JP3088049B2 - グリーンシートの製造方法およびアルミナ基板 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、電子材料分野におい
て、回路基板として使うアルミナ基板作製用のグリーン
シートの製造方法と、このグリーンシートを用いて作成
したアルミナ基板に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、アルミナ基板は、表面に導体ペー
ストを印刷する厚膜法、表面に導電性薄膜を蒸着・スパ
ッタ等で膜付けする薄膜法、表面に導電性薄膜をメッキ
で膜付けする湿式法等によって回路が描かれ、回路基板
となる。厚膜用回路基板に使うアルミナ基板は、アルミ
ナ純度９６％アルミナ基板（以下、「９６％アルミナ基
板」と略す）、すなわちアルミナが基板全体１００重量
％のうち約９６重量％を占めるものが使われている。し
かしながら、近年、回路基板の小型化、多機能化に伴
い、回路パターンが複雑な上に回路幅も狭くなる、いわ
ゆるファインパターン化への要求が高まっている。

【０００３】しかし、このようなファインパターン回路
を従来の９６％アルミナ基板で作製することは困難であ
った。このことは、９６％アルミナ基板の表面粗度と関
係している。従来の９６％アルミナ基板の表面粗度は、
例えば「家田，神戸：実務表面技術Vol.29 No12(1982)
P541」に記載されているものでは、Ｒａは０．３μｍで
ある。アルミナ基板中のアルミナ焼結粒子径（グレイン
サイズ）が大きいために、表面粗度が大きくなっている
のである。このように９６％アルミナ基板の場合、表面
粗度が大きいのでファインパターン回路を描いた場合、
回路の断線等が発生し易くなるという問題がある。

【０００４】そのため、近年、グレインサイズを小さく
した低表面粗度のアルミナ基板が求められている。表面
粗度を小さくする対応策として、従来の９６％アルミナ
基板の表面にガラス粉末ペーストを印刷して焼成し基板
の表面粗度を小さくするというグレーズ処理を施したグ
レーズ基板がある。しかし、このグレーズ基板は、グレ
ーズ処理のためコストが上昇する上、基板表面にガラス
質（ガラス相）が存在することになるため、アルミナ基
板に比べて誘電特性，熱伝導率が悪くなるという欠点が
あった。

【０００５】表面粗度を小さくする他の対応策として、
原料にガラス質の構成成分となる焼結助剤を使わず、粒
径の細かいアルミナ粉末のみを使用して、グレインサイ
ズを小さくし低表面粗度化を図る高純度（アルミナ含有
率９９．５重量％以上）アルミナ基板がある。この高純
度アルミナ基板は、低表面粗度である上に高周波域の電
気特性も良好であるが、用途が薄膜法による回路基板形
成用に限られると言う欠点がある。

【０００６】つまり、厚膜法の場合、回路用の導体層は
アルミナ基板中の主に粒界に存在するガラス質と密着す
ることを利用して回路を形成している。一方、メッキ法
ではアルミナ基板中の主に粒界に存在するガラス質をエ
ッチング除去して粒界に導体層に対するアンカー機能を
もたせ、回路用の導体層とアルミナ基板の表面との密着
性を確保するようにしているからである。

【０００７】ところで、９６％アルミナ基板の場合、高
純度アルミナ基板並の小グレインサイズおよび低表面粗
度を確保することは困難であった。基板の表面粗度を小
さくするには微粒子（粒径の小さい）状のアルミナ粉末
を用いる必要があるが、そのような粒径の細かいアルミ
粉末は凝集が著しく扱い難いなどの欠点があるためであ
る。

【０００８】さらに、ファインパターン化対応のための
アルミナ基板の品質としては、表面粗度だけでなく、基
板の寸法精度、そりも重要な要素である。つまり、表面
粗度が小さくても、寸法精度が悪かったり、そりが大き
い場合などは、回路形成時に回路パターンの位置ずれが
起こり易く、不良の原因となるからである。アルミナ基
板に限らずセラミック基板の寸法精度やそりは、製造過
程での成形工程に関係している。一般的にセラミック基
板の成形は、スラリを用いるドクターブレード法とスラ
リよりも水分（ないし溶剤）量の少ない坏土を用いる押
出し成形法とがある。

【０００９】前者のドクターブレード法の場合はグリー
ンシート（シート状成形体）の密度が後者の押出し成形
法のグリーンシートの密度よりも低いため、焼成し基板
を得た場合の焼成収縮率が大きくて寸法精度やそりが大
きくなる。アルミナ基板の製造過程において押出し成形
法でグリーンシートの密度を上げることは従来から行わ
れている（特開昭58-20775号公報、特開平02-248358 号
公報) が、使用するセラミック粉末が１．０μｍ以下の
微粒子となると粉末の凝集体（５０〜１００μｍ程度の
大きさの凝集）がグリーンシート中に多数存在するよう
になり、その結果、焼成後の基板の表面粗度が大きくな
ってしまう。また、押出し成形したグリーンシートをロ
ールで加圧することも試みられている（特開平02-24835
8 号公報) のであるが、グリーンシート中に多数存在す
る場合には表面粗度の改善効果は認められない。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記事情
に鑑み、用途が広く、表面粗度が小さく、寸法精度がよ
く、そりの小さな実用性の高いアルミナ基板を作製出来
るグリーンシートの製造方法、および、用途が広く、表
面粗度が小さく、寸法精度がよく、そりの小さな実用性
の顕著なアルミナ基板を提供することを課題とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、この発明は、焼成によりガラス質含有のアルミナ基
板となるグリーンシートの製造方法であって、アルミナ
粉末と焼結助剤とからなる原料粉末、水溶性樹脂、有機
添加物、および、水の混合物を押出し成形するアルミナ
基板作製用のグリーンシートを得るにあたり、前記アル
ミナ粉末は平均粒径が０．８〜１．０μｍであり、前記
焼結助剤では、ＳｉＯ₂ ，ＭｇＯおよびＣａＯが、それ
ぞれ、６５．０重量％≦ＳｉＯ₂ ≦７２．５重量％、２
５．０重量％≦ＭｇＯ≦３５．０重量％、０≦ＣａＯ≦
５．０重量％の範囲で合わせて焼結助剤の全量（１００
重量％）となるように含まれており、かつ、水、水溶性
樹脂および有機添加物の３者の関係が重量基準で、 １．３≦〔（水）÷（水溶性樹脂＋有機添加物）〕≦
１．７ であるとともに、 ２２≦〔（有機添加物）÷（水＋有機添加物）×１０
０〕≦３０ なる構成をとるようにしている。

【００１２】この発明におけるグリーンシートの場合、
普通、原料粉末におけるアルミナ粉末と焼結助剤は両者
合計１００重量％のうちアルミナ粉末が約９６重量％で
あって、焼結助剤が約４重量％であり、この場合のグリ
ーンシートで得られるアルミナ基板は、アルミナの純度
が９６％であるいわゆる９６％アルミナ基板である。こ
の発明の場合、アルミナ純度が９６％である９６％アル
ミナ基板の場合には、アルミナが基板全体１００重量％
のうち９６．Ｏ±０．２重量％程度の範囲にあるものは
アルミナ純度９６％アルミナ基板の範囲に含まれている
と考えるものとする。

【００１３】また、この発明では、水溶性樹脂としてメ
チルセルロースを用い、かつ、有機添加物が液状の有機
添加物であるグリセリン、ポリオキシアルキレン、ソル
ビタンモノカプリレート複合エステルの３者を合計１０
０重量％のうち、１０重量％≦グリセリン≦５０重量
％、２０重量％≦ポリオキシアルキレン≦４０重量％、
３０重量％≦ソルビタンモノカプリレート複合エステル
≦７０重量％となる割合で併用する形態は、低表面粗度
化を図る上で好ましい。勿論、有機添加物は、液状のも
のに限らず、水や水溶性樹脂に混合した場合に均一に分
散ないし溶解するようなものであれば、固形物であって
もよい。

【００１４】以下、この発明をアルミナ基板が９６％ア
ルミナ基板である場合を例にとって説明する。この発明
では、アルミナ粉末として平均粒径０．８〜１．０μｍ
のものを用いる。０．８μｍ未満だと非常に凝集し易く
て製造過程での凝集の低減を図ることが困難であり、焼
成条件の微妙な変化でグレインが異常成長を起こし易
く、結果として低表面粗度の実現が出来ない。１．０μ
ｍを越すと、粉末の凝集は起こり難くなるが、素材とし
てのアルミナ粉末自体の粒径が大きくなりすぎて焼成後
のグレインサイズが大きく表面粗度は従来のものと大差
なくなってしまい、結果として低表面粗度の実現が出来
ない。

【００１５】アルミナ粉末と前記ガラス質の構成成分と
なる焼結助剤の原料粉末での焼結助剤（フラックス）の
ＳｉＯ₂ ，ＭｇＯおよびＣａＯの配合割合の限定理由
は、以下の通りである。ＳｉＯ₂ が７２．５重量％を越
すと適正な焼成温度範囲が極めて狭く異常粒成長が起こ
り易く、低表面粗度の実現が困難である。

【００１６】ＳｉＯ₂ が６５．０重量％未満だと焼成で
緻密化され難く密度が低くなるという問題がある。Ｍｇ
Ｏが３５．０重量％を越すと焼成で緻密化され難く密度
が低くなるという問題がある。ＭｇＯが２５．０重量％
未満だと適正な焼成温度範囲が極めて狭く異常粒成長が
起こり易く、低表面粗度の実現が困難である。

【００１７】ＣａＯの添加は液相現出温度の低下をもた
らし緻密化促進作用があるが、５重量％を越すと液相粘
度の温度変化が大きくなり過ぎて、焼成温度の僅かな変
化で焼結体中で異常粒成長が起りグレインサイズが大き
くなってしまい、結果的に低表面粗度の実現は無理とな
る。なお、アルミナ粉末と前記ガラス質の構成成分とな
る焼結助剤の原料粉末での焼結助剤（フラックス）の使
用形態は、ＳｉＯ_２，ＭｇＯやＣａＯのそれぞれを単独
で混合する形態、ＳｉＯ_２，ＭｇＯやＣａＯを予め複合
化しておいて複合化した形で混合する形態もある。そし
て、焼結助剤は焼成でガラス質となってアルミナ基板中
に含まれるが、ガラス質化にアルミナが加わる場合もあ
る。

【００１８】このようにして得た原料粉末に、水溶性樹
脂と有機添加物や水を加え合わせて混合混練し押出し成
形する混合物を得る。水溶性樹脂と有機添加物とがいわ
ゆるバインダー成分である。この時、原料粉末に対する
（水＋水溶性樹脂＋有機添加物）の量は、通常、原料粉
末１００重量部に対し（水＋水溶性樹脂＋有機添加物）
が２０〜３５重量部程度を加え合わせるようにする。

【００１９】続いて、この混合物における水、水溶性樹
脂および有機添加物の３者の関係を重量基準で〔（水）
÷（水溶性樹脂＋有機添加物）〕、〔（有機添加物）÷
（水＋有機添加物）×１００〕なる式におい数値限定し
ている理由を説明する。〔（水）÷（水溶性樹脂＋有機
添加物）〕が１．７を越し、かつ、〔（有機添加物）÷
（水＋有機添加物）×１００〕が２２未満だと、シート
成形後グリーンシートにクラックが発生したり、あるい
は、クラックは発生しない場合でもアルミナ粉末の凝集
が頻繁に発生する。〔（水）÷（水溶性樹脂＋有機添加
物）〕が１．３未満で、かつ、〔（有機添加物）÷（水
＋有機添加物）×１００〕が３０を越すと、グリーンシ
ート中のバインダー成分（水溶性樹脂＋有機添加物）が
多いため、シート成形時のクラックや粉末の凝集はなく
なるが、必要量以上バインダー成分が添加されているた
めに、グリーンシートの乾燥に時間がかかり過ぎ、実用
的でなくなる上、バインダー成分の過多でグリーンシー
トの密度が低下し、焼成収縮率が大きく、高寸法精度、
低そりの面で不利となる傾向もある。

【００２０】上記の条件を満たすと、現在市販の９６％
アルミナ基板よりも低表面粗度の９６％アルミナ基板が
出来るが、水溶性樹脂としてメチルセルロースを用い、
液状有機添加物としてグリセリン、ポリオキシアルキレ
ン、ソルビタンモノカプリレート複合エステルの３者を
合計１００重量％のうち、１０重量％≦グリセリン≦５
０重量％、２０重量％≦ポリオキシアルキレン≦４０重
量％、３０重量％≦ソルビタンモノカプリレート複合エ
ステル≦７０重量％となる割合で併用するのがより低表
面粗度化を図る上で好ましいことは前述した通りである
が、水溶性樹脂における数値限定流を以下に述べる。

【００２１】グリセリンは、１０重量％未満となるとグ
リーンシートの可塑性が低下し、打ち抜き時やハンドリ
ング時に割れなどが発生し易くなり、５０重量％を越す
とアルミナ粉末の凝集が起こり易くなる。ポリオキシア
ルキレンは、押出し成形時に潤滑剤として働き、２０重
量％以下では坏土の潤滑性が低い上に坏土が硬いために
押出し成形中に停止し成形が出来なくなる場合があり、
４０重量％を越すとアルミナ粉末の凝集が起こり易くな
る。

【００２２】ソルビタンモノカプリレート複合エステル
は、粉末の解膠剤となったり、坏土に離型性を付与する
のであるが、３０重量％未満だとアルミナ粉末の凝集が
起こり易くなる上に混練時に坏土がロール面に付着し混
練が十分でなくなる傾向があり、７０重量％を越すと押
出し成形時の粉末の凝集は問題ないが、シート成形後の
乾燥に時間がかかり過ぎて実用的でない傾向がみられ
る。

【００２３】

【作用】この発明のグリーンシートの製造方法の場合、
粒径が小さくて凝集の抑制可能な適切な平均粒径のアル
ミナ粉末を用いるとともに、焼結助剤や水、バインダー
成分を適切な量で用いているため、アルミナ粉末の凝集
を抑えグリーンシートを得ることが出来、その結果、こ
のグリーンシートを焼結させてなるアルミナ基板では、
アルミナ粉末の粒径が十分に小さく凝集を起こしていな
いため、表面粗度の小さいグレーズ処理を必要としない
アルミナ基板となる。

【００２４】この発明で得られるグリーンシートはアル
ミナ粉末と共にガラス質の構成成分である焼結助剤が併
用されているため、このグリーンシートを焼結させてな
るアルミナ基板では、９６％アルミナ基板の如く粒界に
ガラス質が存在するようになり、適用可能な回路形成法
が多くて用途は広い。さらに、この発明ではグリーンシ
ートは押出し成形法で得ており、密度が高くて焼成収縮
率が小さくなるため、このグリーンシートを焼結させて
なるアルミナ基板では、高寸法精度で反りの小さなアル
ミナ基板となる。

【００２５】

【実施例】以下、この発明の実施例を説明する。この発
明は、下記の実施例に限らないことは言うまでもない。
実施例および比較例では、以下のようにしてグリーンシ
ートを作製し焼成して９６％アルミナ基板を得た。

【００２６】表１，２に示す平均粒径のアルミナ粉末を
９６重量％、表１，２に示す成分割合の焼結助剤を４重
量％の割合で加え、湿式混合したあと乾燥し、原料粉末
を得た。実施例の場合、ＳｉＯ₂ 、ＭｇＯ、ＣａＯは各
個別粉末の形で混合するようにした。この原料粉末１０
０重量部に対し、水溶性樹脂、液状の有機添加物、およ
び、水が表３，４に示す割合となるように材料を所定量
添加し、ミキサー等で十分に混合後、セラミック製三本
ロールを用いて混練し、成形用の坏土である混合物を得
た。

【００２７】水溶性樹脂としてメチルセルロースＭＣ
（松本油脂社製 マーポローズ６０ＳＨ−４０００）を
用いた。メチルセルロースは原料粉末のまま使用しても
よいが、焼成して得るアルミナ基板中でのポアをほぼ完
全になくそうとすると、メチルセルロースを一旦水溶液
にし、ろ過して不要成分を除去した後、ろ液を加熱して
熱ゲル化したメチルセルロースゲル（成分はメチルセル
ロースと水）を用いるとよい。ただし、このメチルセル
ロースゲルは濃度が約３０％程度にしかならないため、
材料配合時の水の添加量はメチルセルロースゲルから入
る水の量を考慮しないといけない。実施例・比較例では
メチルセルロースゲルを用いた。

【００２８】液状有機添加物Ｌは、グリセリン（日本油
脂社製 ダイナマイトグリセリンＤＧ）、ポリオキシア
ルキレン（日本油脂社製 ユニルーブ ５０ＭＢ−２
６）、ソルビタンモノカプリレート複合エステル（日本
油脂社製 セラミゾール Ｃ−０８）の３者を表５，６
に示す割合で併用した。さらに、〔（水）÷（水溶性樹
脂＋液状有機添加物）〕の値、〔（液状有機添加物）÷
（水＋液状有機添加物）×１００〕の値は、表７，８に
示す通りである。

【００２９】上記のようにして得た坏土を押出し成形機
で厚み約０．８ｍｍのグリーンシートを得て乾燥し、こ
のグリーンシートを約１０ｃｍ角に打ち抜き、表９，１
０に示すように１４７０〜１５５０℃の温度で１時間焼
成して、９６％アルミナ基板を得た。

【００３０】

【表１】

【００３１】

【表２】

【００３２】

【表３】

【００３３】

【表４】

【００３４】

【表５】

【００３５】

【表６】

【００３６】

【表７】

【００３７】

【表８】

【００３８】得られたグリーンシートおよびアルミナ基
板の評価を以下のようにして行った。 −アルミナ粉末の凝集数− まず、グリーンシート中の粉末凝集物の数は、グリーン
シートを斜光下で光学顕微鏡で観察し、写真撮影して、
約１ｃｍ四方のグリーンシート中で５０μｍ以上の突起
物として現れる粉末凝集物の数を数えた。

【００３９】−巻付け可能径− 乾燥後のグリーンシートを直径（φ）が５ｍｍ、１０ｍ
ｍ、１５ｍｍ、２０ｍｍ、３０ｍｍ、４０ｍｍ、５０ｍ
ｍの円筒に巻き付けた場合にグリーンシートにクラック
が発生する円筒径を巻付け可能径とした。グリーンシー
トの巻付け可能径と打ち抜き時のグリーンシートの寸法
変化やクラックとの関係を調べた結果、巻付け可能径が
φ１０ｍｍ以下、好ましくは、φ５ｍｍ以下であれば、
寸法変化やクラック発生は全く問題ないが、φ１０ｍｍ
を越すとグリーンシートの可塑性が低く、クラックが発
生し易くなる傾向がある。なお、押出し成形中の特異な
傾向は備考に記載した。

【００４０】次に焼成後の基板評価としては、かさ密
度、表面粗さ（Ｒａ，Ｒｍａｘ）および基板のグレイン
サイズの測定を行った。 −かさ密度− かさ密度はＪＩＳ−Ｃ２１４１に準じて測定した。 −表面粗さ（Ｒａ，Ｒｍａｘ）− 表面粗さ（Ｒａ，Ｒｍａｘ）はＪＩＳ−Ｂ０６０１に準
じて測定した。

【００４１】−グレインサイズ− グレインサイズは、アルミナ基板を研磨した後、熱エッ
チングした試料をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）で表面の
拡大写真をとり、これを用いた所謂インターセプトコー
ド法で行った。以下、算出方法を示す。ＳＥＭ写真に任
意の直線を引き、直線と粒界との交点を求め、下記の式
で算出した。

【００４２】 グレインサイズ（μｍ）＝（Ａ／ｎ）×１．５ 但し、ＡはＳＥＭ写真での直線の長さ（μｍ）、ｎは直
線と粒界の交点の数である。１個の試料について上記の
測定を５回行い、平均値を算出してグレインサイズとし
た。結果を表９〜１２に示す。

【００４３】

【表９】

【００４４】

【表10】

【００４５】

【表11】

【００４６】

【表12】

【００４７】続いて、測定結果の考察について述べる。
比較例１では押出し成形後のグリーンシートにクラック
が発生した。比較例２では、坏土が硬く、押出し成形が
出来なかった。したがって、比較例１，２の場合にはア
ルミナ基板についての評価測定結果は無しである。アル
ミナ粉末、メチルセルロース、液状有機添加物量に関し
ては、アルミナ粉末が１．０μｍの場合、実施例１と比
較例１ではメチルセルロース４．０重量部の場合、液状
有機添加物６．０重量部以上必要であり、これ以下であ
るとバインダー量が不足してグリーンシートにクラック
が発生し易くなる。

【００４８】また、メチルセルロース５．０重量部の場
合、液状有機添加物４．０重量部（比較例２）では坏土
が硬く、５．０重量部以上必要となる（実施例２，３，
４）。但し、ここで、（メチルセルロース＋液状有機添
加物）に比べ、水が多く添加されると（比較例３）、つ
まり、〔（水）÷（メチルセルロース＋有機添加物）〕
が１．７を越えると凝集が発生し、好ましくない。この
傾向はアルミナ粉末が０．８μｍの平均粒径の場合にも
あてはまる（比較例４）。なお、アルミナ粉末の平均粒
径が０．８μｍの場合は１．０μｍの時に比べて（メチ
ルセルロース＋有機添加物）の量が多く必要な傾向にあ
る（実施例５〜７）。

【００４９】さらに上記に加えて、グリセリン、ポリオ
キシアルキレン、ソルビタンモノカプリレート複合エス
テルの３者が、１０重量％≦グリセリン≦５０重量％、
２０重量％≦ポリオキシアルキレン≦４０重量％、３０
重量％≦ソルビタンモノカプリレート複合エステル≦７
０重量％の範囲にあると、表面平滑性の高いアルミナ基
板が得られることになる（実施例１，２，３，４，８〜
１０）。グリセリン、ポリオキシアルキレン、ソルビタ
ンモノカプリレート複合エステルが上記の範囲を外れる
と、従来の市販の９６％アルミナ基板よりは平面粗度の
小さいものとはなるが、極めて良好にはならず、何らか
の点で不十分である。

【００５０】ソルビタンモノカプリレート複合エステル
が３０重量％未満だと僅かであるが凝集が発生し（実施
例１１）、実施例では示していないが、７０重量％を越
えると、他のグリセリンやポリオキシアルキレンの量が
少なくなり、例えば、グリーンシートの可塑性が低下し
たり、坏土の潤滑性が低下し、成形が難しくなる傾向が
出てくる。

【００５１】一方、グリセリンが１０重量％未満ではグ
リーンシートの可塑性が低下し（実施例１２）、逆に５
０重量％を越えると凝集が発生し易くなる。最後にポリ
オキシアルキレンが２０重量％未満では坏土の潤滑性が
低く、成形時の初期は問題なく成形できるが、途中から
押出し時の圧力が高くなり、グリーンシートの密度がバ
ラツク原因になり（実施例１４）、４０重量％を越すと
凝集が発生し易くなる（実施例１５）。

【００５２】アルミナ粉末の平均粒径に関しては、０．
８μｍ未満では凝集が多数発生し（比較例５）、１．０
μｍを越すと凝集は減るけれども、表面粗度が従来のア
ルミナ基板と変わらず、必要な表面粗度の向上を達成で
きない上に焼結密度も低くなる。アルミナ基板の焼結密
度（かさ密度）は、発明者らがこの材料系で検討した結
果では、３．７０ｇ／ｃｍ³ 以上、好ましくは３．７３
ｇ／ｃｍ³ 以上、これより低いかさ密度では吸水まで行
かなくとも、機械的強度の低下、高周波特性の劣化が認
められた。

【００５３】焼結助剤中の成分に関しては（比較例７〜
９）、ＣａＯが５重量％を越す、ＳｉＯ₂ が７２．５重
量％を越す、ＭｇＯが２５重量％未満の場合には、焼成
時に異常成長を起こし易く、アルミナ基板の表面粗度が
大きくなり、逆に、ＳｉＯ₂が６５重量％未満、ＭｇＯ
が３５重量％を越す場合には、焼結が十分でなくなる。

【００５４】

【発明の効果】この発明の製造方法で得られるグリーン
シートでは、適切な平均粒径のアルミナ粉末と適切な量
の焼結助剤とバインダー材が用いられているため、アル
ミナ粉末の凝集が抑えられている上、適用可能な回路形
成法が多くなるガラス質の構成成分となる焼結助剤が含
まれており、しかも、押出し成形法によるため密度の高
いものとなっている。その結果、このグリーンシートを
焼結してなるアルミナ基板は、グリーンシート中のアル
ミナ粉末凝集が抑制されているため、表面粗度の小さい
グレーズ処理を必要としないものとなっており、さら
に、グリーンシートに含まれている焼結助剤でガラス質
が生成されているため、適用可能な回路形成法が多くて
用途が広い上、グリーンシートの密度が高くて焼成収縮
率が小さいため、高寸法精度で反りが小さくなってい
る。したがって、この発明は非常に有用であるというこ
とが出来る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−293290（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−265268（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−215346（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−110101（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C04B 35/111 C04B 35/622

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 焼成によりガラス質含有のアルミナ基板
   となるグリーンシートの製造方法であって、アルミナ粉
   末と焼結助剤とからなる原料粉末、水溶性樹脂、有機添
   加物、および、水の混合物を押出し成形するアルミナ基
   板作製用のグリーンシートの製造方法において、 前記アルミナ粉末は平均粒径が０．８〜１．０μｍであ
   り、前記焼結助剤では、ＳｉＯ₂ ，ＭｇＯおよびＣａＯ
   が、それぞれ、６５．０重量％≦ＳｉＯ₂ ≦７２．５重
   量％、２５．０重量％≦ＭｇＯ≦３５．０重量％、０≦
   ＣａＯ≦５．０重量％の範囲で合わせて焼結助剤の全量
   （１００重量％）となるように含まれており、かつ、
   水、水溶性樹脂および有機添加物の３者の関係が重量基
   準で、 １．３≦〔（水）÷（水溶性樹脂＋有機添加物）〕≦
   １．７ であるとともに、 ２２≦〔（有機添加物）÷（水＋有機添加物）×１０
   ０〕≦３０ であることを特徴とするグリーンシートの製造方法。
2. 【請求項２】 原料粉末におけるアルミナ粉末と焼結助
   剤は両者合計１００重量％のうちアルミナ粉末が約９６
   重量％であり、焼結助剤が約４重量％である請求項１記
   載のグリーンシートの製造方法。
3. 【請求項３】 水溶性樹脂としてメチルセルロースを用
   い、有機添加物は液状であってグリセリン、ポリオキシ
   アルキレン、ソルビタンモノカプリレート複合エステル
   の３者を合計１００重量％のうち、１０重量％≦グリセ
   リン≦５０重量％、２０重量％≦ポリオキシアルキレン
   ≦４０重量％、３０重量％≦ソルビタンモノカプリレー
   ト複合エステル≦７０重量％となる割合で併用する請求
   項１または２記載のグリーンシートの製造方法。
4. 【請求項４】 請求項１から３までのいずれかに記載の
   発明で得られたグリーンシートを焼結させてなるアルミ
   ナ基板。
5. 【請求項５】 アルミナ純度が９６％のアルミナ基板で
   ある請求項４記載のアルミナ基板。