JP2002188942A

JP2002188942A - 光学式エンコーダ

Info

Publication number: JP2002188942A
Application number: JP2000388970A
Authority: JP
Inventors: Iwao Komazaki; 岩男駒崎
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2000-12-21
Filing date: 2000-12-21
Publication date: 2002-07-05

Abstract

(57)【要約】【課題】ヘッド部とスケール間のギャップ変動がある場
合でもリサージュ図形の変動を防止することのできる受
光素子の構造と配置を提供すること。【解決手段】光学式エンコーダは、可干渉光源２１と、
この可干渉光源２１から出射された光線を横切る様に移
動可能に支持され、光線を回折または反射する所定の周
期の回折格子パターン１１が設けられたスケール１０
と、このスケール１０により反射または回折された光線
により形成された回折干渉パターンを検出する光検出器
２２とを備える。上記光検出器２２は、複数の受光エリ
ア２４を有し、上記複数の受光エリア２４はそれぞれ、
隣接する受光エリアとは上記スケール１０により反射ま
たは回折された光線の異なる位相の部分を受光する。そ
して、上記受光エリア２４の受光領域の幅が、隣接する
受光領域間の非受光領域の幅よりも大きいよう構成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、精密メカニズムの
変位量を検出する光学式エンコーダに関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、工作機械のステージや３次元計測
定器などに於いては直線方向変位量を検出するための、
また、サーボモータなどに於いては回転角を検出するた
めの、光学式や磁気式などのいわゆるエンコーダが利用
されている。

【０００３】光学式エンコーダは、一般的に、ステージ
等の変位を検出しようとする部材に固定されるスケール
と、このスケールの変位を検出するためのセンサヘッド
とを備えている。センサヘッドは、スケールに光ビーム
を照射する光源と、スケールを透過した又はスケールで
反射された回折光を検出するための光検出器とを有して
おり、受光した光信号の変化によってスケールの移動を
検出している。

【０００４】特開２０００−２０５８１９号公報には、
図６にその構成を示すような光学式エンコーダが開示さ
れている。

【０００５】即ち、この光学式エンコーダは、可干渉光
源１００である半導体レーザ（又は面発光レーザ）から
出射したレーザビームを回折パターンを生成する所定周
期の光学パターン（図では透過型又は反射型の回折格
子）が形成されたスケール１０２，１０２’に照射し、
これにより生成される回折パターンの特定部分が光検出
器１０４又は光検出器１０４’の何れかにより検出され
るように構成されている。

【０００６】ここで、可干渉光源１００と光検出器１０
４がスケール１０２に対して同じ側に配置される場合に
は、可干渉光源１００である半導体レーザ（又は面発光
レーザ）は、該可干渉光源１００から出射した光ビーム
の主軸１０６，１０８が、スケール１０２面の垂線に対
して角度φだけ傾斜するように傾斜台１１０上に配置さ
れる。

【０００７】次に、この光学式エンコーダによるセンシ
ング動作を説明する。

【０００８】今、各構成パラメータを以下のように定義
する。

【０００９】ｚ₁₁：可干渉光源１００からスケール１０
２上の光学パターンを形成した面に至る距離を光ビーム
の主軸上で測った長さ、ｚ₂₁：スケール１０２上の光学パターン（光変調領域）
を形成した面から光検出器１０４（１０４’）の受光面
に至る距離を光ビームの主軸上で測った長さ、Ｐ₁₁：スケール１０２上の光変調領域における光学パタ
ーンのピッチ、Ｐ₂₁：光検出器１０４の受光面上の回折パターンのピッ
チ、 θ_x：スケール１０２上の回折格子のピッチ方向に対す
る可干渉光源１００からの光ビームの拡がり角、 θ_y：上記θ_xに対して垂直方向の可干渉光源１００から
の光ビームの拡がり角。

【００１０】但し、光ビームの拡がり角は、光ビーム強
度がピークとなる方向に対して１／２となる一対の境界
線１１２，１１２’のなす角を示す。

【００１１】なおここで、「スケール上の光変調領域に
おける光学パターンのピッチ」とは、スケール上に形成
された光学特性が変調されたパターンの空間的な周期を
意味する。

【００１２】また、「光検出器の受光面上の回折パター
ンのピッチ」とは、受光面上に生成された回折パターン
の強度分布の空間的な周期を意味する。

【００１３】光の回折理論によると、ｚ₁₁，ｚ₂₁が以下
の（１）式に示すフーリエ条件を満たすような特定の関
係にあるときには、スケール１０２の回折格子パターン
と略相似な強度パターン１１４，１１６が光検出器１０
４（１０４’）の受光エリア（面）上に生成される。

【００１４】（１／ｚ₁₁）＋（１／ｚ₂₁）＝λ／ｎ（Ｐ₁₁）² …（１）ここで、λは可干渉光源１００の波長、ｎは整数であ
る。

【００１５】このときには、光検出器１０４の受光面上
の回折パターンのピッチＰ₂₁は他の構成パラメータを用
いて以下のように表すことができる。

【００１６】Ｐ₂₁＝Ｐ₁₁（ｚ₁₁＋ｚ₂₁）／ｚ₁₁ …（２）上記可干渉光源１００に対して上記スケール１０２が回
折格子のピッチ方向に変位すると、同じ空間周期を保っ
た状態で回折パターンの強度分布がスケール１０２の変
位する方向に移動する。

【００１７】従って、光検出器１０４が備える複数の受
光エリア（フォトダイオード）の空間周期をＰ₂₁と同じ
値に設定すれば、スケール１０２がピッチ方向にＰ₁₁だ
け移動するごとに光検出器１０４から周期的な強度を有
する振幅曲線（強度パターン１１４，１１６）が得られ
るので、スケール１０２のピッチ方向の変位量を検出す
ることができる。

【００１８】ここで、振幅曲線（強度パターン１１４，
１１６）は、光軸を特定方向に傾斜させた反射型の構成
において、スケールと可干渉光源及び光検出器のギヤッ
プ距離が変化した場合の受光面上の光の振幅曲線を示し
ており、このような構成では、ギャップ距離が変化して
も、光の振幅曲線の位相（又はピーク位置）が変化しな
いことを示している。

【００１９】なお、上記の説明は可干渉光源１００から
スケール１０２に至る光ビームが一定の拡がり角を持つ
場合（以下これを「拡がりビームの場合」と記す）を想
定して記載したが、可干渉光源１００からの出射ビーム
がレンズ（図示せず）により平行光にコリメートされて
スケール１０２に照射される場合（以下これを「平行ビ
ームの場合」と記す）は、上記の（１）式及び（２）式
において、ｚ₁₁→∞として考えれば良い。

【００２０】この場合、上記（２）式は、Ｐ₂₁＝Ｐ₁₁ …（２）' になる。

【００２１】さらに、実用においては、光検出器１０４
の空間周期Ｐ₂₁の受光エリア群をＰ ₂₁／４の間隔でずら
せて、交互に配置した４群の受光エリア群を形成し、こ
れら各群の受光エリアからの出力を各々、Ａ⁺，Ｂ⁺，Ａ
^-，Ｂ^-とし、Ａ⁺−Ａ^-とＢ⁺−Ｂ^-をエンコーダのいわゆ
るＡ相（正弦波）、Ｂ相（余弦波）出力として利用す
る。

【００２２】スケール１０２と可干渉光源１００の相対
的な変位ｘは、例えば、Ａ相、Ｂ相の信号によりリサー
ジュ図形をプロットし、このリサージュ図形のプロット
点が１回転するとスケール１０２上の周期的な反射又は
透過率の光学パターンの１ピッチ分の移動として検出さ
れる。よって、このリサージュ図形を角度により分割す
ることにより、スケール１０２上の光学パターンの１ピ
ッチよりもさらに小さい移動量を検出することができ
る。

【００２３】

【発明が解決しようとする課題】以上のようにリサージ
ュ図形を分割してスケール１０２の移動量を検出する光
学式エンコーダでは、正確にスケール移動量を検出する
ためには、リサージュ図形の形状が安定している必要が
ある。

【００２４】しかし、可干渉光源及び受光エリアを設け
たヘッド部（傾斜台１１０）とスケール１０２間のギャ
ップが変動すると、受光エリアへの入射光強度が変動す
るため、２つの位相信号から形成されるリサージュ図形
が変動し、リサージュ図形が円にならず、正確なスケー
ル変位量が得られない場合があった。

【００２５】本発明は、上記の点に鑑みてなされたもの
で、ヘッド部とスケール間のギャップ変動がある場合で
もリサージュ図形の変動を防止することのできる受光素
子の構造と配置を提供し、以って、スケール変位量を正
確に検出可能な光学式エンコーダを提供することを目的
とする。

【００２６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明による光学式エンコーダは、可干渉光源
と、この可干渉光源から出射された光線を横切る様に移
動可能に支持され、光線を回折または反射する所定の周
期のパターンが設けられたスケールと、このスケールに
より反射または回折された光線により形成された回折干
渉パターンを検出する光検出器と、を具備し、上記光検
出器は、複数の受光エリアを有し、上記複数の受光エリ
アはそれぞれ、隣接する受光エリアとは上記スケールに
より反射または回折された光線の異なる位相の部分を受
光し、上記受光エリアの受光領域の幅が、隣接する受光
領域間の非受光領域の幅よりも大きいことを特徴とする
ことを特徴とする。

【００２７】即ち、本発明の光学式エンコーダによれ
ば、隣接する素子間の相互作用を大きくすることで、リ
サージュを安定した円とする。

【００２８】なお、上記隣接する受光領域間の非受光領
域の幅が３μｍ乃至６μｍであることが好ましい。

【００２９】また、上記光検出器の各受光エリア内で部
分的に光線の入射角が異なる様に上記光源と上記スケー
ルおよび上記光検出器が配置されており、受光エリアの
光線の入射角が大きい部分では入射角が小さい部分より
も隣接する受光エリア間の非受光エリアの幅が小さいい
よう構成することが好ましい。即ち、光を光検出器に向
かって斜めに入射した場合の隣接する受光エリア間の相
互作用を大きくし、安定して円形のリサージュを形成す
る。

【００３０】あるいは、上記光検出器の受光エリア間の
非受光エリアの幅が、入射する光線の中心部分を受光す
る部分では周辺部を受光する部分よりも小さいよう構成
しても良い。

【００３１】また、本発明による光学式エンコーダは、
可干渉光源と、この可干渉光源から出射された光線を横
切る様に移動可能に支持され、光線を回折または反射す
る所定の周期のパターンが設けられたスケールと、この
スケールにより反射または回折された光線により形成さ
れた回折干渉パターンを検出する光検出器と、を具備
し、上記光検出器は、複数の受光エリアを有し、上記複
数の受光エリアはそれぞれ、隣接する受光エリアとは上
記スケールにより反射または回折された光線の異なる位
相の部分を受光し、隣接する受光領域間の非受光領域の
幅が１０μｍ以上であることを特徴とする。

【００３２】即ち、本発明の光学式エンコーダによれ
ば、隣接する素子間の相互作用を小さくすることで、リ
サージユを安定した方形とする。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。

【００３４】［第１の実施の形態］図１は、本発明の第
１の実施の形態に係る光学式エンコーダの構成を示す図
である。

【００３５】即ち、光学式エンコーダは、ステージ等の
変位を検出しようとする部材に固定されるスケール１０
と、このスケールの変位を検出するためのセンサヘッド
２０とを備えている。

【００３６】センサヘッド２０は、スケール１０に光ビ
ームを照射する可干渉光源（半導体レーザ又は面発光レ
ーザ）２１と、スケール１０で反射された回折光を検出
するための光検出器２２とを有している。なお、可干渉
光源２１は、該可干渉光源２１から出射した光ビームの
主軸が、スケール面の垂線に対して所定の角度だけ傾斜
するように傾斜台２３上に配置されている。また、上記
光検出器２２は、複数の受光エリア２４を有し、それら
複数の受光エリア２４はそれぞれ、隣接する受光エリア
とは上記スケール１０により反射または回折された光線
の異なる位相の部分を受光する。

【００３７】なお、上記スケール１０は、上記可干渉光
源１００から出射された光線を横切る様に移動可能に支
持され、光線を回折または反射する所定の周期の回折格
子パターン１１が設けられている。

【００３８】ここで、可干渉光源２１とスケール１０上
の回折格子パターン１１との間隔をＺ₁、スケール上の
回折格子パターン１１と光検出器２２との間隔をＺ₂、
光ビームの波長をλ、スケール上の回折格子パターン１
１のピッチをＰ₁、光検出器２２の受光面上の回折パタ
ーンのピッチをＰ₂、ｎを自然数とした場合、以下の
（３）式のフーリエ条件を満たした時に、スケール上の
回折格子パターン１１と相似した回折干渉パターンが光
検出器２２上に生成される。

【００３９】（１／Ｚ₁）＋（１／Ｚ₂）＝λ／ｎ（Ｐ₁）² …（３）この時に光検出器２２の受光面上の回折干渉パターンの
ピッチＰ₂は次の様になる。

【００４０】Ｐ₂＝Ｐ₁（Ｚ₁＋Ｚ₂）／Ｚ₁ …（４）光検出器２２には複数の受光エリア２４が設けられてお
り、受光エリア２４の間隔はこの回折干渉パターンのピ
ッチＰ₂と同じになっている。スケール１０が移動方向
にＰ₁だけ移動すると、光検出器から周期Ｐ₂で変化する
信号が得られる。この信号からスケールの移動量を検出
することができる。

【００４１】ここで、光検出器２２の受光エリア２４を
Ｐ₂の２分の１にし、図２の（Ａ）に示すように、それ
ぞれが回折干渉パターンの位相が９０度づつ異なる部分
を受光する様にする。この様に異なる位相の部分の光強
度を検出する受光エリア２４からの信号からＡ⁺−Ａ^-と
Ｂ⁺−Ｂ^-を出力とすると、この２つの信号は９０度の位
相差をもった正弦波信号となる。この２つの信号から、
図２の（Ｂ）に示すようなリサージュ図形を得ることが
でき、このリサージュ図形の１回転がスケール１０の回
折格子パターン１１の１ピッチ分の移動量Ｐ₁に対応す
る。従って、このリサージュ図形を角度により分割する
ことにより、回折格子パターン１１の１ピッチよりもさ
らに小さい移動量を検出することができる。

【００４２】このような構成は、従来の光学式エンコー
ダと同様である。

【００４３】そして、本実施の形態に係る光学式エンコ
ーダでは、リサージュ図形を安定した円形とするため
に、上記光検出器２２の受光エリア２４の受光領域の幅
Ｗ₀が、隣接する受光領域間の非受光領域の幅Ｗ₁よりも
大きいよう構成されている。即ち、受光エリアを構成す
るフォトダイオード間の相互作用を大きくする、つま
り、隣接するフォトダイオード間の空乏層のオーバラッ
プを大きくすることによって、隣接するフォトダイオー
ドの受光強度の影響が強くなり、安定した円形のリサー
ジュ図形が得られる。

【００４４】そのために、フォトダイオードの受光領域
と非受光領域の比率を以下の様に設定する。

【００４５】ここで、図２の（Ｃ）は、光検出器２２の
断面図であり、上記複数の受光エリア２４として、ｎ⁺
層３１とｐ⁺層３２の間にｉ層３３を設けたＰＩＮフォ
トダイオードを配置してなる。なお、同図において、参
照番号３４は電極層、３５は絶縁層、３６は電極、３７
は受光領域に相当するＡＲコート（反射防止膜）、３８
は空乏層、３９は空乏層３８のオーバラップ領域であ
る。また、Ｗ₀は受光領域の幅、Ｗ₁は非受光領域の幅、
Ｗ₂は受光領域の端部から空乏層３８の外縁までの距離
である。

【００４６】なお、空乏層３８の大きさを確認すること
はできないが、理論的に空乏層３８がどの程度まで広が
っているかは、計算可能である。また、従って空乏層３
８のオーバラップ量を計測することも困難である。そこ
でここでは、隣接する受光エリア（ＰＩＮフォトダイオ
ード）間から出力される信号の相互作用が最大になるよ
うに、受光領域の幅Ｗ0に対して、電極３６の領域即ち
非受光領域の幅Ｗ1を狭くし空乏層間をオーバラップさ
せる条件を提示する。

【００４７】空乏層３８がオーバラップするためには、
受光領域の端部から空乏層３８の外縁までの距離Ｗ₂の
２倍（２Ｗ₂）は、非受光領域の幅Ｗ₁よりも大きい必要
がある。

【００４８】また、ｉ層３３の厚さは約１０μｍ程度で
あり、空乏層３８の平面方向の広がりは受光領域の端部
から約３μｍである。従って、隣接する素子の空乏層３
８がオーバラップするためには、非受光領域の幅Ｗ₁は
約６μｍ以下である必要がある。

【００４９】さらに、受光領域（ＡＲコート３７）の両
側には電極３６を設ける必要があるので、非受光領域の
幅Ｗ1は最低でも３μｍは必要である。

【００５０】従って、以上のように３μｍ＜Ｗ₁＜６μ
ｍが空乏層３８のオーバラップを発生させて、信号の相
互作用が最大になる最適値であることがわかる。

【００５１】なお、光検出器２２の受光面での各受光領
域の形状は、図１に示すような矩形に限定されるもので
はなく、より好ましくは、隣接する受光エリア（ＰＩＮ
フォトダイオード）間から出力される信号の相互作用が
最大になるように、光の入射角度が大きな角度である領
域と光強度分布が高い領域とで、電極領域を狭くするよ
うな形状にすると良い。

【００５２】図３は、可干渉光源２１を図の左側に配置
してスケール１０に反射させ、紙面の斜め左上方から光
検出器２２に入射させる場合の受光領域（ＡＲコート３
７）の平面配置を示した図である。

【００５３】この場合、可干渉光源２１が左側にあるた
め、光線の入射角は受光領域の右側で大きくなる。入射
角が大きいと、空乏層３８の広がりが大きくなるので、
空乏層３８の相互作用を大きくするために、入射角が大
きい側で非受光領域の幅を狭くして、空乏層３８のオー
バラップを大きくする。なお、図中の参照番号４０は、
回折干渉パターンのスポットパターンである。

【００５４】また、図４は、入射する光線の部分的な強
度に応じて、非受光領域の幅を変えた場合を示してい
る。

【００５５】即ち、入射する光線が強いほど空乏層３８
の広がりが大きくなるので、光線の強度が大きい中央部
では非受光領域の幅を狭くして、隣接する空乏層３８の
オーバラップを大きくしている。

【００５６】［第２の実施の形態］次に、本発明の第２
の実施の形態を説明する。

【００５７】前述の第１の実施の形態では、円形のリサ
ージュ図形を安定して作れる条件を提示したが、簡易変
位センサでは、方形のリサージュ図形で良い場合があ
り、このような方形のリサージュ図形が安定して作れる
ようにした光学式エンコーダを、本発明の第２の実施の
形態として説明する。

【００５８】光検出器２２の受光エリア（ＰＩＮフォト
ダイオード）間の間隔を大きくして、フォトダイオード
間の相互作用を少なくすることによって、リサージュ図
形を図５の（Ａ）に示すような方形にすることができ
る。リサージュ図形を方形にした場合には、図５の
（Ｂ）に示すような光検出器２２の出力のうち、リサー
ジュ図形のＸ軸及びＹ軸と交わる点のみを使用して、デ
ジタル信号の出力を行う。この場合、細かい分割を行う
ことはできないため、検出できる限度は１０μｍピッチ
程度となる。リサージュパターンを方形した場合の有利
な点としては、出力が大きくなるため、検出の精度が上
がるという点がある。

【００５９】フォトダイオード間の相互作用を小さくす
るためには、図５の（Ｃ）に示すように、フォトダイオ
ードのｉ層３３内に形成される空乏層３８が各素子間で
オーバラップしないように配置する必要がある。つま
り、隣接する受光領域間の非受光領域の幅Ｗ₁が受光領
域（ＡＲコート３７）の端部から空乏層３８の外縁まで
の距離Ｗ₂の２倍以下であれば良い（Ｗ₁＜＜２Ｗ₂）。

【００６０】この条件を満たすためには、非受光領域の
幅Ｗ₁が受光領域の幅Ｗ₀よりも十分に大きい必要がある
（Ｗ₁＞＞Ｗ₀）。

【００６１】なお、受光領域の両端部からの両側の空乏
層３８の広がりＷ₂は約３μｍであり、隣接する素子間
の空乏層３８のオーバラップがほとんどないようにする
ためには、Ｗ₁＞１０μｍの条件を満たせば良い。

【００６２】以上実施の形態に基づいて本発明を説明し
たが、本発明は上述した実施の形態に限定されるもので
はなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可
能なことは勿論である。

【００６３】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
ヘッド部とスケール間のギャップ変動がある場合でもリ
サージュ図形の変動を防止することのできる受光素子の
構造と配置を提供でき、よって、スケール変位量を正確
に検出可能な光学式エンコーダを提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る光学式エンコ
ーダの構成を示す図である。

【図２】（Ａ）は光検出器の出力信号例を示す波形図、
（Ｂ）は円形のリサージュ図形を示す図であり、（Ｃ）
は光検出器の断面図である。

【図３】第１の実施の形態における光検出器の変形例を
示す平面図である。

【図４】第１の実施の形態における光検出器の別の変形
例を示す平面図である。

【図５】（Ａ）は本発明の第２の実施の形態に係る光学
式エンコーダにおける方形のリサージュ図形を示す図、
（Ｂ）は第２の実施の形態における光検出器の出力信号
例を示す波形図であり、（Ｃ）は第２の実施の形態にお
ける光検出器の断面図である。

【図６】従来の光学式エンコーダの例を示す図である。

【符号の説明】

１０スケール１１回折格子パターン２０センサヘッド２１可干渉光源２２光検出器２３傾斜台２４受光エリア３１ｎ+層３２ｐ+層３３ｉ層３４電極層３５絶縁層３６電極３７ＡＲコート３８空乏層３９オーバラップ領域４０スポットパターン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2F065 AA02 AA07 AA09 BB02 BB15 DD03 FF16 FF48 GG04 GG06 GG18 HH12 JJ03 JJ09 JJ25 MM03 PP12 UU02 2F103 BA08 CA01 CA02 CA03 CA04 CA08 DA01 EA15 EB02 EB12 EB16 EB32 FA01 FA06

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】可干渉光源と、この可干渉光源から出射された光線を横切る様に移動可
能に支持され、光線を回折または反射する所定の周期の
パターンが設けられたスケールと、このスケールにより反射または回折された光線により形
成された回折干渉パターンを検出する光検出器と、を具備し、上記光検出器は、複数の受光エリアを有し、上記複数の受光エリアはそれぞれ、隣接する受光エリア
とは上記スケールにより反射または回折された光線の異
なる位相の部分を受光し、上記受光エリアの受光領域の幅が、隣接する受光領域間
の非受光領域の幅よりも大きいことを特徴とする光学式
エンコーダ。
【請求項２】上記隣接する受光領域間の非受光領域の
幅が３μｍ乃至６μｍであることを特徴とする請求項１
に記載の光学式エンコーダ。
【請求項３】上記光検出器の各受光エリア内で部分的
に光線の入射角が異なる様に上記光源と上記スケールお
よび上記光検出器が配置されており、受光エリアの光線の入射角が大きい部分では入射角が小
さい部分よりも隣接する受光エリア間の非受光エリアの
幅が小さいことを特徴とする請求項１に記載の光学式エ
ンコーダ。
【請求項４】上記光検出器の受光エリア間の非受光エ
リアの幅が、入射する光線の中心部分を受光する部分で
は周辺部を受光する部分よりも小さいことを特徴とする
請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項５】可干渉光源と、この可干渉光源から出射された光線を横切る様に移動可
能に支持され、光線を回折または反射する所定の周期の
パターンが設けられたスケールと、このスケールにより反射または回折された光線により形
成された回折干渉パターンを検出する光検出器と、を具備し、上記光検出器は、複数の受光エリアを有し、上記複数の受光エリアはそれぞれ、隣接する受光エリア
とは上記スケールにより反射または回折された光線の異
なる位相の部分を受光し、隣接する受光領域間の非受光領域の幅が１０μｍ以上で
あることを特徴とする光学式エンコーダ。