JP3116038B2 - 高圧ガス容器の内面処理方法 - Google Patents
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Description
ガス(以下「ガス」という。)の充填に使用する高圧ガ
ス容器の内面処理方法に関する。
単に「ボンベ」という。)は、ガスの貯蔵、運搬の手段
として工業用をはじめ、医薬用、一般家庭用等に広く使
用されているが、ガスの需要量の伸長とともに、利用さ
れるボンベの種類及び数は、年々増加の傾向にある。そ
の中でも、近年半導体産業分野のめざましい発展につれ
て、高純度の多種類のガスが、大量に使われるようにな
ると同時にボンベ内でのガスの超高純度維持など、解決
すべき重大な問題が提起されるようになった。
にのっとり、炭素鋼、マンガン鋼、クロムモリブデン
鋼、ステンレス鋼、アルミニウム合金等を材料として製
作される。しかし、ボンベの底部及び頭部の熱間加工に
よる肌荒れ、底部成型時の型押工具による傷、熱処理に
よりポーラスな表面酸化皮膜が形成されるなど微細なパ
ーティクルや、ガス成分を包蔵、吸着しやすい表面にな
っている。また、ガスを充填した際、金属不純物が溶出
して純度低下を起こす。
−43078ではボンベの内面に電解複合研磨を施して
いるが、ステンレス鋼には不働態化皮膜が形成されるが
マンガン鋼やクロムモリブデン鋼では不働態化皮膜が形
成されずガスを充填すれば品質の低下が起こる。また4
7Lサイズの一般高圧ガス容器には容器の形状から電解
複合研磨は使用できる技術とはいえない。また、特開平
9−26093に開示された、湿式研磨したのち、クエ
ン酸二アンモニウム等で酸洗浄する技術は、湿式研磨で
発生した微細な鉄粉を洗浄する効果はあるが、鋼材の表
面に不働態化皮膜が形成されず、ガスを充填すれば品質
の低下が起こる。
は、アンモニアガスを充填すれば品質の低下が起こり、
金メッキは実用的ではなく使用できる技術とはいえな
い。さらに、特公平3−53030では、ボンベの内面
処理として、テフロン系、塩化ビニル等の樹脂コーティ
ング法など試みられているが、樹脂とボンベ内壁との接
着強度が低く、使用中に剥離したり、ガス透過性が問題
となったり、樹脂中の可塑剤がガス中に溶解しガス品質
を低下させたり、その他、幾多の欠点があり完成された
技術とはいいがたい。そのほかにも、燐酸亜鉛、燐酸マ
ンガン等の燐酸塩の浸漬又はスプレーによるコーティン
グ、即ちパーカーライジング法などもあるが、高純度ガ
スを充填するボンベに使用できる技術とはいえない。
度ガスをボンベに充填して貯蔵またはボンベより導出し
て使用するに際し、高純度ガス中に不純物が混入するこ
とを防止する為のボンベの内面処理方法を提供すること
である。
本発明者らはボンベの内面処理の方法と、充填ガス中の
不純物の関係について鋭意研究を行った結果、本発明を
完成するに至った。すなわち、本発明のボンベ内面処理
方法は、高圧ガス容器の内面を研磨処理した後、塩基性
洗浄液又は酸化剤を含む塩基性洗浄液で洗浄することを
特徴とする高純度ガス充填用高圧ガス容器の内面処理方
法である。
一般的には、ボンベという名称で販売されている耐圧金
属容器である。ボンベに使用される材料は、高圧ガス取
締法の規定に基づく、容器保安規則に適合するものが用
いられる。すなわち、ステンレス鋼、炭素鋼、マンガン
鋼、クロムモリブデン鋼、アルミニウム合金(JIS
H4000の種類 5052、及び 5056と同一化学
成分のもの)等の材料で、熱処理材又は非熱処理材が用
いられる。
ガスの双方を含み、容器から放出されるとガス状となる
ものであり、アンモニア、塩化水素、モノシラン、ジシ
ラン、ヨウ化水素及びNF3などの高純度ガスである。
すなわち、本発明における高圧ガス容器は、高純度ガス
充填用高圧ガス容器である。
処理は、ショットブラスト研磨、湿式研磨、電解複合研
磨、電解研磨等により行われる。ショットブラスト研磨
とは、例えば最新表面処理技術総覧144〜152頁
(1988年産業技術サービスセンター発行) に記載さ
れているような所謂加圧式ブラスト法、例えばボンベ内
部にスチールショットを窒素ガス圧力を応用して高速で
噴射して、ボンベ内面を研磨する方法である。
技術総覧127〜131頁に記載されている様な所謂機
械的表面処理のバレル研磨法の一種、即ち、例えばボン
ベ内部に研磨材と水及びコンパウンドを収容した状態で
水平に支持し、ボンベをその軸心周りで右周りに自転さ
せつつ、水平軸心周りで左周りに公転させるバレル研磨
装置(図1参照(いわゆる遠心式研磨機))に取り付け
てバレル研磨を行う研磨法である。このようなバレル研
磨装置によれば、前記研磨材は遠心力によって公転軌跡
外方側に集中し、その研磨材に対してボンベ内面が相対
的に回転移動するので、ボンベ内面が前記研磨材と接触
しボンベ内面が研磨される。
759, 同58−19409に記載されている様な電解
により陽極性の被研磨金属を電解溶出させると共に、被
研磨金属の表面に生成された、不動態化酸化被膜を研磨
砥粒による擦過作用で表面を鏡面加工する方法である。
研磨砥粒に一定以上の速度を与えて研磨面を擦過すると
同時に、不動態化型、電解液を介して数A/cm2以下
の電解電流速度で、研磨面に溶出と酸化の陽極反応を発
生させる様な方法を採用することができる。
磨体を陽極に、不溶解性の金属を陰極にして電気化学的
に被研磨体の表面を研磨する方法であり、例えば、前出
の最新表面処理技術総覧137〜140頁に記載された
方法を採用することができる。
素鋼、マンガン鋼、クロムモリブデン鋼、ステンレス
鋼、アルミニュウム合金のいずれに対しても好ましい
が、中でもマンガン鋼、クロムモリブデン鋼が特に好ま
しい。又、充填する高純度ガスが、アンモニア、塩化水
素、モノシラン、ジシラン、沃化水素、NF3 、中で
も高純度アンモニアである容器に対して特に好ましい。
した後、塩基性洗浄液または酸化剤を含む塩基性洗浄液
にて洗浄処理することを特徴とするものである。通常、
本発明の方法で処理し、純水洗浄を行い、更に有機溶剤
で洗浄処理し、これを加熱真空、または、窒素、アルゴ
ン等の不活性ガスで置換除去し清浄化することにより、
半導体等の製造に使用される高純度ガス又はその他のボ
ンベ入りガスのいずれに対しても適応できるボンベとし
て使用できる。
しては、各種の無機塩基類から選ばれる少なくとも一
種、又は各種有機塩基類から選ばれる少なくとも一種、
あるいは脂肪酸塩及び脂肪酸アミドからそれぞれ選ばれ
る少なくとも一種の混合物を含む溶液である。好ましく
は、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン及びト
リエタノールアミンから選ばれる少なくとも一種の有機
塩基類、又は苛性ソーダ、苛性カリウム及びアンモニア
から選ばれる少なくとも一種の無機塩基類、あるいは脂
肪酸塩の少なくとも一種及び脂肪酸アミドの少なくとも
一種を含む溶液である。
く用いられる脂肪酸塩、脂肪酸アミドは、次の一般式
〔1〕の脂肪酸塩及び一般式〔2〕の脂肪酸アミドであ
る。
ば、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、カプロン酸、エナン
ト酸、カプリル酸、ペラルゴン酸、カプリン酸、ウンデ
シル酸、ラウリン酸、トリデシル酸、ミリスチン酸、ペ
ンタデシル酸、パルミチル酸、ヘプタデシル酸、ステア
リン酸、ノナデカン酸、アラキン酸、ベヘン酸、リグノ
セリン酸、セロチン酸、ヘプタコン酸等の飽和脂肪族
酸、並びにアクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、
ウンデシレン酸、オレイン酸、エライジン酸、セトレイ
ン酸、エルカ酸、プラシジン酸、リノール酸、リノレイ
ン酸、アラキドン酸、ステアロル酸等の不飽和脂肪酸の
ジエタノールアミン又はジエタノールアミドが挙げられ
る。これらの脂肪酸塩と脂肪酸アミドは、脂肪酸塩1当
量に対して、脂肪酸アミド1〜5当量、好ましくは1〜
3当量の割合で混合して用いられる。又、必要により非
イオン界面活性剤を併用することもできる。上記塩基性
洗浄液は、混合物を水に対して1〜30重量%、好まし
くは2〜8重量%含む溶液として使用される。
含む溶液として使用することで、安定して高い効果を得
ることが出来る。酸化剤としては、過炭酸ソーダ、過ホ
ウ酸ソーダ、重クロム酸カリウム、過硫酸カリウム、過
酸化水素、過マンガン酸カリウムから選ばれる少なくと
も一種が好ましく、これら酸化剤の使用量は使用水に対
して1〜30重量%、更には1〜5重量%が好ましい。
ベの内面を研磨する。研磨の方法はショットブラスト研
磨、湿式研磨、電解複合研磨、電解研磨等前述した公知
のいずれの研磨法でもよい。更に研磨残査等を除く目的
でボンベ内を純水等で洗浄する。水洗後、塩基性洗浄液
でボンベ内面を清浄する。塩基性洗浄液によるボンベ内
面処理は、具体的には通常ボンベ内に上記の塩基性洗浄
液又は酸化剤を含む塩基性洗浄液とセラミックス製ボー
ル及び水をボンベ内容積の50%〜60%程度の量を入
れて、ボンベを水平状態で回転させて洗浄処理する。洗
浄処理の温度は10〜60℃、洗浄時間は0.5〜6時
間程度であるが特に制限はない。洗浄処理後、更に、塩
基性洗浄液を除く目的でボンベ内を純水等で洗浄する。
必要により、親水性の有機溶剤で洗浄処理し、これを加
熱真空あるいは、窒素、アルゴン等の不活性ガスで置換
除去し清浄化するのが好ましい。かくして高純度ガスを
充填する。
明する。 実施例1 マンガン鋼製、容量47リットルのボンベの内部を湿式
研磨した後、ボンベ内部にセラミックス製ボールと塩基
性洗浄液として、ラウリル酸ジエタノールアミド及びミ
リスチン酸ジエタノールアミンの1対1混合物の3wt
%水溶液23リットルを入れ、ボンベを水平状態に保
ち、その軸心周りに約1時間自転させる。その後、ボン
ベの内容物を外部に出し、ボンベの口を真下にしてスラ
イド式ノズルをボンベ内に挿入して250Kgf/cm
2の高圧純水を噴射して内部を洗浄する。次に、150
Kgf/cm2のイソプロピルアルコール(以下、IP
Aという。)で同様に洗浄する。更に5Kgf/cm2
の窒素を吹き込み雰囲気を窒素に置換しながら180℃
で加熱乾燥する。こうして処理したボンベに高純度アン
モニウムを充填し、1週間放置後、ボンベから内部の液
相を超純水に吸収させて採取する。その後、フレームレ
ス原子吸光分析法で鉄イオン濃度の分析を行った。結果
は表1に示す。
1と同様に行った。結果は表1に示す。 実施例3 ショットブラスト研磨した後のボンベを使用した以外
は、実施例1と同様に行った。結果は表1に示す。
3リットルを使用した以外は、実施例1と同様に行っ
た。結果は表1に示す。 実施例5 塩基性洗浄液としてジエタノールアミンの3.4wt%
水溶液23リットルを使用した以外は、実施例1と同様
に行った。結果は表1に示す。
添加した以外は、実施例1と同様に行った。結果は表1
に示す。 実施例7 クロムモリブデン鋼製、容量47リットルのボンベを使
用した以外は実施例1と同様に行った。結果は表1に示
す。
行った。結果を表1に示す。 実施例9 酸化剤として30%過酸化水素水250ミリリットルを
添加した以外は、実施例5と同様に行った。結果は表1
に示す。 実施例10 酸化剤として30%過酸化水素水250ミリリットルを
添加した以外は、実施例8と同様に行った。結果は表1
に示す。
は、実施例1と同様に行った。結果は表1に示す。 比較例2 塩基性洗浄液を使用しないで純水で内面洗浄した以外
は、実施例2と同様に行った。結果は表1に示す。 比較例3 塩基性洗浄液を使用しないで純水で内面洗浄した以外
は、実施例3と同様に行った。結果は表1に示す。
は、実施例7と同様に行った。結果は表1に示す。 比較例5 塩基性洗浄液を使用しないで純水で内面洗浄した以外
は、実施例8と同様に行った。結果は表1に示す。
ガスのボンベ貯蔵中における純度低下を実用上充分な程
度に防止することができて、産業に利すること大であ
る。
Claims (7)
- 【請求項1】高圧ガス容器の内面を研磨処理した後、塩
基性洗浄液又は塩基性洗浄液に酸化剤を含む溶液で洗浄
することを特徴とする高純度ガス充填用高圧ガス容器の
内面処理方法。 - 【請求項2】塩基性洗浄液が、モノエタノールアミン、
ジエタノールアミン及びトリエタノールアミンから選ば
れる少なくとも一種の有機塩基を含む溶液である請求項
1記載の高圧ガス容器の内面処理方法。 - 【請求項3】塩基性洗浄液が、苛性ソーダ、苛性カリウ
ム及びアンモニアから選ばれる少なくとも一種の無機塩
基を含む溶液である請求項1記載の高圧ガス容器の内面
処理方法。 - 【請求項4】塩基性洗浄液が、一般式〔1〕で示される
脂肪酸塩と、一般式〔2〕で示される脂肪酸アミドとを
含む溶液である請求項1記載の高圧ガス容器の内面処理
方法。 【化1】 R−COON(CH2CH2OH)2 〔1〕 【化2】 R−CON(CH2CH2OH)2 〔2〕 (式中、Rは炭素数2〜26のアルキル基を表す) - 【請求項5】酸化剤が、過炭酸ソーダ、過ホウ酸ソー
ダ、重クロム酸カリウム、過硫酸カリウム、過酸化水素
及び過マンガン酸カリウムから選ばれる少なくとも一種
である請求項1記載の高圧ガス容器の内面処理方法。 - 【請求項6】高圧ガス容器が、マンガン鋼製又はクロム
モリブデン鋼製である請求項1記載の高圧ガス容器の内
面処理方法。 - 【請求項7】高純度ガスが、アンモニア、塩化水素、モ
ノシラン、ジシラン、沃化水素又はNF3である請求項
1記載の高圧ガス容器の内面処理方法。
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