JP3091474B2 - 放射線感光性組成物 - Google Patents
放射線感光性組成物Info
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Description
ス、特に、平板印刷用版面の製造やフォトレジストに用
いられる、この種の組成物でコーティングされた基板か
ら構成される放射線感光性プレート、およびこの種の放
射線感光性デバイスの処理に関する。
常、適当な基板とその上にコーティングされた放射線感
光性組成物とから構成される。適当な透過原稿を使用し
てデバイスを放射線に画像露光すると、放射線に照射さ
れた領域ではコーティングの性質が変化し、適当な現像
液を塗布すると非画像領域のコーティングが基板から選
択的に除去され、基板には印刷用画像(すなわち耐腐食
性領域)が残る。いわゆるネガ型のデバイスでは、除去
されるのは非放射線照射領域のコーティングである。
と非放射線照射領域との簡単な識別を可能とする指標を
設けるのが望ましい。そうすれば、任意の不要な画像領
域を必要に応じて通常の方法で簡単に除去することがで
きる。
光性組成物が露光すると変色する色素、たとえばpH感受
性色素を含有させることが周知である。
ーキングまたはバーニング・イン)を行うことにより、
印刷用画像、すなわち耐腐食性領域を強化することがで
きることも周知である。平板印刷用版面の場合には、こ
の処理を行うことにより、装置の連続運転期間を2、3
倍延ばすことができることもある。
の効果を得るようデバイスが十分に焼付けられているこ
とを示すなんらかの指標を設けるのが望ましい。この点
では、放射線感光性組成物に、高温で変色する感熱性色
素を含有させることが知られている。
するのが本発明の目的であり、本発明ではこの目的を、
放射線感光性組成物に、放射線感光性組成物が放射線に
露光した場合、そしてまた少なくとも180℃の温度で焼
付けた場合に変色する色素を含有させることによって達
成する。
色素および酸放出剤を含有する放射線感光性組成物で、
放射線感光性組成物を画像露光して、放射線感光性組成
物が放射線照射領域と非放射線照射領域とから構成され
るようにすると、放射線照射領域で色素が変色するこ
と、そして色素が感熱性色素で、少なくとも180℃の温
度で焼付けると変色することを特徴とする放射線感光性
組成物が提供される。
酸度が強くて色素が早期変色してしまうようなことさえ
なければ、任意の放射線感光材料を使用することができ
る。放射線感光性組成物によっては、放射線感光性成分
がそれ自体は焼付けの効果を享受しないものもあるが、
その場合には、放射線感光性組成物に焼付けの効果を享
受する支持樹脂を含有させることによって、焼付けの効
果を享受しない放射線感光性成分を含有している放射線
感受性組成物であっても、焼付けによってその強さを向
上させることができる。
線感光性デバイスを形成する場合には、基板は、たとえ
ば、グレイニングし、陽極処理したアルミニウムなど
の、平板印刷の製版やエッチングの過程で通常使用され
ている基板とすることができる。
射線感光性組成物を放射線で画像露光させて、放射線感
光性組成物のうち、放射線照射領域の色素が変色するよ
うにする。したがって、放射線照射領域と非放射線照射
領域との間には、色のコントラストが生じる。次にデバ
イスを現像して放射線感光性組成物の相対的に可溶性の
領域を選択的に除去し、下地の基板を露出させ、相対的
に不溶性の領域によって構成される画像を基板上に残
す。デバイスがネガ型の場合には、相対的に不溶性の画
像領域が放射線照射領域となり、現像済みのデバイスを
さらに放射線照射領域が2回目の変色をするまで焼付け
る。デバイスがポジ型の場合には、相対的に不溶性の画
像領域が非放射線照射領域となるので、現像時に基板か
ら選択的に除去されるのは、(すでに変色した)放射線
照射領域である。
域の色素が変色するまでさらに焼付ける。いずれの場合
にも、現像済みのデバイスが必要温度まで加熱されたこ
とを容易に確認することができる。実際に現れる色は、
使用する特定の色素と、放射線感光性組成物の他の成分
に由来する固有の色に応じて決まる。
び色素を含有する基板にコーティングされた放射線感光
性組成物とから構成される放射線感光性デバイスを処理
する方法で、 (i)放射線感光性組成物を放射線で画像露光して、放
射線感光性組成物が溶解性の異なる放射線照射領域と非
放射線照射領域とから構成されるようにし (ii)画像露光した放射線感光性組成物を現像して相対
的に可溶性の領域を選択的に除去し、この領域の下地で
ある基板を露出させ、そして (iii)現像の後に、基板上に残った相対的に不溶性の
領域を180℃以上の温度に加熱する 工程を含み、 色素が露光時に射線照射領域で変色すること、そして相
対的に不溶性の領域が基板上に残っており、色素が180
℃以上の温度への加熱時に変色することを特徴とする方
法が提供される。
ィングされた上述の放射線感光性組成物とから構成され
る放射線感光性デバイスが提供される。
色素で、放射線感光性組成物がさらに酸放出剤を含有し
ており、この酸放出剤が放射線感光性組成物の露光時に
酸を生成する。
付け工程の間に残留汚染物質が形成され、この物質が背
景領域(印刷用版面の非画像領域、あるいはフォトレジ
ストでは腐食を行う領域)に堆積してしまうという欠点
がある。このデバイスを平板印刷の製版に使用する場合
には、その後の印刷工程でこの残留汚染物質がスカムを
生じ、たとえこの残留汚染物質が少量のみ存在する場合
でも印刷用版面が使用不能となりかねないので、この問
題は特に重大である。
を塗布する、英国特許第1513368号に記載されたサーモ
テクト(Thermotect、TM)法にしたがって、焼付けの前
にデバイスを処理液で処理することによって克服するこ
とができる。この保護物質は、残留汚染物質から背景領
域を遮蔽する層を形成する。またこの保護物質は水溶性
で、焼付け工程の間も水溶性のままなので、焼付け工程
の後に、この保護物質と残留汚染物質を容易に水洗除去
することができる。
バイスを保護物質を含有する処理液でコーティングし
て、露出した下地基板を、現像済みデバイスの180℃以
上の温度への加熱時に形成する残留汚染物質から遮蔽
し、そして加熱の後、現像済みデバイスを洗浄してコー
ティングを除去する。
4、および1555233号、または英国特許出願第2099371号
に記載された物質のうちの任意のもの、あるいはその混
合物とすることができ、処理液は、成膜剤、たとえばポ
リ(ビニルアルコール)も含有するのが有利である。保
護物質は、界面活性剤、たとえばドデシルフェノキシベ
ンゼンジスルホン酸ナトリウム、アルキル化ナフタレン
スルホン酸のナトリウム塩、メチレンジナフタレンスル
ホン酸の二ナトリウム塩、ドデシルベンゼンスルホン酸
ナトリウム、あるいはスルホン化アルキルジフェニルオ
キシドのナトリウム塩とするのが特に好ましい。
ルアミノ基で置換されたアルデヒドと窒素を含む複素環
に結合したメチレン基との縮合反応の生成物である。こ
の場合色素は、正の電荷が系全体に分散した発色共鳴共
役系を含むことができる。
素を含む複素環の第四アンモニウム塩からその場で生成
される。
基を示し、 nは1または2である。
ルキル基を示す。
たアルキル、アラルキル、アルキレン、またはアラルキ
レン基を示す。
を示す。R5およびR6は、それぞれR3およびR4と結合し
て、R3およびR4が結合している窒素原子を含む複素環を
それぞれ形成することもできる。
とすることも、R1の一部を形成するものとすることもで
きる。R1Aは、たとえばCH2CH2CH2SO3 -とすることができ
る。
な出発材料の例を示す。式中のR1〜R6はさきに定義した
とおりである。
−トルエンスルホン酸塩を示す) メチレン基を、複素環式窒素化合物の第四塩からその
場で形成するのが特に好ましく、これは、この方法を用
いると、最終的に得られる色素の色に影響を及ぼす複素
環の窒素のアルキル置換基を変化させることができるか
らである。
ド 出発アルデヒドがたとえばベンズアルデヒドの誘導体で
ある場合には、得られる色素はスチリル色素となり、ま
た、出発アルデヒドがたとえばビニローグアルデヒドの
誘導体、たとえばシンナムアルデヒドの誘導体である場
合には、ブタジエニル色素が生成することになる。ベン
ズアルデヒド構造およびビニローグアルデヒド構造のい
ずれも、メチルのような基でさらに置換することができ
るので、生成する色素の色および色の濃さを多岐にわた
って変化させることも可能である。アルデヒドのアルキ
ルアミノ置換基を変化させて、色素の色および色の濃さ
を所望のものとすることもできる。アルキル置換基を、
たとえば、メチル、エチルなどとすることもでき、ある
いはさらに色を濃くしたり、深色シフトを生じさせよう
とする場合には、さらに複雑な構造、たとえばジュロリ
ジンを使用することもできる(化合物XVII)。
は、色素の特性にほとんど影響を及ぼさないか、及ぼし
てもごくわずかである。任意の陰イオン、たとえば臭化
物、ヨウ化物、p−トルエンスルホン酸塩、過塩素酸
塩、ヘキサフルオロ燐酸塩、メタンスルホン酸塩、トリ
フルオロメタンスルホン酸塩、またはテトラフルオロホ
ウ酸塩を用いることができる。
て5重量%以下(好ましくは3重量%以下)の色素を含
有する。
分子中の特定の窒素原子に付随するものとして示す。実
際には、正の電荷は色素の発色構造全体に分散、すなわ
ち非局在化している。
−ジブロモブタン(86.4g)と130℃で7時間反応させ
た。冷却の後、生成した固形分を濾別し、酢酸エチルで
洗浄し、減圧下で乾燥した。収量は理論値に近似してい
た(73g)。
ン(3滴)を含有するイソプロピルアルコール(IPA)
(15ml)と混合し、この懸濁液に4−ジメチルアミノシ
ンナムアルデヒド(2.53g)を加えた。この混合物を暖
め、50℃に5時間保持し、その後、この反応配合物を、
テトラフルオロホウ酸ナトリウム(10g)の水(200ml)
への溶液に滴下した。沈殿した青色色素(1B)を濾別
し、希NaBF4溶液(1%w/w)で洗浄し、50℃で乾燥し
た。
の塗布液を、グレイニングし、陽極処理したアルミニウ
ム基板に回転塗布で、乾燥塗布重量が1.8 g・m-2とな
るように塗布した。
K) 6重量部 2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン(1モル)とナフ
トキノン−(1,2)−ジアジド−(2)−5−スルホニ
ルクロリド(2モル)の反応生成物である キノンジアジドエステル 1.5重量部 4−ジアゾニウムジフェニルアミンヘキサフルオロホ
スフェート 0.15重量部 ポリメチン色素1B 0.15重量部 90/10のメチルエチルケトン(MEK)/メチルオキシト
ール 100重量部 画像露光を行うと、光照射領域が退色するのが観察さ
れ、画像領域が暗青色であるのに対し、非画像領域は薄
緑色となった。したがって、不要な画像領域を容易に識
別し、必要に応じて通常の方法で除去することが可能と
なった。
た後も、画像領域は、背景が薄緑色なのに対し暗青色
で、容易に識別できた。
いるようにして(230℃、8分)、高温処理、すなわち
焼付けを行うと、画像領域は均一に鮮やかな褐色とな
り、この変色はプレートが焼付けられたことを示す強力
な視覚的指標となった。
ロベンジルブロミド(3.24g)、およびトルエン(5ml)
を一緒に混合し、加熱還流した。第四塩は生成と同時に
沈殿した。4時間の還流の後、混合物を冷却した。粗生
成物を濾別し、エーテルで洗浄した。収量は2.32g(理
論値の42%)であった。
−ジメチルアミノシンナムアルデヒド(0.96g)とピペ
リジン(痕跡量)を含有するEtOH(10ml)の溶液と混合
した。混合物を暖め、50℃で5時間保持し、その後トル
エン(10ml)を加えた。反応混合物を冷却し、沈殿した
青色の固形分(2B)を濾別し、50℃にて減圧下で乾燥し
た。収量は1.84g(理論値の64%)であった。
いて、実施例1Cと同様の塗布液を調製した。プレートの
色(露光前)は全体的に濃緑色/青色であったが、露光
すると薄緑色に変色した。実施例1と同様にして現像お
よび焼付けを行うと、画像領域が濃褐色となった。
ゾールを使用して第四塩中間物質を生成し、実施例1の
色素と同様の方法で色素を調製した。次にこの反応物質
を10モル%過剰として、4−ジメチルアミノシンナムア
ルデヒドと痕跡量のピペリジンを含有するエタノールの
溶液と反応させて、色素(3A)を得、テトラフルオロホ
ウ酸塩として単離した。(収率80%) UVによる分析結果: λmax(CH3OH)=563nm ξmax=5.7x104・モル-1・cm-1 元素分析の結果(%): C 57.97 (58.82) H 5.03 (5.14) N 6.52 (6.63) 本実施例のポリメチン色素を使用して、実施例1で使
用したのと同様の配合物でプレート試験を行ったとこ
ろ、同等の良好な結果が得られ、当初のプレートの色は
実施例1の色より多少赤味を帯びていた。
代わりに等モル量の4−ジエチルアミノシンナムアルデ
ヒドを使用したところ、実施例3Aよりわずかに緑味を帯
びた色素(3B)が得られた。
レート試験を行ったところ、同等の良好な結果が得ら
れ、当初のプレートの色は実施例1のプレートの色とき
わめてよく似ていた。
−メチレン−1H−インドール(165.6g)を、4−ジメチ
ルアミノシンナムアルデヒド(140g)の氷酢酸(800c
m3)と無水酢酸(76cm3)の混合物への溶液に、かきま
ぜながら滴下して加えた。混合物を50℃に暖め、50℃で
2時間保持した後、水(4)に単離した。次にこの水
性スラリーを65〜70℃に暖め、まだ熱いうちに濾過し
た。次に濾液にフルオロホウ酸ナトリウム溶液(144g/
水1)を加えて色素を沈殿させた。高温の混合物を濾
過し、固形分の色素を濾液が透明になるまで高温(50
℃)の水で洗浄した緑青色の色素(4)を減圧下で50℃
にて乾燥した。収率は53%であった。
用したのと同様のポジ型配合物についてプレート試験を
行ったところ、同等の良好な結果が得られ、当初のプレ
ートの色は実施例1のプレートの色より相当緑味を帯び
ていた。
リル酸エステル 6g サーコール(Surcol)836(アライド・コロイド社(A
llied Colloids)製)、カルボキシル化アクリル樹脂 2g 2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4′−メト
キシナフチル)−s−トリアジン光重合開始剤/酸放出
剤 0.3g ポリメチン色素4 0.3g MEK溶剤 200cm3 この塗布液を、グレイニングし、陽極処理したアルミ
ニウム基板に回転塗布で、乾燥塗布重量が0.9〜1.0g・m
-2となるように塗布した。次に、塗布済みのプレート
を、酸素による阻害を低減する目的で、ポリ(ビニルア
ルコール)を重ねて塗布することによって処理した。
ると、光照射領域(すなわち画像領域)が薄青緑色に変
色した。このように、露光後のコントラストはきわめて
良好で、画像領域と非画像領域との区別はきわめて明瞭
であった。アルカリ性界面活性剤溶液中で約30秒現像を
行ったところ、画像領域の色が濃くなって濃緑青色とな
り、基板の薄灰色の背景に対してきわめて明瞭な対照を
示した。
M)液で処理し、炉中で220℃にて10分間焼付けた。焼付
け後、画像領域は濃褐色となった。
4−ジメチルアミノシンナムアルデヒドと、表1に示す
複素環式第四塩または複素環式活性メチレン含有化合物
との縮合によって調製した。この縮合反応を行う際に使
用した溶媒については、表中の「方法」の見出しのつい
た欄に示す。このことは、表2、3、および4に関して
も同様である。
−(ジメチルアミノ)フェニル]−2−メチルプロプ−
2−エナールと、表2に示す複素環式第四塩または複素
環式活性メチレン化合物との縮合によって上述の方法で
調製した。
攪拌・冷却した98%硫酸(400cm3)に温度を25℃以下に
保持しながら少しずつ加えた。アルデヒドがすべて溶解
したところで、溶液を−5℃に冷却し、プロピオンアル
デヒド(61cm3)を滴下して加え、この添加の間をとお
して、温度を0℃以下に保持した。反応混合物を−5℃
−0℃でさらに4日間かき混ぜ、その後氷冷した水(7.
5)に加え、必要に応じてさらに氷または外部冷却手
段を使用して温度を25℃以下に保った。希釈した反応混
合物を濾過助剤をとおしてふるい分け、少量のタール状
物質を除去し、水酸化ナトリウム溶液を滴下して加える
ことにより、濾液を部分的に中和した。この操作の間も
冷却を行って温度を25℃以下に保った。沈殿した生成物
を濾別し、十分に水洗し、50℃にて減圧下で乾燥した。
粗生成物をエタノール(1)から再結晶させて、精製
アルデヒドを得た。収量は96g(理論値の64%)であっ
た。
ができる。たとえば、上記の過程で使用した4−ジメチ
ルアミノベンズアルデヒドの代わりに4−ジエチルアミ
ノベンズアルデヒドを使用すると、アルデヒドとして、
3−[4−(ジエチルアミノ)フェニル]−2−メチル
プロプ−2−エナールが生成する。
ミルジュロリジンと、表3に示す複素環式第四塩または
複素環式活性メチレン化合物とを縮合させることによ
り、上述の方法で製造した。9−ホルミルジュロリジン
は、スミスら(SmithおよびYu)、有機化学雑誌(J.Or
g.Chem.)、17(1952)1286の方法にしたがって製造す
ることができる。
素を、種々の市販のアルキルアミノ基置換芳香族アルデ
ヒドと、適当な複素環式第四塩または複素環式活性メチ
レン化合物とを縮合させることにより、上述の方法で製
造した。複素環式第四塩は一般に公知で、たとえばグラ
フキデス(Pierre Glafkides)の写真化学(Photograph
ic Chemistry)、第II巻、第768−775頁、およびDT−15
69790(1977)に記載された方法にしたがって製造する
ことができる。
モエタノール(82.5g)およびトルエン(160ml)を一緒
に混合し、加熱還流した。約24時間の還流の後、混合物
を冷却したところ、この間に第四塩が沈殿した。粗生成
物を濾過し、トルエンで洗浄した。収量は111.8g(理論
値の67.9%)であった。
を、3−[4−(ジエチルアミノ)フェニル]−2−メ
チルプロプ−2−エナール(16.46g)およびイソプロピ
ルアルコール(110ml)と混合した。混合物をかき混ぜ
ながら加熱還流した。48時間の還流の後、反応混合物を
冷却し、濾過した。固形分である粗生成物をN−メチル
ピロリドン(750ml)に溶解し、この溶液を、フルオロ
ホウ酸ナトリウム(150g)の水(5)への溶液に滴下
して添加した。沈殿した青色の色素(26B)を濾別し、
希NaBF4溶液(1%w/w)で洗浄し、50℃にて乾燥した。
収量は13.36g(理論値の37%)であった。
の変色特性についての試験を行った。まず色素を、下記
に示す3種の塗布用配合物の一種に、下記に示す濃度で
それぞれ別々に加えた。
ニウム基板に乾燥塗布重量が1.6−1.8g・m-2となるよう
に塗布した。画像露光と現像を通常の方法で行った後、
印刷用プレートをサーモテクト(TM)液で処理し、その
後焼付けを行った。プレートの各段階での変色を調べ
た。結果を表5に示す。
K) 6重量部 上述のキノンジアジドエステル 1.5重量部 2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4′−メト
キシナフチル)−s−トリアジン 0.15重量部 ポリメチン色素 0.15重量部 90/10のMEK/メチルオキシトール 100容量部 2:クレゾールノボラック(アルノボル429K) 6重量部 上述のキノンジアジドエステル 1.5重量部 2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(3′,4′−
メチレンジオキシフェニル)−s−トリアジン 0.15重量部 ポリメチン色素 0.15重量部 1−メトキシ−2−プロパノール 100容量部 3:クレゾールノボラック(アルノボル429K) 6重量部 上述のキノンジアジドエステル 1.5重量部 ヘキサフルオロ燐酸4−ジアゾニウムジフェニルアミ
ン 0.15重量部 ポリメチン色素 0.15重量部 90/10のMEK/メチルオキシトール 100容量部 (比較例1) 下記の成分からポジ型の塗布用配合物を調製した。
キシナフチル)−s−トリアジン 0.45g この混合物に90/10のMEK/メチルオキシトールを加え
て300cm3とし、これを3つの部分、すなわち部分1−3
に分けた。
ystal Violet))0.15gを部分1に加えることにより、
第一塗布液を調製した。
4)0.15gを部分2に加えることにより、第二塗布液を
調製した。
0.15gを部分3に加えることにより、第三塗布液を調製
した。
ングし、陽極処理したアルミニウム基板に、回転塗布に
より、乾燥塗布重量が1.7〜1.9g・cm-2の範囲となるよ
うに塗布して、第一、第二、および第三の放射線感光性
基板を製造した。
得られた印刷用プレートをサーモテクト(TM)液で処理
し、その後160−270℃の範囲の種々の温度で焼付けを行
った。プレートの各段階での変色を調べた。結果を表6
に示す。第三の印刷用プレートのさらに別のサンプル
は、サーモテクト(TM)液による処理も、焼付けも行わ
なかった。
時に良好な変色が得られ、同時に、焼付けの間にも迅速
かつ高度に鮮明な変色が得られる。通常のpH感受性色素
は焼付け過程での変色を得るのがきわめて難しく、また
感熱性アゾ色素は露光時に視認可能な変色が得られな
い。
サンプルのそれぞれを、オフセット印刷機に装着した。
画像の摩耗により印刷の品質が劣化するまでに、焼付け
を行わなかったプレートでは120,000枚を、焼付けおよ
びサーモテクト(TM)処理を行ったプレートでは500,00
0枚を印刷することができた。
た。
リル酸エステル 9g 酢酸ビニル−クロトン酸共重合体 3g 2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4′−メト
キシナフチル)−s−トリアジン 0.45g メチルエチルケトン 300cm3 この溶液を3つの部分、すなわち部分1〜3に分け
た。
ト)0.15gを部分1に加えることにより、第一塗布液を
調製した。
4)0.15gを部分2に加えることにより、第二塗布液を
調製した。
素0.15gを部分3に加えることにより、第三塗布液を調
製した。
し、陽極処理したアルミニウム基板に、回転塗布によ
り、乾燥塗布重量が0.9−1.0g・m-2の範囲となるように
塗布した。こうして製造した第一、第二、および第三の
乾燥・塗布済みのプレートに、酸素による阻害を防止す
る目的で、ポリ(ビニルアルコール)を重ねて塗布し
た。
現像液中で現像した後、プレートをドデシルフェノキシ
ベンゼンジスルホン酸ナトリウム(基板表面の汚染を防
止する保護物質)の10%水溶液で処理し、乾燥するまで
バフ仕上げした。次に、プレートを160〜270℃の範囲の
種々の温度で焼付けた。プレートの各段階での変色を調
べ、結果を表7に示す。プレート3のサンプルの一つ
は、処理も、焼付けも行わなかった。
素(すなわち、プレート1および3に使用した色素)
が、はっきりと変色し、また、現像後は、3枚のプレー
トのいずれもが鮮明なコントラストを示した。しかし、
適切な焼付けが行われたことが視覚的にはっきり表示さ
れたのは、プレート2および3のみであった。
サンプルのそれぞれを、オフセット印刷機に装着した。
焼付けを行わなかったプレートでは80,000枚の質のよい
印刷が可能であったのに対し、焼付けを行ったプレート
では240,000枚の質のよい印刷を行うことができた。
る組成物で、色素が、放射線照射により放射線照射領域
で変色し、露光現象した組成物を180℃以上の温度で加
熱すると変色するので、露光時と焼付け時の双方につい
て優れた指標となる。
びこのデバイスの製造方法が提供される。
Claims (6)
- 【請求項1】放射線感光性材料、色素および酸放出剤を
含有する放射線感光性組成物であって、該放射線感光性
組成物を露光して、放射線感光性組成物が放射線照射領
域と非放射線照射領域とから構成されるようにすると、
該放射線照射領域において該酸放出剤により酸が放出さ
れて該色素が該放射線照射領域において変色し、次いで
少なくとも180℃の温度で該組成物を焼付けると、板上
に残る溶解性の低い領域において該色素がさらに変色
し、そして該色素が一般構造式 式中、 Zは窒素原子とともに複素環構造を形成する二価の基を
示し、 nは正の整数であり、 R1は場合により置換されていてもよいアルキルまたはア
ラルキル基を示し、 R2はHまたはメチルを示し、 R3およびR4は同一もしくは相異なり、場合により置換さ
れていてもよいアルキル、アラルキル、アルキレンまた
はアラルキレン基を示し、 R5およびR6は同一もしくは相異なり、Hまたはアルキレ
ン基を示し、そして Aは一価のイオン性基を示す、 を有することを特徴とする放射線感光性組成物。 - 【請求項2】R3とR5および/またはR4とR6がそれぞれ融
合して、R3およびR4が結合している窒素原子を含む複素
環をそれぞれ形成している請求項1に記載の組成物。 - 【請求項3】放射線感光性組成物が5重量%以下の色素
を含有する請求項1または2に記載の組成物。 - 【請求項4】基板と、該基板にコーテイングされた請求
項1〜3のいずれかに記載の放射線感光性組成物よりな
る放射線感光性デバイス。 - 【請求項5】基板と、該基板にコーテイングされた請求
項1〜3のいずれかに記載の放射線感光性組成物を含ん
でなる放射線感光性デバイスの処理方法であって、 (i) 放射線感光性組成物を放射線で画像露光して、
放射線感光性組成物が溶解性の異なる放射線照射領域と
非放射線照射領域とから構成されるようにし、 (ii) 画像露光した放射線感光性組成物を現像して相
対的に可溶性の領域を選択的に除去し、該領域の下地で
ある基板を露出させ、そして、 (iii) 現像の後に、基板上に残った相対的に不溶性
の領域を少なくとも180℃の温度に加熱する 工程を含み、 露光時に該放射線照射領域において酸放出剤により酸が
放出されて色素が変色し、次いで少なくとも180℃の温
度で放射線感光性組成物を焼付けると、板上に残る溶解
性の低い領域において色素がさらに変色することを特徴
とする方法。 - 【請求項6】加熱に先だって、現像済みデバイスを保護
物質を含有する処理液でコーテイングして、露出した下
地基板を、現像済みデバイスの加熱時に形成される残留
汚染物質から遮蔽し、そして加熱後に、現像済みデバイ
スを洗浄して該保護物質を除去する請求項5に記載の方
法。
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