JPS5819813A - 透明導電性被膜形成用ペ−スト - Google Patents
透明導電性被膜形成用ペ−ストInfo
- Publication number
- JPS5819813A JPS5819813A JP11985281A JP11985281A JPS5819813A JP S5819813 A JPS5819813 A JP S5819813A JP 11985281 A JP11985281 A JP 11985281A JP 11985281 A JP11985281 A JP 11985281A JP S5819813 A JPS5819813 A JP S5819813A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- paste
- conductive film
- transparent conductive
- organic
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、スクリーン印刷と焼成によシ、ガラス等の基
板上に金属酸化物よシ表る透明導電性被膜を所望の形状
に形成するための透明導電性被膜形成用ペーストに関す
る。
板上に金属酸化物よシ表る透明導電性被膜を所望の形状
に形成するための透明導電性被膜形成用ペーストに関す
る。
ガラス、セラミックス勢の基板上に形成したＣｄ、Ｉｎ
、８ｎ＄の酸化物被膜社、透明で良好な導電性を示す仁
とはよく知られておシ半導体素子、液晶表示装置、ＥＬ
、太陽電池等に使用したシ、或紘、窓ガラス等の氷結藺
止用導電膜として利用されたシして近年益々その応用範
囲が拡大してきている。この様な金属酸化物透明導電性
被膜の形成方法としては、化学スプレー法、真空蒸着法
、スクリーン印刷法等がある。
、８ｎ＄の酸化物被膜社、透明で良好な導電性を示す仁
とはよく知られておシ半導体素子、液晶表示装置、ＥＬ
、太陽電池等に使用したシ、或紘、窓ガラス等の氷結藺
止用導電膜として利用されたシして近年益々その応用範
囲が拡大してきている。この様な金属酸化物透明導電性
被膜の形成方法としては、化学スプレー法、真空蒸着法
、スクリーン印刷法等がある。
化学スプレー法は、比較的大面積の形状の被膜を得るに
杜、有利であるが、微細でＩＩ謔な形状のものを得るに
は、エツチング勢の余分な工程が必要となシ経済的で社
ない。真空蒸着法は、最近マスク蒸着法が発達し、エツ
チング処理轄、必要でなくなったが、バッチ式である為
、量産向きとは言えない。スクリーン印刷法では、係る
問題がなく目的形状のものを、印刷焼成によシ得ること
ができ、エツチング処理にともなう廃液処理の必要％碌
いという利点がある。
杜、有利であるが、微細でＩＩ謔な形状のものを得るに
は、エツチング勢の余分な工程が必要となシ経済的で社
ない。真空蒸着法は、最近マスク蒸着法が発達し、エツ
チング処理轄、必要でなくなったが、バッチ式である為
、量産向きとは言えない。スクリーン印刷法では、係る
問題がなく目的形状のものを、印刷焼成によシ得ること
ができ、エツチング処理にともなう廃液処理の必要％碌
いという利点がある。
しかし、従来は、透明導電性被膜形成用ペースト自体の
安定性も良くなく、スクリーン印刷時の作業性も悪かっ
たため、特に、゛微細なパターンを安定に印刷できない
といった欠点を持つていた。
安定性も良くなく、スクリーン印刷時の作業性も悪かっ
たため、特に、゛微細なパターンを安定に印刷できない
といった欠点を持つていた。
従来、この種のペーストにおいては、オクチル酸インジ
ウム（（ＣマＨｕＣＯ冨）ｓ Ｉｎ ）等のイオン結合
性の強い有機酸インジウム等の有機金属化合物を主成分
として用いていたが、有機酸インジウム等の有機金属化
合物は加水分解し易く、またペーストとなした場合、ペ
ーストのゲル化を促進する勢の比較的容易に化学変化す
るという欠点を持つていた為ペースト自体の寿命を短か
くシ、スクリーン印刷時の作業性を悪くする原因となっ
ていた。
ウム（（ＣマＨｕＣＯ冨）ｓ Ｉｎ ）等のイオン結合
性の強い有機酸インジウム等の有機金属化合物を主成分
として用いていたが、有機酸インジウム等の有機金属化
合物は加水分解し易く、またペーストとなした場合、ペ
ーストのゲル化を促進する勢の比較的容易に化学変化す
るという欠点を持つていた為ペースト自体の寿命を短か
くシ、スクリーン印刷時の作業性を悪くする原因となっ
ていた。
又、バインダーにエチルセルローズを用いていたが、そ
の熱安定性（注：５００℃で完全燃焼しないこともある
。）の故に１比較的高抵抗で被膜強度の弱い被膜しか得
られなかった。本発明者勢は、これ勢の欠点をなくす為
、前出願（出願番号５５−３６６２４等）に示す如く、
焼成によシ金属酸化物被膜を与える化合物として、例え
ば、アセチルアセトン（Ｈａａａａ ）の配位したトリ
スアセチルアセトナートインジウム（２）（Ｉｎ（ａｅ
ａａ）＠）勢の有機インジウム錯体を使用したシ、抵抗
値調整用スズ化合物として、例えば、ジメチルスズアセ
ドープ（（ＣＨｓ）ｓｓｎ（ｍｅａ＠）＊ ）等の有機
スス錯体を用いてペーストの安定性を高め好結果を得て
いる。
の熱安定性（注：５００℃で完全燃焼しないこともある
。）の故に１比較的高抵抗で被膜強度の弱い被膜しか得
られなかった。本発明者勢は、これ勢の欠点をなくす為
、前出願（出願番号５５−３６６２４等）に示す如く、
焼成によシ金属酸化物被膜を与える化合物として、例え
ば、アセチルアセトン（Ｈａａａａ ）の配位したトリ
スアセチルアセトナートインジウム（２）（Ｉｎ（ａｅ
ａａ）＠）勢の有機インジウム錯体を使用したシ、抵抗
値調整用スズ化合物として、例えば、ジメチルスズアセ
ドープ（（ＣＨｓ）ｓｓｎ（ｍｅａ＠）＊ ）等の有機
スス錯体を用いてペーストの安定性を高め好結果を得て
いる。
更に、粘性剤として使用するセルローズ化合物に、ニト
ロセルローズを用いることで、密着強度大で、低抵抗な
被膜が得られることをつきとめている。
ロセルローズを用いることで、密着強度大で、低抵抗な
被膜が得られることをつきとめている。
シカシ、ニトロセルローズを用いた場合、エチルセルロ
ーズを用いた場合と比較して、ペースト自体の寿命が短
く、スクリーン印刷時の作業性も悪いという欠点を持っ
ていた＝そζで本発明者らは、前出願で、脱酸処理し九
ニトロセルローズを用いることで特性改善がなされるこ
とを見出し九が、まだまだ十分とは言えず、ペーストの
印刷性、特に、微細パターン（０，ＩＷ前彼）を安定に
スクリーン印刷する時の印刷性に間罷があった。
ーズを用いた場合と比較して、ペースト自体の寿命が短
く、スクリーン印刷時の作業性も悪いという欠点を持っ
ていた＝そζで本発明者らは、前出願で、脱酸処理し九
ニトロセルローズを用いることで特性改善がなされるこ
とを見出し九が、まだまだ十分とは言えず、ペーストの
印刷性、特に、微細パターン（０，ＩＷ前彼）を安定に
スクリーン印刷する時の印刷性に間罷があった。
本発明は、叙上の欠点を解消し、ペースト寿命の長い、
微細パターンの印刷性及び印刷作業性の良い、かつ従来
通〕の被膜特性、すなわち、低抵抗で透明度及び密着Ｉ
ｊｌＷＬの良好さを与える透明導電性被膜形成用ペース
）１提供する目的でなされたものである。
微細パターンの印刷性及び印刷作業性の良い、かつ従来
通〕の被膜特性、すなわち、低抵抗で透明度及び密着Ｉ
ｊｌＷＬの良好さを与える透明導電性被膜形成用ペース
）１提供する目的でなされたものである。
本発明の特命は、主成分である有機金属化合物に、粘性
剤としてニトロセルローズと、有機溶媒とを添加混合し
てなるペースト組成物に、５００℃近傍で完全燃焼し、
金属成分を含まない有機顔料を添加したことである。
剤としてニトロセルローズと、有機溶媒とを添加混合し
てなるペースト組成物に、５００℃近傍で完全燃焼し、
金属成分を含まない有機顔料を添加したことである。
即ち、スクリーン印刷時に、印刷シ冒ット数が多くなる
につれペーストの粘度が高くなったシ、にじみが発生す
る等、ペーストの印刷性が悪くなシ、微細パターンを安
定に印刷できないという欠点に注目し、ペーストに有機
顔料を添加することによシ、ペーストの印刷性及びペー
ストの印刷寿命を著しく改善することができたものであ
る。
につれペーストの粘度が高くなったシ、にじみが発生す
る等、ペーストの印刷性が悪くなシ、微細パターンを安
定に印刷できないという欠点に注目し、ペーストに有機
顔料を添加することによシ、ペーストの印刷性及びペー
ストの印刷寿命を著しく改善することができたものであ
る。
本発明に、適用できる有機顔料としては、５００℃にて
完全燃焼分解し、焼成後残留する金属成分を含まないも
の、即ち水素、酸素、炭素、窒素からなシ、前記溶媒に
接解せず分散性の良いものでなければならない。例えば
、出湯色素社製のライト・７アースト・ヒクメントイエ
ローＲ，ファーストイエローＦ Ｇ−、ピグメントイエ
ローＦＩＯＧ。
完全燃焼分解し、焼成後残留する金属成分を含まないも
の、即ち水素、酸素、炭素、窒素からなシ、前記溶媒に
接解せず分散性の良いものでなければならない。例えば
、出湯色素社製のライト・７アースト・ヒクメントイエ
ローＲ，ファーストイエローＦ Ｇ−、ピグメントイエ
ローＦＩＯＧ。
パーマネントオレンジ、ピラゾロンオレンジなどが適用
できる。次に、ペースト化に必要な有機溶媒としては、
ベンジルアル；−ル、ジノ０ピレングリコール、などの
高沸点アルコール類、ベンジルアセテート、カルピトー
ルアセテート尋の高沸点エステル類、ブチルセロソルブ
等の高沸点エーテル類などの高沸点有機溶媒が適用でき
る。
できる。次に、ペースト化に必要な有機溶媒としては、
ベンジルアル；−ル、ジノ０ピレングリコール、などの
高沸点アルコール類、ベンジルアセテート、カルピトー
ルアセテート尋の高沸点エステル類、ブチルセロソルブ
等の高沸点エーテル類などの高沸点有機溶媒が適用でき
る。
以下、実施例をもとに１更に評しく本発明を説明する。
実施例１
トリスアセチルアセトナートインジウム（１） ２．６
９ｖ ｔｖＩ とジメチルスズアセト−１０，３１ｖ
ｔ％を正確に秤量し、セパラブルフラスコに入れる。次
に、溶媒として、ブチルカルピトール３２．１０ｗｔチ
、ブチルセロソルブ１６．０５Ｗｔ１ｇ、ベンジルアル
コール１６．０５ｖｔＳ 及びジメチル７タｔ／−ト
１６．０５ｖｔ＄の缶溶媒をセパラブルフラスコに入れ
、１２０〜１５０℃で３時間加熱濃縮する。濃縮が終了
した彼、常温まで冷却し、有機顔料として出湯色素社製
ピグメントイエローＦＩＯＧを０．１ｖｔｌ添加混合し
攪拌後、ニトロセルローズ１６．６５ｗｔチを混合し、
攪拌機で８時間攪拌して、ニトロセルローズを均一に溶
解させて透明導電性被膜形成用ペーストを得た。
９ｖ ｔｖＩ とジメチルスズアセト−１０，３１ｖ
ｔ％を正確に秤量し、セパラブルフラスコに入れる。次
に、溶媒として、ブチルカルピトール３２．１０ｗｔチ
、ブチルセロソルブ１６．０５Ｗｔ１ｇ、ベンジルアル
コール１６．０５ｖｔＳ 及びジメチル７タｔ／−ト
１６．０５ｖｔ＄の缶溶媒をセパラブルフラスコに入れ
、１２０〜１５０℃で３時間加熱濃縮する。濃縮が終了
した彼、常温まで冷却し、有機顔料として出湯色素社製
ピグメントイエローＦＩＯＧを０．１ｖｔｌ添加混合し
攪拌後、ニトロセルローズ１６．６５ｗｔチを混合し、
攪拌機で８時間攪拌して、ニトロセルローズを均一に溶
解させて透明導電性被膜形成用ペーストを得た。
又、比較例として、従来と同様の透明導電性被膜形成用
ペーストを、次の如くして作製しえ。即ち、インジウム
化合物にＩｎ（ａｃａｃ）１を２．６９ｖｔ９ｇ、抵抗
値調整用スズ化合物Ｋ （ＣＨｓ）ｔａｎ（ａｃａｅ）
雪を０．３１ｗｔ％、粘性剤ニトロセルローズに脱酸処
理を施こしたニトロセルローズＨ３ＯＭＣ太平化学社製
を１５．０ｗｔ％使用し、溶媒には、ブチルカルピトー
ル３２．８ｗｔ％ｓプｆル＊ ロソル２１６．４ｖｔ％
、 ヘンシルアルコール１６４ｗｔ１Ｇｓジメチル７タ
レート１６．４ｗｔｑｂ、をそれぞれ混合し、ペースト
化した。
ペーストを、次の如くして作製しえ。即ち、インジウム
化合物にＩｎ（ａｃａｃ）１を２．６９ｖｔ９ｇ、抵抗
値調整用スズ化合物Ｋ （ＣＨｓ）ｔａｎ（ａｃａｅ）
雪を０．３１ｗｔ％、粘性剤ニトロセルローズに脱酸処
理を施こしたニトロセルローズＨ３ＯＭＣ太平化学社製
を１５．０ｗｔ％使用し、溶媒には、ブチルカルピトー
ル３２．８ｗｔ％ｓプｆル＊ ロソル２１６．４ｖｔ％
、 ヘンシルアルコール１６４ｗｔ１Ｇｓジメチル７タ
レート１６．４ｗｔｑｂ、をそれぞれ混合し、ペースト
化した。
作製した本発明ペーストと従来のペーストとの印刷特性
を比較した。第１表は、比較結果を示したものである。
を比較した。第１表は、比較結果を示したものである。
第１ＩＩｌ！！
ペーストの印刷特性に対する評価は、ステンレス４００
メツシ１、レジスト厚５μｍの版に、０．１１巾のパタ
ーンでパターン間隔が０．１曽のパｐ −ンを製版した
ものを版として使用し、同一印刷条件で２００回繰返し
印刷し走時の、パターンのにシミ、ヒンホール、かすれ
Ｋついて検討することによシ行った。
メツシ１、レジスト厚５μｍの版に、０．１１巾のパタ
ーンでパターン間隔が０．１曽のパｐ −ンを製版した
ものを版として使用し、同一印刷条件で２００回繰返し
印刷し走時の、パターンのにシミ、ヒンホール、かすれ
Ｋついて検討することによシ行った。
第１表の比較結果よシ、本発明の方が、従来例よシ微細
パターン用ペーストとして極めて優れていることがわか
シ、また、安定し九印刷性という点からみても有機顔料
の添加は非常に効果のあゐことかわかる。
パターン用ペーストとして極めて優れていることがわか
シ、また、安定し九印刷性という点からみても有機顔料
の添加は非常に効果のあゐことかわかる。
そして、本発明ペーストをソーダガラス基板に所望形状
に、スクリーン印刷し、１５０ｔ）２０分間予備乾燥後
、ｓｏｏ”ｏ ｓｏ分間焼成して得られた透明導電性被
膜の面積抵抗値及び密着強度、膜厚、透過率勢社、いず
れも良好であった。
に、スクリーン印刷し、１５０ｔ）２０分間予備乾燥後
、ｓｏｏ”ｏ ｓｏ分間焼成して得られた透明導電性被
膜の面積抵抗値及び密着強度、膜厚、透過率勢社、いず
れも良好であった。
実施例２
実施例１で本発明ペーストを作製したのと同じ成分で、
有機顔料である出湯色素社製ピグメントイエＣ’−ＦＩ
ＯＧの添加量を、０．０１ｖｔ９Ｇ、 ０．０３ｗｔｇ
ｋ、 ０．１ｗｔ１Ｇ、 ０．５ｖｔ＊、 １０ｗｔ１
Ｇ、 ２．０ｖｔ１６と変化させて透明導電性被膜形成
用ペーストを作成した。得られた種々ペーストを、ソー
ダガラス基板上にスクリーン印刷し、１５０℃で２０分
間予備乾燥した後、５００℃、３０分間で焼成して被膜
を形成させ、各被膜の強度、被膜の透明度、及び、ペー
ストの印刷特性を評価比較し、比較結果を第２表に示し
た。
有機顔料である出湯色素社製ピグメントイエＣ’−ＦＩ
ＯＧの添加量を、０．０１ｖｔ９Ｇ、 ０．０３ｗｔｇ
ｋ、 ０．１ｗｔ１Ｇ、 ０．５ｖｔ＊、 １０ｗｔ１
Ｇ、 ２．０ｖｔ１６と変化させて透明導電性被膜形成
用ペーストを作成した。得られた種々ペーストを、ソー
ダガラス基板上にスクリーン印刷し、１５０℃で２０分
間予備乾燥した後、５００℃、３０分間で焼成して被膜
を形成させ、各被膜の強度、被膜の透明度、及び、ペー
ストの印刷特性を評価比較し、比較結果を第２表に示し
た。
以下余白
Δ：まあ會あ良し ０：良好 Ｏ：極めて良好第２表の
結果よシ、有機顔料添加量は、０．０１〜２．０ｗ４％
が適当であることがわかる。即ち、添加量が０．０１ｗ
ｔチよシ少ないと印刷特性が悪るくなシ、２．Ｏｗｔ−
よシ多いと、得られる被膜の透明度が低下し、白濁し、
又被膜強度が低下してしまう。
結果よシ、有機顔料添加量は、０．０１〜２．０ｗ４％
が適当であることがわかる。即ち、添加量が０．０１ｗ
ｔチよシ少ないと印刷特性が悪るくなシ、２．Ｏｗｔ−
よシ多いと、得られる被膜の透明度が低下し、白濁し、
又被膜強度が低下してしまう。
Claims (3)
- （１） 有機金属化合物に、ニド四セルローズと、有
機溶媒と、金属成分を含まない有機顔料とを添加混合し
てなる透明導電性被膜形成用ペースト。 - （２） 有機金属化合物が、有機インジウム化合物と
有機スズ化合物との混合物であることを特徴とする特許
請求の範囲第１項の透明導電性被膜形成用ペースト。 - （３）前記有機顔料の含有料が０．０１〜２．Ｏｖｔチ
であることを特徴とする特許請求の範％！ＨＬ１項の透
明導電性被膜形成用ペースト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11985281A JPS5819813A (ja) | 1981-07-30 | 1981-07-30 | 透明導電性被膜形成用ペ−スト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11985281A JPS5819813A (ja) | 1981-07-30 | 1981-07-30 | 透明導電性被膜形成用ペ−スト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5819813A true JPS5819813A (ja) | 1983-02-05 |
Family
ID=14771859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11985281A Pending JPS5819813A (ja) | 1981-07-30 | 1981-07-30 | 透明導電性被膜形成用ペ−スト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5819813A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6063983A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-12 | ロ−ム株式会社 | 厚膜導体の形成法 |
| JPS611089A (ja) * | 1984-06-13 | 1986-01-07 | 日本写真印刷株式会社 | 導電性図柄を有する基板の製造方法 |
| US5510823A (en) * | 1991-03-07 | 1996-04-23 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Paste for resistive element film |
| US7140664B2 (en) | 2004-04-26 | 2006-11-28 | Kyowa Sangyo Co., Ltd. | Vehicle sun visors |
-
1981
- 1981-07-30 JP JP11985281A patent/JPS5819813A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6063983A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-12 | ロ−ム株式会社 | 厚膜導体の形成法 |
| JPH0359594B2 (ja) * | 1983-09-16 | 1991-09-11 | Rohm Kk | |
| JPS611089A (ja) * | 1984-06-13 | 1986-01-07 | 日本写真印刷株式会社 | 導電性図柄を有する基板の製造方法 |
| JPH0416958B2 (ja) * | 1984-06-13 | 1992-03-25 | Nissha Printing | |
| US5510823A (en) * | 1991-03-07 | 1996-04-23 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Paste for resistive element film |
| US7140664B2 (en) | 2004-04-26 | 2006-11-28 | Kyowa Sangyo Co., Ltd. | Vehicle sun visors |
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