JP3135245B2 - パルス出力型熱線式空気流量計 - Google Patents
パルス出力型熱線式空気流量計Info
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- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、空気等で代表される流体の流量を白金等の
熱線を用いて計測する流量計（ホットワイヤエアフロー
センサ）に関するもので、特にその出力がパルス出力形
の機能を有し、自動車用ガソリンエンジンの吸気流量計
測に好適な熱線式空気流量計に関する。
熱線を用いて計測する流量計（ホットワイヤエアフロー
センサ）に関するもので、特にその出力がパルス出力形
の機能を有し、自動車用ガソリンエンジンの吸気流量計
測に好適な熱線式空気流量計に関する。
パルス出力機能付熱線流量計（以下PAFSと略記）の構
成は、従来から第10図に示す構成を採ることが多かっ
た。
成は、従来から第10図に示す構成を採ることが多かっ
た。
すなわち、このPAFSは、空気流などの流体中（風）に
熱線を曝しながら、この熱線の抵抗を常に一定（即ち、
温度一定）になるように定温度制御回路１を働かせるこ
とにより、流体の流量Ｑを表わす出力電圧ν１が出力さ
れるようにしたものであるが、この電圧ν１は流量Ｑに
対して一定の固定分を有しているので、まずゼロ／スパ
ン回路２によつてこの固定分を取り去り、さらに利得
（スパン）を調整する。そして、このゼロ／スパン回路
２の出力電圧ν２は電圧制御発振器（Vol−tage Contro
lled Oscilator、以下VCOと略記）３によつて電圧ν２
の値に比例した周波数ｆをもつパルス電圧ν３に変換さ
れ、出力されるようになっている。
熱線を曝しながら、この熱線の抵抗を常に一定（即ち、
温度一定）になるように定温度制御回路１を働かせるこ
とにより、流体の流量Ｑを表わす出力電圧ν１が出力さ
れるようにしたものであるが、この電圧ν１は流量Ｑに
対して一定の固定分を有しているので、まずゼロ／スパ
ン回路２によつてこの固定分を取り去り、さらに利得
（スパン）を調整する。そして、このゼロ／スパン回路
２の出力電圧ν２は電圧制御発振器（Vol−tage Contro
lled Oscilator、以下VCOと略記）３によつて電圧ν２
の値に比例した周波数ｆをもつパルス電圧ν３に変換さ
れ、出力されるようになっている。
一方、これらの各部を動かすために基準電圧回路４が
用意され、基準電圧Vsが与えられるようになっているも
のである。
用意され、基準電圧Vsが与えられるようになっているも
のである。
第11図と第12図は、第10図の構成要素１、２、３、４
の具体例を示したもので、第11図の100が第10図の定温
度制御回路１に、200がゼロ／スパン回路２に、400が基
準電圧回路４に、第12図の回路300がVCO3に、それぞれ
対応する。なお、これらの回路は個別素子（あるいは一
部IC）で作られることが多く、各素子はハイブリツド基
板上に取付けられることが多い。
の具体例を示したもので、第11図の100が第10図の定温
度制御回路１に、200がゼロ／スパン回路２に、400が基
準電圧回路４に、第12図の回路300がVCO3に、それぞれ
対応する。なお、これらの回路は個別素子（あるいは一
部IC）で作られることが多く、各素子はハイブリツド基
板上に取付けられることが多い。
第11図の定温度制御回路100は、ホットワイヤ（熱
線）11、コールドワイヤ（冷線）12、オペアンプ５、
６、トランジスタ10、抵抗20、コンデンサ22などにより
構成され、ホットワイヤ11に風が当って冷却されたとき
でも、その温度が常に一定になるように、この回路100
がホットワイヤ11に流れる電流を制御する動作を行う。
線）11、コールドワイヤ（冷線）12、オペアンプ５、
６、トランジスタ10、抵抗20、コンデンサ22などにより
構成され、ホットワイヤ11に風が当って冷却されたとき
でも、その温度が常に一定になるように、この回路100
がホットワイヤ11に流れる電流を制御する動作を行う。
同じく第11図のゼロ／スパン回路200は、オペアンプ
７を中心に抵抗70〜73、77〜79等で構成され、これらの
抵抗を適宜選ぶことで信号電圧に対するゼロとスパンの
補正を行う。ここで14は、サージ保護用のツェナーダイ
オードである。
７を中心に抵抗70〜73、77〜79等で構成され、これらの
抵抗を適宜選ぶことで信号電圧に対するゼロとスパンの
補正を行う。ここで14は、サージ保護用のツェナーダイ
オードである。
第12図のVCO300は、オペアンプ９、24、抵抗32、33
等、コンデンサ35、トランジスタ34で構成され、オペア
ンプ９、コンデンサ35を中心とした回路が積分器として
働き、オペアンプ24、抵抗33を中心とする回路は電圧比
較器として働く。そして、入力端子30に印加されたアナ
ログ電圧ν２は、これらの回路によつて、この電圧ν２
に比例した周波数をもつ、パルス出力電圧ν３に変換さ
れる。
等、コンデンサ35、トランジスタ34で構成され、オペア
ンプ９、コンデンサ35を中心とした回路が積分器として
働き、オペアンプ24、抵抗33を中心とする回路は電圧比
較器として働く。そして、入力端子30に印加されたアナ
ログ電圧ν２は、これらの回路によつて、この電圧ν２
に比例した周波数をもつ、パルス出力電圧ν３に変換さ
れる。
第11図に戻り、基準電圧回路400は、オペアンプ８、
抵抗81、83、84、85等、ツェナーダイオード80、13、ダ
イオード82、コンデンサ15により構成され、これらの回
路によりツェナーダイオード80の両端の定電圧が増幅さ
れ、一定電圧Vsとして各回路に供給される。
抵抗81、83、84、85等、ツェナーダイオード80、13、ダ
イオード82、コンデンサ15により構成され、これらの回
路によりツェナーダイオード80の両端の定電圧が増幅さ
れ、一定電圧Vsとして各回路に供給される。
抵抗84、ツェナーダイオード13、コンデンサ15はサー
ジ保護回路である。
ジ保護回路である。
なお、この種の装置として、関連するものとしては、 特開昭59−224427号公報 特開昭60−178317号公報 特開昭61−1847号公報 特開昭61−17019号公報 特開昭61−104246号公報 特開昭62−79316号公報 等の記載を挙げることができる。
上記従来技術は、回路構成の最適化について、ことさ
ら配慮がされておらず、このため、精度が確保できな
い、温度特性が悪い、耐電磁波性能（EMI）が向上しな
い等の問題があつた。
ら配慮がされておらず、このため、精度が確保できな
い、温度特性が悪い、耐電磁波性能（EMI）が向上しな
い等の問題があつた。
本発明の目的は、高精度で温度特性や耐電波特性等の
耐環境性に優れたPAFSを提供することにある。
耐環境性に優れたPAFSを提供することにある。
上記目的を達成するために、PAFSを構成する回路のう
ち、少なくとも定温度制御回路、ゼロ／スパン回路、そ
れにVCOの３回路を１つのシリコンチツプの中で集積
化、即ち１チップ化し、このとき＜半導体チップ上での
集積回路の配置が、上記定温度制御回路で代表されるア
ナログ回路部と、上記電圧−周波数変換回路で代表され
るディジタル回路部とに位置的に分離させ、これらアナ
ログ回路部とディジタル回路部との間に上記定温度制御
回路に含まれた熱線素子加熱電流制御用のパワートラン
ジスタを配置させたものである。
ち、少なくとも定温度制御回路、ゼロ／スパン回路、そ
れにVCOの３回路を１つのシリコンチツプの中で集積
化、即ち１チップ化し、このとき＜半導体チップ上での
集積回路の配置が、上記定温度制御回路で代表されるア
ナログ回路部と、上記電圧−周波数変換回路で代表され
るディジタル回路部とに位置的に分離させ、これらアナ
ログ回路部とディジタル回路部との間に上記定温度制御
回路に含まれた熱線素子加熱電流制御用のパワートラン
ジスタを配置させたものである。
回路は１チップ化されており、当然その体積も小さい
ので、僅かな領域に各部が集積化されている。それ故、
チップ内の各回路部の温度は全てほぼ一定と考えられる
ので、温度補償を実施することが容易となる。
ので、僅かな領域に各部が集積化されている。それ故、
チップ内の各回路部の温度は全てほぼ一定と考えられる
ので、温度補償を実施することが容易となる。
また、チップは小さな面積しか持たないので、電磁
波、サージ波等のノイズの影響を受ける度合が少ないの
で、充分な耐環境性を容易に与えることができる。
波、サージ波等のノイズの影響を受ける度合が少ないの
で、充分な耐環境性を容易に与えることができる。
一方、この１チップ化の結果、アナログ回路部とディ
ジタル回路部間での電気的な結合や干渉の虞れが生じる
が、これはパワートランジスタのしゃへいにより抑える
ことができる。
ジタル回路部間での電気的な結合や干渉の虞れが生じる
が、これはパワートランジスタのしゃへいにより抑える
ことができる。
以下、本発明によるパルス出力型熱線式空気流量計に
ついて、図示の実施例により詳細に説明する。
ついて、図示の実施例により詳細に説明する。
まず、本発明が前提とする１チップ化について、第１
図により説明すると、空気流による風を受けて、その流
量を検出するホットワイヤ11は、PAFSの機能を有する１
チップ制御回路40の外部に接続され、流量を計測すべき
空気通路の中に設置されている。そして、その駆動電力
はトランジスタ10より与えられる。空気の温度を測るた
めのコールドワイヤ（冷線）12も外部に出ており、ホッ
トワイヤ11と同様に空気通路に配置される。
図により説明すると、空気流による風を受けて、その流
量を検出するホットワイヤ11は、PAFSの機能を有する１
チップ制御回路40の外部に接続され、流量を計測すべき
空気通路の中に設置されている。そして、その駆動電力
はトランジスタ10より与えられる。空気の温度を測るた
めのコールドワイヤ（冷線）12も外部に出ており、ホッ
トワイヤ11と同様に空気通路に配置される。
直流電圧源は端子９と99間に、そして端子110と99間
とに加えられる。
とに加えられる。
端子41はパルス出力端子であり、第10図で説明したパ
ルス電圧ν３がこの端子に現われる。
ルス電圧ν３がこの端子に現われる。
１チップ化された回路部は制御回路40内に在り、この
部分には第10図中の定温度制御回路１、ゼロ／スパン回
路２、VCO3の各部が集積化されている。なお、電源端子
９及び110は一緒にまとめることができる。
部分には第10図中の定温度制御回路１、ゼロ／スパン回
路２、VCO3の各部が集積化されている。なお、電源端子
９及び110は一緒にまとめることができる。
第２図は１チップ化された制御回路40の具体例で、こ
の例は、第10図で説明した、従来例における定電圧制御
回路１、ゼロ／スパン回路２、VCO3、それに定電圧回路
４を１個のチップ（半導体集積回路）1Aに集積化したも
ので、チップ外の構成要素はホットワイヤ11、コールド
ワイヤ12、トランジスタ10だけである。
の例は、第10図で説明した、従来例における定電圧制御
回路１、ゼロ／スパン回路２、VCO3、それに定電圧回路
４を１個のチップ（半導体集積回路）1Aに集積化したも
ので、チップ外の構成要素はホットワイヤ11、コールド
ワイヤ12、トランジスタ10だけである。
回路動作は第11図、第12図とほぼ同様であるが、構成
要素の抵抗、コンデンサ等は集積化できる値に適合され
ている。但し第11図のサージ保護用ツェナーダイオード
14は集積化のため不用となつている。これは、VCO3を含
めて集積化されているため、電圧ν２の端子3V（第11
図）が外部に引出されていないためである。
要素の抵抗、コンデンサ等は集積化できる値に適合され
ている。但し第11図のサージ保護用ツェナーダイオード
14は集積化のため不用となつている。これは、VCO3を含
めて集積化されているため、電圧ν２の端子3V（第11
図）が外部に引出されていないためである。
この第２図の具体例では、シリコンチップ化された集
積回路1Aと、ホットワイヤ11、コールドワイヤ12、それ
にトランジスタ10の４個でPAFSを構成できるから、ハイ
ブリツド基板を用いないでセンサが実現でき、極めて小
型のPAFSを作ることができる。
積回路1Aと、ホットワイヤ11、コールドワイヤ12、それ
にトランジスタ10の４個でPAFSを構成できるから、ハイ
ブリツド基板を用いないでセンサが実現でき、極めて小
型のPAFSを作ることができる。
第３図は制御回路40の他の具体例で、この例はトラン
ジスタ10もチップ1A内に集積化したものであり、従っ
て、チップの端子数は７個ですみ、現在考えられている
ホットワイヤエアフローセンサでは最も少ない端子数構
造にできる。
ジスタ10もチップ1A内に集積化したものであり、従っ
て、チップの端子数は７個ですみ、現在考えられている
ホットワイヤエアフローセンサでは最も少ない端子数構
造にできる。
そして、この具体例では、トランジスタ10がチップ1A
内にあり、この電力損失がチップ内で消費されるので、
その発熱により、チップ内の温度をほぼ一定値に上げて
おくことができる。つまり、トランジスタの消費電力を
変化させることで任意のチップ温度に設定できるので、
温度特性の最もよい点にチップ内の温度を上げておくこ
とで、センサそのものの精度を充分に向上させ得るので
ある。
内にあり、この電力損失がチップ内で消費されるので、
その発熱により、チップ内の温度をほぼ一定値に上げて
おくことができる。つまり、トランジスタの消費電力を
変化させることで任意のチップ温度に設定できるので、
温度特性の最もよい点にチップ内の温度を上げておくこ
とで、センサそのものの精度を充分に向上させ得るので
ある。
第４図は制御回路40のさらに別の具体例であり、サー
ジ保護機能をサイリスタ回路7Zで実現したものである。
ジ保護機能をサイリスタ回路7Zで実現したものである。
このサイリスタ回路7Zは、サイリスタ7A、コンデンサ
7B、抵抗7C、7Dより構成され、サイリスタ7Aは通常の電
源電圧（端子９、99間に加えられる）ではオフ状態であ
り、オペアンプ８には正常の電源電圧が加わっている。
7B、抵抗7C、7Dより構成され、サイリスタ7Aは通常の電
源電圧（端子９、99間に加えられる）ではオフ状態であ
り、オペアンプ８には正常の電源電圧が加わっている。
しかしながら、端子９にサージ等の異常電圧が加わる
と、通常これらの電圧の立上りは早いので、コンデンサ
7B、抵抗7Cは微分回路として動作し、サイリスタ7Aはオ
ン状態となり、その両端の電圧は1V程度の低電圧とな
り、サージ電圧よりオペアンプ８を保護する。
と、通常これらの電圧の立上りは早いので、コンデンサ
7B、抵抗7Cは微分回路として動作し、サイリスタ7Aはオ
ン状態となり、その両端の電圧は1V程度の低電圧とな
り、サージ電圧よりオペアンプ８を保護する。
サイリスタは、チップ内ではツェナーダイオードに比
して小さく作れるので、第２図のツエナーダイオードに
よる具体例に比較してチップ面積を小さくでき、かつ、
保護動作が高速化されるので、さらに優れた保護機能を
得ることができる。
して小さく作れるので、第２図のツエナーダイオードに
よる具体例に比較してチップ面積を小さくでき、かつ、
保護動作が高速化されるので、さらに優れた保護機能を
得ることができる。
第５図も制御回路40の具体例で、この例は、パルス波
形なまし回路8Zをもチップ1A内に設けるようにしたもの
である。
形なまし回路8Zをもチップ1A内に設けるようにしたもの
である。
このパルス波形なまし回路8Zはオペアンプ24の出力電
圧ν24の立上り、立下り時間を長くして（なまして）波
形の高周波成分を除去するためのものであり、端子41に
現われるパルス出力電圧の高周波成分によつて他の機器
へ電磁障害を与えることが少なくなる。
圧ν24の立上り、立下り時間を長くして（なまして）波
形の高周波成分を除去するためのものであり、端子41に
現われるパルス出力電圧の高周波成分によつて他の機器
へ電磁障害を与えることが少なくなる。
この例における波形なまし回路8Zは抵抗8A、8B、8E、
コンデンサ8C、8F、トランジスタ8Dによつて構成され、
立上り時間は主に抵抗8E、コンデンサ8Fによつて、立下
り時間は主に抵抗8A、コンデンサ8Cによつて調整でき
る。
コンデンサ8C、8F、トランジスタ8Dによつて構成され、
立上り時間は主に抵抗8E、コンデンサ8Fによつて、立下
り時間は主に抵抗8A、コンデンサ8Cによつて調整でき
る。
この波形なまし回路は、通常はチップの外に設けられ
ることが多いが、この第５図の例のようにチップ内に内
蔵すれば、この部分のハイブリツド基板の面積を小さく
できる（反面チップ面積はそれ程大きくはならない）の
で、センサ自体を小型化出来るという効果がある。
ることが多いが、この第５図の例のようにチップ内に内
蔵すれば、この部分のハイブリツド基板の面積を小さく
できる（反面チップ面積はそれ程大きくはならない）の
で、センサ自体を小型化出来るという効果がある。
また、なまし回路8Z全体が、温度の影響を他の回路と
同様に受けるので、温度補償がやりやすいという効果を
もつ。
同様に受けるので、温度補償がやりやすいという効果を
もつ。
第６図も制御回路40の具体例で、この例は、VCO3をオ
ペアンプ9A、24B、コンパレータ24Aと抵抗83、84、85等
により構成したものであるが、電圧を周波数に変換する
機能はこれまでの例と同じである。
ペアンプ9A、24B、コンパレータ24Aと抵抗83、84、85等
により構成したものであるが、電圧を周波数に変換する
機能はこれまでの例と同じである。
この具体例は、コンパレータ24Aの比較電圧Vc（抵抗8
2、82Aの分圧電圧）に温度特性をもたせ、電圧−周波数
変換の温度特性の向上を図ったもので、この温度係数の
設定はツェナーダイオード81に流れ込む電流を変えるこ
とで実現でき（通常、ツェナーダイオードは流れる電流
によつて温度係数が変わる）、これは抵抗80の値を変え
ることで具体化できる。
2、82Aの分圧電圧）に温度特性をもたせ、電圧−周波数
変換の温度特性の向上を図ったもので、この温度係数の
設定はツェナーダイオード81に流れ込む電流を変えるこ
とで実現でき（通常、ツェナーダイオードは流れる電流
によつて温度係数が変わる）、これは抵抗80の値を変え
ることで具体化できる。
従って、この具体例では、電圧Vcが抵抗82、82Aの分
圧比82A/（82＋82A）で決まるので、補正に際しての、
抵抗82、82Aそのものによる温度の影響を少なくするこ
とができ、さらに高精度化が可能である。
圧比82A/（82＋82A）で決まるので、補正に際しての、
抵抗82、82Aそのものによる温度の影響を少なくするこ
とができ、さらに高精度化が可能である。
第７図も制御回路40の具体例で、この例は、エアフロ
ーセンサの過渡特性（具体的には空気流量の変化に対す
るパルス出力電圧の周波数変化）を改善するため、定温
度制御回路１内に位相補償回路101を設けたものであ
り、本補償回路は抵抗90、91、93、コンデンサ92より構
成される。
ーセンサの過渡特性（具体的には空気流量の変化に対す
るパルス出力電圧の周波数変化）を改善するため、定温
度制御回路１内に位相補償回路101を設けたものであ
り、本補償回路は抵抗90、91、93、コンデンサ92より構
成される。
従って、これらの定数を適宜設定することで過渡応答
特性を容易に改善することができる。
特性を容易に改善することができる。
そして、この具体例では、抵抗90、93もチップ1A内に
入れており、こうすることにより、特性の調整がさらに
精度よく行い得る。つまり、抵抗90、91の配分を考慮し
ておけば、外部抵抗91をハイブリツド基板上等で精度よ
くトリミングできるので、特性の向上が図れるのであ
る。
入れており、こうすることにより、特性の調整がさらに
精度よく行い得る。つまり、抵抗90、91の配分を考慮し
ておけば、外部抵抗91をハイブリツド基板上等で精度よ
くトリミングできるので、特性の向上が図れるのであ
る。
第８図も制御回路40の具体例で、この例では、抵抗2
1、201、203等をチップ1Aの外に出しており、これらの
抵抗のトリミングにより、センサの精度を向上させるこ
とができる。つまり、抵抗21、201、203等はハイブリツ
ド基板上の抵抗として製作され、この抵抗はチップ内の
抵抗（半導体の拡張で作られる）に比べばらつき、温度
係数が小さい上、基板上でのトリミングが可能なので、
センサの精度が向上できるのである。
1、201、203等をチップ1Aの外に出しており、これらの
抵抗のトリミングにより、センサの精度を向上させるこ
とができる。つまり、抵抗21、201、203等はハイブリツ
ド基板上の抵抗として製作され、この抵抗はチップ内の
抵抗（半導体の拡張で作られる）に比べばらつき、温度
係数が小さい上、基板上でのトリミングが可能なので、
センサの精度が向上できるのである。
第９図は、本発明の一実施例で、この実施例は、PAFS
の１チップ化に際して、そのチップ内に集積化すべき回
路と、トランジスタの配置について工夫したもので、定
温度制御回路１、ゼロ／スパン回路２、電源回路４など
のアナログ系の回路と、ディジタル（パルス）系の回路
であるVCO回路３とを、トランジスタ10を中間にして両
側に配置したものである。
の１チップ化に際して、そのチップ内に集積化すべき回
路と、トランジスタの配置について工夫したもので、定
温度制御回路１、ゼロ／スパン回路２、電源回路４など
のアナログ系の回路と、ディジタル（パルス）系の回路
であるVCO回路３とを、トランジスタ10を中間にして両
側に配置したものである。
この実施例の配置によれば、アナログ系の回路１、
２、４とディジタル系の回路３とが、トランジスタ10に
よつて物理的に隔離されており、この両回路間の電気的
な結合や干渉（特に静電的な結合）を少なくすることが
できる。これは電気的なノイズがトランジスタ10によつ
てしやへいされるためであり、従って、この実施例によ
れば、ノイズに強い信頼性に富んだPAFSを容易に得るこ
とができる。
２、４とディジタル系の回路３とが、トランジスタ10に
よつて物理的に隔離されており、この両回路間の電気的
な結合や干渉（特に静電的な結合）を少なくすることが
できる。これは電気的なノイズがトランジスタ10によつ
てしやへいされるためであり、従って、この実施例によ
れば、ノイズに強い信頼性に富んだPAFSを容易に得るこ
とができる。
本発明によれば、PAFSの構成要素である各回路を同一
チップの中に集積化できるので、センサそのものを小形
にできる他、外部への引出し線が少なくなるのでサージ
電圧や電磁波（電波）などの影響を受けにくくなる、チ
ップ内の温度分布を利用して温度補償をし精度を向上し
得る等の効果がある。
チップの中に集積化できるので、センサそのものを小形
にできる他、外部への引出し線が少なくなるのでサージ
電圧や電磁波（電波）などの影響を受けにくくなる、チ
ップ内の温度分布を利用して温度補償をし精度を向上し
得る等の効果がある。
第１図は１チップ化されたパルス出力型熱線式空気流量
計の原理構成図、第２図、第３図、第４図、第５図、第
６図、第７図、第８図は夫々制御回路の具体例を示す回
路図、第９図は本発明の一実施例を示す配置図、第10図
はパルス出力型熱線式空気流量計の従来例を示す構成
図、第11図は定温度制御回路及びゼロ／スパン回路それ
に基準電圧回路の一例を示す回路図、第12図は電圧制御
発振器の一例を示す回路図である。 １……定温度制御回路、1A……チップ（半導体集積回
路）、２……ゼロ／スパン回路、３……電圧制御発振
器、４……基準電圧回路、９、110……電源端子、10…
…トランジスタ、11……ホットワイヤ（熱線素子）、12
……コールドワイヤ（冷線素子）、40……１チップ制御
回路。
計の原理構成図、第２図、第３図、第４図、第５図、第
６図、第７図、第８図は夫々制御回路の具体例を示す回
路図、第９図は本発明の一実施例を示す配置図、第10図
はパルス出力型熱線式空気流量計の従来例を示す構成
図、第11図は定温度制御回路及びゼロ／スパン回路それ
に基準電圧回路の一例を示す回路図、第12図は電圧制御
発振器の一例を示す回路図である。 １……定温度制御回路、1A……チップ（半導体集積回
路）、２……ゼロ／スパン回路、３……電圧制御発振
器、４……基準電圧回路、９、110……電源端子、10…
…トランジスタ、11……ホットワイヤ（熱線素子）、12
……コールドワイヤ（冷線素子）、40……１チップ制御
回路。
Claims (1)
- 【請求項１】流量検出用の熱線素子と、温度検出用の冷
線素子とを用い、制御用の電子回路として、少なくとも
定温度制御回路と、ゼロ／スパン回路、それに電圧−周
波数変換回路とを備え、流量検出信号をパルス密度信号
として直接出力する方式のパルス出力型熱線式空気流量
計において、 上記定温度制御回路と、ゼロ／スパン回路、それに電圧
−周波数変換回路を同一の半導体チップに集積回路化
し、 上記半導体チップ上での集積回路の配置が、上記定温度
制御回路及び上記ゼロ／スパン回路で代表されるアナロ
グ回路部と、上記電圧−周波数変換回路で代表されるデ
ィジタル回路部とに位置的に分離され、 これらアナログ回路部とディジタル回路部との間に上記
定温度制御回路に含まれた上記熱線素子加熱電流制御用
のパワートランジスタを配置させたことを特徴とするパ
ルス出力型熱線式空気流量計。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02066909A JP3135245B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | パルス出力型熱線式空気流量計 |
| DE69119462T DE69119462T2 (de) | 1990-03-19 | 1991-03-07 | Hitzdraht-Anemometer |
| EP91301913A EP0449443B1 (en) | 1990-03-19 | 1991-03-07 | Hot wire air flow meter |
| US07/666,876 US5226319A (en) | 1990-03-19 | 1991-03-08 | Hot wire air flow meter |
| KR1019910004311A KR100197032B1 (ko) | 1990-03-19 | 1991-03-19 | 펄스출력형 열선식 공기유량계 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02066909A JP3135245B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | パルス出力型熱線式空気流量計 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8041002A Division JP2846613B2 (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | パルス出力型熱線式空気流量計 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03269218A JPH03269218A (ja) | 1991-11-29 |
| JP3135245B2 true JP3135245B2 (ja) | 2001-02-13 |
Family
ID=13329565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02066909A Expired - Lifetime JP3135245B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | パルス出力型熱線式空気流量計 |
Country Status (5)
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| EP (1) | EP0449443B1 (ja) |
| JP (1) | JP3135245B2 (ja) |
| KR (1) | KR100197032B1 (ja) |
| DE (1) | DE69119462T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012063311A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 内燃機関の制御装置 |
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| JP2006245154A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Rohm Co Ltd | 半導体集積回路装置 |
| JP5135815B2 (ja) * | 2006-02-14 | 2013-02-06 | ミツミ電機株式会社 | 半導体集積回路装置 |
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| JP5220647B2 (ja) * | 2009-02-12 | 2013-06-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 自動分析装置 |
| JP5548104B2 (ja) * | 2010-11-10 | 2014-07-16 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 内燃機関の制御装置 |
| CN110533966B (zh) * | 2019-10-14 | 2021-03-19 | 郑州铁路职业技术学院 | 一种外语口语校正系统 |
| CN111829691B (zh) * | 2020-06-29 | 2022-10-21 | 中国辐射防护研究院 | 一种用于非中性边界层风温瞬态测量的装置及方法 |
| US11824350B1 (en) | 2021-08-31 | 2023-11-21 | Smart Wires Inc. | Clamping circuit for protecting FACTs |
Family Cites Families (14)
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|---|---|---|---|---|
| US3992940A (en) * | 1973-11-02 | 1976-11-23 | Chrysler Corporation | Solid state fluid flow sensor |
| JPS5931412A (ja) * | 1982-08-16 | 1984-02-20 | Hitachi Ltd | 熱線式空気流量計 |
| US4548078A (en) * | 1982-09-30 | 1985-10-22 | Honeywell Inc. | Integral flow sensor and channel assembly |
| DE3248603A1 (de) * | 1982-12-30 | 1984-07-12 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Einrichtung zur messung des massendurchsatzes eines stroemenden mediums |
| ATE24772T1 (de) * | 1983-03-18 | 1987-01-15 | Putten Antonius F P Van | Einrichtung zum messen der fliessgeschwindigkeit eines mediums. |
| JPH0675247B2 (ja) * | 1983-11-04 | 1994-09-21 | 株式会社日立製作所 | 空気流量検出装置 |
| JPS60178317A (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-12 | Nippon Denso Co Ltd | 空気流量検出装置 |
| JPS6117019A (ja) * | 1984-07-03 | 1986-01-25 | Nippon Soken Inc | 空気流量測定装置 |
| US4693115A (en) * | 1984-04-24 | 1987-09-15 | Nippon Soken, Inc. | Device for measuring flow rate of air |
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| JPS6141919A (ja) * | 1984-08-03 | 1986-02-28 | Hitachi Ltd | 熱線式流量計 |
| JPH0746058B2 (ja) * | 1985-10-01 | 1995-05-17 | 株式会社日立製作所 | 空気流量検出器 |
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| DE3809110C2 (de) * | 1988-03-18 | 1995-10-12 | Wolfgang Dipl Ing Sass | Einrichtung zur Gasmassenstrommessung |
-
1990
- 1990-03-19 JP JP02066909A patent/JP3135245B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-03-07 DE DE69119462T patent/DE69119462T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-03-07 EP EP91301913A patent/EP0449443B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-08 US US07/666,876 patent/US5226319A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-19 KR KR1019910004311A patent/KR100197032B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012063311A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 内燃機関の制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0449443B1 (en) | 1996-05-15 |
| EP0449443A1 (en) | 1991-10-02 |
| KR100197032B1 (ko) | 1999-06-15 |
| US5226319A (en) | 1993-07-13 |
| KR910017173A (ko) | 1991-11-05 |
| JPH03269218A (ja) | 1991-11-29 |
| DE69119462D1 (de) | 1996-06-20 |
| DE69119462T2 (de) | 1997-01-16 |
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