JP2951479B2 - 多孔質シート状耐火物及びその製造方法 - Google Patents

多孔質シート状耐火物及びその製造方法

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JP2951479B2
JP2951479B2 JP4146528A JP14652892A JP2951479B2 JP 2951479 B2 JP2951479 B2 JP 2951479B2 JP 4146528 A JP4146528 A JP 4146528A JP 14652892 A JP14652892 A JP 14652892A JP 2951479 B2 JP2951479 B2 JP 2951479B2
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徳一郎 一色
幸士 堀内
敏行 福山
祐司 須山
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、主として電子部品の焼
成に用いる窯道具としての多孔質シート状耐火物及びそ
の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術及びその問題点】現在、電子部品等の焼成
に用いる窯道具としてのシート状耐火物としては、強度
保持のため、気孔のほとんどない磁器質のアルミナ質セ
ラミックが使われている。しかし、これら従来のシート
状耐火物は気孔がほとんどないため、通気性が無くガス
の流通が悪く、これを用いて電子部品等を焼成した場
合、焼きムラが生じ、特性に悪影響を及ぼしたり、また
バインダーの分解物あるいは揮発物がシートに滲みこま
ぬため、これら分解物あるいは揮発物が製品に付着した
りする問題を有するものであった。また、表面が滑らか
過ぎるため、製品がシートに固着してしまうという問題
もあった。さらに、電子部品焼成用のシートは、熱スポ
ーリング性の向上及び焼きムラ防止のために熱容量を低
くする必要があり、このため厚さの薄いシートが望まれ
ていたが、従来は、一般に乾式、半乾式及び半湿式のプ
レス成型でシートが製造されており、密度ムラが発生し
易いため、均一な薄いシートの製造は困難であった。
【0003】本発明は、電子部品等の焼成に用いるシー
ト状窯道具において、製品との反応性が低く、厚さが薄
く、製品の焼きムラが生じない多孔質シート状耐火物を
提供することを目的とするものである。
【0004】
【問題点を解決するための手段】本発明の多孔質シート
状耐火物は、主として電子部品の焼成に用いる窯道具に
おいて、耐火材料で構成される30μm径以上の骨材5
0〜90重量部に対し、10μm径以下の無機質結合材
10〜50重量部で結合させてなるものであり、これに
より前記問題点を解決したものである。このような本発
明シート状耐火物では骨材及び無機質結合材として、ア
ルミナ、ムライト、ジルコニア、マグネシア、スピネ
ル、アンダリューサイトを単独又は組み合わせて用いる
ことができる。そして、このシート状耐火物を製造する
には、耐火材料で構成される30μm径以上の骨材50
〜90重量部に対し、10μm径以下の無機質結合材1
0〜50重量部を混練し、押出し成形もしくはロール成
形による湿式成形により生シートを形成することによ
る。湿式成形により得られた生シートはそのまま焼成あ
るいはプレス等で機械加工後焼成することができる。
【0005】本発明において、耐火材料で構成される骨
材が30μm未満、無機質結合材の粒子径が10μm未
満では、これを用いて焼成したシート状耐火物の見掛け
気孔率が10%未満となり、十分な通気性を備えなくな
る。そして、骨材の割合が50重量部未満では通気性が
低下し、逆に骨材が90重量部を越えると強度が低下す
る。また、無機質結合材が10重量部未満では、強度が
低下し、逆に50重量部を越えると通気性が低下する。
【0006】本発明に係るシート状耐火物は、上記のよ
うな骨材と無機質結合材を結合する構成のため、見掛け
気孔率は10%以上となり、通気性のあるシートとなっ
て製品の焼きムラが防止できる。また、バインダーの分
解生成物あるいは揮発物がシートに滲みこみ、製品に悪
影響を及ぼさなくなる。さらに、シートの表面はミクロ
的に凹凸があり、しかも多孔質なので、製品とシートと
の接触部が少ないため、製品とシートとの固着が無くな
る。
【0007】また、本発明方法では押出し成形もしくは
ロール成形による湿式成形により生シートを形成するこ
とができるため、シートの厚さが0.3〜5mmの薄い
ものが成形できる。さらには生シートをそのまま焼成、
あるいはプレス機等で網目模様等の凹凸加工、曲げ加
工、穴あけ加工、打ち抜き加工等の機械加工を施した
後、焼成することもでき、多様な用途に適用できる。な
お、シートの焼成は重ね焼きでも可能である。
【0008】
【実施例1】骨材として、0.1mm径以下30μm径
以上の電融アルミナ80重量部、無機質結合材として1
0μm径以下の仮焼アルミナ微粉10重量部及び木節粘
土10重量部を混合し、これに少量の有機質結合材と水
を添加し、土練機及び3本ロールで混練した。これを真
空押出し成形機で0.5mmのシート厚さに成形して、
1750℃で焼成し、供試体とし、嵩比重、気孔率、常
温曲げ強度及びスポーリング抵抗性を測定した。それら
の結果を表1に示す。なお、嵩比重、気孔率は水中重量
法により算出し、また、常温曲げ強度は2支点1点荷重
方式で測定した。
【0009】
【実施例2】骨材として0.2mm径以下30μm径以
上の焼結アルミナ70重量部、無機質結合材として10
μm径以下の仮焼アルミナ微粉30重量部を混合し、こ
れに少量の有機質結合材と水を添加し、土練機で混練し
た。以下の工程は実施例1と同様としたが、シート厚さ
は1mm、焼成温度は1600℃とした。それらの結果
を表1に併せて示す。
【0010】
【実施例3】骨材として0.5mm径以下30μm径以
上の電融アルミナ40重量部及び電融ムライト40重量
部を用い、無機質結合材として10μm径以下の仮焼ア
ルミナ微粉15重量部及び高純度シリカ微粉5重量部と
混合し、これに少量の有機質結合材と水を添加し、土練
機で混練した。以下の工程は実施例1と同様としたが、
シート厚さは2mm、焼成温度は1750℃とした。そ
れらの結果を表1に併せて示す。
【0011】
【実施例4】骨材として1mm径以下30μm径以上の
CaO安定化電融ジルコニア90重量部、無機質結合材
として10μm径以下のジルコニア微粉10重量部を混
合し、これに少量の有機質結合材と水を添加し、土練機
で混練した。以下の工程は実施例1と同様としたが、シ
ート厚さは2mm、焼成温度は1600℃とした。それ
らの結果を表1に併せて示す。
【0011】
【表1】
【0012】表1には本発明実施例1〜4及び従来品で
ある磁器質品の比較例を示してあるが、磁器質品は気孔
をほとんどもたず、製品とシートの付着等の問題が起き
たのに対し、実施例ではいずれの場合も適度な気孔をも
つため、問題とはならなかった。さらに、スポーリング
抵抗性も実施例ではいずれの場合も従来品と比較し、大
幅な改善が認められた。また、常温曲げ強度は従来品と
比較すると低下するが、実施例の強度でも通常の使用条
件では十分な強度であった。
【0013】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、電子部
品の焼成に用いる多孔質シート状耐火物で、適度な気孔
の形成と厚さを薄くすることにより、製品との反応性が
低く、焼きムラの生じないシートが得られる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福山 敏行 福岡県大牟田市浅牟田町3番地の1 三 井金属鉱業株式会社大牟田工場内 (72)発明者 須山 祐司 福岡県大牟田市浅牟田町3番地の1 三 井金属鉱業株式会社大牟田工場内 (56)参考文献 特開 平3−228883(JP,A) 特開 昭62−65988(JP,A) 特開 平3−223184(JP,A) 特開 昭49−69710(JP,A) 特開 平2−30682(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C04B 38/00 303 C04B 38/00 304

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 主として電子部品の焼成に用いる窯道具
    において、耐火材料で構成される30μm径以上の骨材
    50〜90重量部に対し、10μm径以下の無機質結合
    材10〜50重量部で結合させたことを特徴とする多孔
    質シート状耐火物。
  2. 【請求項2】 骨材及び無機質結合材として、アルミ
    ナ、ムライト、ジルコニア、マグネシア、スピネル、ア
    ンダリューサイトを単独又は組み合わせて用いることを
    特徴とする請求項1記載の多孔質シート状耐火物。
  3. 【請求項3】 見掛気孔率が10%以上である請求項1
    記載の多孔質シート耐火物。
  4. 【請求項4】 厚さが0.3〜5mmである請求項1記
    載の多孔質シート状耐火物。
  5. 【請求項5】 主として電子部品の焼成に用いる窯道具
    を製造するに際し、耐火材料で構成される30μm径以
    上の骨材50〜90重量部に対し、10μm径以下の無
    機質結合材10〜50重量部を混練し、押出し成形もし
    くはロール成形による湿式成形により生シートを形成す
    ることを特徴とする多孔質シート状耐火物の製造方法。
  6. 【請求項6】 湿式成形により得られた生シートをその
    まま焼成あるいはプレス等で機械加工後焼成することを
    特徴とする請求項5記載の方法。
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