JP3078192B2 - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドおよびその製造方法Info
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/23—Gap features
- G11B5/232—Manufacture of gap
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フェライト単結晶など
の磁性材料により形成されたコアのギャップ対向面に高
飽和磁束密度の金属磁性膜が形成された磁気ヘッドに係
り、特にコアの加工変質などに起因するノイズの発生を
最小にできるようにした磁気ヘッドおよびその製造方法
に関する。
の磁性材料により形成されたコアのギャップ対向面に高
飽和磁束密度の金属磁性膜が形成された磁気ヘッドに係
り、特にコアの加工変質などに起因するノイズの発生を
最小にできるようにした磁気ヘッドおよびその製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】メタルテープを使用する磁気記録再生装
置では、コアに高飽和磁束密度の金属磁性膜を形成し、
この金属磁性膜の接合面に磁気ギャップを形成するいわ
ゆるメタルインギャップ（ＭＩＧ）構造の磁気ヘッドが
使用される。図６は従来の８ｍｍＶＴＲ装置に搭載され
るＭＩＧ構造の磁気ヘッドの記録媒体摺動面を拡大して
示す平面図である。
置では、コアに高飽和磁束密度の金属磁性膜を形成し、
この金属磁性膜の接合面に磁気ギャップを形成するいわ
ゆるメタルインギャップ（ＭＩＧ）構造の磁気ヘッドが
使用される。図６は従来の８ｍｍＶＴＲ装置に搭載され
るＭＩＧ構造の磁気ヘッドの記録媒体摺動面を拡大して
示す平面図である。
【０００３】コアＣ１とＣ２はＭｎ−Ｚｎフェライトの
単結晶材料などにより形成されている。両コアＣ１とＣ
２には、センダストまたはＦｅ−Ｔａ−Ｃ系の微結晶材
料などによる高飽和磁束密度の金属磁性膜Ｍがスパッタ
リングなどにより形成され、この金属磁性膜Ｍの接合部
にガラス材料が介在されて、ギャップ対向面Ｇとなって
いる。記録媒体摺動方向（Ｔ方向）は、コアＣ１とＣ２
の側面と平行な方向である。ギャップ対向面Ｇは記録媒
体摺動方向（Ｔ方向）の直交線に対してアジマス角度θ
を有している。８ｍｍＶＴＲ用の磁気ヘッドでは、アジ
マス角度θが±１０度である。
単結晶材料などにより形成されている。両コアＣ１とＣ
２には、センダストまたはＦｅ−Ｔａ−Ｃ系の微結晶材
料などによる高飽和磁束密度の金属磁性膜Ｍがスパッタ
リングなどにより形成され、この金属磁性膜Ｍの接合部
にガラス材料が介在されて、ギャップ対向面Ｇとなって
いる。記録媒体摺動方向（Ｔ方向）は、コアＣ１とＣ２
の側面と平行な方向である。ギャップ対向面Ｇは記録媒
体摺動方向（Ｔ方向）の直交線に対してアジマス角度θ
を有している。８ｍｍＶＴＲ用の磁気ヘッドでは、アジ
マス角度θが±１０度である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この種のＭＩＧ構造の
磁気ヘッドでは、フェライトにより形成されたコアＣ
１，Ｃ２と金属磁性膜Ｍ，Ｍとの界面ｇ，ｇに擬似ギャ
ップが生じ、この影響により、磁気テープからの再生信
号の周波数特性を示すカーブにうねりまたはウイグルノ
イズを生じる問題点がある。その原因は、コアＣ１，Ｃ
２を形成するフェライトに含有されている酸素が金属磁
性膜Ｍへ侵食し、金属磁性膜Ｍに磁気的劣化層が形成さ
れ、この層が擬似ギャップとして作用しているものと考
えられている。
磁気ヘッドでは、フェライトにより形成されたコアＣ
１，Ｃ２と金属磁性膜Ｍ，Ｍとの界面ｇ，ｇに擬似ギャ
ップが生じ、この影響により、磁気テープからの再生信
号の周波数特性を示すカーブにうねりまたはウイグルノ
イズを生じる問題点がある。その原因は、コアＣ１，Ｃ
２を形成するフェライトに含有されている酸素が金属磁
性膜Ｍへ侵食し、金属磁性膜Ｍに磁気的劣化層が形成さ
れ、この層が擬似ギャップとして作用しているものと考
えられている。
【０００５】上記の擬似ギャップ作用を防止するため
に、従来からフェライトのコアＣ１，Ｃ２と金属磁性膜
Ｍ，Ｍとの界面ｇ，ｇに侵食防止膜としてＳｉＯ2など
の膜を５０オングストローム程度の膜厚にて介在させる
ことが行われている。しかし、実際に上記侵食防止膜を
有する磁気ヘッドを製造し、磁気テープからの信号の再
生を行ってみると、低域でのうねりなどのノイズを低減
させる効果が不十分であることが判る。８ｍｍＶＴＲ装
置などで表示画面に影響を与えないようにするために
は、擬似ギャップに起因するノイズのレベルをうねり幅
で１ｄＢ以下に抑えることが必要であるが、上記の侵食
防止膜を設けただけでは、ノイズレベルを１ｄＢ以下に
抑えることができない場合が多い。
に、従来からフェライトのコアＣ１，Ｃ２と金属磁性膜
Ｍ，Ｍとの界面ｇ，ｇに侵食防止膜としてＳｉＯ2など
の膜を５０オングストローム程度の膜厚にて介在させる
ことが行われている。しかし、実際に上記侵食防止膜を
有する磁気ヘッドを製造し、磁気テープからの信号の再
生を行ってみると、低域でのうねりなどのノイズを低減
させる効果が不十分であることが判る。８ｍｍＶＴＲ装
置などで表示画面に影響を与えないようにするために
は、擬似ギャップに起因するノイズのレベルをうねり幅
で１ｄＢ以下に抑えることが必要であるが、上記の侵食
防止膜を設けただけでは、ノイズレベルを１ｄＢ以下に
抑えることができない場合が多い。
【０００６】本発明は上記従来の課題を解決するもので
あり、擬似ギャップに起因する周波数特性のカーブでの
うねりやウイグルノイズを低減できるようにしたＭＩＧ
構造の磁気ヘッドおよびその製造方法を提供することを
目的としている。
あり、擬似ギャップに起因する周波数特性のカーブでの
うねりやウイグルノイズを低減できるようにしたＭＩＧ
構造の磁気ヘッドおよびその製造方法を提供することを
目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による磁気ヘッド
は、磁性材料より成るコアのギャップ対向面に金属磁性
膜が設けられた磁気ヘッドにおいて、前記コアの磁気記
録媒体摺動面には、磁化方向が前記摺動面での磁化容易
軸方向に向く領域αが形成され、対を成すコアのギャッ
プ対向部分の幅寸法を各コア毎にＡおよびＢとし、前記
領域が金属磁性膜との接合部に接する幅寸法を各コアご
とにａ1，ａ2，…ａnおよびｂ1，ｂ2，…ｂmとしたとき
に、前記数１の値が０．５以下となるように、前記磁化
容易軸の方向が、ギャップ対向面の垂線に対して傾きを
有していることを特徴とするものである。
は、磁性材料より成るコアのギャップ対向面に金属磁性
膜が設けられた磁気ヘッドにおいて、前記コアの磁気記
録媒体摺動面には、磁化方向が前記摺動面での磁化容易
軸方向に向く領域αが形成され、対を成すコアのギャッ
プ対向部分の幅寸法を各コア毎にＡおよびＢとし、前記
領域が金属磁性膜との接合部に接する幅寸法を各コアご
とにａ1，ａ2，…ａnおよびｂ1，ｂ2，…ｂmとしたとき
に、前記数１の値が０．５以下となるように、前記磁化
容易軸の方向が、ギャップ対向面の垂線に対して傾きを
有していることを特徴とするものである。
【０００８】
【０００９】また本発明では、前記磁気記録媒体摺動面
には、単結晶フェライトの結晶面が現れることが好まし
く、前記結晶面は、（１１０）面であることが好まし
い。また前記単結晶フェライトは、Ｍｎ−Ｚｎフェライ
トの単結晶材料であることが好ましい。
には、単結晶フェライトの結晶面が現れることが好まし
く、前記結晶面は、（１１０）面であることが好まし
い。また前記単結晶フェライトは、Ｍｎ−Ｚｎフェライ
トの単結晶材料であることが好ましい。
【００１０】また、本発明は、例えば単結晶磁性材料に
より形成されたコアのギャップ対向面に金属磁性膜が設
けられた磁気ヘッドの製造方法において、コアの磁気記
録媒体摺動面に現れる（１１０）面において＜１００＞
軸（磁化容易軸）の向きが、ギャップ対向面の垂線に対
して傾きを有するようにコアの方位を設定するととも
に、前記金属磁性膜を形成する前に、コアを熱処理して
前記磁気ヘッドを得るものである。
より形成されたコアのギャップ対向面に金属磁性膜が設
けられた磁気ヘッドの製造方法において、コアの磁気記
録媒体摺動面に現れる（１１０）面において＜１００＞
軸（磁化容易軸）の向きが、ギャップ対向面の垂線に対
して傾きを有するようにコアの方位を設定するととも
に、前記金属磁性膜を形成する前に、コアを熱処理して
前記磁気ヘッドを得るものである。
【００１１】
【作用】本発明は、ＭＩＧ構造の磁気ヘッドの再生出力
の周波数特性を示すカーブでのうねりまたはウイグルノ
イズが、コアと磁性金属膜との界面での前記磁気的劣化
層だけを原因としているものでないことに着目してなさ
れたものである。
の周波数特性を示すカーブでのうねりまたはウイグルノ
イズが、コアと磁性金属膜との界面での前記磁気的劣化
層だけを原因としているものでないことに着目してなさ
れたものである。
【００１２】ＭＩＧ構造の磁気ヘッドの表面（磁気記録
媒体摺動面）の磁力分布を調べてみると、うねりまたウ
イグルノイズの大きい磁気ヘッドでは、コアの表面（磁
気記録媒体摺動面）での金属磁性膜との接合部分におい
て、磁気特性がコアの他の部分と相違する領域が存在し
ていることが判る。図６は磁気特性がコアの他の部分と
相違する領域をαで示し、この領域αの輪郭をα１で示
している。この領域αは、例えば磁気力顕微鏡（ＭＦ
Ｍ；Magnetic Force Microscope）により磁力分布測定
を行うことにより明らかになる。領域α内では磁化の方
向が前記摺動面での磁化容易軸の方向に向けられたもの
となり、領域αの磁気特性がコアの他の部分と相違する
ことになる。領域αの輪郭α１はコアの他の部分に対す
る磁壁となり、この磁壁となる輪郭α１が実質的な擬似
ギャップとなり、この擬似ギャップが原因となって再生
信号の周波数特性のカーブでのうねりやウイグルノイズ
が生じていることが判った。
媒体摺動面）の磁力分布を調べてみると、うねりまたウ
イグルノイズの大きい磁気ヘッドでは、コアの表面（磁
気記録媒体摺動面）での金属磁性膜との接合部分におい
て、磁気特性がコアの他の部分と相違する領域が存在し
ていることが判る。図６は磁気特性がコアの他の部分と
相違する領域をαで示し、この領域αの輪郭をα１で示
している。この領域αは、例えば磁気力顕微鏡（ＭＦ
Ｍ；Magnetic Force Microscope）により磁力分布測定
を行うことにより明らかになる。領域α内では磁化の方
向が前記摺動面での磁化容易軸の方向に向けられたもの
となり、領域αの磁気特性がコアの他の部分と相違する
ことになる。領域αの輪郭α１はコアの他の部分に対す
る磁壁となり、この磁壁となる輪郭α１が実質的な擬似
ギャップとなり、この擬似ギャップが原因となって再生
信号の周波数特性のカーブでのうねりやウイグルノイズ
が生じていることが判った。
【００１３】また、上記の領域αが発生する原因として
は、コアを製造する際に、金属磁性膜をスパッタ形成す
る面にラッピングなどの機械加工を施すが、この加工の
際にフェライト層に生じる加工変質層の存在が主に挙げ
られる。
は、コアを製造する際に、金属磁性膜をスパッタ形成す
る面にラッピングなどの機械加工を施すが、この加工の
際にフェライト層に生じる加工変質層の存在が主に挙げ
られる。
【００１４】本発明の発明者は、上記のように、領域α
の存在が再生信号の周波数特性でのうねりやウイグルノ
イズの原因であること、および、金属磁性膜との接合面
に接している部分での領域αの幅寸法が、前記ノイズの
大きさに影響があることを解明して本発明に至ったもの
である。
の存在が再生信号の周波数特性でのうねりやウイグルノ
イズの原因であること、および、金属磁性膜との接合面
に接している部分での領域αの幅寸法が、前記ノイズの
大きさに影響があることを解明して本発明に至ったもの
である。
【００１５】すなわち、コアと金属磁性膜との接合部に
現れている前記領域αの幅寸法の累積合計が、コアのギ
ャップ対向部分の幅寸法の０．５以下であれば、磁壁と
なる輪郭α１の擬似ギャップ作用を許容範囲以下にで
き、再生信号の周波数特性のカーブでのうねり幅（ノイ
ズ）のレベルを１ｄＢ以下に低減できることになる。
現れている前記領域αの幅寸法の累積合計が、コアのギ
ャップ対向部分の幅寸法の０．５以下であれば、磁壁と
なる輪郭α１の擬似ギャップ作用を許容範囲以下にで
き、再生信号の周波数特性のカーブでのうねり幅（ノイ
ズ）のレベルを１ｄＢ以下に低減できることになる。
【００１６】また、前記領域αはコアの表面（磁気記録
媒体摺動面）での磁化容易軸の向きに影響していること
も判明した。前述のように領域α内での磁化は前記摺動
面での磁化容易軸方向に向くものであり、輪郭α１はコ
アの磁化容易軸の方向に対向するようにして現れる。よ
って、コアの磁化容易軸をギャップ対向面の垂線に対し
て傾きを設けるように配置すれば、コアと磁性金属膜と
の接合部での領域αの幅寸法を小さくでき、前記数１の
値を０．５以下にすることが容易になる。
媒体摺動面）での磁化容易軸の向きに影響していること
も判明した。前述のように領域α内での磁化は前記摺動
面での磁化容易軸方向に向くものであり、輪郭α１はコ
アの磁化容易軸の方向に対向するようにして現れる。よ
って、コアの磁化容易軸をギャップ対向面の垂線に対し
て傾きを設けるように配置すれば、コアと磁性金属膜と
の接合部での領域αの幅寸法を小さくでき、前記数１の
値を０．５以下にすることが容易になる。
【００１７】さらに、本発明の磁気ヘッドの製造方法
は、コアの方位として、コア表面での磁化容易軸の方向
をギャップ対向面の垂線に対して傾きを持たせるように
し、さらに金属磁性膜を形成する前のコアを加熱処理
（アニール処理）することを特徴としている。この加熱
処理は例えば６００〜９００℃で１〜１０時間程度であ
る。この加熱処理により、ラッピングなどの機械加工に
よりコアに与えられる内部応力が緩和され加工変質層の
領域を可能な限り小さくでき、前記領域αが生じにくく
なる。コアの表面での磁化容易軸の方向をギャップ対向
面の垂線に対して傾け、且つ加熱処理を行うことによ
り、前記数１の値を０．２以下または０．１以下とする
ことが可能であり、前記輪郭α１が形成されにくくなっ
て、この輪郭α１による擬似ギャップの問題をきわめて
有効に解消できるようになる。
は、コアの方位として、コア表面での磁化容易軸の方向
をギャップ対向面の垂線に対して傾きを持たせるように
し、さらに金属磁性膜を形成する前のコアを加熱処理
（アニール処理）することを特徴としている。この加熱
処理は例えば６００〜９００℃で１〜１０時間程度であ
る。この加熱処理により、ラッピングなどの機械加工に
よりコアに与えられる内部応力が緩和され加工変質層の
領域を可能な限り小さくでき、前記領域αが生じにくく
なる。コアの表面での磁化容易軸の方向をギャップ対向
面の垂線に対して傾け、且つ加熱処理を行うことによ
り、前記数１の値を０．２以下または０．１以下とする
ことが可能であり、前記輪郭α１が形成されにくくなっ
て、この輪郭α１による擬似ギャップの問題をきわめて
有効に解消できるようになる。
【００１８】以上から本発明での数１の値の好ましい範
囲は０．５以下、さらに好ましくは０．２以下または
０．１以下である。
囲は０．５以下、さらに好ましくは０．２以下または
０．１以下である。
【００１９】
【実施例】以下本発明の実施例を説明する。図４は本発
明が適用される磁気ヘッドＨの一例として、メタルテー
プを使用する例えば８ｍｍＶＴＲ装置の回転ドラムに搭
載されるＭＩＧヘッドを示す斜視図である。この磁気ヘ
ッドＨは、Ｍｎ−Ｚｎフェライトの単結晶材料などによ
り形成されたコアＣ１とＣ２とを有している。両コアＣ
１とＣ２のギャップ対向面には、Ｆｅ−Ｔａ−Ｃ系の微
結晶材料による金属磁性膜Ｍがスパッタリングなどによ
り形成されている。金属磁性膜Ｍの膜厚は約６μｍであ
る。この金属磁性膜Ｍどうしの対向部がギャップ対向面
Ｇとなっている。両コアＣ１とＣ２との接合部中腹には
コイル溝３が形成され、この溝３内から両コアＣ１とＣ
２にコイルが巻かれる。
明が適用される磁気ヘッドＨの一例として、メタルテー
プを使用する例えば８ｍｍＶＴＲ装置の回転ドラムに搭
載されるＭＩＧヘッドを示す斜視図である。この磁気ヘ
ッドＨは、Ｍｎ−Ｚｎフェライトの単結晶材料などによ
り形成されたコアＣ１とＣ２とを有している。両コアＣ
１とＣ２のギャップ対向面には、Ｆｅ−Ｔａ−Ｃ系の微
結晶材料による金属磁性膜Ｍがスパッタリングなどによ
り形成されている。金属磁性膜Ｍの膜厚は約６μｍであ
る。この金属磁性膜Ｍどうしの対向部がギャップ対向面
Ｇとなっている。両コアＣ１とＣ２との接合部中腹には
コイル溝３が形成され、この溝３内から両コアＣ１とＣ
２にコイルが巻かれる。
【００２０】図１と図２は本発明の実施例で、図３は比
較例であり、それぞれ、図４に示した磁気ヘッドＨで
の、各コアＣ１，Ｃ２の表面（磁気記録媒体摺動面）を
示した拡大平面図である。図１に示す実施例は、コアＣ
１，Ｃ２の表面（磁気記録媒体摺動面）１ａ，２ａにフ
ェライト単結晶の（１１０）面が現れており、この（１
１０）面内の＜１００＞軸（磁化容易軸）が、ギャップ
対向面Ｇの垂線Ｌに対し傾き角を有している。
較例であり、それぞれ、図４に示した磁気ヘッドＨで
の、各コアＣ１，Ｃ２の表面（磁気記録媒体摺動面）を
示した拡大平面図である。図１に示す実施例は、コアＣ
１，Ｃ２の表面（磁気記録媒体摺動面）１ａ，２ａにフ
ェライト単結晶の（１１０）面が現れており、この（１
１０）面内の＜１００＞軸（磁化容易軸）が、ギャップ
対向面Ｇの垂線Ｌに対し傾き角を有している。
【００２１】図１に示す磁気ヘッドの表面１ａ，２ａで
の磁力分布を磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）で観察した結果、
コアの他の部分と磁気特性の異なる領域（磁化が摺動面
での磁化容易軸に向いている領域）αの輪郭（磁壁）α
１が、＜１００＞軸（磁化容易軸）に対向するようにし
て現れることが判った。領域αの輪郭α１が＜１００＞
軸に対向した向きで現れる結果、領域αは、ギャップ対
向面Ｇのトラック幅方向の一方へ偏る位置に形成されや
すい。その結果、表面（磁気記録媒体摺動面）１ａ，２
ａにおいて、コアＣ１，Ｃ２と金属磁性膜Ｍとの境界部
に接している領域αの幅寸法ａ１，ａ２およびｂ１がか
なり短いものとなる。
の磁力分布を磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）で観察した結果、
コアの他の部分と磁気特性の異なる領域（磁化が摺動面
での磁化容易軸に向いている領域）αの輪郭（磁壁）α
１が、＜１００＞軸（磁化容易軸）に対向するようにし
て現れることが判った。領域αの輪郭α１が＜１００＞
軸に対向した向きで現れる結果、領域αは、ギャップ対
向面Ｇのトラック幅方向の一方へ偏る位置に形成されや
すい。その結果、表面（磁気記録媒体摺動面）１ａ，２
ａにおいて、コアＣ１，Ｃ２と金属磁性膜Ｍとの境界部
に接している領域αの幅寸法ａ１，ａ２およびｂ１がか
なり短いものとなる。
【００２２】次に、図２に示す実施例では、コアＣ１，
Ｃ２の表面（磁気記録媒体摺動面）１ａ，２ａでの単結
晶フェライトの結晶方向が図１に示したものと同じであ
る。ただし、図２に示す実施例では、金属磁性膜Ｍをス
パッタにて設ける前に、それぞれのコアＣ１とＣ２の半
体を加熱処理（アニール処理）して、接合部（イ）およ
び（ロ）での機械加工による応力を緩和させ、フェライ
トに加工変質層が形成されるのを防止しまた低減させた
ものである。この実施例では、６５０℃で３時間のアニ
ール処理を行ったものを示している。なおこのアニール
処理では、６００〜９００℃で１〜１０時間程度の加熱
処理を行なうことで、図２とほぼ同様の結果が得られ
る。
Ｃ２の表面（磁気記録媒体摺動面）１ａ，２ａでの単結
晶フェライトの結晶方向が図１に示したものと同じであ
る。ただし、図２に示す実施例では、金属磁性膜Ｍをス
パッタにて設ける前に、それぞれのコアＣ１とＣ２の半
体を加熱処理（アニール処理）して、接合部（イ）およ
び（ロ）での機械加工による応力を緩和させ、フェライ
トに加工変質層が形成されるのを防止しまた低減させた
ものである。この実施例では、６５０℃で３時間のアニ
ール処理を行ったものを示している。なおこのアニール
処理では、６００〜９００℃で１〜１０時間程度の加熱
処理を行なうことで、図２とほぼ同様の結果が得られ
る。
【００２３】図２に示す実施例においてコアＣ１，Ｃ２
の表面１ａ，２ａを磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）で磁力分布
を観察すると、コアＣ１，Ｃ２と金属磁性膜Ｍとの境界
部（イ）および（ロ）に現れる前記領域αの面積がきわ
めて小さくなっており、境界部（イ）と（ロ）に接触し
ている部分での領域αの幅寸法ａ１とｂ１が微小なもの
となる。
の表面１ａ，２ａを磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）で磁力分布
を観察すると、コアＣ１，Ｃ２と金属磁性膜Ｍとの境界
部（イ）および（ロ）に現れる前記領域αの面積がきわ
めて小さくなっており、境界部（イ）と（ロ）に接触し
ている部分での領域αの幅寸法ａ１とｂ１が微小なもの
となる。
【００２４】図３に示す比較例では、コアＣ１，Ｃ２の
表面１ａ，２ａに現れるフェライト単結晶の（１１０）
面の＜１００＞軸（磁化容易軸）の方向が、ギャップ対
向面の垂線Ｌと平行な向きである。すなわちこの比較例
では、コア表面１ａ，２ａでの結晶方位がいわゆるβ方
位である。
表面１ａ，２ａに現れるフェライト単結晶の（１１０）
面の＜１００＞軸（磁化容易軸）の方向が、ギャップ対
向面の垂線Ｌと平行な向きである。すなわちこの比較例
では、コア表面１ａ，２ａでの結晶方位がいわゆるβ方
位である。
【００２５】この比較例において、前記各実施例と同様
にして表面１ａ，２ａの磁気力分布を観察すると、前記
領域αの輪郭α１が＜１００＞軸に対向する向きに現れ
る。また領域αは、コアＣ１，Ｃ２と金属磁性膜Ｍとの
接合部（イ）（ロ）において、ギャップ対向面Ｇの長さ
とほぼ同じ長さにて現れる。
にして表面１ａ，２ａの磁気力分布を観察すると、前記
領域αの輪郭α１が＜１００＞軸に対向する向きに現れ
る。また領域αは、コアＣ１，Ｃ２と金属磁性膜Ｍとの
接合部（イ）（ロ）において、ギャップ対向面Ｇの長さ
とほぼ同じ長さにて現れる。
【００２６】次に図５は、上記図１と図２に示した実施
例および図３に示した比較例での磁気ヘッドとしての特
性を調べた結果を示すグラフである。図１に示すよう
に、コアＣ１とＣ２の表面１ａと２ａにおいて、金属磁
性膜Ｍとの接合部（イ）および（ロ）の部分の、ギャッ
プ対向面Ｇに沿う方向の幅寸法をそれぞれＡおよびＢで
表わす。次に、前記領域αが一方の接合部（イ）に接し
ている部分の幅寸法をａ1，ａ2，ａ2，…ａnで表わし、
同様にして前記領域αが他方の接合部（ロ）に接してい
る部分の幅寸法をｂ1，ｂ2，ｂ3，…ｂmで表わす。
例および図３に示した比較例での磁気ヘッドとしての特
性を調べた結果を示すグラフである。図１に示すよう
に、コアＣ１とＣ２の表面１ａと２ａにおいて、金属磁
性膜Ｍとの接合部（イ）および（ロ）の部分の、ギャッ
プ対向面Ｇに沿う方向の幅寸法をそれぞれＡおよびＢで
表わす。次に、前記領域αが一方の接合部（イ）に接し
ている部分の幅寸法をａ1，ａ2，ａ2，…ａnで表わし、
同様にして前記領域αが他方の接合部（ロ）に接してい
る部分の幅寸法をｂ1，ｂ2，ｂ3，…ｂmで表わす。
【００２７】図５での横軸は、上記各幅寸法に基づいて
数１の計算を行った結果を示し、図５の縦軸は磁気テー
プからの再生信号の周波数特性を示すカーブでのうねり
幅（ノイズ）のレベルを（ｄＢ）にて示している。数１
は、コアの磁気ギャップに対向する部分の幅寸法に対す
る、金属磁性膜の境界部に接している領域αの幅寸法の
合計との比である。
数１の計算を行った結果を示し、図５の縦軸は磁気テー
プからの再生信号の周波数特性を示すカーブでのうねり
幅（ノイズ）のレベルを（ｄＢ）にて示している。数１
は、コアの磁気ギャップに対向する部分の幅寸法に対す
る、金属磁性膜の境界部に接している領域αの幅寸法の
合計との比である。
【００２８】図５に示す測定に使用した磁気ヘッドは、
図１と図２の実施例および図３の比較例のそれぞれにお
いて、磁気ギャップ長が０．１６μｍ、磁気ギャップ深
さが１０μｍ、Ｆｅ−Ｔａ−Ｃ系の微結晶材料による金
属磁性膜Ｍの膜厚が６μｍである。
図１と図２の実施例および図３の比較例のそれぞれにお
いて、磁気ギャップ長が０．１６μｍ、磁気ギャップ深
さが１０μｍ、Ｆｅ−Ｔａ−Ｃ系の微結晶材料による金
属磁性膜Ｍの膜厚が６μｍである。
【００２９】各実施例および比較例共に複数の磁気ヘッ
ドを製造し、それぞれについてＡ，Ｂ，ａ1，ａ2，…ａ
n，ｂ1，ｂ2，…ｂmを測定して、数１の値を算出した。
またそれぞれについて８ｍｍＶＴＲ用のメタルテープに
対し３．１３ｍ／ｓｅｃのヘッド摺動速度にて再生動作
を行い、周波数特性でのうねり幅のレベルを測定した。
ドを製造し、それぞれについてＡ，Ｂ，ａ1，ａ2，…ａ
n，ｂ1，ｂ2，…ｂmを測定して、数１の値を算出した。
またそれぞれについて８ｍｍＶＴＲ用のメタルテープに
対し３．１３ｍ／ｓｅｃのヘッド摺動速度にて再生動作
を行い、周波数特性でのうねり幅のレベルを測定した。
【００３０】その結果、図５に示すように、図３に示す
いわゆるβ方位の比較例では、数１の値が大きく、且つ
うねり幅のレベルが高いことが確認された。図１に示す
結晶方位の実施例では、数１の値が小さくなり、またう
ねり幅のレベルも低くなる。さらに図２の結晶方位およ
び熱処理の実施例では、数１の値がさらに小さくなり、
またうねり幅のレベルも非常に低くなる。
いわゆるβ方位の比較例では、数１の値が大きく、且つ
うねり幅のレベルが高いことが確認された。図１に示す
結晶方位の実施例では、数１の値が小さくなり、またう
ねり幅のレベルも低くなる。さらに図２の結晶方位およ
び熱処理の実施例では、数１の値がさらに小さくなり、
またうねり幅のレベルも非常に低くなる。
【００３１】まず、図５の結果から、数１の値とうねり
幅のレベルとがほぼ比例関係となることが判る。また、
８ｍｍＶＴＲなどにおいて実用上に許容できる周波数特
性カーブのうねり幅のレベルは１ｄＢ以下である。よっ
て、図５の結果からうねり幅のレベルを１ｄＢ以下とす
るためには、数１の値を０．５以下にすることが必要で
あることが判る。また、うねり幅のレベルを０．６ｄＢ
以下とするためには、数１の値を０．２以下にすればよ
く、レベルを０．５ｄＢ以下とするためには、数１の値
を０．１以下にすればよい。すなわち数１の値の好まし
い範囲は０．５以下さらに好ましくは０．２以下または
０．１以下である。
幅のレベルとがほぼ比例関係となることが判る。また、
８ｍｍＶＴＲなどにおいて実用上に許容できる周波数特
性カーブのうねり幅のレベルは１ｄＢ以下である。よっ
て、図５の結果からうねり幅のレベルを１ｄＢ以下とす
るためには、数１の値を０．５以下にすることが必要で
あることが判る。また、うねり幅のレベルを０．６ｄＢ
以下とするためには、数１の値を０．２以下にすればよ
く、レベルを０．５ｄＢ以下とするためには、数１の値
を０．１以下にすればよい。すなわち数１の値の好まし
い範囲は０．５以下さらに好ましくは０．２以下または
０．１以下である。
【００３２】また図５の結果から次のことが判る。図３
に示した比較例のようなβ方位の磁気ヘッドでは、数１
の値を０．５以下に収めることは困難である。また図１
に示す結晶方位の実施例では、数１の値を０．５以下と
しうねり幅のレベルを１ｄＢ以下のものにできる。さら
に図２に示すように、コアの表面での結晶方位を図１と
同じにし、且つ熱処理の方法により製造した磁気ヘッド
では、数１の値を０．５以下にでき、さらには０．２以
下とすることも可能であり、うねり幅のレベルを、実用
上全く問題のないきわめて低いレベルに収めることが可
能になる。
に示した比較例のようなβ方位の磁気ヘッドでは、数１
の値を０．５以下に収めることは困難である。また図１
に示す結晶方位の実施例では、数１の値を０．５以下と
しうねり幅のレベルを１ｄＢ以下のものにできる。さら
に図２に示すように、コアの表面での結晶方位を図１と
同じにし、且つ熱処理の方法により製造した磁気ヘッド
では、数１の値を０．５以下にでき、さらには０．２以
下とすることも可能であり、うねり幅のレベルを、実用
上全く問題のないきわめて低いレベルに収めることが可
能になる。
【００３３】また、本発明での数１に記載された値を
０．５以下に設定すると共に、従来技術として説明した
ように、コアと金属磁性膜との間に侵食防止膜を介在さ
せる対策を併用することが好ましい。ただし、数１の値
を０．５以下に設定することにより、侵食防止膜を設け
なくても、擬似ギャップによるノイズの低減には充分な
効果を発揮できる。
０．５以下に設定すると共に、従来技術として説明した
ように、コアと金属磁性膜との間に侵食防止膜を介在さ
せる対策を併用することが好ましい。ただし、数１の値
を０．５以下に設定することにより、侵食防止膜を設け
なくても、擬似ギャップによるノイズの低減には充分な
効果を発揮できる。
【００３４】なお、本発明は８ｍｍＶＴＲ用の磁気ヘッ
ドに限られるものではなく、アジマス角度が２０度のＤ
ＡＴ用の磁気ヘッドなどのように、ＭＩＧ構造のもので
あれば、どの用途のものであっても実施可能である。
ドに限られるものではなく、アジマス角度が２０度のＤ
ＡＴ用の磁気ヘッドなどのように、ＭＩＧ構造のもので
あれば、どの用途のものであっても実施可能である。
【００３５】
【発明の効果】以上のように本発明では、ＭＩＧ構造の
磁気ヘッドにおいて、擬似ギャップによるヘッド出力の
周波数特性カーブでのうねり幅やウイグルノイズなどを
きわめて効果的に低減させることが可能である。
磁気ヘッドにおいて、擬似ギャップによるヘッド出力の
周波数特性カーブでのうねり幅やウイグルノイズなどを
きわめて効果的に低減させることが可能である。
【図１】本発明の実施例として８ｍｍＶＴＲ用の磁気ヘ
ッドの表面（磁気記録媒体摺動面）を示す拡大平面図、
ッドの表面（磁気記録媒体摺動面）を示す拡大平面図、
【図２】本発明の実施例として８ｍｍＶＴＲ用の磁気ヘ
ッドの表面を示す拡大平面図、
ッドの表面を示す拡大平面図、
【図３】比較例での磁気ヘッドの表面を示す拡大平面
図、
図、
【図４】８ｍｍＶＴＲ用の磁気ヘッドの全体構造を示す
斜視図、
斜視図、
【図５】数１の値とヘッド出力の周波数特性カーブでの
うねり幅との関係を示すグラフ、
うねり幅との関係を示すグラフ、
【図６】従来の８ｍｍＶＴＲ用の磁気ヘッドの表面を示
す拡大平面図、
す拡大平面図、
Ｈ 磁気ヘッド Ｃ１，Ｃ２ コア １ａ，２ａ コアの表面（磁気記録媒体摺動面） Ｇ ギャップ対向面 Ｌ ギャップ対向面の垂線 Ｍ 金属磁性膜 α コアの他の部分と磁気特性が異なる領域 α１ 輪郭
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−4816（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−28422（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−133204（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−113810（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−6602（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−303612（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−85711（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−5206（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−190706（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−30007（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−260612（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−251408（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/127 - 5/255
Claims (5)
- 【請求項１】 磁性材料より成るコアのギャップ対向面
に金属磁性膜が設けられた磁気ヘッドにおいて、前記コ
アの磁気記録媒体摺動面には、磁化方向が前記摺動面で
の磁化容易軸方向に向く領域αが形成され、対を成すコ
アのギャップ対向部分の幅寸法を各コア毎にＡおよびＢ
とし、前記領域が金属磁性膜との接合部に接する幅寸法
を各コアごとにａ1，ａ2，…ａnおよびｂ1，ｂ2，…ｂm
としたときに、 【数１】 上記数１の値が０．５以下となるように、前記磁化容易
軸の方向が、ギャップ対向面の垂線に対して傾きを有し
ていることを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 前記磁気記録媒体摺動面には、単結晶フ
ェライトの結晶面が現れる請求項１記載の磁気ヘッド。 - 【請求項３】 前記結晶面は、（１１０）面である請求
項２記載の磁気ヘッド。 - 【請求項４】 前記単結晶フェライトは、Ｍｎ−Ｚｎフ
ェライトの単結晶材料である請求項２または３に記載の
磁気ヘッド。 - 【請求項５】 磁性材料により形成されたコアのギャッ
プ対向面に金属磁性膜が設けられた磁気ヘッドの製造方
法において、コアの磁気記録媒体摺動面での磁化容易軸
の方向が、ギャップ対向面の垂線に対して傾きを有する
ようにコアの方位を設定するとともに、前記金属磁性膜
を形成する前に、コアを熱処理して請求項１に記載の磁
気ヘッドを得る磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06340132A JP3078192B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| KR1019950058269A KR100213300B1 (ko) | 1994-12-28 | 1995-12-27 | 자기헤드 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06340132A JP3078192B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08185608A JPH08185608A (ja) | 1996-07-16 |
| JP3078192B2 true JP3078192B2 (ja) | 2000-08-21 |
Family
ID=18334037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06340132A Expired - Fee Related JP3078192B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3078192B2 (ja) |
| KR (1) | KR100213300B1 (ja) |
-
1994
- 1994-12-28 JP JP06340132A patent/JP3078192B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-12-27 KR KR1019950058269A patent/KR100213300B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100213300B1 (ko) | 1999-08-02 |
| KR960025347A (ko) | 1996-07-20 |
| JPH08185608A (ja) | 1996-07-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000606 |
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