JP3152456B2

JP3152456B2 - 焦点誤差信号検出装置及び光情報記録再生装置並びに光磁気情報記録再生装置

Info

Publication number: JP3152456B2
Application number: JP23834291A
Authority: JP
Inventors: 民磯部; 清横森
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1991-09-18
Filing date: 1991-09-18
Publication date: 2001-04-03
Anticipated expiration: 2016-04-03
Also published as: JPH05325215A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、焦点誤差信号検出装置
及び光情報記録再生装置並びに光磁気情報記録再生装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、光情報記録再生装置の光ディスク
用ピックアップなどで焦点誤差信号検出用に広く使われ
ている非点収差法は、光学系が大きくなり装置をコンパ
クトにできないという欠点がある。また、装置をコンパ
クトにできる焦点誤差信号検出法としてＴＡＯＨＳ法
（臨界角法（特公昭６３−９３０５号公報参照））とい
う方法が知られている。以下、この方法の原理を図１
０、図１１を参照して簡単に説明する。

【０００３】図１０において、光情報記録媒体（以下、
光ディスクと呼ぶ）からの反射光が合焦状態では平行光
線で検出プリズム１に入射するようにし、また、検出プ
リズム１の反射面２は、この合焦状態での入射光線に対
して臨界角もしくはそれよりやや小さめに設定する。す
ると、光ディスクが合焦状態からずれて検出プリズム１
に収束光の状態（図１０の点線）で入射すると、反射面
２への入射光線は光軸上の中心光線を除いて臨界角の前
後で連続的に変化する。すなわち、中心光線より図１０
において右側の光線は、一番右側（外側）の光線を筆頭
として全ての入射光線の入射角は臨界角よりも小さくな
る。従って、この部分では、透過光が存在し、この透過
した分だけ中心光線から右側の光線束の強度は弱められ
る。また、中心光線より図１０において左側の光線の射
角は臨界角よりも大きくなり、この部分で入射した光線
は全て全反射する。

【０００４】これに対して、光ディスクが反対方向にず
れて発散光の状態で検出プリズムに入射すると、反射面
２で反射される反射光の光量分布が変化し、中心光線を
含む紙面に対し垂直な面を境としての明暗の状態が収束
光の場合と逆になる。また、合焦状態では反射面２への
入射光線は平行光で、その全光線が一様に反射されるか
ら、上述した明暗は現われない。光検出器３は、上述し
た反射面２からの反射光の光量分布を検出するもので、
中心光線を含む紙面に垂直な面を境に２分割した２つの
受光領域ａ，ｂを持っている。このようにすれば、合焦
状態では受光部ａ，ｂへの入射光量はそれぞれ等しくな
り、反射面２へ収束光の状態で光ディスクからの反射光
が入射した場合には、ａが明るくｂが暗くなり、逆に発
散光の状態で入射した場合には、ａが暗くｂが明るくな
るので、各受光領域ａ，ｂの出力の差を検出することに
より焦点誤差信号（フォーカスエラー信号）が得られ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ここで、図１１には検
出プリズム１の屈折率が１．５０の場合のＰ偏光及びＳ
偏光の反射率Ｒp，Ｒsが示されているが、図１１を見る
と明らかなように、臨界角よりも入射角が大きい場合に
は全反射するが、臨界角よりも入射角が小さい場合に
は、全部が透過するのではなく一部の光は反射するので
感度が悪いという欠点がある。以上のように、非点収差
法による焦点誤差検出では光学系が大きくなり装置をコ
ンパクトにできないという欠点があり、また、バルク型
光学系を用いた上述の臨界角法では焦点誤差信号の感度
が悪いという問題がある。本発明は上記事情に鑑みてな
されたものであって、コンパクトで且つ非常に感度の高
い焦点誤差信号を得ることができる焦点誤差信号検出装
置、及び、非常に感度の高い焦点誤差信号を得ることが
できる焦点誤差信号検出部を備えた光情報記録再生装置
並びに光磁気情報記録再生装置を提供することを目的と
する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の焦点誤差信号検出装置は、光導波路
Ａと、光導波路Ｂと、光導波路Ａと光導波路Ｂを結合す
る導波層の膜厚がテーパ状に変化しているテーパ状結合
部からなり、光情報記録媒体からの反射光を光導波路
Ａ，Ｂにおける伝搬定数がそれぞれβ_A，β_B（β_A＞
β_B）である導波モードとして励振し、前記導波モード
を光導波路Ａから光導波路Ｂへ前記導波モードの中心光
線の臨界角（＝arcsin（β_B／β_A））付近で入射させ、
前記テーパ状結合部で反射した光の光量分布の変化を、
光導波路Ａに形成された光検出器によって検出すること
により前記光情報記録媒体からの焦点誤差信号を得るよ
うに構成したことを特徴としている。尚、臨界角という
のは普通のバルクのメディアの光学系の場合に使われる
用語では、媒質０（屈折率ｎ₀）から媒質１（屈折率
ｎ₁、ｎ₀＞ｎ₁）へ光が入射する時の入射角arcsin（ｎ₁
／ｎ₀）のことを言うが、本発明においては、バルクの
メディアの光学系ではなく、光導波路という二次元光学
系を考えているので、前記arcsin（β_B／β_A）という角
度は厳密には臨界角とは言わないが、便宜上、この二次
元光学系におけるarcsin（β_B／β_A）という角度のこと
を、以後、臨界角と呼ぶことにする。

【０００７】請求項２記載の焦点誤差信号検出装置は、
光導波路Ａと、光導波路Ｂと、光導波路Ａと光導波路Ｂ
を結合する導波層の膜厚がテーパ状に変化しているテー
パ状結合部からなり、光情報記録媒体からの反射光を光
導波路Ａ，Ｂにおける伝搬定数がそれぞれβ_A，β_B(β_A
＞β_B)である導波モードとして励振し、前記導波モード
を光導波路Ａから光導波路Ｂへ前記導波モードの中心光
線の臨界角（＝arcsin(β_B／β_A)）付近で入射させ、前
記テーパ状結合部で反射した光を、再び前記テーパ状結
合部と同じ構成のテーパ状結合部に前記臨界角と同じ臨
界角付近で入射させることを少なくとも１回以上行な
い、最終のテーパ状結合部で反射した光の光量分布の変
化を、光導波路Ａに形成された光検出器によって検出す
ることにより前記光情報記録媒体からの焦点誤差信号を
得るように構成したことを特徴としている。

【０００８】請求項３記載の光情報記録再生装置は、光
情報記録媒体からの反射光を光導波路に導波モードとし
て導く光導波路カップリング部と、前記光導波路におけ
る光導波路領域Ａと光導波路領域Ｂと該光導波路領域Ａ
とＢを結合する導波層の膜厚がテーパ状に変化している
テーパ状結合部と該テーパ状結合部で反射した光と屈折
（透過）した光をそれぞれ検出する光検出器からなる焦
点誤差信号検出部からなり、前記光導波路カップリング
部でカップリングされた導波モード（光導波路領域Ａ，
Ｂにおける伝搬定数がそれぞれβ_A，β_Bでβ_A＞β_B）の
両端（両外側）の光線が前記焦点誤差信号検出部におけ
るテーパ状結合部に入射角度arcsin(β_B／β_A)付近で入
射するように焦点誤差信号検出部を二つ前記導波モード
の中心光線に対して線対称な位置に構成し、前記二つの
焦点誤差信号検出部における複数の光検出器によって検
出された信号によって、光情報記録媒体からの焦点誤差
信号を得ることを特徴としている。

【０００９】請求項４記載の光情報記録再生装置は、光
情報記録媒体からの反射光を光導波路に導波モードとし
て導く光導波路カップリング部と、前記光導波路におけ
る光導波路領域Ａと光導波路領域Ｂと該光導波路領域Ａ
とＢを結合する導波層の膜厚がテーパ状に変化している
テーパ状結合部と該テーパ状結合部で反射した光と屈折
（透過）した光をそれぞれ検出する光検出器からなる焦
点誤差信号検出部からなり、前記光導波路カップリング
部でカップリングされた導波モード（光導波路領域Ａ，
Ｂにおける伝搬定数がそれぞれβ_A，β_Bでβ_A＞β_B）の
両端（両外側）の光線が前記焦点誤差信号検出部におけ
るテーパ状結合部に入射角度arcsin(β_B／β_A)付近で入
射するように焦点誤差信号検出部を二つ平行な位置に構
成し、前記二つの焦点誤差信号検出部における複数の光
検出器によって検出された信号によって光情報記録媒体
からの焦点誤差信号を得ることを特徴としている。

【００１０】請求項５記載の光磁気情報記録再生装置
は、光磁気情報記録媒体からの反射光を光導波路に導波
モードとして導く光導波路カップリング部と、前記光導
波路における光導波路領域Ａと光導波路領域Ｂと該光導
波路領域ＡとＢを結合する導波層の膜厚がテーパ状に変
化しているテーパ状結合部と該テーパ状結合部で反射し
た光と屈折（透過）した光をそれぞれ検出する光検出器
からなる焦点誤差信号検出部と、前記焦点誤差信号検出
部と同じ構成で前記導波モードに対する位置関係が前記
焦点誤差信号検出部と異なる光磁気信号検出部からな
り、前記光導波路カップリング部でカップリングされた
導波モードの両端（両外側）の光束は、平行または前記
導波モードの中心光線に対して線対称な位置に構成され
た二つの焦点誤差信号検出部に導かれ焦点誤差信号を検
出し、前記導波モードの中心光線付近の光束は光磁気信
号検出部に導かれ、前記光磁気信号検出部における光導
波路領域Ａを導波するＴＥモードとＴＭモードを前記光
磁気信号検出部におけるテーパ状結合部において反射及
び透過（屈折）により分離して前記光磁気信号検出部に
おける複数の光検出器により検出し、該検出信号の差動
により光磁気信号を検出することを特徴としている。

【００１１】請求項６記載の光磁気情報記録再生装置
は、光磁気情報記録媒体からの反射光を光導波路に導波
モードとして導く光導波路カップリング部と、前記光導
波路における光導波路領域Ａと光導波路領域Ｂと該光導
波路領域ＡとＢを結合する導波層の膜厚がテーパ状に変
化しているテーパ状結合部と該テーパ状結合部で反射し
た光と屈折（透過）した光をそれぞれ検出する光検出器
からなる焦点誤差信号検出部と、該焦点誤差信号検出部
に導かれる導波光の光路上に装荷される吸収性薄膜と、
前記焦点誤差信号検出部と同じ構成で前記導波モードに
対する位置関係が前記焦点誤差信号検出部と異なる光磁
気信号検出部からなり、前記光導波路カップリング部で
カップリングされた導波モードの両端（両外側）の光束
は、前記吸収性薄膜によってＴＭモードが吸収された
後、二つの焦点誤差信号検出部に導かれ焦点誤差信号を
検出し、前記導波モードの中心光線付近の光束は前記光
磁気信号検出部に導かれ、前記光磁気信号検出部におけ
る光導波路領域Ａを導波するＴＥモードとＴＭモードを
前記光磁気信号検出部におけるテーパ状結合部において
反射及び透過（屈折）により分離して前記光磁気信号検
出部における複数の光検出器により検出し、該検出信号
の差動により光磁気信号を検出することを特徴としてい
る。

【００１２】

【作用】以下、本発明の基本的な構成、原理及び作用に
ついて説明する。ここで、光が膜厚方向に閉じ込められ
た二次元光導波路を考える。そして、導波光の動きを、
Ｚ方向の動きと、Ｘ−Ｙ平面上の動きとに分離して取り
扱い、後者を二次元光学と呼ぶ。この二次元光学におい
ては、モードの等価屈折率がバルク光学系の屈折率に対
応し、モードの等価屈折率は導波路の膜厚や屈折率を変
えることによって変化させることができる。尚、モード
の等価屈折率は、導波路だけでなく基板やクラッド層の
屈折率、膜厚を変えることによっても変化する。また、
二次元光学においても、フェルマーの原理とスネルの法
則は維持される。今、図１２のように膜厚方向（Ｚ軸方
向）にテーパ状の結合部を持つ２つの二次元導波路Ａ，
Ｂを考える。そして、導波路Ａ，Ｂにおけるモード伝搬
定数をそれぞれβ_A，β_Bとすると、スネルの法則は下記
の式のようになる。 β_A sinα_A＝β_B sinα_B ・・・但し、α_A は導波路Ａにおける入射角、α_B は導波路Ｂ
における屈折角を表わし、どちらもＸ−Ｙ平面上にあ
る。今、β_A＞β_Bと仮定すると、二次元光学では、入射
角α_A が、 α_A＜arcsin(β_B／β_A) ・・・上記式の条件を満足していれば導波路Ａで生じた光波
は式に従って導波路Ｂに屈折する（図１２(ｂ)）。ま
た、入射角α_A が、 α_A＞arcsin(β_B／β_A) ・・・上記式の条件を満足する場合には、結合部において全
反射が起こる（図１２(ａ))。

【００１３】前述の図１０のように、バルクのメディア
の境界における反射の場合には、臨界角よりも入射角度
が小さいとフレネルの法則に従う部分反射という現象が
起こり、図１２のような二次元光学の場合にも、導波路
Ａと導波路Ｂの境界が光の波長に対して急に変化してい
る場合には部分反射が起こるが、導波路Ａと導波路Ｂの
境界が光の波長に対して十分緩やかなテーパ状になって
いる場合には、arcsin(β_B／β_A)という臨界角を境にし
て屈折か反射が起こり、部分反射という現象は起こらな
い。尚、ここで言うテーパ状結合部とは、図１(ｂ)の断
面図に示すように、同一材料の膜で膜厚が変化したもの
や、図１(ｃ)，(ｄ)の断面図に示すように、異種の材料
の膜が結合したものなどが考えられ、膜構成は図１
(ｂ)，(ｃ)，(ｄ)以外でもよい。

【００１４】そこで今、図１のような光導波路型焦点誤
差検出装置を考える。尚、図１(ａ)は焦点誤差検出装置
の平面図、(ｂ)，(ｃ)，(ｄ)は、前述したようにテーパ
状結合部の膜構成がそれぞれ異なる焦点誤差検出装置の
断面図である。図１において、光ディスクからの反射光
が、合焦状態では平行光線で光導波路Ａにカップリング
し、伝搬定数β_A の導波モードとして伝搬し、光導波路
Ｂとの境界部に入射するようにする。この時、光導波路
Ｂでの伝搬定数β_B はβ_A＞β_Bという条件を満足してお
り、光導波路ＡとＢの境界部分は光の波長に対して十分
緩やかなテーパ状になっている。テーパ状結合部は、合
焦状態での導波光（平行光線）に対して前述の臨界角
（arcsin(β_B／β_A)近傍に設定する。すると、光ディス
クが合焦状態からずれてテーパ結合部に収束光の状態
（図１(ａ)の点線で示す状態）で入射すると、中心光線
から右側の入射光線の入射角は臨界角よりも小さくなり
導波路Ｂに屈折する。また、中心光線よりも左側の入射
光線の入射角は、臨界角よりも大きくなり全反射する。
逆に、発散光の状態で入射すると、中心光線から右側の
光線は全反射し、中心光線から左側の光線は導波路Ｂに
屈折する。

【００１５】従って、図１（ａ）に示すように中心光線
を境に２分割された光導波路型光検出器１１，１２を作
り、中心光線を境に右側の光線のテーパ結合部からの反
射光を一方の光検出器１２で検出し、中心光線を境に左
側の光線のテーパ結合部からの反射光をもう一方の光検
出器１１で検出するように設置すれば、光検出器１１と
１２の出力の差信号を検出することにより、非常に感度
の高い焦点誤差信号（フォーカスエラー信号）が得られ
る。何故なら、バルクのメディアの境界面での反射の場
合には、臨界角よりも入射角度が小さいと部分反射が起
こるため、反射強度が０にはならないが（Ｐ偏光のブリ
ュースター角の場合は除く）、図１の光導波路における
テーパ結合部での反射の場合には、臨界角よりも入射角
度が小さい場合には完全に導波光は屈折し、反射強度が
０になるためである。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例について詳細説明す
る。［実施例１］先ず、請求項１の発明に対する実施例につ
いて説明する。図１において、光導波路Ａ，Ｂの断面図
は例えば（ｄ）のようになっており、具体的には、Ｓｉ
基板上にＳｉＯ₂ バッファ層（屈折率１．４６０、膜厚
１．０μｍ）が形成された基板１５上にプラズマＣＶＤ
法によりＳｉＮ膜１３（屈折率１．８６０、膜厚０．３
μｍ）を形成し、その上にさらにＳｉＯＮ膜１４（屈折
率１．５３０、膜厚１．５０μｍ）を形成した。テーパ
状結合部は、ＳｉＮ膜を蒸着する際にナイフエッジ状の
マスクを置いて作成した。しかし、これは必ずしもこの
方法でなくてもよく、ＳｉＮ膜を基板全面に蒸着した
後、ウェットエッチング等によって余分な膜を除去して
もよい。また、テーパ状結合部の長さは、３０μｍ程度
ついており、入射光（例えば、Ｈｅ−Ｎｅレーザ光）の
波長０．６３３μｍに対して十分に緩やかなテーパが付
いている。ここで、導波路Ａ、導波路ＢにおけるＴＥ₀
モードの等価屈折率と臨界角θ_cは以下の通りである。導波路Ａ導波路Ｂ θ_c ＴＥ₀モード：１．７４６７１．５２００６０．４８°

【００１７】従って、図１(ａ)のθ_a を、 θ_a＝９０°−θ_c＝２９．５２° として波長６３３ｎｍのＴＥ₀ モード光を導波させる
と、光検出器１１及び１２で検出される反射率の変化の
ようすは図２のようになる。理想的なテーパが形成され
ている場合には、反射率は、臨界角θ_c において図２の
実線ｂで表わされるようなステップ状の変化をするが、
実際のテーパの場合には点線ａで表わされるような変化
をする。これを図１１の反射率曲線と比較すると、臨界
角より小さい角度では急に反射率が０に近づくのがわか
る。前述のように、導波光のテーパ状結合部への入射角
度の変化は、中心光線の左側と右側で逆になるので、光
検出器１１と１２の出力の差信号を検出すると、感度の
高い焦点誤差信号が得られる。尚、ここではＴＥ₀ モー
ドを使ったが、必ずしもＴＥ₀ モードである必要はな
い。但し、導波路伝搬損失の少ないモードを使った方が
よいので、高次モードよりは低次モード、ＴＭモードよ
りはＴＥモードを使った方がよい。

【００１８】［実施例２］次に、請求項２の発明に対す
る実施例について説明する。図１におけるテーパ状結合
部の長さが入射光の波長に対して十分に長くないなどの
テーパが不完全な場合には、臨界角よりも小さい角度で
導波光がテーパ状結合部に入射した時、１００％屈折せ
ずに一部の光が反射してしまう部分反射という現象が起
こり、結果的に焦点誤差信号の感度が悪くなる。そこ
で、このような場合には、図３に示すようにテーパ状結
合部を二段またはそれ以上重ねると、臨界角よりも小さ
い角度で入射した時にも反射率Ｒ_m(Ｒ_m≪１）の部分反
射が起こってしまうテーパであっても、ｎ段のテーパ状
結合部を通って最終的に光検出器３１，３２で検出され
る反射率(Ｒ_mのｎ乗）は限りなく０に近づき、焦点誤差
信号の感度を上げることができる。この時、ｎ段（ｎは
２以上の整数）のテーパ状結合部は、それぞれ平行な位
置関係になっている。

【００１９】［実施例３］次に、以上述べた光導波路の
テーパ状結合部における臨界角を利用した、請求項３記
載の発明による光情報記録再生装置の原理及び実施例に
ついて説明する。図４、図５は請求項３記載の発明によ
る光情報記録再生装置の一実施例を説明するための構成
図で、図４は全体構成を示す側面図、図５は導波路素子
の平面図であり、図中４１は光源、４２はコリメートレ
ンズ、４４は対物レンズ、４５は光情報記録媒体（光デ
ィスク）、４３はプリズムカプラー、４６は高屈折率接
着層、４７は金属マスク層、４８はギャップ層、４９は
光導波路層、５０はバッファ層、５１は基板、５４は低
屈折率光導波路層、５２ａ，ｂ、５３ａ，ｂは光検出器
である。図４、図５において、光源４１からの出射光は
コリメートレンズ４２により集束され、プリズムカプラ
４３に入射し、プリズムカプラ４３の底面からの反射光
が対物レンズ４４を通って光情報記録媒体４５に集光
し、その反射戻り光が再び対物レンズ４４を通ってプリ
ズムカプラ４３に再び入射し、光導波路層４９にカップ
リングして導波光となる。

【００２０】また、光導波路層４９を伝搬している時の
伝搬定数β_Aよりも伝搬定数が小さくなるように光導波
路層４９よりも低屈折率の光導波路層５４（伝搬定数β
_B（＜β_A））が形成されている導波路Ｂ領域が２つ、図
５に示すように導波光の中心光線に対して対称な位置に
構成されており、導波光の両端（外側）の光はそれぞれ
導波路Ｂ領域に入射する。この時、図４に示すように光
導波路層４９と低屈折率光導波路層５４の結合部は光源
の波長に対して十分に緩いテーパ状に膜厚が変化してい
るテーパ状結合部となっており、光源４１からの光が光
情報記録媒体４５上に合焦状態で入射している時、導波
光が平行光線として導波路Ｂ領域に臨界角arcsin（β_B
／β_A）で入射するように設定する。

【００２１】すると光情報記録媒体４５が対物レンズ４
４の焦点位置より遠ざかった場合、反射戻り光は合焦時
に比べてやや収束ぎみの光束となり、導波光の両端の光
束はそれぞれ臨界角arcsin（β_B／β_A）よりも小さい入
射角度で導波路Ｂ領域に入射するため、テーパ状結合部
において屈折し、光検出器５３ａ，５３ｂで検出され
る。逆に光情報記録媒体４５が対物レンズ４４の焦点位
置より近づいた場合、反射戻り光は合焦時に比べてやや
発散ぎみの光束となり、導波光の両端の光束は、それぞ
れ臨界角arcsin（β_B／β_A）よりも大きい入射角度で導
波路Ｂ領域に入射するため、テーパ結合部で全反射し光
検出器５２ａ，５２ｂで検出される。

【００２２】そこで、光検出器５２ａ，５３ａ，５３
ｂ，５２ｂの各出力をＰ₁，Ｐ₂，Ｐ₃，Ｐ₄ とし、焦点
位置誤差信号(フォーカスエラー信号)ΔＦを、 ΔＦ＝(Ｐ₁＋Ｐ₄)−(Ｐ₂＋Ｐ_３）とすると、非常に感度の高い焦点位置誤差信号が得られ
る。また、このような構成にすると、トラッキング誤差
信号ΔＴは、プッシュプル法により、 ΔＴ＝（Ｐ₁＋Ｐ₂)−(Ｐ₃＋Ｐ₄) とすることによって得ることができるが、必ずしもトラ
ッキング信号はプッシュプル法で得る必要はない。ま
た、トラッキング誤差信号ΔＴが不用であれば、図５の
導波路Ｂ領域は１つでよく、光検出器も５２ａ，５３ａ
及び５２ｂ，５３ｂの組はどちらか１組でよく、この場
合のフォーカスエラー信号ΔＦは、ΔＦ＝Ｐ₁−Ｐ₂、あ
るいはΔＦ＝Ｐ₃−Ｐ₄で検出できる。

【００２３】ここで、プリズムカプラー４３は、グレー
ティングカプラーや端面入射法などの他のカップリング
法でもよく、また、光情報記録媒体４５からの反射戻り
光を効率よく光導波路４９にカップリングさせるための
ギャップ層４８、金属マスク層４７、高屈折率接着層４
６は必ずしも本発明に必要な要件ではなく、その他の構
成でも実施することができる。また、断面の膜構成も必
ずしも図４の構成である必要はなく、伝搬定数の高い導
波路と伝搬定数の低い導波路がテーパ状結合部で結合さ
れており、伝搬定数の高い導波路側から伝搬定数の低い
導波路の方へ、入射角度が臨界角近傍で入射するような
構成になっていればよい。また、導波光の中心光線に対
して対称な位置に構成された２つの導波路領域Ｂの間
は、図５のように必ずしも開けておく必要はない。但し
導波光の外側の光束の方が、光情報記録媒体４５への焦
点の位置が変動した時の角度の振れ幅が大きいので、な
るべく外側の光を用いた方が感度のよいフォーカス信号
が得られる。

【００２４】具体的な実施例としては、図４、図５にお
いてＳｉ基板上にＳｉＯ₂ をバッファ層として形成し、
その上に光導波路層４９としてＳｉＮ膜（屈折率１．８
５０、膜厚０．３μｍ）を形成し、導波路Ｂ領域の部分
をウェットエッチングで除去後、低屈折率導波路５４と
してＳｉＯＮ膜（屈折率１．５２０、膜厚１．５μｍ）
を形成した。光源には波長７８８ｎｍの半導体レーザを
使い、ＴＥ₀ モードをカップリングさせる構成にした。
導波路領域Ｂとその周りの導波路領域での等価屈折率は
それぞれ１．６７７０、１．５０５７であるので、臨界
角が６３．８８°となり、図５のθ_a は、 θ_a＝９０°−６３．８８°＝２６．１２° とした。光検出器は、それぞれの導波路領域Ｂのテーパ
状結合部での反射光と屈折光が検出できるように４つ形
成し、前述の方式で感度のよい焦点誤差信号とトラッキ
ング信号を得た。

【００２５】［実施例４］次に、光導波路のテーパ状結
合部における臨界角を利用した、請求項４記載の発明に
よる光情報記録再生装置の原理及び実施例について説明
する。図６、図７は請求項４記載の発明による光情報記
録再生装置の一実施例を説明するための構成図で、図６
は全体構成を示す側面図、図７は導波路素子の平面図で
あり、図中６１は光源、６２はコリメートレンズ、６３
はハーフミラー（あるいは偏光ビームスプリッタでもよ
い）、６４は対物レンズ、６５は光情報記録媒体（光デ
ィスク）、６６はプリズムカプラー、６７は高屈折率接
着層、６８はギャップ層、６９は光導波路層、７０はバ
ッファ層、７１は基板、７２は高屈折率光導波路層、７
３ａ，ｂ、７４ａ，ｂは光検出器である。図６、図７に
おいて、光源６１からの出射光はコリメートレンズ６２
により収束され、ハーフミラー６３を通って、対物レン
ズ６４により光情報記録媒体６５上に集光する。この光
情報記録媒体６５からの反射戻り光は、対物レンズ６４
により再び収束されてハーフミラー６３により反射さ
れ、プリズムカプラー６６に入射する。

【００２６】光導波路層６９にカップリングして導波光
となった光束は、一旦高屈折率導波路層７２に結合し、
高屈折率光導波路層７２と光導波路層６９の結合部（テ
ーパ状結合部）に入射する構成としている。そして、こ
のテーパ状結合部に導波光の両端（外側）の光束がそれ
ぞれ入射するように図７のようにテーパ状結合部を２つ
設置する。この時、２つのテーパ状結合部は平行な位置
関係になっており、光情報記録媒体６５に合焦状態で光
が入射している時、導波光が平行光線となって上記テー
パ状結合部に臨界角で入射するような構成となってい
る。すると光検出器７３ｂ，７４ｂ，７３ａ，７４ａの
各出力をＰ₁，Ｐ₂，Ｐ₃，Ｐ₄ とし、焦点誤差信号(フォ
ーカスエラー信号)ΔＦを、 ΔＦ＝(Ｐ₁＋Ｐ₄)−(Ｐ₂＋Ｐ₃) とすることによって、非常に感度の高い焦点誤差信号が
得られる。また、トラッキング信号ΔＴを、 ΔＴ＝(Ｐ₁＋Ｐ₂)−(Ｐ₃＋Ｐ₄) とすれば、プッシュプル法によるトラッキング信号が得
られる。

【００２７】尚、本実施例におけるプリズムカプラーも
グレーティングカプラーや端面入射法などの他のカップ
リング法でもよく、光情報記録媒体６５からの反射戻り
光を効率良く光導波路層６９にカップリングさせるため
のギャップ層６８、高屈折率接着層６６も本発明に必ず
しも必須の要件ではなく他の構成でもよい。また、断面
の膜構成も必ずしも図６の構成である必要はない。但
し、プリズムカプラーを使って光導波路にカップリング
させるような構成の場合には、本実施例のように最初に
低い屈折率の導波路に上記反射戻り光をカップリングさ
せて、次に高い屈折率の導波路に結合させて、再び低い
導波路とのテーパ結合部に導波光を導波させて、前述の
臨界角を利用した方法で焦点誤差信号、トラッキング信
号を得るという構成にすると、プリズムカプラーの屈折
率が低くてもよいので（光導波路の屈折率よりも高けれ
ばよい）、安価なプリズムを使えるなどの効果がある。

【００２８】次に、より具体的な例で本発明の効果を説
明する。図６、図７において、Ｓｉ基板７１上にＳｉＯ
₂ 膜をバッファ層７０として形成し、最初に高屈折率光
導波路層７２としてＳｉＮ膜を形成し、フォトリソグラ
フィとウェットエッチングによってＳｉＮ膜を図７のよ
うな形状にパターンニングし、その後、光導波路層６９
としてＳｉＯＮ膜を蒸着し、ギャップ層６８としてＳｉ
Ｏ₂ 膜を蒸着した。尚、入射光源６１には、波長７８８
ｎｍの半導体レーザを用いた。ところで、設計値は、Ｓ
ｉＮ膜が屈折率１．８５０、膜厚０．３０μｍ、ＳｉＯ
Ｎ膜が屈折率１．５２、膜厚１．５０μｍ、ＳｉＯ₂ 膜
が屈折率１．４５、膜厚１．０μｍであったので、ＴＥ
₀ モードのＳｉＮ導波路層領域での等価屈折率とＳｉＯ
Ｎ導波路層領域での等価屈折率は、それぞれ１．７０５
０、１．５０８０であるので、図７の平行光線がテーパ
状結合部へ入射する時の角度θ_a は、 θ_a＝９０°−arcsin(１．５０８０／１．７０５０）≒２７．８２° で設計し、作製した。

【００２９】ところが、実際にはウェットエッチングの
際にＳｉＮ膜をオーバーエッチングしてしまい、ＳｉＮ
膜の膜厚が０．０１Å少なくなってしまったため、Ｓｉ
Ｎ導波路層領域での等価屈折率が１．６９９８となって
しまった。従って、実際の臨界角θ_c は、 θ_c＝arcsin(１．５０８０／１．６９９８）≒６２．５２° となり、実際のデバイスで平行光線がテーパ状結合部へ
入射する時の入射角度、９０°−θ_a＝６２．１８° より０．３４°大きくなってしまった。

【００３０】このように、実際に請求項３、４の発明を
実現させるための光導波路を作製する場合には、成膜時
や加工プロセスの際に設計値との誤差が生じ、作製され
たデバイスの平行光線のテーパ結合部への入射角度と、
実際の膜の臨界角にずれが生じる場合がある。このよう
な時に、図４、図５に示した請求項３の実施例のように
２つのテーパ状結合部が中心光線に対して対称な位置に
配置されている場合には補正することができないが、本
実施例のように、２つのテーパ状結合部が平行な位置に
配置されている場合には、例えば図７にψ_c で示したよ
うな向きに反射戻り光のプリズムカプラーへの入射角度
を０．３４°ずらしてやると、臨界角の補正ができる。
このように、本実施例は、デバイスを作製した後、入射
角度補正をすることができるという効果がある。

【００３１】［実施例５］次に、前述の光導波路のテー
パ状結合部における臨界角を利用した焦点誤差検出の原
理を光磁気信号検出装置と組み合わせた、請求項５記載
の発明による光磁気情報記録再生装置の原理及び実施例
について説明する。図８は請求項５記載の発明による光
磁気情報記録再生装置の一実施例を説明するための構成
図で、導波路素子の平面図である。尚、導波路の膜構成
や光源等の素子は前述の実施例４と同じとするが、これ
は必ずしも同じである必要はない。図８においては、図
７で焦点誤差信号検出に用いた２つの（平行な位置関係
にある）テーパ状結合部は、導波光の両端（外側）の光
が入射するように配置し、導波光の中心付近の光が入射
する３つめのテーパ状結合部をＴＥ−ＴＭモード分離部
として構成した。

【００３２】以下、具体的な実施例で本発明の原理を説
明する。Ｓｉ基板上にＳｉＯ₂ 膜をバッファ層として形
成し、最初に高屈折率光導波路層としてＳｉＮ膜を形成
して、フォトリソグラフィとウェットエッチングにより
ＳｉＮ膜を図８のような形状にパターンニングし、その
後、光導波路層としてＳｉＯＮ膜を蒸着し、さらにギャ
ップ層としてＳｉＯ₂ 膜を蒸着した。尚、ＳｉＮ膜の屈
折率は１．８５０、膜厚は０．３０μｍ、ＳｉＯＮ膜の
屈折率は１．５２、膜厚は１．５０μｍ、ＳｉＯ₂ 膜の
屈折率は１．４５、膜厚は１．０μｍであった。またＴ
Ｅ₀ モードとＴＭ₀ モードのＳｉＮ導波路層領域での等
価屈折率と、ＳｉＯＮ導波路層領域での等価屈折率は、
それぞれ次のようになった。尚、入射光源は波長７８８
ｎｍの半導体レーザを用いた。ＳｉＮ領域ＳｉＯＮ領域臨界角ＴＥ₀モード１．７０５０１．５０８０６２．１８° ＴＭ₀モード１．６６５７１．５０７５６４．８３°

【００３３】図８に示す左右のテーパ状結合部は、平行
な導波光がＴＥ₀ モードの臨界角で入射するように、 θ_a1＝θ_a3＝９０°−arcsin(１．５０８０／１．７０
５０）≒２７．８２° として、真中のＴＥ−ＴＭモード分離部は、ＴＥ₀モー
ドは臨界角よりも大きい入射角度でテーパ状結合部に入
射し、ＴＭ₀モードは臨界角よりも小さい入射角度でテ
ーパ状結合部に入射するように、θ_a2＝２６．５０°に
設定されている。尚、これは必ずしもこの角度でなくて
もよく、θ_a2が、９０°−arcsin(１．５０７５／１．６６５７)＜θ_a2 θ_a2＜９０°−arcsin(１．５０８０／１．７０５０）の範囲、すなわち、２５．１７°＜θ_a2＜２７．８２° の間に設定されていれば、ＴＥ₀モードはテーパ状結合
部において全反射し、光検出器８２ａで検出され、ＴＭ
₀モードはテーパ状結合部において屈折し、光検出器８
２ｂで検出される。

【００３４】ここで光磁気情報記録媒体に記録された光
磁気記録信号を読み取るためには、光磁気情報記録媒体
からの反射戻り光の直交する２つの偏光成分の強度比を
検出しなくてはならないので、前記２つの偏光成分を光
導波路のＴＥモード、ＴＭモードとして光導波路にカッ
プリングさせた後、２つのモードを分離して検出し、差
信号を取ればよい。従って、本実施例の光検出器８２ａ
と８２ｂの出力の差信号を取れば、光磁気信号が得られ
る。また、光検出器８３ｂ，８３ａ，８１ｂ，８１ａの
出力をそれぞれＰ₁，Ｐ₂，Ｐ₃，Ｐ₄ とし、焦点誤差信
号(フォーカスエラー信号)ΔＦを、 ΔＦ＝(Ｐ₁＋Ｐ₄)−(Ｐ₂＋Ｐ₃) とすることによって、焦点誤差信号が得られる。尚、本
発明においては焦点誤差信号を得るためにＴＥ₀ モード
を使ったが、これはＴＭ₀ モードでもかまわない。但し
通常の光導波路の場合には、ＴＥモードよりもＴＭモー
ドの方が伝搬損失が大きいので、ＴＥモードを用いた方
がよい。

【００３５】このように、本発明においては３つのテー
パ結合部を構成することによって、焦点誤差信号、光磁
気信号が得られるようになる。但し、前述のように、導
波光の外側の光束の方が中心光線付近の光束に比べて焦
点位置が変動した時の角度の振れ幅が大きいので、焦点
誤差信号検出用には、導波光の両外側の光束を用い、光
磁気信号検出用には、導波光の中心光線付近の光束を用
いる方がよい。また、本実施例においては、焦点誤差信
号を得るための２つのテーパ状結合部の位置関係は請求
項４の場合と同様に平行としたが、これは、請求項３の
ように導波光の中心光線に対して対称な位置に構成され
ていてもよい。

【００３６】［実施例６］次に、請求項６記載の発明の
実施例について説明する。前述の実施例５において、フ
ォーカス信号を得るための２つのテーパ状結合部は、平
行な導波光がＴＥ₀ モードの臨界角で入射するように構
成されているが、ここにＴＭ₀ モードが入射した場合に
は、ＴＭ₀ モードの方が臨界角が大きいので、テーパ状
結合部を屈折して光検出器８３ｂ、８１ｂで検出されて
しまい、焦点誤差信号のノイズになってしまう可能性が
ある。この問題を解決するためには、図９に示すように
金属マスクなどの吸収性の薄膜９０を焦点誤差信号検出
用の導波光の両外側の光束上に装荷し、ＴＭ₀ モード
を、その吸収性薄膜９０で吸収させればよい。

【００３７】尚、この時、中心光線付近の導波光は、Ｔ
Ｅ₀ モードとＴＭ₀ モードを分離して光磁気信号検出に
用いるので、中心光線付近の導波光の光束上には、吸収
性薄膜を装荷しないようにしなくてはならない。また、
この時、吸収性薄膜は光導波路層の上に装荷されてされ
ていても、光導波路層の下にあってもかまわないが、な
るべくＴＭ₀ モードは吸収して、ＴＥ₀モードは吸収さ
れないような構成にしなくてはならないので、光導波路
層と吸収性薄膜の間には、透明で光導波路層よりも屈折
率の低い層が存在した方がよい。また、本実施例におい
ては、図９に示すように、焦点誤差信号を得るための２
つのテーパ状結合部の位置関係は平行であるが、反射面
８４を使って光検出器８３ａ，８３ｂに至る光束の光路
を曲げ、図８に示した実施例の構成にするよりも素子全
体の長さが短くできるようにした。

【００３８】

【発明の効果】以上、実施例に基づいて説明したよう
に、請求項１記載の発明によれば、従来の非点収差法を
用いて光情報記録媒体からの焦点誤差信号を検出する焦
点誤差信号検出装置に比べて装置をコンパクトにでき、
且つ、バルク型光学素子を用いた臨界角法（ＴＡＯＨＳ
法）に比べて非常に感度の高い焦点誤差信号を得ること
ができる。また、請求項２記載の発明によれば、請求項
１記載の焦点誤差検出装置よりも更に高感度の焦点誤差
信号を得ることができる。

【００３９】請求項３記載の発明による光情報記録再生
装置では、請求項１の発明と同様に非常に感度の高い焦
点誤差信号を得ることができ、更にトラッキング信号も
同時に得ることができる。また、請求項４記載の発明に
よる光情報記録再生装置は、請求項３と同様に感度の高
い焦点誤差信号を得ることができ、更にトラッキング信
号を同時に得ることができると共に入射角度補正をする
ことができるという効果がある。

【００４０】請求項５記載の発明による光磁気情報記録
再生装置は、非常に感度の高い焦点誤差信号、トラッキ
ング信号を得ることができると同時に、光磁気信号も検
出することができる。また、請求項６記載の発明による
光磁気情報記録再生装置においては、請求項５と同様に
焦点誤差信号、トラッキング信号、及び光磁気信号を同
時に得ることができ、更に請求項５の装置に比べて良好
なＳ／Ｎ比を持つ焦点誤差信号が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１記載の発明の説明図であって、（ａ）
は焦点誤差信号検出装置の要部平面図、（ｂ），
（ｃ），（ｄ）はテーパ状結合部の膜構成がそれぞれ異
なる焦点誤差信号検出装置の要部断面図である。

【図２】図１に示す焦点誤差信号検出装置のテーパ状結
合部における導波光の入射角度と反射率の関係を示すグ
ラフである。

【図３】請求項２記載の発明の一実施例を示す焦点誤差
信号検出装置の要部平面図である。

【図４】請求項３記載の発明の一実施例を示す光情報記
録再生装置の側面図である。

【図５】同上光情報記録再生装置の信号検出部を構成す
る導波路素子の平面図である。

【図６】請求項４記載の発明の一実施例を示す光情報記
録再生装置の側面図である。

【図７】同上光情報記録再生装置の信号検出部を構成す
る導波路素子の平面図である。

【図８】請求項５記載の発明の一実施例を示す図であっ
て、光磁気情報記録再生装置の信号検出部を構成する導
波路素子の平面図である。

【図９】請求項６記載の発明の一実施例を示す図であっ
て、光磁気情報記録再生装置の信号検出部を構成する導
波路素子の平面図である。

【図１０】従来のバルク型光学素子を用いた臨界角法に
よる焦点誤差信号検出方法の説明図である。

【図１１】図１０における検出プリズムの屈折率が１．
５０の場合のＰ偏光及びＳ偏光の入射角度に対する反射
強度の変化を示すグラフである。

【図１２】光導波路Ａと光導波路Ｂとをテーパ状結合部
で結合してなる二次元光学系の原理説明図である。

【符号の説明】

１１，１２・・・光検出器１３・・・ＳｉＮ膜１４・・・ＳｉＯＮ膜１５・・・基板３１，３２・・・光検出器４１，６１・・・光源４２，６２・・・コリメートレンズ４３，６６・・・プリズムカプラー４４，６４・・・対物レンズ４５，６５・・・光情報記録媒体４６，６７・・・高屈折率接着層４７・・・金属マスク層４８，６８・・・ギャップ層４９，６９・・・光導波路層５０，７０・・・バッファ層５１，７１・・・基板、５２ａ，５２ｂ，５３ａ，５３ｂ・・・光検出器５４・・・低屈折率光導波路層６３・・・ハーフミラー７２・・・高屈折率光導波路層７３ａ，７３ｂ，７４ａ，７４ｂ・・・光検出器８１ａ，８１ｂ，８２ａ，８２ｂ，８３ａ，８３ｂ・・
・光検出器９０・・・吸収性薄膜Ａ・・・光導波路Ａ領域Ｂ・・・光導波路Ｂ領域

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平３−201225（ＪＰ，Ａ) 特開平４−17133（ＪＰ，Ａ) 特開平４−219657（ＪＰ，Ａ) 特開平４−319543（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 7/09 G11B 7/095 G11B 7/135 G11B 11/105 551 G11B 11/105 556

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】光導波路Ａと、光導波路Ｂと、光導波路Ａ
と光導波路Ｂを結合する導波層の膜厚がテーパ状に変化
しているテーパ状結合部からなり、光情報記録媒体から
の反射光を光導波路Ａ，Ｂにおける伝搬定数がそれぞれ
β_A，β_B（β_A＞β_B）である導波モードとして励振し、
前記導波モードを光導波路Ａから光導波路Ｂへ前記導波
モードの中心光線の臨界角（＝arcsin（β_B／β_A））付
近で入射させ、前記テーパ状結合部で反射した光の光量
分布の変化を、光導波路Ａに形成された光検出器によっ
て検出することにより前記光情報記録媒体からの焦点誤
差信号を得るように構成したことを特徴とする焦点誤差
信号検出装置。
【請求項２】光導波路Ａと、光導波路Ｂと、光導波路Ａ
と光導波路Ｂを結合する導波層の膜厚がテーパ状に変化
しているテーパ状結合部からなり、光情報記録媒体から
の反射光を光導波路Ａ，Ｂにおける伝搬定数がそれぞれ
β_A，β_B（β_A＞β_B）である導波モードとして励振し、
前記導波モードを光導波路Ａから光導波路Ｂへ前記導波
モードの中心光線の臨界角（＝arcsin（β_B／β_A））付
近で入射させ、前記テーパ状結合部で反射した光を、再
び前記テーパ状結合部と同じ構成のテーパ状結合部に前
記臨界角と同じ臨界角付近で入射させることを少なくと
も１回以上行ない、最終のテーパ状結合部で反射した光
の光量分布の変化を、光導波路Ａに形成された光検出器
によって検出することにより前記光情報記録媒体からの
焦点誤差信号を得るように構成したことを特徴とする焦
点誤差信号検出装置。
【請求項３】光情報記録媒体からの反射光を光導波路に
導波モードとして導く光導波路カップリング部と、前記
光導波路における光導波路領域Ａと光導波路領域Ｂと該
光導波路領域ＡとＢを結合する導波層の膜厚がテーパ状
に変化しているテーパ状結合部と該テーパ状結合部で反
射した光と屈折（透過）した光をそれぞれ検出する光検
出器からなる焦点誤差信号検出部からなり、前記光導波
路カップリング部でカップリングされた導波モード（光
導波路領域Ａ，Ｂにおける伝搬定数がそれぞれβ_A，β_B
でβ_A＞β_B）の両端（両外側）の光線が前記焦点誤差信
号検出部におけるテーパ状結合部に入射角度arcsin（β
_B／β_A）付近で入射するように焦点誤差信号検出部を二
つ前記導波モードの中心光線に対して線対称な位置に構
成し、前記二つの焦点誤差信号検出部における複数の光
検出器によって検出された信号によって、光情報記録媒
体からの焦点誤差信号を得ることを特徴とする光情報記
録再生装置。
【請求項４】光情報記録媒体からの反射光を光導波路に
導波モードとして導く光導波路カップリング部と、前記
光導波路における光導波路領域Ａと光導波路領域Ｂと該
光導波路領域ＡとＢを結合する導波層の膜厚がテーパ状
に変化しているテーパ状結合部と該テーパ状結合部で反
射した光と屈折（透過）した光をそれぞれ検出する光検
出器からなる焦点誤差信号検出部からなり、前記光導波
路カップリング部でカップリングされた導波モード（光
導波路領域Ａ，Ｂにおける伝搬定数がそれぞれβ_A，β_B
でβ_A＞β_B）の両端（両外側）の光線が前記焦点誤差信
号検出部におけるテーパ状結合部に入射角度arcsin（β
_B／β_A）付近で入射するように焦点誤差信号検出部を二
つ平行な位置に構成し、前記二つの焦点誤差信号検出部
における複数の光検出器によって検出された信号によっ
て光情報記録媒体からの焦点誤差信号を得ることを特徴
とする光情報記録再生装置。
【請求項５】光磁気情報記録媒体からの反射光を光導波
路に導波モードとして導く光導波路カップリング部と、
前記光導波路における光導波路領域Ａと光導波路領域Ｂ
と該光導波路領域ＡとＢを結合する導波層の膜厚がテー
パ状に変化しているテーパ状結合部と該テーパ状結合部
で反射した光と屈折（透過）した光をそれぞれ検出する
光検出器からなる焦点誤差信号検出部と、前記焦点誤差
信号検出部と同じ構成で前記導波モードに対する位置関
係が前記焦点誤差信号検出部と異なる光磁気信号検出部
からなり、前記光導波路カップリング部でカップリング
された導波モードの両端（両外側）の光束は、平行また
は前記導波モードの中心光線に対して線対称な位置に構
成された二つの焦点誤差信号検出部に導かれ焦点誤差信
号を検出し、前記導波モードの中心光線付近の光束は光
磁気信号検出部に導かれ、前記光磁気信号検出部におけ
る光導波路領域Ａを導波するＴＥモードとＴＭモードを
前記光磁気信号検出部におけるテーパ状結合部において
反射及び透過（屈折）により分離して前記光磁気信号検
出部における複数の光検出器により検出し、該検出信号
の差動により光磁気信号を検出することを特徴とする光
磁気情報記録再生装置。
【請求項６】光磁気情報記録媒体からの反射光を光導波
路に導波モードとして導く光導波路カップリング部と、
前記光導波路における光導波路領域Ａと光導波路領域Ｂ
と該光導波路領域ＡとＢを結合する導波層の膜厚がテー
パ状に変化しているテーパ状結合部と該テーパ状結合部
で反射した光と屈折（透過）した光をそれぞれ検出する
光検出器からなる焦点誤差信号検出部と、該焦点誤差信
号検出部に導かれる導波光の光路上に装荷される吸収性
薄膜と、前記焦点誤差信号検出部と同じ構成で前記導波
モードに対する位置関係が前記焦点誤差信号検出部と異
なる光磁気信号検出部からなり、前記光導波路カップリ
ング部でカップリングされた導波モードの両端（両外
側）の光束は、前記吸収性薄膜によってＴＭモードが吸
収された後、二つの焦点誤差信号検出部に導かれ焦点誤
差信号を検出し、前記導波モードの中心光線付近の光束
は前記光磁気信号検出部に導かれ、前記光磁気信号検出
部における光導波路領域Ａを導波するＴＥモードとＴＭ
モードを前記光磁気信号検出部におけるテーパ状結合部
において反射及び透過（屈折）により分離して前記光磁
気信号検出部における複数の光検出器により検出し、該
検出信号の差動により光磁気信号を検出することを特徴
とする光磁気情報記録再生装置。