JP3138327B2 - 連続作動ガス分析装置 - Google Patents
連続作動ガス分析装置Info
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 16
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0011—Sample conditioning
- G01N33/0016—Sample conditioning by regulating a physical variable, e.g. pressure or temperature
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Description
【0001】本発明は、連続作動ガス分析装置に関する
もので、この連続作動ガス分析装置は次のものを含む: a)分析するガスの質量流量に依存する検出器、 b)この検出器の出力における吸込み装置、 c)上記検出器出力に連結され、かつ大気圧p0 に関連
し、上記検出器出力における上記吸込み装置により生じ
る真空p3 を一定に維持する真空調整回路、 d)測定するガスの管路内で、上記検出器よりも先に連
結される第1チョーク、 e)上記第1チョークおよび検出器の一連の装置に平行
に、バイパスとして連結される第2チョーク、 f)共通ガス入口よりも先に連結される第3チョーク、
および g)上記3個のチョークの共通連結点に連結され、かつ
大気圧p0 に関連し、上記共通連結点で優勢な圧力p2
を一定に維持する、別の真空調整回路。
もので、この連続作動ガス分析装置は次のものを含む: a)分析するガスの質量流量に依存する検出器、 b)この検出器の出力における吸込み装置、 c)上記検出器出力に連結され、かつ大気圧p0 に関連
し、上記検出器出力における上記吸込み装置により生じ
る真空p3 を一定に維持する真空調整回路、 d)測定するガスの管路内で、上記検出器よりも先に連
結される第1チョーク、 e)上記第1チョークおよび検出器の一連の装置に平行
に、バイパスとして連結される第2チョーク、 f)共通ガス入口よりも先に連結される第3チョーク、
および g)上記3個のチョークの共通連結点に連結され、かつ
大気圧p0 に関連し、上記共通連結点で優勢な圧力p2
を一定に維持する、別の真空調整回路。
【0002】真空下で作動し、かつ調整回路を備える、
この形式のガス分析装置は、DE2 932 436に
記載されている。しかし、測定精度に関して、さらに厳
しい要求が課せられるならば、真空調整は改良を要する
ことが立証された。従って、本発明の目的は、前記連続
作動ガス分析装置で行なわれる、真空調整の調整精度を
向上させることにある。この目的は、本発明に従い、上
記真空調整回路が、おのおの、圧電圧力センサー、PI
(比例・積分)−制御装置、および電空制御素子を含む
ことで達成される。上記圧電圧力センサーとPI−制御
装置および電空制御素子との組合せによって、上記装置
の再現性、温度依存性および長時間安定度を約10乗程
度まで改良することができる。
この形式のガス分析装置は、DE2 932 436に
記載されている。しかし、測定精度に関して、さらに厳
しい要求が課せられるならば、真空調整は改良を要する
ことが立証された。従って、本発明の目的は、前記連続
作動ガス分析装置で行なわれる、真空調整の調整精度を
向上させることにある。この目的は、本発明に従い、上
記真空調整回路が、おのおの、圧電圧力センサー、PI
(比例・積分)−制御装置、および電空制御素子を含む
ことで達成される。上記圧電圧力センサーとPI−制御
装置および電空制御素子との組合せによって、上記装置
の再現性、温度依存性および長時間安定度を約10乗程
度まで改良することができる。
【0003】本発明の次の好適実施例は、図面を参照し
ながら記載する。連続作動ガス分析装置における、上記
真空調整の基本構成および作動様式はDE 2 932
436に詳細に説明されている。この明細書について
特に言及する。同一または類似構成要素に対して、同一
の参照符号が用いられる。主な相違点は、真空調整が、
従来型の定差減圧弁を用いずに、独特の電子調整回路
6、14を用いて実施されるという事実にある。このよ
うな調整回路は、それぞれ、圧電圧力センサー18a、
18b、測定増幅器19a、19b、比例/積分すなわ
ちPI−制御装置20a、20b、および電空制御素子
21a、21bを含む。上記圧電圧力センサー18a、
18bの助けにより、真空は、おのおのの場合、流れに
無関係で、電気信号の形式で±0.01mbarの精度で検
出される。この信号は、上記測定増幅器19a、19b
で増幅後、上記PI−制御装置20a、20bに送られ
る。このPI−制御装置20a、20bの電気出力信号
は、電空制御素子21aおよび21bに直接作用を及ぼ
す。上記PI−制御装置20a、20bは、理論値/実
測値を比較し、これにより電空制御素子21a、21b
を制御する制御信号を生じる。この直接駆動の結果、無
ヒステリシス調整作用および±0.01mbarの調整精度
が得られる。独特な選択および上記調整回路素子の組合
せ、特に素子相互間の十分な整合によって、−10℃〜
+70℃の温度範囲において良好な長時間安定性が得ら
れる。それ以上の利点は、上記制御信号を経由して、す
なわち制御変数を呼び起こすことにより、測定するガス
の流れも、ポンプの効率も共に、測定するガス流内に、
付加センサーまたは流量計を装着する必要なくして監視
できることにある。記載された新規な真空調整装置はま
た、2個のセンサーがそれぞれ標準圧力として大気圧を
用い、すなわち両方が同一標準圧力を用いるので、上記
ガス分析測定装置は大気圧に無関係に作動することを保
証する。
ながら記載する。連続作動ガス分析装置における、上記
真空調整の基本構成および作動様式はDE 2 932
436に詳細に説明されている。この明細書について
特に言及する。同一または類似構成要素に対して、同一
の参照符号が用いられる。主な相違点は、真空調整が、
従来型の定差減圧弁を用いずに、独特の電子調整回路
6、14を用いて実施されるという事実にある。このよ
うな調整回路は、それぞれ、圧電圧力センサー18a、
18b、測定増幅器19a、19b、比例/積分すなわ
ちPI−制御装置20a、20b、および電空制御素子
21a、21bを含む。上記圧電圧力センサー18a、
18bの助けにより、真空は、おのおのの場合、流れに
無関係で、電気信号の形式で±0.01mbarの精度で検
出される。この信号は、上記測定増幅器19a、19b
で増幅後、上記PI−制御装置20a、20bに送られ
る。このPI−制御装置20a、20bの電気出力信号
は、電空制御素子21aおよび21bに直接作用を及ぼ
す。上記PI−制御装置20a、20bは、理論値/実
測値を比較し、これにより電空制御素子21a、21b
を制御する制御信号を生じる。この直接駆動の結果、無
ヒステリシス調整作用および±0.01mbarの調整精度
が得られる。独特な選択および上記調整回路素子の組合
せ、特に素子相互間の十分な整合によって、−10℃〜
+70℃の温度範囲において良好な長時間安定性が得ら
れる。それ以上の利点は、上記制御信号を経由して、す
なわち制御変数を呼び起こすことにより、測定するガス
の流れも、ポンプの効率も共に、測定するガス流内に、
付加センサーまたは流量計を装着する必要なくして監視
できることにある。記載された新規な真空調整装置はま
た、2個のセンサーがそれぞれ標準圧力として大気圧を
用い、すなわち両方が同一標準圧力を用いるので、上記
ガス分析測定装置は大気圧に無関係に作動することを保
証する。
【0004】上記圧電センサーおよび電空制御素子は市
販で入手できる部品である。
販で入手できる部品である。
【図1】 本発明のガス分析装置の基本構成を示す略示
図である。
図である。
1 第3チョーク 2 第1チョーク 3 検出器 4 吸込み装置 6 真空調整回路 11 第2チョーク 12、13 共通ガス入口 14 真空調整回路 18a、18b 圧電圧力センサー 20a、20b PI−制御装置 21a、21b 電空制御素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 33/00 B01D 53/30 G05D 16/20
Claims (1)
- 【請求項1】 連続作動ガス分析装置であって a)分析するガスの質量流量に依存する検出器(3)、 b)該検出器の出力における吸込み装置(4)、 c)上記検出器出力に連結され、かつ大気圧p0 に関連
し、上記検出器出力における上記吸込み装置(4)によ
り作られた真空p3 を一定に維持する真空調整回路
(6)、 d)測定するガスの管路内で、上記検出器(3)よりも
先に連結される第1チョーク(2)、 e)該第1チョーク(2)および検出器(3)の一連の
装置に平行に、バイパスとして連結される第2チョーク
(11)、 f)共通ガス入口(12、13)よりも先に連結される
第3チョーク(1)、および g)上記3個のチョーク(1、2、11)の共通連結点
に連結され、かつ大気圧p0 に関連し、上記共通連結点
で優勢な圧力p2 を一定に維持する、別の真空調整回路
(14)、 を含み、上記真空調整回路(6、14)が、それぞれ圧
電圧力センサー(18a、18b)、PI−制御装置
(20a、20b)および電空制御素子(21a、21
b)を含むことを特徴とする連続作動ガス分析装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4113695A DE4113695A1 (de) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | Kontinuierlich betriebener gasanalysator |
DE4113695.0 | 1991-04-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05180826A JPH05180826A (ja) | 1993-07-23 |
JP3138327B2 true JP3138327B2 (ja) | 2001-02-26 |
Family
ID=6430436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04129883A Expired - Fee Related JP3138327B2 (ja) | 1991-04-26 | 1992-04-24 | 連続作動ガス分析装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5245857A (ja) |
EP (1) | EP0510485B1 (ja) |
JP (1) | JP3138327B2 (ja) |
AT (1) | ATE154133T1 (ja) |
CA (1) | CA2066950A1 (ja) |
DE (2) | DE4113695A1 (ja) |
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---|---|---|---|---|
US5780717A (en) * | 1997-04-23 | 1998-07-14 | Lockheed Martin Energy Research Corporation | In-line real time air monitor |
FR2789189B1 (fr) | 1999-02-02 | 2002-12-13 | Air Liquide Sante France | Procede et installation de regulation d'une centrale de production de vide medical |
EP1192426A1 (en) * | 1999-07-12 | 2002-04-03 | Unit Instruments, Inc. | Pressure insensitive gas control system |
DE102009023224A1 (de) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | Avl Emission Test Systems Gmbh | Anordnung zur geregelten Zuführung und Förderung eines Gasgemisches in eine Analysekammer |
CN114345090A (zh) * | 2021-07-27 | 2022-04-15 | 赵朋飞 | 一种新型环保型工业废气净化装置 |
EP4231009A1 (de) * | 2022-02-21 | 2023-08-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Pneumatikmodul für eine gasanalysevorrichtung, und herstellungsverfahren und computerprogrammprodukt dafür |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU466494A1 (ru) * | 1972-12-21 | 1975-04-05 | Предприятие П/Я М-5539 | Устройство дл регулировани давлени в газодинамической установке |
US4257746A (en) * | 1978-10-02 | 1981-03-24 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Dosimeter having a low air flow rate |
US4269059A (en) * | 1979-03-19 | 1981-05-26 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Dosimeter having constant flow pump |
DE2932436C2 (de) * | 1979-08-10 | 1983-11-10 | Bayer Ag, 5090 Leverkusen | Massenstromabhängiger Gasanalysator mit Durchflußregelung im Unterdruckbetrieb |
US4379402A (en) * | 1981-01-22 | 1983-04-12 | Beckman Instruments, Inc. | Gas analysis instrument having flow rate compensation |
DE3114119A1 (de) * | 1981-04-08 | 1982-10-21 | Kernforschungsanlage Jülich GmbH, 5170 Jülich | Regelkreis zur regelung des druckes in vakuumanlagen |
US4579144A (en) * | 1983-03-04 | 1986-04-01 | Uti Instrument Company | Electron impact ion source for trace analysis |
DE3407552A1 (de) * | 1984-03-01 | 1985-09-05 | Bodenseewerk Perkin Elmer Co | Gasregeleinrichtung zur regelung der brenngas- und oxidanszufuhr zu einem brenner bei einem atomabsorptions-spektrometer |
DD236991A1 (de) * | 1985-05-03 | 1986-06-25 | Elektro App Werke Veb | Schaltungsanordnung fuer piezoresistive drucksensoren mit korrekturverhalten |
SU1490132A1 (ru) * | 1987-04-24 | 1989-06-30 | Днепропетровский химико-технологический институт им.Ф.Э.Дзержинского | Устройство автоматического регулировани подачи коксового газа потребителю |
DE3808982A1 (de) * | 1988-03-17 | 1989-10-05 | Ratfisch Instr | Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen messung der kohlenwasserstoff-konzentration in einem gasstrom |
DE3822360A1 (de) * | 1988-07-01 | 1990-01-04 | Kettrup Antonius | Gasprobennehmer |
DE3840322A1 (de) * | 1988-11-30 | 1990-05-31 | Hartmann & Braun Ag | Vorrichtung zur ueberwachung des gasstromes in einem gasanalysator und zur korrektur von druck- und durchflussbedingten stoereinfluessen auf dessen messsignal |
-
1991
- 1991-04-26 DE DE4113695A patent/DE4113695A1/de not_active Withdrawn
-
1992
- 1992-04-14 EP EP92106383A patent/EP0510485B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-04-14 AT AT92106383T patent/ATE154133T1/de not_active IP Right Cessation
- 1992-04-14 DE DE59208560T patent/DE59208560D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-04-16 US US07/869,688 patent/US5245857A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-04-23 CA CA002066950A patent/CA2066950A1/en not_active Abandoned
- 1992-04-24 JP JP04129883A patent/JP3138327B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05180826A (ja) | 1993-07-23 |
EP0510485A3 (en) | 1995-12-27 |
EP0510485A2 (de) | 1992-10-28 |
DE59208560D1 (de) | 1997-07-10 |
ATE154133T1 (de) | 1997-06-15 |
CA2066950A1 (en) | 1992-10-27 |
US5245857A (en) | 1993-09-21 |
EP0510485B1 (de) | 1997-06-04 |
DE4113695A1 (de) | 1992-10-29 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |