JPH05180826A - 連続作動ガス分析装置 - Google Patents
連続作動ガス分析装置Info
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- JPH05180826A JPH05180826A JP4129883A JP12988392A JPH05180826A JP H05180826 A JPH05180826 A JP H05180826A JP 4129883 A JP4129883 A JP 4129883A JP 12988392 A JP12988392 A JP 12988392A JP H05180826 A JPH05180826 A JP H05180826A
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- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 abstract 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000763 evoking effect Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
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- G01N33/0016—Sample conditioning by regulating a physical variable, e.g. pressure or temperature
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 連続作動ガス分析装置で行なわれる真空調整
精度の向上にある。 【構成】 ガス分析装置は、質量流量に依存する検出器
（３）および検出器出力における吸込み装置（４）を含
む。検出器出力は、大気圧に関連し上記吸込み装置
（４）で生じる真空を一定に維持する真空調整回路
（６）に連結される。測定ガスの管路に、検出器（３）
よりも先にチョーク（２）がある。第２チョーク（１
１）は、チョーク（２）と検出器（３）の一連の装置と
平行に、バイパスとして連結される。第３のチョーク
（１）が共通ガス入口（１２、１３）よりも先に連結さ
れる。別の真空調整回路（１４）は、上記３個のチョー
ク（１、２、１１）の共通連結点に連結され、上記連結
点で大気圧よりも優勢な圧力が一定に維持される。上記
真空調整回路（６、１４）は、それぞれ圧電圧力センサ
ー（１８ａ、１８ｂ）、ＰＩ−制御装置（２０ａ、２０
ｂ）および電空制御素子（２１ａ、２１ｂ）を含む。
精度の向上にある。 【構成】 ガス分析装置は、質量流量に依存する検出器
（３）および検出器出力における吸込み装置（４）を含
む。検出器出力は、大気圧に関連し上記吸込み装置
（４）で生じる真空を一定に維持する真空調整回路
（６）に連結される。測定ガスの管路に、検出器（３）
よりも先にチョーク（２）がある。第２チョーク（１
１）は、チョーク（２）と検出器（３）の一連の装置と
平行に、バイパスとして連結される。第３のチョーク
（１）が共通ガス入口（１２、１３）よりも先に連結さ
れる。別の真空調整回路（１４）は、上記３個のチョー
ク（１、２、１１）の共通連結点に連結され、上記連結
点で大気圧よりも優勢な圧力が一定に維持される。上記
真空調整回路（６、１４）は、それぞれ圧電圧力センサ
ー（１８ａ、１８ｂ）、ＰＩ−制御装置（２０ａ、２０
ｂ）および電空制御素子（２１ａ、２１ｂ）を含む。
Description
【０００１】本発明は、連続作動ガス分析装置に関する
もので、この連続作動ガス分析装置は次のものを含む： ａ）分析するガスの質量流量に依存する検出器、 ｂ）この検出器の出力における吸込み装置、 ｃ）上記検出器出力に連結され、かつ大気圧ｐ0 に関連
し、上記検出器出力における上記吸込み装置により生じ
る真空ｐ3 を一定に維持する真空調整回路、 ｄ）測定するガスの管路内で、上記検出器よりも先に連
結される第１チョーク、 ｅ）上記第１チョークおよび検出器の一連の装置に平行
に、バイパスとして連結される第２チョーク、 ｆ）共通ガス入口よりも先に連結される第３チョーク、
および ｇ）上記３個のチョークの共通連結点に連結され、かつ
大気圧ｐ0 に関連し、上記共通連結点で優勢な圧力ｐ2
を一定に維持する、別の真空調整回路。
もので、この連続作動ガス分析装置は次のものを含む： ａ）分析するガスの質量流量に依存する検出器、 ｂ）この検出器の出力における吸込み装置、 ｃ）上記検出器出力に連結され、かつ大気圧ｐ0 に関連
し、上記検出器出力における上記吸込み装置により生じ
る真空ｐ3 を一定に維持する真空調整回路、 ｄ）測定するガスの管路内で、上記検出器よりも先に連
結される第１チョーク、 ｅ）上記第１チョークおよび検出器の一連の装置に平行
に、バイパスとして連結される第２チョーク、 ｆ）共通ガス入口よりも先に連結される第３チョーク、
および ｇ）上記３個のチョークの共通連結点に連結され、かつ
大気圧ｐ0 に関連し、上記共通連結点で優勢な圧力ｐ2
を一定に維持する、別の真空調整回路。
【０００２】真空下で作動し、かつ調整回路を備える、
この形式のガス分析装置は、ＤＥ２ ９３２ ４３６に
記載されている。しかし、測定精度に関して、さらに厳
しい要求が課せられるならば、真空調整は改良を要する
ことが立証された。従って、本発明の目的は、前記連続
作動ガス分析装置で行なわれる、真空調整の調整精度を
向上させることにある。この目的は、本発明に従い、上
記真空調整回路が、おのおの、圧電圧力センサー、ＰＩ
（比例・積分）−制御装置、および電空制御素子を含む
ことで達成される。上記圧電圧力センサーとＰＩ−制御
装置および電空制御素子との組合せによって、上記装置
の再現性、温度依存性および長時間安定度を約１０乗程
度まで改良することができる。
この形式のガス分析装置は、ＤＥ２ ９３２ ４３６に
記載されている。しかし、測定精度に関して、さらに厳
しい要求が課せられるならば、真空調整は改良を要する
ことが立証された。従って、本発明の目的は、前記連続
作動ガス分析装置で行なわれる、真空調整の調整精度を
向上させることにある。この目的は、本発明に従い、上
記真空調整回路が、おのおの、圧電圧力センサー、ＰＩ
（比例・積分）−制御装置、および電空制御素子を含む
ことで達成される。上記圧電圧力センサーとＰＩ−制御
装置および電空制御素子との組合せによって、上記装置
の再現性、温度依存性および長時間安定度を約１０乗程
度まで改良することができる。
【０００３】本発明の次の好適実施例は、図面を参照し
ながら記載する。連続作動ガス分析装置における、上記
真空調整の基本構成および作動様式はＤＥ ２ ９３２
４３６に詳細に説明されている。この明細書について
特に言及する。同一または類似構成要素に対して、同一
の参照符号が用いられる。主な相違点は、真空調整が、
従来型の定差減圧弁を用いずに、独特の電子調整回路
６、１４を用いて実施されるという事実にある。このよ
うな調整回路は、それぞれ、圧電圧力センサー１８ａ、
１８ｂ、測定増幅器１９ａ、１９ｂ、比例／積分すなわ
ちＰＩ−制御装置２０ａ、２０ｂ、および電空制御素子
２１ａ、２１ｂを含む。上記圧電圧力センサー１８ａ、
１８ｂの助けにより、真空は、おのおのの場合、流れに
無関係で、電気信号の形式で±０．０１mbarの精度で検
出される。この信号は、上記測定増幅器１９ａ、１９ｂ
で増幅後、上記ＰＩ−制御装置２０ａ、２０ｂに送られ
る。このＰＩ−制御装置２０ａ、２０ｂの電気出力信号
は、電空制御素子２１ａおよび２１ｂに直接作用を及ぼ
す。上記ＰＩ−制御装置２０ａ、２０ｂは、理論値／実
測値を比較し、これにより電空制御素子２１ａ、２１ｂ
を制御する制御信号を生じる。この直接駆動の結果、無
ヒステリシス調整作用および±０．０１mbarの調整精度
が得られる。独特な選択および上記調整回路素子の組合
せ、特に素子相互間の十分な整合によって、−１０℃〜
＋７０℃の温度範囲において良好な長時間安定性が得ら
れる。それ以上の利点は、上記制御信号を経由して、す
なわち制御変数を呼び起こすことにより、測定するガス
の流れも、ポンプの効率も共に、測定するガス流内に、
付加センサーまたは流量計を装着する必要なくして監視
できることにある。記載された新規な真空調整装置はま
た、２個のセンサーがそれぞれ標準圧力として大気圧を
用い、すなわち両方が同一標準圧力を用いるので、上記
ガス分析測定装置は大気圧に無関係に作動することを保
証する。
ながら記載する。連続作動ガス分析装置における、上記
真空調整の基本構成および作動様式はＤＥ ２ ９３２
４３６に詳細に説明されている。この明細書について
特に言及する。同一または類似構成要素に対して、同一
の参照符号が用いられる。主な相違点は、真空調整が、
従来型の定差減圧弁を用いずに、独特の電子調整回路
６、１４を用いて実施されるという事実にある。このよ
うな調整回路は、それぞれ、圧電圧力センサー１８ａ、
１８ｂ、測定増幅器１９ａ、１９ｂ、比例／積分すなわ
ちＰＩ−制御装置２０ａ、２０ｂ、および電空制御素子
２１ａ、２１ｂを含む。上記圧電圧力センサー１８ａ、
１８ｂの助けにより、真空は、おのおのの場合、流れに
無関係で、電気信号の形式で±０．０１mbarの精度で検
出される。この信号は、上記測定増幅器１９ａ、１９ｂ
で増幅後、上記ＰＩ−制御装置２０ａ、２０ｂに送られ
る。このＰＩ−制御装置２０ａ、２０ｂの電気出力信号
は、電空制御素子２１ａおよび２１ｂに直接作用を及ぼ
す。上記ＰＩ−制御装置２０ａ、２０ｂは、理論値／実
測値を比較し、これにより電空制御素子２１ａ、２１ｂ
を制御する制御信号を生じる。この直接駆動の結果、無
ヒステリシス調整作用および±０．０１mbarの調整精度
が得られる。独特な選択および上記調整回路素子の組合
せ、特に素子相互間の十分な整合によって、−１０℃〜
＋７０℃の温度範囲において良好な長時間安定性が得ら
れる。それ以上の利点は、上記制御信号を経由して、す
なわち制御変数を呼び起こすことにより、測定するガス
の流れも、ポンプの効率も共に、測定するガス流内に、
付加センサーまたは流量計を装着する必要なくして監視
できることにある。記載された新規な真空調整装置はま
た、２個のセンサーがそれぞれ標準圧力として大気圧を
用い、すなわち両方が同一標準圧力を用いるので、上記
ガス分析測定装置は大気圧に無関係に作動することを保
証する。
【０００４】上記圧電センサーおよび電空制御素子は市
販で入手できる部品である。
販で入手できる部品である。
【図１】 本発明のガス分析装置の基本構成を示す略示
図である。
図である。
１ 第３チョーク ２ 第１チョーク ３ 検出器 ４ 吸込み装置 ６ 真空調整回路 １１ 第２チョーク １２、１３ 共通ガス入口 １４ 真空調整回路 １８ａ、１８ｂ 圧電圧力センサー ２０ａ、２０ｂ ＰＩ−制御装置 ２１ａ、２１ｂ 電空制御素子
Claims (1)
- 【請求項１】 連続作動ガス分析装置であって ａ）分析するガスの質量流量に依存する検出器（３）、 ｂ）該検出器の出力における吸込み装置（４）、 ｃ）上記検出器出力に連結され、かつ大気圧ｐ0 に関連
し、上記検出器出力における上記吸込み装置（４）によ
り作られた真空ｐ3 を一定に維持する真空調整回路
（６）、 ｄ）測定するガスの管路内で、上記検出器（３）よりも
先に連結される第１チョーク（２）、 ｅ）該第１チョーク（２）および検出器（３）の一連の
装置に平行に、バイパスとして連結される第２チョーク
（１１）、 ｆ）共通ガス入口（１２、１３）よりも先に連結される
第３チョーク（１）、および ｇ）上記３個のチョーク（１、２、１１）の共通連結点
に連結され、かつ大気圧ｐ0 に関連し、上記共通連結点
で優勢な圧力ｐ2 を一定に維持する、別の真空調整回路
（１４）、 を含み、上記真空調整回路（６、１４）が、それぞれ圧
電圧力センサー（１８ａ、１８ｂ）、ＰＩ−制御装置
（２０ａ、２０ｂ）および電空制御素子（２１ａ、２１
ｂ）を含むことを特徴とする連続作動ガス分析装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4113695A DE4113695A1 (de) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | Kontinuierlich betriebener gasanalysator |
| DE4113695.0 | 1991-04-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05180826A true JPH05180826A (ja) | 1993-07-23 |
| JP3138327B2 JP3138327B2 (ja) | 2001-02-26 |
Family
ID=6430436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04129883A Expired - Fee Related JP3138327B2 (ja) | 1991-04-26 | 1992-04-24 | 連続作動ガス分析装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5245857A (ja) |
| EP (1) | EP0510485B1 (ja) |
| JP (1) | JP3138327B2 (ja) |
| AT (1) | ATE154133T1 (ja) |
| CA (1) | CA2066950A1 (ja) |
| DE (2) | DE4113695A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5780717A (en) * | 1997-04-23 | 1998-07-14 | Lockheed Martin Energy Research Corporation | In-line real time air monitor |
| FR2789189B1 (fr) | 1999-02-02 | 2002-12-13 | Air Liquide Sante France | Procede et installation de regulation d'une centrale de production de vide medical |
| AU5930900A (en) * | 1999-07-12 | 2001-01-30 | Unit Instruments, Inc. | Pressure insensitive gas control system |
| DE102009023224A1 (de) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | Avl Emission Test Systems Gmbh | Anordnung zur geregelten Zuführung und Förderung eines Gasgemisches in eine Analysekammer |
| CN114345090A (zh) * | 2021-07-27 | 2022-04-15 | 赵朋飞 | 一种新型环保型工业废气净化装置 |
| EP4231009A1 (de) * | 2022-02-21 | 2023-08-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Pneumatikmodul für eine gasanalysevorrichtung, und herstellungsverfahren und computerprogrammprodukt dafür |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU466494A1 (ru) * | 1972-12-21 | 1975-04-05 | Предприятие П/Я М-5539 | Устройство дл регулировани давлени в газодинамической установке |
| US4257746A (en) * | 1978-10-02 | 1981-03-24 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Dosimeter having a low air flow rate |
| US4269059A (en) * | 1979-03-19 | 1981-05-26 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Dosimeter having constant flow pump |
| DE2932436C2 (de) * | 1979-08-10 | 1983-11-10 | Bayer Ag, 5090 Leverkusen | Massenstromabhängiger Gasanalysator mit Durchflußregelung im Unterdruckbetrieb |
| US4379402A (en) * | 1981-01-22 | 1983-04-12 | Beckman Instruments, Inc. | Gas analysis instrument having flow rate compensation |
| DE3114119A1 (de) * | 1981-04-08 | 1982-10-21 | Kernforschungsanlage Jülich GmbH, 5170 Jülich | Regelkreis zur regelung des druckes in vakuumanlagen |
| US4579144A (en) * | 1983-03-04 | 1986-04-01 | Uti Instrument Company | Electron impact ion source for trace analysis |
| DE3407552A1 (de) * | 1984-03-01 | 1985-09-05 | Bodenseewerk Perkin Elmer Co | Gasregeleinrichtung zur regelung der brenngas- und oxidanszufuhr zu einem brenner bei einem atomabsorptions-spektrometer |
| DD236991A1 (de) * | 1985-05-03 | 1986-06-25 | Elektro App Werke Veb | Schaltungsanordnung fuer piezoresistive drucksensoren mit korrekturverhalten |
| SU1490132A1 (ru) * | 1987-04-24 | 1989-06-30 | Днепропетровский химико-технологический институт им.Ф.Э.Дзержинского | Устройство автоматического регулировани подачи коксового газа потребителю |
| DE3808982A1 (de) * | 1988-03-17 | 1989-10-05 | Ratfisch Instr | Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen messung der kohlenwasserstoff-konzentration in einem gasstrom |
| DE3822360A1 (de) * | 1988-07-01 | 1990-01-04 | Kettrup Antonius | Gasprobennehmer |
| DE3840322A1 (de) * | 1988-11-30 | 1990-05-31 | Hartmann & Braun Ag | Vorrichtung zur ueberwachung des gasstromes in einem gasanalysator und zur korrektur von druck- und durchflussbedingten stoereinfluessen auf dessen messsignal |
-
1991
- 1991-04-26 DE DE4113695A patent/DE4113695A1/de not_active Withdrawn
-
1992
- 1992-04-14 DE DE59208560T patent/DE59208560D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-04-14 EP EP92106383A patent/EP0510485B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-04-14 AT AT92106383T patent/ATE154133T1/de not_active IP Right Cessation
- 1992-04-16 US US07/869,688 patent/US5245857A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-04-23 CA CA002066950A patent/CA2066950A1/en not_active Abandoned
- 1992-04-24 JP JP04129883A patent/JP3138327B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3138327B2 (ja) | 2001-02-26 |
| ATE154133T1 (de) | 1997-06-15 |
| EP0510485B1 (de) | 1997-06-04 |
| US5245857A (en) | 1993-09-21 |
| DE59208560D1 (de) | 1997-07-10 |
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| CA2066950A1 (en) | 1992-10-27 |
| DE4113695A1 (de) | 1992-10-29 |
| EP0510485A3 (en) | 1995-12-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |