JPS6319044B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

〔産業上の利用分野〕 本発明は、スクリーン印刷と焼成により、ガラ
ス等の基板上に金属酸化物よりなる透明導電性被
膜を所望の形状に形成するための透明導電性被膜
形成用ペーストに関する。 〔従来技術〕 ガラス、セラミツク等の基板上に形成したCd，
In，Sn等の酸化物被膜は、透明で良好な導電性
を示すことはよく知られており半導体素子、液晶
表示装置に使用したり、或は、窓ガラス等の氷結
防止用導電膜として利用されたりして近年益々そ
の応用範囲が拡大してきている。この様な金属酸
化物透明導電性被膜の形成方法としては、化学ス
プレー法、真空蒸着法、スクリーン印刷法等があ
る。 化学スプレー法は、比較的大面積の形状の被膜
を得るには、有利であるが、微細で複雑な形状の
ものを得るには、エツチング等の余分な工程が必
要となり経済的ではない。真空蒸着法は、最近マ
スク蒸着法が発達し、エツチング処理は、必要で
なくなつたが、バツチ式である為、量産向きとは
言えない。スクリーン印刷法では、係る問題がな
く目的形状のものを、印刷焼成により得ることが
でき、エツチング処理にともなう廃液処理の必要
もないという利点がある。 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、従来は、透明導電性被膜形成用ペース
ト自体の安定性が良くないため、スクリーン印刷
時の作業性も悪く且つ、形成された被膜の導電性
の良否にもバラツキが大きいといつた欠点を持つ
ていた。 従来、この種のペーストにおいては、オクチル
酸インジウム

【（C₇H₁₃CO₂）₃In】等のイオン結合
性の強い有機酸インジウムを主成分として用いて
いたが、有機酸インジウムは加水分解し易く、ま
たペーストとなした場合、ペーストのゲル化を促
進する等の比較的容易に化学変化するという欠点
を持つていた為ペースト自体の寿命を短かくし、
スクリーン印刷時の作業性を悪くする原因となつ
ていた。 又、バインダーにエチルセルローズを用いてい
たが、その熱安定性（注：500℃で完全燃焼しな
いこともある。）の故に、比較的高抵抗で被膜強
度の弱い被膜しか得られなかつた。本発明者等
は、これ等の欠点をなくす為、焼成により金属酸
化物被膜を与える化合物として、例えば、アセチ
ルアセトン（Hacac）の配位したトリスアセルア
セトナートインジウム（）

【In（acac）₃】等の有
機インジウム錯体を使用したり、抵抗値調整用ス
ズ化合物として、例えば、ジメチルスズアセトー
プ

【（CH₃）₂Sn（acac）₂】等の有機スズ錯体を用い
てペーストの安定性を高め好結果を得ている。更
に、粘性剤として使用するセルローズ化合物に、
ニトロセルローズを用いることで、密着強度大
で、低抵抗な被膜が得られることをつきとめてい
る。 しかし、ニトロセルローズを用いた場合、エチ
ルセルローズを用いた場合と比較して、ペースト
自体の寿命が短く、スクリーン印刷時の作業性も
悪いという欠点を持つていた。そこで本発明者ら
は、前出願で、脱酸処理したニトロセルローズを
用いることで特性改善がなされることを見出した
が、まだまだ十分とは言えなかつた。 本発明は、叙上の欠点を解消し、ペースト寿命
の長い、印刷作業性の良い、かつ従来通りの被膜
特性、すなわち、低抵抗で透明度及び密着強度の
良好さを与える透明導電性被膜形成用ペーストを
提供する目的でなされたものである。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は前述の目的を達成するために、焼成に
よつて透明導電性金属酸化物となる有機金属化合
物と、有機溶剤と、粘性剤とを含有する透明導電
性被膜形成用ペーストを対象とするものである。 そして前記粘性剤がニトロセルローズからな
り、そのニトロセルローズのゲル化防止剤とし
て、Ｐ―メトキシフエノール、2.6―ジ―トリ―
ブチル―４―メチルフエノール、2.2′―メチレン
ビス（４―エチル―６―トリ―ブチル）フエノー
ルのグループから選択された少なくとも１種のフ
エノール類有機化合物を添加混合したことにあ
る。 〔実施例〕 即ち、ニトロセルローズを用いたペーストの寿
命が短く、スクリーン印刷時にも、印刷シヨツト
数が多くなるにつれペーストの粘度が高くなり印
刷性が悪くなるなど作業性も悪いという欠点に注
目し、ペーストに酸化防止剤を添加することによ
り、ニトロセルロースのゲル化を防ぎ、ペースト
自体の寿命を著しく改善することができたもので
ある。ここで、添加される酸化防止剤としては、
Ｐ―メトキシフエノール、2.6―ジ―tert―ブチル
―４―メチルフエノール、2.2′―メチレンビス
（４―エチル―６―tert―ブチル）フエノールな
どのフエノール類が有効である。次に、ペースト
化に必要な有機溶媒としては、ベンジルアルコー
ル、ジフロヒレングリコール、などの高沸点アル
コール類、ベンジルアセテート、カルビトールア
セテート等の高沸点エステル類、ブチルセロソル
ブ等の高沸点エーテル類などの高沸点有機溶媒が
適用できる。 以下、実施例をもとに、更に詳しく本発明を説
明する。 〔実施例〕 次の組成により、ペーストを作製した。 In（acac）₃ 2.69重量部 （CH₃）₂Sn（acac）₂ 0.31重量部 ブチルガルビトール 32.8重量部 ブチルセロソルブ 16.4重量部 ベンジルアルコール 16.4重量部 ジメチルフタレート 16.4重量部 ニトロセルローズ 15.0重量部 Ｐ―メトキシフエノール 1.0重量部 （上記混合物に対する比） ペーストの作製にあたつてはまず、トリスアセ
チルアセトナートインジウム（）2.69重量部と
ジメチルスズアセトープ0.31重量部を正確に秤量
し、セパラブルフラスコに入れる。次に、ブチル
カルビトール32.8重量部とブチルセロソルブ16.4
重量部とベンジルアルコール16.4重量部とジメチ
ルフタレート16.4重量部の各溶媒をセパラブルフ
ラスコに入れ、120〜150℃で３時間加熱濃縮す
る。濃縮が終了した後、常温までに冷却し、酸化
防止剤としてＰ―メトキシフエノールをセパラブ
ルフラスコに入れ撹拌後、ニトロセルロース15.0
重量部を混合し、撹拌機で８時間撹拌して、ニト
ロセルロースを均一に溶解させて透明導電性被膜
形成用ペーストを得た。 次に、比較例として、酸化防止剤を添加しない
で、次の組成比で、ペーストを、同様にして作製
した。 In（acac）₃ 2.69重量部 （CH₃）₂Sn（acac）₂ 0.31重量部 ブチルカルビトール 32.8重量部 ブチルセロソルブ 16.4重量部 ベンジルアルコール 16.4重量部 ジメチルフタレート 16.4重量部 ニトロセルローズ 15.0重量部 作成した２種のペーストを評価した。 〔発明の効果〕 ペーストのゲル化に対する安定性の評価は、ス
テン400メツシユ、レジスト厚5μmの版を使用し、
同一印刷条件で100回繰返し印刷した後のペース
トの粘度と、初期のペースト粘度とを比較するこ
とにより行つた。評価結果は、第１表に示したと
おりである。

【表】 第一表の結果より、本発明実施例の方が、粘度
上昇率が、従来より極めて低くなつており、ペー
ストの安定化が、酸化防止剤の添加によつて、向
上していることがわかる。なお、実施例のペース
トをソーダガラス基板に所望形状に、スクリーン
印刷し、150℃、20分間予備乾燥後、500℃30分間
焼成して得られた透明導電性被膜の面積抵抗値及
び密着強度、膜厚精度等いずれも良好であつた。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 焼成によつて透明導電性金属酸化物となる有
   機金属化合物と、有機溶剤と、粘性剤とを含有す
   る透明導電性被膜形成用ペーストにおいて、 前記粘性剤がニトロセルローズからなり、その
   ニトロセルローズのゲル化防止剤として、Ｐ―メ
   トキシフエノール、2.6―ジ―トリ―ブチル―４
   ―メチルフエノール、2.2′―メチレンビス（４―
   エチル―６―トリ―ブチル）フエノールのグルー
   プから選択された少なくとも１種のフエノール類
   有機化合物が添加されていることを特徴とする透
   明導電性被膜形成用ペースト。