JP3137954U - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】設置現場での煩雑な調整を要することなく、所望の洗浄能力を発揮させることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】ワークとの間に所定の間隙をおいて当該ワークに沿って配置される飛沫発生部材２５と、前記間隙内を洗浄液が流下するように洗浄液を噴出する噴出手段２９とを備える。飛沫発生部材２５は、前記間隙を流下する洗浄液に飛沫を生じさせる。飛沫発生部材２５は、ワークの厚み方向両側にそれぞれ設けられている。ワークは、上下に延びる姿勢で配置され、噴出手段２９から噴出された洗浄液は、前記間隙の上方から間隙内に流入する。
【選択図】図１

Description

本考案は、板状の被洗浄物を洗浄するための洗浄装置に関するものである。

従来、下記特許文献１及び２に開示されているように、プリント基板等の被処理物を洗浄する洗浄装置が知られている。特許文献１には、水洗いをする前処理槽を有するめっき処理装置が開示されており、この装置の前処理槽では、複数のスプレー管が上下方向に間隔をおいて平行に配設されている。そして、起立した状態の被めっき物に対してスプレー管から側方に噴出される処理液によって湯洗い、水洗い等が行われるようになっている。一方、特許文献２には、水洗槽を有する電気めっき装置が開示されており、この装置の水洗槽では、めっき工程の後処理工程として被処理物が浸漬されるようになっている。
特開２０００−３４５９６号公報 特開２００２−３６３７９６号公報

前記特許文献１に開示された前処理槽では、複数のスプレー管が上下に並べられた構成となっているので、構成が複雑である。しかも、起立した状態の被めっき物の全面に亘って一様に洗浄できるようにするには、設置現場において、各スプレー管ごとの噴出量を調整する必要が生ずる等、煩雑な調整作業が必要となる。

一方、前記特許文献２に開示された水洗槽では、被処理物を浸漬して水洗する構成なので、洗浄能力があまり高くないという問題がある。

そこで、本考案は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、設置現場での煩雑な調整を要することなく、所望の洗浄能力を発揮させることができる洗浄装置を提供することにある。

前記の目的を達成するため、本考案は、板状の被洗浄物を洗浄するための洗浄装置であって、前記被洗浄物との間に所定の間隙をおいて当該被洗浄物に沿って配置される飛沫発生部材と、前記間隙内を洗浄液が流下するように洗浄液を噴出する噴出手段と、を備え、
前記飛沫発生部材は、前記間隙を流下する洗浄液に飛沫を生じさせる洗浄装置である。

本考案では、飛沫発生部材と被洗浄物との間に所定の間隙が形成されている。そして、噴出手段から噴出された洗浄液は、前記間隙を流下する際にしぶきとなって飛び散る。このとき飛び散った飛沫により被洗浄物が洗浄され、被洗浄物を一様に洗浄することができる。このため、洗浄液を噴きかける場所や流量等の細かな調整等、設置現場での煩雑な調整作業をしなくても、被洗浄物の全体を洗浄することができるようになる。しかも、被洗浄物に沿うように飛沫発生部材を配設するだけでいいので、簡易な構成とすることができる。また、飛沫発生部材と被洗浄物との間に洗浄液を流す構成であるため、洗浄液が被洗浄物の表面に接するように必要最小限の量だけ流せば被洗浄物の洗浄をすることができる。このため、浸漬洗浄に比べて少ない洗浄液量で洗浄を行うことができる。また、飛沫発生部材と被洗浄物との間に洗浄液を流す構成であるため、被洗浄物の表面には常に洗浄液の流れが発生しており、浸漬洗浄に比べて、短時間で洗浄を行うことができる。

前記飛沫発生部材は、被洗浄物の厚み方向両側にそれぞれ設けられているのが好ましい。この態様では、被洗浄物の厚み方向両面をそれぞれ洗浄することができる。特に、被洗浄物に貫通孔等が設けられている場合には、貫通孔内も洗浄し易くなるため、そのような被洗浄物の洗浄に有効である。

前記被洗浄物は、上下に延びる姿勢で配置され、前記噴出手段から噴出された洗浄液は、前記間隙の上方から間隙内に流入するのが好ましい。この態様では、被洗浄物の全体を洗浄し易くなる。

前記飛沫発生部材を保持するための保持部を備え、前記飛沫発生部材は、前記保持部に対して着脱可能であるのが好ましい。この態様では、飛沫発生部材を取り外すことができるので、被洗浄物に応じて異なるタイプの飛沫発生部材に交換することが可能となる。すなわち、被洗浄物の外寸や種類に応じて、突起の種類、数、サイズを変更することができるので、被処理物に最適な飛沫発生部材を選択することができる。

前記飛沫発生部材は、表面に凹凸を有する部材であり、その凹凸で洗浄液に飛沫を生じさせるのが好ましい。この態様では、簡易な構成で洗浄液に飛沫を発生させることができる。また、表面に凹凸を有する汎用の部材を飛沫発生部材として用いることが可能となる。

前記飛沫発生部材は、表面に角錐状の突起部を多数有する構成でもよい。この態様では、突起部の斜面によって洗浄液を飛び散らすことができる。

前記飛沫発生部材は、表面に半球状の突起部を多数有する構成でもよい。この態様では、飛沫を生じさせることができる一方、被洗浄物の傷つきを防止することができる。

前記突起部は、当該突起部間の谷間が蛇行するように配列されていてもよい。この態様では、洗浄液が突起部にぶつかり易くなり、飛沫を発生し易くすることができ、これにより、洗浄効果をさらに向上させることができる。

前記飛沫発生部材は、水平方向に延びる形状で、かつ上下方向に多数設けられた凸部を有する構成でもよい。この態様では、被洗浄物の幅方向に対して、一様の洗浄能力が得られる。

前記突起部は、大きさ又は形状の異なるものが配設されていてもよい。この態様では、飛沫を発生し易くすることができ、これにより、洗浄効果をさらに向上させることができる。

前記表面の凹凸を形成する凸部の先端部は、丸みを帯びていてもよい。この態様では、被洗浄物への傷つきを防止することができる。

前記飛沫発生部材が被洗浄物の厚み方向両側にそれぞれ設けられ、前記被洗浄物が厚み方向に貫通する貫通孔を有し、前記飛沫発生部材は、表面に凹凸を有する部材であり、その凹凸で洗浄液に飛沫を生じさせるものである場合には、前記厚み方向両側の前記飛沫発生部材の凹凸が互いに位置ずれしていてもよい。この態様では、被洗浄物に対し両側の凹凸が非対称の配置となるため、被洗浄物の貫通孔に対して一方側から洗浄液の飛沫を浸入させ易くすることができる。したがって、貫通孔内の洗浄を効果的に行うことができる。

前記飛沫発生部材が被洗浄物の厚み方向両側にそれぞれ設けられ、前記被洗浄物が厚み方向に貫通する貫通孔を有し、前記飛沫発生部材は、表面に凹凸を有する部材であり、その凹凸で洗浄液に飛沫を生じさせるものである場合には、前記厚み方向両側の前記飛沫発生部材の凹凸が互いに形状又は大きさが異なっていてもよい。この場合には、被洗浄物に対し両側の凹凸が非対称となるため、貫通孔に対して一方側から洗浄液の飛沫を浸入させ易くすることができる。したがって、貫通孔内の洗浄を効果的に行うことができる。

前記洗浄液は、水であってもよい。また、前記被洗浄物は、プリント基板であってもよい。

以上説明したように、本考案によれば、設置現場での煩雑な調整を要することなく、所望の洗浄能力を発揮させることができる。

以下、本考案の一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。

図１及び図２に示すように、本実施形態に係る洗浄装置１０は、矩形平板状の被洗浄物を洗浄するためのものである。被洗浄物（ワーク）Ｗとしては、例えばプリント基板を挙げることができる。また、洗浄液としては例えば、水が用いられる。

本洗浄装置１０は、上方が開放された容器からなる洗浄槽１２を有する。洗浄槽１２は、直方体形状に樹脂板を組み付けたものであり、底部１２ａとその周囲から立ち上がる４つの側壁１２ｂとを備えている。洗浄槽１２は、枠体状に組み付けられたフレーム材１４に固定されている。底部１２ａには、洗浄液を排出するための排水口１６が設けられている。底部１２ａの下方には、図２に示すように、洗浄に使用された洗浄液を貯溜するための貯溜部１８が設けられている。

図１に示すように、洗浄槽１２の側壁１２ｂには、ワークＷが通過可能な搬送口２０が設けられている。この搬送口２０は、側壁１２ｂの上端から下方に向かって延びる形状に切欠いたものである。ワークＷはこの搬送口２０を通して洗浄槽１２内に搬入され、洗浄後にこの搬送口２０を通して洗浄槽１２外に搬出される。

洗浄槽１２には、飛沫発生部材２５と、その保持部２７と、洗浄液を噴出するための噴出手段２９と、ワークＷの搬送手段３１（図２参照）とを備えている。飛沫発生部材２５は、ワークＷの両側にそれぞれ設けられるが、図１では、１つの飛沫発生部材２５のみを示している。

飛沫発生部材２５の保持部２７は、洗浄槽１２内に固定された支持体３３に設けられている。支持体３３は、洗浄槽１２内に一対となって設けられており、各支持体３３は、洗浄槽１２の側壁１２ｂに固定された一対の側板３３ａと、側壁１２ｂに固定されるとともに、側板３３ａ間に架設された水平板３３ｂと、側板３３ａ間に架設された傾斜板３３ｃと、傾斜板３３ｃの下端部から下方に延びる垂下板３３ｄと、を備えている。そして、保持部２７は、上下方向に真っ直ぐに延びるように側板３３ａに設けられた角柱状の部材によって構成されている。

側板３３ａは、上下に長い矩形状の板について、上部の一方の角部を三角形状に切除したものである。そして、この切除した傾斜線に沿うように前記傾斜板３３ｃが配設されている。傾斜板３３ｃは、ワークＷに近づくにつれて降下するように傾斜している。傾斜板３３ｃの上端部は水平板３３ｂに接合されており、傾斜板３３ｃの下端部は垂下板３３ｄの上端部に接合されている。

傾斜板３３ｃは、矩形状平板によって構成されているが、その下部の両角部には、切欠き部３３ｅが形成されている。この切欠き部３３ｅは、保持部２７の横断面よりも一回り大きく形成され、かつ後述する飛沫発生部材２５のガイド部３７を挿通可能な大きさに形成されている。そして、垂下板３３ｄは、この両切欠き部３３ｅ間における傾斜板３３ｃの下端部に接続されている。垂下板３３ｄは、両切欠き部３３ｅ間の間隔に相当する幅を有する。

両支持体３３の垂下板３３ｄは、互いに所定の間隔をおいて平行に配置されている。このため、垂下板３３ｄ間には、鉛直方向に長い間隙が形成されている。

飛沫発生部材２５は、保持部２７に対して着脱可能に構成されており、表面に多数の凹凸が設けられた矩形板状の本体部３５と、この本体部３５の左右両端部に設けられたガイド部３７とを備えている。本体部３５の裏面は平坦となっている。飛沫発生部材２５は、樹脂板、金属板等によって構成することができる。なお、本体部３５の凹凸の詳細については後述する。

ガイド部３７は、保持部２７を挿通可能に構成され、本体部３５の側端部と合わせて横断面コ字状に形成されている。そして、ガイド部３７の上端部には、蓋体３９が設けられている。この蓋体３９が保持部２７の上面に係合することで、飛沫発生部材２５は、保持部２７に保持されることとなる。そして、飛沫発生部材２５を上方にスライドさせることにより、飛沫発生部材２５を保持部２７から取り外すことができる。

飛沫発生部材２５が保持部２７に取り付けられた状態で、各飛沫発生部材２５はそれぞれ支持体３３の垂下板３３ｄに密着している。このため、洗浄液は、傾斜板３３ｃ上を流れた後、飛沫発生部材２５間の間隙に流入するが、垂下板３３ｄと飛沫発生部材２５の本体部３５との間に浸入することはない。また、各飛沫発生部材２５と、搬入されたワークＷと間には、所定幅の間隙４０が形成される。この間隙４０を上から下に向かって洗浄液が流れる。

支持体３３には、ワークＷが飛沫発生部材２５と衝突するのを防止するためのワークガイド手段４１が設けられている。ワークガイド手段４１は、両支持体３３にそれぞれ設けられている。

ワークガイド手段４１は、シャフト４１ａ、軸受部４１ｂ及びガイドローラ４１ｃを備えている。軸受部４１ｂは、上下方向に間隔をおいて配置されて一対に設けられ、それぞれ側板３３ａの上端部と下端部に固定されている。シャフト４１ａは、垂直に延びる姿勢で軸受部４１ｂに回動可能に保持されている。ガイドローラ４１ｃは、シャフト４１ａに所定の間隔をおいて配設され、ワークＷを保持する。

噴出手段２９は、支持体３３に固定されたパイプ材４３を有している。パイプ材４３は、ブラケット４４によって支持体３３の水平板３３ｂに固定されている。パイプ材４３は、ワークＷ（飛沫発生部材２５）の幅方向に延びるように配設されており、パイプ材４３には所定の間隔をおいて多数の噴出口４３ａが設けられている。パイプ材４３の端部は、洗浄液の供給手段（図示省略）に接続可能に構成されており、この供給手段から洗浄液が供給される。

図２に示すように、ワークＷの搬送手段３１は、飛沫発生部材２５と平行な方向に延びるように固定部４６に支持されたレール３１ａと、このレール３１ａに沿って往復移動可能に構成される移動体３１ｂと、この移動体３１ｂに支持され、ワークＷを吊り下げるための吊持部３１ｃとを備えている。固定部４６は、洗浄槽１２を保持するフレーム材１４に結合されたフレーム材４６ａによって構成されている。吊持部３１ｃは、ワークＷの上端部を保持するように構成されている。ワークＷは上端部のみで吊持部３１ｃに保持されるが、前述したようにワークガイド手段４１が設けられているので、ワークＷは揺れることなく飛沫発生部材２５間に搬送可能である。

続いて、飛沫発生部材２５の表面の構成について図３（ａ）（ｂ）を参照しつつ説明する。飛沫発生部材２５の本体部３５は、前述したように凹凸が形成されている。具体的には、本体部３５には、一定の厚みを有する平板部３５ａと、この平板部３５ａから厚み方向に突出する多数の突起部３５ｂとからなる。各突起部３５ｂは、半球状に形成されるとともに、所定の間隔をおいて配列されている。そして、各突起部３５ｂは、その中心がひし形の各頂点位置となるように配設されている。すなわち、各突起部３５ｂは、最も近接する突起部３５ｂに対して斜め方向に隣り合っている。言い換えると、図３（ａ）に点線で示すように、突起部３５ｂ間の谷間（平板部３５ａ）３５ｆが蛇行している。なお、突起部３５ｂは半球状（中心角１８０度）に限られるものではなく、中心角が１８０度未満の円弧状であってもよい。

ここで、本実施形態にかかる洗浄装置１０の動作について説明する。ワークＷは、搬送手段３１の吊持部３１ｃに吊り下げられた状態で洗浄槽１２内に搬送され、ワークガイド手段４１のガイドローラ４１ｃによってガイドされながら飛沫発生部材２５間の間隙に挿入される。ワークＷは、その上端部のみで搬送手段３１に保持されているが、ガイドローラ４１ｃでワークＷの高さ方向の所定箇所がガイドされることにより、支持体３３に衝突することが回避されている。ワークＷは、飛沫発生部材２５間にセットされたときには、ワークＷと飛沫発生部材２５の本体部３５との間には、上下方向に所定の幅を有した状態で延びる間隙４０が形成されている。

ワークＷが飛沫発生部材２５間にセットされると、パイプ材４３の噴出口４３ａから洗浄液が噴出される。洗浄液は、斜め下方に向けて噴射され、傾斜板３３ｃを伝って飛沫発生部材２５間の間隙に上方から流れ込む。この洗浄液は、飛沫発生部材２５の本体部３５に沿って流下するが、このとき洗浄液は、突起部３５ｂによってしぶきとなって飛び散る。この飛び散った飛沫により、ワークＷの表面が洗浄される。ワークＷには貫通孔としてのスルーホール（図示省略）が形成されているが、ワークＷの両側から洗浄液が飛び散ってくるため、スルーホールの内部をもきれいに洗浄することができる。洗浄液は、ワークＷの上端部から下端部の全体に亘って洗浄した後、洗浄槽１２の底部１２ａの排水口１６を通して排出されて貯溜部１８に貯溜される。所定時間洗浄されたワークＷは、洗浄槽１２から搬出されて次工程に送られる。

以上説明したように、本実施形態では、飛沫発生部材２５とワークＷとの間に所定の間隙４０が形成されている。そして、噴出手段２９から噴出された洗浄液は、間隙４０を流下する際にしぶきとなって飛び散り、ワークＷが洗浄される。すなわち、間隙４０を流れ落ちる洗浄液によってワークＷを一様に洗浄することができる。このため、洗浄液を噴きかける場所や流量等の細かな調整等、設置現場での煩雑な調整作業をしなくても、ワークＷの全体を洗浄することができる。しかも、ワークＷに沿うように飛沫発生部材２５を配設するだけでいいので、簡易な構成とすることができる。また、飛沫発生部材２５とワークＷとの間に洗浄液を流す構成であるため、洗浄液がワークＷの表面に接するように必要最小限の量だけ流せば被洗浄物の洗浄をすることができる。このため、浸漬洗浄に比べて少ない洗浄液量で洗浄を行うことができる。また、飛沫発生部材２５とワークＷとの間に洗浄液を流す構成であるため、ワークＷの表面には常に洗浄液の流れが発生しており、浸漬洗浄に比べて、短時間で洗浄を行うことができる。

さらに本実施形態では、ワークＷの厚み方向両面をそれぞれ洗浄することができる。特に、ワークＷに貫通孔等が設けられている場合でも、その貫通孔内を洗浄できるため、そのようなワークＷの洗浄に有効なものとなっている。

また本実施形態では、洗浄液が飛沫発生部材２５とワークＷとの間隙４０に上方から流入するので、ワークＷの全体を洗浄し易くなっている。

また本実施形態では、飛沫発生部材２５を取り外すことができるので、ワークＷに応じて異なるタイプの飛沫発生部材２５に交換することが可能となる。すなわち、ワークＷの外寸や種類に応じて、凹凸の種類、数、サイズを変更することができるので、ワークＷに最適な飛沫発生部材２５を選択することができる。

また本実施形態では、飛沫発生部材２５が、表面に凹凸を有する部材によって構成されているので、簡易な構成で洗浄液に飛沫を発生させることができる。また、表面に凹凸を有する汎用の部材を飛沫発生部材２５として用いることが可能となる。

しかも本実施形態では、飛沫発生部材２５が表面に半球状の突起部３５ｂを多数有する構成となっているので、飛沫を生じさせることができる一方、ワークＷの傷つきを防止することができる。

さらに本実施形態では、突起部３５ｂ間の谷間３５ｆが蛇行するように突起部３５ｂが配列されているので、洗浄液が突起部３５ｂにぶつかり易くなり、飛沫を発生し易くすることができる。これにより、洗浄効果をさらに向上させることができる。

なお、本考案は、前記実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更、改良等が可能である。例えば図４（ａ）（ｂ）に示すように、飛沫発生部材２５は、表面に角錐状の突起部３５ｂを多数有する構成としてもよい。この飛沫発生部材２５では、四角錐状の突起部３５ｂが設けられており、その底面３５ｃを構成する正方形が斜めになっていて、突起部３５ｂを形成する斜面３５ｅが水平方向及び垂直方向に対して傾くように形成されている。そして、各突起部３５ｂは、その頂点部３５ｄが斜め方向に並ぶように配列されている。すなわち、各突起部３５ｂは、その中心（頂点部３５ｄ）がひし形の各頂点位置となるように配設されている。言い換えると、図４（ａ）に点線で示すように、突起部３５ｂ間の谷間３５ｆが蛇行している。

また、飛沫発生部材２５は、図５（ａ）（ｂ）に示すように、四角錐状の各突起部３５ｂの底面３５ｃを構成する正方形が水平向きとなっていて、突起部３５ｂが水平方向に並んで配列されるようにしてもよい。この場合において、上下方向に隣接する突起部３５ｂが互い違いに配列されて、突起部３５ｂ間の谷間３５ｆが蛇行するように配設されてもよく、あるいは図６（ａ）（ｂ）に示すように、各突起部３５ｂが上下方向にも直線上に並ぶように構成してもよい。

また、飛沫発生部材２５は、図７（ａ）（ｂ）に示すように、水平方向に延びる形状の凸部３５ｇが多数設けられた構成としてもよい。この凸部３５ｇは、水平方向に見ると、畝のように上下方向に間隔をおきながら盛り上がった形状となっている。このような構成でも、洗浄液が凸部３５ｇによって飛び散り、ワークＷを洗浄することができる。

また、前記実施形態では、飛沫発生部材２５の突起部３５ｂ又は凸部３５ｇが均一に構成される例を示したが、飛沫発生部材２５は、前記の何れの形態においても、大きさ、形状、種類の異なる突起部３５ｂ又は凸部３５ｇが配設される構成としてもよい。

また、飛沫発生部材２５は、突起部３５ｂの先端部が丸みを帯びている構成としてもよい。

また、ワークＷの両側に配設される飛沫発生部材２５は同じ突起部３５ｂ又は凸部３５ｇを有する構成でもよく、あるいは異なる突起部３５ｂ又は凸部３５ｇを有する構成であってもよい。また、両側の飛沫発生部材２５の突起部３５ｂ又は凸部３５ｇが同じ構成であっても、その位置が異なるように配設される構成としてもよい。例えば、図８には、前記実施形態で説明した半球状の突起部３５ｂを有する飛沫発生部材２５がワークＷの両側に配設される場合の構成を示している。この構成において、ワークＷに対して一方側（図８における左側）の飛沫発生部材２５と他方側（図８における右側）の飛沫発生部材２５とでは、突起部３５ｂの上下方向の位置がずれており、一方側の飛沫発生部材２５において突起部３５ｂが存在する高さ位置では、他方側の飛沫発生部材２５において平板部３５ａが存在している。この結果、両側の飛沫発生部材２５において飛沫が生ずる高さが異なるものとなる。このため、ワークＷに貫通孔（例えばスルーホール）Ｗａが形成されている場合には、各貫通孔Ｗａにはどちらか一方の飛沫発生部材２５から飛んできた飛沫が浸入し易いものとなる。したがって、貫通孔Ｗａ内の洗浄を効果的に行うことができる。

また、洗浄槽１２は、ワークＷのタイプによっては、ワークＷの片側にのみ飛沫発生部材２５を設ける構成としてもよい。また、飛沫発生部材２５を保持部２７に対して着脱可能に構成するのではなく、飛沫発生部材２５を取り外せないように洗浄槽１２に固定してもよい。

また、実施形態では、ワークＷとしてプリント基板を例示したが、これに限られるものではない。また、洗浄液は水（純水）に限られるものではない。

本考案の実施形態に係る洗浄装置を部分的に破断して示す斜視図である。 前記洗浄装置の縦断面図である。 （ａ）本実施形態における飛沫発生部材の本体部を部分的に示す正面図であり、（ｂ）（ａ）のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。 （ａ）その他の実施形態における飛沫発生部材の本体部を部分的に示す正面図であり、（ｂ）（ａ）のＩＶ−ＩＶ線における断面図である。 （ａ）その他の実施形態における飛沫発生部材の本体部を部分的に示す正面図であり、（ｂ）（ａ）のＶ−Ｖ線における断面図である。 （ａ）その他の実施形態における飛沫発生部材の本体部を部分的に示す正面図であり、（ｂ）（ａ）のＶＩ−ＶＩ線における断面図である。 （ａ）その他の実施形態における飛沫発生部材の本体部を部分的に示す正面図であり、（ｂ）（ａ）のＶＩＩ−ＶＩＩ線における断面図である。 その他の実施形態において両飛沫発生部材の突起部の位置関係を示す断面図である。

符号の説明

１２ 洗浄槽
２５ 飛沫発生部材
２７ 保持部
２９ 噴出手段
３５ 本体部
３５ａ 平板部
３５ｂ 突起部
３５ｃ 底面
３５ｄ 頂点部
３５ｅ 斜面
３５ｆ 谷間
３５ｇ 凸部
４０ 間隙

Claims (15)

1. 板状の被洗浄物を洗浄するための洗浄装置であって、
   前記被洗浄物との間に所定の間隙をおいて当該被洗浄物に沿って配置される飛沫発生部材と、
   前記間隙内を洗浄液が流下するように洗浄液を噴出する噴出手段と、を備え、
   前記飛沫発生部材は、前記間隙を流下する洗浄液に飛沫を生じさせる洗浄装置。
2. 前記飛沫発生部材は、被洗浄物の厚み方向両側にそれぞれ設けられている請求項１に記載の洗浄装置。
3. 前記被洗浄物は、上下に延びる姿勢で配置され、
   前記噴出手段から噴出された洗浄液は、前記間隙の上方から間隙内に流入する請求項１又は２に記載の洗浄装置。
4. 前記飛沫発生部材を保持するための保持部を備え、
   前記飛沫発生部材は、前記保持部に対して着脱可能である請求項１から３の何れか１項に記載の洗浄装置。
5. 前記飛沫発生部材は、表面に凹凸を有する部材であり、その凹凸で洗浄液に飛沫を生じさせる請求項１から４の何れか１項に記載の洗浄装置。
6. 前記飛沫発生部材は、表面に角錐状の突起部を多数有する請求項５に記載の洗浄装置。
7. 前記飛沫発生部材は、表面に半球状の突起部を多数有する請求項５に記載の洗浄装置。
8. 前記突起部は、当該突起部間の谷間が蛇行するように配列されている請求項６又は７に記載の洗浄装置。
9. 前記飛沫発生部材は、水平方向に延びる形状で、かつ上下方向に多数設けられた凸部を有する請求項５に記載の洗浄装置。
10. 前記突起部は、大きさ又は形状の異なるものが配設されている請求項６から９の何れか１項に記載の洗浄装置。
11. 前記表面の凹凸を形成する凸部の先端部は、丸みを帯びている請求項５に記載の洗浄装置。
12. 前記洗浄液は、水である請求項１から１１の何れか１項に記載の洗浄装置。
13. 前記被洗浄物は、厚み方向に貫通する貫通孔を有し、
    前記飛沫発生部材は、表面に凹凸を有する部材であり、その凹凸で洗浄液に飛沫を生じさせるものであり、
    前記厚み方向両側の前記飛沫発生部材の凹凸が互いに位置ずれしている請求項２に記載の洗浄装置。
14. 前記被洗浄物は、厚み方向に貫通する貫通孔を有し、
    前記飛沫発生部材は、表面に凹凸を有する部材であり、その凹凸で洗浄液に飛沫を生じさせるものであり、
    前記厚み方向両側の前記飛沫発生部材の凹凸が互いに形状又は大きさが異なっている請求項２に記載の洗浄装置。
15. 前記被洗浄物は、プリント基板である請求項１から１４の何れか１項に記載の洗浄装置。

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