JP3089335B2 - エアスピンドル - Google Patents
エアスピンドルInfo
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- JP3089335B2 JP3089335B2 JP06036736A JP3673694A JP3089335B2 JP 3089335 B2 JP3089335 B2 JP 3089335B2 JP 06036736 A JP06036736 A JP 06036736A JP 3673694 A JP3673694 A JP 3673694A JP 3089335 B2 JP3089335 B2 JP 3089335B2
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- air
- housing
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- air spindle
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク検査用
等、クリーンルーム内で使用することができるエアスピ
ンドルに関する。
等、クリーンルーム内で使用することができるエアスピ
ンドルに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば特公平５−８２９０７号公報に記
載されるように、エアスピンドルとして、ハウジングの
中空部に回転軸が挿入され、該回転軸がエア軸受にて支
承され、上記回転軸の反出力端部にアースパッドが接触
せしめられているエアスピンドルは知られている。
載されるように、エアスピンドルとして、ハウジングの
中空部に回転軸が挿入され、該回転軸がエア軸受にて支
承され、上記回転軸の反出力端部にアースパッドが接触
せしめられているエアスピンドルは知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、そのような
エアスピンドルは、電気ノイズ取り用ブラシが外部に露
出しており、その部分で発生する摩耗粉が飛散するおそ
れがある。そのため、高い清浄度が要求される、いわゆ
るクリーンルームにおいて使用する場合には、部品の洗
浄、異物が入らない組立、摩耗しにくいアースパッドの
材質の選定、押付け力の調整等、エアスピンドルが発塵
しないようにするための作業に多大の工夫と時間を要す
る。
エアスピンドルは、電気ノイズ取り用ブラシが外部に露
出しており、その部分で発生する摩耗粉が飛散するおそ
れがある。そのため、高い清浄度が要求される、いわゆ
るクリーンルームにおいて使用する場合には、部品の洗
浄、異物が入らない組立、摩耗しにくいアースパッドの
材質の選定、押付け力の調整等、エアスピンドルが発塵
しないようにするための作業に多大の工夫と時間を要す
る。
【０００４】本発明は、全体において発塵がなく、高い
清浄度が要求される、いわゆるクリーンルームにおいて
も使用可能であるエアスピンドルを提供するものであ
る。
清浄度が要求される、いわゆるクリーンルームにおいて
も使用可能であるエアスピンドルを提供するものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、ハウジングの
中空部に回転軸が挿入され、該回転軸がエア軸受にて支
承され、上記回転軸の反出力端部にアースパッドが接触
せしめられているエアスピンドルを前提とする。
中空部に回転軸が挿入され、該回転軸がエア軸受にて支
承され、上記回転軸の反出力端部にアースパッドが接触
せしめられているエアスピンドルを前提とする。
【０００６】請求項１の発明においては、上記回転軸の
反出力端側に、上記ハウジングの側端面と第１空間部を
存して第１防塵カバーが取付けられ、上記第１空間部が
外部への排気通路に連通され、上記外部への排気通路
は、上記第１防塵カバーのアースパッドに近い部位に連
通されている構成とする。
反出力端側に、上記ハウジングの側端面と第１空間部を
存して第１防塵カバーが取付けられ、上記第１空間部が
外部への排気通路に連通され、上記外部への排気通路
は、上記第１防塵カバーのアースパッドに近い部位に連
通されている構成とする。
【０００７】請求項２の発明においては、さらに、回転
軸の出力端側に、ハウジング側端面と第２空間部を存し
て第２防塵カバーが取付けられ、上記第２空間部にエア
吸引手段が連係されている。
軸の出力端側に、ハウジング側端面と第２空間部を存し
て第２防塵カバーが取付けられ、上記第２空間部にエア
吸引手段が連係されている。
【０００８】請求項３の発明においては、第１空間部
が、エア軸受の排気通路に連通されている。
が、エア軸受の排気通路に連通されている。
【０００９】請求項４の発明においては、第１防塵カバ
ーは、ハウジングに取付けられる筒状部材と、該筒状部
材の反ハウジング側開口を閉塞する蓋部材とを有し、該
筒状部材にアースパッドが取付けられている。
ーは、ハウジングに取付けられる筒状部材と、該筒状部
材の反ハウジング側開口を閉塞する蓋部材とを有し、該
筒状部材にアースパッドが取付けられている。
【００１０】請求項５の発明においては、第１防塵カバ
ーは、押込み位置が調整可能なるように螺合されたねじ
部材を有し、該ねじ部材にアースパッドが着脱可能に支
持されて回転軸に対し突出付勢されている。
ーは、押込み位置が調整可能なるように螺合されたねじ
部材を有し、該ねじ部材にアースパッドが着脱可能に支
持されて回転軸に対し突出付勢されている。
【００１１】
【作用】請求項１の発明によれば、アースパッドが位置
する第１空間部が外部への排気通路に連通されているこ
とから、アースパッドの発塵は、排気通路を通じて外部
へ排気される。しかも、上記外部への排気通路は、第１
防塵カバーのアースパッドに近い部位に連通されている
ので、アースパッドの発塵は、排気通路を通じて効率よ
くかつ確実に排気される。
する第１空間部が外部への排気通路に連通されているこ
とから、アースパッドの発塵は、排気通路を通じて外部
へ排気される。しかも、上記外部への排気通路は、第１
防塵カバーのアースパッドに近い部位に連通されている
ので、アースパッドの発塵は、排気通路を通じて効率よ
くかつ確実に排気される。
【００１２】請求項２の発明によれば、第２空間部をエ
ア吸引手段によって吸引するようにしているので、第２
空間部より外部への排気が確実に抑制される。
ア吸引手段によって吸引するようにしているので、第２
空間部より外部への排気が確実に抑制される。
【００１３】請求項３の発明によれば、第１空間部がエ
ア軸受の排気通路に連通されているので、エア軸受に供
給されたエアも第１空間部を通じて外部へ一緒に排気さ
れることになる。
ア軸受の排気通路に連通されているので、エア軸受に供
給されたエアも第１空間部を通じて外部へ一緒に排気さ
れることになる。
【００１４】請求項４の発明によれば、第１防塵カバー
の筒状部材にアースパッドが取付けられているので、第
１防塵カバーを取付けるだけで、アースパッドも取付け
られる。
の筒状部材にアースパッドが取付けられているので、第
１防塵カバーを取付けるだけで、アースパッドも取付け
られる。
【００１５】請求項５の発明によれば、第１防塵カバー
に対し押込み位置が調整可能なるように螺合されたねじ
部材に、アースパッドが着脱可能に支持され、該アース
パッドが回転軸に対し突出付勢されるようになっている
ので、アースパッドの交換が容易である。
に対し押込み位置が調整可能なるように螺合されたねじ
部材に、アースパッドが着脱可能に支持され、該アース
パッドが回転軸に対し突出付勢されるようになっている
ので、アースパッドの交換が容易である。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に沿って詳細に
説明する。
説明する。
【００１７】概略構成を示す図１において、１はエアス
ピンドルで、モータ２とエア軸受３とが直列一体化され
て構成され、該モータ２にて回転駆動される回転軸４
が、エア軸受３に回転可能に支承されている。それと共
に、回転軸４の軸端部４ａがエア軸受３より突出し、該
軸端部４ａに、塵埃等の付着を嫌うワークとしてのディ
スク５が設けられている。
ピンドルで、モータ２とエア軸受３とが直列一体化され
て構成され、該モータ２にて回転駆動される回転軸４
が、エア軸受３に回転可能に支承されている。それと共
に、回転軸４の軸端部４ａがエア軸受３より突出し、該
軸端部４ａに、塵埃等の付着を嫌うワークとしてのディ
スク５が設けられている。
【００１８】上記モータ２は、コイル６（ステータ）、
磁石７（ロータ）等からなり、上記回転軸４を回転する
ように構成されている。８は回転軸４に設けられたスラ
ストカラー、９はエンコーダである。
磁石７（ロータ）等からなり、上記回転軸４を回転する
ように構成されている。８は回転軸４に設けられたスラ
ストカラー、９はエンコーダである。
【００１９】一方、エア軸受３は、回転軸４の軸方向に
連設された２個のラジアル軸受部１１，１２と、スラス
トカラー８を軸方向の両側から挾むようにして設けられ
た２個のスラスト軸受部１３，１４とを備えている。１
５，１６はラジアル軸受部１１，１２へエアを供給する
給気用環状溝、１７，１８は排気用環状溝である。
連設された２個のラジアル軸受部１１，１２と、スラス
トカラー８を軸方向の両側から挾むようにして設けられ
た２個のスラスト軸受部１３，１４とを備えている。１
５，１６はラジアル軸受部１１，１２へエアを供給する
給気用環状溝、１７，１８は排気用環状溝である。
【００２０】上記モータ２とエア軸受３のハウジング１
０には、ジャーナル部４ｂ及びスラストカラー８に対し
て静圧により空気膜を形成するための空気が流入するエ
ア軸受用給気通路２１が設けられ、該給気通路２１に
は、ラジアル軸受部１１，１２に通ずる第１及び第２分
岐路２１ａ，２１ｂが連通されている。また、スラスト
軸受部１３，１４に通ずる第３及び第４分岐路２１ｃ，
２１ｄのうち、第３分岐路２１ｃは上記第２分岐路２１
ｂに連通せしめられているが、第４分岐路２１ｄは、上
記第１及び第２分岐路２１ａ，２１ｂと同様に、給気通
路２１に連通せしめられている。上記排気用環状溝１
７，１８は排気通路４６に連通されている。
０には、ジャーナル部４ｂ及びスラストカラー８に対し
て静圧により空気膜を形成するための空気が流入するエ
ア軸受用給気通路２１が設けられ、該給気通路２１に
は、ラジアル軸受部１１，１２に通ずる第１及び第２分
岐路２１ａ，２１ｂが連通されている。また、スラスト
軸受部１３，１４に通ずる第３及び第４分岐路２１ｃ，
２１ｄのうち、第３分岐路２１ｃは上記第２分岐路２１
ｂに連通せしめられているが、第４分岐路２１ｄは、上
記第１及び第２分岐路２１ａ，２１ｂと同様に、給気通
路２１に連通せしめられている。上記排気用環状溝１
７，１８は排気通路４６に連通されている。
【００２１】また、上記モータ２の反出力端側、即ちハ
ウジング１９の側端面１９ａに、第１防塵カバー３１が
例えば図示しないビス等によって取付けられ、ハウジン
グ１９の側端面１９ａとの間に第１防塵室３２（第１空
間部）が形成されている。第１防塵室３２には、外部へ
の排気通路３３（排気管）が連通され、モータ２及びエ
ア軸受３にそれぞれ給気されたエアによって生ずる排気
が、例えば、いわゆるクリーンルーム（図示せず）の外
側（又はクリーンルームの床）に排出せしめられるよう
になっている。
ウジング１９の側端面１９ａに、第１防塵カバー３１が
例えば図示しないビス等によって取付けられ、ハウジン
グ１９の側端面１９ａとの間に第１防塵室３２（第１空
間部）が形成されている。第１防塵室３２には、外部へ
の排気通路３３（排気管）が連通され、モータ２及びエ
ア軸受３にそれぞれ給気されたエアによって生ずる排気
が、例えば、いわゆるクリーンルーム（図示せず）の外
側（又はクリーンルームの床）に排出せしめられるよう
になっている。
【００２２】また、第１防塵カバー３１は、ハウジング
１９の側端面１９ａに取付けられる筒状部材３４と、該
筒状部材３４の反ハウジング側開口を閉塞する蓋部材３
５とにより構成されている。そして、筒状部材３４は、
ハウジング１９に接触する外向きフランジ部３４ａと、
該外向きフランジ部３４ａより回転軸４の軸線方向に延
びる筒状本体部３４ｂと、該筒状本体部３４ｂの端部に
おいて連設され半径方向内方に延びる内向きフランジ部
３４ｃとを有する一方、蓋部材３５は、筒状部材３４の
筒状本体部３４ｂと略同径の円板部３５ａと、該円板部
３５ａの周縁より鉛直方向に延びる縦壁部３５ｂとを有
する。上記筒状部材３４の内向きフランジ部３４ｃに、
モータ２の回転軸４の反出力端部４ｃに接触せしめられ
るアースパッド３６が板バネ部材３７を介して取付けら
れ、それを覆うように蓋部材３５が取付けられている。
１９の側端面１９ａに取付けられる筒状部材３４と、該
筒状部材３４の反ハウジング側開口を閉塞する蓋部材３
５とにより構成されている。そして、筒状部材３４は、
ハウジング１９に接触する外向きフランジ部３４ａと、
該外向きフランジ部３４ａより回転軸４の軸線方向に延
びる筒状本体部３４ｂと、該筒状本体部３４ｂの端部に
おいて連設され半径方向内方に延びる内向きフランジ部
３４ｃとを有する一方、蓋部材３５は、筒状部材３４の
筒状本体部３４ｂと略同径の円板部３５ａと、該円板部
３５ａの周縁より鉛直方向に延びる縦壁部３５ｂとを有
する。上記筒状部材３４の内向きフランジ部３４ｃに、
モータ２の回転軸４の反出力端部４ｃに接触せしめられ
るアースパッド３６が板バネ部材３７を介して取付けら
れ、それを覆うように蓋部材３５が取付けられている。
【００２３】第１防塵カバー３１の蓋部材３５の縦壁部
３５ｂに、外部への排気管３３が接続され、第１防塵室
３２のエアを排気するようになっている。尚、モータ
２、エンコーダ９等の配線部は、継手若しくは接着剤で
密閉されている。
３５ｂに、外部への排気管３３が接続され、第１防塵室
３２のエアを排気するようになっている。尚、モータ
２、エンコーダ９等の配線部は、継手若しくは接着剤で
密閉されている。
【００２４】さらに、上記エア軸受３の、モータ２の出
力端側には第２防塵カバー４１が例えば図示しないビス
等によって取付けられ、エア軸受３の端部との間に第２
防塵室４２（第２空間部）が形成されている。そして、
第２防塵カバー４１には、回転軸４の軸端部４ａが貫通
せしめられ、防塵カバー４１と回転軸４の軸端部４ａと
の間に、軸端部４ａの外周面に沿っての空気の流れを許
容するファインギャップ部Ｇが形成されている。
力端側には第２防塵カバー４１が例えば図示しないビス
等によって取付けられ、エア軸受３の端部との間に第２
防塵室４２（第２空間部）が形成されている。そして、
第２防塵カバー４１には、回転軸４の軸端部４ａが貫通
せしめられ、防塵カバー４１と回転軸４の軸端部４ａと
の間に、軸端部４ａの外周面に沿っての空気の流れを許
容するファインギャップ部Ｇが形成されている。
【００２５】第２防塵カバー４１によって形成される第
２防塵室４２には、負圧通路４３を介して、、いわゆる
クリーンルーム（図示せず）の外部に配設される真空ポ
ンプ４４（又は吸込形ブロワ）が連係され、第２防塵室
４２を負圧状態とするようになっている。また、排気用
環状溝１７，１８は排気通路４５に連通され、該排気通
路４５を外部（例えばクリーンルーム下側）に自然排気
する排気通路４６（排気管）が、ハウジング１０に接続
されている。
２防塵室４２には、負圧通路４３を介して、、いわゆる
クリーンルーム（図示せず）の外部に配設される真空ポ
ンプ４４（又は吸込形ブロワ）が連係され、第２防塵室
４２を負圧状態とするようになっている。また、排気用
環状溝１７，１８は排気通路４５に連通され、該排気通
路４５を外部（例えばクリーンルーム下側）に自然排気
する排気通路４６（排気管）が、ハウジング１０に接続
されている。
【００２６】上記のように構成すれば、エア軸受３へ供
給した空気の排気は排気通路４６を通じて、第１及び第
２防塵室３２，４２の排気は外部への排気通路３３及び
負圧通路４３を通じて、それぞれエアスピンドル１より
十分離れた位置の外部に排出される。よって、アースパ
ッド３６やモータ２での発塵が排気と一緒に排出される
こととなり、エアスピンドル１そのものは全体に亘って
発塵しなくなるので、エアスピンドル１の内部よりその
外部へ直接排気（空気）が流出することがなくなる。従
って、高い清浄度が要求される、いわゆるクリーンルー
ム内での使用も可能となる。また、ファインギャップ部
Ｇにおいて、外部（例えばクリーンルーム）から第２防
塵室４２内へのエアの流れが生じ、エアスピンドル１よ
り外部のクリーンルーム内への排気の流出が確実に抑制
されるので、ディスク５に排気中の異物が付着するとい
うことがなくなる。また、図示していないが、モータ２
に対しても冷却空気が送給されているが、このモータ２
へ供給した冷却空気の排気は、第１防塵室３２の排気と
共に、排気通路３３を通じて、クリーンルームの外部に
流出せしめられる。
給した空気の排気は排気通路４６を通じて、第１及び第
２防塵室３２，４２の排気は外部への排気通路３３及び
負圧通路４３を通じて、それぞれエアスピンドル１より
十分離れた位置の外部に排出される。よって、アースパ
ッド３６やモータ２での発塵が排気と一緒に排出される
こととなり、エアスピンドル１そのものは全体に亘って
発塵しなくなるので、エアスピンドル１の内部よりその
外部へ直接排気（空気）が流出することがなくなる。従
って、高い清浄度が要求される、いわゆるクリーンルー
ム内での使用も可能となる。また、ファインギャップ部
Ｇにおいて、外部（例えばクリーンルーム）から第２防
塵室４２内へのエアの流れが生じ、エアスピンドル１よ
り外部のクリーンルーム内への排気の流出が確実に抑制
されるので、ディスク５に排気中の異物が付着するとい
うことがなくなる。また、図示していないが、モータ２
に対しても冷却空気が送給されているが、このモータ２
へ供給した冷却空気の排気は、第１防塵室３２の排気と
共に、排気通路３３を通じて、クリーンルームの外部に
流出せしめられる。
【００２７】上記実施例に示すエアスピンドル１では、
エア軸受３、第１防塵室３２及び第２防塵室４２の排気
をぞれぞれ別々の負圧通路４３又は排気通路３３，４６
で行うようにしているが、例えば図２に示すエアスピン
ドル１Ａのように、排気用環状溝１７，１８に連通する
排気通路４５に対しモータ２の空間部に連通する連通路
４８を連通せしめ、エア軸受３、モータ２及び第１防塵
室３２の排気を、排気通路３３を通じて一緒に行うよう
にすることもできる。尚、その他の構成は、図１に示す
エアスピンドル１と同様にであるので、その詳細な説明
を省略する。
エア軸受３、第１防塵室３２及び第２防塵室４２の排気
をぞれぞれ別々の負圧通路４３又は排気通路３３，４６
で行うようにしているが、例えば図２に示すエアスピン
ドル１Ａのように、排気用環状溝１７，１８に連通する
排気通路４５に対しモータ２の空間部に連通する連通路
４８を連通せしめ、エア軸受３、モータ２及び第１防塵
室３２の排気を、排気通路３３を通じて一緒に行うよう
にすることもできる。尚、その他の構成は、図１に示す
エアスピンドル１と同様にであるので、その詳細な説明
を省略する。
【００２８】また、上記各実施例では、アースパッドが
摩耗すると、アースパッドの交換若しくは板ばね部材の
スプリング力を調整する必要があるので、第１防塵カバ
ー３１のうち蓋部材３５のみを取外すことが容易にでき
るように二重構造としているが、図３に示すような構造
とすることで、防塵カバー５１を取外すことなく、アー
スパッドの交換若しくはばね部材のスプリング力を調整
できるようにすることも可能である。即ち、防塵カバー
５１に対し、中空部５２ａを有するねじ部材５２を、押
込み位置が調整可能なるように螺合し、該ねじ部材５２
の中空部にスプリング５３を介してアースパッド５４を
着脱可能に支持させる。そして、スプリング５３のスプ
リング力によってアースパッド５４が回転軸４に対し常
時突出付勢されるようにすれば、ねじ部材５２を回動す
ることでアースパッド５４の回転軸４の端部に対する接
触度を調整することが可能となり、また、防塵カバー５
１を取外すことなく、ねじ部材５２を取外すだけでアー
スパッド５４の交換をすることも可能となる。尚、５５
はロックナットである。
摩耗すると、アースパッドの交換若しくは板ばね部材の
スプリング力を調整する必要があるので、第１防塵カバ
ー３１のうち蓋部材３５のみを取外すことが容易にでき
るように二重構造としているが、図３に示すような構造
とすることで、防塵カバー５１を取外すことなく、アー
スパッドの交換若しくはばね部材のスプリング力を調整
できるようにすることも可能である。即ち、防塵カバー
５１に対し、中空部５２ａを有するねじ部材５２を、押
込み位置が調整可能なるように螺合し、該ねじ部材５２
の中空部にスプリング５３を介してアースパッド５４を
着脱可能に支持させる。そして、スプリング５３のスプ
リング力によってアースパッド５４が回転軸４に対し常
時突出付勢されるようにすれば、ねじ部材５２を回動す
ることでアースパッド５４の回転軸４の端部に対する接
触度を調整することが可能となり、また、防塵カバー５
１を取外すことなく、ねじ部材５２を取外すだけでアー
スパッド５４の交換をすることも可能となる。尚、５５
はロックナットである。
【００２９】
【発明の効果】請求項１の発明は、上記のように、アー
スパッドが位置する第１空間部を外部への排気通路に連
通し、その外部への排気通路は、第１防塵カバーのアー
スパッドに近い部位に連通されているので、アースパッ
ドの発塵は、排気通路を通じてエアスピンドルそのもの
から離れた外部へ効率よくかつ確実に排気することがで
き、アースパッドの発塵の外部への流出を防止すること
が可能となる。
スパッドが位置する第１空間部を外部への排気通路に連
通し、その外部への排気通路は、第１防塵カバーのアー
スパッドに近い部位に連通されているので、アースパッ
ドの発塵は、排気通路を通じてエアスピンドルそのもの
から離れた外部へ効率よくかつ確実に排気することがで
き、アースパッドの発塵の外部への流出を防止すること
が可能となる。
【００３０】請求項２の発明は、第２空間部をエア吸引
手段によって吸引するようにしているので、第２空間部
より外部への排気の流出を確実に抑制することができ
る。
手段によって吸引するようにしているので、第２空間部
より外部への排気の流出を確実に抑制することができ
る。
【００３１】請求項３の発明は、第１空間部がエア軸受
の排気通路に連通されているので、エア軸受に供給され
たエアも第１空間部を通じて併せて外部へ排気すること
が可能である。よって、エアスピンドル全体に亘って発
塵がなくなり、高い清浄度が要求される、いわゆるクリ
ーンルームにおいても使用することができる。
の排気通路に連通されているので、エア軸受に供給され
たエアも第１空間部を通じて併せて外部へ排気すること
が可能である。よって、エアスピンドル全体に亘って発
塵がなくなり、高い清浄度が要求される、いわゆるクリ
ーンルームにおいても使用することができる。
【００３２】請求項４の発明は、第１防塵カバーの筒状
部材にアースパッドを取付けているので、第１防塵カバ
ーをハウジングに取付けるだけで、アースパッドも取付
けることができる。
部材にアースパッドを取付けているので、第１防塵カバ
ーをハウジングに取付けるだけで、アースパッドも取付
けることができる。
【００３３】請求項５の発明は、第１防塵カバーに対し
押込み位置を調整可能なるように螺合されたねじ部材
に、アースパッドが着脱可能に支承され、該アースパッ
ドが回転軸に対し突出付勢されるようになっているの
で、アースパッドの調整及び交換が容易である。
押込み位置を調整可能なるように螺合されたねじ部材
に、アースパッドが着脱可能に支承され、該アースパッ
ドが回転軸に対し突出付勢されるようになっているの
で、アースパッドの調整及び交換が容易である。
【図１】エアスピンドルの断面構成図である。
【図２】他の実施例についての図１と同様の図である。
【図３】変形例の拡大図である。
１，１Ａ エアスピンドル ３ エア軸受 ４ 回転軸 １９ ハウジング １９ａ 側端面 ３１ 第１防塵カバー ３３ 排気通路 ３６ アースパッド ４１ 第２防塵カバー ４３ 負圧通路 ４４ 真空ポンプ（エア吸引手段） ４６排気通路 ４８ 連通路 ５１ 防塵カバー ５２ ねじ部材 ５４ アースパッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16C 32/00 - 32/06 G11B 5/52 G11B 15/26 G11B 19/20
Claims (5)
- 【請求項１】 ハウジングの中空部に回転軸が挿入さ
れ、該回転軸がエア軸受にて支承され、上記回転軸の反
出力端部にアースパッドが接触せしめられているエアス
ピンドルであって、 上記回転軸の反出力端側に、上記ハウジングの側端面と
第１空間部を存して第１防塵カバーが取付けられ、 上記第１空間部が外部への排気通路に連通され、 上記外部への排気通路は、上記第１防塵カバーのアース
パッドに近い部位に連通され ていることを特徴とするエ
アスピンドル。 - 【請求項２】 さらに、回転軸の出力端側に、ハウジン
グ側端面と第２空間部を存して第２防塵カバーが取付け
られ、 上記第２空間部にエア吸引手段が連係されているところ
の請求項１記載のエアスピンドル。 - 【請求項３】 第１空間部が、エア軸受の排気通路に連
通されているところの請求項１記載のエアスピンドル。 - 【請求項４】 第１防塵カバーは、ハウジングに取付け
られる筒状部材と、該筒状部材の反ハウジング側開口を
閉塞する蓋部材とを有し、該筒状部材にアースパッドが
取付けられているところの請求項１記載のエアスピンド
ル。 - 【請求項５】 第１防塵カバーは、押込み位置が調整可
能なるように螺合されたねじ部材を有し、該ねじ部材に
アースパッドが着脱可能に支持されて回転軸に対し突出
付勢されているところの請求項１記載のエアスピンド
ル。
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|---|---|---|---|
| JP06036736A JP3089335B2 (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | エアスピンドル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06036736A JP3089335B2 (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | エアスピンドル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| JP3089335B2 true JP3089335B2 (ja) | 2000-09-18 |
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ID=12478026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06036736A Expired - Fee Related JP3089335B2 (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | エアスピンドル |
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| JP (1) | JP3089335B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
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-
1994
- 1994-03-08 JP JP06036736A patent/JP3089335B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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