JP3108203B2 - 光学式エンコーダ - Google Patents

光学式エンコーダ

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JP3108203B2
JP3108203B2 JP04197271A JP19727192A JP3108203B2 JP 3108203 B2 JP3108203 B2 JP 3108203B2 JP 04197271 A JP04197271 A JP 04197271A JP 19727192 A JP19727192 A JP 19727192A JP 3108203 B2 JP3108203 B2 JP 3108203B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光学式エンコーダに関
し、特に移動物体例えば回転物体に取り付けられた回折
格子に可干渉性光束を入射させ、該回折格子を通過した
回折光を互いに干渉させ、干渉した光の強度を測定する
ことにより、回折格子の移動状態例えば回転状態を観測
する光学式エンコーダに関するものである。
【0002】
【従来の技術】機械装置において位置決めをする際には
光学式エンコーダ例えば光電式のエンコーダが広く利用
されている。この光電式エンコータは、回転ディスク及
び該回転ディスクと所定の間隔をおいて設けられた固定
マスクにそれぞれスリットを設け、両スリットを通過し
た光を光検出器により電気信号に変えて出力することに
よって、直線的な長さや回転角を測定するものである。
この光電式エンコーダにおいては、スリットのピッチを
細かくすることにより、検出精度を高めることができ
る。
【0003】ところが、この光電式エンコーダによる
と、回転ディスク及び固定マスクに設けられたスリット
のピッチを余り細かくすると、回折光の影響により光検
出器からの出力信号の信号対雑音の比であるS/N比が
低下し、検出精度が低下するという問題があった。
【0004】また、光検出器からの出力信号が回折光の
影響を受けない程度にまでスリットの間隔を拡大しよう
とすると、回転ディスクの径が大きくならざるを得ず、
そのために装置全体が大型化するので、回転ディスクを
回転駆動させる駆動体への負荷が大きくなる等の問題点
があった。
【0005】一方、光学式エンコーダとしては、回折格
子を通過した回折光を用いる干渉縞検出方式のエンコー
ダも知られている。この干渉縞検出方式のエンコーダ
は、光軸に対して略垂直に配設された固定回折板及び移
動回折板を通過した光の回折及び干渉によって生じる干
渉縞を光検出器により電気信号に変えて取り出すもので
ある。
【0006】ところが、この干渉縞検出式エンコーダに
おいては、移動回折板及び固定回折板から複数の次数の
回折光が出射するため、測定に必要な特定次数の回折光
の強度が低下し、検出感度が低下するという問題があっ
た。
【0007】また、測定に不要な次数の回折光がフレア
となったり或いはゴースト光発生の原因になったりする
ので、干渉縞検出時のS/N比が低下するという問題も
あった。
【0008】さらに、移動回折板及び固定回折板を通過
した回折光による干渉縞を光検出器により読み取る場
合、0次の回折光を含む多数の異なる次数の回折光が互
いに干渉するので、移動回折板と固定回折板との間のギ
ャップの変動によって光強度が変動するという問題もあ
った。このギャップ変動が許容される範囲は高々2p2
/λ(ただし、pは格子のピッチ、λは測定している光
の波長)として与えられている(Optics and Laser Tec
hnology,(1985)p89-95参照)。
【0009】そこで、光源の波長変動及び移動回折板と
固定回折板との間のギャップ変動に対して安定した信号
を検出できるようにするため、特開平3−279812
に記載され、本件の図10に示すような光学式エンコー
ダが提案されている。すなわち、コヒーレント光源30
と、該コヒーレント光源30から出射した光を平行光に
するコリメートレンズ32と、該コリメートレンズ32
を通過した光の光軸に対してほぼ垂直に且つ適当な間隔
をおいて配設され互いに等しい周期的なピッチの回折格
子を有する固定回折板34及び反射型移動回折板36と
を備え、光源30から出射されコリメートレンズ32を
通過した後、固定回折板34の第1の回折格子34aを
通過した0次及び±1次の回折光を、移動回折板36の
第2の回折格子36a,36a,36aによって回折、
反射させた後、再度、固定回折板34の第3の回折格子
34b,34cを通過させ、該第3の回折格子34b,
34cにおいて交差する回折光成分のうち、コリメート
レンズ32を通過した光と平行な方向へ回折して干渉す
る光を光検出器38A,38Bによって検出するもので
ある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の場
合、回折格子による回折回数は合計3回となり、光の利
用効率が低下するという問題がある。
【0011】また、0次及び±1次の回折光をすべて用
いるため、各次数の回折光について回折効率を等しくす
る必要がある。このため、例えば回折効率を20%程度
とすると、トータルの光利用効率は(0.2)3 =0.
008すなわち略0.01となり、1%弱の光量しか利
用できない。このため出力信号のS/Nを向上させよう
とすると、コヒーレント光源30の出力を大きくする必
要があるという問題がある。
【0012】さらに、前述したように、測定に不要な次
数の回折光がフレア或いはゴースト光発生の原因となる
という不都合も回避されない。
【0013】上記に鑑み、本発明は、簡素な構成であり
ながら、光利用効率が高く且つ格子ピッチに対して分解
性能が高い、精度の良い信号を得ることができる光学式
エンコーダを提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項1の発明は、固定格子板及び移動格子板を通
過する回折光のうち±1次の回折光のみを空間フィルタ
リングして干渉させ、0次の回折光と±1次の回折光と
が干渉することにより形成される正弦波に対して2倍の
周波数を有する正弦波を出力せしめるものである。
【0015】具体的に請求項1の発明が講じた解決手段
は、光学式エンコーダを、コヒーレントな光を出射する
光源と、該光源から出射された光の光軸に対して略垂直
で且つ互いに平行に設けられており主として±1次の回
折光のみを通過させる位相格子を有する固定回折板及び
移動回折板と、該固定回折板及び移動回折板を通過した
光を受光する光検出器と、上記固定回折板及び移動回折
板を通過した±1次の回折光を上記光検出器の光検出部
に集光させる集光レンズとを備えている構成とするもの
である。
【0016】請求項2の発明は、位相格子が矩形波状に
形成し、矩形状波の形状を固定格子板及び移動格子板を
通過する0次の回折光の光量比を無視できる形状にする
ものであって、具体的には、請求項1の構成に、上記固
定回折板及び移動回折板は共に矩形波状の位相格子を有
しており、該位相格子の矩形波の山と谷とは対称な形状
を有し且つ山と谷との段差dは、d=(1/2)×λ×
(1+2m)×(1/|n−n0 |)(ただしm=0,
±1,…、λ=光源から出射される光の波長,n=固定
回折板及び移動回折板を構成する材料の屈折率、n0
固定回折板と移動回折板との間の媒体の屈折率)に設定
されているという構成を付加するものである。
【0017】請求項3の発明は、位相格子を正弦波状に
形成し、正弦波の形状を固定格子板及び移動格子板を通
過する0次の回折光の光量比を無視できる形状にするも
のであって、具体的には、請求項1の構成に、上記固定
回折板及び移動回折板は共に正弦波状の位相格子を有し
ており、該位相格子の正弦波の山と谷との段差dは、d
=(1/2)×λ×(1/|n−n0 |)÷(1−2/
π)(ただしm=0,±1,…、λ=光源から出射され
る光の波長,n=固定回折板及び移動回折板を構成する
材料の屈折率、n0 =固定回折板と移動回折板との間の
媒体の屈折率)に設定されている構成を付加するもので
ある。
【0018】請求項4の発明は、位相格子を三角形波状
に形成されている場合において、三角波の形状を固定格
子板及び移動格子板を通過する0次の回折光の光量比を
無視できる形状にするものであって、具体的には、請求
項1の構成に、上記固定回折板及び移動回折板は共に三
角形波状の位相格子を有しており、該位相格子の三角波
の山と谷とは対称な形状を有し且つ山と谷との段差d
は、d=λ×(1/|n−n0 |)(ただしm=0,±
1,…、λ=光源から出射される光の波長,n=固定回
折板及び移動回折板を構成する材料の屈折率、n0 =固
定回折板と移動回折板との間の媒体の屈折率)に設定さ
れている構成を付加するものである。
【0019】
【作用】請求項1の構成により、光源から出射されたコ
ヒーレント光のうち主として±1次の回折光のみを通過
させる位相格子を有する固定回折板及び移動回折板と、
該固定回折板及び移動回折板を通過した±1次の回折光
を光検出器の光検出部に集光させる集光レンズとを備え
ているため、0次の回折光と±1次の回折光とが干渉し
たときに形成される正弦波に対して2倍の周波数を有す
る2倍周波の正弦波出力波形を得ることができる。
【0020】請求項2〜4の構成により、位相格子が矩
形波状、正弦波状或いは三角形波状の場合にそれぞれ山
と谷との段差寸法を特定しているため、実施例の項でそ
れぞれ説明するように、固定格子板及び移動格子板を通
過する0次の回折光の光量比を無視できる程度に抑制す
ることができる。
【0021】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0022】図1は本発明の第1実施例に係る光学式エ
ンコーダの概略構成を示し、図2は第1実施例に係る光
学式エンコーダの要部の構成を示しており、同図におい
て、1は半導体レーザ若しくは比較的可干渉性の高いL
ED(発光ダイオード)よりなる光源、2は光源1から
出射された光を平行光にするコリメートレンズ、3Aは
矩形波状断面の位相格子を有し光軸に対して垂直に配置
された固定回折板、4Aは矩形波状断面の位相格子を有
し光軸に対して垂直に配置され且つ垂直方向に移動可能
な移動回折板であって、固定回折板3Aの位相格子と移
動回折板4Aの位相格子とは互いに同じ周期を有してい
る。また、同図において、5は移動回折板3Aを通過し
た光を集光する集光レンズ、6は集光レンズ5により集
光され光検出部7において結像した回折像を電気信号に
変えて出力する光検出器、8は周波数弁別フィルターで
ある。
【0023】第1実施例に係る光学式エンコーダにおい
ては、光源1から出射された光は、コリメートレンズ2
により平行光にされた後、固定回折板3Aに該固定回折
板3Aに対して略垂直の方向から入射される。固定回折
板3Aに入射した光は、該固定回折板3Aによって回折
され、0次の回折光10,+1次の回折光11,−1次
の回折光12,……として出射される。これらの回折光
10,11,12は、移動回折板4Aに入射した後、さ
らに回折光として出射される。この移動回折板4Aから
出射された回折光を(n,m)(但し、nは固定回折板
3Aによる回折次数,mは移動回折板3Bによる回折次
数をそれぞれ示す。)として表すと、移動回折板3Bを
通過する回折光としては、図2に示すように、(0,
0)の回折光20、(+1,−1)の回折光21、(−
1,+1)の回折光22、(−2,+2)の回折光,
(+2,−2)の回折光,……,がある。ただし図2に
おいては、図示の都合上、(−2,+2)の回折光、
(+2,−2)の回折光及び2次の回折光よりも高次の
回折光は省略している。
【0024】移動回折板4Aを光軸に対して垂直方向
(図1及び図2における上下方向)に一定速度で移動さ
せると、移動に伴って0次よりも高次の回折光の位相は
0次の回折光の位相に対して変化するので、例えば(+
1,−1)の回折光21と(−1,+1)の回折光22
とが干渉して得られる干渉波の光強度は正弦波状に変化
する。同様に(+1,−1)の回折光21と(0,0)
の回折光20との干渉波の光強度、或いは(−1,+
1)の回折光22と(0,0)の回折光20との干渉に
よる干渉波の光強度も移動回折板4Aの移動に伴って周
期的に変化する。
【0025】ところで、矩形波状の断面を有する移動回
折板4Aの山と谷との段差dは、光源1の波長λに対し
て、 |n−n0 |×d=(λ/2)×(1+2m)……(1) (但し、m=0,±1,±2,…であり、nは固定回折
板3A及び移動回折板4Aを構成する材料の屈折率,N
0 は固定回折板3Aと移動回折板4Aとの間の媒質の屈
折率である。)になるように形成されている。
【0026】この場合、0次をはじめとする偶数次の回
折光の成分が0になること、及び±1次の回折光に大半
の光エネルギー(各々40%程度)が集中することは衆
知である。もっとも、実際には、固定回折板3A及び移
動回折板4Aの製作誤差によって、偶数次の回折光も若
干発生する。
【0027】上記(1) 式において、固定回折板3A及び
移動回折板4AがSiO2 基板である場合にnは略1.
46となり、光源1がHe−Neガスレーザである場合
にλは633nmとなり、固定回折板3Aと移動回折板
4Aとの間の媒質が空気の場合にn0 は1となる。さら
に、mを0とし、固定回折板3A及び移動回折板4Aの
格子周期pを略10μmとし、リソグラフィーとドライ
エッチングの方法によって製作した段差dが略0.68
8μmである矩形波状の固定回折板3A及び移動回折板
4Aを用いて実験した結果によると、±1次の回折光の
回折効率はそれぞれ37〜40%程度が得られ、0次の
回折光の成分は2%以下、3次の回折光の成分はそれぞ
れ4〜5%程度であった。この場合、固定回折板3A及
び移動回折板4Aの位相格子の矩形波の山と谷の幅の比
(duty ratio)は6:4となっていた。
【0028】さて、(0,0)の回折光20は、(+
1,−1)の回折光21或いは(−1,+1)の回折光
22と干渉し、固定回折板3A及び移動回折板4Aの矩
形状波の山と谷とが互いに一致したときに光強度が最大
となり且つ矩形状波の山と谷とが半周期p/2だけ互い
にずれたときに光強度が最小となるような正弦波形であ
る基本波(図3(b)を参照)の出力が得られる。一
方、主要光量を占める(+1,−1)の回折光21と
(−1,+1)の回折光22とは互いに干渉し、上記基
本波に対して2倍の周波数を有する正弦波よりなる2倍
周波(図3(b)を参照)の出力が得られる。尚、図1
において、23は(0,+1)の回折光を、24は
(0,−1)の回折光を、25は(+1,0)の回折光
を、26は(+1,+1)の回折光をそれぞれ示してい
る。
【0029】本発明は、前述した2倍周波の成分を利用
して精度の高い位置検出を可能とするものである。光検
出器6に入射する光量は、(0,0)の回折光20が高
々(2/100)2 =4×10-4であるのに対し、(+
1,−1)の回折光21及び(−1,+1)の回折光2
2はそれぞれ(40/100)2 =0.16である。即
ち、干渉に寄与する光波の振幅比は√(4×10-4):
√(0.16)=2×10-2:0.4=1:20であ
る。従って、図5(a)に示した基本波の信号振幅U0
は、2倍周波の信号振幅U1 に比べて高々(1/20)
×2=1/10に過ぎない。一方、不都合な成分として
最大振幅を与える(+3,−3)の回折光と(−3,+
3)の回折光とが干渉すると6倍周波の出力波形を生じ
るが、6倍周波の振幅U3 と2倍周波の振幅U1 との比
は1:8〜1:10程度である。また、(+3,−3)
の回折光と(+1,−1)の回折光とが干渉した光の成
分、及び(−3,+3)の回折光と(−1,+1)回折
光とが干渉した光の成分も2倍周波を生じるが、これら
の2倍周波の振幅は、他の倍周波の振幅と同様に、(+
1,−1)の回折光21と(−1,+1)の回折光22
とが干渉して生じる2倍周波の振幅U1 に比べて無視で
きる程に小さい。
【0030】第1実施例の光検出器6の光電変換信号出
力は、誇張して示すと、図3(a)のように歪んだ波形
として得られることになる。この歪んだ波形は、図3
(b)に示すように、基本波の成分、2倍周波の成分及
び6倍周波の成分(6倍周波の成分は図示されていな
い。)等に分解して考えることができるが、2倍周波の
成分以外の成分は、それぞれ微弱であり且つ互いに共役
な回折波の干渉のため変動が小さいので、2倍周波の成
分の検出は十分に可能である。
【0031】尚、必要ならば、図1に示す周波数弁別フ
ィルター回路10の遮断周波数帯域を狭くして、周波数
弁別フィルター回路8から6倍周波の成分が出力されな
いようにすることもできる。
【0032】また、特に2倍周波の成分のみを更に高精
度で得たい場合には、バンドパスフィルター回路を周波
数弁別フィルター回路8に附加することにより容易に目
的を達し得る。
【0033】さらに、微弱ではあるが、前述した干渉光
以外の干渉光の成分として、例えば(+2,−1)の回
折光と(−2,+1)の回折光との干渉光が図1の結像
面9のスポット9aにおいて得られ、同様に(−2,+
1)の回折光と(+1,−2)の回折光との干渉光は結
像面9のスポット9bにおいて得られるが、これらの干
渉光は光検出器6の光検出部7以外の部分に集光するた
め、全く問題にならないことは容易に了解されよう。
【0034】図4は本発明の第2実施例に係る光学式エ
ンコーダの主要部の構成を示しており、該第2実施例に
おいては、固定格子板3B及び移動格子板4Bは、第1
実施例と同様に矩形波状の断面の位相格子を有している
が、矩形波の山と谷の幅の比(duty ratio)が略5:5
になるように形成されている。つまり、矩形波の山と谷
とは対称であり、且つ矩形波の山と谷との段差dは、d
=(1/2)×λ×(1+2m)×(1/|n−n
0 |)に設定されている。
【0035】尚、第2実施例においては、第1実施例と
同様の部材及び回折光については、第1実施例と同様の
符号を付すことにより説明は省略する。
【0036】第1実施例と同様、半導体レーザ若しくは
比較的可干渉性の強いLEDよりなる光源1から出射さ
れた光は、コリメートレンズ2を通過した後、固定格子
板3Bに対して略垂直な方向から平行に入射する。固定
格子板3Bに入射した光は、該固定格子板3Bを通過し
た後、約80%の光量が±1次の回折光となり、約10
%の光量が±3次の回折光となり、残りの光量は±5次
以上の奇数次の回折光に各々数%以下の比率で分布す
る。
【0037】本第2実施例においては、矩形波の山と谷
の幅の比を略5:5に形成しているため、0次の回折光
の光量比を無視できる程に抑圧できるので、特別のフィ
ルター回路を要することなく、2倍周波の成分の出力の
みを光検出器6から取り出すことができる。また、本第
2実施例においては、光検出器6の光検出部8の手前側
には、充分に小さい開口9cが設けられ、不要光が光検
出器6の光検出部7に入射するのを防いでいる。
【0038】このように構成することにより、図5に示
すように、基本波の成分(図5(a)を参照)の信号の
振幅はU0 は略0となり、2倍周波の成分の信号出力の
みが得られた(図5(b)を参照)。この場合、6倍周
波の成分は第1実施例と略同等の光電変換出力を生じる
が、この出力は周波数弁別フィルター回路8の帯域を制
限することによって遮断できる。
【0039】図6は本発明の第3実施例に係る光学式エ
ンコーダの主要部の構成を示しており、該第3実施例に
おいては、固定格子板3C及び移動格子板4Cはそれぞ
れ正弦波状断面の位相格子を有している。
【0040】尚、第3実施例においては、第1実施例と
同様の部材及び回折光については、第1実施例と同様の
符号を付すことにより説明は省略する。
【0041】固定格子板3Cに入射された光は該固定格
子板3Cによって数次の回折光に分かれて回折される。
0次の回折光の強度を0とする条件は、格子の形状、格
子を構成する物質の屈折率及び格子の深さで決まり、便
宜的には回折光の位相の「重心」で計算することができ
る。例えば、第2実施例の固定回折板3B及び移動回折
板3Cでは図8(a)に示すように位相の重心G及び
G′は矩形状波の表面にあり、位相を進ませる格子の重
心Gと位相を遅らせる格子の重心G′との間の位相差が
光源の波長λの1/2になると0次光は出射しなくなる
と考えられる。この格子の段差dの条件が(1) 式に示す
ようになったわけである。
【0042】次に、図8(b)に示す正弦波格子では位
相の重心は、正弦波の位相を平均化するとG及びG′の
高さが求まって、
【数1】
【0043】となる。そして、このG及びG′の高さを
それぞれλ/4に等しくすると、d=(1/2)×λ×
(1/|n−n0 |)÷(1−2/π)となる。
【0044】正弦波の山と谷との段差dを上記のように
すると、固定回折板3C及び移動回折板3Cを通過した
0次の回折光の成分は、正弦波の谷と山とから出る光が
0.5λ分位相がずれて互いに打ち消し合い0となる。
一方、1次の回折光は1λ分だけ位相が異なるので、正
弦波の谷と山とから出る光が互いに強め合い、1次の回
折光の強度が大きくなると考えられる。
【0045】図9は本発明の第4実施例に係る光学式エ
ンコーダの主要部の構成を示しており、該第4実施例に
おいては、固定格子板3D及び移動格子板4Dはそれぞ
れ三角波状断面の位相格子を有している。
【0046】尚、第4実施例においても、第1実施例と
同様の部材及び回折光については、第1実施例と同様の
符号を付すことにより説明は省略する。
【0047】本第4実施例においては、第2実施例と同
様、固定格子板3Dに入射された光は該固定格子板3D
によって数次の回折光に分かれて回折される。図8
(c)に示す三角波状の位相の重心Gを求める作図から
Gの高さはλ/4となるので、三角波の山と谷との段差
dは、d=λ×(1/|n−n0 |)となる。
【0048】三角波の段差dを上記のように形成する
と、固定回折板3D及び移動回折板3Dを通過した0次
の回折光の成分は、三角波状の格子の谷と山とから出る
光が0.5λ分だけ位相がずれて打ち消し合い0とな
る。一方、1次の回折光は1λ分だけ位相が異なるの
で、三角波状の格子の谷と山とから出る光が互いに強め
合い、1次の回折光の強度が大きくなると考えられる。
特に、三角波状の傾斜を1次の回折光の回折角に合うよ
うに三角波のピッチ並びに固定格子板3D及び移動格子
板4Dの屈折率nを適当に設定すると1次の回折光の強
度を極大化できる。
【0049】次に、第2実施例と同様、固定格子板3D
を通過した±1次の回折光を移動回折板4Dに導びき、
該移動回折板4Dを通過させることにより、該移動回折
板4Dに垂直方向な(+1,−1)の回折光及び(−
1,+1)の回折光を得ることができる。そして移動回
折板4Dが図9の上下方向に移動すると、その移動に伴
って図7(c)に示すような基本波に対して2倍の周波
数を有する2倍周波の正弦波の信号を得ることができ
る。
【0050】尚、上記各実施例においては、固定回折板
3A,3B,3C,3Dが光源1側に、移動回折板4
A,4B,4C,4Dが光検出器6側にそれぞれ配置さ
れていたが、これに代えて、移動回折板4A,4B,4
C,4Dを光源1側に、固定回折板3A,3B,3C,
3Dを光検出器6側にそれぞれ配置してもよい。
【0051】
【発明の効果】請求項1の発明に係る光学式エンコーダ
によると、光源から出射されたコヒーレント光のうち主
として±1次の回折光のみを通過させる位相格子を有す
る固定回折板及び移動回折板と、該固定回折板及び移動
回折板を通過した±1次の回折光を光検出器の光検出部
に集光させる集光レンズとを備えているため、0次の回
折光と±1次の回折光とが干渉したときに形成される正
弦波に対して2倍の周波数を有する出力波形を得ること
ができるので、精度の高い正弦波出力信号を得ることが
できる。
【0052】また、固定回折板及び移動回折板を通過し
光軸に対して対称で且つ互いに共役な±1次の回折光
(conjugate wave)を主として用いるため、光源の波長
変動や波長の広がり、固定回折板と移動回折板基板との
間のギャップ変動、或いはフレア、ゴースト光などをキ
ャンセルできるので、SN比の高い出力信号を得ること
ができる。
【0053】また、構成部品の点数が少ないので安価に
光学式エンコーダを製造することができると共に、湿度
や温度上昇によって固定回折板或いは移動回折板に膨張
が生じても左右対称な光学系であるため出力に影響がな
く、工業的な価値が高い。
【0054】さらに、固定回折板及び移動回折板を樹脂
により形成すると、複製が容易なために安価に製造する
ことができる。
【0055】請求項2の発明に係る光学式エンコーダに
よると、固定回折板及び移動回折板は、山と谷とが対称
な形状を有し且つ山と谷との段差dがd=(1/2)×
λ×(1+2m)×(1/|n−n0 |)である矩形状
波の位相格子を有しているため、0次の回折光の光量を
略0にすることができるので、歪みがない、より精度の
高い正弦波出力信号を得ることができる。
【0056】請求項3の発明に係る光学式エンコーダに
よると、固定回折板及び移動回折板は、山と谷との段差
dがd=(1/2)×λ×(1/|n−n0 |)÷(1
−2/π)である正弦波の位相格子を有しているため、
0次の回折光の光量を略0にすることができるので、請
求項2の発明と同様、歪みがない、より精度の高い正弦
波出力信号を得ることができる。
【0057】請求項4の発明に係る光学式エンコーダに
よると、固定回折板及び移動回折板は、山と谷とが対称
な形状を有し且つ山と谷との段差dがd=λ×(1/|
n−n0 |)である三角形波の位相格子を有しているた
め、0次の回折光の光量を略0にすることができるの
で、請求項2の発明と同様、歪みがない、より精度の高
い正弦波出力信号を得ることができる。
【0058】また、請求項2〜4の発明に係る光学式エ
ンコーダによると、固定回折板及び移動回折板の位相格
子が単純な形状であるため、高精度であるにも拘らず、
安価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係る光学式エンコーダの
概略構成図である。
【図2】上記第1実施例に係る光学式エンコーダの要部
の概略構成図である。
【図3】上記第1実施例の光学式エンコーダの固定回折
板及び移動回折板を通過した回折光の波形であって、
(a)は基本波と2倍周波とが干渉した波の波形を示
し、(b)は基本波の波形及び2倍周波の波形を示す。
【図4】本発明の第2実施例に係る光学式エンコーダの
概略構成図である。
【図5】上記第2実施例の光学式エンコーダの固定回折
板及び移動回折板を通過した回折光の波形であって、
(a)は振幅が0である基本波の波形を示し、(b)は
2倍周波の波形を示す。
【図6】本発明の第3実施例に係る光学式エンコーダの
概略構成図である。
【図7】上記第3実施例の光学式エンコーダの固定回折
板及び移動回折板を通過した回折光の波形であって、
(a)は振幅が0である基本波の波形を示し、(b)は
2倍周波の波形を示す。
【図8】本発明の第2実施例〜第4実施例における位相
格子の形状を決定するための計算の基準となる重心を説
明する説明図である。
【図9】本発明の第4実施例に係る光学式エンコーダの
概略構成図である。
【図10】従来例の光学式エンコーダの概略構成図であ
る。
【符号の説明】
1 光源 2 コリメートレンズ 3A,3B,3C,3D 固定格子板 4A,4b,4c,4d 移動格子板 5 集合レンズ 6 光検出器 7 光検出部 8 周波数弁別フィルター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−172204(JP,A) 特開 平2−206720(JP,A) 特開 平3−279812(JP,A) 実開 昭61−155720(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01D 5/38 G01B 11/00 - 11/30

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 コヒーレントな光を出射する光源と、該
    光源から出射された光の光軸に対して略垂直で且つ互い
    に平行に設けられており主として±1次の回折光のみを
    通過させる位相格子を有する固定回折板及び移動回折板
    と、該固定回折板及び移動回折板を通過した光を受光す
    る光検出器と、上記固定回折板及び移動回折板を通過し
    た±1次の回折光を上記光検出器の光検出部に集光させ
    る集光レンズとを備えていることを特徴とする光学式エ
    ンコーダ。
  2. 【請求項2】 上記固定回折板及び移動回折板は共に矩
    形波状の位相格子を有しており、該位相格子の矩形波の
    山と谷とは対称な形状を有し且つ山と谷との段差dは、 d=(1/2)×λ×(1+2m)×(1/|n−n0
    |) (ただしm=0,±1,…、λ=光源から出射される光
    の波長,n=固定回折板及び移動回折板を構成する材料
    の屈折率、n0 =固定回折板と移動回折板との間の媒体
    の屈折率)になるように設定されていることを特徴とす
    る請求項1に記載の光学式エンコーダ。
  3. 【請求項3】 上記固定回折板及び移動回折板は共に正
    弦波状の位相格子を有しており、該位相格子の正弦波の
    山と谷との段差dは、 d=(1/2)×λ×(1/|n−n0 |)÷(1−2
    /π) (ただしm=0,±1,…、λ=光源から出射される光
    の波長,n=固定回折板及び移動回折板を構成する材料
    の屈折率、n0 =固定回折板と移動回折板との間の媒体
    の屈折率)になるように設定されていることを特徴とす
    る請求項1に記載の光学式エンコーダ。
  4. 【請求項4】 上記固定回折板及び移動回折板は共に三
    角形波状の位相格子を有しており、該位相格子の三角波
    の山と谷とは対称な形状を有し且つ山と谷との段差d
    は、 d=λ×(1/|n−n0 |) (ただしm=0,±1,…、λ=光源から出射される光
    の波長,n=固定回折板及び移動回折板を構成する材料
    の屈折率、n0 =固定回折板と移動回折板との間の媒体
    の屈折率)になるように設定されていることを特徴とす
    る請求項1に記載の光学式エンコーダ。
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