JP3122142B2 - 振動ジャイロスコープ及び組立方法 - Google Patents

振動ジャイロスコープ及び組立方法

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JP3122142B2 JP09527035A JP52703597A JP3122142B2 JP 3122142 B2 JP3122142 B2 JP 3122142B2 JP 09527035 A JP09527035 A JP 09527035A JP 52703597 A JP52703597 A JP 52703597A JP 3122142 B2 JP3122142 B2 JP 3122142B2
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は、振動ジャイロスコープに関連し、特に、慣
性要素と非接触の関係に配置された変換器を有して、簡
便な組立及び測定を容易にするための、実質的に対称的
な部品で構成されたジャイロスコープに関連する。
発明の背景 いくつかの既知の振動ジャイロスコープは、磁気振動
子あるいは圧電振動子を使用して、相対的な角度の変位
すなわち、角速度を検出可能な、角運動量の慣性軸を構
築している。米国特許第2,309,853号では、振動が磁気
的に検出される振動ジャイロスコープが説明されてい
る。そこでは、角位置ジャイロスコープとしての機能を
有する音叉構造が説明されている。なぜなら、音叉は、
角速度ではなく、角位置が検出される間、慣性空間に固
定されたままになるようボールベアリングのスピンドル
に取り付けられているからである。
米国特許第4,802,364号には、磁石／コイル検出を組
み込んだ音叉型の振動ジャイロスコープが開示されてい
る。柄の幾何学的な形状は、柄と取付構造の間の結合性
を低減する。音叉の幾何学的な形状のために磁石に関す
る金属的な帰還路はないように見える。それで、磁石
は、「開ループ」動作を行う。コイルは、音叉の柄に取
り付けられ、関連する配線は、振動する柄から固定され
た土台の部分に向かってされなければならない。そのよ
うな配線は、振動の対称性の妨げとなり、絶縁の必要性
のため所望の振動は減衰されてしまう。また、所定の振
動の振幅を得るために振動用の駆動電流を増加させるこ
とが必要となる。さらに、周囲の磁場との相互作用を阻
止するためにマグネットシールドを実装しなければなら
ない。開ループの磁気構造におけるそのような磁気シー
ルドは、望ましくない渦電流による減衰及び望ましくな
い磁気の相互作用を防止するために、磁石から離して実
装しなければならない。そのように距離をおいてシール
ドをすることは、パッケージ全体の大きさを大きくして
しまうこととなる。
米国特許第4,671,112号には、４つの個別の圧電変換
器を使用して振動を励起し、検出する音叉型ジャイロス
コープが開示されている。それぞれの音叉は、２つの変
換器を備えている。一つの柄には、駆動変換器と第１の
２つの検出変換器があり、もう一方の柄には、駆動振幅
フィードバック変換器（drive amplitude feedback tra
nsducer）と第２の２つの感知検出器がある。２つの柄
は、機械的な結合部材によって結合されており、弾性部
材がその結合部材を装置の台に対して支持している。４
つの圧電変換器が使用されているので、４つの変換器の
力学〜電気の変換効率は、時間および温度に対して異な
って変化し、センサーの出力に誤差を生じてしまう。圧
電変換器は、振動する柄の部分に機械的に結合されるの
で、振動の共振の対称性を低減し、かつ、変えてしまう
可能性があるフレキシブルな配線を変換器に施すことが
必要となる。さらに、最初に製造される柄の弾性主軸
は、一般的には、駆動及び感知検出器の向きとは一致し
ない。そのため、弾性主軸と構成部材の向きを合わせる
ために、構成部材を除去することが一般的には利用され
る。
米国特許第5,193,391号には、慣性要素を振動させる
音叉の柄に取り付けられた磁石と、プリント回路基板上
に形成された駆動／検出コイルを備えた振動角速度ジャ
イロスコープが開示されている。駆動および検出機能
は、磁石間の距離によって達成される。具体的には、磁
石がお互いに近くなる程、磁束の流れは多くなり、コイ
ルの起電力は増加する。柄の幾何学的形状により、柄と
その取付構造との間の結合性は低減される。さらに、磁
石の渦電流による減衰と磁気帰還路は、共振のクオリテ
ィファクターすなわち、Ｑ値を低下させるので、所望の
振動振幅を維持するための駆動電流を増加させる必要が
ある。
図面の簡単な説明 図１は、本発明による慣性要素の分解斜視図である。
図２は、図１の慣性要素の別の実施例の斜視図であ
る。
図３は、図１の組み立てられた慣性要素の斜視図であ
る。
図４は、支持部品および台に取り付けられた図１の慣
性要素の分解斜視図である。
図５は、台に取り付けられた慣性要素の斜視図であ
る。
図6A及び6Bは、それぞれ、本発明の一実施例によるジ
ャイロスコープの分解斜視図及び組み立て品の斜視図で
ある。
図７及び８は、図6A及び6Bに示される慣性要素ととも
に組み立てるためのプリント基板の平面図である。
図９は、本発明の説明で使用する座標系である。
図10は、共通の取り付け台に直交する向きで置かれた
２つの慣性要素の分解斜視図である。
図11は、図6A及び6Bによる慣性要素と共に動作する、
位相遅延ロック回路の概略図である。
図12は、音叉アセンブリと共に動作する回路の概略図
である。
図13A、13B、13C及び13Dは、本発明によるジャイロス
コープの要素の振動運動に関連する時系列の軌跡の絵図
である。
図14A〜14Eは、選択した回路のノードでの動作波形及
び信号の値を示すグラフである。
図15は、本発明による誤差補償回路の概略図である。
図16〜16Cは、磁界の向きに対する動作条件を示すコ
イルアセンブリの絵図である。
図17は、本発明の他の実施例の分解斜視図である。
図18は、図17の実施例の斜視図である。
図19は、図18の実施例の組み立てアセンブリの分解斜
視図である。
図20は、図19の実施例の斜視図である。
図21は、図20の実施例の分解斜視図である。
図22は、図21の実施例の斜視図である。
図23は、図22の実施例の２軸アセンブリの分解斜視図
である。
図24は、図23の実施例の分解斜視図である。
好ましい実施例の説明 図１を参照する。音叉１は、２つの柄７、８及び９を
有しており、それらは、エリンバー、ステンレス合金、
ベリリウム銅、あるいは、ばね鋼などの一枚の金属か
ら、ファインブランキング、スタンピング、エッチン
グ、あるいは、電気放電加工によって形成される。代わ
りとして、そのような音叉の柄は、従来のエッチング技
法を使用して石英から形成することもできる。左側の柄
７と右側の柄９は、その大きさにおいて対称性があり、
音叉１の均質な部材において対称的な弾性ばね特性を提
供する。左側の柄７および右側の柄９を、同じ部材の板
から、同じ製造プロセスによって作成することによっ
て、大きさ及び弾性について良好な対称性を確保するこ
とができる。一般的に、音叉11の部材は温度変化（妥当
な動作範囲の）に対して、ゆるぎない安定性を保つよう
に作成して、その固有振動数が、温度の変化に対してほ
ぼ一定値を保持することを確保しなければならない。中
央の柄８は、取付用フランジ10とともに、全体構造にお
いてフレキシブルな支持を提供する。
磁気帰還路２及び３は、接着剤、レーザ溶接、半田付
け、あるは、真空炉内ろう付けのような、従来の方法に
よって、音叉１の柄７、９の先端に取り付けられる。帰
還路２及び３は、磁気部材の押出し成型、ブランキング
（blanking）、あるいは、電気放電加工によって形成す
ることができる。代替の実施態様では、同様な帰還路20
0、300は、図２に示すように、音叉100と一体となっ
て、磁気部材から形成することができる。
磁束の発生源（ここでは磁石と記載）４及び５は、従
来の方法において、接着剤、自己吸引力、機械的な締め
付け、半田付け、あるいは溶接によって、磁気帰還路２
及び３に取り付けられる。代わりに、磁石400、500は、
磁気帰還路200、300内の柄の先端に取り付けることがで
きる。磁石４と５（あるいは、400と500）はいずれも、
図示されているように磁気ベクトル６によって磁化され
る。それらは、磁気帰還路２及び３への取付前あるいは
取付後に磁化することができる。
磁気帰還路２及び３は磁石４及び５からの磁束を通
し、閉ループの中を磁気ベクトル６に沿ってギャップを
横切って流す。これによって、音叉１にごく近接した磁
気シールドのような他の金属部分との磁気的な相互作用
を最小限にできる。図３に、図１に示した構成部品から
なる完成した音叉アセンブリ11を示す。
図４は、プリント基板13への音叉11のアセンブリを示
す分解図である。取付用フランジ10は、従来の方法、例
えば、接着剤、レーザ溶接、半田付け、真空炉内ろう付
け、あるいは、機械的な締め付けによって台12に取り付
けられる。次に、台12が、例えば、半田付け、溶接、ろ
う付け、あるいは、機械的な締め付けによって、プリン
ト基板13に取り付けられる。
図５に音叉11とプリント基板13の完成アセンブリ（す
なわち電磁変換器アセンブリ）を示す。このアセンブリ
には、自由振動による運動が可能なように、回路基板13
の上部に十分な間隔をあけて、磁石４、５及び磁気帰還
路２、３が取り付けられている。
図6Aの分解斜視図は、プリント基板13に対する及び、
磁石４、５と磁気帰還路２、３との間のギャップ内の、
コイルアセンブリ14の向きを示している。このコイルア
センブリ14は、コイルの主方向が、音叉アセンブリ11の
振動の主軸（すなわち、柄７、９及び取付フランジ10の
側面）に平行になるように配置される。このことによっ
て、圧電型ジャイロスコープでは、振動軸を新たな向き
に変えるために一般的に行われているような、振動要素
から部材を除去するというようなことは必要とされなく
なる。コイルアセンブリ14は、接触パッド15〜20を半田
付けあるいは溶接によってピン21〜26に固定して、機械
的にだけでなく電気的にも接続することができる。代わ
りに、この組み付けは、レーザ溶接、ろう付け、あるい
は、機械的な締め付けを利用することによって行うこと
ができる。
今度は、図7Bを参照する。図7Bには、螺旋状に巻かれ
た、図８のコイルの導体（ここでは導線と記載）の配置
を示すコイルアセンブリ14内のいくつかの層のうちの最
初の一つが示されている。コイルの対31、33は、コイル
の対35、37から、振動する音叉の柄７、９の先端にある
磁石４、５の間の間隔にほぼ一致する間隔だけ分離され
て配置されている。さらに詳しくは、構造31、33及び3
5、37毎の隣り合うループの対は、共通の領域32、36を
有しており、その中では、ループの対に共通な導線を流
れる電気信号は、そのような導線のコイルが、それぞれ
の隣り合うループ内では反対方向を向いているにもかか
わらず、共通の方向に流れる。図7C及び図7Dに示すよう
に、一つまたはそれ以上の続く層を、共に積み重ねて、
対応する接触パッド39〜53を介して、図7Aに示す外側の
接触層40まで接続するように互いに結合することができ
る。それによって、より低い信号レベルで動作するよう
に、多くの巻数を有するコイルを形成することができ
る。
これまで説明してきたコイルアセンブリは、図8A、8
B、及び8Cに示すように、一つまたはそれ以上の螺旋状
に巻かれた、図８のプリント回路基板上のコイルの導線
のレイアウトを有し、それらは、以前に説明したよう
に、図7B、7C、及び7Dに示されているコイルの層と位置
が調整される。位置合わせをされた中央の領域32、36に
おける導線は、図7B〜7Dに示されているコイルの導線を
通して、現在の電流の向きと直交する向きに信号電流を
流す。再び、図8A〜8Cに示すこれらのコイルの層は、関
連する接触パッド介して、外側の接触層40まで接続され
るように互いに結合される。コイルアセンブリ14が、プ
リント基板13上のピン22〜25の位置に取り付けられると
き、コイルの対の中央の領域32、36は、本明細書で後述
するような理由のために対応する磁石４、５と位置合わ
せをされる。
今度は、図6Bと7Bを参照する。磁石４または５の磁束
は、関連する磁気帰還路２または３及び、中央の領域3
2、36内のコイルアセンブリ14、を通過するということ
が注目される。こうして、コイルの対の一つ、すなわち
31、33（図7Cと7Dの層における関連する追加のコイルも
そうであるが）に流れる電気信号は、横方向（すなわ
ち、柄７、９及び取付用フランジ10の面内）において、
中央領域32内の磁束と、中央領域32を横切るコイルの導
線内に同じ方向に流れる信号電流とのベクトル積として
表される起動力を発生する。この力は、柄７を復元しよ
うとする弾性力に逆らって柄７を移動させ、中央の領域
32を横断するコイルの導線に供給される、対応する振動
する信号電流に応答して、中央領域32を通って、左右に
振動する運動を作り出す。
振動している音叉の反対側の柄９は、従来の方法で、
共鳴振動（駆動されている柄７の運動とは同調しない
で）による運動を行い、中央の領域36を横断する位置調
整をされたコイル35、37（及び図7Cと7Dの関連する他の
層のコイル）の導線内に電気信号を生成する。そのよう
な電気信号は、中央の領域を横断する導線を通過する磁
束の変化速度のベクトル積として、従来の方法で生成さ
れる。これらの電気信号は、選択された振幅及び振動す
る音叉の固有振動数に近い周波数で柄７、９における振
動を維持するために、対のコイル31、33に流れる振動す
る駆動信号を制御するための制御信号として利用するこ
とができる。
図10に示されているように、二軸ジャイロスコープ
を、同じ基板13上に組み付けれている図6Bのアセンブリ
の対を使用して形成することができ、それら２つのジャ
イロスコープは、互いに直交する向きに置かれている。
基板は、プラスチックの台55にマウントされ、磁気シー
ルド57は、ユニット60を包んでいる。
図11は、それぞれの軸を有するジャイロスコープに関
する電子回路のブロック図である。駆動変換器270は、
コイルアセンブリ31、33の一部、及び、柄７に取り付け
られた磁気構造２、４の一部を備える。慣性要素280
は、図５に示しているような音叉アセンブリを指す。Ｘ
センサー290は、コイル（例えば、図7Bのコイル35、3
7）及び、駆動フィードバックセンサーとして作用し、
また、慣性要素11の物理的な振動に関する位相及び振幅
情報を回路に提供する磁気構造３、５である。振幅検出
器30、自動利得制御器310、及び制御された電流源320
は、従来の方法で動作して、慣性要素11の振動を、一定
の振幅で、かつ、慣性要素11の固有振動によってほぼ決
まる周波数で持続させる。コイル35、37を備えるＸセン
サー290からの信号390は、速度信号を復調するための位
相基準360として作用し、この位相は、任意に０度に規
定することができる。
Ｙセンサーは、図8A〜8Cに示されているようなコイ
ル、及び、柄の速度差を検出するための磁石４、５を備
えている。Ｙプリアンプ340及びACアンプ350は、復調に
先だって、図8A〜8Cのコイルから受け取る信号のレベル
を上げる。
角度の変位によっては影響を受けない、慣性要素11の
通常動作の間は、柄７、９は、柄の平面に直交する方向
の成分を持たない、柄の平面内の横方向に（すなわち、
Ｘ軸に沿って）振動する。従って、磁石４、５が取り付
けられた柄７、９及び磁気帰還路２、３は、中央の領域
32、36を横断する導線に位置合わせされた方向におい
て、図8A〜8Cの検出コイルの中央の領域32、36を振動し
ながら横断し、従って、導線に起電力を発生しない。こ
の様子は、Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤによって示される時間発生
順の柄の位置として図示している。しかし、ジャイロス
コープの感度の良い軸（すなわち、中央の柄８に平行）
の回りに角速度運動が生じると、振動する柄７、９及び
関連する磁気領域32、36は、これらの慣性要素の慣性モ
ーメントにより、ｘ軸に対して異なる位置に移動し、こ
れらの柄は中央の領域32、36に対して、関連した異なる
振動運動を行う。振動運動の結果としての軌跡は、図13
Bに時間発生順の位置Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤに沿って示され
ている。
図370に、角速度から得られるＹセンサー330からの電
圧の位相を示す。この電圧は、位相基準信号390に対し
て90度の位相を有している。図380は、ｘ軸に沿った主
な振動方向に対する、Ｙ変換器の角度位置合わせ不良に
よる、主要な誤差電圧の位相を示しており、この誤差電
圧は、位相基準信号390に対して０度の位相を有してい
る。理想的には、これらの誤差電圧は、図6A及び6Bに図
示されているような組み付けの間、コイルアセンブリ14
を柄７、９の磁気要素（ここでは磁石）に正確に位置合
わせすることによって、０に減じることができる。セン
サー信号410は、速度電圧370と誤差電圧380の和である
複合電圧である。理想的には、復調器401は、誤差電圧3
80を受け入れず、速度電圧370は通過させる。厳密に誤
差電圧380を受け取らないようにするためには、位相基
準信号420は、誤差電圧380に対して90度の位相、従っ
て、位相基準信号390に対しては90度の位相を持たなけ
ればならない。
位相遅延ロック回路430は、位相基準信号420におい
て、位相基準信号390から、正確に90度の位相シフトを
行うことができる。可変位相遅延回路440は、制御可能
な抵抗と２つのコンデンサとして動作するよう接続され
た２つの電解効果トランジスタを備えている。このよう
な抵抗−コンデンサの各対は、45度の位相シフトを生
じ、その結果、波形460として図示されているように正
弦波であるが、90度位相シフトされた信号450が生じ
る。比較器470は、正弦波信号450を、波形480で図示さ
れているように、位相基準信号420である方形波に変換
する。この信号は、復調器490に位相基準信号として供
給される。位相基準信号420が位相基準信号390から正確
に90度シフトしている場合には、復調器400からの出力5
10は、501で図示されているような、DCレベルが０の波
形を有する。出力510のDCレベルが０である場合には、
積分器520は充電または放電をしない。そのため、可変
位相遅延回路440内の電解効果トランジスタのゲート電
極に供給される位相遅延制御電圧530は、一定のままで
ある。
可変位相遅延回路、すなわち、移相器440が、最初に
スタートするときのように、90度の位相シフトを行わな
い場合には、この位相誤差によって、積分器520は、位
相誤差が修正されるまで充電または放電を行う。例え
ば、移相器440が110度の位相シフトを生じている場合
は、復調器490の出力510は、波形540を有する。波形540
のDCレベルが０より小さい場合には、積分器520は充電
され、それによって、位相遅延制御電圧530は上昇す
る。この上昇した電圧は、位相遅延回路440内の電解効
果トランジスタの抵抗を下げ、次に、90度の位相シフト
が得られるまで、その位相シフトの量を減じる。90度の
位相シフトは時間および温度に対して正確であるので、
Ｙセンサー330と慣性要素の振動の主方向との間の物理
的な位置合わせ不良によって引き起こされる誤差電圧
は、復調器401では受け取られず、変調器401によって生
成され、フィルター及びアンプ371によってフィルタリ
ングを施されるジャイロスコープの出力372には誤差を
生じない。もちろん、関連するそれぞれの慣性要素から
の角速度出力372を提供するために、アセンブリ60内の
それぞれの慣性要素に対して、図11に従う回路が必要と
される。
振動する音叉の温度が変化すると、共振のクオリティ
ファクターすなわち、Ｑ値が変化し、一定の振動振幅を
維持するためにコイル内の駆動電流の振幅が変わってし
まうことになる。また、温度が変わると、磁界の強さが
変化し、同様に、一定の振動振幅を維持するためにコイ
ル内の駆動電流の振幅が変わってしまう。さらに、所定
の振動振幅に対して検出される電圧は、速度対電圧の変
換効率（すなわち、導線上の磁束の変化速度）が磁界に
比例するために、変わってしまう。AGC制御310は、Ｘセ
ンサーで検出された電圧が基準電圧に等しくなるまで、
駆動電流の振幅を調整することによってこれを補償す
る。Ｘセンサー及びＹセンサーは、一つの柄上の同じ磁
界を共有しているので、それらは、共にその同じ磁界
（の強さ）に比例する変換効率を有している。それゆ
え、ＸセンサーとＹセンサーの変換効率間の比は、一定
のままである。
他方の柄では、Ｙセンサーは、第１の柄と同様な特性
を有する、関連する磁石及び磁気帰還路によって生成さ
れる磁界を使用する。こうして、所定の温度では、Ｙセ
ンサーは、第１の柄のＹセンサーとほぼ同様な変換効率
を有する。磁界が変化すると、AGC回路310は、振動運動
の振幅を調整してＸセンサーで検出された電圧振幅を同
じに保つ。
Ｘセンサー及びＹセンサーでの変換効率が実質的に等
しい限り、角速度信号372はＹ方向の運動振幅とＸ方向
の運動振幅に比例し、そのまえ、AGC回路310の作用によ
ってＸのフィードバック電圧を一定に維持することは、
角速度によるＹ電圧もまた、Ｘ及びＹセンサーの変換効
率が、共にほぼ同じ割合で変化しているという事実にも
かかわらず、一定のままであるということを保証する。
再び、図8Aを参照する。磁気領域32は、電気信号「L
S」を生成するコイル71及び72によって横断され、この
電気信号は、図９の711に示すように、「＋Ｙ」方向で
のコイル71及び72に対する磁気領域32の速度を表してい
る。磁気領域36は、コイル73及び74によって横断され、
これらのコイルは、図９の711に示すように、「＋Ｙ」
方向でのコイル71及び72に対する磁気領域32の速度を表
す電気信号「RS」を生成する。
図11に示すような基本動作のために、コイル71、72、
73及び74はYIN＝RS−LSである電圧YINを生成するために
直列に接続される。すなわち、YINは、＋Ｙ方向での磁
気領域36の速度と−Ｙ方向での磁気領域32の速度を加算
した速度を表している。電気信号YINは、図11の「Ｙセ
ンサー」330によって生成される「YIN」信号と考えるこ
とができる。
代替案として、図12に示すように、コイル71及び72
は、コイル73及び74と直列には接続しないようにするこ
とができる。この場合では、コイル71及び72が左側の柄
のセンサー603に対応し、コイル73及び74が右側のセン
サー602に対応する。信号RS 604とLS 605は、プリア
ンプ620及び621によってそれぞれ前置増幅される。磁界
領域32が、磁領域36の磁界の強さと異なる場合のよう
に、左側の柄のＹセンサー603と右側の柄のＹセンサー6
04の速度対電圧変換効率に差がある場合は、プリアンプ
620とプリアンプ621の関連する利得を独立に調整するこ
とによって、このような差を測定して修正することがで
きる。
差動アンプ622は、RS信号からLS信号を減算すること
によって従来の方法で、DIFF信号606を生成する。DIFF
信号606は、図11の信号410に対応し、それは、＋Ｙ方向
での磁気領域36（図8aの）の速度に−Ｙ方向での磁気領
域32の速度を加算した速度を表している。加算アンプ62
3は、LS信号にRS信号を加算することによって、従来の
方法で、SUM信号607を生成する。
復調器608〜611は、正弦波信号390から比較器627によ
って生成される90度位相基準信号420及び０度位相基準
信号601を使用して、DIFF 606及びSUM 607の信号を復
調する。復調器からの出力は、信号628〜631であり、そ
れらは、612〜615でフィルタリングされ、DC復調され、
図12に616〜619で示しているように、アナログ出力DIFF
_90（速度出力）、DIFF_0、SUM_90、及びSUM_0として利
用可能となる。AC電流センサー625は、駆動コイルを通
過する交流を測定し、その電流に比例するDC電圧CURR
626を生成する。CURR信号出力は、下記するようにドリ
フトを補償するために使用することができる。
今度は図13Aから13Eまでを参照する。左側の柄の磁気
領域32のいろいろな経路が、軌跡701、703、705、707、
709によって示されており、右側の柄の磁気領域36の対
応する経路が、軌跡702、704、706、708及び710によっ
て示されている。コイル71、72、73及び74を含むＹセン
サーの向きは、座標系711によって示されている。
図13Aは、完全に位置合わせが施された、回転信号の
ない音叉に対する理想的な軌跡を示している。位置Ａ、
Ｂ、Ｃ及びＤは、一つの振動サイクルの、０度、90度、
180度及び270度の間のそれぞれの磁気領域の４つの位置
をそれぞれ示している。図14Aを参照するに、電気信号X
IN 712は、Ｘセンサーコイル31、33、35及び37によっ
て生成され、座標系711のＸ座標に平行な柄の速度を示
している。DIFFおよびSUM波形713及び714はアンプ622、
623（図12）の出力を表している。従って、表715に示し
ているように、それぞれの復調され、フィルタリングさ
れた出力DIFF_90、DUFF_0、SUM−90、SUM_0（616〜61
9）は０である。
図13Bは、マウントされた柄８に平行な軸の回りを所
定の角速度で回転する、完全に位置合わせが施された振
動する音叉に対する左側及び右側の柄の理想的な軌跡を
示している。図14Bにおいて、DIFF及びSUM波形716及び7
17は、この動作条件のもとでのアンプ622、623（図12）
の出力を表している。この場合、Ｙ方向の速度は、Ｘ方
向の速度に比べて90度だけ位相が遅れている。右側の柄
は＋方向のＹ速度を有するが、左側の柄は−方向のＹ速
度を有しており、そのため、DIFF波形は有効な信号を有
するが、SUM信号は０である。従って、表718に示されて
いるように、DIFF_90出力616は正であるが、他の出力は
０である。
図13Bの軌跡と図14Bの波形は、また、音叉アセンブリ
の角速度が発生しなかったとしても、音叉アセンブリ11
に対する弾性を有する剛性の主軸に対する、Ｘ方向の駆
動力の位置合わせ不良によって生じる。従って、そのよ
うな駆動力の位置合わせ不良のために、装置の主要な速
度出力であるDIFF_90（616）に誤差が生じる。この誤差
をアセンブリ時に低減するために、コイルアセンンブリ
14を、出力DIFF_90が実質的に０になるまで、出力DIFF_
90（616）をモニタしながら、中央の柄８を軸としてそ
の軸の回りに回転させることができる。DIFF_90がほぼ
０になると、コイルアセンブリ14を、ピン21から26まで
の固定した位置に接合する。
図13Cは、駆動力の位置合わせ不良はないが、音叉ア
センブリ11に対する弾性のある剛性の主軸に対する、Ｙ
センサーの回転位置合わせ不良を有する、静的な装置に
対する軌跡を示している。これは、Ｙセンサーの向きを
表す、座標系711に対する、軌跡705および706の軌跡の
角度の位置合わせ不良を見ることによって知ることがで
きる。図1Cにおいて、DIFF及びSUM波形719及び720は、
アンプ622、623（図12）の出力を表している。この場
合、Ｙ速度は、Ｘ速度に位相が一致（位相差０度）して
いる。位置Ｂによって図示されているように、右側の柄
は正のＹ速度を有しているが、左側の柄は、負のＹ速度
を有しており、そのため、DIFF波形は有効な信号を持つ
が、SUM信号は０である。従って、表718に示されている
ように、DIFF_0出力617は正であり、他の出力は０であ
る。要するに、Ｙセンサーの角度の調整不良はDIFF_0
（617）に誤差を発生される。これは、装置に対する主
要な速度出力ではないが、移相器430における位相誤差
は、主要な速度出力DIFF_90において、この誤差のうち
の幾分かを生じさせる。この誤差をアセンブリ時に低減
するために、コイルアセンブリ14を、出力DIFF_0が実質
的に０になるまで、出力DIFF_0（617）をモニタしなが
ら、中央の柄８を軸としてその軸の回りに回転させるこ
とができる。DIFF_0がほぼ０になると、コイルアセンブ
リ14を、ピン21から26までの固定した位置に接合する。
こうして、同じアセンブリ上に駆動および検出コイルを
備えており、さらに、図７及び８のコイルアセンブリを
回転することによって、上述したように、誤差Ｂ（DifF
0）を最小限にし、さらに誤差Ａ（Diff 90）を十分に
最小化することができる。また、２つの個別の出力は、
コイルアセンブリ14と音叉アセンブリ11の弾性の主軸と
の間の正確な回転位置合わせを決定するために利用する
ことができる。上述したように、コイルアセンブリ14に
関しては、駆動力発生コイル（Ｘフォーサー（X force
r））検出コイル（Ｙセンサー）が、同じアセンブリ内
に固定されてマウントされている。それらは、お互いに
ほぼ90度の角度で形成されているので、アセンブリを固
定した位置に接合する前に、コイルアセンブリを十分に
整列させるためにはDIFF_0を使用するだけで十分であ
る。駆動力発生コイルと検出コイルの間の90度の角度に
重大な誤差がある状態で、コイルアセンブリ14が形成さ
れた場合には、DIFF_0とDIFF_90出力の両方が、同時
に、ほぼ０になる角度を決定することは不可能であろ
う。しかし、代わりに実施態様では、駆動コイルは、検
出コイルとは別のアセンブリ上に形成される。この場合
には、駆動コイルアセンブリは、DIFF_90を０に減じる
ために回転可能である。これとは独立に、検出コイルア
センブリは、DIFF_0を０に減じるために回転可能であ
る。これら２つのコイルアセンブリは、そのように校正
された向きで接合されるか、あるいは固定される。
図13Dは、音叉アセンブリ11および／または装置の取
付台の剛性の非対称性によっておこる、左側及び右側の
柄の軌跡の一つの型を示している。軌跡707及び708は、
座標系711におけるＹセンサーの向きに対する位置合わ
せ不良を表している。図14Dにおいて、DIFFとSUM波形72
2及び723は、アンプ622、623（図12）の出力を表してい
る。この場合は、Ｙ速度は、Ｘ速度と位相があっている
（位相差０度）。位置Ｂで示されているように、右側の
柄は正のＹ速度を有しており、左側の柄もまた正のＹ速
度を有している。そのため、SUM波形は、有効な信号を
持つが、DIFF信号は０である。従って、表724に示され
ているように、SUM_0出力619は正であり、他の出力は、
０である。要するに、振動の主軸に沿った左側の柄と右
側の柄における弾性の違いによって、SUM_0（619）に誤
差を生じる。これは、主要な速度出力ではないが、差動
アンプ622の共通モード除去誤差と結合している移相器4
30における位相誤差によって、主要な速度出力であるDI
FF_90出力に、この誤差の幾分かが生じることとなる。
アセンブリ時にこの誤差を低減するために、出力SUM_0
がほぼ０になるまで、部材の除去または、質量の付加に
よって音叉アセンブリ14を微調することができる。
図13Eは、音叉アセンブリ11および／または装置の取
付台の剛性の非対称性によっておこる、左側及び右側の
柄の軌跡の第２の型を示している。軌跡709及び710は、
座標系711におけるＹセンサーの向きに対する位置合わ
せ不良を表している。図14Eにおいて、DIFFとSUM波形72
5及び726は、アンプ622、623（図12）の出力を表してい
る。この場合は、Ｙ速度は、Ｘ速度に比較して、位相が
90度だけ遅れている。位置Ｃで示されているように、右
側の柄は正のＹ速度を有しており、左側の柄もまた正の
Ｙ速度を有している。そのため、SUM波形は有効な信号
を持つが、DIFF信号は０である。従って、表727に示さ
れているように、SUM_90出力619は正であり、他の出力
は、０である。要するに、音叉11あるいは装置のための
取付台における弾性的な非対称性によって、SUM_90（61
8）に誤差が生じることとなる。これは装置に関する主
要な速度出力ではないが、差動アンプ622の共通モード
除去誤差によって、主要な速度出力であるDIFF_90に、
この誤差の幾分かが生じることとなる。アセンブリ時に
この誤差を低減するために、出力SUM_90がほぼ０になる
まで、部材の除去または、質量の付加によって音叉アセ
ンブリ11を微調することができる。
図16A、16B及び16Cは、コイルアセンブリ14を示して
おり、また、駆動コイル31、33及び検出コイル71、72の
両方を示している。各コイルに対する説明用の数字31、
33、71、72は、説明が加えられるコイルによって囲まれ
た２つの像限のそれぞれに配置されている。磁気領域32
は、磁石４及び磁気帰還路２にごく近接しており、それ
らの両方とも、自由空間よりも非常に高い透磁率を有し
ている。電流がコイル31及び33の中を流れるとき、磁気
領域32は、磁束をコイル71及び72に結合しているコイル
71、72内に電圧を誘導する。コイル71、72は、検出シス
テムの一部であるので、この誘導された電圧は、装置の
主要な速度出力に誤差電圧を発生させる可能性を持つ。
コイル31、33からコイル71、72への結合は、相互インダ
クタンスと呼ばれている。相互インダクタンスから誘導
された電圧は、駆動電流に対して位相が90度シフトして
いる。共振システムをその固有振動数で駆動するために
は、駆動力は、速度と位相があっていなければならな
い。しかし、相互インダクタンスによる誤差電圧は、コ
イル31、33内の電流に対して90度位相がシフトしてお
り、それは、速度のＸ成分と位相が合っている。それ
は、次に復調位相基準として使用される。従って、相互
インダクタンスによる誤差電圧は、90度位相基準を使用
する復調器を通って伝達し、DIFF_90及びSUM_90出力61
6、618に影響を及ぼす。
図16A及び16Bは、本発明のコイルの幾何学的形状の利
点を示しており、その中では、ＸまたはＹ位置のみにお
ける位置合わせ不良によって、小さな相互インダクタン
スによる誤差が発生する、図16Aでは、磁気領域32は、
位相合わせされた位置で示されている。磁気領域32を通
って反対の向きに巻かれたコイル31及び32の両方におい
て、等しい磁気領域32がある。従って、コイル31、33と
コイル71、72の間では、相互インダクタンスは０であ
る。磁気領域32が、図16Aに示す位置から、Ｙ方向711に
のみ移動したとしても、コイル31、33には依然として等
しい領域があり、コイル31、33及びコイル71、72の間の
相互インダクタンスは依然として０である。図16Bで
は、座標系711においてＸ方向に位置合わせ不良を有す
る磁気領域32が示されている。コイル31は、コイル33よ
りも多くの磁気領域32を囲んでいる。従って、コイル3
1、33を流れる電流によって、０でない有効な磁束が、
磁気領域32を、さらに、磁石４と磁気帰還路２を備える
磁気回路を通って流れることになる。しかしながら、コ
イル71とコイル72はそれぞれが、磁気領域32の等しいエ
リアを共有しており、コイル71と72は、反対方向に巻か
れているので、コイル71に誘導される電圧は、コイル72
に誘導される電圧によって打ち消される。従って、Ｘ方
向のみの位置合わせ不良によっては、コイル31、32及び
コイル71、72の間に相互インダクタンスは発生しない。
図16Cでは、磁気領域32が、ＸとＹ方向の両方で位置合
わせ不良を有している場合を示している。この場合は、
０でない磁束が磁気領域32を通って流れ、コイル71の誘
導電圧は、コイル72の誘導電圧によっては、完全には打
ち消されない。そのため、この条件のもとでは、コイル
31、33及び71、72の間には、０でない相互インダクタン
スが存在する。このような相互インダクタンスは、コイ
ル31、33を通る既知の正弦波電流を意図的に駆動して、
コイル71、72に誘導される電圧を測定することによって
測定することができる。この電流の周波数は、相互イン
ダクタンスを、機械的な信号を励起しないで測定できる
ようにするために、どの機械的な共振周波数とも異なる
ものとしなければならない。
組み立て時に、前の段落で説明したように相互インダ
クタンスを測定しながら、コイルアセンブリ14の位置を
Ｘおよび／またはＹ方向に調整することによって、相互
インダクタンスを最小にすることができる。相互インダ
クタンスが実質的に、最小化された場合は、コイルアセ
ンブリは、所定の位置に接合されるか、あるは固定され
る。位置調整を行うこのステップは、図13A及び13Bを参
照して説明した、コイルアセンブリを回転させて誤差を
最小にするステップの前あるいは後に実施することがで
きる。
今度は、図15を参照する。主要な速度出力DIFF_90（6
16）は、理想的には、振動する音叉アセンブリの角速度
を表しており、また、理想的には、製造時の不具合、コ
イルの相互インダクタンス、動作温度、取付システムの
剛性のような、組み立て及び動作環境における誤差とは
無関係である。実際は、主要な出力DIFF_90は、組み立
て及び環境における誤差に、完全には無関係ではない。
それらの誤差と実質的に無関係な速度出力を生成するこ
とが望まれており、そのために、下記するように、修正
技法を利用することができる。
DIFF_0、SUM_90、SUM_0及びCURR出力617、618、619、
及び626は、振動する音叉アセンブリの角速度には依存
しないが、製造時の不具合、動作温度及び取付システム
の剛性のような誤差には依存する。出力616、617、61
8、619及び626の誤差に対する依存性は、さまざまな環
境と取付システムのもとで装置を動作させて、それぞれ
の条件に対するこれらの出力電圧を測定することによっ
て、測定できる。それぞれの出力の誤差依存性が特徴づ
けられたら、単終段入力増幅器751、752、753、754、及
び757の差動出力の両端に接続されている調整可能な抵
抗を設定して、振動する音叉アセンブリの角速度への依
存性は維持したまま、最終出力756の誤差依存性を実質
的に誤差と無関係になるようにすることが可能である。
図15の機能は、図示されているように、アナログ回路
によって実行可能であり、あるいは、出力616、617、61
8、619及び626をアナログ−デジタル変換器でサンプリ
ングするデジタルシステムによっても実行可能である。
その場合は、マイクロプロセッサは、サンプリングした
値だけでなく校正用の定数に依存する計算機能を実行す
ることによって、引き続いて、速度出力を計算すること
ができる。この校正定数は、組み立て時に決定すること
ができ、従来の方法で計算機能に組み込まれる適切な校
正因子として不揮発性メモリに格納される。
振動する柄の可能性のある振動軌跡及び関連して発生
する電気信号についての上述した説明と分析から、本発
明の振動装置は、振動面に垂直な方向の運動及び、柄の
振動方向に沿った振動面内の運動に応答する加速度計と
しても作用することができるということに注目できる。
今度は、図１を参照する。完全に対称的である音叉に
おいて、左側の柄７及び右側の柄９は等しい剛性を持
ち、左側の磁石４と右側の磁石５は同じ質量であり、左
側の帰還路２と右側の帰還路３は同じ質量である。この
場合、音叉は、中央の柄８と取付用フランジ10を介し
て、有効な力またはトルクを伝達することなく対称的に
振動する。実際には、製造時の不具合のため、中央の柄
８と取付用フランジ10を介して力とトルクが伝達され
る。図10に示したように、同じ基板10に直交する向きで
取り付けられた図6Bのアセンブリの対を使用して、二軸
ジャイロスコープを形成することができる。上述した音
叉の非対称性のために、力とトルクがそれぞれの音叉ア
センブリから共通の基板13へ伝達される。基板13は、外
側のシールドあるいは容器57に取り付けられたプラスチ
ックの台55上に組み立てられる。伝達された力及びトル
クによって、中央の基板13、プラスチック台55及び容器
57は、その力とトルクの周波数で振動する。この結果発
生した、移動し、回転する振動の振幅、方向及び向き
は、慣性要素の質量、角運動量、基板13、プラスチック
台55、容器57及び組み立て用の組み付けシステムの弾性
的な剛性に依存する。従って、第１の音叉アセンブリの
固有振動数は、第２の音叉アセンブリの固有振動数とは
異なるように設計される。例えば、第１の音叉アセンブ
リは、ほぼ1000Hzの固有振動数を持つよう設計され、第
２の音叉アセンブリは、ほぼ1500Hzの固有振動数を持つ
よう設計される。この場合、共通の基板13は、1000Hzと
1500Hzの両方の周波数で振動する。この共通の基板13に
発生した振動は、それぞれの音叉アセンブリの共鳴振動
を励起する。中央の基板13から中央の柄８を通ってそれ
ぞれの音叉までトルクを伝達させる振動は、左側の柄と
右側の柄の異なる振動を励起し、それらはコイル71、7
2、73、74によって検出される。次に、これは、図12のD
IFF信号606上の誤差電圧信号となる。誤差電圧信号の周
波数は、共通基板13の振動周波数すなわち、ほぼ1000Hz
及びほぼ1500Hzである。しかし、各音叉アセンブリに対
応する復調器は、各音叉の共振周波数で動作する。
例えば、第２の復調器は1500Hzで動作する。第２の復
調器が、共通の基板13の振動による誤差電圧信号復調す
るとき、1000Hzの電圧成分は、1500Hzの基準周波数と混
合されて、有効なDC出力シフトを発生しない。しかし、
加算され、異なる周波数を有する誤差電圧のAC成分は存
在する。この場合、復調器は、誤差信号を復調側波帯と
しての500Hzおよび2500Hzの組にシフトする。このよう
な誤差信号は、ローパスフィルター612、617、618及び6
19を通過すると、出力ノイズとなる可能性がある。それ
ゆえ、２つの音叉の固有振動周波数の間の差は、簡便な
フィルタリングを容易に実行できるように十分に大きく
とらなければならない。同じパッケージ内で、互いに直
交する軸上に３つの音叉をマウントする必要がある用途
では、３つのすべての音叉の固有振動周波数間の差は、
簡便なフィルタリングを容易に実行できるように十分に
大きくとらなければならない。
図17及び18に図示した代わりの実施例では、磁気回路
802〜807は、図２の実施例と同様な方法で、振動する音
叉801の面内に実質的に向きを合わせられており、磁気
部材（例えば、鋼材）で一体成型された磁気帰還路、音
叉、ギャップを横切る磁束の均一性及び密度を改善する
ために、ギャップの反対側に配置された磁石804〜807を
有している。図19及び20に図示しているように、振動す
る柄の質量に比較して十分に思い質量を持つ拡張板80
9、810と関連する磁気回路が、溶接、あるいは、音叉80
8の中央の柄を取り付け板809、810の間隔を置いて配置
された対となるタブに適切にしっかりと取り付けること
によって、振動する音叉808に対して、間隔を置いて配
置された平行平面の関係になるようにしっかりと取り付
けられる。そのため、この２つの板は、振動する音叉80
8の周りに、重量のある対称性をもつダンパーを形成
し、これらの板は、図20に示されているように、アセン
ブリの質量の中心をほぼ通る面で、弾性のあるグロメッ
ト（はとめ）811、812で支持される。
図21及び22に示しているように、図６〜８を参照して
前に説明したのと実質的に同様に構成されるコイルアセ
ンブリ81は、図16を参照して前に説明したような方法
で、（振動する磁気回路内のギャップに沿った）外側の
板内のスロットに固定されて配置される。このタイプの
アセンブリは、振動するジャイロスコープ（振動ジャイ
ロスコープ）816、817の組の振動する音叉を共通の台81
8上で直交する向きに向けることによって、二軸応答の
ために、一緒にパッケージ化することができる。台818
は、外側のシールドあるいは容器821内に完全にパッケ
ージングするために、台818から突き出た接触モジュー
ル（contact module）819にフレキシブルに結合された
コイルアセンブリからの接続を備えている。
この実施例では、中央の柄に対して力あるいはトルク
を起こす原因となっている振動する音叉の柄における非
対称性の効果は、重量のある外部の板809、810にその振
動エネルギーが結合すると実質的に減衰する。さらに、
こうして外部の板に結合して減衰した振動エネルギー
は、弾性のあるグロメットを介して、共通の台818の関
連する取り付け用の棒にゆるやかに結合されているだけ
である。最後に、共通の台818は、大きな質量をもつよ
う形成されており、弾性のあるグロメット811、812を介
してそこにゆるやかに結合された振動エネルギーをさら
に減衰させることができる。こうして、充分に減衰され
たレベルの振動エネルギーだけが、一方の音叉を他方の
音叉に（弾性のあるグロメットと重量のある外部の板と
のゆるやかな結合を介して）結合させる原因である共通
の台818に存在することになる。それゆえ、充分に減衰
されたレベルのノイズが、図24に示したようなすでに説
明した方法でパッケージ化されたジャイロスコープの間
の相互結合により発生する。
従って、本発明による振動するジャイロスコープは、
高い再現性を持ち、高価でない、簡素なアセンブリから
なり、それは、振動する音叉の柄で支えられた、振動す
る磁気回路の振動面に対する運動に応答して、電気的な
出力を生成する。磁束と電磁的に相互作用を行うよう
に、振動する磁気回路のギャップとともに配置された複
合コイルアセンブリは、こうして、定常状態の音叉の振
動を駆動し、検出するための、また、定常状態の振動面
に対する、振動する音叉のダイナミックな運動を検出す
るための、変換器を提供する。電子回路は、製造時のば
らつきや機械的な位置合わせ不良に起因する出力におけ
る誤差を低減することを支援し、さらに、こうして生成
されたダイナミックな運動の出力における誤差の成分が
最小の状態で動作させるための最終的な校正と組み立て
を容易にする。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−174854（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−102512（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−93907（ＪＰ，Ａ) 米国特許5193391（ＵＳ，Ａ) 米国特許4802364（ＵＳ，Ａ) 米国特許3839915（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01C 19/56 G01P 9/04

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】振動面に対する運動に反応する振動ジャイ
    ロスコープであって、 前記面内で振動させるために、共通な台の周囲に対称的
    に配置された振動する柄の組みを備える振動要素と、 磁気的なギャップを柄の振動とは無関係な一定の間隔で
    それぞれの柄に形成するように、それぞれの柄に取り付
    けられた磁束の発生源および磁気帰還路を備える磁気回
    路と、 関連するコイルアセンブリに対する柄の振動運動を表す
    電気信号を伝えるために、それぞれの柄の磁気的なギャ
    ップの間隔内に配置された電気的な導体を備えるコイル
    アセンブリ とからなるジャイロスコープ
  2. 【請求項２】磁気的なギャップを柄の振動とは無関係な
    一定の間隔でそれぞれの柄に形成するように配置された
    磁束の発生源および関連する磁気帰還路をそれぞれ備
    え、それぞれの磁気回路の前記ギャップ内に配置された
    導体からなるコイルアセンブリを備えた振動する磁気回
    路の組、を有する振動ジャイロスコープを組み立てる方
    法であって、 共通平面内で振動するように前記磁気回路の向きを合わ
    せるステップと、 前記ギャップ内の磁束をさえぎるために、それぞれの磁
    気回路のギャップの間隔内で前記コイルアセンブリの位
    置合わせを行うステップと、 前記コイルアセンブリの導体上の電気信号を検出する間
    に、前記共通平面内で前記磁気回路を振動させるステッ
    プと、 ジャイロスコープの組み立てにおける物理的な誤差を表
    す電気信号の成分が最小となるように、関連する前記磁
    気回路に対する前記コイルアセンブリの適切な位置調整
    を指示するために、前記コイルアセンブリからの電気信
    号を処理するステップと、 前記振動する磁気回路の共通面に対する運動を示す電気
    信号を提供するために、ジャイロスコープの組み立てに
    おける物理的な誤差を表す電気信号の成分が最小になる
    ように、前記振動する磁気回路の前記磁気的なギャップ
    内の位置に、コイルアセンブリを固定して取り付けるス
    テップ とからなる方法。
  3. 【請求項３】磁気的なギャップを振動運動とは無関係な
    一定の間隔でそれぞれの柄に形成するように配置された
    磁束の発生源および関連する磁気帰還路をそれぞれ備
    え、それぞれの磁気回路の前記ギャップ内に配置された
    導体の複数の組からなるコイルアセンブリを備えた振動
    する磁気回路の組、を有する振動ジャイロスコープを動
    作させる方法であって、 少なくとも一つの磁気回路のギャップ内のコイルアセン
    ブリの導体の第１の組に電気信号を与えて、前記磁気回
    路の組をなす平面内に振動を励起するステップと、 前記磁気回路の組の他方のギャップ内のコイルアセンブ
    リの導体の第２の組から、前記磁気回路の一方の振動に
    対するそれの振動を表す電気信号を検出するステップ
    と、 前記導体の第１の組に与えられる電気信号を制御するた
    めに、前記導体の第２の組からの電気信号を処理するス
    テップと、 少なくとも前記磁気回路の組の他方のギャップ内の前記
    コイルアセンブリの導体の少なくとも第３の組から、そ
    れの振動面に対する前記振動する磁気回路の運動を示す
    電気信号を検出するステップと、 少なくとも前記第３の導体の組からの電気信号を処理し
    て、前記磁気回路の振動面に対するある方向への前記振
    動ジャイロスコープの運動を示す出力を生成するステッ
    プ とからなる方法。
  4. 【請求項４】一組の磁気回路とアセンブリからなる、振
    動するジャイロスコープ用の電磁変換器アセンブリであ
    って、 前記一組の磁気回路は、それぞれの磁気回路が、共通の
    平面内で振動運動をするよう取り付けられており、か
    つ、それぞれがギャップを振動運動とは無関係な一定の
    間隔でそれぞれの柄に形成するように磁束の発生源と磁
    気帰還路を備えていることからなり、 前記アセンブリは、それぞれの磁気回路のギャップ内に
    コイルを形成するよう配置された複数の導体の組を有し
    ており、ギャップの組の一方の間隔内の第１のコイルと
    ギャップの組の他方の間隔内の第２のコイルは、それぞ
    れ、実質的に平坦に螺旋状に巻かれてそのギャップの間
    隔に対して垂直な面内にある一組の区画を備えて、螺旋
    状に巻かれた導体の螺旋の向きが逆となっている中央の
    領域に関して、振動する磁気回路の振動方向に沿って移
    動されて、前記振動方向に実質的に垂直に配置されるこ
    とからなり、ギャップの組の少なくとも前記他方の間隔
    内の第３のコイルは、そのギャップの間隔に対して垂直
    な面内に実質的に平坦で螺旋状に巻かれた区画を備え
    て、前記中央の領域に関して、振動する磁気回路の振動
    方向に移動されて、前記振動方向と位置合わせがされる
    ことからなり、前記第１、第２、第３のコイルの前記中
    央の領域は、振動運動の共通の平面に関する前記磁気回
    路の運動に対するそれとの電磁相互作用をするために、
    関連する磁気回路のギャップと位置合わせがとられるこ
    とからなる 電磁変換器アセンブリ。
  5. 【請求項５】前記コイルアセンブリは、柄の振動運動を
    駆動するための電気信号を受信するために、柄のうちの
    一方の磁気的なギャップ内に配置されたコイルを形成す
    る導体と、柄の検出された振動運動を表す電気信号を供
    給するために、柄のうちの他方の磁気的なギャップ内に
    配置されたコイルを形成する導体と、前記磁気回路の振
    動面に対して柄の振動運動を表す電気信号を供給するた
    めに、柄のうちの少なくとも前記他方の磁気的なギャッ
    プ内に配置されたコイルを形成する導体とを含む、請求
    項１の振動ジャイロスコープ。
  6. 【請求項６】前記コイルアセンブリは、前記磁気回路の
    振動面に対して柄の振動運動を表す電気信号を供給する
    ために前記一方と他方の柄の磁気的なギャップ内に配置
    されたコイルを形成する導体を含む、請求項５の振動ジ
    ャイロスコープ。
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WO (1) WO1997027455A1 (ja)

Families Citing this family (90)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5939630A (en) * 1995-05-30 1999-08-17 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Angular velocity sensor
DE19802095C1 (de) * 1998-01-21 1999-08-19 Litef Gmbh Verfahren und Einrichtung zur Stabilisierung des Skalenfaktors eines faseroptischen Kreisels
US6230563B1 (en) 1998-06-09 2001-05-15 Integrated Micro Instruments, Inc. Dual-mass vibratory rate gyroscope with suppressed translational acceleration response and quadrature-error correction capability
US7749089B1 (en) 1999-02-26 2010-07-06 Creative Kingdoms, Llc Multi-media interactive play system
US7051590B1 (en) 1999-06-15 2006-05-30 Analog Devices Imi, Inc. Structure for attenuation or cancellation of quadrature error
US7445550B2 (en) 2000-02-22 2008-11-04 Creative Kingdoms, Llc Magical wand and interactive play experience
US7878905B2 (en) 2000-02-22 2011-02-01 Creative Kingdoms, Llc Multi-layered interactive play experience
US6761637B2 (en) 2000-02-22 2004-07-13 Creative Kingdoms, Llc Method of game play using RFID tracking device
US7066781B2 (en) 2000-10-20 2006-06-27 Denise Chapman Weston Children's toy with wireless tag/transponder
US6715352B2 (en) * 2001-06-26 2004-04-06 Microsensors, Inc. Method of designing a flexure system for tuning the modal response of a decoupled micromachined gyroscope and a gyroscoped designed according to the method
US6967566B2 (en) 2002-04-05 2005-11-22 Creative Kingdoms, Llc Live-action interactive adventure game
US20070066396A1 (en) 2002-04-05 2007-03-22 Denise Chapman Weston Retail methods for providing an interactive product to a consumer
US7674184B2 (en) 2002-08-01 2010-03-09 Creative Kingdoms, Llc Interactive water attraction and quest game
US6952268B2 (en) * 2002-08-21 2005-10-04 Honeywell International Inc. Magnetic shield for a fiber optic gyroscope
US20040155865A1 (en) * 2002-12-16 2004-08-12 Swiader Michael C Ergonomic data input and cursor control device
DE10261073A1 (de) * 2002-12-24 2004-07-08 Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co Kg Verfahren zum Fügen von Werkstücken aus Titanaluminid mittels eines Lötverfahrens
US9446319B2 (en) 2003-03-25 2016-09-20 Mq Gaming, Llc Interactive gaming toy
US7233316B2 (en) 2003-05-01 2007-06-19 Thomson Licensing Multimedia user interface
US7489299B2 (en) * 2003-10-23 2009-02-10 Hillcrest Laboratories, Inc. User interface devices and methods employing accelerometers
DE10360963B4 (de) * 2003-12-23 2007-05-16 Litef Gmbh Verfahren zur Messung von Drehraten/Beschleunigungen unter Verwendung eines Drehraten-Corioliskreisels sowie dafür geeigneter Corioliskreisel
US7625316B1 (en) 2004-04-27 2009-12-01 Performance Health Technologies, Inc. Position monitoring system
US7503878B1 (en) 2004-04-27 2009-03-17 Performance Health Technologies, Inc. Position monitoring device
US7658695B1 (en) 2004-04-27 2010-02-09 Performance Health Technologies, Inc. Position monitoring displays
DK2337016T3 (en) 2004-04-30 2018-04-23 Idhl Holdings Inc Free space pointing device with slope compensation and improved applicability
US8629836B2 (en) 2004-04-30 2014-01-14 Hillcrest Laboratories, Inc. 3D pointing devices with orientation compensation and improved usability
KR100937572B1 (ko) 2004-04-30 2010-01-19 힐크레스트 래보래토리스, 인크. 3ｄ 포인팅 장치 및 방법
WO2005109215A2 (en) * 2004-04-30 2005-11-17 Hillcrest Laboratories, Inc. Methods and devices for removing unintentional movement in free space pointing devices
US7236156B2 (en) * 2004-04-30 2007-06-26 Hillcrest Laboratories, Inc. Methods and devices for identifying users based on tremor
US7542072B2 (en) * 2004-07-28 2009-06-02 The University Of Maryland Device using a camera and light polarization for the remote displacement of a cursor on a display
WO2006058129A2 (en) 2004-11-23 2006-06-01 Hillcrest Laboratories, Inc. Semantic gaming and application transformation
JP2006308543A (ja) * 2005-03-31 2006-11-09 Fujitsu Media Device Kk 角速度センサ
US7927216B2 (en) 2005-09-15 2011-04-19 Nintendo Co., Ltd. Video game system with wireless modular handheld controller
US8313379B2 (en) 2005-08-22 2012-11-20 Nintendo Co., Ltd. Video game system with wireless modular handheld controller
US7942745B2 (en) 2005-08-22 2011-05-17 Nintendo Co., Ltd. Game operating device
JP4805633B2 (ja) 2005-08-22 2011-11-02 任天堂株式会社 ゲーム用操作装置
JP4262726B2 (ja) 2005-08-24 2009-05-13 任天堂株式会社 ゲームコントローラおよびゲームシステム
US8870655B2 (en) 2005-08-24 2014-10-28 Nintendo Co., Ltd. Wireless game controllers
US8308563B2 (en) 2005-08-30 2012-11-13 Nintendo Co., Ltd. Game system and storage medium having game program stored thereon
US8157651B2 (en) 2005-09-12 2012-04-17 Nintendo Co., Ltd. Information processing program
US20070113207A1 (en) * 2005-11-16 2007-05-17 Hillcrest Laboratories, Inc. Methods and systems for gesture classification in 3D pointing devices
EP1947420B1 (en) * 2006-01-24 2018-03-07 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Inertial force sensor
JP4530419B2 (ja) 2006-03-09 2010-08-25 任天堂株式会社 座標算出装置および座標算出プログラム
JP4151982B2 (ja) 2006-03-10 2008-09-17 任天堂株式会社 動き判別装置および動き判別プログラム
JP4684147B2 (ja) 2006-03-28 2011-05-18 任天堂株式会社 傾き算出装置、傾き算出プログラム、ゲーム装置およびゲームプログラム
JP2007285977A (ja) * 2006-04-19 2007-11-01 Fujitsu Media Device Kk 角速度センサ
US7830142B2 (en) * 2006-06-26 2010-11-09 Alcatel-Lucent Usa Inc. Tuning fork magnetometer
CN101495836B (zh) * 2006-07-21 2011-07-27 株式会社村田制作所 音片型振子以及使用了该音片型振子的振动陀螺仪
US20100071467A1 (en) * 2008-09-24 2010-03-25 Invensense Integrated multiaxis motion sensor
US8250921B2 (en) 2007-07-06 2012-08-28 Invensense, Inc. Integrated motion processing unit (MPU) with MEMS inertial sensing and embedded digital electronics
US7934423B2 (en) * 2007-12-10 2011-05-03 Invensense, Inc. Vertically integrated 3-axis MEMS angular accelerometer with integrated electronics
US8462109B2 (en) * 2007-01-05 2013-06-11 Invensense, Inc. Controlling and accessing content using motion processing on mobile devices
US8508039B1 (en) 2008-05-08 2013-08-13 Invensense, Inc. Wafer scale chip scale packaging of vertically integrated MEMS sensors with electronics
US20090265671A1 (en) * 2008-04-21 2009-10-22 Invensense Mobile devices with motion gesture recognition
US8952832B2 (en) 2008-01-18 2015-02-10 Invensense, Inc. Interfacing application programs and motion sensors of a device
US7796872B2 (en) * 2007-01-05 2010-09-14 Invensense, Inc. Method and apparatus for producing a sharp image from a handheld device containing a gyroscope
US8141424B2 (en) 2008-09-12 2012-03-27 Invensense, Inc. Low inertia frame for detecting coriolis acceleration
US8047075B2 (en) 2007-06-21 2011-11-01 Invensense, Inc. Vertically integrated 3-axis MEMS accelerometer with electronics
US8020441B2 (en) * 2008-02-05 2011-09-20 Invensense, Inc. Dual mode sensing for vibratory gyroscope
JP5127242B2 (ja) 2007-01-19 2013-01-23 任天堂株式会社 加速度データ処理プログラムおよびゲームプログラム
US7860676B2 (en) * 2007-06-28 2010-12-28 Hillcrest Laboratories, Inc. Real-time dynamic tracking of bias
US8359545B2 (en) * 2007-10-16 2013-01-22 Hillcrest Laboratories, Inc. Fast and smooth scrolling of user interfaces operating on thin clients
US7938004B1 (en) 2008-03-21 2011-05-10 Brunsch Jr James P Systems and methods for angular rate and position measurement
EP2140919B1 (en) * 2008-06-30 2018-09-05 Nintendo Co., Ltd. Orientation calculation apparatus, storage medium having orientation calculation program stored therein, game apparatus, and storage medium having game program stored therein
EP2140915B1 (en) * 2008-06-30 2019-03-06 Nintendo Co., Ltd. Orientation calculation apparatus, storage medium having orientation calculation program stored therein, game apparatus, and storage medium having game program stored therein
EP2140916B1 (en) * 2008-06-30 2018-10-31 Nintendo Co., Ltd. Coordinate calculation apparatus and storage medium having coordinate calculation program stored therein
US20100039381A1 (en) * 2008-08-12 2010-02-18 Apple Inc. Rotatable input device
US9482755B2 (en) 2008-11-17 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Measurement system having air temperature compensation between a target and a laser tracker
EP2228109B1 (en) 2009-03-09 2021-03-24 Nintendo Co., Ltd. Information processing apparatus, storage medium having information processing program stored therein, information processing system, and display range control method
US9377885B2 (en) 2010-04-21 2016-06-28 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for locking onto a retroreflector with a laser tracker
US9772394B2 (en) 2010-04-21 2017-09-26 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker
US8422034B2 (en) 2010-04-21 2013-04-16 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for using gestures to control a laser tracker
US9400170B2 (en) 2010-04-21 2016-07-26 Faro Technologies, Inc. Automatic measurement of dimensional data within an acceptance region by a laser tracker
US8537371B2 (en) 2010-04-21 2013-09-17 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for using gestures to control a laser tracker
US8724119B2 (en) 2010-04-21 2014-05-13 Faro Technologies, Inc. Method for using a handheld appliance to select, lock onto, and track a retroreflector with a laser tracker
US8619265B2 (en) 2011-03-14 2013-12-31 Faro Technologies, Inc. Automatic measurement of dimensional data with a laser tracker
TWI411766B (zh) * 2010-04-27 2013-10-11 Univ Nat Chiao Tung Uniaxial Control Input Gyroscope System with Flaw Compensation.
GB2518543A (en) 2011-03-03 2015-03-25 Faro Tech Inc Target apparatus and method
US9686532B2 (en) 2011-04-15 2017-06-20 Faro Technologies, Inc. System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices
US9164173B2 (en) 2011-04-15 2015-10-20 Faro Technologies, Inc. Laser tracker that uses a fiber-optic coupler and an achromatic launch to align and collimate two wavelengths of light
US9482529B2 (en) 2011-04-15 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
JP2014516409A (ja) 2011-04-15 2014-07-10 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド レーザトラッカの改良位置検出器
WO2013018788A1 (ja) * 2011-08-01 2013-02-07 株式会社村田製作所 振動子および振動ジャイロ
JP6099675B2 (ja) 2012-01-27 2017-03-22 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド バーコード識別による検査方法
US9200973B2 (en) 2012-06-28 2015-12-01 Intel Corporation Semiconductor package with air pressure sensor
US9429427B2 (en) * 2012-12-19 2016-08-30 Intel Corporation Inductive inertial sensor architecture and fabrication in packaging build-up layers
US9041914B2 (en) 2013-03-15 2015-05-26 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
US9395174B2 (en) 2014-06-27 2016-07-19 Faro Technologies, Inc. Determining retroreflector orientation by optimizing spatial fit
CN105258671B (zh) * 2015-11-06 2018-01-30 哈尔滨工业大学 一种提高磁通门测角精度的方法
US10982530B2 (en) * 2016-04-03 2021-04-20 Schlumberger Technology Corporation Apparatus, system and method of a magnetically shielded wellbore gyroscope
CN111215887B (zh) * 2019-12-04 2021-12-14 上海航天控制技术研究所 一种用于敏感包快速装配对准的防错式组合装置

Family Cites Families (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USRE22409E (en) * 1943-12-21 Rate and attitude indicating
US2455939A (en) * 1948-12-14 Device for detecting turn or
US2514250A (en) * 1943-01-13 1950-07-04 Smith & Sons Ltd S Device for detecting or measuring rate of turn
US2542018A (en) * 1944-09-28 1951-02-20 Sperry Corp Compass
US2683596A (en) * 1950-07-11 1954-07-13 Sperry Corp Rate of turn instrument
US2753173A (en) * 1952-09-17 1956-07-03 Sperry Rand Corp Turn rate measuring instrument
GB861436A (en) * 1956-02-27 1961-02-22 August Karolus Improvements in and relating to devices responsive to angular movements
GB1054082A (ja) * 1963-04-19
US3680392A (en) * 1970-10-08 1972-08-01 Singer Co Three-axis accelerometer
US3839915A (en) * 1973-03-19 1974-10-08 Northrop Corp Turn rate sensor
US3913405A (en) * 1974-08-16 1975-10-21 Singer Co Angular direction sensor
US3992952A (en) * 1974-12-20 1976-11-23 The Singer Company Control system for angular displacement sensor
US4267731A (en) * 1980-02-11 1981-05-19 Sperry Corporation Force balanced vibratory rate sensor
US4361054A (en) * 1980-12-05 1982-11-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Hot-wire anemometer gyro pickoff
FR2517823B1 (fr) * 1981-12-08 1986-10-10 Nat Res Dev Gyroscope oscillant
US4674331A (en) * 1984-07-27 1987-06-23 Watson Industries Inc. Angular rate sensor
EP0175508B1 (en) * 1984-09-07 1988-10-12 The Marconi Company Limited Vibrational gyroscope
US4694696A (en) * 1984-10-25 1987-09-22 Kabushikikaisha Tokyo Keiki Vibration-type gyro apparatus
US4759220A (en) * 1986-02-28 1988-07-26 Burdess James S Angular rate sensors
US4836023A (en) * 1988-03-09 1989-06-06 Yazaki Corporation Vibrational angular rate sensor
US5349857A (en) * 1988-08-12 1994-09-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibratory gyroscope
GB8900574D0 (en) * 1989-01-11 1989-07-05 Marconi Co Ltd Rotation sensor
US5189913A (en) * 1989-03-14 1993-03-02 The State Of Israel, Ministry Of Defence, Rafael Armament Development Authority Apparatus and method for determining the rate of rotation of a moving body
US5014554A (en) * 1989-04-14 1991-05-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Angular rate sensor
EP0406891B1 (en) * 1989-07-07 1994-06-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Angular velocity sensor
US5117148A (en) * 1989-11-07 1992-05-26 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibrator
JP2734155B2 (ja) * 1990-01-18 1998-03-30 松下電器産業株式会社 角速度センサ
EP0477540B1 (en) * 1990-08-27 1995-08-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. Detecting circuit for vibrating gyroscope
US5193391A (en) * 1990-11-14 1993-03-16 Cage Donald R Controlled vibration angular rate sensor
DE69119715T2 (de) * 1990-11-29 1996-10-31 Tokin Corp Kreisel mit Rundstab als Piezovibrator
JP2541375B2 (ja) * 1990-12-11 1996-10-09 株式会社村田製作所 検知回路
US5345822A (en) * 1991-06-28 1994-09-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibratory gyroscope having a support member
JP3036145B2 (ja) * 1991-08-12 2000-04-24 株式会社村田製作所 振動ジャイロ
JPH05203452A (ja) * 1992-01-28 1993-08-10 Murata Mfg Co Ltd 振動子の支持構造
EP0563761B1 (en) * 1992-03-30 1997-05-21 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibrator with trimmed ledge-line portions
DE69304460T2 (de) * 1992-06-29 1997-03-13 Murata Manufacturing Co Driftunterdrückungsschaltung für Gyrometer
DE69318963T2 (de) * 1993-02-03 1998-10-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Drehratensensor und dessen Herstellungverfahren
JPH06300567A (ja) * 1993-02-22 1994-10-28 Murata Mfg Co Ltd ジャイロ出力検出方法
JP3239542B2 (ja) * 1993-06-21 2001-12-17 株式会社村田製作所 振動ジャイロの調整装置
US5447066A (en) * 1993-09-01 1995-09-05 Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. Angular velocity sensor having a tuning fork construction and its method of manufacture

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