JP3126469B2 - X−Y−θZ 軸板ばねコンプライアンス機構 - Google Patents
X−Y−θZ 軸板ばねコンプライアンス機構Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は組み立てロボット等に適
用して位置誤差を吸収するのに適したX−Y−θZ 軸板
ばねコンプライアンス機構に関する。
用して位置誤差を吸収するのに適したX−Y−θZ 軸板
ばねコンプライアンス機構に関する。
【0002】コンプライアンス(complianc
e)とは剛性(rigidity)の逆数であり、物体
に何らかの力が加わった場合の変形Aと力Fの比A/F
で、変形し易さ及び撓み易さを表す関数である。
e)とは剛性(rigidity)の逆数であり、物体
に何らかの力が加わった場合の変形Aと力Fの比A/F
で、変形し易さ及び撓み易さを表す関数である。
【0003】例えば組み立てロボットにおいて嵌め合い
作業を行う場合、ハンドに柔軟性がない場合には非常に
厳しい位置決め精度が要求され、作業効率が著しく悪化
する。そのため、通常ロボットハンドとロボットアーム
の間にコンプライアンス機構を介在させて、ロボットハ
ンドに柔軟性を持たせるようにしている。
作業を行う場合、ハンドに柔軟性がない場合には非常に
厳しい位置決め精度が要求され、作業効率が著しく悪化
する。そのため、通常ロボットハンドとロボットアーム
の間にコンプライアンス機構を介在させて、ロボットハ
ンドに柔軟性を持たせるようにしている。
【0004】
【従来の技術】図17を参照すると、従来のX−Y−θ
Z 軸コンプライアンス機構が概略的に示されている。ロ
ボットアームに接続される部材2とロボットハンドに接
続される部材4とはZ軸方向に伸長する弾性体6により
連結されている。弾性体6はZ軸方向の剛性が高く、X
Y平面の剪断剛性が低くなるように設計されている。
Z 軸コンプライアンス機構が概略的に示されている。ロ
ボットアームに接続される部材2とロボットハンドに接
続される部材4とはZ軸方向に伸長する弾性体6により
連結されている。弾性体6はZ軸方向の剛性が高く、X
Y平面の剪断剛性が低くなるように設計されている。
【0005】ロボットハンドに懸かるX−Y−θZ 軸方
向の外力は、弾性体6に対して剪断力として働き、弾性
体6の剛性が低いため図17(B)に示すように大きな
変形が生じる。その他の方向の外力は、弾性体6に対し
て軸力として働き、この方向の剛性が高いため弾性体6
はほとんど変形を生じない。
向の外力は、弾性体6に対して剪断力として働き、弾性
体6の剛性が低いため図17(B)に示すように大きな
変形が生じる。その他の方向の外力は、弾性体6に対し
て軸力として働き、この方向の剛性が高いため弾性体6
はほとんど変形を生じない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図17に示し
たような従来のコンプライアンス機構では、Z軸方向の
長さを短く(薄型化)しようとすると、弾性体6の長さ
を短くしなければならず、弾性体の変形範囲が小さくな
ってしまうという問題がある。また、コンプライアンス
が効く方向の外力は外付けの力センサで測定していたた
め、装置が複雑になるという問題があった。
たような従来のコンプライアンス機構では、Z軸方向の
長さを短く(薄型化)しようとすると、弾性体6の長さ
を短くしなければならず、弾性体の変形範囲が小さくな
ってしまうという問題がある。また、コンプライアンス
が効く方向の外力は外付けの力センサで測定していたた
め、装置が複雑になるという問題があった。
【0007】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、Z軸方向の薄型化
を図ったX−Y−θZ 軸板ばねコンプライアンス機構を
提供することである。
のであり、その目的とするところは、Z軸方向の薄型化
を図ったX−Y−θZ 軸板ばねコンプライアンス機構を
提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】図1に本発明の原理を示
す。図1(A)は正面図、(B)はその側面図である。
X−Y−Z軸を図のように定め、各軸回りの回転方向を
θX ,θY ,θZ 軸とする。
す。図1(A)は正面図、(B)はその側面図である。
X−Y−Z軸を図のように定め、各軸回りの回転方向を
θX ,θY ,θZ 軸とする。
【0009】外形及び剛性の等しい4枚の板ばね12
を、正方形の格子型に板ばね表面と平行な回転軸を有す
る回転リンク14で結合する。そして、互いに相対して
向き合う2対の板ばね12のうち、1対の板ばね12間
に可動剛体16を各板ばね12の中点に橋渡しするよう
にネジ18で固定する。また、他の1対の板ばね12
は、それらの板ばね12の中点で静止剛体20にネジ2
2で固定する。
を、正方形の格子型に板ばね表面と平行な回転軸を有す
る回転リンク14で結合する。そして、互いに相対して
向き合う2対の板ばね12のうち、1対の板ばね12間
に可動剛体16を各板ばね12の中点に橋渡しするよう
にネジ18で固定する。また、他の1対の板ばね12
は、それらの板ばね12の中点で静止剛体20にネジ2
2で固定する。
【0010】このように、板ばね12で可動剛体16と
静止剛体20を連結すると、可動剛体16は静止剛体2
0に対し、X,Y,θZ 軸方向に低い剛性で、その他の
方向には高い剛性で支持できるため、X,Y,θZ 軸方
向のみに可動剛体16が移動可能な薄型の板ばねコンプ
ライアンス機構を実現できる。
静止剛体20を連結すると、可動剛体16は静止剛体2
0に対し、X,Y,θZ 軸方向に低い剛性で、その他の
方向には高い剛性で支持できるため、X,Y,θZ 軸方
向のみに可動剛体16が移動可能な薄型の板ばねコンプ
ライアンス機構を実現できる。
【0011】
【作用】図2〜図4に可動剛体16の力点24にX軸方
向の外力、Y軸方向の外力及びθZ 方向の外力が働いた
ときの各板ばね12の変形の仕方をそれぞれ示す。
向の外力、Y軸方向の外力及びθZ 方向の外力が働いた
ときの各板ばね12の変形の仕方をそれぞれ示す。
【0012】次に、X−Y平面の並進力Fが働いた場合
の、X軸方向及びY軸方向の力の検出方法を図5〜図7
を参照して説明する。図5に示すようにX−Y平面上に
並進力Fが働いたとすると、板ばね12aと12c、及
び板ばね12bと12dは力学的に等価な関係になり同
様の変形を生ずる。
の、X軸方向及びY軸方向の力の検出方法を図5〜図7
を参照して説明する。図5に示すようにX−Y平面上に
並進力Fが働いたとすると、板ばね12aと12c、及
び板ばね12bと12dは力学的に等価な関係になり同
様の変形を生ずる。
【0013】X軸に垂直な方向に取り付けられた板ばね
12aは両端の回転リンク14において図6(A)に示
すような外力を受ける。板ばね12aと可動剛体16と
の固定部に近い板ばね12aの表面に4枚の同種の歪ゲ
ージa,A,b,Bを取り付ける。但し、歪ゲージaと
b、AとBはX軸に関して対称な位置関係とし、歪ゲー
ジaとA、歪ゲージbとBは板ばね12aを挟んで表と
裏の同じ位置に貼付する。
12aは両端の回転リンク14において図6(A)に示
すような外力を受ける。板ばね12aと可動剛体16と
の固定部に近い板ばね12aの表面に4枚の同種の歪ゲ
ージa,A,b,Bを取り付ける。但し、歪ゲージaと
b、AとBはX軸に関して対称な位置関係とし、歪ゲー
ジaとA、歪ゲージbとBは板ばね12aを挟んで表と
裏の同じ位置に貼付する。
【0014】これら4枚の歪ゲージを用いて図6(B)
に示すブリッジ回路を組むことにより、X軸方向以外の
外力による歪みがキャンセルされ、X軸方向の力のみに
比例した出力電圧VX-OUT を取り出すことができる。
に示すブリッジ回路を組むことにより、X軸方向以外の
外力による歪みがキャンセルされ、X軸方向の力のみに
比例した出力電圧VX-OUT を取り出すことができる。
【0015】Y軸方向の力も同様にして、図7(A)に
示すように、板ばね12bと静止剛体20との固定部に
近い板ばね12bの表面に4枚の同種の歪ゲージc,
C,d,Dを取り付ける。但し、歪ゲージcとd、Cと
DはY軸に関して対称な位置関係とし、歪ゲージcと
C、歪ゲージdとDは板ばね12bを挟んで表と裏の同
じ位置に貼付する。
示すように、板ばね12bと静止剛体20との固定部に
近い板ばね12bの表面に4枚の同種の歪ゲージc,
C,d,Dを取り付ける。但し、歪ゲージcとd、Cと
DはY軸に関して対称な位置関係とし、歪ゲージcと
C、歪ゲージdとDは板ばね12bを挟んで表と裏の同
じ位置に貼付する。
【0016】これら4枚の歪ゲージを用いて図7(B)
に示すブリッジ回路を組むことにより、Y軸方向以外の
外力による歪みがキャンセルされ、Y軸方向の力のみに
比例した出力電圧VY-OUT を取り出すことができる。
に示すブリッジ回路を組むことにより、Y軸方向以外の
外力による歪みがキャンセルされ、Y軸方向の力のみに
比例した出力電圧VY-OUT を取り出すことができる。
【0017】次に、外力としてθZ 軸方向に回転モーメ
ントMが加わった場合を、図8及び図9を参照して説明
する。図8はθZ 軸方向のモーメントMが働いた場合を
示しており、この場合には各板ばねの長さをLとする
と、静止剛体20に固定された板ばね12dは両端の回
転リンクにおいて図9(A)に示すような偶力を受け
る。
ントMが加わった場合を、図8及び図9を参照して説明
する。図8はθZ 軸方向のモーメントMが働いた場合を
示しており、この場合には各板ばねの長さをLとする
と、静止剛体20に固定された板ばね12dは両端の回
転リンクにおいて図9(A)に示すような偶力を受け
る。
【0018】板ばね12dと静止剛体20との固定部に
近い板ばね12dの表面に4枚の同種の歪ゲージe,
E,f,Fを取り付ける。但し、歪ゲージeとf、Eと
FはY軸に関して対称な位置関係とし、歪ゲージeと
E、fとFは板ばね12dを挟んで表と裏の同じ位置に
貼付する。
近い板ばね12dの表面に4枚の同種の歪ゲージe,
E,f,Fを取り付ける。但し、歪ゲージeとf、Eと
FはY軸に関して対称な位置関係とし、歪ゲージeと
E、fとFは板ばね12dを挟んで表と裏の同じ位置に
貼付する。
【0019】これら4枚の歪ゲージを用いて図9(B)
に示すブリッジ回路を組むことにより、θZ 軸方向以外
の外力による歪みがキャンセルされ、Z軸回りのモーメ
ントMのみに比例した出力電圧VM-OUT を取り出すこと
ができる。
に示すブリッジ回路を組むことにより、θZ 軸方向以外
の外力による歪みがキャンセルされ、Z軸回りのモーメ
ントMのみに比例した出力電圧VM-OUT を取り出すこと
ができる。
【0020】このように、本発明の板ばねコンプライア
ンス機構の板ばね表面に歪ゲージを取り付けて適当にブ
リッジ回路を組むことにより、新たに外付けの力センサ
を設けることなくX,Y,θZ 軸方向の力を独立して電
気信号として取り出すことができる。
ンス機構の板ばね表面に歪ゲージを取り付けて適当にブ
リッジ回路を組むことにより、新たに外付けの力センサ
を設けることなくX,Y,θZ 軸方向の力を独立して電
気信号として取り出すことができる。
【0021】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。まず、図10及び図11を参照して本発明
の第1実施例を説明する。図10に示すように、ロボッ
トハンド26とロボットアーム28との間に本発明のコ
ンプライアンス機構30が介装されている。
に説明する。まず、図10及び図11を参照して本発明
の第1実施例を説明する。図10に示すように、ロボッ
トハンド26とロボットアーム28との間に本発明のコ
ンプライアンス機構30が介装されている。
【0022】コンプライアンス機構30の可動剛体36
をロボットハンド26に接続し、コンプライアンス機構
30の静止剛体38をロボットアーム28に接続するこ
とにより、ロボットハンド26とロボットアーム28と
の間にX−Y−θZ 軸方向のコンプライアンスを持たせ
たものである。
をロボットハンド26に接続し、コンプライアンス機構
30の静止剛体38をロボットアーム28に接続するこ
とにより、ロボットハンド26とロボットアーム28と
の間にX−Y−θZ 軸方向のコンプライアンスを持たせ
たものである。
【0023】図11の断面図に示すように、コンプライ
アンス機構30を構成する4個の板ばね32は正方形の
格子状に回転リンク34により結合されている。そして
板ばね32には図6、図7及び図9で説明した歪ゲージ
が取り付けられており、各歪ゲージのブリッジ回路の出
力は力センサ出力40として出力される。
アンス機構30を構成する4個の板ばね32は正方形の
格子状に回転リンク34により結合されている。そして
板ばね32には図6、図7及び図9で説明した歪ゲージ
が取り付けられており、各歪ゲージのブリッジ回路の出
力は力センサ出力40として出力される。
【0024】このように構成することにより、ロボット
ハンド26にX−Y−θZ 軸方向の外力が懸かると板ば
ね32が撓み、ロボットアーム28端部のX−Y−θZ
軸方向の位置誤差を吸収し、コンプライアンス機構付ロ
ボットハンド26を使用して嵌め合い作業等を確実に行
うことができる。
ハンド26にX−Y−θZ 軸方向の外力が懸かると板ば
ね32が撓み、ロボットアーム28端部のX−Y−θZ
軸方向の位置誤差を吸収し、コンプライアンス機構付ロ
ボットハンド26を使用して嵌め合い作業等を確実に行
うことができる。
【0025】コンプライアンス機構30の厚みは主に板
ばね32の幅で決定され、非常に薄型にできる。また、
力センサの出力40をロボットにフィードバックするこ
とにより、ロボット位置、姿勢データを補正することが
可能であり、より正しい位置でのロボット作業が可能と
なる。
ばね32の幅で決定され、非常に薄型にできる。また、
力センサの出力40をロボットにフィードバックするこ
とにより、ロボット位置、姿勢データを補正することが
可能であり、より正しい位置でのロボット作業が可能と
なる。
【0026】次に、図12〜図14を参照して、本発明
の第2実施例について説明する。ロボットハンド42と
ロボットアーム44の間にはコンプライアンス機構46
と、偏平コイルモータ47とが介装されている。コンプ
ライアンス機構46の可動剛体48にロボットアーム4
2に接続された偏平コイルモータ47のムーヴィングコ
イル52を結合する。
の第2実施例について説明する。ロボットハンド42と
ロボットアーム44の間にはコンプライアンス機構46
と、偏平コイルモータ47とが介装されている。コンプ
ライアンス機構46の可動剛体48にロボットアーム4
2に接続された偏平コイルモータ47のムーヴィングコ
イル52を結合する。
【0027】そして、ロボットアーム42にコンプライ
アンス機構46の静止剛体50を結合し、静止剛体50
にヨーク支持体54を取り付ける。ヨーク支持体54に
はムーヴィングコイル52を間に挟むようにヨーク5
6、58が取り付けられており、ヨーク56には永久磁
石60が固定されている。
アンス機構46の静止剛体50を結合し、静止剛体50
にヨーク支持体54を取り付ける。ヨーク支持体54に
はムーヴィングコイル52を間に挟むようにヨーク5
6、58が取り付けられており、ヨーク56には永久磁
石60が固定されている。
【0028】ムーヴィングコイル52はX−Y平面と平
行に設置された平板のベース61上に4個の独立駆動可
能に構成した偏平コイル62を図14に示すようにオフ
セット配置する。これらの偏平コイル62に対し、Z軸
方向に磁界を架けるように永久磁石60とヨーク56,
58により図13に示すような閉磁路64を形成する。
行に設置された平板のベース61上に4個の独立駆動可
能に構成した偏平コイル62を図14に示すようにオフ
セット配置する。これらの偏平コイル62に対し、Z軸
方向に磁界を架けるように永久磁石60とヨーク56,
58により図13に示すような閉磁路64を形成する。
【0029】長手方向がY軸と平行に配置した偏平コイ
ル62を励磁すると、偏平コイル62はX軸方向の推力
を受ける。X軸方向に推力を発生する偏平コイル62は
2個あり、これらはオフセット配置されているため、2
つの偏平コイル62の推力の差からZ軸回りの偶力を発
生することもできる。
ル62を励磁すると、偏平コイル62はX軸方向の推力
を受ける。X軸方向に推力を発生する偏平コイル62は
2個あり、これらはオフセット配置されているため、2
つの偏平コイル62の推力の差からZ軸回りの偶力を発
生することもできる。
【0030】同様に、長手方向がX軸と平行に配置した
偏平コイル62を励磁することで、Y軸方向への推力
と、Z軸回りの偶力を発生させることが可能である。こ
れらX,Y軸方向の推力とZ軸回りの偶力の大きさは4
個の偏平コイル62の各通電量と各通電方向を制御する
ことにより、独立して調整可能である。
偏平コイル62を励磁することで、Y軸方向への推力
と、Z軸回りの偶力を発生させることが可能である。こ
れらX,Y軸方向の推力とZ軸回りの偶力の大きさは4
個の偏平コイル62の各通電量と各通電方向を制御する
ことにより、独立して調整可能である。
【0031】本実施例は、各方向の力センサの出力に比
例した電流を各方向に力を発生する偏平コイルモータ4
7の所定の偏平コイル62に通電することにより、ロボ
ットアーム端とロボットハンド間の見掛けのばね定数を
変えられるようにしたものである。
例した電流を各方向に力を発生する偏平コイルモータ4
7の所定の偏平コイル62に通電することにより、ロボ
ットアーム端とロボットハンド間の見掛けのばね定数を
変えられるようにしたものである。
【0032】このような機構で見掛けのばね定数を可変
にすることで、嵌め合い作業の際は軟らかなハンド、運
搬作業の際には硬いハンドというふうに、用途に応じた
コンプライアンスの設定が可能になる。
にすることで、嵌め合い作業の際は軟らかなハンド、運
搬作業の際には硬いハンドというふうに、用途に応じた
コンプライアンスの設定が可能になる。
【0033】次に、図15及び図16を参照して、本発
明の第3実施例を説明する。本実施例のコンプライアン
ス機構70は、4個の板ばね72を正方形の格子状に回
転リンク74で結合し、可動剛体兼ムーヴィングコイル
76をネジ78により相対する一方の板ばね対に取り付
け、他方の板ばね対を静止剛体80に結合して構成され
る。
明の第3実施例を説明する。本実施例のコンプライアン
ス機構70は、4個の板ばね72を正方形の格子状に回
転リンク74で結合し、可動剛体兼ムーヴィングコイル
76をネジ78により相対する一方の板ばね対に取り付
け、他方の板ばね対を静止剛体80に結合して構成され
る。
【0034】本実施例では、コンプライアンス機構の可
動剛体を偏平コイルモータのムーヴィングコイルと一体
化した構造とすることにより、コンプライアンス機構7
0内部に偏平コイルモータを組み込むことができ、全長
を短くすることができる。
動剛体を偏平コイルモータのムーヴィングコイルと一体
化した構造とすることにより、コンプライアンス機構7
0内部に偏平コイルモータを組み込むことができ、全長
を短くすることができる。
【0035】界磁部は図16に示すように2つに分離し
て、静止剛体80を挟むように一対のヨーク支持板8
4,90を静止剛体80に取り付ける。一方のヨーク支
持板84には永久磁石88が固定されたヨーク86が取
り付けられ、他方のヨーク支持板90にはヨーク86に
対向してヨーク92が取り付けられている。
て、静止剛体80を挟むように一対のヨーク支持板8
4,90を静止剛体80に取り付ける。一方のヨーク支
持板84には永久磁石88が固定されたヨーク86が取
り付けられ、他方のヨーク支持板90にはヨーク86に
対向してヨーク92が取り付けられている。
【0036】
【発明の効果】本発明のコンプライアンス機構は以上詳
述したように構成したので、Z軸方向の薄型化を図るこ
とができ、例えばロボットアームとロボットハンドとの
間に介装して嵌め合い作業等を確実に且つ迅速に達成さ
せることができるという効果を奏する。
述したように構成したので、Z軸方向の薄型化を図るこ
とができ、例えばロボットアームとロボットハンドとの
間に介装して嵌め合い作業等を確実に且つ迅速に達成さ
せることができるという効果を奏する。
【図1】本発明の原理図である。
【図2】X軸方向の力による変形を示す図である。
【図3】Y軸方向の力による変形を示す図である。
【図4】θZ 軸方向の力による変形を示す図である。
【図5】X−Y平面の並進力Fが働いた場合の図であ
る。
る。
【図6】X軸方向の力の検出方法を説明する図である。
【図7】Y軸方向の力の検出方法を説明する図である。
【図8】θZ 軸方向のモーメントMが働いた場合の図で
ある。
ある。
【図9】θZ 軸方向のモーメントの検出方法を説明する
図である。
図である。
【図10】第1実施例の一部断面正面図である。
【図11】図10のA−A線断面図である。
【図12】第2実施例の一部断面正面図である。
【図13】偏平コイルモータの拡大断面図である。
【図14】ムーヴィングコイル平面図である。
【図15】第3実施例平面図である。
【図16】第3実施例の分解側面図である。
【図17】従来例図である。
12 板ばね 14 回転リンク 16 可動剛体 20 静止剛体 26,42 ロボットハンド 28,44 ロボットアーム 30,46,70 コンプライアンス機構 36,48 可動剛体 38,50 静止剛体 47 偏平コイルモータ 52 ムーヴィングコイル 76 可動剛体兼ムーヴィングコイル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B25J 17/02
Claims (4)
- 【請求項1】 外形及び剛性の等しい4枚の板ばね(12)
を、板ばねの表面と平行な回転軸を有する4個の回転リ
ンク(14)で、正方形の格子状をなすように短辺同士で結
合し、 互いに相対して向き合う2対の板ばね(12)のうち、1対
の板ばね(12)の間に可動剛体(16)を各板ばね(12)の中点
に橋渡しするように固定するとともに、 他方の板ばね対を各板ばね(12)の中点で静止剛体(20)に
固定することにより、該可動剛体(16)と静止剛体(20)を
前記4枚の板ばね(12)及び4個の回転リンク(14)で連結
して構成され、 前記可動剛体(16)と静止剛体(20)の間に、板ばね(12)の
表面に垂直な互いに直交するX軸及びY軸方向と、該X
軸及びY軸に直交するZ軸の回転方向にコンプライアン
スを持たせたX−Y−θZ 軸板ばねコンプライアンス機
構。 - 【請求項2】 前記可動剛体(16)に固定された板ばね(1
2)のうち一方の板ばね(12)の表裏にそれぞれ対向して該
可動剛体(16)と板ばね(12)との固定点を間に挟むように
4個の歪ゲージを該板ばね(12)の長手方向に貼付すると
ともに、該4個の歪ゲージでX軸方向の変位を測定する
第1ブリッジ回路を構成し、 前記静止剛体(20)に固定された板ばね(12)のうち一方の
板ばね(12)の表裏に、それぞれ対向して該静止剛体(20)
と板ばね(12)との固定点を間に挟むように4個の歪ゲー
ジを該板ばね(12)の長手方向に貼付するとともに、該4
個の歪ゲージでY軸方向の変位を測定する第2ブリッジ
回路を構成し、 前記静止剛体(20)に固定された他方の板ばね(12)の表裏
に、それぞれ対向して該静止剛体(20)と板ばね(12)との
固定点を間に挟むように4個の歪ゲージを該板ばね(12)
の長手方向に貼付するとともに、該4個の歪ゲージでθ
Z 軸方向の変位を測定する第3ブリッジ回路を構成した
ことを特徴とする請求項1記載のX−Y−θZ 軸板ばね
コンプライアンス機構。 - 【請求項3】 前記可動剛体(48)にX,Y,θZ 軸方向
に力を独立に制御できる偏平コイルモータ(47)の偏平ム
ーヴィンコイル(52)を取り付けるとともに、前記静止剛
体(50)に該偏平コイルモータ(47)の界磁手段(56,58,60)
を設けたことを特徴とする請求項1又は2記載のX−Y
−θZ 軸板ばねコンプライアンス機構。 - 【請求項4】 前記偏平ムーヴィンコイルを前記可動剛
体と一体化(76)し、格子状に連結された板ばね(72)内に
配置したことを特徴とする請求項3記載のX−Y−θZ
軸板ばねコンプライアンス機構。
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JP04051146A JP3126469B2 (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | X−Y−θZ 軸板ばねコンプライアンス機構 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP04051146A JP3126469B2 (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | X−Y−θZ 軸板ばねコンプライアンス機構 |
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JPH05253883A JPH05253883A (ja) | 1993-10-05 |
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-
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- 1992-03-10 JP JP04051146A patent/JP3126469B2/ja not_active Expired - Fee Related
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