JP3139192B2 - Ｍｒセンサ装置 - Google Patents

Ｍｒセンサ装置

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JP3139192B2 JP05011280A JP1128093A JP3139192B2 JP 3139192 B2 JP3139192 B2 JP 3139192B2 JP 05011280 A JP05011280 A JP 05011280A JP 1128093 A JP1128093 A JP 1128093A JP 3139192 B2 JP3139192 B2 JP 3139192B2
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淳 飯島
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば工作機械等の位
置検出装置に使用して好適なＭＲセンサ（磁気抵抗効果
センサ）装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、等間隔に着磁して位置信号を付し
た磁気記録媒体に対向して配置されたＭＲセンサ装置を
磁気記録媒体に対して移動させて、その検出信号により
位置を検出する位置検出装置において、図４及び図５に
要部を示すように、ベースフィルム３０、導電パターン
３１、カバーフィルム３２からなるＦＰＣ（フレキシブ
ルプリントサーキット）３３の導電パターン３１が接合
部３４で接合されたＭＲセンサ３５の磁気記録媒体との
対向面に設けられた検出部３６のセンサパターン３８を
保護するために、センサパターン３８上に、酸化シリコ
ン（ＳｉＯ2 ）、チッ化シリコン（ＳｉＮ）や樹脂被膜
を、真空蒸着法等やコーティングにより厚さ数１０ミク
ロンで形成し、センサパターン３８の保護膜３７として
いた。
【０００３】このとき、ベースフィルム３０は厚さ２０
〜３０ミクロン、導電パターン３１は厚さ３０〜４０ミ
クロン、カバーフィルム３２は厚さ２０〜３０ミクロン
である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述したＭＲ
センサ装置では、ＭＲセンサ３５に通電した場合、ＭＲ
センサ３５の検出部３６の表面に形成されたセンサパタ
ーン３８が発熱して、図５に点線で示すように、温度分
布が検出部３６の表面上で一様にならず、これにより、
検出信号が乱れてしまうという不都合があった。本発明
はかかる点に鑑みてなされたもので、安定した検出信号
が得られるようなＭＲセンサ装置を提案しようとするも
のである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のＭＲセンサ装置
は例えば図１乃至図３に示す如く、位置信号を記録した
被検出手段１に対向して配置され、被検出手段１と相対
的移動をするＭＲセンサ装置であって、検出面において
検出部９を有し検出部９で検出された位置信号を出力す
るＭＲセンサ部２と、ＭＲセンサ部２の検出面上の端部
の接合部１３から検出部９と離隔する側へ延出して少な
くとも検出面と同一面上に配置される一端部を有し、Ｍ
Ｒセンサ部２から信号を取り出す信号線１２と、検出面
と同一面上に配置され、ＭＲセンサ部２のほぼ全面を被
覆する保護膜１５と、保護膜面と同一面上に配置され、
保護膜の上からＭＲセンサ部２の検出部９のほぼ全面を
被覆し、信号線１２とほぼ同等の導電材を有し、信号線
１２と同様に形成される熱交換膜１０と、信号線１２の
一端部及び熱交換膜１０と同一面上に配置され、保護膜
１５及び熱交換膜１０の上から信号線１２の少なくとも
一端部及びＭＲセンサ部２のほぼ全面を被覆する被覆膜
１１とからなるものである。
【０００６】また、本発明のＭＲセンサ装置は、保護膜
１５に熱交換膜１０を加えた厚さは、信号線１２の厚さ
に等しいものである。
【０００７】
【作用】上述せる本発明によれば、信号線１２とほぼ同
等の導電材を有する熱交換膜１０を設けたので、ＭＲセ
ンサ部２の検出部９で発熱したときに、熱交換膜１０の
内部で熱交換して、ＭＲセンサ部２の検出部９表面の温
度分布が一様になるため、安定した検出信号が得られ
る。
【０００８】また、本発明によれば、保護膜１５に熱交
換膜１０を加えた厚さが、信号線１２の厚さに等しいの
で、保護膜１５及び熱交換膜１０の上から信号線１２の
少くとも一端部及びＭＲセンサ部２のほぼ全面を被覆す
る被覆膜１１の表面が直線状になり、ＭＲセンサ部２の
検出面と被覆膜１１の表面とが平行になるので、ＭＲセ
ンサ部２と磁気記録媒体１との位置調整が容易になる。
【０００９】
【実施例】以下に、図１乃至図３を参照して本発明のＭ
Ｒセンサ装置の一実施例について詳細に説明する。図１
において、１は等間隔に着磁して位置信号を付した磁気
記録媒体、２は磁気記録媒体１に記録された位置信号を
検出するＭＲセンサである。３はＭＲセンサ２に取り付
けられ、ＭＲセンサ２により検出された位置信号をプリ
アンプ４に送出するＦＰＣである。
【００１０】５はケースであり、６はそのカバーであ
る。７は磁気記録媒体１の表面に付着したゴミを除去す
るためのワイパーであり、ケース５に設けられた穴８に
嵌合されている。ここで、ＭＲセンサ部の詳細な構成を
以下に説明する。図２は、ＭＲセンサ２の検出部９を覆
うように厚さ４０ミクロンの捨てパターン１０を設け、
ＦＰＣ３の表面を覆うベースフィルム１１を導電パター
ン１２とＭＲセンサ２との接合部１３からＭＲセンサ２
の全面まで延長したものである。
【００１１】この場合、図３に示すように、検出部９の
センサパターン１４を保護するために、センサパターン
１４上に、酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）、チッ化シリコン
（ＳｉＮ）や樹脂被膜を、真空蒸着法等やコーティング
により厚さ数１０ミクロンで形成し、センサパターン１
４の保護膜１５としていた。なお、ＦＰＣ３には、導電
パターン１２をベースフィルム１１とで挟むようにカバ
ーフィルム１６が設けられている。このとき、ベースフ
ィルム１１は厚さ２０〜３０ミクロン、導電パターン１
２は厚さ３０〜４０ミクロン、カバーフィルム１６は厚
さ２０〜３０ミクロンであるが、上述した構成をとれれ
ば、これよりも薄くてもよいことはいうまでもない。
【００１２】この発明のＭＲセンサ装置の一実施例は以
上のように構成され、以下のような作用をする。ＭＲセ
ンサ２が磁気記録媒体１に対向して移動することによ
り、ＭＲセンサ２は磁気記録媒体１に記録された位置信
号をＦＰＣ３を介してプリアンプ４に送出する。プリア
ンプ４で増幅された位置信号は不図示の表示装置に送ら
れる。
【００１３】図３に示すように、検出部９のセンサパタ
ーン１４を被覆する保護膜１５の上から捨てパターン１
０を設けたことにより、捨てパターン１０の内部の導電
材により熱交換が行われるため、センサパターン１５に
よる温度分布の状況は、検出部９の表面で一様になり、
この結果、安定した検出信号が得られる。
【００１４】本例によれば、熱交換膜１０を設けたの
で、ＭＲセンサ部２の検出部９で発熱したときに、熱交
換膜１０の内部で熱交換して、ＭＲセンサ部２の検出部
９全体の温度分布が一様になるため、安定した位置信号
の検出が出来る。
【００１５】また、上例によれば、保護膜１５に熱交換
膜１０を加えた厚さが、信号線１２の厚さに等しいの
で、保護膜１５及び熱交換膜１０の上から信号線１２の
少くとも一端部及びＭＲセンサ部２のほぼ全面を被覆す
る被覆膜１１の表面が直線状になり、ＭＲセンサ部２の
検出面と被覆膜１１の表面とが平行になるので、ＭＲセ
ンサ部２と磁気記録媒体１との位置調整が容易になる。
【００１６】尚、上述の実施例は本発明の一例であり、
本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取
り得ることは勿論である。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、保護膜の上からＭＲセ
ンサ部の検出部のほぼ全面を被覆し、信号線とほぼ同等
の導電材を有する熱交換膜を有するので、ＭＲセンサ部
の検出部全体で温度分布を一様にすることにより、安定
した位置検出をすることができ、また、熱交換膜を被覆
膜に対して信号線と同一面上に信号線と同様に形成して
いるので、取り扱い等の作業性を向上させることができ
る。また、本発明によれば、保護膜に熱交換膜を加えた
厚さが、信号線の厚さに等しいので、保護膜及び熱交換
膜の上から信号線の少なくとも一端部及びＭＲセンサ部
のほぼ全面を被覆する被覆膜の表面が直線状になり、Ｍ
Ｒセンサ部の検出面と被覆膜の表面とが平行になるの
で、ＭＲセンサ部と磁気記録媒体との位置調整が容易に
なる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＭＲセンサ装置の一実施例の図であ
る。
【図２】本発明のＭＲセンサ装置の一実施例の要部を示
す平面図及び側面図である。
【図３】本発明のＭＲセンサ装置の一実施例のさらに要
部を示す側面図である。
【図４】従来のＭＲセンサ装置の要部を示す平面図及び
側面図である。
【図５】従来のＭＲセンサ装置のさらに要部を示す側面
図である。
【符号の説明】
１ 磁気記録媒体 ２ ＭＲセンサ ３ ＦＰＣ ４ プリアンプ ５ ケース ６ カバー ７ ワイパー ８ 穴 ９ 検出部 １０ 捨てパターン １１ ベースフィルム １２ 導電パターン １３ 接合部 １４ センサパターン １５ 保護膜 １６ カバーフィルム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−285275（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01D 5/00 - 5/62 G01B 7/00 - 7/34 G01R 33/06

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 位置信号を記録した被検出手段に対向し
    て配置され、前記被検出手段と相対的移動をするＭＲセ
    ンサ装置であって、検出面において 検出部を有し前記検出部で検出された前
    記位置信号を出力するＭＲセンサ部と、前記ＭＲセンサ部の前記検出面上の端部の接合部から前
    記検出部と離隔する側へ延出して少なくとも前記検出面
    と同一面上に配置される一端部を有し、 前記ＭＲセンサ
    部から信号を取り出す信号線と、前記検出面と同一面上に配置され、 前記ＭＲセンサ部の
    ほぼ全面を被覆する保護膜と、前記保護膜面と同一面上に配置され、 前記保護膜の上か
    ら前記ＭＲセンサ部の前記検出部のほぼ全面を被覆し、
    前記信号線とほぼ同等の導電材を有し、前記信号線と同
    様に形成される熱交換膜と、前記信号線の一端部及び前記熱交換膜と同一面上に配置
    され、 前記保護膜及び前記熱交換膜の上から前記信号線
    の少なくとも一端部及び前記ＭＲセンサ部のほぼ全面を
    被覆する被覆膜とからなることを特徴とするＭＲセンサ
    装置。
  2. 【請求項２】 前記保護膜に前記熱交換膜を加えた厚さ
    は、前記信号線の厚さにほぼ等しいことを特徴とする請
    求項１記載のＭＲセンサ装置。
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