溶解するまで混合、攪拌する。このと
き必要ならば、加熱してセルロース系化合物の溶解を促
進しても良い。添加するセルロース系化合物としてはエ
チルセルロース、ニトロセルロース、ヒドロキシプロピ
ルセルロース等があげられるが、ペースト粘度安定性、
焼成膜の透明性の点からヒドロキシプロピルセルロース
が好ましい。
【００１６】セルロース系化合物の添加量は当業者が適
宜決めることができるが、一般には、脂肪酸インジウム
と脂肪酸スズとエタノールアミンと有機溶媒からなる溶
液に対して０．０１〜３０重量％が好ましい。セルロー
ス系化合物が０．０１重量％より少ないとペーストの粘
度が印刷に適した粘度にまで上昇せず、印刷膜が不均一
になったり、所望のパターンが得られなくなったりする
ことがある。セルロース系化合物が３０重量％より多く
なると、逆に粘度が高くなりすぎて印刷に適さないペー
ストとなり、印刷ムラの多い膜ができたり、印刷自体が
不可能となったりすることがある。また、焼成の際、燃
焼、分解する有機分が多いため、焼成膜は導電性の低い
膜となったり、クラックが発生したりすることがある。
従って、上記添加量の範囲が印刷用ペーストを製造する
には最も適した量として推奨される範囲である。
宜決めることができるが、一般には、脂肪酸インジウム
と脂肪酸スズとエタノールアミンと有機溶媒からなる溶
液に対して０．０１〜３０重量％が好ましい。セルロー
ス系化合物が０．０１重量％より少ないとペーストの粘
度が印刷に適した粘度にまで上昇せず、印刷膜が不均一
になったり、所望のパターンが得られなくなったりする
ことがある。セルロース系化合物が３０重量％より多く
なると、逆に粘度が高くなりすぎて印刷に適さないペー
ストとなり、印刷ムラの多い膜ができたり、印刷自体が
不可能となったりすることがある。また、焼成の際、燃
焼、分解する有機分が多いため、焼成膜は導電性の低い
膜となったり、クラックが発生したりすることがある。
従って、上記添加量の範囲が印刷用ペーストを製造する
には最も適した量として推奨される範囲である。
【００１７】以上のような製法で得られたペーストは所
望のパターンをもち、かつ透明導電性を有する緻密な酸
化インジウム系酸化物被膜を形成するためのペーストと
しては最適のものである。
望のパターンをもち、かつ透明導電性を有する緻密な酸
化インジウム系酸化物被膜を形成するためのペーストと
しては最適のものである。
【００１８】ペーストの印刷方法としてはグラビア印
刷、ロール印刷、スクリーン印刷等が均質で、パターニ
ングされた膜を容易に製造する方法として優れている。
上記の方法でガラス基体表面に印刷膜を形成せしめた
後、有機溶媒を除去するために例えば７０〜２００℃で
１０〜６０分乾燥を行いさらに３００℃以上の温度で１
０分〜２時間焼成を行う。焼成雰囲気に関しては大気
中、または酸素中で行い、さらに場合によってはその
後、不活性雰囲気（窒素、アルゴン等）または還元性雰
囲気中で焼成を行ってもよい。この方法により、パター
ニングを施された透明でしかも導電性の高い酸化インジ
ウム系酸化物被膜が得られる。
刷、ロール印刷、スクリーン印刷等が均質で、パターニ
ングされた膜を容易に製造する方法として優れている。
上記の方法でガラス基体表面に印刷膜を形成せしめた
後、有機溶媒を除去するために例えば７０〜２００℃で
１０〜６０分乾燥を行いさらに３００℃以上の温度で１
０分〜２時間焼成を行う。焼成雰囲気に関しては大気
中、または酸素中で行い、さらに場合によってはその
後、不活性雰囲気（窒素、アルゴン等）または還元性雰
囲気中で焼成を行ってもよい。この方法により、パター
ニングを施された透明でしかも導電性の高い酸化インジ
ウム系酸化物被膜が得られる。
【００１９】以上のように、本発明のペーストは加水分
解が起こりにくく、ペーストの粘度上昇もないため、安
価で容易に生産性良くパターン形成された透明導電性膜
付きガラスを作製することができる。また、本発明で得
られた透明導電膜付きガラスは優れた可視光透過率、導
電性を併せ持つため、ディスプレイ用透明電極、帯電防
止膜、防曇ガラス、タッチスイッチ等の分野での広範な
用途があると考えられる。
解が起こりにくく、ペーストの粘度上昇もないため、安
価で容易に生産性良くパターン形成された透明導電性膜
付きガラスを作製することができる。また、本発明で得
られた透明導電膜付きガラスは優れた可視光透過率、導
電性を併せ持つため、ディスプレイ用透明電極、帯電防
止膜、防曇ガラス、タッチスイッチ等の分野での広範な
用途があると考えられる。
【００２０】
実施例１ 酢酸インジウム０．５ｍｏｌ及び２−エチルヘキサン酸
スズ０．０３８ｍｏｌをベンジルアルコール１０００ｍ
ｌとエチレングリコールモノフェニルエーテル１０００
ｍｌの混合液中で混合、攪拌し、その混合液にジエタノ
ールアミン１．０ｍｏｌおよびモノエタノールアミン
１．０ｍｏｌを添加し、１時間混合する。酢酸インジウ
ムはジエタノールアミン及びモノエタノールアミンとの
反応により、完全に溶解し、透明な溶液が得られた。こ
の溶液１ｋｇに対してヒドロキシプロピルセルロースを
１７０ｇ添加し、溶液を７０℃に加熱しながら混合、攪
拌を１時間続けた。こうして得られたペーストは非常に
安定で、室温で１年間放置後も沈殿や溶液の白濁はみら
れず、透明のままであった。また粘度は２５℃で８００
０ｃｐｓであり、経時変化はみられなかった。
スズ０．０３８ｍｏｌをベンジルアルコール１０００ｍ
ｌとエチレングリコールモノフェニルエーテル１０００
ｍｌの混合液中で混合、攪拌し、その混合液にジエタノ
ールアミン１．０ｍｏｌおよびモノエタノールアミン
１．０ｍｏｌを添加し、１時間混合する。酢酸インジウ
ムはジエタノールアミン及びモノエタノールアミンとの
反応により、完全に溶解し、透明な溶液が得られた。こ
の溶液１ｋｇに対してヒドロキシプロピルセルロースを
１７０ｇ添加し、溶液を７０℃に加熱しながら混合、攪
拌を１時間続けた。こうして得られたペーストは非常に
安定で、室温で１年間放置後も沈殿や溶液の白濁はみら
れず、透明のままであった。また粘度は２５℃で８００
０ｃｐｓであり、経時変化はみられなかった。
【００２１】こうして調製された酸化インジウム系複合
酸化物被膜形成用ペーストを用いてソーダガラス基板上
にスクリーン印刷（３２５メッシュ、総厚６５μｍ）を
行い、印刷膜を形成した。この印刷膜を１８０℃で３０
分間乾燥して有機溶媒の除去および膜の硬化を行った
後、電気炉にて５５０℃３０分間大気中焼成して膜厚が
０．１μｍの均質な酸化インジウム系複合酸化物被膜を
得た。本実施例の透明導電性皮膜付きガラスの表面抵抗
値は１５００Ω／□であった。また、可視光透過率は９
１％と非常に高いことがわかった。
酸化物被膜形成用ペーストを用いてソーダガラス基板上
にスクリーン印刷（３２５メッシュ、総厚６５μｍ）を
行い、印刷膜を形成した。この印刷膜を１８０℃で３０
分間乾燥して有機溶媒の除去および膜の硬化を行った
後、電気炉にて５５０℃３０分間大気中焼成して膜厚が
０．１μｍの均質な酸化インジウム系複合酸化物被膜を
得た。本実施例の透明導電性皮膜付きガラスの表面抵抗
値は１５００Ω／□であった。また、可視光透過率は９
１％と非常に高いことがわかった。
【００２２】実施例２ 実施例１で得られたペーストを用いてソーダガラス基板
上にスクリーン印刷（３２５メッシュ、総厚６５μｍ）
を行い、印刷膜を形成した。この印刷膜を１８０℃で３
０分間乾燥して有機溶媒の除去および膜の硬化を行っ
た。次に電気炉にて５５０℃３０分間大気中焼成して、
さらに窒素雰囲気中にて５５０℃３０分間焼成を行っ
て、膜厚が０．１μｍの均質な酸化インジウム系複合酸
化物被膜を得た。本実施例の透明導電性皮膜付きガラス
の表面抵抗値は４００Ω／□であった。また、可視光透
過率は９０％と非常に高いことがわかった。
上にスクリーン印刷（３２５メッシュ、総厚６５μｍ）
を行い、印刷膜を形成した。この印刷膜を１８０℃で３
０分間乾燥して有機溶媒の除去および膜の硬化を行っ
た。次に電気炉にて５５０℃３０分間大気中焼成して、
さらに窒素雰囲気中にて５５０℃３０分間焼成を行っ
て、膜厚が０．１μｍの均質な酸化インジウム系複合酸
化物被膜を得た。本実施例の透明導電性皮膜付きガラス
の表面抵抗値は４００Ω／□であった。また、可視光透
過率は９０％と非常に高いことがわかった。
【００２３】実施例３ 酢酸インジウム１．０ｍｏｌ及び２−エチルヘキサン酸
スズ０．０７６ｍｏｌをイソプロポキシエタノール４０
０ｍｌ、テルピネオール１６００ｍｌの混合液中で混
合、攪拌し、その混合液にジエタノールアミン２．０ｍ
ｏｌおよびモノエタノールアミン２．０ｍｏｌを添加
し、１時間混合する。酢酸インジウムはジエタノールア
ミン及びモノエタノールアミンとの反応により、完全に
溶解し、透明な溶液が得られた。この溶液１ｋｇに対し
てヒドロキシプロピルセルロースを８０ｇ添加し、溶液
を７０℃に加熱しながら混合、攪拌を１時間続けた。こ
うして得られたペーストは非常に安定で、室温で１年間
放置後も沈殿や溶液の白濁はみられず、透明のままであ
った。また粘度は２５℃で１００００ｃｐｓであり、経
時変化はみられなかった。
スズ０．０７６ｍｏｌをイソプロポキシエタノール４０
０ｍｌ、テルピネオール１６００ｍｌの混合液中で混
合、攪拌し、その混合液にジエタノールアミン２．０ｍ
ｏｌおよびモノエタノールアミン２．０ｍｏｌを添加
し、１時間混合する。酢酸インジウムはジエタノールア
ミン及びモノエタノールアミンとの反応により、完全に
溶解し、透明な溶液が得られた。この溶液１ｋｇに対し
てヒドロキシプロピルセルロースを８０ｇ添加し、溶液
を７０℃に加熱しながら混合、攪拌を１時間続けた。こ
うして得られたペーストは非常に安定で、室温で１年間
放置後も沈殿や溶液の白濁はみられず、透明のままであ
った。また粘度は２５℃で１００００ｃｐｓであり、経
時変化はみられなかった。
【００２４】こうして調製された酸化インジウム系複合
酸化物被膜形成用ペーストを用いてソーダガラス基板上
にスクリーン印刷（３２５メッシュ、総厚６５μｍ）を
行い、印刷膜を形成した。この印刷膜を１８０℃で３０
分間乾燥して有機溶媒の除去および膜の硬化を行った
後、電気炉にて５５０℃３０分間大気中焼成して膜厚が
０．１μｍの均質な酸化インジウム系複合酸化物被膜を
得た。本実施例の透明導電性皮膜付きガラスの表面抵抗
値は８００Ω／□であった。また、可視光透過率は９０
％と非常に高いことがわかった。
酸化物被膜形成用ペーストを用いてソーダガラス基板上
にスクリーン印刷（３２５メッシュ、総厚６５μｍ）を
行い、印刷膜を形成した。この印刷膜を１８０℃で３０
分間乾燥して有機溶媒の除去および膜の硬化を行った
後、電気炉にて５５０℃３０分間大気中焼成して膜厚が
０．１μｍの均質な酸化インジウム系複合酸化物被膜を
得た。本実施例の透明導電性皮膜付きガラスの表面抵抗
値は８００Ω／□であった。また、可視光透過率は９０
％と非常に高いことがわかった。
【００２５】実施例４ 酢酸インジウム０．５ｍｏｌ及び２−エチルヘキサン酸
スズ０．０３８ｍｏｌをイソプロポキシエタノール１０
００ｍｌとテルピネオール６００ｍｌの混合液中で混
合、攪拌し、その混合液にジエタノールアミン１．０ｍ
ｏｌおよびモノエタノールアミン１．０ｍｏｌを添加
し、１時間混合する。酢酸インジウムはジエタノールア
ミン及びモノエタノールアミンとの反応により、完全に
溶解し、透明な溶液が得られた。この溶液１ｋｇに対し
てヒドロキシプロピルセルロースを３７ｇ添加し、溶液
を７０℃に加熱しながら混合、攪拌を１時間続けた。こ
うして得られたペーストは非常に安定で、室温で１年間
放置後も沈殿や溶液の白濁はみられず、透明のままであ
った。また粘度は２５℃で２０００ｃｐｓであり、経時
変化はみられなかった。
スズ０．０３８ｍｏｌをイソプロポキシエタノール１０
００ｍｌとテルピネオール６００ｍｌの混合液中で混
合、攪拌し、その混合液にジエタノールアミン１．０ｍ
ｏｌおよびモノエタノールアミン１．０ｍｏｌを添加
し、１時間混合する。酢酸インジウムはジエタノールア
ミン及びモノエタノールアミンとの反応により、完全に
溶解し、透明な溶液が得られた。この溶液１ｋｇに対し
てヒドロキシプロピルセルロースを３７ｇ添加し、溶液
を７０℃に加熱しながら混合、攪拌を１時間続けた。こ
うして得られたペーストは非常に安定で、室温で１年間
放置後も沈殿や溶液の白濁はみられず、透明のままであ
った。また粘度は２５℃で２０００ｃｐｓであり、経時
変化はみられなかった。
【００２６】こうして調製された酸化インジウム系複合
酸化物被膜形成用ペーストを用いてソーダガラス基板上
にグラビア印刷で印刷膜を形成した。この印刷膜を１８
０℃で３０分間乾燥して有機溶媒の除去および膜の硬化
を行った。得られた印刷膜の乾燥膜厚は０．１μｍであ
った。この膜を電気炉にて５５０℃３０分間大気中焼成
して均質な酸化インジウム系複合酸化物被膜を得た。本
実施例の透明導電性皮膜付きガラスの表面抵抗値は４０
ｋΩ／□であった。また、可視光透過率は９２％と非常
に高いことがわかった。
酸化物被膜形成用ペーストを用いてソーダガラス基板上
にグラビア印刷で印刷膜を形成した。この印刷膜を１８
０℃で３０分間乾燥して有機溶媒の除去および膜の硬化
を行った。得られた印刷膜の乾燥膜厚は０．１μｍであ
った。この膜を電気炉にて５５０℃３０分間大気中焼成
して均質な酸化インジウム系複合酸化物被膜を得た。本
実施例の透明導電性皮膜付きガラスの表面抵抗値は４０
ｋΩ／□であった。また、可視光透過率は９２％と非常
に高いことがわかった。
【００２７】以上の実施例の結果から、本発明のペース
トは長期に安定で、そのペーストから得られた透明導電
性被膜付きガラスは可視光透過率、透明性、導電性とい
う点において優れたものであることが明らかとなった。
トは長期に安定で、そのペーストから得られた透明導電
性被膜付きガラスは可視光透過率、透明性、導電性とい
う点において優れたものであることが明らかとなった。
【００２８】
【発明の効果】本発明の酸化インジウム系酸化物被膜形
成用ペーストは、ガラス基体上に印刷、乾燥、焼成する
ことによって、可視光領域の光に関しては高い透過特性
を示し、なおかつ優れた導電性を有する緻密な被膜とな
る。また、本発明のペーストは大気中の湿分等に対して
も非常に安定であり、沈殿生成、粘度上昇といった問題
も全くないため、安価で容易に生産性良く透明導電性膜
付きガラスを作製することが可能となる。
成用ペーストは、ガラス基体上に印刷、乾燥、焼成する
ことによって、可視光領域の光に関しては高い透過特性
を示し、なおかつ優れた導電性を有する緻密な被膜とな
る。また、本発明のペーストは大気中の湿分等に対して
も非常に安定であり、沈殿生成、粘度上昇といった問題
も全くないため、安価で容易に生産性良く透明導電性膜
付きガラスを作製することが可能となる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｂ 13/00 ５０３ Ｈ０１Ｂ 13/00 ５０３Ｃ (56)参考文献 特開 昭54−9792（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−27504（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−97504（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−117503（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−67048（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−115010（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−324820（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−49990（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−194826（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−49509（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−5356（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−5357（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−184577（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−46274（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−159910（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−27965（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−246396（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−267812（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−281505（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−234522（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−247716（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−144917（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−143792（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−161561（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−61005（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C08L 1/00 - 101/16 C09D 1/00 - 201/10 C03C 17/00 - 17/44 H01B 1/00 - 1/24 H01B 13/00 C01G 15/00 C01G 19/02 ＣＡ（ＳＴＮ) ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ)
Claims (1)
- 【請求項１】 式Ｉｎ（ＯＣＯＲ）3（式中、Ｒは炭素
数１〜８の直鎖または分岐鎖のアルキル基を示す）の脂
肪酸インジウムとインジウムのモル濃度に対して０．０
１〜０．３モル濃度の式Ｓｎ（ＯＣＯＲ’）2（式中、
Ｒ’は炭素数１〜８の直鎖または分岐鎖のアルキル基を
示す）の脂肪酸スズとそれらの合計のモルあたり１〜１
２モル比のエタノールアミンとセルロース系化合物から
なる酸化インジウム系透明導電性被膜形成用ペースト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21475197A JP3155495B2 (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 透明導電性被膜形成用ペースト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21475197A JP3155495B2 (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 透明導電性被膜形成用ペースト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1161006A JPH1161006A (ja) | 1999-03-05 |
| JP3155495B2 true JP3155495B2 (ja) | 2001-04-09 |
Family
ID=16660977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21475197A Expired - Fee Related JP3155495B2 (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 透明導電性被膜形成用ペースト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3155495B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4556381B2 (ja) * | 2003-03-31 | 2010-10-06 | 日油株式会社 | 脂肪族モノカルボン酸スズ塩の製造方法 |
-
1997
- 1997-08-08 JP JP21475197A patent/JP3155495B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1161006A (ja) | 1999-03-05 |
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