JP3111884B2 - 真空脱気装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、被脱気液の供給
ラインと脱気液の排出ラインとを備えた脱気手段に真空
ポンプを接続し、この真空ポンプにより前記脱気手段内
の被脱気液を真空脱気する真空脱気装置に関する。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】これまで被脱気液の供
給ラインと脱気液の排出ラインとを備えた脱気手段に真
空ポンプを接続し、該真空ポンプにより前記脱気手段内
の被脱気液を真空脱気する真空脱気装置は広く用いられ
ている。こうした真空脱気装置においては、脱気液の排
出ラインにフロースイッチを設けて、脱気液の流れを検
出した時に真空ポンプをＯＮし、流れを検出しない時に
真空ポンプをＯＦＦする制御が行われる。

【０００３】こうした、真空脱気装置においては、液の
流れを直接検出することなく、液の流れの有無を判定す
る適当な手段が存在しなかった。又、フロースイッチが
故障して脱気液の流れがあるのに真空ポンプをＯＦＦす
る信号を出力した場合、脱気運転ができず、脱気されて
いない液が供給されるという課題があった。又、フロー
スイッチが故障して脱気液の流れが無いのに真空ポンプ
のＯＮ信号を連続的に出力した場合、真空ポンプの過熱
のおそれがあると共に、真空ポンプの駆動が必要ないの
に駆動され、不経済であるという課題があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、被脱気液の供
給ラインと脱気液の排出ラインとを備えた脱気手段に真
空ポンプを接続し、この真空ポンプにより前記脱気手段
内の被脱気液を真空脱気する真空脱気装置において、前
記真空ポンプの停止（液の流れが有る時と無い時とで真
空度の変化を検出できる程度の実質的停止状態を含む）
時における前記脱気手段の真空度の変化の割合が大きい
時被脱気液又は脱気液の流れが有りと判定し前記変化の
割合が小さい時被脱気液又は脱気液の流れが無いと判定
する液流有無判定手段を備えたことを第１の特徴とし、

【０００５】又、被脱気液の供給ラインと脱気液の排出
ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、この
真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気
し、被脱気液又は脱気液の流れの有無を検出する液流通
検出手段により前記真空ポンプの運転を制御する真空脱
気装置において、前記真空ポンプの停止（液の流れが有
る時と無い時とで真空度の変化を検出できる程度の実質
的停止状態を含む）を検出する停止検出手段と、この停
止検出手段による前記真空ポンプの停止検出時における
前記脱気手段の真空度の変化の割合が大きい時被脱気液
又は脱気液の流れが有りと判定し前記変化の割合が小さ
い時被脱気液又は脱気液の流れが無いと判定する液流有
無判定手段と、この液流有無判定手段により流れ有りの
判定時前記液流通検出手段を異常と判定する異常判定手
段とを備えたことを第２の特徴とし、

【０００６】又、被脱気液の供給ラインと脱気液の排出
ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、この
真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気
し、被脱気液又は脱気液の流れの有無を検出する液流通
検出手段により前記真空ポンプの運転を制御する真空脱
気装置において、前記真空ポンプの所定時間以上の連続
運転を検出する連続運転検出手段と、この連続運転検出
手段により連続運転が検出された時前記真空ポンプを停
止（液の流れが有る時と無い時とで真空度の変化を検出
できる程度の実質的停止状態を含む）する運転停止手段
と、この運転停止手段による前記真空ポンプの停止時に
おける前記脱気手段の真空度の変化の割合が大きい時被
脱気液又は脱気液の流れが有りと判定し前記変化の割合
が小さい時被脱気液又は脱気液の流れが無いと判定する
液流有無判定手段と、この液流有無判定手段により液の
流れ無しの判定時前記液流通検出手段を異常と判定する
異常判定手段とを備えたことを第３の特徴とし、

【０００７】又、被脱気液の供給ラインと脱気液の排出
ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、この
真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気
し、被脱気液又は脱気液の流れの有無を検出する液流通
検出手段により前記真空ポンプの運転を制御する真空脱
気装置において、前記真空ポンプの停止（液の流れが有
る時と無い時とで真空度の変化を検出できる程度の実質
的停止状態を含む）を検出する停止検出手段と、この停
止検出手段による前記真空ポンプの停止時における前記
脱気手段の真空度の変化の割合が大きい時被脱気液又は
脱気液の流れが有りと判定し前記変化の割合が小さい時
被脱気液又は脱気液の流れが無いと判定する液流有無判
定手段と、この液流有無判定手段により流れ有りの判定
時前記液流通検出手段を異常と判定する第１の異常判定
手段と、前記真空ポンプの所定時間以上の連続運転を検
出する連続運転検出手段と、この連続運転検出手段によ
り連続運転が検出された時前記真空ポンプを停止（液の
流れが有る時と無い時とで真空度の変化を検出できる程
度の実質的停止状態を含む）する運転停止手段と、この
運転停止手段による前記真空ポンプの停止時において前
記液流有無判定手段により液の流れ無しの判定時前記液
流通検出手段を異常と判定する第２の異常判定手段とを
備えたことを第４の特徴とし、

【０００８】又、被脱気液の供給ラインと脱気液の排出
ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、この
真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気
し、被脱気液又は脱気液の流れの有無を検出する液流通
検出手段により前記真空ポンプの運転を制御する真空脱
気装置において、前記液流通検出手段の異常を判定する
異常判定手段と、この異常判定手段により異常が判定さ
れた時に前記真空ポンプを前記液流通検出手段の検出信
号によらず運転制御する異常時運転制御手段とを備えた
ことを第５の特徴とし、

【０００９】又、請求項５において、異常判定手段によ
り異常が判定された時に前記真空ポンプを間欠運転する
ことを第６の特徴とするものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】請求項１の発明の実施の形態は、
被脱気液の供給ラインと脱気液の排出ラインとを備えた
脱気手段に真空ポンプを接続し、この真空ポンプにより
前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気する真空脱気装置
において、前記真空ポンプの停止時における前記脱気手
段の真空度の変化の割合が大きい時被脱気液又は脱気液
の流れが有りと判定し前記変化の割合が小さい時被脱気
液又は脱気液の流れが無いと判定する液流有無判定手段
を備えた構成の真空脱気装置とする。

【００１１】この実施形態につき説明するに、脱気手段
とは脱気膜の一面側に被脱気液を流通させるように、被
脱気液の供給ラインと脱気済の脱気液の排出ラインを接
続し、他面側に真空ポンプを接続して他面側を真空ポン
プにより高度の真空状態として、脱気液中の溶存気体を
脱気膜の他面側に抽出、排気するものであり、通常脱気
膜は小径の中空糸膜として構成され、これが多数並列に
束ねられた脱気モジュールに構成される。脱気手段の真
空度とは脱気膜の他面側の真空度であり、その検出位置
は脱気モジュールの内部でも良いし、脱気モジュールと
真空ポンプの間と真空吸引ラインでも良い。液流有無判
定手段とは真空ポンプの停止時における脱気手段の変化
に基づき被脱気液又は脱気液の流れの有無を判定するも
のであって、真空ポンプの停止状態において液の流れが
有る場合と、無い場合とでは、真空度の変化の割合（程
度或いは度合いと言ってもよい）が異なる、より具体的
には真空度の降下の割り合いが前者のほうが、後者より
も大きいという知見に基づくものである。尚、運転停止
とは、真空ポンプを回転数制御等による多段階若しくは
無段階に容量制御（能力制御）できるものとした場合に
は、液の流れが有る時と無い時とで真空度の変化を検出
できる程度に回転数を停止に近い状態に下げる等による
実質的停止状態を含むものである。そして、液流有無判
定手段としては、次のものが含まれる。即ち、真空ポン
プの停止直後（停止から若干の遅れはあっても良い）、
真空度を監視し真空度が所定値（例えば、60Torr）降下
（低下）した時点で真空ポンプ停止時から所定時間（例
えば１０分間）が経過していない場合に、流れ有りと判
定し、真空度が所定値降下した時点で、ポンプ停止から
所定時間が経過している場合に、流れ無しと判定する構
成（真空度を監視し、所定の降下時における時間を判定
する真空度優先型方式）のもの。又、真空ポンプの停止
直後（停止から若干の遅れはあっても良い）の真空度と
停止直後から所定時間（例えば１０分間）後の真空度の
差、即ち、変化が所定値（例えば、60Torr）以上かどう
かに基づき、所定値以上の時は流れがあると判断し、以
下の時は流れがないと判定するもの（一定時間後に真空
度を判定する時間優先型方式のもの）である。又、真空
度の変化の割合を、真空度の変化率を検出し、これを平
均することにより求め、平均値が小さい場合に流れ無
し、大きい場合水の流れ有りと判定するものとしても良
い。

【００１２】次に、請求項２の発明の実施形態は、被脱
気液の供給ラインと脱気液の排出ラインとを備えた脱気
手段に真空ポンプを接続し、この真空ポンプにより前記
脱気手段内の被脱気液を真空脱気し、被脱気液又は脱気
液の流れの有無を検出する液流通検出手段により前記真
空ポンプの運転を制御する真空脱気装置において、前記
真空ポンプの停止を検出する停止検出手段と、この停止
検出手段による前記真空ポンプの停止検出時における前
記脱気手段の真空度の変化の割合が大きい時被脱気液又
は脱気液の流れが有りと判定し前記変化の割合が小さい
時被脱気液又は脱気液の流れが無いと判定する液流有無
判定手段と、この液流有無判定手段により流れ有りの判
定時前記液流通検出手段を異常と判定する異常判定手段
とを備えた構成の真空脱気装置とする。

【００１３】この実施の形態について以下に詳細に説明
する。請求項１の発明の実施形態と異なるところは、被
脱気液又は脱気液の流れの有無を検出し真空ポンプの運
転を制御する液流通検出手段と、真空ポンプの停止を検
出する停止検出手段と、前記液流有無判定手段により流
れ有りの判定時前記液流通検出手段を異常と判定する異
常判定手段とを付加したものであり、共通部分は請求項
１の実施形態と同様であり、異なる部分のみ説明する。
尚、本実施形態において、真空ポンプの（運転）停止と
は請求項１の実施形態と同様の内容を含んでいる。液流
通検出手段とは脱気液の排出ライン又は被脱気液の供給
ラインに設けられ真空ポンプのＯＮ，ＯＦＦに関係なく
液の流れを検出するもので、通常、液の流れを直接的に
検出して、流れ有りの時ＯＮして真空ポンプをＯＮ（駆
動）し、流れが無しの時ＯＦＦして真空ポンプをＯＦＦ
（停止）するフロースイッチと称されるものが用いられ
る。要するに流れ有り時に真空ポンプを駆動し、流れ無
しの時に真空ポンプを停止するものであれば良い。尚、
液流検出手段が流れを段階的若しくは無段階的に流量を
検出できるものであれば、真空ポンプをＯＮ，ＯＦＦ制
御でなく、容量制御しても良い。

【００１４】又、停止検出手段とは，真空ポンプに対し
て出される駆動、停止信号のうち、停止信号が出されて
いるかどうかを判定するものである。この判定は、例え
ばマイクロコンピュータにより、予め定められた処理手
順に従い実行される。

【００１５】又、異常判定手段とは、液流有無判別手段
により流れ有りの判定時前記液流通検出手段を異常と判
定するもので、液流有無判別手段により流れ有りと判定
されることは、液の流れが有ると想定され、液流通検出
手段が正常であれば流れ有りで真空ポンプが停止してい
ることは通常あり得ず、液流通検出手段の異常により真
空ポンプが停止されていると多くの場合に判定できると
いう知見に基づくものである。この異常判定は、例え
ば、マイクロコンピュータにより予め記憶された処理手
順の一部として構成される。液流有無判別手段による流
れ有りの判定は、１回の判定に基づくよりは、液流有無
判別手段による流れ有りの複数回（例えば、１０回）の
判定によること正確を期する上で望ましい。尚、複数回
の判定を行うためには、異常判定を行った後、真空ポン
プを再度起動させる手段が必要である。

【００１６】次に、請求項の３の発明の実施形態は、被
脱気液の供給ラインと脱気液の排出ラインとを備えた脱
気手段に真空ポンプを接続し、この真空ポンプにより前
記脱気手段内の被脱気液を真空脱気し、被脱気液又は脱
気液の流れの有無を検出する液流通検出手段により前記
真空ポンプの運転を制御する真空脱気装置において、前
記真空ポンプの所定時間以上の連続運転を検出する連続
運転検出手段と、この連続運転検出手段により連続運転
が検出された時前記真空ポンプを停止する運転停止手段
と、この運転停止手段による前記真空ポンプの停止時に
おける前記脱気手段の真空度の変化の割合が大きい時被
脱気液又は脱気液の流れが有りと判定し前記変化の割合
が小さい時被脱気液又は脱気液の流れが無いと判定する
液流有無判定手段と、この液流有無判定手段により液の
流れ無しの判定時前記液流通検出手段を異常と判定する
異常判定手段とを備えた構成の真空脱気装置とする。

【００１７】この実施の形態について以下に詳細に説明
する。請求項１の発明の実施形態と異なるところは、被
脱気液又は脱気液の流れの有無を検出し真空ポンプの運
転を制御する液流通検出手段と、真空ポンプの所定時間
以上の連続運転を検出する連続運転検出手段と、この連
続運転検出手段により連続運転が検出された時前記真空
ポンプを停止する運転停止手段と、液流有無判定手段に
より液の流れ無しの判定時液流通検出手段を異常と判定
する異常判定手段とを付加した点にある。液流通検出手
段については請求項２の実施形態と同様であるので説明
を省略し、その他について説明する。尚、本実施形態に
おいて、真空ポンプの（運転）停止とは請求項１の実施
形態と同様の内容を含んでいる。

【００１８】この実施形態において、連続運転検出手段
とは、真空ポンプの連続運転が所定時間（例えば３０
分）以上行われたかどうかを判定するものであり、真空
ポンプに対する駆動信号を監視することで判定が可能で
ある。又、運転停止手段とは、連続運転検出手段により
所定時間の連続運転（容量制御の場合は高容量状態での
運転）が判定された時、真空ポンプに対し停止信号を出
力するものである。異常判定手段とは、液流有無判別手
段により流れ無しの判定時液流通検出手段を異常と判定
するもので、液流有無判別手段により流れ無しと判定さ
れることは、液の流れが無しが想定され、液流通検出手
段が正常な場合、この状態（液の流れなし）で真空ポン
プが連続運転していることは通常あり得ず、液流通検出
手段の異常により真空ポンプが連続運転されていると多
くの場合に判定できるとの知見に基づくものである。こ
の実施形態において、連続運転判定手段、運転停止手
段、液流有無検出手段及び異常判定手段は、例えば、マ
イクロコンピュータにより予め記憶された制御処理手順
の一部として構成される。異常判定手段は、液流有無判
別手段による判定が流れ無しかどうかで判定するもので
ある。この判定は、液流有無判別手段による流れ無しの
１回の判定に基づくよりは、液流有無判別手段による流
れ有りの複数回（例えば、１０回）の判定によることが
望ましい。尚、複数回の判定を行うためには、真空ポン
プの強制的停止を伴う異常判定を行った後、真空ポンプ
を再度起動させる手段を設ける必要がある。

【００１９】次に、請求項の４の発明の実施形態は、被
脱気液の供給ラインと脱気液の排出ラインとを備えた脱
気手段に真空ポンプを接続し、この真空ポンプにより前
記脱気手段内の被脱気液を真空脱気し、被脱気液又は脱
気液の流れの有無を検出する液流通検出手段により前記
真空ポンプの運転を制御する真空脱気装置において、前
記真空ポンプの停止を検出する停止検出手段と、この停
止検出手段による前記真空ポンプの停止時における前記
脱気手段の真空度の変化の割合が大きい時被脱気液又は
脱気液の流れが有りと判定し前記変化の割合が小さい時
被脱気液又は脱気液の流れが無いと判定する液流有無判
定手段と、この液流有無判定手段により流れ有りの判定
時前記液流通検出手段を異常と判定する第１の異常判定
手段と、前記真空ポンプの所定時間以上の連続運転を検
出する連続運転検出手段と、この連続運転検出手段によ
り連続運転が検出された時前記真空ポンプを停止する運
転停止手段と、この運転停止手段による前記真空ポンプ
の停止時において前記液流有無判定手段により液の流れ
無しの判定時前記液流通検出手段を異常と判定する第２
の異常判定手段とを備えた構成の真空脱気装置とする。

【００２０】この実施の形態について以下に詳細に説明
する。この実施形態は、請求項２の実施形態と請求項３
の実施形態を組み合わせた形態であり、各手段について
は請求項２の実施形態と請求項３の実施形態のものと同
様である。尚、第１の液流有無判定手段と第２の液流有
無判定手段とは別の構成のものとして別個に設けてもよ
いが、同じ構成のものとして別個に設けるか、同じ構成
のものとして共通に用いても良い。尚、本実施形態にお
いて、真空ポンプの（運転）停止とは請求項１の実施形
態と同様の内容を含んでいる。

【００２１】次に、請求項の５の発明の実施形態は、被
脱気液の供給ラインと脱気液の排出ラインとを備えた脱
気手段に真空ポンプを接続し、この真空ポンプにより前
記脱気手段内の被脱気液を真空脱気し、被脱気液又は脱
気液の流れの有無を検出する液流通検出手段により前記
真空ポンプの運転を制御する真空脱気装置において、前
記液流通検出手段の異常を判定する異常判定手段と、こ
の異常判定手段により異常が判定された時に前記真空ポ
ンプを前記液流通検出手段の検出信号によらず運転制御
する異常時運転制御手段とを備えたものとする。

【００２２】この実施の形態について以下に詳細に説明
する。この実施形態は、被脱気液の供給ラインと脱気液
の排出ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続
し、該真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真
空脱気し、被脱気液又は脱気液の流れの有無を検出する
液流通検出手段により前記真空ポンプの運転を制御する
構成については、請求項２と同様である。又、異常判定
手段としては、請求項３の実施形態で説明した異常判定
手段が用いられるか、又は請求項４の実施形態で説明し
た異常判定手段が用いられるが、これに限定されない。
異常運転制御手段としては、請求項６に記載のように異
常が判定された時に真空ポンプを間欠運転（例えば60se
c 運転、10sec 停止）を行うものであるが，間欠運転の
代わりに真空ポンプを回転数制御等による容量制御でき
るものとし、異常判定時には通常運転に比較して回転数
を下げて運転する等の容量制御を行うものであっても良
い。

【００２３】

【実施例】以下、上述の実施形態に対応する具体的実施
例を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、同実施例
の機械構造（ハード）的概略構成を示す図で、図２及び
図３は同実施例の制御器による制御手順の一部を示す図
である。

【００２４】図１において、１は被脱気液を真空脱気す
る周知の脱気手段で、中空糸膜等の気体透過膜（脱気
膜）により形成された膜脱気モジュール２をもって構成
される。この膜脱気モジュール２の一側には被脱気液の
供給ライン３の一端が接続されており、この供給ライン
３の他端は、被脱気液を所定の供給圧で脱気モジュール
２へ供給する供給源（図示省略）に接続されている。
又、膜脱気モジュール２の他側には脱気液を取り出す排
出ライン４が接続されており、この排出ライン４は脱気
液貯溜タンク５を介して脱気液を各機器（図示省略）へ
供給する構成となっている。これにより脱気膜の一面側
を被脱気液が流通するよう構成される。排出ライン４の
適所には後記真空ポンプ８のＯＮ，ＯＦＦに関係なく脱
気液の流れを直接的に検出してＯＮ−ＯＦＦ（開閉）す
るフロースイッチ（液流通検出手段）６が設けられ、こ
のスイッチがＯＮした時は真空ポンプ８をＯＮし、ＯＦ
Ｆした時には真空ポンプ８をＯＦＦするよう制御する。
７は貯溜タンク５内の水位を所定の水位幅内に制御する
定水位弁であり、この弁により、排出ライン４の脱気液
の流れが停止されると、フロースイッチ６はＯＦＦし、
脱気液の流れが開始されると、フロースイッチ６はＯＮ
する。このフロースイッチは供給ライン３側に設けても
よい。

【００２５】８は膜脱気モジュール２内を真空脱気する
手段としての水封式の真空ポンプであり、一般的な構成
として、封水ライン９と排気ライン１０を備えている。
この真空ポンプ８と前記膜脱気モジュール２とは、真空
吸引ライン１１で接続されている。これにより、脱気膜
の他面側を真空ポンプ８により高度の真空状態として、
脱気液中の溶存気体を脱気膜の他面側に抽出、排気する
構成とされる。この真空吸引ライン１１には前記膜脱気
モジュール２内の真空度を検出する真空度センサ１２が
設けられている。この真空度センサ１２の検出圧力は、
後述の液流有無判定手段による真空度検出のために用い
られると共に、脱気モジュール２の真空度を表示器（図
示省略）に表示する信号として用いられる。このセンサ
１２としては無段階に圧力範囲を設定できる半導体式圧
力センサが好適である。１３は真空吸引ライン１１に設
けられ真空吸引ライン１１の連通，遮断を行う制御弁
で、フロースイッチ６等により真空ポンプ８と連動して
開閉される。

【００２６】１４はマイクロコンピュータ等からなる制
御器で、予めメモリ（図示省略）に記憶された制御手順
に従い真空度センサ１２及びフロースイッチ６等からの
信号を入力して真空ポンプ８及び制御弁１３等の制御を
行う。その制御手順の一部は図２及び図３に示されるも
のであり、これに従い本実施例の構成及び動作を以下に
説明する。

【００２７】図２は、水が流れているのに、機械的な作
動不良等の何らかの理由によりフロースイッチ６がＯＮ
とならず、真空ポンプ８がＯＦＦされるという異常状態
を検出し、異常報知とバックアップ制御を行う制御手順
を示すものである。ステップＳ０（以下ＳＮはステップ
ＳＮを意味する）から運転をスタートし、Ｓ１へ移行す
る。Ｓ１において、真空ポンプ８が運転停止かどうかを
判定する（停止検出手段）。ここで判定がＮＯの場合は
Ｓ０へ戻る。何らかの理由で真空ポンプ８が停止する
と、Ｓ１でＹＥＳが判定され、Ｓ２へ移行し、真空度セ
ンサ１２による真空度をＰ１として記憶する。次いで、
Ｓ３において真空度をＰ２として記憶して、Ｓ４へ移行
する。Ｓ４にてＰ２−Ｐ１が所定値ＰＸ（例えば６０To
rr）以上かどうか、即ち真空度が所定値以上降下したか
どうかを判定し、ＮＯであればＳ３へ戻る。Ｓ４でＹＥ
Ｓが判定されると、Ｓ５へ移行し、Ｓ４でＹＥＳが判定
された時点が運転停止から所定時間Ｔ１０（例えば600s
ec）経過かどうかを判定する。所定時間以上経過の場合
は水の流れが無い（ＹＥＳ）と判定し、所定時間以上経
過していない場合は水の流れ有り（ＮＯ）と判定する
（液流有無判定手段）。Ｓ５でＹＥＳの場合、Ｓ１１に
移行して異常カウンタ（図示省略）をクリアし、Ｓ９へ
移行して真空ポンプ８を所定の短時間Ｔ３０（例えば60
sec ）ＯＮし、更にＳ１０へ移行して真空ポンプ８を停
止し、Ｓ１へ戻る。Ｓ１でＮＯが判定されると、Ｓ０へ
戻る。Ｓ９を設けた理由は連続的に真空ポンプ８が停止
されることが無いようにするためである。

【００２８】Ｓ５にてＮＯが判定される、即ち、水の流
れが有ると判定されると、異常と仮に判定し、異常カウ
ンタのカウント値を＋１し、Ｓ７へ移行する。Ｓ７で異
常カウンタの値が所定値（例えば１０回）以上かどうか
を判定し、ＮＯの場合はＳ８へ移行し、Ｓ１にて真空ポ
ンプ８の停止が判定されてから所定時間Ｔ２０（例えば
10sec ）が経過かどうかを判定する。この判定は真空ポ
ンプ８の停止後直ちに起動すると真空ポンプに悪影響を
与えることを防止するためのステップである。Ｓ８でＮ
Ｏが判定されるとＳ８に止まり、ＹＥＳが判定されると
Ｓ９、Ｓ１０を経てＳ１へ移行する。フロースイッチが
異常の場合は、Ｓ１→Ｓ２→Ｓ３→Ｓ４→Ｓ５→Ｓ６→
Ｓ７→Ｓ８→Ｓ９→Ｓ１０→Ｓ１を繰り返し、Ｓ７で所
定値がカウントされると、フロースイッチ異常と判定
（異常判定手段）し、Ｓ１２へ移行し、フロースイッチ
６のＯＦＦ異常（液の流れありでＯＦＦとなっている異
常）を図示しない表示器等により視覚的、又は音声等に
より聴覚的に報知し、Ｓ１３へ移行して、バックアップ
運転を行う（異常時運転制御手段）。このバックアップ
制御は例えば真空ポンプ８をフロースイッチ６の信号に
よらず、これを無視して、所定時間（60sec ）運転−所
定時間（10sec ）停止−所定時間（60sec ）運転の繰り
返し、即ち間欠運転を行うことである。

【００２９】図３は、液の流れが無いのに、接点溶着等
によりフロースイッチ６がＯＦＦとならず、真空ポンプ
８が連続ＯＮされるという異常状態を検出し、異常報知
とバックアップ制御を行う制御手順を示すものである。
ステップＳ２１において、真空ポンプの所定時間Ｔ４０
（例えば３０分）の連続運転を判定する（連続運転判定
手段）。ここで判定がＮＯの場合はＳ０へ戻り、ＹＥＳ
の場合はＳ２２へ移行し、真空ポンプを停止し（運転停
止手段）、Ｓ２３へ移行し、真空度センサ１２による真
空度をＰ１として記憶する。次いで、Ｓ２４にて真空度
をＰ２として記憶し、Ｓ２５へ移行する。Ｓ２５にてＰ
２−Ｐ１が所定値ＰＸ（例えば６０Torr）以上かどう
か、即ち真空度が所定値以上降下したかどうかを判定
し、ＹＥＳであれば水の流れが有りと判断（液流有無判
定手段）して、Ｓ２９へ移行し、異常カウンタをクリア
して、Ｓ３０へ移行する。Ｓ３０では真空ポンプ８停止
後所定時間Ｔ６０（例えば10sec ）経過かどうかを判定
し、ＮＯであればＳ３０に止まり、ＹＥＳが判定される
とＳ３１へ移行し、真空ポンプ８をＯＮして、Ｓ０へ戻
る。Ｓ３０を設けたのは真空ポンプ８の停止後直ちにこ
れを起動させないためである。

【００３０】Ｓ２５にて、ＮＯが判定されるとＳ２６へ
移行し、運転停止から所定時間Ｔ５０（例えば600sec）
経過かどうかを判定する。ＹＥＳの場合、即ち真空度が
所定値以上降下となる前に所定時間が経過した時は真空
度の変化の割合が小さく、水の流れ無しと判定（液流有
無判定手段）し、仮に異常と判定し異常カウンタのカウ
ント値を＋１し、Ｓ２８へ移行する。Ｓ２８で異常カウ
ンタの値が所定値（例えば１０回）以上かどうかを判定
し、ＮＯの場合はＳ３１を経てＳ０へ移行する。フロー
スイッチがＯＮを続ける異常の場合は、Ｓ０→Ｓ２１→
Ｓ２２→Ｓ２３→Ｓ２４→Ｓ２５→Ｓ２６→Ｓ２７→Ｓ
２８→Ｓ３１→Ｓ０を繰り返し、Ｓ２８で所定値がカウ
ントされるとフロースイッチ異常と判定（異常判定手
段）し、Ｓ３２へ移行し、フロースイッチ６の異常（液
の流れが無いのにＯＮとなっている異常）を図示しない
表示器等による視覚的、又は音声等による聴覚的に報知
し、Ｓ３３へ移行して、バックアップ運転制御を行う。
このバックアップ制御は例えば真空ポンプをフロースイ
ッチの信号によらず（これを無視して）、所定時間（60
sec ）運転−所定時間（10sec ）停止−所定時間（60se
c ）運転の繰り返し、即ち間欠運転を行うことである。

【００３１】上記の実施例の構成において、図２の処理
手順と図３の処理手順とにおいて、図２では、Ｓ４（真
空度判定）でＹＥＳの後、Ｓ５（時間経過判定）でＹＥ
Ｓが判定されると流れ無し（正常）、ＮＯが判定される
と流れ有り（異常）の処理を行うのに対して、図３で
は、Ｓ２５（真空度判定）でＹＥＳが判定されると、流
れ有り（正常）の処理を行い、Ｓ２５でＮＯが判定され
た後、Ｓ２６（時間経過判定）でＹＥＳが判定されると
流れ無し（異常）の処理を行うよう構成されている。何
れの場合も、真空ポンプ８の停止状態で異常の判定を行
うので、真空度判定ステップ（Ｓ４，Ｓ２５）でＹＥＳ
が判定されると、時間経過判定ステップ（Ｓ５，Ｓ２
６）の所定時間を経過すること無くＳ９，Ｓ３１にて真
空ポンプ８を駆動するように構成している。これによ
り、液が流れているにもかかわらず真空ポンプを長時間
停止することが無くなり、脱気されていない被脱気液が
多量に供給されことが無くなるものである。尚、流れの
有無の判定を図２と図３とで共通にすることも可能であ
る。しかしながら、図３において図２ののＳ４及びＳ５
をＳ２５及びＳ２６の代わりに用いた場合、Ｓ４におい
て何らかの理由で長時間に渡り真空度が降下しなかった
場合、長時間に渡って真空ポンプが停止状態を続けると
いう異常事態のおそれの可能性があるが、図３のＳ２
５，Ｓ２６ＮＯ処理によれば、真空度が低下しない場
合、Ｓ２６の経過判定時間Ｔ５０以内に真空ポンプ８の
停止時間を制限できる効果がある。図２において、Ｓ４
を採用しているのは、真空ポンプを強制的に停止したの
ではなく真空ポンプ８が停止したのであるから、Ｓ４に
おいて何らかの理由で長時間に渡り真空度が低下しなか
った場合に停止を続けたとしても然程問題ではないから
である。

【００３２】又、上記のごとく構成される実施例におい
ては、次の効果を奏する。真空度の表示用として設けて
ある真空度センサ１２の出力を用いて液の流れの有無を
判定でき、フロースイッチ６のバックアップ用の別個の
フロースイッチを必要としない。又、フロースイッチ６
が溶着する等の理由でＯＮを続けた場合及び何らかの理
由でＯＦＦを続けるという異常を判定でき、この判定結
果に基づいて、異常の表示やフロースイッチ６の信号に
基づかないバックアップ運転をできるものである。

【００３３】

【発明の効果】上記の如く構成される本発明によれば、
次の効果を奏する。即ち、請求項１の発明によれば、真
空ポンプの停止時における脱気手段の真空度の変化の割
合が大きい時被脱気液又は脱気液の流れが有りと判定し
前記変化の割合が小さい時被脱気液又は脱気液の流れが
無いと判定する液流有無判定手段を備えたものであるか
ら、液の流れを直接検出すること無く、脱気手段の真空
度の変化割合で液の流れの有無を判定できる効果があ
る。

【００３４】又、請求項２の発明によれば、真空ポンプ
の停止を検出する停止検出手段と、この停止検出手段に
よる真空ポンプの停止検出時における脱気手段の真空度
の変化の割合が大きい時被脱気液又は脱気液の流れが有
りと判定し前記変化の割合が小さい時被脱気液又は脱気
液の流れが無いと判定する液流有無判定手段と、この液
流有無判定手段により流れ有りの判定時液流通検出手段
を異常と判定する異常判定手段とを備えたものであるか
ら、液の流れを直接検出すること無く、脱気手段の真空
度の変化割合で液の流れの有無を判定でき、これを用い
て液の流れが有るにもかかわらず液流通検出手段が真空
ポンプを停止するという異常を判定できる効果がある。

【００３５】又、請求項３の発明によれば、真空ポンプ
の所定時間以上の連続運転を検出する連続運転検出手段
と、この連続運転検出手段により連続運転が検出された
時真空ポンプを停止する運転停止手段と、この運転停止
手段による真空ポンプの停止時における脱気手段の真空
度の変化の割合が大きい時被脱気液又は脱気液の流れが
有りと判定し前記変化の割合が小さい時被脱気液又は脱
気液の流のが無いと判定する液流有無判定手段と、この
液流有無判定手段により液の流れ無しの判定時液流通検
出手段を異常と判定する異常判定手段とを備えたもので
あるから、液の流れを直接検出すること無く、脱気手段
の真空度の変化割合で液の流れの有無を判定でき、これ
を用いて液の流れが無いにもかかわらず液流通検出手段
が真空ポンプを連続運転させるという異常を判定できる
効果がある。

【００３６】又、請求項４の発明によれば、真空ポンプ
の停止を検出する停止検出手段と、この停止検出手段に
よる真空ポンプの停止検出時における脱気手段の真空度
の変化の割合が大きい時被脱気液又は脱気液の流れが有
りと判定し前記変化の割合が小さい時被脱気液又は脱気
液の流れが無いと判定する液流有無判定手段と、この液
流有無判定手段により流れ有りの判定時液流通検出手段
を異常と判定する第１の異常判定手段と、真空ポンプの
所定時間以上の連続運転を検出する連続運転検出手段
と、この連続運転検出手段により連続運転が検出された
時前記真空ポンプを停止する運転停止手段と、この運転
停止手段による前記真空ポンプの停止時において液流有
無判定手段により液の流れ無しの判定時液流通検出手段
を異常と判定する第２の異常判定手段とを備えたもので
あるから、液の流れを直接検出すること無く、脱気手段
の真空度の変化割合で液の流れの有無を判定でき、これ
を用いて液の流れが有るにもかかわらず液流通検出手段
が真空ポンプを停止するという異常を判定できると共
に、液の流れが無いにもかかわらず液流通検出手段が真
空ポンプを連続運転させるという異常を判定できる効果
がある。

【００３７】又、請求項５の発明によれば、液流通検出
手段の異常を判定する異常判定手段と、この異常判定手
段により異常が判定された時に前記真空ポンプを液流通
検出手段の検出信号によらず運転制御する異常時運転制
御手段とを備えたものであるから、液流通検出手段の異
常が検出された時、液の流れが有るのに真空ポンプを停
止状態のままとしたり、液の流れが無いのに真空ポンプ
を連続運転したりすることがが無いという効果がある。

【００３８】又、請求項６の発明によれば、異常判定手
段により異常が判定された時に真空ポンプ手段を間欠運
転するものであるから、液流通検出手段の異常が検出さ
れた時、液の流れが有るのに真空ポンプを停止状態のま
まとしたり、液の流れが無いのに真空ポンプを連続運転
したりすること無く、間欠運転によるバックアップ運転
を行い、所定の脱気された状態の脱気液を供給できる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図は本発明一実施例の概略構成を示す図であ
る。

【図２】図は同実施例の制御器による制御手順の一部を
示すフローチャート図である。

【図３】図は同実施例の制御器による制御手順の他部を
示すフローチャート図である。

【符号の説明】

１ 脱気手段 ３ 供給ライン ４ 排出ライン ６ フロースイッチ（液
流通検出手段） ８ 真空ポンプ １１ 真空排気ライン １２ 真空度センサ １４ 制御器

フロントページの続き (72)発明者 山尾 卓宏 愛媛県松山市堀江町７番地 三浦工業株 式会社 内 (72)発明者 一色 克文 愛媛県松山市堀江町７番地 三浦工業株 式会社 内 (72)発明者 安部 元 愛媛県松山市堀江町７番地 三浦工業株 式会社 内 (72)発明者 森 大輔 愛媛県松山市堀江町７番地 三浦工業株 式会社 内 審査官 豊永 茂弘 (56)参考文献 特開 平９−150009（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−85012（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−47352（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−284302（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−68808（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B01D 19/00

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被脱気液の供給ラインと脱気液の排出
   ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、この
   真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気
   する真空脱気装置において、前記真空ポンプの停止時に
   おける前記脱気手段の真空度の変化の割合が大きい時被
   脱気液又は脱気液の流れが有りと判定し前記変化の割合
   が小さい時被脱気液又は脱気液の流れが無いと判定する
   液流有無判定手段を備えたことを特徴とする真空脱気装
   置。
2. 【請求項２】 被脱気液の供給ラインと脱気液の排出
   ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、この
   真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気
   し、被脱気液又は脱気液の流れの有無を検出する液流通
   検出手段により前記真空ポンプの運転を制御する真空脱
   気装置において、前記真空ポンプの停止を検出する停止
   検出手段と、この停止検出手段による前記真空ポンプの
   停止検出時における前記脱気手段の真空度の変化の割合
   が大きい時被脱気液又は脱気液の流れが有りと判定し前
   記変化の割合が小さい時被脱気液又は脱気液の流れが無
   いと判定する液流有無判定手段と、この液流有無判定手
   段により流れ有りの判定時前記液流通検出手段を異常と
   判定する異常判定手段とを備えたことを特徴とする真空
   脱気装置。
3. 【請求項３】 被脱気液の供給ラインと脱気液の排出
   ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、この
   真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気
   し、被脱気液又は脱気液の流れの有無を検出する液流通
   検出手段により前記真空ポンプの運転を制御する真空脱
   気装置において、前記真空ポンプの所定時間以上の連続
   運転を検出する連続運転検出手段と、この連続運転検出
   手段により連続運転が検出された時前記真空ポンプを停
   止する運転停止手段と、この運転停止手段による前記真
   空ポンプの停止時における前記脱気手段の真空度の変化
   の割合が大きい時被脱気液又は脱気液の流れが有りと判
   定し前記変化の割合が小さい時被脱気液又は脱気液の流
   れが無いと判定する液流有無判定手段と、この液流有無
   判定手段により液の流れ無しの判定時前記液流通検出手
   段を異常と判定する異常判定手段とを備えたことを特徴
   とする真空脱気装置。
4. 【請求項４】 被脱気液の供給ラインと脱気液の排出
   ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、この
   真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気
   し、被脱気液又は脱気液の流れの有無を検出する液流通
   検出手段により前記真空ポンプの運転を制御する真空脱
   気装置において、前記真空ポンプの停止を検出する停止
   検出手段と、この停止検出手段による前記真空ポンプの
   停止時における前記脱気手段の真空度の変化の割合が大
   きい時被脱気液又は脱気液の流れが有りと判定し前記変
   化の割合が小さい時被脱気液又は脱気液の流れが無いと
   判定する液流有無判定手段と、この液流有無判定手段に
   より流れ有りの判定時前記液流通検出手段を異常と判定
   する第１の異常判定手段と、前記真空ポンプの所定時間
   以上の連続運転を検出する連続運転検出手段と、この連
   続運転検出手段により連続運転が検出された時前記真空
   ポンプを停止する運転停止手段と、この運転停止手段に
   よる前記真空ポンプの停止時において前記液流有無判定
   手段により液の流れ無しの判定時前記液流通検出手段を
   異常と判定する第２の異常判定手段とを備えたことを特
   徴とする真空脱気装置。
5. 【請求項５】 被脱気液の供給ラインと脱気液の排出
   ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、この
   真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気
   し、被脱気液又は脱気液の流れの有無を検出する液流通
   検出手段により前記真空ポンプの運転を制御する真空脱
   気装置において、前記液流通検出手段の異常を判定する
   異常判定手段と、この異常判定手段により異常が判定さ
   れた時に前記真空ポンプを前記液流通検出手段の検出信
   号によらず運転制御する異常時運転制御手段とを備えた
   ことを特徴とする真空脱気装置。
6. 【請求項６】 請求項５において、異常判定手段によ
   り異常が判定された時に前記真空ポンプを間欠運転する
   ことを特徴とする真空脱気装置。