SU611114A2 - Измеритель потока разреженного газа - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике . Известен измеритель потока разреженного газа N«453575, основанный на модуп ции потока газа и содержащий корпус с размещенными в нем модулирующей заспонкой и манометрическим преобразователем и измерите пьный прибор. Это устройство позвоп ет с высокой точ ностью измер ть величину потока Q разре женного газа, но не позвол ет измер ть скорость откачки разреженного газа. Целью изобретени   вл етс  обеспечение возможности измерени  скорости откачк разреженного газа. Это достигаетс  тем, что предпагаемь1й измеритель снабжен логарифмирующим устрой ством, вход которрго подключен к манометрическому преобразователю, а выход через конденсатор - к измерительному прибору. На чертеже представлена принципиальна  схема описываемого устройства. В корпусе 1 устройства установлены I мод5л тор 2 потока (заслонка) и манометрический преобразователь 3. Цепь выходкого сигнала манометрического преобразовйтеп  3 соединена с погарифмирукхцим устройством 4, выход которого подключен к измерительному прибору 5, например вольтметру , через конденсатор 6, Выходной сигнал манометрического преобразовател  3,установленного в корпусе 1, состоит из двух составлупоших: посто нной, пропорциональной давлению Р в зоне измерени  скорости откачки: 1г Р ,(О и переменной, пропорциональнойпотоку разреженного газа: l.tQ,U1 где К и t - посто нные коэффициенты. Сигнал давлени  с выхода манометрического преобразовател  3 подаетс  на вход логарифмирующего устройства 4. Переменна , составл юща , выделенна  с выхода логарифмирующего устройства 4 конденсатором 6 и измеренна  прибором 5, пропорциональна скорости откачки разреженного газй в .сечении установки модул тора 2 потока. . Действительно,, при логарифмировании суммарного сигнала  меем: eKti.ti-v)e;,I..n,) Исход  из практических соображений, ц сообразно проводить частичную модул$щию потока, такую, чтобы коэффициент модул ции . , m.V i был не более-р 1. При выпопнении этого услови  откачки системы практически не снижаетс . Тогда логарифм второго слагаемого выражени  (3) может быт аппроксимирован: ( -На выходе погари4 ирующего устройств 4 имеем} е $ии«е-1..| Учитыва , что скорость откачки (6) то переменна  составп кща  пропорциональ на скорости откачки $ , . где G а - посто нный коэффициент. Измерительный прибор 5, контролирующий переменную составл ющую 14уна,выходе логарифмирующего устройства 4, обеспечит непрерывное измерение скорости откачки по линейной шкале. Формул аизобре тени  Измеритель потока разреженного газа по авт. свид. № 453575, от л и ч а ющ и и с   тем, что, с целью обеспечени  возможности измерени  скорости откачки разреженного газа, ои снабжен логарифмирую щим устройством, вх;од которого подключен к манометрическому преобразователю, а выход через конденсатор - к измерительному прибору. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе} 1. Авторское свидетельство №453575, кл. Q 01 F 1/34, 1972.

J

тмг

-Ih